DE3826581A1 - Elektronischer koordinatenmesstaster - Google Patents
Elektronischer koordinatenmesstasterInfo
- Publication number
- DE3826581A1 DE3826581A1 DE19883826581 DE3826581A DE3826581A1 DE 3826581 A1 DE3826581 A1 DE 3826581A1 DE 19883826581 DE19883826581 DE 19883826581 DE 3826581 A DE3826581 A DE 3826581A DE 3826581 A1 DE3826581 A1 DE 3826581A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- carrier
- carriage
- axial direction
- housing
- coordinate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
- G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen elektronischen Koordinatenmeß
taster zum berührenden Antasten und Erfassen von Prüflings
konturen auf Mehrkoordinaten-Meßgeräten, mit einem ein Tast
organ aufweisenden Träger, der in einem Gehäuse in zwei Ach
sen kardanisch gelagert, um einen Nullpunkt auslenkbar und
mit einem ein Lichstrahlenbündel etwa in Tasteraxialrichtung
abgebenden optischen Organ versehen ist, das einem gehäuse
fest montierten, von Detektorlichtstrahl getroffenen, bezüg
lich des Auftreffpunktes des Detektorlichtstrahles empfindli
chen optoelektronischen Detektorelement gegenübersteht.
Koordinatenmeßtaster dieser Art sind aus der deutschen Pa
tentschrift 28 35 615 bekannt. Das Lichtstrahlenbündel
bei dem bekannten Meßtaster von einer auf dem kardanisch
gelagerten Träger montierten Lichtquelle erzeugt und trifft
auf das optoelektronische Detektorelement, welches ein ta
stereigenes ebenes Koordinatensystem bildet, derart, daß
von dem optoelektronischen Element Signale ableitbar sind,
welche der Tasterauslenkung in zwei zur Tasteraxialrichtung
senkrechten Richtungen entsprechen.
Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, einen
elektronischen Koordinatenmeßtaster der soeben kurz beschrie
benen Art so auszugestalten, daß er auch Signale liefert, wel
che einer Auslenkung des Tastorganes in Tasteraxialrichtung
entsprechen, derart, daß ein Koordinatenmeßtaster der hier an
gegebenen Art beispielsweise Signale entsprechend Tasteraus
richtungen in drei Richtungen eines rechtwinkligen Koordinaten
systems liefert.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das
Tastorgan an einem in oder an dem genannten Träger in Taster
axialrichtung verschieblich geführten Schlitten befestigt ist
und daß mit dem Schlitten ein auf dessen Verschiebung in Ta
steraxialrichtung ansprechendes Stellungsgeberelement gekup
pelt ist, das einen am Träger oder am Gehäuse montierten De
tektorelement gegenübersteht.
Bevorzugtermaßen ist bei einem Koordinatenmeßtaster der hier
angegebenen Konstruktion an dem Schlitten ein weiteres, ein
Lichtstrahlenbündel im wesentlichen senkrecht zur Tasteraxial
richtung abgebendes optisches Organ angeordnet, das einem ge
häusefest oder am Träger montierten, bezüglich des Auftreff
punktes dieses Lichtstrahlenbündels empfindlichen optoelektro
nischen Detektorelement gegenüberliegt.
Zweckmäßig befinden sich das weitere optische Organ und das
zugehörige optoelektronische Detektorelement etwa auf dem
Niveau der Kardanlagerung des Trägers mit Bezug auf die Ta
steraxialrichtung.
Die optischen Organe können von Spiegelflächen gebildet sein,
welche zur Erzeugung der Lichtstrahlenbündel von einer
oder je einer gehäusefest montierten Lichtquelle mit einem
Lichtstrahl beaufschlagt werden. Gemäß einer bevorzugten
Ausführungsform aber sind die optischen Organe von über fle
xible Leitungen gespeisten elektrischen Lichtquellen, insbe
besondere lichtemittierenden Dioden, mit integrierter Optik,
und vorgeschalteten Blenden gebildet, wobei unter Licht hier
jede der geometrischen Optik folgende Strahlung zu verstehen
ist, also beispielsweise Infrarotstrahlung.
Im übrigen sind vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbil
dungen des vorliegend angegebenen elektronischen Koordinaten
meßtasters in den anliegenden Patentansprüchen gekennzeich
net, deren Inhalt hierdurch ausdrücklich zum Bestandteil der
Beschreibung gemacht wird, ohne an dieser Stelle den Wortlaut
zu wiederholen.
