DE3815260A1 - Temperaturmessgeraet - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Temperaturmeßgerät mit einer
Lichtquelle mit einer gegebenen spektralen Bandbreite, mindestens
einer Glasfaser, einem Fabry-Perot-Interferenzelement,
welches ein gegebenes inneres Medium und ein temperaturabhängiges
Transmissions- bzw. Reflexionsverhalten hat, und
einem Lichtdektor.
Zur Messung einer Temperatur steht heute eine große Zahl
von Verfahren und entsprechenden Geräten zur Verfügung. Die
Wahl eines bestimmten Verfahrens und Gerätes ist durch die
Umstände der Anwendung bedingt.
Große Bedeutung haben sogenannte faseroptische Temperaturmeßgeräte
erlangt, weil sie unempfindlich auf elektrische und
magnetische Störeinflüsse, verhältnismäßig vielseitig und
kompakt sind. Ein vielverwendetes Prinzip solcher Meßgeräte
beruht darauf, daß die Temperaturabhängigkeit eines Parameters
wie z. B. der Dicke einer Interferenzschicht gemessen wird.
Dabei kann die große Sensibilität einer interferometrischen
Messung benutzt werden. In diesem Zusammenhang bietet sich
ein Fabry-Perot-Interferenzelement an.
So ist aus der Druckschrift "Fiber optic colour sensors based
on Fabry-Perot-Interferometry" von E. R. Cox et al. IEE 221,
122, 1983 eine Anordnung zur Messung einer Temperatur mittels
eines Fabry-Perot-Interferenzelements bekannt. Dabei werden
Verschiebungen einer Durchlaßfrequenz bestimmt, welche durch
eine temperaturabhängige Änderung der Dicke des Fabry-Perot-
Interferenzelements hervorgerufen werden. Im Hinblick auf
eine gute Temperaturauflösung ist zur Änderung der Dicke
ein Material mit einem großen Ausdehnungskoeffizienten zu
verwenden. Unter anderem offenbart die Druckschrift eine
Anordnung, bei welcher der zwischen zwei als Spiegel wirkenden
Grenzflächen liegende Raum des Fabry-Perot-Interferenzelements
mit einem Polymer ausgefüllt ist, dessen Temperaturausdehnung
eine Änderung der Dicke des Fabry-Perot-Interferenzelements
bewirkt.
Der Nachteil einer solchen Anordnung liegt in ihrem aufwendigen
Aufbau. Insbesondere sind die dabei verwendeten verspiegelten
Linsen teuer und bedingen eine sehr präzise Montage. Nachteilig
ist weiter die mit beträchtlichem Aufwand verbundene Messung
der Frequenzverschiebung.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Temperturmeßgerät
mit einer Lichtquelle, mindestens einer Glasfaser,
einem Fabry-Perot-Interferenzelement, welches ein gegebenes
inneres Medium und ein temperaturabhängiges Transmissions-
bzw. Reflexionsverhalten hat, und einem Lichtdetektor zu
schaffen, welches einen einfachen und kompakten Aufbau besitzt.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß das
innere Medium im Verhältnis zu einem das Fabry-Perot-Interferenzelement
umgebenden äußeren Medium einen großen Brechungsindex
hat.
Dadurch ergibt sich der Vorteil, daß das Fabry-Perot-Interferenzelement
zusätzlich eine kollimierende Wirkung auf das
einfallende Licht hat, so daß sich Linsen zwischen Glasfasern
und Fabry-Perot-Interferenzelement erübrigen.
Eine besonders bevorzugte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen
Temperaturmeßgerätes verwendet als inneres Medium ein Halbleitermaterial.
Halbleitermaterialien haben neben einem relativ
großen Brechungsindex eine nahezu lineare Abhängigkeit der
Brechungsindexänderung mit der Temperatur. Ferner haben sie
als anorganische Stoffe eine verhältnismäßig hohe Temperaturstabilität
und ermöglichen deshalb einen großen Temperaturmeßbereich.
Weitere bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung ergeben
sich aus den Unteransprüchen.
