DE3801222A1 - Kontaktiereinrichtung fuer pruefzwecke, insbesondere zur pruefung von halbleiterbausteinen - Google Patents
Kontaktiereinrichtung fuer pruefzwecke, insbesondere zur pruefung von halbleiterbausteinenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Kontaktiereinrichtung für Prüfzwec
ke gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Kontaktiereinrichtungen für Prüfzwecke können bekanntlich auf
verschiedene Art und Weise ausgeführt sein. So gibt es gemäß
der DE-OS 31 03 077 Kontaktbausteine, die das Prinzip eines ge
federten Kontaktkolbens anwenden. Der Kontaktkolben ist dabei
in einer Hülse in axialer Richtung beweglich geführt, wobei
sein oberes Ende an der Feder anliegt.
Faßt man mehrere Federkontakte zusammen, so lassen sich auch
mehrere Kontaktstellen gleichzeitig prüfen. Ein Ausführungs
beispiel dazu zeigt die DE-OS 33 12 436. Zweiteilige, pa
rallel in Platten geführte und in axialer Richtung federnd ab
gestützte Kontaktstifte bilden die Kontaktiereinrichtung. Der
eine Kontaktteil jedes einzelnen Kontaktstifts ist biegeela
stisch ausgeführt oder an einer Platte, in der die Bohrungen
die gleiche Anordnung aufweisen wie die zu prüfenden Kontakt
stellen, gelenkig gelagert, so daß er nach allen Richtungen
schwenkbar ist.
Auf die Prüfung einer Vielzahl von Kontaktstellen, insbesondere
von Halbleiterbausteinen, weist die DE-OS 23 02 184 hin. Sie
beschreibt eine Prüfkarte, die für die Prüfung der einzelnen
Chips auf einem viele Chips aufweisenden Wafer vorgesehen ist.
Auf dieser Prüfkarte sind winklig gebogene Nadeln zum gleich
zeitigen Kontaktieren vieler Kontaktstellen auf einem bestimm
ten Chip angebracht. Dabei wird die Prüfkarte auf den Wafer ab
gesenkt, bis ein sicherer Kontakt durch die Nadeln hergestellt
ist.
Eine weitere Kontaktiereinrichtung ist durch die DE-PS 23 64 786
bekannt. Mehrere, parallel angeordnete, in einer oberen und un
teren Ausrichteplatte fest eingespannte und elastisch biegbar
ausgeführte Kontaktnadeln werden gleichzeitig durch Ausüben
einer geregelten Druckkraft auf die Anschlußwarzen des zu prü
fenden Halbleiterbausteins gedrückt, wodurch lösbare Druckkon
taktverbindungen entstehen. Die Kontaktdrähte der Nadeln sind
dabei in den Bohrungen der unteren Ausrichteplatte gleitbar an
gebracht und ihre durch die Druckkraft entstandene Ausbiegung
erfolgt in einer Richtung.
Eine Ausgestaltung dieser Erfindung bezieht sich auf die Prü
fung im Hochfrequenzbereich, an die die Kontaktiereinrichtung
zweckmäßig anzupassen ist. Die Kontaktnadeln werden deshalb
durch Koaxialleiter ersetzt. Jeder dieser Koaxialleiter enthält
einen von einem Dielektrikum umgebenen Mittelleiter, der als
Mantel eine metallische Abschirmung aufweist.
Jedoch enden Dielektrikum und Abschirmmantel vor der Oberseite
der unteren Ausrichteplatte. Sie sind mit dieser auch nicht
verbunden, so daß sich eine ungeschirmte Übertragungsstrecke
ausbildet. Dadurch können die Signale auf benachbarte Kontakt
nadeln überkoppeln und es kann zu Signalverfälschungen kommen.
Ausgehend von Kontaktiereinrichtungen bekannter Art ist es Auf
gabe der Erfindung, eine Kontaktiereinrichtung zu schaffen, die
eine möglichst störungsfreie Signalübertragung gewährleistet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden
Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.
Ausgangspunkt ist demnach eine Kontaktsonde aus einem metalli
schen Trägerkörper, der an einem Ende einen Steckeranschluß für
eine anzuschließende Koaxialleitung aufweist. Der Trägerkörper
nimmt eine Führungshülse auf, die ihm gegenüber isoliert ange
bracht und einseitig durch ein Führungsrohr verlängert ist. Das
Führungsrohr mit der Kontaktnadel, die bis in die Führungshülse
reicht und in dieser beweglich unter Vorspannung gehalten wird,
ist von einem isolierenden Mantel umgeben, auf den eine Schicht
aus leitendem Material aufgebracht ist, wobei diese leitende
Schicht mit dem Trägerkörper verbunden ist. Für die gesamte
Länge des Führungsrohrs läßt sich dadurch eine Koaxialleitung
so nachbilden, daß ihr Wellenwiderstand dem der angeschlossenen
Koaxialleitung annähernd angepaßt ist, um für die Signalüber
tragung vom Steckeranschluß bis unmittelbar zu der zu prüfenden
Kontaktstelle keine Stoßstellen zu erhalten. Die Dimensionie
rung der nachgebildeten Koaxialleitung hängt von der Wahl des
isolierenden Materials als Dielektrikum und von den Abmessungen
ab.
