DE3901017A1 - Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung des schichtabtrags bei einem trockenaetzprozess - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung des schichtabtrags bei einem trockenaetzprozessInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur Überwachung des Schichtabtrags bei einem Trockenätzpro
zeß mit einer elsten Elektrode, die mit dem zu ätzenden
Substrat in elektrischer Verbindung steht, sowie mit einer
zweiten Elektrode, die oberhalb der ersten Elektrode ange
ordnet ist, wobei sich beide Elektroden innerhalb einer
Prozeßkammer befinden.
Es ist bekannt, zur Überwachung des Schichtabtrags Emis
sionsspektrometer zu verwenden, wobei die Lichtemission von
Atomen, die dem zu ätzenden Schichtmaterial zugeordnet
sind, mittels des Emissionsspektrometers beobachtet werden.
Das Verschwinden dieses Signals ist mit dem Ätzendpunkt
identisch.
Ferner ist beim Ätzen von transparenten Schichten die
Verwendung von optischen Reflektometern bekannt, die ein
über die Zeit periodisches Signal erzeugen, das so lange
einen gleichmäßigen Wellenverlauf zeigt, wie der Ätzprozeß
noch in Gang ist. Bei Erreichen des Ätzendpunktes geht das
Signal des Reflektometers entweder in einen konstanten Wert
über oder in ein periodisches Signal einer anderen Fre
quenz. Letzteres ist der Fall, wenn sich unter der zu
ätzenden Schicht eine weitere transparente Schicht befin
det, für die die Ätzgeschwindigkeit (Ätzrate) einen anderen
Wert hat als die zuerst zu ätzende Schicht. Üblicherweise
weist das Signal beim Übergang von der ersten zur zweiten
Schicht einen Knick auf, der elektronisch detektiert werden
kann. In Grenzfällen kann dieser Knick aber sehr schwach
ausgebildet sein, so daß ein herkömmlicher elektrischer
Schaltkreis überfordert ist, diesen Knick eindeutig zu
erkennen.
Ein anderer, mindestens ebenso häufig vorkommender Fall
liegt vor, wenn zum Zwecke einer Stlukturierung eine
transparente Maske, z. B. ein belichteter und entwickelter
Fotolack mit definierten Lücken auf der zu ätzenden trans
parenten Schicht liegt. In diesem Fall werden nicht nur die
zu ätzende Schicht an den Lücken der Maske abgetragen,
sondern auch die Maskenteile. Die Geschwindigkeiten, mit
denen Schicht und Maske während des Ätzprozesses dünner
werden, unterscheiden sich in aller Regel voneinander, so
daß das Signal des Fotometers die Überlagerung zweier
verschiedener Interferenzsysteme darstellt. Das bedeutet,
daß in erster Näherung die Summe von zwei sinusähnlichen
Signalen mit unterschiedlicher Frequenz und Amplitude
angezeigt wird. Dieser etwas kompliziertere Signalverlauf
ändert sich ebenfalls dann, wenn die zu ätzende Schicht zu
Ende geätzt ist. Es bleibt dann das sinusähnliche Signal
der Maske übrig, und es kann ein neues Signal einer unter
der zu Ende geätzten Schicht liegenden weiteren transparen
ten Schicht auftauchen. Aus diesem Gewirr von sich gegen
seitig überlagernden wellenförmigen Signalen denjenigen
Zeitpunkt herauszufinden, an dem eines von zwei Teilsigna
len verschwindet und ein weiteres erscheint, ist für den
Operateur einer Ätzapparatur fast immer sehr schwer und in
vielen Fällen einfach unmöglich.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde,
ein Verfahren und eine Vorrichtung zu schaffen, das einer
Plasmaätzmaschine ein Signal zur Verfügung stellt, das den
Ätzprozeß genau dann abschaltet, wenn der Prozeß, eine
Schicht durchzuätzen, abgeschlossen ist.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch ein außer
halb der Prozeßkammer gehaltenes, an sich bekanntes, auf
das Substrat in der Prozeßkammer ausgerichtetes optisches
Fotometer, dessen Signale von einem elektrischen Schalt
kreis verstärkt und im Wege einer Fourier-Transformation
aufbereitbar und anzeigbar sind.
