DE3814630C2 - Laser stamping processing machine - Google Patents

Laser stamping processing machine

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Description

Die Erfindung betrifft eine Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine mit einem Hauptge­ stell, einer von dem Hauptgestell getragenen Stanzvorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken durch Stanzen, sowie einer Laserbearbeitungsvorrichtung mit einem Laserstrahlresonator und einer, einen Strahlweg bildenden Einrichtung zum Führen eines Laserstrahles zu einem Laserbearbeitungskopf.The invention relates to a laser punching machine with a Hauptge stell, a punching device carried by the main frame for processing Workpieces by punching, as well as a laser processing device with one Laser beam resonator and a device for guiding a beam path a laser beam to a laser machining head.

Aus DE 35 19 885 A1 ist eine Blechbearbeitungsmaschine bekannt, die sowohl eine Stanzeinrichtung als auch eine Laser-Schneideinrichtung umfaßt. Die Laserschneid­ einrichtung umfaßt einen, an einem Hauptgestell der Blechbearbeitungsmaschine an­ gebrachten Laserkopf mit einem Umlenkspiegel. Über diesen Umlenkspiegel wird ein über einen separat aufgestellten Laser-Resonator erzeugter Laserstrahl auf ein Werkstück projiziert. Der zur Umlenkung und ggf. auch Fokussierung des Laser­ strahls vorgesehene Laserkopf ist über eine elastische Membran an dem Hauptgestell der Bearbeitungsmaschine gelagert und wird während eines Bearbeitungsvorgangs starr mit dem Hauptgestell gekoppelt. Beim Transport dieser herkömmlichen Blechbe­ arbeitungsmaschine werden die Stanzvorrichtung und der Laser-Resonator jeweils als separate Einzelmodule transportiert und nach Aufstellung auf einer gemeinsamen Bodenplatte hinsichtlich ihrer Relativposition zueinander präzise justiert.From DE 35 19 885 A1 a sheet metal working machine is known, which is both a Punching device as well as a laser cutting device. The laser cutting device comprises a, on a main frame of the sheet metal working machine brought laser head with a deflecting mirror. About this deflecting mirror is a laser beam generated on a separately set up laser resonator Projected workpiece. The one for deflecting and possibly also focusing the laser The laser head is provided via an elastic membrane on the main frame the processing machine is stored and is during a processing operation rigidly coupled to the main frame. When transporting this conventional sheet metal working machine, the punching device and the laser resonator are each as separate individual modules transported and after installation on a common Base plate precisely adjusted with respect to their relative position to each other.

Aus US 4 335 296 ist eine ähnliche Blechbearbeitungsmaschine bekannt, welche ebenfalls eine Stanzeinrichtung sowie eine Laserschneideinrichtung umfaßt. Auch bei dieser herkömmlichen Blechbearbeitungsmaschine wird ein zur Durchführung eines Laser-Schneidvorganges benötigter Laserstrahl über einen extern aufgestellten La­ ser-Resonator erzeugt.A similar sheet metal working machine is known from US 4,335,296 also includes a punching device and a laser cutting device. Also at this conventional sheet metal working machine is used to carry out a Laser cutting process required laser beam via an externally installed La generated resonator.

Aus EP 0 008 773 A1 ist eine Blechbearbeitungsmaschine bekannt, bei welcher ein plattenförmiges Werkstück im Rahmen eines Stanzbearbeitungsvorganges oder ei­ nes Laser-Schneidvorganges bearbeitet werden kann. Der zur Durchführung des La­ ser-Bearbeitungsvorganges erforderliche Laserstrahl wird in gleicher Weise wie bei den vorangehend beschriebenen Blechbearbeitungsmaschinen über einen separat aufgestellten Laser-Resonator erzeugt und über ein Umlenkspiegelsystem auf das Werkstück projiziert.A sheet metal working machine is known from EP 0 008 773 A1, in which a plate-shaped workpiece as part of a stamping process or egg laser cutting process can be processed. The one to carry out the La laser machining process required in the same way as for the sheet metal processing machines described above via a separately  installed laser resonator and generated on a deflection mirror system Projected workpiece.