Weist die Kontaktiereinrichtung mehrere, zu einem Bündel zusam
mengefaßte Kontaktsonden auf, wobei die Enden der Führungsrohre
der einzelnen Kontaktsonden in einer Lochplatte angeordnet
sind, so wird die Lochplatte gemäß einer Weiterbildung der Er
findung aus leitendem Material gebildet und die leitenden
Schichten der Führungsrohre stehen jeweils mit der Lochplatte
in Verbindung.
Für diese Kontaktiereinrichtung ist gemäß einer weiteren Ausge
staltung der Erfindung eine Halteplatte vorgesehen, in deren
Durchführungen die Führungsrohre der Kontaktsonden gehalten
werden, so daß die Halteplatte zusammen mit der Lochplatte eine
Halteeinrichtung darstellt, die sich als geschlossenes Gehäuse
ausbilden läßt. Eine das Innere des Gehäuses füllende, elek
trisch leitende Vergußmasse ersetzt dabei die leitenden Schich
ten der Führungsrohre der einzelnen Kontaktsonden.
Eine andere Weiterbildung der Erfindung bezieht sich auf die
Ausbildung der Führungsrohre und der darin geführten Kontakt
nadeln aus biegbarem Material wegen der Vergrößerung des für
die angeschlossenen Koaxialleitungen ausgebildeten Rasters der
Halteplatte gegenüber dem Kontaktstellenraster der Lochplatte.
Die Erfindung wird anhand eines in der Zeichnung dargestellten
Ausführungsbeispiels näher erläutert.
Im einzelnen zeigen
Fig. 1 eine Kontaktiereinrichtung mit einer erfindungsgemäß aus
gebildeten Kontaktsonde im Längsquerschnitt und
Fig. 2 eine Kontaktiereinrichtung mit mehreren, in einem abge
schlossenen Gehäuse angeordneten Kontaktsonden zum gleichzeiti
gen Prüfen mehrerer Kontaktstellen.
Fig. 1 zeigt eine Kontaktiereinrichtung mit einer Kontaktsonde
1, an die über einen Steckeranschluß 8 eine Koaxialleitung 9
angeschlossen ist. Die Sonde weist einen metallischen Träger
körper 2, eine Führungshülse 3 und dazwischen einen Isolierkör
per 14 auf. Die Führungshülse 3 ist durch ein Führungsrohr 5
verlängert, das eine Kontaktnadel 4 aufnimmt. Diese Nadel kann
durch Federkraft in axialer Richtung bewegt werden.
Das Führungsrohr 5 ist von einem isolierenden Mantel 6 und
einer Schicht 7 aus leitendem Material umgeben, die mit Hilfe
einer Quetschhülse 15 angebracht wird und mit dem metallischen
Trägerkörper 2 in Verbindung steht. Somit wird durch Führungs
rohr 5, Isolierungsmantel 6 und Leitungsschicht 7 eine Koaxial
leitung nachgebildet, die der angeschlossenen Koaxialleitung 9
durch die Wahl des isolierenden Materials und den Abmessungen
so anzupassen ist, daß das Signal von der Koaxialleitung 9 bis
zur Kontaktstelle annähernd ohne Stoßstellen übertragen wird.
Wählt man beispielsweise für den Isolierungsmantel 6 Teflon mit
einer Dielektrizitätszahl ε r=2,1 und einem Durchmesser
von D=0,5 mm, für die Kontaktnadel 4 einen Draht aus Tungsten
mit einem Durchmesser von 0,08 mm in einem Führungsrohr 5 aus
rostfreiem Stahl mit einem Durchmesser d=0,15 mm, so ergibt
sich nach der bekannten Formel für den Wellenwiderstand einer
Koaxialleitung
ein Wellenwiderstand von 50 Ohm für die nachgebildete Koaxial
leitung. Die Schicht 7 aus leitendem Material besteht bei
spielsweise aus versilbertem Kupferdraht und umgibt das Füh
rungsrohr 5 in seiner gesamten Länge.
Ist die Kontaktiereinrichtung so ausgebildet, daß mehrere Kon
taktsonden 1 zum gleichzeitigen Prüfen mehrerer Kontaktstellen
zu einem Bündel zusammengefaßt sind, so reichen die leitenden
Schichten 7 der einzelnen Führungsrohre 5 jeweils bis zu einer
aus leitendem Material bestehenden Lochplatte 10, mit der die
leitenden Schichten 7 jeweils verbunden sind.