Nachfolgend werden Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die
anliegende Zeichnung näher erläutert. Es stellen dar:
Fig. 1 einen Axialschnitt durch einen Koordinaten
meßtaster der vorliegend angegebenen Konstruk
tion,
Fig. 2 einen Axialschnitt ähnlich Fig. 1 entspre
chend einer zu der Schnittebene von Fig. 1
senkrechten Ebene und
Fig. 3 eine schematische Abbildung einer gegenüber
den Fig. 1 und 2 abgewandelten Ausfüh
rungsform.
In Fig. 1 ist eine Halterung eines Mehrkoordinaten-Meßgerätes
mit 1 bzeichnet. An ihr ist mittels einer Überwurfmutter 2
ein hülsenförmiges, zweiteiliges Gehäuse 3 befestigt, das an
seinem oberen Ende einen Bund trägt, der mittels der Überwurf
mutter 2 gegen die Halterung 1 festgespannt ist. Der obere Teil
3 a des Gehäuses ist etwa im Bereich der axialen Gehäusemitte
des Gehäuses 3 mit in Fig. 2 dargestellten Lageraugen 4 ver
sehen, welche nach innen weisen, und ist in diesem Bereich
mittels radial gerichteter Schrauben 5 mit einem unteren Ge
häuseteil 3 b verbunden, das nahe seinem unteren Ende eine Um
fangsnut 6 aufweist, in die ein Wulst eines Balges 7 eingreift,
der zu einem Verankerungspunkt 8 eines Tastorganes 9 reicht,
worauf weiter unten noch näher eingegangen wird.
Die Lageraugen 4 des oberen Gehäuseteiles 3 a dienen zur Lagerung
von Kardanachsen 10 eines Kardanringes 11, der, wie aus den
Fig. 1 und 2 ersichtlich, abgeschrägte Außenkonturen in den
gegenüber den Lagerachsen 10 um 90 Grad umfangsmäßig versetzten
Bereichen und abgeschrägte Innenkonturen in den den Lagerachsen
10 benachbarten Umfangsbereichen aufweist, wobei festzustellen
ist, daß der Kardanring 11 vergleichsweise geringen Radialab
stand von dem hülsenförmigen Gehäuse 3 hat.
Aus Fig. 1 ist zu ersehen, daß in einem gegenüber den Lager
achsen 10 um 90 Grad umfangmäßig versetzten Bereich der Kardan
ring 11 weitere Kardanachsen 12 aufnimmt, welche in radialer
Richtung nach einwärts in einen Träger 13 eingreifen, der sich
in axialer Richtung etwa koaxial zu dem hülsenförmigen Gehäuse
13 durch dessen Innenraum erstreckt, derart, daß der Träger 13
relativ zu der Halterung 1 und dem daran festgespannten hülsen
förmigen Gehäuse 3 über die Kardanachsen 10, den Kardanring
und die Kardanachsen 12 kardanisch gelagert ist. Im Bereich
der Kardanachsen vorgesehene Kreuzfederelemente sorgen dafür,
daß der Träger 13 gegenüber der Halterung 1 und dem hülsen
förmigen Gehäuse 3 eine in den Fig. 1 und 2 wiedergegebene
Nullstellung einnimmt und aus dieser Nullstellung unter Über
windung einer durch die Kreuzfederelemente vorgegebenen Vor
spannung in zwei Koordinatenrichtungen auslenkbar ist, wie
in den Fig. 1 und 2 durch strichpunktierte Linien angedeutet
ist.
Am oberen Ende des Trägers 13 ist eine Infrarotlicht emittierende
Diode 14 befestigt, welche über eine integrierte Optik und eine
in einer Kapselung vorgesehene Blende ein Lichtstrahlenbündel
mit Bezug auf die Nullstellung des Trägers 13 in Axialrichtung
abzugeben vermag. Dieses Lichtstrahlenbündel trifft auf ein
Detektorelement 15, welches so ausgebildet ist, daß es als
tastereigenes ebenes Koordinatensystem entsprechend der je
weiligen Stellung des Trägers 13 Signale abgibt, welche der
Tasterauslenkung in zwei zur Tasteraxialrichtung senkrechten
Richtungen entsprechen. Diese Signale werden von dem Detektor
element 15 durch in Fig. 1 dargestellte Leitungen abgeleitet.