Aus der Zeitschrift "Blech, Rohre, Profile; 29 (1982)/12, Seite 571" ist eine Blechbear­ beitungsmaschine bekannt, bei welcher eine mit einem Laser-Bearbeitungskopf ver­ sehene Stanzmaschine und ein zugehöriger Laser-Resonator auf einer gemeinsamen Basisplatte angeordnet sind, wobei während eines Stanzbearbeitungsvorganges die Stanzbearbeitungsmaschine von der Basisplatte abgehoben wird, so daß im wesentli­ chen keine, von einem Stanzbearbeitungsprozeß herrührenden mechanischen Schwingungen auf den separat angeordneten Laser-Resonator übertragen werden können.From the magazine "Blech, Rohr, Profile; 29 (1982) / 12, page 571" is a Blechbear beitungsmaschine known, in which a ver with a laser processing head See punching machine and an associated laser resonator on a common Base plate are arranged, the during a punching process Punching machine is lifted from the base plate, so that in essence no mechanical ones resulting from a stamping process Vibrations are transmitted to the separately arranged laser resonator can.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Laser-Stanzbearbeitungsmaschine zu schaffen, bei welcher die Übertragung der im Rahmen des Stanzbearbeitungsvor­ ganges auftretenden Vibrationen auf einen zur Bereitstellung eines Laserstrahls vor­ gesehenen Laserstrahl-Resonator weitgehend vermieden ist, und bei welcher ferner eine präzise und zuverlässige Positionierung des Laserstrahlresonators relativ zum Hauptgestell sichergestellt ist.The invention has for its object to a laser punching machine create, in which the transfer of the punching process vibrations occurring on one to provide a laser beam seen laser beam resonator is largely avoided, and in which further precise and reliable positioning of the laser beam resonator relative to the Main frame is ensured.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Laser-Stanzbearbeitungsmaschine mit den in Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst.According to the invention, this object is achieved by a laser stamping processing machine solved with the features specified in claim 1.

Vorteilhafte Weiterbildungen dieser Laser-Stanzbearbeitungsmaschine sind Gegen­ stand der Unteransprüche.Advantageous further developments of this laser stamping machine are counter stood the subclaims.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung. Darin zeigt: Further details, features and advantages of the invention result from the The following description of preferred embodiments of the invention with reference to the accompanying drawing. It shows:  

Fig. 1 eine Seitenansicht einer Ausführungsform nach der Erfindung, bei der ein Teil in Schnittdar­ stellung gezeigt ist, Fig. 1 is a side view of an embodiment according to the invention, in which a part is shown in Schnittdar position,

Fig. 2 eine vergrößerte Schnittansicht längs eines Pfeils II in Fig. 1, Fig. 2 is an enlarged sectional view taken along an arrow II in Fig. 1,

Unter Bezugnahme auf Fig. 1 ist bei einer kombinierten Bear­ beitungsmaschine 1 ein Laserstrahlresonator 5 sowie ein Laserbearbeitungskopf 7 an einer Stanzpresse 3 angebracht. Genauer gesagt, ist die Stanzpresse 3 einteilig mit einem portalförmigen Gestell 11 auf einer ge­ meinsamen Basis 9 ausgelegt. Auf dem Gestell 11 sind ein ver­ tikal hin- und hergehend beweglicher Stanzstempel zum Aufset­ zen eines Stanzwerkzeugs, obere und untere Revolverköpfe 13, die mit einer großen Anzahl von Stanzen und Werkzeugen ausge­ stattet sind, die mit Hilfe eines Motors (nicht gezeigt) ver­ drehbar sind, und eine Werkstückbewegungs- und Positionierein­ richtung 15 vorgesehen, um ein Blechwerkstück horizontal in Richtung der X-Achse und der Y-Achse zu bewegen und zu positio­ nieren.Referring to Fig. 1 is a combined beitungsmaschine at a Bear 1 Laserstrahlresonator 5 as well as a laser machining head 7 mounted on a punch press 3. More precisely, the punch press 3 is designed in one piece with a portal-shaped frame 11 on a common base 9 . On the frame 11 are a vertically reciprocating movable punch for Aufz zen a punch, upper and lower turrets 13 , which are equipped with a large number of punches and tools that can be rotated with the help of a motor (not shown) are, and a workpiece movement and Positionierein device 15 is provided to horizontally move and position a sheet metal workpiece in the direction of the X-axis and the Y-axis.