In Fig. 2 ist eine Anordnung dargestellt, bei der die Führungs
rohre 5 mit ihren Isolierungen 6 in der Lochplatte 10 geführt
sind, wobei die Löcher gemäß dem Raster für die Kontaktstellen
angeordnet sind. Außer der Lochplatte 10 weist die Kontaktier
einrichtung eine Halteplatte 11 auf, in deren Durchführungen
die Führungsrohre 5 der einzelnen Kontaktsonden 1 in der Nähe
der Trägerkörper 2 gehalten werden. Die Halteeinrichtung ist
als geschlossenes Gehäuse 13 ausgebildet, deren Inneres eine
die leitenden Schichten 7 der einzelnen Führungsrohre 5 erset
zende Vergußmasse 12 füllt. Für die Führungsrohre 5 mit ihren
Isolierungen 6 und für die Kontaktnadeln 4 werden zweckmäßiger
weise biegsame Materialien verwendet, da das Raster der Halte
platte für die anzuschließenden Koaxialleitungen gegenüber dem
Kontaktstellenraster für den Prüfling vergrößert ist.
Claims (5)
1. Kontaktiereinrichtung für Prüfzwecke, insbesondere zur Prü
fung von Halbleiterbausteinen, bestehend aus wenigstens einer
Kontaktsonde, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kontaktsonde (1) einen einseitig mit einem Steckeran
schluß (8) für eine Koaxialleitung (9) versehenen metallischen
Trägerkörper (2) aufweist, in dem eine Führungshülse (3) gegen
über dem Trägerkörper (2) isoliert angebracht ist, die einsei
tig durch ein Führungsrohr (5) für eine Kontaktnadel (4) ver
längert ist, wobei die Kontaktnadel (4) in die Führungshülse
(3) hineinreicht und in dieser beweglich unter Vorspannung ge
halten ist, daß das Führungsrohr (5) von einem Mantel (6) aus
isolierendem Material umgeben und auf diesem Mantel eine
Schicht (7) aus leitendem Material aufgebracht ist, die mit dem
Trägerkörper (2) in Verbindung steht, so daß auch für die ge
samte Länge des Führungsrohres (5) eine Koaxialleitung nachge
bildet wird, und daß diese Koaxialleitung bezüglich der Wahl
des isolierenden Materials als Dielektrikum und bezüglich der
Wahl der Abmessungen so ausgebildet ist, daß der Wellenwider
stand dieser Koaxialleitung dem der Koaxialleitung (9) am Stec
keranschluß (8) annähernd entspricht und eine annähernd stoß
stellenfreie Signalübertragung von der zu prüfenden Kontakt
stelle bis zum Steckeranschluß (8) gewährleistet ist.
2. Kontaktiereinrichtung nach Anspruch 1, bestehend aus mehre
ren, zu einem Bündel zusammengefaßten Kontaktsonden zum gleich
zeitigen Prüfen mehrerer, in einem Raster angeordneter Kontakt
stellen, wobei die freien Enden der Führungsrohre in einer
Lochplatte mit einer dem Kontaktstellenraster entsprechenden
Löcheranordnung gehalten sind, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Lochplatte (10) aus leitendem Mate
rial besteht und die leitenden Schichten (7) der Führungsrohre
(5) der einzelnen Kontaktsonden (1) mit der Lochplatte (10) in
Verbindung stehen.
3. Kontaktiereinrichtung nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet daß die Führungsrohre (5) der
einzelnen Kontaktsonden (1) in der Nähe der Trägerkörper (2) in
Durchführungen einer Halteplatte (11) gehalten werden, die mit
der leitenden Lochplatte (10) eine Halteeinrichtung bildet.
4. Kontaktiereinrichtung nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Halteeinrichtung als ge
schlossenes Gehäuse (13) ausgebildet ist und daß innerhalb die
ses Gehäuses die Schichten (7) aus leitendem Material auf den
Führungsrohren (5, 6) der einzelnen Kontaktsonden (1) durch eine
das Innere des Gehäuses (13) füllende, elektrisch leitende Ver
gußmasse (12) ersetzt sind.
5. Kontaktiereinrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch
gekennzeichnet, daß bei gegenüber dem Raster
der Lochplatte (10) vergrößertem Raster der Halteplatte (11)
die Führungsrohre (5, 6) und Kontaktnadeln (4) der einzelnen
Kontaktsonden (1) ausreichend biegbar ausgebildet sind.
Priority Applications (1)
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DE19883801222 DE3801222C2 (de) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | Kontaktiereinrichtung für Prüfzwecke, insbesondere zur Prüfung von Halbleiterbausteinen |
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