Hintergrund der Erfindung
1. Technisches Gebiet der Erfindung
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Diese Erfindung betrifft die Elektronenstrahllithographie und
insbesondere ein Korrektursystem zur Eliminierung der
Auswirkungen der Höhenunterschiede der Wafer- oder Maskenoberfläche.
Solche Unterschiede bewirken eine Verschlechterung der Fokussierung
(Bildqualität), eine Vergrößerung der Abweichungen und eine
Drehung (nicht vorgesehenes Beschreiben).
2. Beschreibung des Standes der Technik
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Das mit "Automatic Focus and Deflection Correction in E-Beam
System Using Optical Target Height Measurements" betitelte US-
Patent 4 468 565 von Blair et al beschreibt ein bekanntes
Autofokussierungssystem. Der besondere Teil dieses Systems, der
durch diese Erfindung verbessert wurde, ist das elektronische
Teilsystem für die Autofokussierung. Der Oberbegriff des
Anspruchs 1 entspricht der EP-A-83 413.
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Fig. 1 zeigt die Schnittstelle des optischen Teilsystems
zwischen der Optik des Systems und dem elektronischen Teilsystem.
Das optische System umfaßt im wesentlichen Einrichtungen zur
Übertragung von Lichtstrahlen, die speziell an die besonderen
Bedingungen einer Belichtungseinrichtung für Elektronenstrahlen
angepaßt sind. Das in Fig. 1 gezeigte optische System genügt den
Anforderungen der Elektronenstrahltechnik.
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Mittels der Lichtquelle wird das Bild eines Spaltes auf der
Oberfläche des Objektes abgebildet. Dieses Bild des Spaltes wird
durch die in Fig. 1 gezeigte Optik vom Objekt reflektiert und
auf dem Umsetzer für Lichtstrahlen, d. h. auf einem
lichtempfindlichen Sensor, abgebildet. Dieser lichtempfindliche Sensor
wandelt das Bild in ein Bildsignal um. Dieses Bildsignal wird
von der Elektronik für die Autofokussierung verarbeitet, um die
Höhe des Objektes zu bestimmen. Wie in Fig. 1 gezeigt, bewirken
Veränderungen der Z-Koordinate der Objektoberfläche 15 um einen
positiven oder negativen Betrag Delta z, daß sich die
Abbildung 16 des Spaltes vertikal von der Position 9 zu der
Position 9' verschiebt. Diese Korrelation zwischen der linearen
Positionsverschiebung des Bildsignals auf dein Sensor in
Abhängigkeit von der Höhenveränderung ermöglicht die Messung der Höhe
des Objektes.
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Das elektronische Teilsystem der Autofokussierung des genannten
Patentes verwendet das typische Bildausgangssignal der
Diodenmatrix 28 aus Fig. 3 als Eingangssignal. Fig. 2 zeigt dieses
Ausgangssignal. Das Ausgangssignal der Diodenmatrix 28 weist
einen oberen Umschaltpegel auf, der durch einen Komparator 37
festgelegt wird, um zu bestimmen, welche der Dioden N1, N2,
... Nn (es sind n-Dioden vorhanden) der Matrix 28 der
Vorderflanke und welche der Hinterflanke des Lichtstrahles entspricht.
Die Diode N1 kann beispielsweise der Vorderflanke entsprechen,
während die Diode N2 der Hinterflanke entspricht. Das
elektronische Teilsystein benutzt das Ausgangssignal der Diodenmatrix und
wandelt, wie in Fig. 2 gezeigt, dieses Ausgangssignal in Signale
um, die für die Korrektur des Brennpunkts und der Ablenkung des
Elektronenstrahls benötigt werden. Darüber hinaus wird der Pegel
des Sensorsignals durch das elektronische Teilsystem aus Fig. 3
so eingestellt, daß sich verändernde Bedingungen wie ein
Verändern der Reflektivität der Objektoberfläche ausgeglichen werden.
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Bezugnehmend auf Fig. 3 wird im folgenden das bekannte
Teilsystem der Elektronik für die Autofokussierung ausführlicher
beschrieben. Das in Fig. 2 gezeigte Bildausgangssignal der in
Fig. 3 gezeigten Diodenmatrix 28 wird zunächst einem
Differenzverstärker 32 und dann einem Steuerwiderstand 33 für die
Einstellung
des Verstärkungsfaktors zugeführt. Ein
Nullinien-Regelkorrektursignal wird dann in der Addiererschaltung 34 des
Verstärkers 35 zu dem Bildsignal addiert.
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Die Nullinienregelung 36 ist für die Korrektur der
Gleichspannungsdrift der Verstärker 32 erforderlich, die das Ergebnis
einer hohen Gleichspannungsverstärkung ist, die zur Verstärkung
des schwachen Diodensignals notwendig ist, um dieses auf einen
Pegel anzuheben, der mit den in Fig. 3 gezeigten Komparator 37
verarbeitet werden kann. Das erhaltene Bildausgangssignal 38 ist
dann mit dem in Fig. 2 gezeigten identisch, wobei der
Umschaltpegel in einem Komparator 37 benutzt wird, um zu bestimmen,
welche Diode (N1) der Vorderflanke des Lichtstrahls entspricht und
welche Diode (N2) der Hinterflanke des Lichtstrahls entspricht,
der in Fig. 2 gezeigt ist.
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Das System in Fig. 3 verwendet Logikschaltungen 39, die
einerseits das Ausgangssignal des Komparators 37 und andererseits das
Ausgangssignal des Taktgebers 40 empfangen, um eine Anzahl
Zählimpulse zu erzeugen, die gleich der Anzahl der Dioden ist, die
sich zwischen dem Anfang der Diodenmatrix 28 und der Mitte des
Lichtstrahls befinden. Eine Ausgangsstufe 41 empfängt den
Zählimpuls zusammen mit einem Rücksetz-Signal und einem
Abtast-Signal.
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Die Ausgangsstufe 41 führt mehrere Funktionen aus. Zunächst
setzt sie die serielle Zählimpulsfolge der Logikschaltungen 39
in ein Wort in Form eines parallelen Ausgangssignals um, daß
einem nicht gezeigten Steuercomputer zugeführt wird. Die
Ausgangsstufe enthält auch einen Digital-Analog-Wandler, der ein
analoges Ausgangssignal erzeugt, das unmittelbar zur Brennpunkt
korrektur des Elektronenstrahls verwendet wird. Diese beiden
Ausgangssignale sind in Fig. 3 gezeigt.
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Die Höhenwerte, die an den Computer und an den Treiber der
Brennpunkt-Spule der Elektronenstrahlanordnung gesendet werden,
werden periodisch aktualisiert, wenn an den Strobe- und
Rücksetz-Leitungen
Impulse anliegen.
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Fig. 3 zeigt ein Eingangssignal zu den Logikschaltungen 39 in
Form eines "Computer"-C-Zyklusses. Dies Eingangssignal zeigt an,
daß sich das Elektronenstrahlsystem in einem Modus befindet, in
dem sich der Tisch bewegt, und daß sich das System in einem
Betriebszustand befindet, in dem eine Aktualisierung der
Ausgangssignale für die Autofokussierung stattfinden kann. In dem
Modus, in dem sich der Tisch bewegt, wird weder ein Schreiben
noch eine Aufzeichnung der Systemdaten vorgenommen, sondern eine
mechanische Einstellung bezüglich des Werkstücks, die eine
Aktualisierung der Ausgangssignale für die Autofokussierung
ermöglicht. Dementsprechend wird unter Verwendung des
C-Zyklus-Eingangssignals in den Logikschaltungen 39 eine Aktualisierung zu
dem Zeitpunkt der Signalverarbeitung vorgenommen, zu dem keine
wesentliche Einwirkung auf den Elektronenstrahl stattfindet.
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Fig. 3 zeigt eine Amplitudenregelung 42, die entsprechende
Eingangssignale vom Taktgeber und Zähler 40 und der
Nullinienregelung 36 empfängt. Die Amplitudenregelung 42 wird benutzt, um die
Wirkung verschiedener Fotolacke und unterschiedlicher Reflektion
aufgrund verschiedener Fotolacke und verschiedener Strukturen
auf den Wafern auszugleichen. Die Amplitudenregelung 42 wird
auch benutzt, um die Drift des Ausgangssignals der LED-Matrix
und die Drift des Verstärkungsfaktors auszugleichen. Ferner
benutzt man die Amplitudenregelung um das Ausgangssignal der Diode
mit der stärksten Lichteinstrahlung zu messen und um zu
bestimmen, ob dieses Signal die richtige Amplitude aufweist. Ist das
Ausgangssignal zu klein, so erhöht die Amplitudenregelung 42 die
Zeitdauer zwischen den Startimpulsen, die der Diodenmatrix 28
zugeführt werden. Eine Erhöhung der Zeitdauer zwischen den
Startimpulsen ermöglicht den Dioden in der Matrix 28 den Empfang
von Lichtstrahlen über einen längeren Zeitabschnitt hinweg, so
daß diese beim Auslesen ein größeres Signal aufweisen. Ist das
Signal andererseits zu groß, so wird die Zeitdauer zwischen den
Startimpulsen erniedrigt, was zu einer Erniedrigung der
Ausgangsamplituden führt. Wenn die Amplitudenregelung 42 kein
Signal detektiert, wird ein Ausgangssignal an die Ausgangsstufe 41
abgegeben, das anzeigt, daß kein Wafer vorhanden ist. Als Folge
davon schaltet die Ausgangsstufe auf die vorprogrammierten
Voreinstellungswerte um, die in den Vorwählschalter 43 gespeichert
sind.
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Wie in Fig. 3 gezeigt, liefert die Ausgangsstufe 41 ein
digitales Ausgangssignal an die Steuereinheit des Computers. Das
Ausgangssignal, das beschrieben wird, entspricht der gemessenen
Höhe des Chips. Der Computer benutzt dann diesen Wert, um
Korrekturwerte für die Vergrößerung und Drehung der magnetischen
Ablenkung zu berechnen und einzugeben, die der während des nicht
aufgezeichneten Auslesens gemessenen Höhe entspricht.
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Wie in Fig. 3 gezeigt ist, liefert die Ausgangsstufe 41 auch ein
analoges Signal, das unmittelbar und automatisch benutzt wird,
um den Brennpunkt des Elektronenstrahls für die verschiedene
Höhen jedes einzelnen Chips auf dem Wafer einzustellen.
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Die mit dem bekannten elektronischen Teilsystem für die
Autofokussierung erreichte Auflösung wird durch die benutzten
Schaltungen des Signalverarbeitungsteils begrenzt. Erstens ist es mit
der Signalverarbeitungsschaltung, die zum Auslesen des Umsetzers
für die Lichtstrahlen benutzt wird, nicht möglich, einen
Rauschabstand zu erzielen, der für den Betrieb bei dieser Auflösung
gebraucht wird.
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Zweitens ist es mit dem Verfahren, das in einem Teilsystem der
bekannten Patentanmeldung zur Bestimmung der Höhe benutzt wird,
das die Korrekturwerte für den Brennpunkt, die Vergrößerung und
Drehung erzeugt, theoretisch nicht möglich, eine Auflösung
unterhalb von 1 Mikron zu erzielen. Das Teilsystem bestimmt die
Höhe des Objektes auf der Basis der Vorderflanken und der
Hinterflanken des Bildsignals. Das Bildsignal wird von den
Auslesesignalen diskreter Fotodioden im lichtempfindlichen Sensor
erzeugt. Da die Vorderflanken und die Hinterflanke des Bildsignals
diskrete Stufen aufweisen, besteht nicht die Möglichkeit zur
Interpolation zwischen Dioden. Da der Abstand zwischen den
Dioden einer Höhenveränderung von einem Mikron entspricht, ist es
unmöglich, eine Auflösung zu erhalten, die größer als 1 Mikron
ist.
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Drittens ist es mit der Amplitudenregelung für das Bildsignal,
die bei der bekannten Patentanmeldung benutzt wird, nicht
möglich, die Genauigkeit zu erhalten, die erforderlich ist, um mit
dieser Auflösung zu arbeiten. In der Amplitudenregelung des
bekannten Patents werden digitale Verfahren verwendet, die
bewirken, daß immer dann wenn der Sensor ausgelesen wird, Änderungen
in der Amplitude des Ausgangssignals des Sensors vorgenommen
werden müssen, wobei diese stetigen Amplitudenänderungen des
Ausgangssignals des Sensors es unmöglich machen, mit einer
höheren Auflösung zu arbeiten.