Um einen möglichst geringen Platzbedarf zu erreichen und den Transport zu erleichtern, sowie eine leichte Einstellung der optischen Achse der Maschine zu ermöglichen, ist der Laser­ strahlresonator 5 auf der gemeinsamen Basis 9 in der Nähe der Stanz­ presse 3 angebracht. Genauer gesagt, ist ein vibrationsdämpfen­ der Rahmen 17 einteilig an der gemeinsamen Basis 9 mit Hilfe einer Mehrzahl von Befestigungsteilen 19 angebracht. Eine vi­ brationsdämpfende Basis 21 wird auf dem vibrationsdämpfen­ den Rahmen 17 über eine Mehrzahl von Positionierstützeinrich­ tungen 23 getragen. Der Laserstrahlresonator 5 ist auf der vibra­ tionsdämpfenden Basis 21 angebracht.In order to achieve the smallest possible space requirement and to facilitate transport, as well as to allow easy adjustment of the optical axis of the machine, the laser beam resonator 5 is attached to the common base 9 near the punch press 3 . More specifically, vibration damping of the frame 17 is integrally attached to the common base 9 by means of a plurality of fastening parts 19 . A vibration damping base 21 is supported on the vibration damping frame 17 via a plurality of positioning support means 23 . The laser beam resonator 5 is mounted on the vibration-damping base 21 .

Genauer gesagt, ist der vibrationsdämpfende Rahmen 17 kastenförmig ausgelegt und an jedem seiner vier Ecken mit einem Schenkelabschnitt 17L ver­ sehen, wobei eine Mehrzahl von horizontalen Trägerteilen 17B vorgesehen ist, die wechsel­ weise die oberen und unteren Teile der jeweiligen Schenkelab­ schnitte 17L verbinden. Die Befestigungsteile 19 werden von Verbindungsstangen gebildet, die durch die jeweiligen Schenkel­ abschnitte 17L des vibrationsdämpfenden Rahmens 17 gehen. Das untere Ende jeder Verbindungsstange ist in die gemeinsame Ba­ sis 9 eingeschraubt. Da diese sicher festgelegt sind, können die Befestigungsteile 19 einen Zustand mit hoher Belastung in den Schenkelabschnitten 17L des vibrationsdämpfenden Rah­ mens 17 aufrechterhalten, wodurch das Dämpfungsvermögen des vibrationsdämpfenden Rahmens 17 erhöht wird.More specifically, the vibration-damping frame 17 is box-shaped and see ver at each of its four corners with a leg portion 17 L, with a plurality of horizontal support parts 17 B is provided which alternately connect the upper and lower parts of the respective leg portions 17 L . The fastening parts 19 are formed by connecting rods, the sections 17 L of the vibration-damping frame 17 go through the respective leg. The lower end of each connecting rod is screwed into the common base 9 . Since they are securely fixed, the fastening components can of the vibration damping Rah mens 19 maintain a state of high stress in the leg portions 17 L 17, thereby increasing the damping property of the vibration damping frame 17th

Die Positioniertrageinrichtung 23 trägt die schwingungsdämpfen­ de Basis 21, eliminiert Vibrationen von der Stanzpresse 3 und positioniert den Laserstrahlresonator 5 in korrekter Weise relativ zur gemeinsamen Basis 9. Die Auslegung der Positioniertrag­ einrichtung 23 ist in Fig. 2 gezeigt. Insbesondere ist ein zylindrisches erstes Rohrelement 25 einteilig an der oberen Fläche der Schenkel 17L des vibrationsdämpfenden Rahmens 17 mit Hilfe einer Schraube oder dergleichen angebaut. Ein Flansch­ abschnitt 25F, dessen äußere Umfangsfläche von einem ersten ko­ nischen Abschnitt 25T gebildet wird, ist an dem unteren Abschnitt des ersten Rohrelements 25 vorgesehen.The Positioniertrageinrichtung 23 transmits the vibration dampen de base 21 eliminates vibration of the punch press 3 and positions the Laserstrahlresonator 5 in correct manner relative to the common base. 9 The design of the positioning support device 23 is shown in Fig. 2. In particular, a cylindrical first tubular element 25 is integrally attached to the upper surface of the legs 17 L of the vibration-damping frame 17 by means of a screw or the like. A flange portion 25 F, the outer peripheral surface of which is formed by a first ko African portion 25 T is provided on the lower portion of the first tubular member 25 .

Das erste Rohrelement 25 greift bei dieser Ausbildungsform in das Innere eines zylindrischen zweiten Rohrelements 27 ein, das auf der Bodenfläche der vibrations­ dämpfenden Basis 21 angebracht ist. Ein Flanschabschnitt 27F ist einteilig am oberen Abschnitt des Querschnitts des Rohr­ elements 27 vorgesehen, um die Positioniertrageinrichtung 23 an der vibrationsdämpfenden Basis 21 anzubringen. Zusätzlich ist eine Ringplatte 27R, die mit einem konischen Öffnungsteil 27T versehen ist, einteilig an dem unteren Teil des zweiten Rohrelements 27 angebracht, um auf freie Weise mit dem ersten konischen Abschnitt 25T zusammenzuarbeiten.In this embodiment, the first tubular element 25 engages inside a cylindrical second tubular element 27 , which is attached to the bottom surface of the vibration-damping base 21 . A flange portion 27 F is integrally provided on the upper portion of the cross section of the tubular member 27 to attach the positioning support 23 to the vibration-damping base 21 . In addition, an annular plate 27 R, which is provided with a conical opening part 27 T, is integrally attached to the lower part of the second tubular member 27 so as to freely cooperate with the first conical section 25 T.

