DE3824948C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung von Werkstücken, insbesondere zur Prüfung der Stärke von metallischen Überzugsschichten. Es geht dabei z. B. um die Dicke reflektierender und absorbierender dünner Metallüberzüge in der Spiegelindustrie, Optik, UHF-, Weltraumtechnik, zur Prüfung von Kontaktbelägen auf Halbleiter- und Isolierwerkstoffen in der Mikroelektronik, dem Kondensatorenbau oder ähnliche Anwendungsfälle.

Aus den SU-Erfinderscheinen 5 08 734 oder 8 62 063 sind Wirbelstrom-Einrichtungen zur Dickenmessung eines Metallüberzugs bekannt, bei denen durch gegenphasige Schaltung der Wicklungen eines parametrischen Zweiwicklungswandlers und durch Weiterverarbeitung der Signale der Einfluß des Spaltes zwischen dem Wandler und dem Metallüberzug beseitigt und so eine Genauigkeitssteigerung erzielt wird.

Die bekannten Einrichtungen müssen jedoch während der Messungen manuell nachgestimmt werden, was die Meßleistungen beeinträchtigt. Außerdem sind die Meßergebnisse durch eine niedrige Stabilität, besonders in Bezug auf den Nullpegel des Ausgangssignals, gekennzeichnet, was die Anwendung im industriellen Maßstab hemmt.

Aus der DE-OS 30 05 915 ist ein Wirbelstrom-Prüfgerät für Oberflächenfehler bekannt, bei dem eine Prüfspule ohne Differentialschaltung zweier Meßwicklungen Anwendung findet und deren Abstand vom Werkstück keinen Einfluß auf die Geräteempfindlichkeit haben soll, wozu die Prüffrequenz entsprechend diesem Abstand geregelt wird. Eine automatische Nachstimmung während der Messungen und Nachstellung des Nullpegels findet hier nicht statt.

In einem Aufsatz in "Materials Evaluation", Juni 1977, Seite 39-44 sind Techniken der zerstörungsfreien Wirbelstromprüfung beschrieben, die jedoch keinen Hinweis auf den Bau eines schnell ansprechenden Prüfgeräts mit automatischer Nachstimmung während der Messungen und Nachstellung des Nullpegels geben.

Aus dem "Nondestruktive Testing Handbook", Volume 4, 1987, S. 164-171 und 287, 288 ist ein Prüfgerät bekannt, bei dem eine Kompensation von Meßspaltänderungen nicht stattfindet und auch keine automatische Einstellung auf den optimalen Meßbetrieb während der Messungen oder Herstellung des Nullpegels in den Pausen zwischen den Messungen.

Die Erfindung geht aus von einer aus dem SU-Erfinderschein 5 38 213 bekannten Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung, mit einem Hochfrequenzgenerator (HF-Generator), einem Hochfrequenz-Amplitudendemodulator, einem Differential-Wirbelstromwandler, dessen Erregerwicklung an den Ausgang des HF-Generators angeschlossen und dessen gegensinnige Meßwicklungen über einen Mittelanschluß miteinander gekoppelt und elektrisch mit dem HF-Amplitudendemodulator verbunden sind, wobei ein freies Ende der Meßwicklung mit einer Nullschiene gekoppelt ist, mit einem Gleichstromverstärker, dessen Eingang mit dem Ausgang des HF-Amplitudendemodulators elektrisch verbunden ist, und mit einer Anzeigevorrichtung, die an den Ausgang des Gleichstromverstärkers angeschlossen ist.

Auch bei dieser bekannten Einrichtung läßt sich der Meßbetrieb während der Messungen nicht in optimaler Weise nachstimmen und auch der Nullpegel des Ausgangssignals in den Pausen zwischen den Messungen wird nicht automatisch nachgestimmt. Die Abstimmung der bekannten Einrichtung im Meßvorgang und in den Pausen zwischen den Messungen (Nullpegeleinstellung) erfolgen von Hand vor jeder Messung, was deren Prüfleistung, Stabilität und Genauigkeit wesentlich herabsetzt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung zu schaffen, die eine optimale automatische Nachstimmung während der Meßvorgänge unter gleichzeitiger automatischer Nachstellung des Nullpegels des Ausgangssignals in den Pausen zwischen den Messungen gestattet. Die neuen Geräte zur zerstörungsfreien Prüfung sollen sich durch eine hohe Prüfleistung, Stabilität und Genauigkeit auszeichnen, wobei manuelle Nachstimmungen im Meßvorgang entbehrlich werden sollen.

Ausgehend von einer Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung der vorstehend betrachteten gattungsgemäßen Art wird diese Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs angegebenen Merkmale.

In den erfindungsgemäßen Geräten zur zerstörungsfreien Prüfung ist der Meßvorgang unter Erhöhung der Stabilität und Genauigkeit der Prüfung automatisiert, was besonders wichtig beim Einsatz dieser Geräte in automatischen Taktstraßen ist.

Die Erfindung wird nachstehend durch die Beschreibung eines Ausführungsbeispiels an Hand der beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 das Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung;

Fig. 2 den zeitlichen Verlauf eines Signals am Ausgang eines ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers bei dessen symmetrischer Einstellung;

Fig. 3 den zeitlichen Verlauf eines Signals am Ausgang des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers bei dessen asymmetrischer Einstellung;

Fig. 4 den zeitlichen Verlauf eines Signals am Ausgang des HF-Amplitudendemodulators bei symmetrischer Einstellung des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers;

Fig. 5 den zeitlichen Verlauf des Signals am Ausgang des HF-Amplitudendemodulators bei asymmetrischer Einstellung des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers;

Fig. 6 den zeitlichen Verlauf des Ausgangssignals bei symmetrischer Einstellung des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers;

Fig. 7 den zeitlichen Verlauf des Ausgangssignals bei asymmetrischer Einstellung des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers.

Die Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung, beispielsweise der Stärke eines dünnen Metallüberzuges 1 auf einem Dielektrikum 2 enthält einen im Abstand h eines Arbeitsluftspaltes von dem zu messenden dünnen Metallüberzug 1 liegenden Differential-Wirbelstromwandler 3, einen HF-Generator 4, einen HF-Amplitudendemodulator 5, einen Gleichstromverstärker 6 und eine Anzeigevorrichtung 7. Die Erregerwicklung 8 des Differential-Wirbelstromwandlers 3 ist an den HF-Generator 4 angeschlossen, die Meßwicklungen 9, 10 sind gegeneinandergeschaltet und ein freies Ende der Wicklung 10 ist mit der Nullschiene 11 verbunden.

Die Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung enthält auch einen ohmsch-kapazitiven Spannungsteiler, der in Form einer Wheatstone-Brücke ausgeführt ist, bei der in ein Paar gegenüberliegender Brückenzweige ein Widerstand 12 und ein Kondensator 13, dessen einer Anschluß mit der Nullschiene 11 verbunden ist, geschaltet sind. In das andere Paar der gegenüberliegenden Brückenzweige des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers sind ein Widerstand 14, dessen einer Anschluß an die Nullschiene 11 angelegt ist, und eine Reihenschaltung aus einer Varikap 15 und einem Kondensator 16 geschaltet.

Der Verbindungspunkt 18 der Anode der Varikap 15 und des Kondensators 13 ist mit dem Verbindungspunkt 17 der Widerstände 12, 14 und mit dem Mittelanschluß 19 der Meßwicklungen 9, 10 des Differential-Wirbelstromwandlers 3 elektrisch leitend verbunden.

Der Verbindungspunkt 20 des die Widerstände 12, 14 aufweisenden ohmschen Brückenzweiges mit dem die Varikap 15 aufweisenden kapazitiven Brückenzweig ist mit dem Ausgang des Differential-Wirbelstromwandlers 3 und über einen Trennkondensator 21 mit dem Eingang des HF-Amplitudendemodulators 5 verbunden.