Nachfolgend soll die Erfindung im Zusammenhang mit der Zeichnung
näher erläutert werden. Es zeigen
Fig. 1 ein Temperaturmeßgerät, wobei das vom Fabry-Perot-
Interferenzelement transmittierte Licht gemessen wird
und
Fig. 2 einen Ausschnitt aus einem solchen Temperaturmeßgerät,
wobei das Fabry-Perot-Interferenzelement an einer Stirnfläche
der Glasfaser angebracht ist,
Fig. 3 eine schematische Darstellung der Wirkungsweise des
erfindungsgemäßen Fabry-Perot-Interferenzelements
Fig. 4 ein Temperaturmeßgerät, wobei das vom Fabry-Perot-
Interferenzelement reflektierte Licht gemessen wird und
Fig. 5 ein Ausschnitt aus einem solchen Temperaturmeßgerät,
wobei das Fabry-Perot-Interferenzelement auf einer
Stirnfläche einer Glasfaser angebracht ist und
Fig. 6 ein Temperaturmeßgerät, bei welchem das Fabry-Perot-
Interferenzelement aus drei auf einer Stirnfläche einer
Glasfaser abgeschiedenen Schichten besteht.
Fig. 1 zeigt schematisch ein erfindungsgemäßes Temperaturmeßgerät.
Es besteht aus einer Lichtquelle 1, einer ersten Glasfaser
3 a, einem Fabry-Perot-Interferenzelement 4, einer zweiten
Glasfaser 3 b und einem Lichtdetektor 2.
Fig. 2 zeigt einen Ausschnitt aus Fig. 1, wobei gleiche Elemente
mit gleichen Bezugszeichen versehen sind. Zwischen einer
Stirnfläche 5 a der ersten Faser 3 a und einer Stirnfläche 5 b
der zweiten Glasfaser 3 b befindet sich das Fabry-Perot-Interferenzelement
4. Es hat die Form einer Platte, deren Volumen
mit einem inneren Medium 6 ausgefüllt ist. Die Platte ist
umgeben von einem äußeren Medium 11. Die Grenzflächen zwischen
innerem Medium 6 und äußerem Medium 11 wirken als Spiegel.
Sie können bei Bedarf zusätzlich mit reflektierenden Schichten
bedeckt werden, um die Modulationstiefe des Transmissionsverhaltens
zu erhöhen. Das innere Medium 6 soll im Verhältnis
zum äußeren Medium 11 einen hohen Brechungsindex besitzen.
Bevorzugterweise ist das innere Medium 6 ein Halbleitermaterial.
Es ist bekannt, daß sich bei Halbleitermaterialien die Bandlücke
mit der Temperatur nahezu linear verschiebt. Das wiederum
hat eine Änderung des Brechungsindexes zur Folge. Typische
Brechungsindizes n und Brechungsindexänderungen Δ n/Δ T sind z. B.
Welches Halbleitermaterial als inneres Medium 6 verwendet
werden kann, hängt von der Frequenz des eingestrahlten Lichts
ab. Auf jeden Fall soll die Bandlücke des Halbleitermaterials
im ganzen gewünschten Temperaturbereich des Temperaturmeßgeräts
größer als die Frequenz des Lichts sein, damit sicher
gestellt ist, daß das Licht der Lichtquelle 1 vom inneren
Medium 6 nicht absorbiert wird.
Beispielsweise können mit einem GaAs/AlGaAs-Laser, dessen
Wellenlänge typischerweise zwischen 750 und 850 nm liegt,
Halbleitermaterialien wie GaP und AlAs, und mit einem InGaAsP-Laser,
dessen Wellenlänge bei etwa 1,3 µm liegt, als Halbleitermaterialien
GaAs, Si, Ge und InP verwendet werden.
Als Fabry-Perot-Interferenzelement 4 kann beispielsweise
eine Platte aus einem Halbleiterkristall benützt werden.
Das Fabry-Perot-Interferenzelement 4 ist mit einem geeigneten
Verbundstoff 7 an die Stirnfächen 5 a, 5 b der ersten und
zweiten Glasfasern 3 a, 3 b angeklebt. Zusätzlich ist das Fabry-
Perot-Interferenzelement 4 rundum mit diesem Verbundstoff
umgeben, welcher damit gleichzeitig als äußeres Medium 11
wirkt. Als Verbundstoff kann z. B. Polyimid verwendet werden.
Um das Fabry-Perot-Interferenzelement 4 gegen Streulicht
zu schützen, ist das äußere Medium 11 mit einer Schutzschicht
8 bedeckt. Zum Beispiel ist schwarzer Lack als Schutzschicht
8 gut geeignet.