Ein Dichtungselement 29, das aus Kautschuk oder dergleichen gebildet ist und einen Dämpfungseffekt durch Reibungskontakt mit der inneren Umfangsfläche des zweiten Rohrelements 27 be­ wirkt, ist auf dem oberen Abschnitt des ersten Rohrelements 25 über ein Stützelement 25B angebracht. Wenn der konische Ab­ schnitt 25T des ersten Rohrelements 25 und der konische Öff­ nungsteil 27T des zweiten Rohrelements 27 in Kontakt sind, wird eine Fluiddruckkammer 31 gebildet, die von den ersten und zwei­ ten Rohrelementen 25 und 27 und dem Dichtungselement 29 umge­ ben ist. Eine Fluideinlaß/Auslaß-Öffnung 27H ist an einer ge­ eigneten Stelle in dem zweiten Rohrelement 27 ausgebildet.A sealing member 29 or the like is formed of rubber, and a damping effect acts 27 be by frictional contact with the inner circumferential surface of the second tubular member is mounted on the upper portion of the first tubular member 25 via a support member 25 B. When the conical section 25 T of the first tubular member 25 and the conical opening portion 27 T of the second tubular member 27 are in contact, a fluid pressure chamber 31 is formed, which is the first and two-th tubular members 25 and 27 and the sealing member 29 is ben . A fluid inlet / outlet opening 27 H is formed at a suitable location in the second tubular member 27 .

Auf der Seite des ersten Rohrelements 26 ist eine gemeinsame Luftfeder 33 als Zwischenglied, wie ein Fluiddruckpufferele­ ment, zwischen dem Flanschabschnitt 25F des ersten Rohrelements 25 und dem Flanschabschnitt 27F des zweiten Rohrelements 27 an­ geordnet. Eine Lufteinlaß/Auslaßöffnung 27H, die in Verbindung mit der Luftfeder 33 steht, ist an einer geeigneten Stelle im Flanschabschnitt 25F des ersten Rohrabschnitts 25 vorgesehen. Zusätzlich steht die Luftfeder 33 in Verbindung mit einem Zwi­ schenbehälter 37, der in der vibrationsdämpfenden Basis 21 vor­ gesehen ist, und zwar über eine hinsichtlich ihres Durchmessers kleine Öffnung 35, die im Flanschabschnitt 27F des zweiten Rohrabschnitts 27 aus­ gebildet ist. On the side of the first tubular member 26 , a common air spring 33 as an intermediate member, such as a fluid pressure buffer element, is arranged between the flange portion 25 F of the first tubular member 25 and the flange portion 27 F of the second tubular member 27 . An air inlet / outlet opening 27 H, which is in communication with the air spring 33 , is provided at a suitable location in the flange section 25 F of the first pipe section 25 . In addition, the air spring 33 is in connection with an inter mediate container 37 , which is seen in the vibration-damping base 21 , via a small diameter 35 with respect to its diameter, which is formed in the flange section 27 F of the second tube section 27 .

Die Vibrationsdämpfungseinrichtung der vorstehend beschriebe­ nen Art kann auch zur Lagerung des Laserbearbeitungskopfes 7 und der Ablenkspiegelanordnung 39 am Gestell 11 verwendet wer­ den.The vibration damping device of the type described above can also be used for mounting the laser processing head 7 and the deflecting mirror arrangement 39 on the frame 11 .

