DE3900467C2 - Vorrichtung mit einem Spiegelkopf - Google Patents
Vorrichtung mit einem SpiegelkopfInfo
- Publication number
- DE3900467C2 DE3900467C2 DE3900467A DE3900467A DE3900467C2 DE 3900467 C2 DE3900467 C2 DE 3900467C2 DE 3900467 A DE3900467 A DE 3900467A DE 3900467 A DE3900467 A DE 3900467A DE 3900467 C2 DE3900467 C2 DE 3900467C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mirror
- fluid
- pressure
- cavity
- central region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/181—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
- G02B7/1815—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation with cooling or heating systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0401—Arrangements for thermal management of optical elements being part of laser resonator, e.g. windows, mirrors, lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Lasers (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des
Anspruchs 1.
Ein wesentlicher Aspekt bei Hochleistungslasern ist der Strahlen-Mode, wobei ein
möglichst verzerrungsfreier Strahl im Mode TEM OO angestrebt wird.
Veränderungen der an der Strahlumlenkung im Inneren des Lasers beteiligten
Elemente, wie der Spiegel und deren Halterungen, können jedoch während des
Betriebs Verzerrungen bewirken. Nach der gattungsgemäßen DE-AS 16 39 199 wird die Rückseite
eines Spiegels unmittelbar vom Kühlmittel umspült, wodurch thermische
Verformungen des Spiegels verringert werden, wobei dieser Spiegel zudem als
recht massiver Metallblock ausgebildet ist. Man kann damit jedoch thermische
Verformungen des Spiegels nicht völlig vermeiden. Auch werden dadurch
Veränderungen im Bereich der Spiegelhalterungen nicht erfaßt. Zwar wird auch
dieser Bereich im Allgemeinen gekühlt, doch können Lageveränderungen über die
Kühlung mit wirtschaftlich vertretbarem Aufwand nur in beschränktem Umfang
verhindert werden, so daß eine Verzerrung des angeregten Laserstrahls auftritt,
insbesondere wenn die Laserleistung variiert wird, da sich dann die
Betriebsparameter verändern.
Aus der DE 35 02 024 A1 ist ein Laserspiegelkopf bekannt, bei dem der Spiegel über
eine Vielzahl daran angreifender Aktuatoren ständig so verformt wird, daß durch
seine "Verzerrung" die von atmosphärischen Störeinflüssen bei der Ausbreitung
des vom Spiegel abgestrahlten oder empfangenen Laserstrahls verursachten
Verzerrungen wieder kompensiert werden. Die Aktuatoren, die vorzugsweise nach
dem piezoelektrischen Prinzip wirken, sind ihrerseits jeweils an hydraulischen
Kolben abgestützt, deren zugehörige Zylinderkammern in der massiven Rückwand
des Spiegelkopfes angeordnet sind. Von der Rückseite her ragen verstellbare
Verdrängungskörper quasi als Druckerzeuger jeweils in den Fluidraum jedes
einzelnen Zylinders, um deren Grundstellung einjustieren zu können. Es sollen
damit einerseits die fertigungsbedingten Längenunterschiede der Aktuatoren
ausgeglichen werden, andererseits sollen mit dieser Zylinder-Zwischenschaltung
unsachgemäße Deformationen der dünnen Spiegelplatte bereits bei der Montage
der Widerlager der vielen Aktuatoren vermieden werden. Dieser verformbare
Laserspiegel ist für das Senden und Empfangen eines Laserstrahls außerhalb des
eigentlichen Hochleistungslasers konzipiert, eines Laserstrahls von erheblich
größerem Strahldurchmesser als dem im Inneren eines Lasererzeugers. Es ist
dieses Prinzip daher nicht in das Laserinnere übertragbar, da im
Strahlerzeugungsweg erheblich kleinere Strahlendurchmesser auftreten, so daß
die hierfür wirksame Spiegelfläche zu klein ist, um mehrere Aktuatoren in
vorstehender Weise nebeneinander am Spiegel angreifen zu lassen.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung der gattungsgemäßen Art zu
schaffen, die es ermöglicht, mit wirtschaftlich vertretbarem Aufwand den im
Laserinneren angeregten Laserstrahl während der Betriebsdauer stets zu
optimieren, um somit die Laserleistung bei gegebener Baugröße zu erhöhen, bzw.
einen vorgegebenen Strahlen-Mode beizubehalten.
Diese Aufgabe wird gelöst durch die Merkmale des Anspruchs 1.
Dadurch, daß gezielt die Brennweite des Spiegels variiert wird, können
Störeinflüsse vielfältiger Art bei der Strahlanregung und Umlenkung ständig
korrigiert werden, wobei der mechanische Aufwand gegenüber der herkömmlichen
reinen Spiegelkühlung minimal ist. Dabei tritt ein Synergieeffekt insofern ein, als
die Strahlenoptimierung zufolge der anpaßbaren Spiegelwölbung eine höhere
spezifische Strahlenenergie zur Folge hat, die eine stärkere Erwärmung des
Spiegels bewirkt. Diese aber wird über die dünne Spiegelscheibe rascher und
effektiver auf das unmittelbar an ihrer Rückseite zirkulierende Kühlmedium
übertragen und abgeführt. Effektive Kühlung und Strahlenoptimierung ergänzen
sich zu einem Hochleistungslasersystem hoher spezifischer Leistung.
Die Ausgestaltung nach Anspruch 2 bewirkt eine besonders gute Wärmeleitung in
Verbindung mit einer guten Biegbarkeit des Spiegels. Der Spiegel erhält außerdem
die nötige Reflexionseigenschaft ohne aufgedampfter Reflexschicht (z. B. Gold),
womit etwaige Ablösungserscheinungen solcher Schichten infolge der
Biegebeanspruchung nicht zu befürchten sind.
Mit der Weiterbildung nach Anspruch 3 wird die am stärksten aufgeheizte Zone
des Spiegels mit bestem Wirkungsgrad gekühlt.
Gemäß Anspruch 4 ergibt sich eine weitere Optimierung der Kühlwirkung, da die
Strömungsverteilung gleichmäßiger ist.
Es hat sich gezeigt, daß eine gute Strahlkorrektur gemäß der Ausbildung nach
Anspruch 5 zu erzielen ist.
Gemäß der Ausgestaltung nach Anspruch 6 kann man Einstellungen reproduzieren
und überwachen.
Durch die Weiterbildungen der Ansprüche 7, 8 und 9 erhält man leichter
auswertbare Ergebnisse der Anzeige.
Man kann gemäß Anspruch 10 den Spiegel entweder konkav oder konvex mehr
oder weniger stark ausbeulen oder aber bei entsprechendem Mehraufwand
hinsichtlich des Druckerzeugers auch alle Einstellungen von konkav bis konvex
vorsehen. Dies richtet sich danach, welche Art von Fehler im Laser auftritt und
auskorrigiert werden muß.
Der Anspruch 11 benennt einen technisch gut und ohne großem Aufwand
beherrschbaren Druckbereich.
Gemäß der Weiterbildung nach Anspruch 12 kann man die Biegecharakteristik des
Spiegels gezielt beeinflussen.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben
sich aus der nachfolgenden Beschreibung von in der Zeichnung dargestellten
Ausführungsbeispielen.
Es zeigt:
Fig. 1 eine Vorrichtung mit Fluid-Kühlvorrichtung und Druckerzeuger in
schematischer Darstellung in Verbindung mit einem im Querschnitt
dargestellten Spiegelkopf,
Fig. 2 eine Schemadarstellung des Strahlenweges in einem Laser,
Fig. 3 einen Querschnitt durch einen Spiegel mit nicht konstanter Dicke.
Eine Wand 11 eines im übrigen abgebrochen gezeichneten Flansches 12 hat
koaxial zu einer geometrischen Längsachse 13 eine Durchgangsbohrung 14. In
dieser sitzt ein Spiegelkopf 16. Ein Gehäuse 17 ist kreiszylindrisch zur
geometrischen Längsachse 13 und steckt gasdicht in der Durchgangsbohrung 14.
Auf seine linke Stirnseite 18, die koaxial und radial liegt, ist ein Fassungsring 19
mit Schrauben 21 aufgeschraubt.
Der Fassungsring 19 hat eine nach außen gerichtete Fase 22. Ein Spiegel 23
hat eine Vorderseite 24 und eine Rückseite 26. Die Vorderseite 24 ist poliert.