Die Lichtquelle 1 hat eine kleine spektrale Bandbreite, bevorzugterweise
eine solche von weniger als 30 GHz. Geeignete
Lichtquellen sind Laser, insbesondere Halbleiterlaser, und
Leuchtdioden mit einem nachgeschalteten Schmalbandfilter.
Es sind auch gefilterte thermische Lichtquellen denkbar.
Die kleine spektrale Bandbreite erlaubt es, die Messung des
Lichts auf eine Messung deren Intensität zu beschränken,
um die Temperatur des inneren Mediums 6 zu bestimmen. Welcher
Anforderung die spektrale Bandbreite der Lichtquelle 1 zu
genügen hat, kann wie folgt festgestellt werden:
Es ist bekannt, daß das Transmissionsverhalten bei gegebener
Dicke des Fabry-Perot-Interferenzelements, gegebenem Brechungsindex
des inneren Mediums und gegebenem Einstrahlwinkel eine
periodische Funktion der Frequenz ist. Als Durchlaßfrequenzen
bezeichnet man Frequenzen, bei denen diese Funktion ein relatives
Maximum annimmt. Die spektrale Bandbreite der Lichtquelle 1
soll nun so bemessen sein, daß sie klein ist im Verhältnis
zu einer Bandbreite, welche durch den Abstand zweier benachbarter
Durchlaßfrequenzen gegeben ist, d. h. mit anderen Worten,
daß die spektrale Bandbreite der Lichtquelle 1 klein ist im
Verhältnis zu einer spektralen Periode des Transmissionsverhaltens.
Dies garantiert, daß die Intensitätsmaxima und -minima
des Transmissionsverhaltens gut kontrastieren.
Die Intensitätsmessung kann in diesem Fall z. B. mit einer
einfachen Fotodiode gemessen werden. Eine aufwendige, spektrale
Messung des vom Fabry-Perot-Interferenzelements 4 transmittierten
oder reflektierten Lichts ist auf diese Weise elegant umgangen.
Nachfolgend wird kurz die Funktionsweise des soeben als Ausführungsbeispiel
beschriebenen Temperaturgeräts erläutert.
Das Licht der Lichtquelle 1 wird in die Glasfaser 3 a eingekoppelt
und an den Ort geführt, wo eine Temperatur gemessen werden
soll. Das aus der Stirnfläche 5 a der Glasfaser 3 a austretende
Licht wird vom Fabry-Perot-Interferenzelement 4 ganz oder
nur zum Teil transmittiert und in die Glasfaser 3 b eingekoppelt.
Am Ende der Glasfaser 3 b wird es vom Lichtdetektor 2 absorbiert.
Dem Lichtdetektor 2 kann bei Bedarf eine Auswerteelektronik
nachgeschaltet sein, welche dem gemessenen Intensitätswert
einen entsprechenden Temperaturwert zuordnet.
Die Wirkung des erfindungsgemäß hohen Brechungsindex des
inneren Mediums 6 kann anhand folgender Betrachtung erläutert
werden.
Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung des Fabry-Perot-
Interferenzelements 4. Andeutungsweise sind eine Lichtquelle
1 und ein Lichtdetektor 2 eingezeichnet. Das Fabry-Perot-Interferenzelement
4 hat ein inneres Medium 6 mit einem Brechungsindex
n₁ und einer Dicke d und ist umgeben von einem äußeren
Medium 11 mit einem Brechungsindex n₀. Eine ebene Lichtquelle
der Frequenz ω fällt unter dem Einfallswinkel a₀ ein, wird
an einer Grenzfläche 12 des Fabry-Perot-Interferenzelements
4 gebrochen und dringt unter dem Winkel α₁ in das innere Medium
6 ein.
Die Transmission des Fabry-Perot-Interferenzelements 4, welches
in der bekannten Form
geschrieben werden kann, ist maximal, falls eine Phase q,
definiert durch
c=Vakuumlichtgeschwindigkeitl=Frequenz des Lichtsn₁=Brechungsindex des inneren Mediums 6
d=Dicke des Fabry-Perot-Interferenzelements 4
a₁=Winkel des Lichts im inneren Medium 6
die Bedingung
γ = 2m π (II)
γ = 2m π (II)
m = positive ganze Zahl (1, 2, . . .)
Ist nun das eingestrahlte Licht nicht eine ebene Lichtwelle
mit einem festen Einfallswinkel α₀, sondern hat es, wie es
in der Praxis unvermeidbar ist, eine gewisse Divergenz, so
verschmieren sich die Transmissionsmaxima in unerwünschter
Weise.
Durch die Erfindung kann nun der negative Effekt der Strahldivergenz
weitgehend eliminiert werden. Für senkrecht einfallendes
Licht mit einer Strahldivergenz α₀ erhält man unter
Verwendung der Gleichung (I) und des Brechungsgesetzes eine
maximale Phasendifferenz δ
n₀= Brechungsindex des äußeren Mediums 11
α₀= Strahldivergenz.
Je größer n₁ im Verhältnis zu n₀ ist, umso kleiner ist die
unerwünschte Phasenschiebung δ, welche von der Strahldivergenz
α₀ herrührt und eine Verschmierung der Transmissionsmaxima
zur Folge hat.
Die Divergenz des aus einer Glasfaser austretenden Lichts
ist im wesentlichen bestimmt durch die numerische Apertur
der Glasfaser. Andererseits ist die maximal tolerierbare
Strahldivergenz gemäß Gleichung (III) unter anderem von
der Dicke d des Fabry-Perot-Interferenzelements abhängig:
je größer die Dicke d ist, umso kleiner muß die Strahldivergenz
α₀ und damit auch die numerische Apertur sein.
Ist die Dicke d z. B. 100 µm oder mehr, so wird mit Vorteil
als Glasfaser 3 b eine Monomodefaser verwendet. Für Dicken
unter 10 µm genügt eine Glasfaser mit einer numerischen Apertur
von etwa 0,2.
Durch die temperaturbedingte Brechungsindexänderung verändert
sich die Phase γ und somit die Transmission des Fabry-Perot-
Interferenzelements. Je größer die Dicke d ist, umso stärker
wirkt sich eine Brechungsindexänderung auf die Phase aus.
Grundsätzlich ergeben sich damit zwei Meßverfahren.
Gemäß einem ersten Verfahren wählt man die Dicke d des Fabry-
Perot-Interferenzelements 4 so, daß die Werte der Phase γ,
die in einem gegebenen Temperaturbereich dem maximalen und
minimale Brechungsindex entsprechen, alle in einem Intervall
liegen, welches durch zwei benachbarte Vielfache von π begrenzt wird.
Dies bedeutet, daß einer bestimmten Intensität des vom Fabry-
Perot-Interferenzelements 4 transmittierten oder reflektierten
Lichts genau ein Temperaturwert entspricht. Bei einem solchen
Meßverfahren werden bevorzugt Dicken von weniger als 10 µm
verwendet.
Gemäß einem zweiten Verfahren wählt man die Dicke d des Fabry-
Perot-Interferenzelements 4 so, daß in einem gegebenen Temperaturbereich
die maximalen und minimalen Werte der Phase γ ein
Intervall definieren, welches viel größer als π ist. Ein
Temperaturwert wird in diesem Fall durch das Zählen der während
einer Temperaturänderung durchlaufenen Maxima des Transmissionsverhaltens
ermittelt. Bevorzugterweise beträgt die Dicke d
des Fabry-Perot-Interferenzelements 4 mehr als 100 µm.
Ein Fabry-Perot-Interferenzelement 4, wie es im oben beschriebenen
Ausführungsbeispiel verwendet wird, kann auf einfache
Art mit bekannten Mitteln hergestellt werden. Beispielsweise
kann ein handelsüblicher Wafer auf eine gewünschte Dicke geläppt
und anschließend in z. B. 200 · 200 µm² kleine Platten gespalten
werden. Es ist dabei zu beachten, daß mit zunehmender Dicke
des Fabry-Perot-Interferenzelements 4 die Anforderungen an
die Parallelität der Grenzflächen 12 steigen.
In Fig. 6 ist eine besonders bevorzugte Ausführungsform eines
erfindungsgemäßen Temperaturmeßgerätes dargestellt. Und
zwar betrifft sie eine besonders einfache, kompakte und robuste
Ausführung des Fabry-Perot-Interferenzelements 4.