Wenn bei einer derartigen Auslegung eine Stanzbearbeitung in der Stanzpresse 3 ausgeführt wird, wird Druckluft in die Luft­ feder 33 eingeleitet, die im Inneren der Positioniertragein­ richtung 23 eingebaut ist. Dann wird die vibrationsdämpfende Basis 21 nach oben gedrückt und von dem vibrationsdämpfenden Rahmen 21 getrennt. Somit werden starke Vibrationen, die er­ zeugt werden, wenn die Stanzpresse eine Stanzbearbeitung vor­ nimmt, durch die Deformationen der folgenden Teile der kombi­ nierten Maschine absorbiert: das Verbindungsteil der gemeinsa­ men Basis 9 und des vibrationsdämpfenden Rahmens 19, der vibra­ tionsdämpfende Rahmen 19 selbst, die Luftfeder 33 und der Kon­ taktabschnitt des Dichtungselements 29 und des zweiten Rohrele­ ments 27. Vibrationen werden ebenfalls dadurch reduziert, daß zeitweilig ein freier Luftfluß von der Luftfeder 33 in den Zwi­ schenbehälter 37 und von dem Zwischenbehälter 37 in die Luft­ feder 33 möglich ist. Insbesondere wird die Vibration der Stanz­ presse 3 nicht auf den Laserstrahlresonator 5 übertragen, so daß der Laserstrahlresonator 5 vor derartigen Vibrationen geschützt ist.When such a design punching is carried out in the punch press 3 , compressed air is introduced into the air spring 33 , which is installed in the interior of the Positioniertragein device 23 . Then, the vibration damping base 21 is pushed up and separated from the vibration damping frame 21 . Thus, strong vibrations that it generates when the punch press performs punching processing are absorbed by the deformations of the following parts of the combined machine: the connecting part of the common base 9 and the vibration-damping frame 19 , the vibration-damping frame 19 itself, the air spring 33 and the con tact portion of the sealing member 29 and the second Rohrele element 27th Vibrations are also reduced in that temporarily free air flow from the air spring 33 into the intermediate container 37 and from the intermediate container 37 into the air spring 33 is possible. In particular, the vibration of the punch press 3 is not transmitted to the laser beam resonator 5 , so that the laser beam resonator 5 is protected from such vibrations.

Währenddem die Stanzpresse unterbrochen ist und eine Laserbe­ arbeitung ausgeführt wird, wird die Luft in der Luftfeder 33 ausgegeben. Dann senkt sich die vibrationsdämpfende Basis 21 infolge ihres Eigengewichtes ab. In der Positioniertragein­ richtung 23 sind der konische Abschnitt 25T des ersten Rohr­ elements 25 und der konische Öffnungsabschnitt 27T des zweiten Rohrelements 27 in Eingriff, so daß der Lasergenerator 5 rela­ tiv zur gemeinsamen Basis 9 positioniert ist. Zusätzlich wird die geschlossene Fluiddruckkammer 31 durch das Zusammenpassen der beiden konischen Abschnitte 25T und 27T gebildet. Wenn da­ her das Arbeitsfluid in die Fluiddruckkammer 31 eingeleitet wird, wird das zweite Rohrelement 27 nach unten gedrückt und der konische Abschnitt 25T und der konische Öffnungsabschnitt 27T sind wechselweise fester in Eingriff, so daß eine genaue Positionierung des Laserstrahlresonators 5 erhalten wird und dieser Zustand stabil beibehalten wird. Ferner hat das erste Rohr­ element 25 eine Auslegung, bei der die Luftfeder 33 zwischen dem Flanschabschnitt 25F des ersten Rohrelements 25 und dem Flanschabschnitt 27F des zweiten Rohrelements 27 enthalten ist, so daß eine integrale Baueinheit für die Luftfeder und die Positionssteuereinrichtung erhalten wird, wodurch eine leichte Montageeinstellung und Anbringung ermöglicht wird.While the punch press is interrupted and laser processing is being carried out, the air in the air spring 33 is discharged. Then the vibration-damping base 21 lowers due to its own weight. In the Positioniertragein direction 23 , the conical portion 25 T of the first tubular member 25 and the conical opening portion 27 T of the second tubular member 27 are engaged, so that the laser generator 5 is positioned relative to the common base 9 . In addition, the closed fluid pressure chamber 31 is formed by the mating of two conical portions 25 T and 27 T. If there forth, the working fluid is introduced into the fluid pressure chamber 31, the second tubular member 27 is pressed downward and the conical portion 25 T and the conical opening portion 27 T are alternately fixed in engagement, so that an accurate positioning of the Laserstrahlresonators 5 is obtained, and this Condition is kept stable. Further, the first tubular element 25 has a configuration in which the air spring of the first tubular member and the flange portion 27 F of the second tube member 33 between the flange portion 25 F 25 contained 27 so that an integral unit for the air spring and the position control means is obtained, which enables easy assembly adjustment and attachment.

Wiederum bezugnehmend auf Fig. 1 ist der Laserbearbeitungs­ kopf 7 zur Ausführung einer Bearbeitung des Werkstücks durch Fokussieren eines Laserstrahles LB von dem Laserstrahlresonator 5 auf dem Gestell 11 der Stanzpresse 3 über eine geeignete vi­ brationsdämpfende Einrichtung derart gelagert, daß seine Po­ sition frei in der vertikalen Richtung verstellbar ist.Referring again to FIG. 1, the laser processing is head 7 for executing stored such that its Po sition a machining of the workpiece by focusing a laser beam LB from the Laserstrahlresonator 5 on the frame 11 of the punch press 3 through a suitable vi brationsdämpfende means freely in the vertical Direction is adjustable.

Auf der oberen Seite des Laserbearbeitungskopfes 7 ist eine Spiegelanordnung 39 mit einem eingebauten Ablenkspiegel 41 derart angeordnet, daß ihre vertikale Position frei auf die­ selbe Weise wie die Positioniertrageinrichtung 23 verstellbar ist. Auf der Spiegelanordnung 39 ist ein Ablenkspiegelabschnitts­ rohr 43 vorgesehen, das sich in Richtung zu der Seite des Laserstrahl­ resonators 5 erstreckt. Das Rohr 43 fluchtet mit einem genera­ torseitigen Rohr 45, das am Laserstrahlresonator 5 vorgesehen ist. Somit wird ein durch den Laserstrahlresonator 5 erzeugter Laser­ strahl LB auf die Spiegelanordnung 39 abgegeben und er wird rechtwinklig durch den Ablenkspiegel 41 abgelenkt und in den Laserbearbeitungskopf 7 geleitet.On the upper side of the laser processing head 7 , a mirror arrangement 39 with a built-in deflection mirror 41 is arranged in such a way that its vertical position can be freely adjusted in the same way as the positioning support device 23 . On the mirror assembly 39 , a deflecting mirror portion tube 43 is provided which extends toward the side of the laser beam resonator 5 . The tube 43 is aligned with a generator-side tube 45 , which is provided on the laser beam resonator 5 . Thus, a laser beam LB generated by the laser beam resonator 5 is emitted onto the mirror arrangement 39 and it is deflected at right angles by the deflecting mirror 41 and passed into the laser processing head 7 .

Ein als Laserstrahlweg ausgebildetes Rohr 47 ist zwischen dem Laserstrahlresonator 5 und der Spiegelanordnung 39 angeordnet, um den Laserstrahl LB zu führen. Das Laserstrahlwegrohr 47 ist lösbar am Gestell 1 der Stanzpresse 3 über eine Fixiereinrich­ tung 49 gelagert. Der Durchmesser des Laserstrahlwegrohres 47 ist ausreichend groß im Vergleich zu dem Ablenkspiegelab­ schnittrohr 43 und dem generatorseitigen Rohr 45, so daß das Ende des Ablenkspiegelabschnittrohres 43 lose in ein Ende des Laserstrahlwegrohres 47 eingesetzt ist, um zu ermöglichen, daß sich das Ablenkspiegelabschnittrohr 43 vertikal bewegen kann. Ferner ist ein Gaszuleitungsteil 51, über das ein Druck­ gas, wie Luft und dergleichen, zugeleitet wird, an einer ge­ eigneten Stelle am Laserstrahlwegrohr 47 vorgesehen. Der Gas­ zuführungsteil 51 ist mit einer geeigneten Gasversorgungs­ quelle, wie einem Kompressor (in den Figuren nicht gezeigt), verbunden.A tube 47 designed as a laser beam path is arranged between the laser beam resonator 5 and the mirror arrangement 39 in order to guide the laser beam LB. The laser beam path tube 47 is detachably mounted on the frame 1 of the punch press 3 via a Fixiereinrich device 49 . The diameter of the laser beam path tube 47 is sufficiently large compared to the deflecting mirror section tube 43 and the generator-side tube 45 , so that the end of the deflecting mirror section tube 43 is loosely inserted into one end of the laser beam path tube 47 to enable the deflecting mirror section tube 43 to move vertically . Furthermore, a gas supply part 51 via which a pressure gas such as air and the like is supplied is provided at a suitable location on the laser beam path tube 47 . The gas supply part 51 is connected to a suitable gas supply source, such as a compressor (not shown in the figures).

Aufgrund der vorstehend genannten Auslegung berührt das Laser­ strahlwegrohr 47 nicht den Laserstrahlresonator 5 oder die Spiegel­ anordnung 39. Selbst wenn daher eine Stanzbearbeitung durch die Stanzpresse 3 erfolgt, werden keine Vibrationen von dem Laserstrahlwegrohr 47 zu dem Laserstrahlresonator 5 oder der Spiegel­ anordnung 39 übertragen. Durch entsprechendes Verhindern, daß Vibrationen den Laserstrahlresonator 5, die Spiegelanordnung 9 und den Laserbearbeitungskopf 7 erreichen, läßt sich auch die Über­ tragung von Vibrationen zu der Vorrichtung von anderen Teilen der Maschine vermeiden und daher bleibt die Präzision des op­ tischen Systems gut erhalten.Due to the above design, the laser beam path 47 does not touch the laser beam resonator 5 or the mirror assembly 39 . Therefore, even if punching is carried out by the punch press 3 , no vibrations are transmitted from the laser beam path tube 47 to the laser beam resonator 5 or the mirror assembly 39 . By appropriately preventing vibrations from reaching the laser beam resonator 5 , the mirror assembly 9 and the laser machining head 7 , the transmission of vibrations to the device from other parts of the machine can also be avoided and therefore the precision of the optical system is well preserved.

Wenn zusätzlich Druckgas von dem Gaszuführungsteil 51 in das Laserstrahlwegrohr 47 geleitet wird, wird das Druckgas an­ schließend zu der Außenseite über die lose Öffnung zwischen den Rohren 43, 45 und dem Laserstrahlwegrohr 47 ausgegeben. Daher wird vermieden, daß Staub und dergleichen in das Innere des optischen Systems bei der vorliegenden Erfindung durch die lose Öffnung zwischen den Rohren 43, 45 und dem Laserstrahlweg­ rohr 47 eintritt. Auch das Gas, das in das Laserstrahlwegrohr 27 eingeleitet wird, erreicht die Innenseite der Spiegelanord­ nung 39 und strömt über Abgasteile und kleine Öffnungen aus, die gebildet werden, wenn die Spiegelanordnung 39 und der Laser­ bearbeitungskopf 7 montiert sind. Somit wird der Ablenkspiegel 41 effektiv gekühlt, während Staub und dergleichen nicht in die Spiegelanordnung 39 und den Laserbearbeitungskopf 7 ein­ dringen können.If, in addition, pressurized gas is led from the gas supply part 51 into the laser beam path tube 47 , the pressurized gas is then discharged to the outside through the loose opening between the tubes 43 , 45 and the laser beam path tube 47 . Therefore, dust and the like is prevented from entering the interior of the optical system in the present invention through the loose opening between the tubes 43 , 45 and the laser beam path tube 47 . Also, the gas that is introduced into the laser beam path tube 27 reaches the inside of the Spiegelanord voltage 39 and flows out through exhaust parts and small openings that are formed when the mirror assembly 39 and the laser processing head 7 are mounted. Thus, the deflecting mirror 41 is effectively cooled, while dust and the like cannot penetrate into the mirror arrangement 39 and the laser processing head 7 .

Claims (11)

1. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine mit einem Hauptgestell (11), einer von dem Hauptgestell (11) getragenen Stanzvorrichtung zur Bearbeitung von Werkstüc­ ken durch Stanzen, sowie einer Laserbearbeitungsvorrichtung mit einem Laserstrahl­ resonator (5) und einer, einen Strahlweg bildenden Einrichtung (47) zum Führen eines Laserstrahls zu einem Laserbearbeitungskopf (7), wobei der Laserstrahlresonator (5) mit einer Vibrationsdämpfungseinrichtung (21, 33) zur Elimination von Vibrationen bei Stanzbearbeitung und einer Positioniereinrichtung (23) zur Positionierung des Laser­ strahlresonators (5) bei Laserbearbeitung versehen ist, und über einen vorgespann­ ten, vibrationsdämpfenden Rahmen (17), der an dem Hauptgestell (11) angebracht ist, in die Bearbeitungsmaschine integriert ist.1. Laser cutting processing machine with a main frame (11), a punching device carried by the main frame (11) for processing Werkstüc ken by punching, as well as a laser machining apparatus having a laser resonator (5) and forming a, a beam path means (47 ) for guiding a laser beam to a laser processing head ( 7 ), the laser beam resonator ( 5 ) being provided with a vibration damping device ( 21 , 33 ) for eliminating vibrations during punching processing and a positioning device ( 23 ) for positioning the laser beam resonator ( 5 ) during laser processing , and is integrated into the processing machine via a prestressed, vibration-damping frame ( 17 ) which is attached to the main frame ( 11 ). 2. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der vibrationsdämpfende Rahmen (17) auf dem Hauptgestell (11) mit einer Verbindungsstange (19) angebracht ist. 2. Laser punch processing machine according to claim 1, characterized in that the vibration-damping frame ( 17 ) on the main frame ( 11 ) with a connecting rod ( 19 ) is attached. 3. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die vibrationsdämpfende Einrichtung (21, 33) eine Luftkissenfederung (33) aufweist.3. Laser punch processing machine according to one of claims 1 or 2, characterized in that the vibration-damping device ( 21 , 33 ) has an air cushion suspension ( 33 ). 4. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die vibrationsdämpfende Einrichtung (21, 33) ferner einen Ausgleichs­ behälter (37) aufweist, der mit der Luftkissenfederung (33) in Verbindung steht.4. Laser punching machine according to claim 3, characterized in that the vibration-damping device ( 21 , 33 ) further has a compensation container ( 37 ) which is in communication with the air cushion suspension ( 33 ). 5. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Positioniereinrichtung (23) zwischen dem Laser­ strahlresonator (5) und dem vibrationsdämpfenden Rahmen (17) derart vorgesehen ist, daß diese die Luftkissenfederung (33) zumindest teilweise umgibt.5. Laser punching machine according to one of claims 3 or 4, characterized in that the positioning device ( 23 ) between the laser beam resonator ( 5 ) and the vibration-damping frame ( 17 ) is provided in such a way that the air cushion suspension ( 33 ) at least partially surrounds. 6. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Vibrationsdämpfungseinrichtung (21, 33) ei­ ne Quervibrationen dämpfende Einrichtung (2) umfaßt.6. Laser punch processing machine according to one of claims 1 to 5, characterized in that the vibration damping device ( 21 , 33 ) comprises egg ne transverse vibration damping device ( 2 ). 7. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die die Quervibrationen dämpfende Einrichtung (21) eine Dichtung (29) aufweist, die in der Positioniereinrichtung (23) angebracht ist.7. Laser punch processing machine according to claim 6, characterized in that the transverse vibration damping device ( 21 ) has a seal ( 29 ) which is attached in the positioning device ( 23 ). 8. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, daß der vorgespannte Rahmen (17) an einem Fußteilab­ schnitt des Hauptgestells (11) angebracht ist, und die Höhe des Hauptgestells (11) er­ reicht.8. Laser punching machine according to one of claims 1 to 7, characterized in that the prestressed frame ( 17 ) is attached to a Fußteilab section of the main frame ( 11 ), and the height of the main frame ( 11 ) it reaches. 9. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da­ durch gekennzeichnet, daß die den optischen Strahlweg bildende Einrichtung (47) ein erstes Rohr (45) aufweist, das an dem Laserstrahlresonator (5) angebracht ist, um den vom Laserstrahlresonator (5) ausgegebenen Laserstrahl (LB) durchzuleiten, und daß ein zweites Rohr (43) vorgesehen ist, das an einer Laserstrahlablenkeinrichtung (39, 41) vorgesehen ist, um den Laserstrahl (LB) von dem ersten Rohr (45) aufzu­ nehmen, und daß ein drittes Rohr (47) vorgesehen ist, das an dem Hauptgestell (11) angebracht ist, und ohne physischen Kontakt mit dem ersten und zweiten Rohr (45, 43) in das zweite Rohr (43) mündet, um den Laserstrahl (LB) abzuschirmen.9. Laser punch processing machine according to one of claims 1 to 8, characterized in that the optical beam path forming device ( 47 ) has a first tube ( 45 ) which is attached to the laser beam resonator ( 5 ) to the by To pass the laser beam resonator ( 5 ) output laser beam (LB), and that a second tube ( 43 ) is provided which is provided on a laser beam deflection device ( 39 , 41 ) to receive the laser beam (LB) from the first tube ( 45 ), and that a third tube ( 47 ) is provided, which is attached to the main frame ( 11 ) and opens into the second tube ( 43 ) without physical contact with the first and second tubes ( 45 , 43 ) to the laser beam (LB ) shield. 10. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das erste und das zweite Rohr (45, 43) kleinere Durchmesser im Ver­ gleich zu dem dritten Rohr (47) haben, und daß sie in das jeweilige Ende des dritten Rohres (47) mit Spiel eingesetzt sind.10. Laser punching machine according to claim 9, characterized in that the first and the second tube ( 45 , 43 ) have smaller diameters in comparison to the third tube ( 47 ), and that they are in the respective end of the third Rohres ( 47 ) are used with play. 11. Laser-Stanz-Bearbeitungsmaschine nach Anspruch 9 oder 10, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ferner eine Kühleinrichtung zum Kühlen des Inneren des dritten Rohres (47) vorgesehen ist.11. Laser punching machine according to claim 9 or 10, characterized in that a cooling device for cooling the interior of the third tube ( 47 ) is also provided.
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