Das Detektorelement ist an einer am hülsenförmigen Gehäuse 3
im Bereich von dessen oberem Ende befestigten Platte 16 ge
halten. Diese Platte besitzt Ausschnitte, über die zu dem
elektronischen Koordinatenmeßtaster führende flexible Leitungen
zur Speisung der auf dem Träger 13 montierten Lichtquellen sowie
der darauf befindlichen Detektorelemente geführt sind. Diese
Leitungen sind in Fig. 1 bei 17 angedeutet.
Das Tastorgan 9 ist mit dem Träger 13 über einen an diesem oder
in diesem im wesentlichen in Tasteraxialrichtung geführten
Schlitten 18 gekuppelt. Der Schlitten 18 weist ein in einer
Nische des Trägers 13 befindliches Mittelstück 19 auf, an dem
mittels Stellschrauben 20 und 21 nach abwärts bzw. nach auf
wärts in Bohrungen des Trägers 13 hineinreichende Zylinder
stifte 21 bzw. 22 befestigt sind. Diese Zylinderstifte sind in
innerhalb der Bohrungen des Trägers 13 vorgesehenen, in den
Fig. 1 und 2 schematisch angegebenen Kugelführungsbuchsen
in Axialrichtung geführt.
Es versteht sich, daß für die Axialführung des Schlittens 18
bzw. seines Mittelstückes 19 vom Fachmann auch eine Anzahl
weiterer Führungskonstruktionen vorgesehen werden kann.
Der untere Führungsstift 21 reicht in einen Block 23 des Tast
organes 9 hinein und ist von einer Druck-Schraubenfeder 24
umschlungen, welche sich einerseits gegen den Träger 13 und
andererseits gegen ein Feder-Widerlager 24 abstützt, das gegen
über dem Block 23 des Tastorganes 9 mittels einer Einstell
schraube 25 zur Einstellung der Federvorspannung in Axial
richtung verschiebbar ist. Die Federvorspannung der Schrauben-
Druckfeder 24 zwischen dem Träger 13 und dem Feder-Widerlager
24 a bewirkt, daß das Tastorgan 9 relativ zu den Trägern 13
gegen einen Anschlag vorgespannt wird, der durch das Anlaufen
des Mittelstückes 19 des Schlittens 18 gegen eine Wand der
Nische des Trägers 13 vorgegeben ist, wie der Fachmann aus den
Fig. 1 und 2 ohne weiteres erkennt.
Von dem Block 23 ragt ein zur Verdrehsicherung dienender
Führungsstift 26 in eine achsparallele Bohrung 27 des Trägers 13
hinein und ist in dieser Bohrung mittels einer Kugelführungs
buchse oder einer anderen Schiebeführung 28 geführt, derart,
daß eine Verdrehung des Schlittens 18 relativ zu dem Träger 13
um die Achse der Führungsstifte 22 und 21 verhindert ist.
Das Mittelstück 19 des Schlittens 18 ist mit einer mit Bezug
auf die in den Fig. 1 und 2 gezeigte Stellung horizontal
gerichtete Ausnehmung 29 versehen, in welche eine weitere
Lichtquelle 30 ähnlich der Lichtquelle 14 eingesetzt ist. Diese
Lichtquelle wird wiederum von einer Infrarotlicht emittierenden
Diode gebildet und sendet über eine integrierte Optik und eine
in dem Träger 13 gebildete Blende ein Lichstrahlenbündel in
Richtung auf ein Detektorelement 31 aus, das an der Seitenwand
der Nische des Trägers 13 montiert ist. Dieses Detektorelement
erzeugt in Abhängigkeit von dem Auftreffpunkt des Lichtstrahlen
bündels der Lichtquelle 30 elektrische Signale, welche der
axialen Stellung der Blendenöffnung an dem Mittelstück 19 des
Schlittens 18 und damit der axialen Stellung des Tastorganes
9 relativ zu dem Träger 13 entsprechen. Es sei darauf hinge
wiesen, daß sich mit Bezug auf die in Fig. 1 gezeigte Null
stellung des Schlittens 18 relativ zu dem Träger 13 und auch
mit Bezug auf mögliche Auslenkstellungen in Richtung einer Ver
schiebung des Schlittens 18 relativ zu dem Träger 13 nach auf
wärts das Niveau des von der Lichtquelle 30 erzeugten Licht
strahlenbündels etwa in der Höhe der Kardanachsen 10 und 12 be
findet. Von den Detektorelementen 15 und 31 abnehmbare elektri
sche Signale repräsentieren daher bei vergleichweise geringer
gegenseitiger Unabhängigkeit die Auslenkstellung der Tastspitze
32 eines Tastfingers 33 des Tastorganes 9 in zwei zueinander
senkrechten Koordinatenrichtungen in einer Radialebene zur
Tasterlängsachse sowie in Richtung dieser Tasterlängsachse.