Auf einer Stirnfläche 5 c einer Glasfaser 3 d ist z. B. eine
Abfolge von drei Schichten 10 a, 10 b, 10 c aufgebracht. Eine
Schicht 10 b wirkt als inneres Medium des Fabry-Perot-Interferenzelements
4. Ihre Dicke entspricht der Dicke des Fabry-
Perot-Interferenzelements 4. Die Schichten 10 a und 10 c sind
verspiegelnde Schichten. Sie erhöhen auf bekannte Weise die
Modulationstiefe des Transmissionsverhaltens. Besonders geeignet
dafür sind Schichten aus Metall, z. B. aus Silber oder
Chrom. Sie lassen sich mit bekannten Verfahren (z. B. durch
Aufdampfen oder Sputtern) herstellen.
Auch hier werden bevorzugt Halbleitermaterialien für die
als inneres Medium wirkende Schicht 10 b verwendet. Durch
Aufdampfen von z. B. Si, entsteht eine polykristalline Schicht
10 b von einer Dicke von etwa 2-5 µm. Dementsprechend wird
das bereits beschriebene Meßverfahren, welches mit Dicken
unter 10 µm arbeitet, zur Bestimmung der Temperatur benützt.
Eine Abfolge von drei Schichten entspricht nur einem speziellen
Ausführungsbeispiel. Erfindungswesentlich ist allein die
zweite Schicht 10 b des obigen Ausführungsbeispiels. Die übrigen
Schichten 10 a, 10 c können wahlweise fehlen; sie können aber
auch selbst aus mehreren Teilschichten aufgebaut sein.
Es sei bemerkt, daß das äußere Medium im allgemeinen nicht
als etwas zu betrachten ist, das in Form eines eigens dafür
vorgesehenen Materials auf das Fabry-Perot-Interferenzelement
anzubringen ist. Im Fall der aufgedampften Schichten wirkt
z. B. der Kern der Glasfaser als äußeres Medium.
Fig. 4 und Fig. 5 zeigen eine weitere bevorzugte Ausführungsform
der Erfindung. Es wird dabei die Tatsache ausgenutzt,
daß sich die reflektierte Intensität zur transmittierten
komplementär verhält.
Fig. 4 zeigt eine Lichtquelle 1 und eine Glasfaser 3 b, einen
Lichtdetektor 2 und eine Glasfaser 3 a, eine Glasfaser 3 c,
an deren Ende sich ein Fabry-Perot-Interferenzelement 4
befindet, und ein Richtungskoppler 5.
Fig. 5 zeigt einen Ausschnitt aus Fig. 4, wobei gleiche Teile
mit gleichen Bezugszeichen versehen sind. Wie in einem früher
beschriebenen Ausführungsbeispiel ist das Fabry-Perot-Interferenzelement
4 an einer Stirnfläche 5 c der Glasfaser 3 d
angebracht und rundum von einem äußeren Medium 11 umgeben.
Das äußere Medium 11 wirkt gleichzeitig als ein Verbundstoff
zwischen Glasfaser 3 d und Fabry-Perot-Interferenzelement
4 und kann z. B. Polyimid sein. Besonders wichtig ist hier
die Abschirmung gegen Streulicht z. B. durch eine das äußere
Medium 11 bedeckende Schutzschicht 8 aus schwarzem Lack.
Damit möglichst viel reflektiertes Licht in die Glasfaser
3 eingekoppelt wird, ist das Fabry-Perot-Interferenzelement
4 parallel zur Stirnfläche 5 c der Glasfaser 3 d angeordnet.
Die eben beschriebene Ausführung des Fabry-Perot-Interferenzelements
4 kann bevorzugt mit allen weiter oben, im Zusammenhang
mit der Transmissionsanordnung (Fig. 2) erläuterten
Merkmalen verwendet werden. Besonders erwähnt sei dabei die
Ausführungsform, bei welcher das Fabry-Perot-Interferenzsignal
aus mindestens einer auf einer Stirnfläche einer Glasfaser
aufgebrachten Schicht besteht.
Der Temperaturbereich eines erfindungsgemäßen Temperaturmeßgeräts
ist abhängig von der thermischen Stabilität der Materialien,
aus welchen das Fabry-Perot-Interferenzelement und allenfalls
verwendete Klebstoffe oder Zwischenschichten bestehen.
Ist das Fabry-Perot-Interferenzelement aus einem Halbleitermaterial,
so lassen sich z. B. bei Verwendung von Si sehr hohe
Temperaturen messen. Beschränkend wird in diesem Fall primär
die thermische Stabilität der Materialien der Glasfaser sein.
Abschließend kann gesagt werden, daß ein erfindungsgemäßes
Temperaturmeßgerät einen einfachen und kompakten Aufbau
hat, und unempfindlich gegen elektrische und magnetische
Störeinflüsse ist.
Claims (11)
1. Temperaturmeßgerät mit
- a) einer Lichtquelle (1) mit einer gegebenen spektralen Bandbreite,
- b) mindestens einer Glasfaser (3 a, 3 b, 3 d)
- c) einem Fabry-Perot-Interferenzelement (4), welches ein gegebenes inneres Medium (6) und ein temperaturabhängiges Transmissions- bzw. Reflexionsverhalten hat, und
- d) einem Lichtdetektor (2),
dadurch gekennzeichnet, daß
- e) das innere Medium (6) im Verhältnis zu einem das Fabry- Perot-Interferenzelement (4) umgebenden äußeren Medium (11) einen großen Brechungsindex hat.
2. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das innere Medium (6) ein Halbleitermaterial ist.
3. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß
- a) die spektrale Bandbreite der Lichtquelle (1) klein ist im Verhältnis zu einer spektralen Periode des Transmissionsverhaltens, insbesondere, daß sie kleiner als 30 GHz ist, daß
- b) der Lichtdetektor (2) eine durch das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) transmittierte oder reflektierte Lichtintensität mißt, und daß
- c) das Fabry-Perot-Interferenzelement an mindestens eine Stirnfläche (5 a, 5 b, 5 c) einer Glasfaser (3 a, 3 b, 3 d) angebracht ist.
4. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß
- a) die Lichtquelle (1) ein GaAs/AlGaAs-Laser und
- b) das Halbleitermaterial des Fabry-Perot-Interferenzelements (4) GaP oder AlAs ist.
5. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß
- a) die Lichtquelle (1) ein InGaAsP-Laser und
- b) das Halbleitermaterial des Fabry-Perot-Interferenzelements (4) GaAs, Si, Ge oder InP ist.
6. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet, daß das Fabry-Perot-Interferenzelement
(4) eine Dicke (d) hat, bei welcher in einem gegebenen
Temperaturbereich einem Wert einer gemessenen Lichtintensität
genau ein Temperaturwert entspricht, insbesondere
daß das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) eine Dicke
(d) von weniger als 10 µm hat.
7. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet, daß das Fabry-Perot-Interferenzelement
(4) eine Dicke (d) hat, bei welcher in einem gegebenen
Temperaturbereich das Transmissionsverhalten eine
große Zahl von Maxima aufweist, so daß ein Temperaturwert
durch die Anzahl der in einem Temperaturintervall liegenden
Maxima bestimmt ist, insbesondere daß das Fabry-Perot-Interferenzelement
(4) eine Dicke (d) von mehr als 100 µm hat.
8. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 6 oder 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
- a) das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) eine Einkristallplatte ist, daß
- b) die Einkristallplatte mit einem Verbundstoff (7) an mindestens einer Stirnfläche (5 a, 5 b, 5 c) mindestens einer Glasfaser (3 a, 3 b, 3 d) angebracht ist, daß
- c) der Verbundstoff (7) Polyimid ist, daß
- d) das äußere Medium (11) Polyimid und
- e) das äußere Medium (11) mit einer Schutzschicht (8), insbesondere mit einer schwarzen Lackschicht, gegen Streulicht geschützt ist.
9. Temperaturmeßgerät nach einem der Ansprüche 6 oder 7,
dadurch gekennzeichnet, daß das Fabry-Perot-Interferenzelement
(4) aus mindestens einer auf eine Stirnfläche (5 b)
der Glasfaser (3 d) aufgebrachten Schicht (10 b) besteht.
10. Temperaturmeßgerät nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß das Fabry-Perot-Interferenzelement (4) aus einer Schichtabfolge
von drei Schichten besteht, wobei die erste Schicht
(10 a) eine Metallschicht, die zweite Schicht (10 b) eine
Halbleiterschicht und die dritte Schicht (10 c) wiederum
eine Metallschicht ist.
Applications Claiming Priority (1)
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Legal Events
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8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |