DE3917739C2 - Transport device for a double-layer film tape - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Transportvorrichtung für ein doppellagiges Folienband nach dem Oberbegriff des Patentan­ spruches.The invention relates to a transport device for a double-layer film tape according to the preamble of the patent saying.

Bei der Verarbeitung von Halbleiterscheiben in der Montage wer­ den diese auf eine einseitig selbstklebende Folie auflaminiert, um nach Verteilen der Scheiben in Einzelsysteme für Halbleiter­ bauelemente ein ungeordnetes Durcheinanderfallen der Einzelsy­ steme zu vermeiden. Die Folie wird dabei ihrerseits im gleichen bzw. in einem vorangegangenen Arbeitsprozeß auf einen insbeson­ dere rahmenförmigen Träger auflaminiert. Für eine derartige Ver­ arbeitung von Folien stehen kommerziell erhältliche Geräte zur Verfügung. Ein derartiges Gerät ist beispielsweise das von der Firma Kulicke & Soffa Industries, Inc. vertriebene Modell 382 mit der Bezeichnung "Automatic Adhesive Film Mounter".When processing semiconductor wafers in assembly who which is laminated onto a self-adhesive film, in order to distribute the disks into individual systems for semiconductors components an untidy mess of the individual sy avoid steme. The foil is in turn the same or in particular in a previous work process laminated their frame-shaped carrier. For such a ver processing of foils are commercially available devices Available. Such a device is, for example, that of Kulicke & Soffa Industries, Inc., Model 382 sold called "Automatic Adhesive Film Mounter".

Neuerdings werden die einseitig selbstklebenden Folien der vor­ genannten Art auf ihrer klebenden Seite auch mit einer Abdeck­ folie versehen, so daß ein doppellagiges Folienband entsteht. Bei der Verarbeitung eines derartigen doppellagigen Folienban­ des muß die Deckfolie von der einseitig selbstklebenden Folie abgetrennt werden. In einer Transportvorrichtung der in Rede stehenden Art befindet sich das doppellagige Folienband zunächst in aufgerolltem Zustand auf einer Rolle, welche in einer Trans­ portvorrichtung bei der Verarbeitung des doppellagigen Folien­ bandes eine Abwickelrolle bildet. Die Deckfolie bildet dabei für die einseitig selbstklebende Folie eine Zwischenlage. Bei der Abwicklung des doppellagigen Folienbandes werden die beiden Folien zunächst voneinander getrennt und gesondert auf jeweils eine Aufwickelrolle aufgewickelt, wobei das einseitig selbstkle­ bende Folienband für seine Verarbeitung in der Halbleitermontage zwischen der Abwickelrolle und der Aufwickelrolle mit konstan­ ter Geschwindigkeit transportiert wird. Aufgrund unterschiedlicher Winkelgeschwindigkeiten bei sich änderndem Durchmesser des Wickels auf den Aufwickelbändern, die sich notwendigerweise bei konstantem Vorschub der einseitig selbstklebenden Folie bei deren Verarbeitung ergeben, kann die Abwickelrolle bei kon­ tinuierlichem Aufwickeln der Abdeckfolie durch Zug bedingte Be­ schleunigungen erfahren, so daß sich eine Störung des Transports der zu verarbeitenden einseitig selbstklebenden Folie, etwa durch Durchhängen dieser Folie, ergeben.Recently, the one-sided self-adhesive films of the mentioned type on its adhesive side also with a cover Provide film so that a double-layer film tape is created. When processing such a double-layer film strip of the cover film of the one-sided self-adhesive film be separated. In a transport device in question standing type is the double-layer film tape initially in a rolled-up state on a roll, which in a Trans port device when processing the double-layer films bandes forms an unwinding roll. The cover film forms an intermediate layer for the self-adhesive film. At the processing of the double-layer film tape will be the two Slides are initially separated from each other and separately on each a take-up reel, the one-sided self-adhesive film tape for its processing in semiconductor assembly  between the unwinding roll and the winding roll with constant ter speed is transported. Because of different Angular velocities with changing diameter of the Wraps on the take-up tapes, which are necessarily with constant feed of the self-adhesive film result in their processing, the unwinding roll at con continuous winding of the cover film due to tensile loading experience accelerations, so that there is a disturbance of the transport the one-sided self-adhesive film to be processed, for example by sagging this film.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Transportvorrichtung der in Rede stehenden Art anzugeben, bei der ein störungsfreier Transport der beiden Folien des doppel­ lagigen Folienbandes zwischen Abwickelrolle und der jeweiligen Aufwickelrolle gewährleistet ist.The invention has for its object a Specify transport device of the type in question, at the trouble-free transport of the two films of the double layered film tape between the unwind roll and the respective Winding roll is guaranteed.