Sein Randbereich 27 ist bis auf 5 cm Durchmesser vom Fassungsring 19 abgedeckt,
so daß die im Durchmesser darüber hinausstehenden 1,5 cm zur sicheren Fassung
zur Verfügung stehen. Der koaxial zur geometrischen Längsachse 13 verlaufende
Laserstrahl ist 30 mm im Durchmesser, so daß die nicht abgedeckte Vorderseite 24
lediglich zu 75% vom Laserstrahl beaufschlagt wird und Randeigenschaften des
Spiegels 23 vernachlässigt werden können.
Mittels Schrauben 28 ist auf die rückseitige Stirnfläche 29 des Gehäuses 17 ein
im wesentlichen koaxialer Deckel 31 aufgeschraubt, der - wie der Fassungsring 19
und das Gehäuse 17 - recht biegesteif ist. Im Gehäuse 17 rechts vom Spiegel 23
und links vom Deckel 31 befindet sich ein metallischer Druckkörper 32, der einen
topfförmigen Querschnitt hat. Die Außenseite 33, soweit sie der Rückseite 28
gegenüberliegt, hat von dieser einen Abstand, so daß hier ein Hohlraum 33 von
etwa 1 mm Dicke und einem Radius von 5 cm entsteht. Soweit der Druckkörper 32
in seinem äußeren Randbereich dem Fassungsring 19 gegenüberliegt, springt die
Außenfläche 36 um den vorher erwähnten 1 mm weiter nach links. Der Druck
körper 32 ist ein um die geometrische Längsachse 13 erzeugter Rotationskörper,
der gemäß der Zeichnung koaxial zur geometrischen Längsachse 13 ist.
In die Außenfläche 36 ist von links eine Nut 37 eingestochen, in der ein O-Ring 38
liegt. Wird der Druckkörper 32 relativ zum Gehäuse 17, Spiegel 23 und Fassungs
ring 19 nach links gedrückt, dann dichtet nicht nur der O-Ring 38 flüssigkeits
dicht und gasdicht. Vielmehr entsteht zwischen der Ecke 39, gebildet durch den
Sprung zwischen Außenfläche 34 und Außenfläche 36, und der Ecke 41, gebildet
durch die rechte Stirnfläche des Fassungsrings 19 und der etwa 1 mm hohen Durch
gangsbohrung 42 eine exakte Einspannung des Spiegels 23.
Die Außenfläche des zentralen und koaxialen Hohlraums 45 des Druckkörpers 32
hat ein Innengewinde 43. In dieses ist eine Schraube 44 mit Außengewinde 46
geschraubt. Die Schraube 44 hat eine zentrische Durchgangsbohrung 47 und einen
Innensechskant 48, der wegen eines Zentrallochs 49 des Deckels 31 von rechts her
zugänglich ist. Schraubt man die Schraube 44 aus dem Innengewinde 43 heraus,
dann drückt die rechte Stirnfläche 51 der Schraube 44 gegen die linke Fläche 52
des Deckels 31 und dadurch wird der O-Ring 38 samt Außenfläche 36 und Randbereich 27
gegen die rechte Stirnfläche des Fassungsrings 19 gepreßt. Der Druckkörper 32 hat
in seinem Boden 53 eine Zentralbohrung 54. In ihrem rechten Bereich hat diese
ein Innengewinde 56, in das ein Zentralrohr 57 mit seinem Außengewinde 58 ge
schraubt ist. Das Zentralrohr 57 durchquert die Durchgangsbohrung 47 berührungslos.
Die Mündung 59 der Zentralbohrung 54 mündet in den Hohlraum 33. Radial vor der
Außenfläche 36 hat der Druckkörper 32 Außenbohrungen 61, deren Mündungen 62
ebenfalls mit dem Hohlraum 33 kommunizieren. Die Außenbohrungen 61 haben
Innengewinde 63, in die Außenrohre 64 mit deren Außengewinde 66 geschraubt
sind. Die Außenrohre 64 durchqueren den Deckel 31 in passenden Durchgangs
bohrungen 67, so daß die Außenrohre 64 den Druckkörper 32 am Rotieren hindern,
wenn die Schraube 44 herausgeschraubt wird.
Um die gesamte in der Durchgangsbohrung 14 sitzende Einheit in sich verstellen
zu können, hat der Deckel 31 in seinem über das Gehäuse 17 hinausstehenden
Rand drei winkelmäßig gleich verteilte Durchgangsbohrungen 68, in die Schrauben 69
eingeschraubt sind, deren Gewinde in Gewindebohrungen 71 der Wand 11 sitzen. Zwischen
dem Kopf 72 und dem Deckel 31 sitzen Tellerfedern 73. Durch die drei winkel
mäßig gleichmäßig verteilten Schrauben 69 wird damit der Deckel 31 und somit
der ganze Spiegelkopf 16 nach links gedrängt. In ebenfalls gleichmäßiger winkel
mäßiger Verteilung sind im Randbereich des Deckels 31 drei Gewindedurchgangs
bohrungen 74 vorgesehen, in die Einstellschrauben 76 eingeschraubt sind, welche
mit ihrem Fuß 77 gegen Steine 78 drücken, welche an der Wand 11 befestigt sind.
Durch Verdrehen der drei Einstellschrauben 76 kann man die geometrische Längs
achse 13 des Spiegelkopfs 16 insgesamt verstellen. Mit einem Rad 80 kann in
einem Druckerzeuger 79 der Druck bis zu 8 Bar verstellt werden. Der Druck,
geeicht in Brennweite-Werten, wird in einer Anzeige 81 angezeigt. Der Druck
erzeuger 79 liefert über eine Leitung 82 Wasser an einen Kühler 83, der dieses
Wasser über eine Leitung 84 zu dem Zentralrohr 57 leitet. Aus dessen Mündung 59
gelangt es in den Hohlraum 33. Für diesen Fall des Überdrucks wird der Spiegel 23
bei 8 Bar um 35 µm dort nach links gedrückt, wo ihn die geometrische Längsachse 13
durchdringt. Das Wasser fließt im Hohlraum 33 scheibenförmig nach außen bis
zu den Mündungen 62 und gelangt dann wieder über die Außenrohre 64 und
Leitungen 86 zum Druckerzeuger 79 zurück.
Gemäß Fig. 2 handelt es sich um einen dreifach gefalteten Laser mit einem
100%-Endspiegel 87 und einem teilweise durchlässigen Endspiegel 88. Drei
Spiegelköpfe sind von üblicher Form und es ist ein Spiegelkopf 16 gemäß der
Erfindung vorgesehen. Mit diesem allein wird der Laserstrahl 91 korrigiert.
Gemäß Fig. 3 hat man einen Spiegel 92, dessen Vorderseite 93 nach wie vor
plan eben und poliert ist. Seine Rückseite ist im Bereich des Fassungsrands 94
nach wie vor parallel zur Vorderseite 93. Soweit er jedoch einwärts von den
Ecken 39, 41 (Fig. 1) liegt, hat er eine konkav geformte Rückseite 96, deren dünnste
Stelle in der geometrischen Längsachse 13 liegt.
Die Durchbiegung der Spiegel 23, 92 kann man am Rad 78 von Hand einstellen.
Man kann aber auch eine nicht dargestellte Rückkopplungsvorrichtung verwenden,
die die Qualität des Laserstrahls 91 erfaßt und während des Laufbetriebs des
Lasers den Druckerzeuger 79 so regelt, daß der Druck den Spiegel 23, 92 nach
Bedarf einbeult oder ausbeult.
Claims (12)
1. Vorrichtung mit einem Spiegelkopf zur Verwendung in einem Laser hoher
Leistung,
mit einem metallischen Spiegel, der eine spiegelnde Vorderseite mit einer freiliegenden Zentralregion, einen diesen umgebenden Außenrand und eine Rückseite aufweist,
mit einer Halterung des Außenrandes im Spiegelkopf,
mit einer Fluid-Leitungsvorrichtung im Spiegelkopf, umfassend einen an die Rückseite des Spiegels unmittelbar anschließenden Hohlraum, eine in den Hohlraum mündende Fluid-Zuleitung und eine aus dem Hohlraum führende Fluid-Ableitung, welche Fluid-Leitungsvorrichtung an eine Fluid-Kühlvorrichtung anschließbar ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zentralregion des Spiegels (23) als im Verhältnis zu ihrem Durchmesser dünne Scheibe ausgebildet ist, so daß die Zentralregion senkrecht zur Vorderseite (24) gebogen werden kann nach Maßgabe des Fluiddrucks im Hohlraum (33)
und daß die Fluid-Leitungsvorrichtung (54, 57, 61, 64, 84, 86) an einen Druckerzeuger (79) anschließbar ist, mit einer Druckeinstellvorrichtung zur Einstellung des Fluiddrucks im Hohlraum (33).
mit einem metallischen Spiegel, der eine spiegelnde Vorderseite mit einer freiliegenden Zentralregion, einen diesen umgebenden Außenrand und eine Rückseite aufweist,
mit einer Halterung des Außenrandes im Spiegelkopf,
mit einer Fluid-Leitungsvorrichtung im Spiegelkopf, umfassend einen an die Rückseite des Spiegels unmittelbar anschließenden Hohlraum, eine in den Hohlraum mündende Fluid-Zuleitung und eine aus dem Hohlraum führende Fluid-Ableitung, welche Fluid-Leitungsvorrichtung an eine Fluid-Kühlvorrichtung anschließbar ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zentralregion des Spiegels (23) als im Verhältnis zu ihrem Durchmesser dünne Scheibe ausgebildet ist, so daß die Zentralregion senkrecht zur Vorderseite (24) gebogen werden kann nach Maßgabe des Fluiddrucks im Hohlraum (33)
und daß die Fluid-Leitungsvorrichtung (54, 57, 61, 64, 84, 86) an einen Druckerzeuger (79) anschließbar ist, mit einer Druckeinstellvorrichtung zur Einstellung des Fluiddrucks im Hohlraum (33).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (23)
aus einer Kupferlegierung besteht und seine Vorderseite (24) poliert ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Fluid-Zuleitung (54, 57) ihre Mündung (59) im Mittenbereich der Rückseite (26)
des Spiegels (23) hat und die Mündung (62) der Fluid-Ableitung (61, 64) im
Randbereich des Hohlraums (33) liegt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere
Fluid-Ableitungen (61, 64) vorgesehen sind, deren Mündungen (62)
winkelmäßig regelmäßig verteilt sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elastizität des
Spiegels (23) einen Wert hat, bei dem sich die Mitte des Spiegels um mehrere
10 µm verbiegt, wenn der volle Fluiddruck im Hohlraum (33) anliegt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine
Druck-Anzeigevorrichtung (81) vorgesehen ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeige der
Druck-Anzeigevorrichtung (81) in Spiegel-Verbiegezustands-Werten geeicht
ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß diese Werte die
Ausbeulung des Spiegels (23) in seinem Mittenbereich repräsentieren.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß diese Werte die
jeweilige Brennweite des Spiegels (23) repräsentieren.
10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Druckerzeuger (79) negativen und/oder positiven Druck relativ zum
Umgebungsdruck an der Vorderseite (24) des Spiegels (23) erzeugt.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der positive
Druck im Bereich von 10⁵ Pascal liegt.
12. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des
Spiegels (92) zumindest im Mittenbereich nicht konstant ist.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3900467A DE3900467C2 (de) | 1989-01-10 | 1989-01-10 | Vorrichtung mit einem Spiegelkopf |
CH4414/89A CH680542A5 (de) | 1989-01-10 | 1989-12-08 | |
GB8928633A GB2232526B (en) | 1989-01-10 | 1989-12-19 | High power laser apparatus |
JP1345038A JP3072519B2 (ja) | 1989-01-10 | 1989-12-29 | レーザミラーヘッド |
FR9000170A FR2641618B1 (fr) | 1989-01-10 | 1990-01-09 | Tete a miroir pour laser |
IT83303A IT1238970B (it) | 1989-01-10 | 1990-01-09 | Testa di specchio per laser |
US07/462,602 US5020895A (en) | 1989-01-10 | 1990-01-09 | Laser mirror head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3900467A DE3900467C2 (de) | 1989-01-10 | 1989-01-10 | Vorrichtung mit einem Spiegelkopf |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3900467A1 DE3900467A1 (de) | 1990-07-26 |
DE3900467C2 true DE3900467C2 (de) | 1995-09-07 |
Family
ID=6371784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3900467A Expired - Lifetime DE3900467C2 (de) | 1989-01-10 | 1989-01-10 | Vorrichtung mit einem Spiegelkopf |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5020895A (de) |
JP (1) | JP3072519B2 (de) |
CH (1) | CH680542A5 (de) |
DE (1) | DE3900467C2 (de) |
FR (1) | FR2641618B1 (de) |
GB (1) | GB2232526B (de) |
IT (1) | IT1238970B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112013007410B4 (de) * | 2013-10-15 | 2020-01-30 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Kühlsystem für ein optisches Element einer Laseranlage und Anordnung einer Laseranlage mit einem Kühlsystem |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2862032B2 (ja) * | 1991-10-01 | 1999-02-24 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振装置 |
DE4137832A1 (de) * | 1991-11-16 | 1993-05-19 | Kugler Gmbh Feinmechanik & Opt | Vorrichtung zum lagern einer gesteuert deformierbaren platte geringer dicke, insbesondere eines spiegels als reflektionseinrichtung fuer laserstrahlen o. dgl. |
DE4304059A1 (de) * | 1993-02-11 | 1994-08-18 | Diehl Gmbh & Co | Spiegeleinrichtung mit einem deformierbaren Spiegelelement |
DE9409869U1 (de) * | 1994-06-17 | 1995-10-12 | Diehl GmbH & Co, 90478 Nürnberg | Deformierbarer Spiegel, insbesondere für eine Laserstrahl-Materialbearbeitungseinrichtung |
DE4428194C2 (de) * | 1994-08-09 | 1998-02-12 | Rofin Sinar Laser Gmbh | Lasersystem mit einer kompensierten Spiegeloptik |
JP3138613B2 (ja) * | 1995-05-24 | 2001-02-26 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
US5828690A (en) * | 1995-12-18 | 1998-10-27 | General Electric Company | Unitary body laser head |
JP3844848B2 (ja) | 1997-06-24 | 2006-11-15 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工機 |
DE19832343A1 (de) * | 1998-07-19 | 2000-02-03 | Bea Martin | Vorrichtung zum Lagern einer gesteuert deformierbaren Platte geringer Dicke, insbesondere eines Spiegels als Reflexionseinrichtung für Laserstrahlen o. dgl. |
JP3219072B2 (ja) * | 1999-02-17 | 2001-10-15 | 住友電気工業株式会社 | レーザビーム用形状可変鏡 |
US6392791B1 (en) | 1999-10-25 | 2002-05-21 | University Of Alabama In Huntsville | Optical system and method for performing a defined function on an optical beam having at least one of a minimized volume or reduced operating temperature |
US6467915B2 (en) * | 2000-01-19 | 2002-10-22 | Diehl Munitionssysteme Gmbh & Co. Kg | Deformable mirror, in particular for a laser beam material machining apparatus |
ATE478454T1 (de) | 2000-08-31 | 2010-09-15 | Trumpf Laser & Systemtechnik | Gaslaser |
DE10052250A1 (de) * | 2000-10-21 | 2002-04-25 | Lt Ultra Prec Technology Gmbh | Spiegel, insbesondere adaptiver Spiegel |
US20070248307A1 (en) * | 2002-10-04 | 2007-10-25 | Page David J | Transparent light emitting members and method of manufacture |
ATE355543T1 (de) | 2002-11-29 | 2006-03-15 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh | Spiegel einer laserbearbeitungsmaschine |