Zweckmäßigerweise sind die auf das Substrat aufgetragenen,
transparenten Schichten vom Fotometer erkennbar, wobei die
während des Ätzprozesses der oberen Schichten empfangenen
periodischen, im wesentlichen in Amplitude und Frequenz
konstanten Signale vom elektrischen Schaltkreis registrier
und vergleichbar sind, wobei der Zeitpunkt, zu dem Ampli
tude und Frequenz als stark voneinander abweichende Signale
empfangen werden, vom elektrischen Schaltkreis als Durch
tritt von der einen zur anderen Schicht erkannt und ange
zeigt wird.
Dabei ist der Empfang von Signalen, die hinsichtlich Wel
lenlänge und/oder Frequenz von vorher empfangenen Signalen
abweichen, über ein Fourier-Transformationsprogramm so
verarbeitbar, daß der Zeitpunkt des Durchtritts durch die
zu ätzende Schicht bestimmbar wird.
Mit Vorteil stellen die in zeitlich kurzer Reihenfolge vom
Fotometer empfangenen Signale mit Hilfe eines elektrischen
Schaltkreises den Kurvenverlauf des Ätzprozesses auf einem
Datenschreiber dar, wobei das hierzu notwendige Programm in
einem
ersten Rechenschritt mehrere vom Fotometer gelesene Datenpunkte bis zu einem vorgegebenen Zeitpunkt im elektrischen Schaltkreis speichert, so daß über eine Fourier-Transformation die Amplitude einer Frequenz erhalten wird, in einem
zweiten Rechenschritt die Anzahl der Daten um einen Punkt verringert und eine zweite Fourier-Transforma tion durchgeführt wird, in einem
dritten Rechenschritt die Anzahl der Datenpunkte um einen weiteren Punkt erhöht und eine dritte Fourier- Transformation durchgeführt und in einem
vierten Rechenschritt über das Programm die Frequenz mit der maximalen Amplitude ermittelt und in einem
fünften Rechenschritt ein weiterer Datenpunkt zu den bereits vorhandenen addiert und gleichzeitig der zu erst gespeicherte Datenpunkt eliminiert wird, wonach mit diesem auf der Zeitachse um einen Datenpunkt wei tergereichten Datensatz eine Frequenzsuche durchge führt wird, also bezüglich der Datenaufnahme über die Reflexionskurve ein Zeitfenster gelegt wird, welches in Richtung der Zeitachse fortschreitet und in einem
sechsten Rechenschritt die Amplitudenänderung ermit telt wird, die den Übergang des kurzwelligen in ein langwelliges Signal anzeigt und damit die Endpunkt kurven bestimmt.
ersten Rechenschritt mehrere vom Fotometer gelesene Datenpunkte bis zu einem vorgegebenen Zeitpunkt im elektrischen Schaltkreis speichert, so daß über eine Fourier-Transformation die Amplitude einer Frequenz erhalten wird, in einem
zweiten Rechenschritt die Anzahl der Daten um einen Punkt verringert und eine zweite Fourier-Transforma tion durchgeführt wird, in einem
dritten Rechenschritt die Anzahl der Datenpunkte um einen weiteren Punkt erhöht und eine dritte Fourier- Transformation durchgeführt und in einem
vierten Rechenschritt über das Programm die Frequenz mit der maximalen Amplitude ermittelt und in einem
fünften Rechenschritt ein weiterer Datenpunkt zu den bereits vorhandenen addiert und gleichzeitig der zu erst gespeicherte Datenpunkt eliminiert wird, wonach mit diesem auf der Zeitachse um einen Datenpunkt wei tergereichten Datensatz eine Frequenzsuche durchge führt wird, also bezüglich der Datenaufnahme über die Reflexionskurve ein Zeitfenster gelegt wird, welches in Richtung der Zeitachse fortschreitet und in einem
sechsten Rechenschritt die Amplitudenänderung ermit telt wird, die den Übergang des kurzwelligen in ein langwelliges Signal anzeigt und damit die Endpunkt kurven bestimmt.
Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, die minde
stens eine Meßlichtquelle mit einem zugeordneten Empfänger,
beispielsweise ein Fotometer, und einen elektrischen
Schaltkreis für die Verarbeitung der Empfängersignale auf
weist, ist so ausgebildet, daß der optomechanische Teil des
Fotometers außerhalb der Prozeßkammer und oberhalb einer
verglasten, jedoch druckdichten Öffnung angeordnet ist,
wobei der Lichtstrom des Strahlungsgebers des Fotometers
durch die verglaste Öffnung hindurch und auf das Substrat
fällt und von diesen auf den zugehörigen Strahlungsempfän
ger reflektiert wird, der ebenfalls außerhalb der Prozeß
kammer und oberhalb derselben oder einer separaten ver
glasten und druckdichten Öffnung angeordnet ist.
Damit der Lichtstrom des Strahlungsgebers unbehindert das
Substrat erreichen kann, weist die zweite, oberhalb des
Substrats angeordnete Elektrode eine Öffnung oder Ausneh
mung für den Durchtritt des Lichtstroms des Fotometers auf.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungsmöglich
keiten zu; eine davon ist in den anhängenden Zeichnungen
rein schematisch dargestellt.
Fig. 1 zeigt das Signal eines Reflektometers (beispiels
weise eines Fotometers vom Typ OMS 1000/2 der Leybold AG)
in Abhängigkeit von der Zeit, wie es während des Ätzens
einer über einer transparenten Schicht liegenden, ebenfalls
transparenten Schicht von einem Kompensationsschreiber
gezeichnet wird.
Zum Zeitpunkt Null wird ein Kompensationsschreiber gestar
tet. Zum Zeitpunkt t A beginnt der Ätzprozeß. Man erkennt
ein über die Zeit periodisches Signal, das einer Sinus
schwingung nicht unähnlich ist. Bis zum Zeitpunkt t E ist
dieses Signal in Amplitude und Frequenz nahezu konstant.
Vom Zeitpunkt t E an geht das Signal plötzlich in ein
anderes Signal über, das im dargestellten Beispiel in der
Amplitude geringer und in der Frequenz ebenfalls gelinger
ist.
Die beiden sinusähnlichen Schwingungen unterschiedlicher
Flequenz kommen dadurch zustande, daß, während die oberste
Schicht geätzt wird, die unterste Schicht natürlich durch
die oberste Schicht vom Ätzprozeß abgeschirmt bleibt und
sich in ihrer Dicke dadurch nicht ändert. Wenn die oberste
Schicht durch das Ätzen entfernt ist, fängt auch die dar
unterliegende Schicht an, dünner zu werden, in der Regel
mit niedrigerer Geschwindigkeit. Das äußert sich in einer
größeren Wellenlänge bzw. einer niedrigeren Frequenz des
Fotometersignals. Aufgabe des Fourier-Transformationspro
gramms ist es, den Zeitpunkt t E so genau wie möglich zu
bestimmen. Dieses Rechenprogramm erhält zur Verarbeitung
Daten vom Fotometer. Diese Daten müssen zeitlich so kurz
aufeinander folgen, daß man aus ihnen eindeutig den Kurven
verlauf des zu verarbeitenden Signals rekonstruieren kann.
Das bedeutet, daß innerhalb eines Zeitraumes zwischen zwei
Maxima oder Minima mindestens zwei Datenpunkte liegen
müssen. Das Rechenprogramm (beispielsweise eines Rechners
der Fa. IBM des Typs AT 03) wird dazu so gesteuert, daß es
zunächst mehrere Datenpunkte hintereinander speichert bis
zu einem Zeitpunkt, der vom Operateur vorgegeben wird. Dann
führt das Programm die Fourier-Transformation durch, so daß
die Amplitude einer Frequenz erhalten wird.
Ein Wesen der Fourier-Transformation liegt nun darin, daß
die Frequenzauflösung des erhaltenen Spektrums von der
Anzahl der in einem bestimmten Zeitintervall genommenen
Datenpunkte abhängt. Es wird also beim ersten Durchgang der
Fourier-Transformation nicht die exakte Frequenz des
periodischen Signals erhalten. Deshalb ist es erforderlich,
die Anzahl der Daten zunächst um einen Punkt zu verringern,
eine weitere Fourier-Transformation durchzuführen, dann die
Anzahl der Datenpunkte um einen weiteren Punkt zu erhöhen,
ebenfalls eine Fourier-Transformation durchzuführen und
dann das Programm nach derjenigen Frequenz suchen zu
lassen, bei der die Amplitude maximal ist. Diese so erhal
tene Frequenz wird nun als die "wahre" Frequenz angesehen,
nach der gesucht wurde.
Der nächste Schritt des Programms besteht darin, einen
weiteren Datenpunkt hinzuzunehmen und dafür den ersten
Datenpunkt wegzulassen. Mit diesem auf der Zeitachse um
einen Datenpunkt weitergerückten Datensatz wird wiederum
die Frequenzsuche vorgenommen. Das bedeutet also, daß man
bezüglich der Aufnahme von Daten über die Reflexionskurve
ein Zeitfenster legt, welches in Richtung Zeitachse fort
schreitet. Solange sich das Signal in seiner Struktur,
d. h. in seiner Frequenz nicht ändert, wird am Ende des
Frequenzsuchteils des Computerprogramms eine nahezu kon
stante Zahlenfolge erscheinen. In dem Moment aber, zu dem
das kurzwellige Signal in ein langwelliges Signal übergeht,
ändert sich die Amplitude, wie sie vom Fourier-Transforma
tionsplogramm ausgegeben wird.
Fig. 2 zeigt die so gewonnene Endpunktkurve. Da das Zeit
fenster aus den anfangs genannten Gründen aber nicht belie
big schmal gewählt werden kann, erfolgt der Übergang der
Datenpunkte zum Zeitpunkt t E bezüglich der vom Programm
ausgegebenen Frequenz aber nicht abrupt, sondern mit einem
zeitlichen Übergang, der der Breite des Zeitfensters ent
spricht.
Dieser kontinuierliche Übergang eines Signals in ein ande
res kann aber durchaus toleriert werden, da der Vorteil
einer größeren Eindeutigkeit dieses Verfahrens gegenüber
anderen Verfahren gegeben ist. Ein weiterer Teil des Com
puterprogramms wird nun so gestaltet, daß, wenn eine
bestimmte vorgegebene Abweichung von der ermittelten Fre
quenz über- oder unterschritten wird, ein Signal ausgegeben
wird, das dazu dient, den Ätzprozeß abzuschalten. Das kann
z. B. so aussehen, daß der den Ätzprozeß steuernde Sender
der Ätzmaschine abgeschaltet wird.
Die in Fig. 3 schematisch dargestellte Vorrichtung zur
Überwachung des Schichtabtrags beim Trockenätzprozeß
besteht im wesentlichen aus einer allseits geschlossenen
Prozeßkammer 6, die mit einer Turbopumpe 14 verbunden ist,
wobei der Verbindungsstutzen 21 zwischen Prozeßkammer 6 und
Turbopumpe 14 vom Ventilkörper 22 eines Hochvakuum-Ventils
16 verschließbar ist, einem Prozeßgaseinlaß 15, einer
ersten Elektrode (Kathode) 3, auf der Substrate 4, 4′
ablegbar sind und die mit einem Anpassungsnetzwerk 13
elektrisch verbunden ist, einer zweiten Elektrode (Anode)
5, deren Abstand zur ersten Elektrode 3 veränderbar ist,
einem Druckmesser 23, dem aus der Meßlichtquelle 7 und dem
Meßlichtempfänger 10 bestehenden optomechanischen Teil des
Fotometers 9 und schließlich dem elektronischen Teil 17 des
Fotometers 9, dem Rechner 18 und dem Datenschreiber 19. Der
in der Kammer 6 ablaufende Prozeß des Sputterätzens stellt
praktisch die Umkehrung des Sputterns dar. Die Substrate 4,
4′, ... werden auf die Kathode 3 gelegt und durch Ionen
beschuß abgetragen (abgeätzt). In der Regel werden HF-Zer
stäubungsanlagen dazu verwandt. Diese Technik erlaubt das
exakte Ätzen sehr feiner Konturen; kann aber auch zur
Reinigung der Substrate 4, 4′, ... benutzt werden.
Auflistung der Einzelteile:
3 erste Elektrode (Kathode)
4, 4′ Substrat
5 zweite Elektrode (Anode)
6 Prozeßkammer
7 optomechanischer Teil des Fotometers,
Meßlichtquelle
8 elektrischer Schaltkreis
9 Fotometer
10 Empfänger, Sensor
11 Fenster, verglaste Öffnung
12 Fenster, verglaste Öffnung
13 Anpassungsnetzwerk
14 Pumpe, Turbopumpe
15 Prozeßgaseinlaß
16 Hochvakuum-Ventil
17 elektronischer Teil
18 Rechner, Auswerteelektronik,
elektrischer Schaltkreis
19 Datenschreiber
20 Öffnung, Ausnehmung
21 Verbindungsstutzen
22 Ventilkörper
23 Druckmesser
4, 4′ Substrat
5 zweite Elektrode (Anode)
6 Prozeßkammer
7 optomechanischer Teil des Fotometers,
Meßlichtquelle
8 elektrischer Schaltkreis
9 Fotometer
10 Empfänger, Sensor
11 Fenster, verglaste Öffnung
12 Fenster, verglaste Öffnung
13 Anpassungsnetzwerk
14 Pumpe, Turbopumpe
15 Prozeßgaseinlaß
16 Hochvakuum-Ventil
17 elektronischer Teil
18 Rechner, Auswerteelektronik,
elektrischer Schaltkreis
19 Datenschreiber
20 Öffnung, Ausnehmung
21 Verbindungsstutzen
22 Ventilkörper
23 Druckmesser
Claims (6)
1. Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des Schicht
abtrags bei einem Trockenätzprozeß mit einer ersten
Elektrode (3), die mit dem zu ätzenden Substrat (4,
4′) in elektrischer Verbindung steht, sowie mit einer
zweiten Elektrode (5), die oberhalb der ersten Elek
trode (3) angeordnet ist, wobei sich beide Elektroden
(3 bzw. 5) innerhalb einer Prozeßkammer (6) befinden,
gekennzeichnet durch ein außerhalb der Prozeßkammer
(6) gehaltenes, an sich bekanntes, auf das Substrat
(4, 4′) in der Plozeßkammer (6) ausgerichtetes opti
sches Fotometer (9), dessen Signale von einem elek
trischen Schaltkreis (17, 18, 19) verstärkbar und im
Wege einer Fourier-Transformation aufbereitbar und
anzeigbar sind.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die auf das Substrat (4, 4′) aufgetragenen, transpa
renten Schichten vom Fotometer (9) detektierbar sind,
wobei die während des Ätzprozesses der oberen Schicht
empfangenen periodischen, im wesentlichen in Amplitude
und Frequenz konstanten Signale von einem elektrischen
Schaltkreis (17, 18, 19) registrier- und vergleichbar
sind, wobei der Zeitpunkt, zu dem Amplitude und Fre
quenz als stark von den vor diesem Zeitpunkt angezeig
ten Signale abweichende Signale empfangen werden, vom
elektrischen Schaltkreis (17, 18, 19) als der Durch
tritt von der einen zur anderen Schicht erkannt und
angezeigt wird.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Empfang von Signalen, die hinsicht
lich Wellenlänge und/oder Frequenz von vorher empfan
genen Signalen abweichen, vom elektrischen Schaltkreis
(17, 18, 19) über ein Fourier-Transformationsprogramm
so verarbeitbar sind, daß der Zeitpunkt (t E ) des
Durchtritts durch die zu ätzende Schicht bestimmbar
wird.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß die in zeitlich kurzer Reihenfolge vom
Fotometer (9) empfangenen Signale mit Hilfe eines
elektrischen Schaltkreises (17, 18, 19) den Kurvenver
lauf des Ätzprozesses auf einem Datenschreiber (19)
darstellen, wobei das hierzu notwendige Programm in
einem
ersten Rechenschritt mehrere vom Fotometer (9) gelesene Datenpunkte bis zu einem vorgegebenen Zeitpunkt im elektrischen Schaltkreis (18) spei chert, so daß über eine Fourier-Transformation die Amplitude einer Frequenz erhalten wird, in einem
zweiten Rechenschritt die Anzahl der Daten um einen Punkt verringert und eine zweite Fourier- Transformation durchgeführt wird, in einem
dritten Rechenschritt die Anzahl der Datenpunkte um einen weiteren Punkt erhöht und eine dritte Fourier-Transformation durchgeführt und in einem
vierten Rechenschritt über das Programm die Fre quenz mit der maximalen Amplitude ermittelt und in einem
fünften Rechenschritt ein weiterer Datenpunkt zu den bereits vorhandenen addiert und gleichzeitig der zuerst gespeicherte Datenpunkt eliminiert wird, wonach mit diesem auf der Zeitachse um einen Datenpunkt weitergereichten Datensatz eine Frequenzsuche durchgeführt wird, also bezüglich der Datenaufnahme über die Reflexionskurve ein Zeitfenster gelegt wird, welches in Richtung der Zeitachse fortschreitet und in einem
sechsten Rechenschritt die Amplitudenänderung ermittelt wird, die den Übergang des kurzwelligen in ein langwelliges Signal anzeigt und damit die Endpunktkurven bestimmt.
ersten Rechenschritt mehrere vom Fotometer (9) gelesene Datenpunkte bis zu einem vorgegebenen Zeitpunkt im elektrischen Schaltkreis (18) spei chert, so daß über eine Fourier-Transformation die Amplitude einer Frequenz erhalten wird, in einem
zweiten Rechenschritt die Anzahl der Daten um einen Punkt verringert und eine zweite Fourier- Transformation durchgeführt wird, in einem
dritten Rechenschritt die Anzahl der Datenpunkte um einen weiteren Punkt erhöht und eine dritte Fourier-Transformation durchgeführt und in einem
vierten Rechenschritt über das Programm die Fre quenz mit der maximalen Amplitude ermittelt und in einem
fünften Rechenschritt ein weiterer Datenpunkt zu den bereits vorhandenen addiert und gleichzeitig der zuerst gespeicherte Datenpunkt eliminiert wird, wonach mit diesem auf der Zeitachse um einen Datenpunkt weitergereichten Datensatz eine Frequenzsuche durchgeführt wird, also bezüglich der Datenaufnahme über die Reflexionskurve ein Zeitfenster gelegt wird, welches in Richtung der Zeitachse fortschreitet und in einem
sechsten Rechenschritt die Amplitudenänderung ermittelt wird, die den Übergang des kurzwelligen in ein langwelliges Signal anzeigt und damit die Endpunktkurven bestimmt.
5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach den
Ansprüchen 1 bis 4, bestehend aus mindestens einer
Meßlichtquelle (7) mit einem zugeordneten Empfänger
(10), beispielsweise einem Fotometer (9), und einem
elektrischen Schaltkreis (17, 18, 19) für die Verar
beitung der Empfängersignale, dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßlichtquelle (7) außerhalb der Prozeßkammer
(6) und oberhalb einer verglasten, jedoch druckdichten
Öffnung (11) angeordnet ist, wobei der Lichtstrom
durch die verglaste Öffnung (11) hindurch und auf das
Substrat (4) gerichtet ist und von diesem auf den
zugehörigen Strahlungsempfänger (10) reflektierbar
ist, der ebenfalls außerhalb der Prozeßkammer (6) und
oberhalb derselben oder einer weiteren separaten,
verglasten und druckdichten Öffnung (12) angeordnet
ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite, oberhalb des Substrats (4, 4′) ange
ordnete Elektrode (5) eine Öffnung oder Ausnehmung
(20) für den Durchtritt des Lichtstroms der Meßlicht
quelle (7) aufweist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3901017A DE3901017A1 (de) | 1989-01-14 | 1989-01-14 | Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung des schichtabtrags bei einem trockenaetzprozess |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE3901017A DE3901017A1 (de) | 1989-01-14 | 1989-01-14 | Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung des schichtabtrags bei einem trockenaetzprozess |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3901017A1 true DE3901017A1 (de) | 1990-07-19 |
Family
ID=6372118
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3901017A Withdrawn DE3901017A1 (de) | 1989-01-14 | 1989-01-14 | Verfahren und vorrichtung zur ueberwachung des schichtabtrags bei einem trockenaetzprozess |
Country Status (2)
Country | Link |
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