Diese Aufgabe wird bei einer Transportvorrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die Merkmale des kennzeich­ nenden Teils des Patentanspruches gelöst.This task is the beginning of a transport device mentioned type according to the invention by the features of the character solved part of the claim.

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines in der einzigen Figur der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.The invention is based on one in the following Figure of the drawing shown embodiment closer explained.

In dieser Figur ist schematisch eine erfindungsgemäße Trans­ portvorrichtung dargestellt.In this figure, a trans according to the invention is shown schematically port device shown.

In der Figur der Zeichnung ist ein Wickel 1 eines doppellagigen Folienbandes auf einer Rolle 2 aufgewickelt, welche in der Vor­ richtung die Abwickelrolle für das doppellagige Folienband dar­ stellt. Das doppellagige Folienband setzt sich aus einer Folie 3, bei der es sich um eine einseitig selbstklebende Folie für die Verarbeitung in der Halbleitermontage handelt, sowie aus einer Folie 4 zusammen, welche die obengenannte Trennfolie bildet. Nach Trennung der beiden Folien 3 und 4 wird die einseitig selbstklebende Folie 3 über eine Führungsrolle 5 und einen schematisch dargestellten Antrieb 6 geführt und mittels einer Andruckrolle 8 auf einer Aufwickelrolle 7 aufgewickelt. Dabei entsteht auf der Aufwickelrolle ein Wickel 9 der Folie 3. Zwi­ schen der Führungsrolle 5 und dem Antrieb 6 erfolgt die Verar­ beitung der einseitig selbstklebenden Folie durch Auflaminieren auf einen beispielsweise rahmenförmigen Träger, wie dies eingangs erläutert wurde. Wesentlich ist dabei, daß die Folie 3 zwischen der Abwickelrolle 2 und der Aufwickelrolle 7 mit konstanter Geschwindigkeit transportiert wird.In the figure of the drawing, a roll 1 of a double-layer film strip is wound on a roll 2 , which represents the unwinding roll for the double-layer film strip in the direction before. The double-layer film tape is composed of a film 3 , which is a one-sided self-adhesive film for processing in semiconductor assembly, and a film 4 , which forms the above-mentioned release film. After separation of the two foils 3 and 4 , the self-adhesive foil 3 is guided over a guide roller 5 and a schematically illustrated drive 6 and wound onto a winding roller 7 by means of a pressure roller 8 . This creates a roll 9 of film 3 on the take-up roll. Between rule the guide roller 5 and the drive 6 , the processing of the self-adhesive film is carried out by lamination onto a frame-shaped carrier, for example, as was explained at the beginning. It is essential that the film 3 is transported between the unwinding roll 2 and the winding roll 7 at a constant speed.

Die Folie 4 wird über eine feste Umlenkrolle 10 und eine beweg­ liche Umlenkrolle 11 geführt und auf eine Aufwickelrolle 12 auf­ gewickelt, so daß auf dieser ein Wickel 13 der Trennfolie 4 ent­ steht.The film 4 is guided over a fixed deflection roller 10 and a movable union roller 11 and wound on a take-up roll 12 , so that there is a roll 13 of the separating film 4 on it.

Erfindungsgemäß ist nun die bewegliche Umlenkrolle 11 in Rich­ tung senkrecht zu ihrer Achse durch einen Pfeil 14 schematisch angedeutet beweglich und in ihrer Kraftausübung auf die über sie geführte Folie 4 einstellbar. Eine vorgegebene Grenzstellung der beweglichen Umlenkrolle 11, welche in der Figur der Zeich­ nung schematisch durch eine gestrichelte Linie 15 angedeutet ist, wird - beispielsweise durch eine nicht dargestellte an sich bekannte photoelektrische Einrichtung - erfaßt. Diese Ein­ richtung schaltet wiederum einen ebenfalls nicht dargestellten Antrieb für die Aufwickelrolle 12.According to the invention, the movable deflection roller 11 can now be moved in the direction perpendicular to its axis schematically indicated by an arrow 14 and its force can be adjusted to the foil 4 guided over it. A predetermined limit position of the movable guide roller 11 , which is indicated schematically in the figure of the drawing voltage by a dashed line 15 , is detected - for example by a photoelectric device, not shown, known per se. This in turn switches a drive, also not shown, for the take-up reel 12 .

Im folgenden wird die Funktionsweise der erfindungsgemäß ausge­ bildeten Transportvorrichtung hinsichtlich der Aufwicklung der Folie 4 noch näher erläutert.The mode of operation of the transport device according to the invention is explained in more detail below with regard to the winding of the film 4 .

Es sei davon ausgegangen, daß der Antrieb für die Aufwickel­ rolle 12 eingeschaltet ist und damit Folie 4 auf die Aufwickel­ rolle 12 aufgewickelt wird. Ausgehend von bestimmten Verhält­ nissen hinsichtlich der Durchmesser der Wickel auf der Abwickel­ rolle 2 und der Aufwickelrolle 12 sowie den damit verbundenen Winkelgeschwindigkeiten dieser beiden Rollen wird sich die Stellung der beweglichen Umlenkrolle 12 aufgrund der einge­ stellten Kraftausübung auf die Folie 4 mit zunehmendem Wickel­ vorgang nach oben verändern. Würde sich der Aufwickelvorgang der Folie 4 kontinuierlich fortsetzen, so kann der Fall auftre­ ten, daß auf die Abwickelrolle 2 ein Zug und damit eine Be­ schleunigung ausgeübt wird, so daß ein störungsfreier Trans­ port der Folie 3 etwa durch ein Durchhängen nicht mehr gewähr­ leistet ist.It should be assumed that the drive for the winding roll 12 is switched on and thus film 4 is wound onto the winding roll 12 . Based on certain ratios with regard to the diameter of the roll on the unwind roll 2 and the take-up roll 12 and the associated angular velocities of these two rolls, the position of the movable deflecting roller 12 will increase due to the force exerted on the film 4 with increasing winding process change. Would the winding process of the film 4 continue continuously, the case may arise that a tension and thus an acceleration is exerted on the unwind roll 2 , so that a trouble-free trans port of the film 3 is no longer guaranteed by sagging .

Aus diesem Grunde wird die durch die gestrichelte Linie 15 an­ gedeutete Grenzstellung der beweglichen Umlenkrolle erfaßt und über die diese Grenzstellung erfassende Einrichtung der Antrieb für die Aufwickelrolle abgeschaltet. Erst wenn die bewegliche Umlenkrolle 11 aufgrund der an ihr herrschenden Kraftverhält­ nisse die vorgegebene Grenzstellung nach unten wieder verläßt, wird der Antrieb für die Aufwickelrolle 12 wieder eingeschaltet. Aus diesem Grunde ergibt sich ein störungsfreier Transport der beiden Folien 3 und 4, wobei insbesondere eine gleichmäßige Aufwicklung der Folie 4 unabhängig vom Wickeldurchmesser des doppellagigen Folienbandes auf der Abwickelrolle 2, von der Transportgeschwindigkeit der Folie 3 und dem Wickeldurchmesser auf der Aufwickelrolle 12 gewährleistet ist.For this reason, the limit position of the movable deflection roller indicated by the dashed line 15 is detected and the drive for the winding roller is switched off via the device detecting this limit position. Only when the movable deflecting roller 11 leaves the predetermined limit position down again due to the force conditions prevailing at it, is the drive for the winding roller 12 switched on again. For this reason, there is a trouble-free transport of the two films 3 and 4 , in particular a uniform winding of the film 4 is ensured regardless of the winding diameter of the double-layer film strip on the unwinding roll 2 , the transport speed of the film 3 and the winding diameter on the winding roll 12 .

Da Einrichtungen zur Erfassung der Grenzstellung der beweg­ lichen Umlenkrolle 11 und Schaltanordnungen zur Ein- und Aus­ schaltung des Antriebes in der Aufwickelrolle 12 sowie der An­ trieb für diese Aufwickelrolle an sich konventioneller Natur sind und auch deren Anordnung im Rahmen des fachmännischen Könnens liegt, sind diese Komponenten in der Fig. der Zeichnung nicht eigens dargestellt und brauchen auch nicht näher erläu­ tert zu werden.Since devices for detecting the limit position of the movable guide roller 11 and switching arrangements for switching the drive in and out of the take-up roll 12 and the drive for this take-up roll are conventional in themselves and their arrangement is within the scope of the expert ability, these are Components in the FIG. Of the drawing are not shown separately and need not be explained in more detail either.

Claims (1)

Transportvorrichtung für ein doppellagiges Folienband (1), bei der das doppellagige Folienband (1) von einer Abwickel­ rolle (2) abgewickelt und in zwei einlagige Folien (3, 4) aufgetrennt wird und bei der jeweils eine Folie (3 bzw. 4) auf jeweils eine Aufwickelrolle (7 bzw. 12) derart aufgewic­ kelt wird, daß eine der Folien (3) mit konstanter Geschwin­ digkeit zwischen der Abwickelrolle (2) und der für sie vorge­ sehenen Aufwickelrolle (7) transportiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Abwickelrolle (2) und der Aufwickelrolle (12) für die andere Folie (4) eine feste Umlenkrolle (10) und eine bewegliche Umlenkrolle (11) vorgesehen sind, daß die be­ wegliche Umlenkrolle (11) in Richtung senkrecht zu ihrer Ach­ se beweglich und in ihrer Kraftausübung auf die über sie ge­ führte Folie (4) einstellbar ist und daß eine Schaltanordnung für einen Antrieb der Aufwickelrolle (12) für die andere Fo­ lie (4) vorgesehen ist, welche den Antrieb als Funktion der Erfassung einer vorgegebenen Grenzstellung (15) der bewegli­ chen Umlenkrolle (11) abschaltet.Transport device for a double-layer film strip ( 1 ), in which the double-layer film strip ( 1 ) is unwound from an unwinding roll ( 2 ) and separated into two single-layer films ( 3 , 4 ) and each has a film ( 3 or 4 ) each a take-up reel ( 7 or 12 ) is such that one of the foils ( 3 ) is transported at a constant speed between the unwinding reel ( 2 ) and the take-up reel ( 7 ) provided for it, characterized in that between the unwinding roller (2) and the take-up reel (12) a fixed deflection roller (10) and a movable pulley (11) are provided for the other film (4), that the areas moving guide pulley (11) in the direction perpendicular se to their Ach movable and in their exertion of force on the ge led film ( 4 ) is adjustable and that a switching arrangement for driving the winding roller ( 12 ) for the other fo lie ( 4 ) is provided, which the drive b switches off as a function of detecting a predetermined limit position ( 15 ) of the movable deflection roller ( 11 ).