Zusammenfassung der Erfindung
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Das Problem, das mit der vorliegenden Erfindung gelöst werden
soll, besteht darin, die Auflösung eines elektronischen
Signalverarbeitungssystems für ein Autofokussierungssystems mit einem
optischen Teilsystem mit einer linearen Matrix von
lichtempfindlichen Dioden zu verbessern, wobei diese Matrix einen optischen
Impuls empfängt, dessen Position bezüglich der ersten Diode der
Matrix von der Position der Oberfläche eines Objektes abhängig
ist, die in den Brennpunkt einer Anlage für
Elektronenstrahllithographie gebracht werden muß. Das elektronische
Signalverarbeitungssystem ist ausgestattet mit:
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Signalverarbeitungsmitteln für das Verstärken und anschließende
Glätten des Ausgangssignals der Diodenmatrix;
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einer Schaltung für die automatische Amplitudenregelung, die an
die Signalverarbeitungsmittel angeschlossen ist und von diesen
das Ausgangssignal empfängt, damit ein Korrektur-Ausgangssignal
geliefert werden kann, das Ausgangssignal der
Signalverarbeitungsmittel zu stabilisieren, und
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Positionsbestimmungsmittel zur Bestimmung der Position des
Mittelpunkts des optischen Impulses bezüglich der ersten Diode aus
dem Ausgangssignal der lichtempfindlichen Diodenmatrix, wobei
die Positionsbestimmungsmittel mit den
Signalverarbeitungsmitteln und mit der Schaltung für die automatische
Amplitudenregelung verbunden sind und ein analoges Ausgangssignal erzeugen,
das der Position des Mittelpunkts entspricht und Mitteln für die
Brennpunktkorrektur der Elektronenstrahlanlage zugeführt wird.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung sind die
Signalverarbeitungsmittel so angeordnet, daß sie das Ausgangssignal der
lichtempfindlichen Diodenmatrix über einen Strom-Spannungs-Wandler
empfangen, wobei die Schaltung für die automatische
Amplitudenregelung eine analoge Steuerungsschaltung ist, die das
Korrektur-Ausgangssignal nach jedem Paar aufeinanderfolgender
Ausgangssignale der diskreten lichtempfindlichen Diodenmatrix
erzeugt und eines Zeitgebers zuführt, welche die Steuerung eines
elektronischen Signalverarbeitungssystems so einstellt, daß die
Amplitude des Ausgangssignals der Diodenmatrix gesteuert werden
kann, und wobei das Ortsbestimmungsmittel Interpolationsmittel
enthält, welche die Position des Mittelpunkts durch
Interpolation der Ausgangssignale eines Paares aufeinanderfolgender
Ausgangssignale der lichtempfindlichen Diodenmatrix (22; 44) im
Vergleich mit der Hälfte des integrierten, vorausgehenden
Ausgangssignals der lichtempfindlichen Matrix bestimmen.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Fig. 1 ist eine schematische Darstellung, die das optische
System zeigt, das zur Messung der Z-Koordinate der Oberfläche
benutzt wird, und an welches das elektronische Teilsystem
angeschlossen wird.
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Fig. 2 ist ein Diagramm, welches das Bildausgangssignal einer
bekannten Diodenmatrix in Abhängigkeit von der Zeit zeigt,
nachdem dieses durch das elektronische Teilsystem verarbeitet worden
ist.
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Fig. 3 ist ein Blockschaltbild des bekannten elektronischen
Teilsystems für die Autofokussierung.
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Fig. 4 ist ein Blockschaltbild eines elektronischen Teilsystems
für die Autofokussierung gemäß dieser Erfindung.
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Fig. 5 ist das Schaltbild der Steuerung der entfernten
Bildsignalschaltung des elektronischen Teilsystems für die
Autofokussierung.
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Fig. 6 ist ein Blockschaltbild der entfernten
Bildsignalschaltung des elektronischen Teilsystems für die Autofokussierung aus
Fig. 4.
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Fig. 7 ist ein Diagramm, das elektrische Signale zeigt, die im
Signalverarbeitungsabschnitt des elektronischen Teilsystems für
die Autofokussierung aus Fig. 4 verwendet werden.
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Fig. 8 ist ein Blockschaltbild des Signalverarbeitungsabschnitts
des elektronischen Teilsystems für die Autofokussierung.
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Fig. 9 ist ein Diagramm, das die Steuerungssignale im
Signalverarbeitungsabschnitt des elektronischen Teilsystems für die
Autofokussierung zeigt.
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Fig. 10 ist ein Blockschaltbild des Abschnitts für die
Höhenbestimmung im elektronischen Teilsystem für die Autofokussierung.
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Fig. 11 ist ein Diagramm der Steuersignale im Abschnitt für die
Höhenbestimmung im elektronischen Teilsystem für die
Autofokussierung.
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Fig. 12 ist ein Blockschaltbild der digitalen Ausgangsstufe des
elektronischen Teilsystems für die Autofokussierung.
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Fig. 13 ist ein Blockschaltbild der Schaltung für die
automatische Amplitudenregelung des elektronischen Teilsystems für die
Autofokussierung.
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Fig. 14 ist ein Diagramm, das die Steuerungssignale in der
Schaltung für die automatische Amplitudenregelung des
elektronischen Teilsystems für die Autofokussierung zeigt.
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Fig. 15 ist ein Blockschaltbild des Zeitgebers des
elektronischen Teilsystems für die Autofokussierung.
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Die bereits genannten und andere Ziele, Merkmale und Vorteile
dieser Erfindung werden aus der nachfolgenden detaillierteren
Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung
hervorgehen.
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform
Darstellung der Erfindung
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Beschrieben wird ein elektronisches Teilsystem, das in einem
hochauflösendem automatischen System zur Brennpunktkorrektur für
die Elektronenstrahllithographie verwendet wird. Das System zur
automatischen Brennpunktkorrektur ist so aufgebaut, daß es die
Höhe des Objektes so bestimmt, daß Fehler infolge von
Veränderungen in der Höhe des Objektes auf ein Minimum reduziert
werden. Das elektronische Teilsystem wird zur Erzeugung eines oder
mehrerer Ausgangssignale verwendet, die der Höhe des Objektes
entsprechen. Die Höhe des Objektes wird aus einem Signal
bestimmt, das am Ausgang eines lichtempfindlichen Sensors
abgetastet wird. Dieses elektronische Teilsystem weist eine Auflösung
auf, die viermal höher als die aus dem Stand der Technik
bekannte Auflösung ist. Die wesentlichen Elemente dieser Erfindung,
die notwendig sind, um einen Faktor von 4 bei der Verbesserung
der Auflösung zu erhalten, sind die Auflösung der
Höhenbestimmungsschaltung, die Stabilität und Genauigkeit der Schaltung für
die automatische Amplitudenregelung und der Rauschabstand des
Sensorsignals am Eingang der Höhenbestimmungsschaltung.
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Das Schlüsselmerkmal der Höhenbestimmungsschaltung ist deren
Fähigkeit, zwischen den Ausgangssignalen einzelner Fotodioden des
lichtempfindlichen Sensors zu interpolieren. Die
Höhenbestimmungsschaltung ist vorgesehen, um die mittlere Fläche des
Signals des lichtempfindlichen Sensors und anschließend den Ort
dieser mittleren Fläche relativ zum Anfangspunkt der
Ausleseanordnung des lichtempfindlichen Sensors zu bestimmen. Die
Höhenbestimmungsschaltung führt das im folgenden beschriebene
Verfahren aus, um dies erreichen.
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Das erste Signal eines Paares von ausgelesenen Ausgangssignalen
des Sensors wird integriert, um die Fläche des Signals des
lichtempfindlichen Sensors zu bestimmen. Dieser Wert wird dann
durch 2 geteilt, um ein Referenzsignal zu erzeugen, dessen Größe
den Mittelwert der Fläche des Signals des lichtempfindlichen
Sensors darstellt. Während das zweite Signal des Paares der
ausgelesenen Ausgangssignale des Sensors integriert wird, wird das
Ergebnis der Integration mit dem Mittelwert der Fläche
verglichen, der vom zuvor ausgelesenen Ausgangssignal des Sensors
erzeugt worden ist. Wenn der Wert der zweiten Integration gleich
dem Mittelwert der Fläche ist, so hat man den Ort der mittleren
Fläche bestimmt. Dieser Ort stellt die Höhe des Objektes dar.
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Dieses Verfahren zur Höhenbestimmung ermöglicht eine
Interpolation zwischen Signalen, die von einzelnen Fotodioden des
lichtempfindlichen Sensors erzeugt worden sind, weil es die
Ergebnisse zweier analoger Integrationen vergleicht, die linear und
nicht diskret sind. Die Fähigkeit, zwischen von Fotodioden
erzeugten Signalen zu interpolieren, eliminiert den Abstand der
Fotodioden als den bestimmenden Faktor in der Auflösung des
elektronischen Teilsystems für die Autofokussierung. Die
Auflösung des Teilsystems wird dann durch den Rauschabstand am
Eingang der Höhenbestimmungsschaltung und die Stabilität und
Genauigkeit der Schaltung für die automatische Amplitudenregelung
begrenzt. Die Auflösung der bekannten Einrichtung wird durch den
Abstand der Fotodioden und durch den Rauschabstand begrenzt.
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Die Schaltung für die automatische Amplitudenregelung ist
erforderlich, um die Amplitude des Signals des lichtempfindlichen
Sensors über nacheinander ausgelesene Signale des
lichtempfindlichen Sensors aufrechtzuerhalten. Es ist vorgesehen, jedes
zweite ausgelesene Signal des lichtempfindlichen Sensors zu
verarbeiten, um Paare von Sensorsignalen gleicher Amplitude zu
erzeugen. Es ist vorgesehen, das Ausgangssignal des Sensors mit
linearen Amplitudenkorrekturen zu versehen, und nicht mit einer
auf einem diskreten Inkrement beruhenden Einstellung, wie sie
aus dem Stand der Technik bekannt ist. Die Fähigkeit, lineare
Einstellungen der Amplituden vornehmen zu können, ermöglicht
schnelle und genaue Einstellungen der Signalamplitude für große
Abweichungen in der Lichtintensität. Diese kurze Ansprechzeit
ist erforderlich, um die Genauigkeit der
Höhenbestimmungsschaltung aufrechtzuerhalten.
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Wie aus Fig. 1 ersichtlich, verschiebt sich die Position des
Scheitelwertes des Bildsignals nach rechts oder nach links, wie
es die Bezugszeichen 26 und 27 in Fig. 1 verdeutlichen, wenn
sich die Höhe des Objektes nach oben oder nach unten bewegt, wie
es die Bezugszeichen 9 und 9' andeuten. Die Elektronik des
Teilsystems ist so konstruiert, daß die Position des Scheitelwerts
des Bildsignals detektiert werden kann.
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Wie bei dem bekannten System enthält das elektronische
Teilsystem den lichtempfindlichen Sensor und die Teilsystemelektronik,
wie in Fig. 4 gezeigt. Ein Umsetzer 44 für Lichtstrahlen, der
eine in Fig. 6 gezeigte entfernte Bildsignalschaltung mit der in
Fig. 5 gezeigten Steuerung für die Bildsignalschaltung aufweist,
ist mit seinem Ausgang mit dem Teilsystem 45 für die
Signalverarbeitung innerhalb des Autofokussierungssystems 59 verbunden.
Das in Fig. 8 detailliert dargestellte Teilsystem 45 der
Signalverarbeitung ist mit Eingängen für ein Teilsystem 47 für die
Höhenbestimmung und für eine Schaltung 46 für die automatische
Amplitudenregelung ausgestattet. Es empfängt
Steuerungs-Eingangssignale von einem Zeitgeber 48. Das in Fig. 10 detailliert
dargestellte Teilsystem 47 für die Höhenbestimmung liefert, wie
im Detail in Fig. 12 zu sehen, ein Eingangssignal an die
digitale Ausgangsstufe 55, die ihrerseits Eingangssignale an die
analoge Ausgangsstufe 56 und Einrichtungen außerhalb des
Autofokussierungssystems liefert, um ein der Höhe entsprechendes
digitales Datenwort an den Computer 57 zu liefern. Die analoge
Ausgangsstufe liefert ein Ausgangssignal vom
Autofokussierungssystem an die Eingangsschaltung 58 für die dynamische Einstellung
des Brennpunkts des Elektronenstrahlsystems. Die Schaltung 46
für die automatische Amplitudenregelung, die in Fig. 13
detailliert dargestellt ist, weist einen Ausgang auf, der mit dem
Zeitgeber verbunden ist, und empfängt Steuerungs-Eingangssignale
vom Zeitgeber. Der Zeitgeber 48 liefert ein Ausgangssignal an
das Teilsystem 47 für die Höhenbestimmung.
ZEITGEBER, ENTFERNTE BILDSIGNALSCHALTUNG UND
TEILSYSTEME DER SIGNALVERARBEITUNG
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Der in Fig. 5 gezeigte lichtempfindliche Sensor enthält eine
Zeile aus 512 Fotodioden 51 und die notwendige
Umschalteinrichtung 52 für das sequentielle Auslesen der Dioden 51. Ein
Startimpuls 53, der einen Ausleseschritt startet, und eine Folge von
Taktimpulsen 54, von denen jeder das Auslesen einer
entsprechenden einzelnen Diode 51 steuert, bilden die Eingangssignale des
Sensors. Das Ausgangssignal des Sensors 44 aus Fig. 4 ist ein
Bildsignal, daß die Position des auftreffenden Lichtstrahls
relativ zur Position der Diodenzeile zeigt. Das Ausgangssignal des
lichtempfindlichen Sensors wird durch die
Signalverarbeitungsschaltung 47 im elektronischen Teilsystems verarbeitet, das zur
Verstärkung und Glättung des Ausgangssignals des
lichtempfindlichen Sensors 44 dient.
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Wie in Fig. 6 gezeigt, sind das Bildausgangssignal 61 und
Hilfsausgangssignal 64 des lichtempfindlichen Sensor 60, Ströme, von
denen jeder in eine Spannung umgewandelt wird, wobei
Ladeverschiebungs-Strom-Spannungswandler 62 und 65 verwendet werden.
Die Ausgangssignale der Strom-Spannungswandler 62 und 65
bestehen
aus einer Folge von Spannungsspitzen 71, die in Fig. 7
dargestellt sind. Jede Spannungsspitze 71 stellt das Ausgangssignal
einer der 512 Fotodioden innerhalb des Sensors 60 dar. Diese
Folge von Spannungsspitzen 71 wird durch Verstärker 63 und 66,
wie in Fig. 6 gezeigt, verstärkt und über Leitungen 83 und 82,
wie im Zusammenhang mit Fig. 8 gezeigt, der Elektronik des
Teilsystems zugeführt. Der Sensor erzeugt ein Bildsignal, das der
auf den Sensor auftreffende Lichtstrahl und das Rauschen des
Umschaltvorgangs am Sensor verursachen, und ein Hilfssignal, das
lediglich das Rauschen des Sensors ist. Die Elektronik des
Teilsystems empfängt das Bildsignal und das Hilfssignal am Eingang
eines Differenzverstärkers 81, den Fig. 8 zeigt.
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Dieses Signalverarbeitungsverfahren unterscheidet sich von
bekannten Verfahren durch die Technik, einen Ladeverschiebungs-
Strom-Spannungswandler zu benutzen. Der Ladeverschiebungs-Strom-
Spannungswandler benutzt einen Kondensator, um das Stromsignal
des lichtempfindlichen Sensors in ein Spannungssignal am Ausgang
eines Verstärkers umzuwandeln. Diese Technik erhöht die
Amplitude des am Eingang der Elektronik des Teilsystems vorhandenen
Ausgangssignal im Vergleich zu Ausgangssignalen bekannter
Einrichtungen. Dieser erhöhte Signalpegel führt zu einer Erhöhung
des Rauschabstandes des Systems. Dieser erhöhte Rauschabstand
ist erforderlich, um eine erhöhte Auflösung zu erhalten. Die
erhöhte Signalamplitude verringert auch die im Teilsystem
erforderliche Verstärkung und beseitigt das Erfordernis, eine
Nullinienregelung 36, wie in Fig. 3 gezeigt, einzusetzen.
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Die Ausgangssignale der Strom-Spannungswandler 62 und 65 werden
durch die Verstärker 63 bzw. 66 geleitet, damit ein Bildsignal
83 und ein Hilfssignal 82 als Eingangssignale 83 und 82 einem
Differenzverstärker 85, wie in Fig. 8 gezeigt, zugeführt werden
können. Der Differenzverstärker 81 subtrahiert das Hilfssignal
82 vom Bildsignal 83. Dadurch wird das Rauschen des Sensors aus
dem Bildsignal entfernt.
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Das Ausgangssignal dieses Differenzverstärkers 81 ist das
Eingangssignal der nächsten Signalverarbeitungsstufe, d. h. des
Integrators 84 und des Abtast- und Halteglieds 85 (auch
Glättungsschaltung genannt). Die Glättungsschaltung ist für die
Glättung der 512 Scheitelwerte des Ausgangssignals des Sensors
vorgesehen. Dieses Glätten wurde früher durch einen Verstärker
bewerkstelligt, der nur eine begrenzte Bandbreite besaß. Diese
Begrenzung der Bandbreite war am Ausgang des Verstärkers für die
Sensorsignale vorhanden. Diese Begrenzung der Bandbreite führte
zu einer Verzerrung der Form des Bildsignalausgangs. Da bei
bekannten Systemen die Höhe aufgrund der Vorderflanken und der
Hinterflanken des Bildsignals bestimmt wurde, verursachte jede
Verzerrung dieser Flanken einen absoluten Fehler bei der
Höhenmessung.
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Die erfindungsgemäße Glättungsschaltung ist so entworfen, daß
sie die kritischen Abschnitte des Bildsignals nicht verzerrt.
Durch den Glättungsprozeß werden die 512 Spannungsspitzen des
Lichtsensor-Ausgangssignals 71, wie in Fig. 7 gezeigt, in ein
Treppenspannungssignal als Bildausgangssignal 72 umgewandelt.
Das Bildausgangssignal 72 ähnelt bereits bekannten Signalen, ist
jedoch verzerrungsfrei.
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Die in Fig. 8 gezeigte Glättungsschaltung enthält einen
Integrator 84, ein Abtast- und Halteglied 85 und eine
Rücksetz-Steuerung 86 für den Integrator. Die Glättung erhält man durch
Integrieren der Spannungsspitzen 91 aus Fig. 9, Aufrechterhalten des
Ausgangssignal 93 des Integrators 84 mit dem Abtast- und
Halteglied 85 und anschließendes Zurücksetzen des Integrators für die
nächste Spannungsspitze. Fig. 9 zeigt das Steuersignal 95 für
das Zurücksetzen des Integrators und das Steuersignal 94 für das
Abtast- und Halteglied. Nachdem das Bildsignal soweit
verarbeitet worden ist, daß ein Bildausgangssignal 92 und ein
Bildausgangsimpuls 72, wie in Fig. 7 gezeigt, anliegen, wird es über
Leitung 88 der Schaltung 47 für die Höhenbestimmung aus Fig. 10
und über Leitung 132 der Schaltung 46 aus Fig. 13 für die
Amplitudenregelung des Bildausgangssignal zugeführt. Diese
Glättungsschaltung verursacht keine anderen als die beabsichtigten
Verzerrungen
des Bildsignals.
DAS TEILSYSTEM FÜR DIE HÖHENBESTIMMUNG
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Ein im Vergleich mit dem Stand der Technik wesentliches Merkmal
bildet das Verfahren, das zur Bestimmung der Höhe des Objektes
benutzt wird. Dieses Verfahren ermöglicht eine höhere Auflösung
als jene, die physikalisch mit der bekannten Methode zur
Höhenbestimmung möglich war. Es sei daran erinnert, daß die
Höhenbestimmung dadurch erhalten wird, daß der Mittelpunkt des
Bildsignals bezüglich der ersten Diode in der Zeile der 512 Dioden des
lichtempfindlichen Sensors geortet wird (vgl. die Erläuterungen
zu den Figuren 1 bis 3). Der Mittelpunkt des Bildsignals kann
als derjenige Punkt des Signals definiert werden, bei dem die
Hälfte der Fläche innerhalb des detektierten Umfangs des Signals
links vom Mittelpunkt und die andere Hälfte rechts vom
Mittelpunkt liegt. Hierzu werden im System
Signalverarbeitungstechniken verwendet, die diesen Mittelpunkt aufgrund der Auswertung
der Fläche des Bildsignals orten.
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Die Fläche unterhalb des Bildausgangssignals wird während des
ersten Ausleseschritts eines Paares von Ausleseschritten des
Sensors erhalten. Die Zahl, welche die Fläche unterhalb des
ersten Bildausgangssignals darstellt, wird durch 2 geteilt.
Während die Fläche des zweiten Bildsignals aufaddiert wird, wird
ein Vergleich zwischen dieser und des halben Wertes der Fläche
des vorausgehenden Bildsignals ausgeführt. Wenn die Fläche des
aktuellen Bildausgangssignals gleich der Hälfte der Fläche des
vorausgegangenen Signals ist, hat man den Mittelpunkt des
Bildausgangssignals gefunden.
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Dieses Verfahren zur Höhenbestimmung, das auf der Bestimmung der
Fläche unterhalb des Bildausgangssignals beruht, ermöglicht eine
Interpolation zwischen Spannungswerten, welche die Dioden des
lichtempfindlichen Sensors liefern. Die Interpolation zwischen
Dioden ist deshalb möglich, weil sich die Fläche unterhalb der
Kurve eher stetig als um diskrete Beträge verändert. Es sind
diese diskreten Veränderungen, die verhindern, daß das in den
Fig. 1 bis 3 gezeigte System eine höhere Auflösung liefert. Die
Interpolation begründet die Fähigkeit, das Auflösungsvermögen
des Teilsystems der Autofokussierungselektronik zu erhöhen.
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Die Höhenbestimmungsschaltung aus Fig. 10 enthält einen
Integrator 101, einen Steuereingang 102 für das Zurücksetzen des
Integrators, ein Abtast- und Halteglied 103, eine Steuerleitung 105
für das Abtast- und Halteglied, ein UND-Gatter 106, eine
Leitung 107 für das Taktsignal und einen Komparator 104. Zu Beginn
jedes Ausleseschrittes des lichtempfindlichen Sensors beträgt
die Spannung am Ausgang 112 des Integrators null Volt. Danach
integriert der Integrator das Bildausgangssignal 111. Während
wechselnder Ausleseschritte des lichtempfindlichen Sensors wird
das Ausgangssignal des Integrators 112 im Abtast- und
Halteglied 103 gespeichert. Das Ausgangssignal des Integrators ist
ebenfalls eines der Eingangssignale des Komparators 104. Das
Ausgangssignal des Abtast- und Halteglieds 113 wird durch zwei
geteilt und stellt das andere Eingangssignal des Komparators
dar. Der Integrator wird dann zurückgesetzt und für das nächste
Bildausgangssignal vorbereitet. Wenn der Wert der zweiten
Integration eines Paares von Integrationen gleich der Hälfte des
Wertes der ersten Integration eines Paares von Integrationen
ist, schaltet der Komparator auf den Zustand 114. Dieses
Schalten der Zustände findet in der Mitte des Bildausgangssignals
statt.
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Der Mittelpunkt des Bildausgangssignals entspricht der
Koordinate des auf den Sensor auftreffenden Lichtstrahls. Diese
Koordinate ist direkt proportional der Höhe des Objektes. Das
Umschalten am Ausgang 114 des Komparators hält den Mittelpunkt des
Bildausgangssignals zeitlich fest. Das aktuelle digitale
Datenwort für die Höhe wird dadurch erzeugt, daß der Eingang eines
Zählers 121 für Taktimpulse 116 freigegeben wird, ein
Ausleseschritt des Sensors eingeleitet wird, und Taktimpulse 116
verhindert werden, sobald der Komparator seinen Zustand ändert. Das
Ausgangssignal dieses Zählers 121 entspricht der Höhe des
Objektes.
Das Ausgangssignal wird in einem Zwischenspeicher 122 nach
dem zweiten Ausgangssignal eines Paares von Bildausgangssignalen
gespeichert und anschließend dem Computer und der
Steuerschaltung 2 für die Einstellung des Brennpunkts zugeführt.
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Die Amplitudenregelung 3 aus Fig. 4 wird so gesteuert, daß sie
zwischen dem Paar von Bildausgangssignalen, die zur
Positionsbestimmung des auf dem Sensor auftreffenden Lichtstrahls
verwendet werden, nicht in Betrieb ist. Deshalb weisen die
Bildausgangssignale die gleiche Höhe und die gleiche Fläche auf. Diese
Technik, Paare von Bildausgangssignalen der gleichen Fläche zu
bilden, beseitigt die Schaltung für die Amplitudenregelung als
Fehlerquelle bei der Positionsbestimmung des auf den Sensor
auftreffenden Lichtstrahls. Dies ist ebenfalls ein Merkmal dieser
Erfindung, das bei dem in Fig. 1 bis 3 gezeigten System nicht
vorhanden ist.
TEILSYSTEM FÜR DIE AUTOMATISCHE AMPLITUDENREGELUNG
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Das Bilden von Paaren von Bildsignalen für die Höhenmessung
reduziert die Empfindlichkeit dieses Systems bezüglich der
Signalamplitude wesentlich. Trotzdem ist ein bestimmter Minimalwert
der Signalamplitude erforderlich, um den nötigen Rauschabstand
bei der Signalverarbeitung zu erzielen. Ferner muß die
Signalamplitude sehr stabil aufrechterhalten werden, um die notwendige
Stabilität der endgültigen Ausgangssignale dieses Systems zu
erzielen. Deshalb ist anstelle der digitalen Hilfsregelung des
in den Fig. 1 bis 3 gezeigten Systems eine analoge
Amplitudenregelung 43 erforderlich. Dadurch ist es mit dem elektronischen
Teilsystem möglich, genau und präzise die Höhe des
Bildausgangssignals bei Veränderungen der LED-Intensität oder der Reflektion
des Objektes einzustellen. Die digitale Bauweise des in den Fig.
1 bis 3 gezeigten Systems bewirkte, daß die Höhe des
Bildausgangssignals zwischen zwei Höhenwerten schwankten. Diese
Schwankung verhinderte eine Höhenmessung des Objektes mit der
Genauigkeit, die mit dem vorliegenden elektronischen Teilsystem für
die Autofokussierung möglich war. Diese Regelungstechnik
beseitigt
die Schwankung. Die Regelung ist auch erforderlich, um das
Paar von Bildausgangssignalen zu erzeugen, die für die
Höhenbestimmungsschaltung gebraucht werden.
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Die Höhe des Bildausgangssignals ist proportional zur Zeitdauer
zwischen den Ausleseschritten des Sensors. Durch das Einstellen
der Zeitdauer von Ausleseschritten kann die Amplitude des
Bildausgangssignals eingestellt werden. In der Amplitudenregelung
wird die folgende analoge Technik verwendet, um die Amplitude
des Bildausgangssignals einzustellen.
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Die Regelung benutzt analoge Multiplikation um das Verhältnis
der gewünschten Amplitude und der Amplitude des aktuellen
Bildausgangssignals zu berechnen. Das Verhältnis der Höhen wird dann
mit einem Spannungssignal multipliziert, das der Zeitdauer
zwischen den Ausleseschritten entspricht. Das erzeugte
Spannungssignal ersetzt das vorausgegangene Ausgangssignal, daß der
Zeitdauer zwischen zwei Ausleseschritten entsprach. Die Zeitdauer
zwischen den Ausleseschritten wird nun unter Verwendung dieses
Signalpegels eingestellt. Dieser Signalpegel erzeugt ein Signal,
das im Gegensatz zu der bekannten Technik, bei der eine
digitalisierte Näherung für die Höhe erzeugt wurde, die exakte Höhe
darstellt.
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Ein weiteres Schlüsselmerkmal dieser Regelung besteht darin, daß
falls keine Einstellung erforderlich ist, das Verhältnis der
aktuellen Amplitude des Bildsignals und der gewünschten
Amplitude gleich 1 ist und eine Einstellung nicht auszuführen ist. In
dem bekannten System wurde eine digitalisierende Technik
verwendet, die auch dann eine Höhenänderung bewirkte, wenn eine solche
nicht nötig war. Das Signal, das die Zeitdauer zwischen den
Ausleseschritten bestimmt, kann sich nur bei jedem zweiten
Bildsignal verändern, so daß Paare von Bildausgangssignalen der
gleichen Amplitude und Fläche gebildet werden.
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Die Amplitudenregelung wird dazu verwendet, die Höhe des
Scheitels des Bildsignals auf 7,5 Volt zu halten. Die Regelung ist
deshalb erforderlich, weil die Intensität des auf den Sensor
auftreffenden Lichtstrahls und damit die Amplitude des
Ausgangssignals des Sensors veränderlich ist. Diese Veränderungen der
Strahlungsintensität werden durch Veränderungen der Reflektion
des Objektes verursacht.
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Die Amplitudenregelung beinhaltet eine Scheitelwertdetektor-
Schaltung 87, die über Leitung 132 mit dem analogen
Multiplizierer 131 verbunden ist, zwei Abtast- und Halteglieder 140 und
141, einen Sägezahngenerator 139 und zwei Komparatoren 137 und
142.
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Der Scheitelwertdetektor 87 erfaßt den Scheitel des
Bildausgangssignals 72, und dessen Ausgangssignal 73 ist eines der
Eingangssignale des analogen Multiplizierers 131. Das andere
Eingangssignal des Multiplizierers ist ein 7,5-Volt-Referenzsignal
133. Das dritte Eingangssignal 134 des Multiplizierers ist eine
Spannung, die der Integrationszeit (der Zeitdauer zwischen
Ausleseschritten des Sensors) des letzten Bildausgangssignals
entspricht. Der analoge Multiplizierer liefert eine Spannung 135,
die gleich 7,5 Volt geteilt durch die Spannung des
Scheitelwertdetektors und multipliziert init der vorausgegangenen Spannung
der Integrationszeit ist. Diese Spannung ist die Spannung der
Integrationszeit. Diese Spannung wird in einem der Abtast- und
Halteglieder 140 festgehalten und ist eines der
Eingangssignale 136 des Komparators 137. Das zweite Eingangssignal des
Komparators 138 ist das Ausgangssignal des Sägezahngenerators 139,
der mit der Ausgabe seines Sägezahns am Ende des
Ausleseschrittes des Sensors beginnt.
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Der Sägezahngenerator 139 erzeugt auf Leitung 138 ein
Sägezahn-Ausgangssignal 146 und die Spannung auf 138 beträgt zunächst 0
Volt und steigt dann linear bis zu dem Zeitpunkt an, zu dem das
Ausgangssignal die Spannung für die Integratioszeit auf Leitung
136 erreicht, die vom Abtast- und Halteglied I 140 ausgegeben
wird. Sobald die Sägezahn-Ausgangsspannung 146 gleich der
Spannung für die Integrationszeit ist, verändert der Komparator 137
seinen Zustand. Der Zustandswechsel erzeugt ein ROM-Startsignal
142, das bewirkt, daß der Zeitgeber seine Taktfolge startet. Ein
Teil der Taktfolgen ist ein Sägezahn-Rücksetzsignal 148, das den
Sägezahngenerator 139 zurücksetzt, und ein anderer Teil triggert
einen Ausleseschritt des lichtempfindlichen Sensors.
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Die Amplitude des Ausgangssignals des Sensors ist direkt
proportional zur Länge der Zeitdauer der Lichteinstrahlung vor dem
Ausleseschritt. Eine Verlängerung der Zeit zwischen
Ausleseschritten führt zu einem Anwachsen des Bildausgangssignals 72
aus Fig. 7 und eine Verkürzung der Zeit zwischen
Ausleseschritten führt zu einem Schrumpfen des Bildausgangssignals 72.
Deshalb wird die Amplitude des Bildausgangssignals durch die
Zeitdauer gesteuert, welche die Spannung 146 des Sägezahngenerators
benötigt, um auf die Spannung für die Integrationszeit auf
Leitung 136 anzusteigen. Wenn der Scheitelwert des
Bildausgangssignals 7,5 Volt übersteigt, wird das Ausgangssignal 135 des
Multiplizierers 131 erniedrigt, so daß der Sägezahngenerator 139
weniger Zeit benötigt, um den niedrigeren Spannungspegel 136 für
die Integrationszeit zu erreichen. Genau der umgekehrte Vorgang
findet statt, wenn der Scheitelwert des Bildausgangssignals
unter 7,5 Volt fällt.
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Die infolge der Integrationszeit erreichte Spannung auf Leitung
136, die am Ausgang des Multiplizierers 131 anliegt, wird im
Abtastund Halteglied 190 aufrechterhalten. Das Ausgangssignal 136 des
Abtast- und Halteglied 140 kann sich nur bei jedem zweiten
Ausleseschritt verändern. Dadurch werden Paare von
Bildausgangssignalen mit gleichem Scheitelwert und somit mit gleicher Fläche
erzeugt. Dieses duale Auslesesystem bewirkt, daß die
Höhenbestimmungsschaltung die automatische Amplitudenregelung nicht
beeinflußt.
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Nach dem ersten Signal eines Paares von Auslesesignalen wird die
infolge der Integrationszeit erreichte Spannung auf Leitung 136
vom ersten Abtast- und Halteglied 140 zum Ausgang des zweiten
Abtast- und Halteglieds 141 weitergeleitet und wird so zur
alten,
infolge der Integrationszeit erreichten Spannung 134. Unter
Verwendung des Scheitelwerts des zweiten Signals eines Paares
von Auslesesignalen wird eine Integrationszeit durch den
Multiplizierer 131 erzeugt. Am Ende der beide Ausleseschritte wird
die infolge der Integrationszeit erreichte Spannung 135 an den
Ausgang des ersten Abtast- und Halteglieds 140 weitergeleitet.
Dieser Spannungspegel bestimmt die Höhe der nächsten beiden
Auslesesignale des Sensors.
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Der zweite Komparator 142 wird zur Erzeugung des Startimpulses
142 des Zeitgebers benutzt, wenn die auf den Sensor auftreffende
Lichtintensität zu niedrig ist. Wenn eine längere Zeit zwischen
Ausleseschritten des Sensors als ein voreingestellter Betrag auf
Leitung 143 erforderlich ist, erzeugt der zweite Komparator 142
einen ROM-Startimpuls 147 für der Zeitgeber.
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Aufgrund der Methoden, die zur Bestimmung der Höhe des Objektes
bei höherer Auflösung benutzt worden sind, erwies sich ein
Verfahren zur Erzeugung der notwendigen Steuerimpulse als
erforderlich. Der Taktgeber ist ein System mit einem EPROM. Alle
Steuerimpulse für das elektronische Teilsystem und den entfernten
Sensor werden durch den Zeitgeber 44 aus Fig. 4 erzeugt. Der
Zeitgeber erzeugt Steuerimpulse für den Sensor 45, die automatische
Amplitudenregelung 46, die Höhenbestimmungsschaltung 46 und die
Signalverarbeitungsschaltung 47.
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Der Zeitgeber aus Fig. 15 setzt sich aus einem 12-Bit-Zähler
151, einem EPROM 152, zwei Zwischenspeichern und einer digitalen
monostabilen Schaltung zusammen. Der ROM-Startimpuls 147, der
von der Amplitudenregelung 144 auf Leitung 145, wie in Fig. 13
gezeigt, ausgegeben wird, startet den Vorgang des
Aufwärtszählens des Zählers 151. Die Ausgänge des Zählers 153 sind mit den
sequentiellen Adressleitungen des EPROM-Bausteins 152 verbunden.
Die acht Datenleitungen der EPROM-Schaltung bilden Takt- und
Steuerleitungen. Der EPROM gibt einen Befehl zum Stoppen des
Zählers aus, wenn die Sequenz vollständig ist. Der EPROM ist für
die Ausgabe der richtigen Taktsignale bei jeder Änderung des
Zählerstandes programmiert. Eine digitale monostabile Schaltung
bewirkt, daß ein Startimpuls 147, wie in Fig. 14 gezeigt, erst
erfolgt, nachdem der EPROM die einzelnen Impulse seiner
Impulsfolge abgegeben hat.
Zusammenfassung
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Durch die Erfindung des elektronischen Teilsystems für die
Autofokussierung ist die Auflösung des Autofokussierungssystems auf
0,25 Mikron erhöht worden. Diese erhöhte Auflösung ermöglicht
eine höhere Genauigkeit bei Schreibvorgängen in der
Elektronenstrahllithographie. Die Erfindung weist die im folgenden
genannten Verbesserungen gegenüber bekannter Systeme auf.
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1. Rauschabstände, die eine hohe Genauigkeit der
Elektronenstrahllithographie ermöglichen.
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2. Eine Technik zur Höhenbestimmung, die sich der
Interpolation bedient, um die notwendige Auflösung zu erzielen.
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3. Eine Amplitudenregelungstechnik, die sich selbst als
Fehlerquelle für die Technik zur Höhenbestimmung ausschaltet;
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4. Die Erfindung verbessert die Auflösung eines Systems mit
einem optischen Wandler von einer Auflösung von 1 Mikron
auf 0,25 Mikron. Die hier beschriebene Signalverarbeitung
würde ein System mit einem optischen Wandler und mit einer
höheren Auflösung um den Faktor 4 verbessern,
beispielsweise von 0,5 Mikron auf 0,25 Mikron. Diese 4-fache
Verbesserung wird durch diese Erfindung gewährleistet.
INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
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Diese Erfindung kann bei Herstellungsverfahren angewandt werden
und erweist sich bei der Herstellung von elektronische Chips für
Datenverarbeitungsanlagen wie Großrechner als nützlich.