Die Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung weist auch einen Niederfrequenzgenerator (NF-Generator) 22 auf, dessen Ausgang über einen Trennkondensator 23 mit dem Verbindungspunkt 24 der Kathode der Varikap 15 und des Kondensators 16 gekoppelt ist. Dieser Verbindungspunkt 24 ist auch über einen Spannungsteiler aus Widerständen 25, 26 an eine positive Gleichspannungsquelle 27 gelegt.

Die Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung enthält außerdem eine Meßschaltung für den Wert der minimalen Amplitude eines NF-Signals, die aus einem Operationsverstärker 28 aufgebaut ist, dessen nicht invertierender Eingang an den Ausgang des HF-Amplitudendemodulators 5 angeschlossen und dessen invertierender Eingang über einen Widerstand 29 an die positive Gleichspannungsquelle 27 und über einen Widerstand 30 an den Eingang des Gleichstromverstärkers 6 geschaltet ist. Dieser Eingang ist außerdem über einen Widerstand 31 mit der positiven Gleichspannungsquelle 27, über einen Kondensator 32 mit der Nullschiene 11 sowie mit der Anode einer Diode 33, deren Kathode an den Ausgang des Operationsverstärkers 28 angeschlossen ist, verbunden.

Die Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung enthält auch eine Wandlereinheit 34 für geringe negative Abweichungen des Ausgangssignals des Gleichstromverstärkers 6, deren Eingang mit dem Ausgang des Gleichstromverstärkers 6 und dem Eingang des Anzeigers 7 verbunden ist. Eine steuerbare Spannungsquelle 35 ist mit ihrem Eingang an den Ausgang der Wandlereinheit 34 für geringe negative Abweichungen des Ausgangssignals des Gleichstromverstärkers 6 angeschlossen und ihr Ausgang beaufschlagt über einen Widerstände 36, 37 und einen Kondensator 38 aufweisenden Verzögerungskreis den Eingang des HF-Amplitudendemodulators 5.

Im Betrieb der Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung induziert das elektromagnetische HF-Feld des Differential-Wirbelstromwandlers 3 in dem im Abstand h des Arbeitsluftspaltes liegenden zu messenden Metallüberzug 1 Wirbelströme, die eine Änderung des Ausgangssignals der Wirbelstrom-Einrichtung hervorrufen, die proportional zur Stärke des Metallüberzuges 1 ist, d. h. es werden Fernmessungen (Arbeitsluftspalt h) ohne Zerstörung des Metallüberzuges 1 vorgenommen.

Im einzelnen verlaufen die Abstimmung und der Betrieb der Wirbelstrom-Einrichtung wie folgt:

Bei der Einschaltung der Wirbelstrom-Einrichtung wird der Erregerwicklung 8 des Differential-Wirbelstromwandlers 3 eine HF-Spannung vom HF-Generator 4 zugeführt. In den mit der Wicklung 8 induktiv gekoppelten Meßwicklungen 9, 10 werden HF-Signale induziert, die proportional der Windungszahl jeder Wicklung 9, 10 und dem Abstand jeder Wicklung 9, 10 von der Erregerwicklung 8 sind.

Bei Fehlen eines Metallüberzuges 1 stellt man ein Nullpegel-Signal im Punkt 20 ein, wozu man die Kapazitätswerte der Kondensatoren 16, 13 und die Widerstandswerte der Widerstände 12, 14 bei abgeschaltetem NF-Generator 22 unter Konstanthaltung der der Kathode der Varikap 15 über die Widerstände 25, 26 von der positiven Gleichspannungsquelle 27 zugeführten Spannung, die gleich der mittleren Arbeitsspannung der Varikap 15 ist, wählt.

Nach der Einschaltung des NF-Generators 22 tritt im Punkt 20 so bei Fehlen des Metallüberzuges 1 wie auch bei dessen Aufbringung im Abstand h des Arbeitsluftspaltes bei einer symmetrischen Einstellung des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers ein niederfrequenzmoduliertes HF-Signal 39 (Fig. 2) auf. Das Nutzsignal richtet sich nach der Größe des minimalen Amplitudenwertes der NF-Signalkomponente, die sich in Abhängigkeit von der Stärke des Metallüberzuges 1 ändert.

Bei einer Änderung von Blindparametern der Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung (Frequenz des HF-Generators, Parameter des Differential-Wirbelstromwandlers 3, Parameter der Blindschaltelemente) kommt es zu einer Verschiebung der Lage der Minimalamplitude des NF-Signals 40 (Fig. 3), wobei die Einstellung des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers asymmetrisch ist und sich der Wert dieser Minimalamplitude geringfügig ändert. Auf diese Weise geschieht eine optimale automatische Nachstimmung Der Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung im Meßvorgang.

Vom HF-Amplitudendemodulator 5 wird das Signal 41 oder 42 dem nicht invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 28 zugeführt. Bei Ausbleiben des Signals am nicht invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 28 läßt sich der Kondensator 32 über den Widerstand 31 großen Widerstandswertes von der positiven Gleichspannungsquelle 27 auf, welche +15 V liefert. Mit Erscheinen der Signale 41 oder 42 am nicht invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 28 gelangen diese Signale zum Ausgang des Operationsverstärkers 28, die Diode 33 wird leitend, und der Kondensator 32 entlädt sich rasch auf einen Wert, der gleich der Höhe der Minimal­ amplitude der Signale 41 oder 42 ist.

In den Zeiträumen zwischen den Minimalwerten der Amplituden dieser Signale wird der Kondensator 32 von der positiven Gleichspannungsquelle 27 über den Widerstand 31 langsam geladen. Dadurch steht am Eingang des Gleichstromverstärkers 6 ein Signal 43 oder 44 an, dessen Wert gleich dem der Minimalamplitude der NF-Signale 41 oder 42 ist. Dieses Signal gelangt zur Anzeigevorrichtung 7. Sein Wert hängt von der Änderung der Blindparameter der Einrichtung (Frequenz des HF-Generators, Parameter des Differential-Wirbelstromwandlers, Parameter der Blindschaltelemente) nicht ab. Obwohl sich die Signale 39 und 40 sowie die Signale 41 und 42 wegen der Änderung der Blindparameter der Einrichtung voneinander unterscheiden, fallen die Ausgangssignale 43 und 44 betragsmäßig zusammen. In dieser Weise wird die Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung im Meßvorgang automatisch auf Optimalbetrieb nachgestellt.

An den invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 28 (Fig. 1) wird über den Widerstand 29 großen Widerstandswertes eine positive Vorspannung von der positiven Gleichspannungsquelle 27 angelegt. Am Ausgang des Gleichstromverstärkers 6 und an den Eingängen der Anzeigevorrichtung 7 und der Wandlereinheit 34 für geringe Abweichungen des Ausgangssignals des Gleichstromverstärkers 6 tritt bei Fehlen des Metallüberzuges 1 eine der Vorspannung proportionale negative Gleichspannung auf, die Einheit 34 wird ausgelöst und an ihrem Ausgang erscheint ein Signal, das eine Änderung (Erhöhung) der positiven Ausgangsspannung am Ausgang der steuerbaren Spannungsquelle 35 bewirkt. Diese positive Ausgangsspannung wird über den Verzögerungskreis 36, 37, 38 auf den Eingang des HF-Amplitudendemodulators 5 geliefert, wodurch das Signal um den Wert dieser positiven Ausgangsspannung so lange verschoben wird, bis diese Verschiebung die durch die Zuführung der positiven Gleichspannung zum invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 28 hervorgerufene Verschiebung des Ausgangssignals ausgeglichen hat. Am Ausgang des Gleichstromverstärkers 6 und an der Anzeigevorrichtung 7 wird bei Abwesenheit eines Metallüberzuges 1 ein Nullwert des Ausgangssignals erreicht.

Mit Erscheinen einer geringfügigen negativen Spannung am Eingang der Anzeigevorrichtung 7 (Nulldrift) wegen der inneren Instabilität der Bauelemente der Einrichtung oder der Änderung der äußeren Bedingungen wird diese geringfügige negative Spannung auf den Eingang der Einheit 34 gegeben, die ausgelöst wird und eine Erhöhung der positiven Ausgangsspannung der Quelle 35 bewirkt, bis der Nullwert (Null) am Eingang des Anzeigers 7 wiederhergestellt ist.

Beim Erscheinen einer positiven Spannung am Eingang der Anzeigevorrichtung 7 werden die Einheit 34 und die steuerbare Quelle 35 nicht ausgelöst, die Vorspannung am Eingang des HF-Amplitudendemodulators 5 wird durch die Spannung am Kondensator 38 definiert, die wegen der Entladung des letzteren langsam abnimmt, das Ausgangssignal fällt langsam ab, wobei es sich dem Nullwert nähert.

Es sei nun der Betrieb der Einrichtung bei Vorhandensein eines Metallüberzuges 1 auf dem Dielektrikum 2 im Abstand h des Luftspaltes vom Differential-Wirbelstromwandler 3 betrachtet.

Das elektromagnetische HF-Feld des Differential-Wirbelstromwandlers 3 induziert im Metallüberzug 1 Wirbelströme, deren Wert sich nach der Dicke und der spezifischen Leitfähigkeit des Metallüberzuges 1 richtet. Diese Wirbelströme bewirken eine proportionale Änderung der HF-Spannungen in den Meßwicklungen 9, 10 des Differential-Wirbelstromwandlers 3 und demzufolge eine Änderung (Zunahme) des Signals am Eingang des HF-Amplitudendemodulators 5, wobei die Höhe des minimalen Amplitudenwertes des Signals 39 oder 40 zunimmt. Dementsprechend nimmt auch der Wert des minimalen Amplitudenwertes des NF-Signals 41 oder 42 am Ausgang des HF-Amplitudendemodulators 5 zu, und an der Anzeigevorrichtung 7 erscheint eine der Stärke des zu messenden Metallüberzuges 1 proportionale positive Ausgangsspannung.

Diese Spannung am Ausgang des Gleichstromverstärkers 6 wird bei einer längeren Verweildauer des zu messenden Metallüberzuges 1 am Differential-Wirbelstromwandler 3 wegen der Entladung des Kondensators 38 langsam abnehmen. Die Entladezeitkonstante des Kondensators 38 wird über 100 s gewählt. Infolge dieser Verringerung der Spannung am Kondensator 38 erscheint nach der Entfernung des zu messenden Metallüberzuges 1 vom Differential-Wirbelstromwandler 3 am Eingang der Anzeigevorrichtung 7 eine geringe negative Spannung, die Einheiten 34, 35 werden betätigt, wodurch der Kondensator 38 aufgeladen wird, bis der Nullpegel der Spannung am Ausgang der Wirbelstrom-Einrichtung wiederhergestellt ist.

Der vorgeschlagene Anschluß des NF-Generators 22 an die Varikap 15 des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers sowie der Einsatz der Meßschaltung für den Wert der minimalen Amplitude des NF-Signals in Verbindung mit der Wandlereinheit für geringe Abweichungen des Ausgangssignals des Gleichstromverstärkers und der steuerbaren Spannungsquelle ermöglicht also eine optimale automatische Nachstimmung der Wirbelstrom-Einrichtung im Meßvorgang unter gleichzeitiger automatischer Nachstellung des Nullpegels des Ausgangssignals in den Pausen zwischen den Messungen. Die so ausgebildeten Geräte zur zerstörungsfreien Prüfung sprechen schnell an und liefern Meßergebnisse guter Stabilität und Genauigkeit, wobei eine manuelle Nachstimmung im Meßvorgang entfällt.

Claims (1)

1. Wirbelstrom-Einrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung, mit einem Hochfrequenzgenerator (HF-Generator) (4), einem Hochfrequenz-Amplitudendemodulator (5), einem Differential-Wirbelstromwandler (3), dessen Erregerwicklung (8) an den Ausgang des HF-Generators (4) angeschlossen und dessen Meßwicklungen (9, 10) über einen Mittelanschluß (19) miteinander gekoppelt und elektrisch mit dem HF-Amplitudendemodulator (5) verbunden sind, wobei ein freies Ende der Meßwicklung (10) mit einer Nullschiene (11) gekoppelt ist, mit einem Gleichstromverstärker (6), dessen Eingang mit dem Ausgang des HF-Amplitudendemodulators (5) elektrisch verbunden ist, und mit einer Anzeigevorrichtung (7), die an den Ausgang des Gleichstromverstärkers (6) angelegt ist,
   gekennzeichnet durch einen ohmsch-kapazitiven Spannungsteiler, der in Form einer Wheatstone-Brücke ausgeführt ist, bei der in ein Paar gegenüberliegender Brückenzweige ein Widerstand (12) und ein Kondensator (13), dessen einer Anschluß mit der Nullschiene (11) verbunden ist, und in deren anderes Paar der gegenüberliegenden Brückenzweige ein Widerstand (14), dessen einer Anschluß an die Nullschiene (11) gelegt ist, und eine Reihenschaltung von einer Varikap (15) mit einem Kondensator (16) geschaltet sind, wobei der Verbindungspunkt (18) der Anode der Varikap (15) und des Kondensators (13) mit dem Verbindungspunkt (17) der Widerstände (12, 14) mit dem Mittelanschluß (19) der Meßwicklungen (9, 10) des Differential-Wirbelstromwandlers (3) elektrisch leitend verbunden ist und der Verbindungspunkt (20) des die Widerstände (12, 14) aufweisenden Brückenzweiges mit dem die Varikap (15) aufweisenden Brückenzweig mit dem Ausgang des Differential-Wirbelstromwandlers (3) und über einen Trennkondensator (21) mit dem Eingang des HF-Amplitudendemodulators (5) verbunden ist,
   durch einen Niederfrequenzgenerator (NF-Generator) (22), dessen Ausgang über einen Trennkondensator (23) mit dem über einen ohmschen Teiler mit Widerständen (25, 26) an eine positive Gleichspannungsquelle (27) angeschlossenen Verbindungspunkt (24) der Kathode der Varikap (15) und des Kondensators (16) in einem Brückenzweig des ohmsch-kapazitiven Spannungsteilers verbunden ist,
   durch eine Meßschaltung für den Wert der minimalen Amplitude eines NF-Signals, die aus einem Operationsverstärker (28) aufgebaut ist, dessen nicht invertierender Eingang mit dem Ausgang des HF-Amplitudendemodulators (5) gekoppelt und dessen invertierender Eingang über einen Widerstand (29) an die positive Gleichspannungsquelle (27), über einen Widerstand (30) an den Eingang des Gleichstromverstärkers (6) geschaltet ist, wobei der Eingang des Gleichstromverstärkers (6) über einen Widerstand (31) mit der positiven Gleichspannungsquelle (27), über einen Kondensator (32) mit der Nullschiene (11) sowie mit der Anode einer Diode (33) verbunden ist, deren Kathode an den Ausgang des Operationsverstärkers (28) angeschlossen ist,
   durch eine Wandlereinheit (34) für geringe negative Abweichungen des Aus­ gangssignals, des Gleichstromverstärkers (6) deren Eingang mit dem Ausgang des Gleichstromverstärkers (6) und dem Eingang der Anzeigevorrichtung (7) verbunden ist,
   und durch eine steuerbare Spannungsquelle (35), deren Eingang mit dem Ausgang der Wandlereinheit (34) für geringe negative Abweichungen des Ausgangssignals des Gleichstromverstärkers (6) und deren Ausgang über einen Verzögerungskreis (36, 37, 38) mit dem Eingang des HF-Amplitudendemodulators (5) verbunden ist.