JP3730223B2 (ja) | 2003-01-31 | 2005-12-21 | ファナック株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
DE202005006838U1 (de) * | 2005-04-29 | 2006-08-31 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Optisches Modul zum Einbau in den Laser einer Laserbearbeitungsmaschine |
EP1896914B1 (de) | 2005-06-24 | 2014-12-24 | TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Adaptiver spiegel einer optik einer laserbearbeitungsmaschine |
US7664159B2 (en) * | 2007-07-31 | 2010-02-16 | Coherent, Inc. | Thermal distortion compensation for laser mirrors |
US8201954B2 (en) * | 2009-01-08 | 2012-06-19 | Coherent, Inc. | Compensation for transient heating of laser mirrors |
DE102013102736A1 (de) | 2013-03-18 | 2014-09-18 | Karsten Schuhmann | Dampfdruck kontrollierter adaptiver Spiegel |
DE102013008647B4 (de) | 2013-05-21 | 2019-02-21 | Lt-Ultra Precision Technology Gmbh | Laserbearbeitungsvorrichtung mit zwei adaptiven Spiegeln |
DE102013008646B4 (de) | 2013-05-21 | 2020-06-10 | Lt-Ultra Precision Technology Gmbh | Adaptiver Spiegel für eine Laserbearbeitungsvorrichtung |
DE202013004724U1 (de) | 2013-05-21 | 2013-06-04 | Lt-Ultra Precision Technology Gmbh | Adaptiver Spiegel für eine Laserbearbeitungsvorrichtung |
US9360600B2 (en) * | 2013-11-20 | 2016-06-07 | Asml Netherlands B.V. | System and method for correcting the focus of a laser beam |
US9380691B2 (en) | 2014-02-28 | 2016-06-28 | Asml Netherlands B.V. | Adaptive laser system for an extreme ultraviolet light source |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3641354A (en) * | 1967-03-08 | 1972-02-08 | Jack De Ment | Optical modulation by fluidic optics utilizing chromatic aberration |
US3581227A (en) * | 1968-04-18 | 1971-05-25 | Honeywell Inc | Adjustable, thin membrane mirror for use in the stabilization of ring lasers |
US3514776A (en) * | 1968-05-27 | 1970-05-26 | United Aircraft Corp | Mirror device |
US3644020A (en) * | 1970-03-06 | 1972-02-22 | United Aircraft Corp | Variable contour reflector with cooling system |
US3836236A (en) * | 1972-11-24 | 1974-09-17 | Gte Sylvania Inc | Mirror mount for high power lasers |
US3926510A (en) * | 1973-01-11 | 1975-12-16 | Avco Everett Res Lab Inc | Mirror for high power lasers |
US3909118A (en) * | 1974-03-04 | 1975-09-30 | Textron Inc | Fluid cooled mirror |
US3923383A (en) * | 1974-06-12 | 1975-12-02 | Caterpillar Tractor Co | Fluid-cooled laser mirror |
US3986768A (en) * | 1974-11-04 | 1976-10-19 | Caterpillar Tractor Co. | Center cooled laser mirror |
FR2343262A1 (fr) * | 1976-03-05 | 1977-09-30 | Anvar | Miroirs a focale variable par elasticite et procedes d'obtention |
US4175834A (en) * | 1978-04-24 | 1979-11-27 | United Technologies Corporation | Laser mirror with coolant fluid transfer manifold |
US4175835A (en) * | 1978-07-20 | 1979-11-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Floating head laser mirror assembly |
US4190327A (en) * | 1978-10-16 | 1980-02-26 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Deformable liquid mirror |
JPS56121277U (de) * | 1980-02-18 | 1981-09-16 | ||
JPS576804A (en) * | 1980-06-17 | 1982-01-13 | Toshiba Corp | Light reflection method |
JPS5772105A (en) * | 1980-10-22 | 1982-05-06 | Agency Of Ind Science & Technol | Cooling type total reflecting mirror |
US4422723A (en) * | 1981-08-11 | 1983-12-27 | Lajet Energy Company | Adjustable reflector with imperforate reflective membrane |
JPS59168685A (ja) * | 1983-03-14 | 1984-09-22 | Derufuai:Kk | 水冷型レ−ザ反射鏡 |
JPS6088485A (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-18 | Mochida Pharmaceut Co Ltd | レ−ザ−共振器 |
GB8403274D0 (en) * | 1984-02-08 | 1984-03-14 | Univ Strathclyde | Optical mirrors |
DE3502025A1 (de) * | 1985-01-23 | 1986-07-24 | Diehl GmbH & Co, 8500 Nürnberg | Verformbarer spiegel |
DE3502024A1 (de) * | 1985-01-23 | 1986-07-24 | Diehl GmbH & Co, 8500 Nürnberg | Verformbarer spiegel |
FR2584824B1 (fr) * | 1985-07-10 | 1987-09-25 | Commissariat Energie Atomique | Miroir deformable |
GB2183059B (en) * | 1985-11-05 | 1989-09-27 | Michel Treisman | Suspension system for a flexible optical membrane |
JPH0614565B2 (ja) * | 1985-11-25 | 1994-02-23 | 三菱電機株式会社 | ガスレ−ザ装置 |
JPS63146479A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-06-18 | Amada Co Ltd | レ−ザビ−ムの発散角調整方法および装置 |
JPS63205976A (ja) * | 1987-02-23 | 1988-08-25 | Toshiba Corp | レ−ザ発振器 |
US4934803A (en) * | 1989-10-12 | 1990-06-19 | Litton Systems, Inc. | Differential pressure deformable mirror |
-
1989
- 1989-01-10 DE DE3900467A patent/DE3900467C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-08 CH CH4414/89A patent/CH680542A5/de not_active IP Right Cessation
- 1989-12-19 GB GB8928633A patent/GB2232526B/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-29 JP JP1345038A patent/JP3072519B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-01-09 US US07/462,602 patent/US5020895A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-01-09 IT IT83303A patent/IT1238970B/it active IP Right Grant
- 1990-01-09 FR FR9000170A patent/FR2641618B1/fr not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112013007410B4 (de) * | 2013-10-15 | 2020-01-30 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Kühlsystem für ein optisches Element einer Laseranlage und Anordnung einer Laseranlage mit einem Kühlsystem |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2232526B (en) | 1993-08-18 |
US5020895A (en) | 1991-06-04 |
JP3072519B2 (ja) | 2000-07-31 |
IT9083303A1 (it) | 1991-07-09 |
DE3900467A1 (de) | 1990-07-26 |
CH680542A5 (de) | 1992-09-15 |
GB2232526A (en) | 1990-12-12 |
IT1238970B (it) | 1993-09-17 |
JPH02231779A (ja) | 1990-09-13 |
FR2641618B1 (fr) | 1994-05-06 |
IT9083303A0 (it) | 1990-01-09 |
FR2641618A1 (fr) | 1990-07-13 |
GB8928633D0 (en) | 1990-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3900467C2 (de) | Vorrichtung mit einem Spiegelkopf | |
DE19733496B4 (de) | Lampenaufbau | |
DE2451018C3 (de) | Injektions-Halbleiterlasereinrichtung | |
DE2908195C2 (de) | Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks mit einem Laserstrahl | |
DE10207928A1 (de) | Lampenanordnung | |
EP0710551B1 (de) | Vorrichtung zur Herstellung einer Druckschablone | |
DE3339076A1 (de) | Gekuehlter spiegel, insbesondere fuer laser | |
DE3303241C2 (de) | ||
EP0421135A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Position und des Durchmessers des Brennflecks (Fokus) eines Laserstrahls, insbesondere zur Verwendung für die Werkstoffbearbeitung mit einem Hochleistungs-Laserstrahl | |
DE69738632T2 (de) | Lasergerät | |
DE2717299C2 (de) | Vorrichtung zur Aufnahme und zum Antrieb eines Polygonspiegels | |
DE3876452T2 (de) | Optisches system fuer lasermarkierung. | |
EP1328838B1 (de) | Adaptiver spiegel mit kühlkanälen | |
DE2832117C2 (de) | ||
EP1324079A2 (de) | Verformbarer Spiegel | |
DE10109061A1 (de) | Lampenanordnung | |
DE19840934A1 (de) | Anordnung zum Entfernen von Material, das durch eine Laserstrahlungsquelle bei der Materialbearbeitung von einer Bearbeitungsfläche abgetragen wird | |
DE68910110T2 (de) | Entladungsrohr für gaslaseranordnung. | |
EP1599757A1 (de) | Verfahren, anordnung und beeinflussungseinheit für die anordnung zur veränderung einer wellenfront eines optischen strahls | |
EP0168777B1 (de) | Röntgenröhre | |
DE10297656T5 (de) | Festkörper-Laservorrichtung vom Stabtyp | |
EP0678705B1 (de) | Bestrahlungsvorrichtung | |
DE69304639T2 (de) | Verformbarer spiegel und korrespondierende lasereinrichtung | |
DE1564619C3 (de) | Optischer Sender (Laser) | |
DE29816109U1 (de) | Anordnung zum Entfernen von Material, das durch eine Laserstrahlungsquelle bei der Materialbearbeitung von einer Bearbeitungsfläche abgetragen wird |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH, 71254 DI, DE |