Kommt es auf eine quantitative Bestimmung der axialen Ver
schiebung der Tastorganspitze 32 nicht an und soll in erster
Linie ein qualitatives Signal eine Verschiebung der Tastorgan
spitze melden, so kann gemäß Fig. 3 der Schlitten 18 vereinfacht
ausgebildet und zusätzlich zur oder anstelle der Wirkung der
Schraubenfeder 24 mittels einer Blattfeder 35 gegen einen An
schlagabsatz des Trägers 13 vorgespannt werden, welche einen
Spiegel 36 trägt. Die Blattfeder 35 ist zwischen Federlager 37
am oberen Ende der Nische des Trägers 13 und einem Federlager
38 auf der Oberseite des Schlittens 18 eingesetzt. Im übrigen
ist die Konstruktion des Schlittens 18 bezüglich des unteren
Führungsstiftes 21, des damit verbundenen Blockes 23 des Tast
organes 9 und bezüglich des als Verdrehsicherung dienenden
Führungsstiftes 26 derselben Art, wie für das Ausführungsbei
spiel nach den Fig. 1 und 2 angegeben.
Eine Lichtquelle 39 ist an der Seitenwand der Nische des Trägers
13 montiert und sendet ein Lichtstrahlenbündel auf den Spiegel
36 der Blattfeder 35. Dieser Lichtstrahl wird von dem Spiegel 36
auf ein Detektorelement 40 reflektiert, welches wiederum an der
Seitenwand der Nische des Trägers 13 in der aus Fig. 3 er
sichtlichen Weise befestigt ist. Sobald die Tastspitze 32 des
Tastfingers 33 gegen eine Prüflingsoberfläche in der Weise an
tastet, daß das Tastorgan 9 mit dem Block 23 in Tasteraxial
richtung nach aufwärts verschoben wird, erfährt die Blattfeder
35 eine verstärkte Abbiegung gegenüber der in Fig. 3 gezeigten
Stellung, so daß das von der Lichtquelle 39 auf den Spiegel 36
gerichtete Lichtstrahlenbündel nunmehr auf einen anderen Auf
treffpunkt des Detektorelementes 40 reflektiert wird. Das
Detektorelement 40 gibt dann ein der Axialverschiebung des
Tastorganes entsprechendes Signal ab, das über flexible Lei
tungen von dem Träger zu der Halterung 1 des betreffenden
Koordinatenmeßgerätes geführt wird.
Der Fachmann erkennt, daß für die Anregung der Detektorelemente
15 und 31 bzw. 40 eine gemeinsame Lichtquelle zur Erzeugung von
Lichtstrahlenbündeln in dem Koordinatenmeßtaster vorgesehen
werden kann, wobei geeignete Reflektormittel und Durchtritts
kanäle in dem Träger vorzusehen sind. Auch können anstelle der
auf dem Träger 13 montierten, über flexible Leitungen gespeisten
Lichtquellen an entsprechender Stelle Reflektoren vorgesehen
sein, welche von einer gehäusefesten Lichtquelle oder jeweils
einer gehäusefesten Lichtquelle beaufschlagt werden und ihr
reflektiertes Lichtstrahlenbündel abhängig von der Position
des Trägers in drei Koordinatenrichtungen auf zugehörige De
tektorelemente lenken.
Claims (10)
1. Elektronischer Koordinatenmeßtaster zum berührenden Anta
sten und Erfassen von Prüflingskonturen auf Mehrkoordinaten-
Meßgeräten, mit einem ein Tastorgan (9) aufweisenden Träger (13)
der in einem Gehäuse (3) in zwei Achsen kardanisch gelagert,
um einen Nullpunkt auslenkbar und mit einem ein Lichtstrahlen
bündel etwa in Tasteraxialrichtung abgebenden optischen Organ
(14) versehen ist, das einem gehäusefest montierten, vom Licht
strahlenbündel getroffenen, bezüglich des Auftreffpunktes des
Lichtstrahlenbündels empfindlichen optoelektronischen Detektor
element (15) gegenübersteht, dadurch gekennzeichnet, daß das
Tastorgan (9) an einem in oder am Träger (13) in Tasteraxial
richtung verschieblich geführten Schlitten (18) befestigt ist
und daß mit dem Schlitten (18) ein auf dessen Verschiebung in
Tasteraxialrichtung ansprechendes Stellungsgeberelement (30)
gekuppelt ist, das einem am Träger oder am Gehäuse montierten
Detektorelement (31) gegenübersteht.
2. Koordinatenmeßtaster nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß an dem Schlitten (18) ein weiteres, ein Licht
strahlenbündel im wesentlichen senkrecht zur Tasteraxial
richtung abgebendes optisches Organ (30) angeordnet ist, das
einem gehäusefest oder am Träger (13) montierten, bezüglich
des Auftreffpunktes dieses Lichtstrahlenbündels empfindli
chen Detektorelement (31) gegenübersteht.
3. Koordinatenmeßtaster nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß sich das weitere optische Organ (30) und das
zugehörige Detektorelement (31) etwa auf dem Niveau der Kardan
lagerung (10, 12) des Trägers (13) mit Bezug auf die Tasteraxial
richtung befindet.
4. Koordinatenmeßtaster nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Organe von Spie
geln (36) gebildet sind, welche zur Erzeugung der Lichtstrahlen
bündel von einer oder je einer gehäusefest montierten Licht
quelle mit einem Lichtstrahl beaufschlagt werden.
5. Koordinatenmeßtaster nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß die optischen Organe (14, 30) von über
flexible Leitungen (17) gespeisten elektrischen Lichtquellen,
insbesondere lichtemittierenden Dioden, mit integrierter Optik
und vorgeschalteter Blende, gebildet sind.
6. Koordinatenmeßtaster nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß der Schlitten (18) mit parallel zur
Tasteraxialrichtung orientierten Zylinderstiften (21, 22) ver
sehen ist, die in Kugelführungsbuchsen des Trägers (13) geführt
sind.
7. Koordinatenmeßtaster nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich
net, daß der Schlitten (18) als Verdrehsicherung mindestens einen
zusätzlichen, in den Träger (13) hineinreichenden Führungsstift
(26) aufweist.
8. Koordinatenmeßtaster nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß der Schlitten (18) von Federmitteln
(24) in Tasteraxialrichtung gegen einen Anschlag gegenüber dem
Träger (13) vorgespannt ist.
9. Koordinatenmeßtaster nach Anspruch 8, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Widerlager (24 a) der Federmittel (24) auf der
Seite des Schlittens (18) bzw. des Tastorgans (9) oder auf der
Seite des Trägers (13) mittels einer Einstellschraube (25) in
Tasteraxialrichtung verstellbar ist.
10. Koordinatenmeßtaster nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (13) als hülsenförmiger
Körper ausgebildet ist, der an seinem vom Tastorgan (9) abge
wandten Ende das optische Organ (14) trägt, etwa in seiner axia
len Mitte von einem Kardanring (11) oder einer Kardangabel der
Kardanlagerung umgeben ist und einen seitlichen Ausschnitt
aufweist, über den hinweg das weitere optische Organ (30) des
Schlittens (18) und das zugehörige optoelektronische Detektor
element (31) einander gegenüberstehen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19883826581 DE3826581A1 (de) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | Elektronischer koordinatenmesstaster |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19883826581 DE3826581A1 (de) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | Elektronischer koordinatenmesstaster |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3826581A1 true DE3826581A1 (de) | 1990-02-08 |
Family
ID=6360270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19883826581 Withdrawn DE3826581A1 (de) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | Elektronischer koordinatenmesstaster |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3826581A1 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4231989C1 (de) * | 1992-08-13 | 1994-01-20 | Datron Electronic Gmbh | Abtastvorrichtung für konturierte Oberflächen |
US6381863B1 (en) * | 1998-08-27 | 2002-05-07 | Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh | Measuring cable travel sensor |
WO2005085749A1 (de) * | 2004-02-26 | 2005-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Tastkopf für ein koordinatenmessgerät |
US8294906B2 (en) | 2007-11-05 | 2012-10-23 | Leica Geosystems Ag | Measuring head system for a coordinate measuring machine and method for optically measuring of displacements of a probe element |
EP3182052A1 (de) * | 2015-12-17 | 2017-06-21 | Mitutoyo Corporation | Messvorrichtung mit multiplexierten positionssignalen |
EP3182054A1 (de) * | 2015-12-17 | 2017-06-21 | Mitutoyo Corporation | Optische konfiguration für eine messvorrichtung |
-
1988
- 1988-08-04 DE DE19883826581 patent/DE3826581A1/de not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4231989C1 (de) * | 1992-08-13 | 1994-01-20 | Datron Electronic Gmbh | Abtastvorrichtung für konturierte Oberflächen |
US6381863B1 (en) * | 1998-08-27 | 2002-05-07 | Asm Automation Sensorik Messtechnik Gmbh | Measuring cable travel sensor |
WO2005085749A1 (de) * | 2004-02-26 | 2005-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Tastkopf für ein koordinatenmessgerät |
US8294906B2 (en) | 2007-11-05 | 2012-10-23 | Leica Geosystems Ag | Measuring head system for a coordinate measuring machine and method for optically measuring of displacements of a probe element |
EP3182052A1 (de) * | 2015-12-17 | 2017-06-21 | Mitutoyo Corporation | Messvorrichtung mit multiplexierten positionssignalen |
EP3182054A1 (de) * | 2015-12-17 | 2017-06-21 | Mitutoyo Corporation | Optische konfiguration für eine messvorrichtung |
CN106989668A (zh) * | 2015-12-17 | 2017-07-28 | 株式会社三丰 | 具有复用位置信号的测量装置 |
US9791262B2 (en) | 2015-12-17 | 2017-10-17 | Mitutoyo Corporation | Measurement device with multiplexed position signals |
US9803972B2 (en) | 2015-12-17 | 2017-10-31 | Mitutoyo Corporation | Optical configuration for measurement device |
CN106989668B (zh) * | 2015-12-17 | 2019-09-17 | 株式会社三丰 | 具有复用位置信号的测量装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE68921003T2 (de) | Sonden. | |
DE69214951T2 (de) | Sonden | |
EP1996898B1 (de) | Prüfkörper und verfahren zum einmessen eines koordinatenmessgerätes | |
WO2005085750A1 (de) | Optischer messkopf | |
WO2002025206A9 (de) | Anordnung und verfahren zum opto-taktilen messen von strukturen | |
DE102006058805A1 (de) | Vorrichtung zum Erfassen von Bewegungen und Kräften | |
EP3351893A1 (de) | Messvorrichtung und verfahren zur erfassung wenigstens einer längenmessgrösse | |
EP2762832B1 (de) | Optische Einzelpunktmessung | |
CH694669A8 (de) | Geodätisches Gerät mit Laseranordnung | |
DE3124357A1 (de) | Laserinterferometer | |
DE102011083421A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen homogen reflektierender Oberflächen | |
DE10132844A1 (de) | Hochpräzise Verschiebungsmessvorrichtung und hochpräzises Verschiebungsmessverfahren unter Verwendung einer auf der konfokalen Theorie basierenden Verschiebungssensoreinheit | |
DE3826581A1 (de) | Elektronischer koordinatenmesstaster | |
DE102015103373A1 (de) | Messelement für ein Koordinatenmessgerät | |
DE102021117104A1 (de) | Kalibriernormal zur Messung des Winkels zwischen einer optischen Achse eines Autokollimators und einer mechanischen Linearachse | |
DE3322714A1 (de) | Verfahren zum beruehrungslos optischen messen von abstaenden und entsprechende vorrichtung | |
EP0169444A2 (de) | Rauheitssonde | |
DE3807035A1 (de) | Messzirkel | |
DE10147987A1 (de) | Optoelektronisches Bauelement | |
DE4308823C2 (de) | Messender Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte | |
DE10258283B4 (de) | Tasteinrichtung zur Werkstückvermessung | |
DE102007013038B4 (de) | Doppeltestvorrichtung für ein Paar von Schweißelektroden | |
DE102016013550B3 (de) | Profilmesssystem für eine Rauheits- und Konturmessung an einer Oberfläche eines Werkstücks | |
DE102020124704B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer räumlichen Position eines Körpers | |
DE102013003640A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Erfassung zumindest der innen liegenden Geometrieen eines Objekts mittels elektromagnetischer Strahlung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |