DE3789531T2

DE3789531T2 - Kaschiermaschine.

Info

Publication number: DE3789531T2
Application number: DE19873789531
Authority: DE
Inventors: Mitsuhiro Seki
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1986-10-01
Filing date: 1987-10-01
Publication date: 1994-07-14
Anticipated expiration: 2007-10-02
Also published as: JPS6389328A; DE3789531D1; EP0264680A3; EP0264680A2; EP0264680B1; JPH068031B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Laminator der Gattung, der einen kontinuierlichen dünnen Film auf eine vorbestimmte Größe schneidet und ihn über ein Substrat laminiert.
Eine ähnliche Vorrichtung ist aus dem Dokument EP-A-0 125 584 bekannt, worin ein Verfahren zum Aufkleben von Filmblättern auf Plattenoberflächen und ein Laminator, der zur Durchführung der Klebeoperation ausgelegt ist, offenbart sind. Der bekannte Laminator weist Einrichtungen, die hin zur Bondierstation und weg von ihr beweglich sind, wobei das führende Ende des kontinuierlichen Filmgewebes an das vorwärtige Ende der Platte gebondet wird, und eine Schneidevorrichtung auf, die auf den Blockgliedern befestigt ist. Es weist ferner eine Einrichtung zur Detektion der Substrate auf, die ein Signal erzeugt, das wiederum den Betrieb des Laminators aktiviert oder stoppt.
Ferner werden gedruckte Schaltplatinen, die in elektronischen Equipment, beispielsweise einem Computer, benutzt werden, durch das Ablagern eines vorbestimmten Musters von Drähten aus leitenden Materialien, wie beispielsweise Kupfer, auf einer der beiden Seiten eines isolierenden Substrates gebildet.
Gedruckte Schaltplatten dieses Typs können durch den folgenden Prozeß hergestellt werden.
Zunächst wird ein Verbundmaterial aus einer fotosensitiven Harzschicht (Fotoresist) und einer transparenten Harzschicht (Schutzfilm) über eine elektrisch leitende Schicht auf dem isolierenden Substrat durch Thermokompression laminiert. Dieser Schritt wird kommerziell mit einer Vorrichtung durchgeführt, die Laminator genannt wird. Danach wird ein Film mit einem Verdrahtungsmuster auf dem Verbundmaterial aufgebracht und die fotosensitive Harzschicht wird mit Licht für eine vorbestimmte Zeitdauer durch den gemusterten Film und den transparenten Harzfilm hindurch belichtet. Danach wird der transparente Harzfilm mit einem Abschäler abgezogen und die belichtete fotosensitive Harzschicht wird zur Bildung eines Maskenmusters für einen Ätzvorgang entwickelt.
Danach werden die nicht benötigten Gebiete der leitenden Schicht hinweggeätzt und jegliche zurückbleibende fotosensitive Schicht wird entfernt, um eine gedruckte Schaltplatine zu erzeugen, die ein vorbestimmtes Verdrahtungsmuster hat.
Das obenbeschriebene Verfahren zur Herstellung einer gedruckten Schaltplatte umfaßt notwendigerweise den Schritt des automatischen Laminierens durch Thermokompression mit einem Laminator eines Verbundmaterials aus einem Fotoresist und einem Schützfilm auf die leitenden Schicht auf dem isolierenden Substrat. Das Verbundmaterial ist kontinuierlich auf eine Zuführwalze des Laminators gewickelt, und wird auf eine Länge geschnitten, die einer Ausdehnung des isolierenden Substrates entspricht, das durch eine Beförderungsvorrichtung befördert wird, um die Thermokompressionslamination durchzuführen.
Während der sukzessiven Zuführung der isolierenden Substrate kann das Verbundmaterial jedoch aufgebraucht werden und kein Verbundmaterial ist auf die Zuführwalze gewickelt. Falls der Bediener dieses nicht bemerkt, werden eine große Anzahl isolierender Substrate befördert, die nicht der Lamination mit dem Verbundmaterial unterworfen worden sind. Als Ergebnis wird die Ausbeute der gedruckten Schaltplatten übermäßig verringert.
Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Dünnfilm-Laminator zur Verbesserung der Produktionsausbeute zu schaffen, der die Zuführung mit dem Dünnfilm detektieren kann.
Diese Aufgabe der Erfindung wird durch einen Laminator gemäß Anspruch 1 gelöst. In einem derartigen Laminator ist die Dünnfilm-Detektionseinrichtung zur Detektion des Films an einem Filmzuführungsweg angeordnet, der dadurch gekennzeichnet ist, daß eine Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung während der Drehung einer Dünnfilmabtrennwalze sich dreht, und worin die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung aufweist: eine rotierende Scheibe, die mit einem Schlitzabschnitt an ihrem Umfangsabschnitt ausgebildet ist; einen Detektionsabschnitt zur Detektion des Schlitzabschnittes; und einen Codierer zur Ausgabe eines Signals, das der Umdrehungsanzahl der Dünnfilm-Abtrennwalze entspricht.
Diese und andere Aspekte und neuartigen Merkmale dieser Erfindung werden sich aus der Beschreibung und den anhängigen Figuren ergeben.
Eine Darstellung einer typischen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun beschrieben.
Entsprechend der obigen Struktur wird die Dünnfilmzuführung präzise überwacht. Falls die Dünnfilmzuführung nicht stattfindet, kann der Bediener dies bestätigen und den Betrieb des Laminators beenden. Als Ergebnis wird die Ausbeute verbessert.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung des Laminators gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht eines wesentlichen Abschnittes der Fig. 1;
Fig. 3 ist eine vergrößerte perspektivische Ansicht eines wesentlichen Abschnittes der in der Fig. 2 gezeigten Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung;
Fig. 4 ist eine vergrößerte Darstellung eines wesentlichen Abschnittes der Fig. 1;
Fig. 5 ist eine perspektivische Ansicht mit teilweiser Querschnittdarstellung einer in den Fig. 1 und 4 gezeigten Hauptvakuumplatte;
Fig. 6 ist eine schematische Draufsicht in Richtung des Pfeils VI der Fig. 4;
Fig. 7 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie VII-VII der Fig. 6 eines wesentlichen Abschnittes;
Die Fig. 8 bis 10 sind vergrößerte Darstellungen eines wesentlichen Abschnitts der Fig. 1 in jedem Schritt des Thermokompressions-Laminationsverfahrens.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, angewendet auf einen Laminator zur Thermokompressionslaminierung eines Verbundmaterials aus einer fotosensitiven Harzschicht und einem transparenten Harzfilm auf eine gedruckte Schaltplatte werden im folgenden speziell unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
In den beigefügten Zeichnungen, die zur Illustrierung der Ausführungsformen bestimmt sind, sind Komponenten, die die gleiche Funktion durchführen, mit dem gleichen Zeichen beschrieben und eine redundante Erklärung derartiger Komponenten wird weggelassen.
Ein Laminator entsprechend einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist (schematisch) in der Fig. 1 gezeigt.
Wie in der Fig. 1 dargestellt, ist ein Verbundmaterial 1 aus drei Schichten, d. h. eines ersten transparenten Harzfilmes, einer fotosensitiven Harzschicht und eines zweiten transparenten Harzfilmes, kontinuierlich um eine Zuführwalze 2 gewickelt, von der das Verbundmaterial 1 von einer Trennwalz 3 in den ersten transparenten Harzfilm (Schutzfilm) 1A und ein Verbundmaterial 1B separiert wird, das aus einer fotosensitiven Harzschicht, dessen adhäsive Oberfläche ungeschützt ist, und dem zweiten transparenten Harzfilm besteht. Der transparente Harzfilm 1A wird auf eine Aufnahmewalze 4 aufgewickelt.
Die Zuführwalze 2 hat einen Wellenabschnitt 2A, der in eine bogenförmige Aussparung 5A eingreift, und durch ein Walzenstützglied 5 gestützt wird, das in der Fig. 2 (perspektivische Ansicht, die einen wesentlichen Abschnitt zeigt) dargestellt ist. Das Walzenstützglied 5 ist an einem Außenseitenabschnitt eines Abdeckrahmens des Laminatorkörpers 7 durch ein Verbindungsglied, beispielsweise eine Schraube (oder einen Klebstoff) befestigt.
Die Aufnahmewalze 4 hat einen Wellenabschnitt 4A, der in eine U-förmige Aussparung 6A eingreift, und durch ein Walzenstützglied 6 gestützt wird. Das Walzenstützglied 6 ist mit der Außenseite des Abdeckrahmens des Laminatorkörpers 7 in einer ähnlichen Weise wie das Walzenstützglied 5 befestigt.
Das Walzenstützglied 5 ist mit einem bogenförmigen Aussparungsabschnitt 5B als einem vorübergehenden Installationsort der Zuführwalze 2 an einer linksseitigen Position (eine Position gegenüber einem Bediener) versehen. Auf der anderen Seiten ist das Walzenstützglied 6 mit bogenförmigen Aussparungsabschnitten 6B und 6C als vorübergehende Installationsorte für die Aufnahmewalze 4 an einer rechtsseitigen Position (eine Position weit weg von dem Bediener) gebildet.
Diese bogenförmige Aussparungen 5B, 6B und 6C in den Walzenstützgliedern 5 und 6 werden so als vorübergehende Installationsorte verwendet. In dem Fall, daß das Verbundmaterial 1 verbraucht ist und die Zuführwalze 2 durch eine Neue ersetzt wird, wird der Wellenabschnitt 4A der Aufnahmewalze 4 von der U-förmigen Aussparung 6A gelöst und mit einer der Aussparung 6A und 6C verbunden, wobei diese die vorübergehenden Installationsorte sind. Unter Beibehaltung dieses Zustandes wird der Wellenabschnitt 2A der Zuführwalze 2 von dem bogenförmigen Aussparungsabschnitt 5A gelöst und wird mit der bogenartigen Aussparung 5B verbunden, die als der vorübergehende Installationsort wirkt. Danach wird die Walze 2 von dem Walzenstützglied 5 entfernt. Dann wird eine neue Zuführwalze 2 provisorisch mit den kreisförmigen Aussparungsabschnitten 5B verbunden, und danach wird der Wellenabschnitt 2A der Zuführwalze 2 mit den kreisförmigen Aussparungen 5A verbunden. Dann wird der mit einer der kreisförmigen Aussparungsabschnitten 6B und 6C verbundene Wellenabschnitt 4A der Aufnahmewalze 4 verschoben, um die Verbindung mit dem U-förmigen Aussparungsabschnitt 6A zu ermöglichen.
Das Walzenstützglied 5 ist mit dem kreisförmigen Aussparungsabschnitt 5b als dem vorübergehenden Installationsort versehen, und das Walzenstützglied 6 ist mit den kreisförmigen Aussparungsabschnitten 6B und 6C als den vorübergehenden Installationsorten ausgebildet. Daher ist es unnötig, die Zuführwalze 2 und die Aufnahmewalze 4 komplett auseinanderzunehmen, die wegen des Laminatorkörpers schwere Gewichte haben. Statt dessen werden diese Walzen nur um eine kurze Entfernung versetzt, wobei das Befestigen und das Ablösen der Walzen durchgeführt wird. Mit anderen Worten, die Ausbeute wird erhöht und die Arbeitssicherheit kann durch den Gebrauch des Laminators verbessert werden.
An einem Endabschnitt der Abtrennwalzen 3 ist eine Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung 8 vorgesehen, wie es in den Fig. 2 und 3 (vergrößerte perspektivische Ansicht, die einen wesentlichen Abschnitt zeigt) gezeigt ist. Die Dünnfilmabtrennwalze 3 ist an einem Zuführungsweg des Verbundmaterials 1 angeordnet, und die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung 8 ist in einem Zuführungsweg der Verbundmaterialien 1A und 1B angeordnet (ein Weg, der sich zwischen der Zuführwalze 2 und dem Substrat erstreckt). Die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung 8 wird in eine durch einen Pfeil A dargestellte Richtung durch die Drehung der Dünnfilmabtrennwalze 3 gedreht, und umfaßt einen Codierer, der eine rotierende Scheibenplatte 8B aufweist, deren Umfangsabschnitt mit Schlitzabschnitten 8A und einem Detektionsabschnitt 8C zum Detektieren der Schlitzabschnitte 8A versehen ist. Das heißt, die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung 8 ist gestaltet, ein Ausgangssignal als Antwort auf eine Umdrehungszahl der Dünnfilmabtrennwalze 3 zu erzeugen. Die rotierende Scheibe 8B ist beispielsweise aus einem Kunstharzmaterial, einem Leichtmetall, einer Legierung, usw. gebildet. Der Detektionsabschnitt 8C ist so gestaltet, den Schlitzabschnitt 8A mittels Licht, Ultraschallwellen usw. zu detektieren. Die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung 8A ist in dem Abdeckrahmen des Laminatorkörpers 7 in einer Position versetzt zu dem Zuführungsweg der Verbundmaterialien 1 und 1B angeordnet, so daß es nicht zu einer Wechselwirkung mit deren Beförderung kommt.
Durch die Anordnung der Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung 8 an dem Zuführungsweg der Verbundmaterialien 1 und 1B wird die Zuführung mit den Verbundmaterialien 1 und 1B während deren Zuführungsphase detektiert, d. h. die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung 8 detektiert die Zuführungsbedingungen, wenn das Verbundmaterial 1 oder 1B zur vorübergehenden Thermokompressionsoperation, Thermokompressions-Laminationsoperation, Schneideoperation des Verbundmaterials 1B, usw., zugeführt wird. Falls die Zuführung des Verbundmaterials 1 oder 1B nicht präzise durchgeführt wird, setzt ein Ausgangssignal des Detektionsabschnitts 8C eine Alarmeinrichtung (nicht dargestellt) in Gang, so daß der Bediener von dem Betriebsvorfall Notiz nehmen kann. Ferner wird die Laminationsoperation automatisch beendet. Das heißt, der Laminator kann die Ausbeute der Produktion von gedruckten Schaltplatten verbessern.
Insbesondere kann die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung 8 an irgendeinem Ort in dem Zuführungsweg der Verbundmaterialien 1 und 1B angeordnet sein. Es ist jedoch vorteilhaft, daß die Detektionseinrichtung 8 auf der Dünnfilmabtrennwalze 3 angeordnet ist. Die Dünnfilmabtrennwalze stellt nicht notwendigerweise eine komplizierte Struktur dar, und die Walze 3 benötigt keine andere Bewegung als die Drehung. Daher kann die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung einfach auf der Walze 3 angeordnet werden.
Die führende Kante des Verbundmaterials 1B, das von dem Schutzfilm 1A durch die Abtrennwalze 3 getrennt worden ist, wird auf eine Spannwalze 9 geleitet, um auf die Hauptvakuumplatte 10 gesaugt zu werden.
Die Spannwalze 9 ist so gestaltet, daß sie eine geeignete Spannung auf das Verbundmaterial 1B ausübt, während es von der Zuführwalze 2 zur Hauptvakuumplatte 10 zugeführt wird. Mit anderen Worten, die Spannwalze 9 dient dazu, das Verbundmaterial gespannt zu halten, ohne daß irgendwelche Oberflächenschäden, wie beispielsweise Falten, entwickeln.
Die Hauptvakuumplatte (Filmzuführungsglied) 10 ist so gestaltet, daß sie es erlaubt, daß das Verbundmaterial 1B von der Zuführwalze 2 auf eine elektrisch leitende Schicht (beispielsweise Kupferschicht) auf der Oberfläche eines isolierenden Substrats 11 zugeführt wird. Die Hauptvakuumplatte 10 wird von einem Stützglied 12 gestützt, das hin zu dem isolierenden Substrat 11 und weg von ihm bewegt werden kann (das Stützglied bewegt sich in die durch den Pfeil B angezeigte, in den Fig. 1 und 4 dargestellte Richtung (vergrößerte Ansicht, die einen wesentlichen Abschnitt zeigt). Das Stützglied 12 ist auf dem Laminatorkörper 7 (Gehäuse des Laminatorkörpers) angeordnet, so daß es den Führungsgliedern 7A möglich ist, in eine durch einen Pfeil B angezeigte Richtung gleitbar zu sein. Ein Paar von Stützgliedern 12 ist vorgesehen, wobei jeweils eines der Glieder an der oberen und an der unteren Seite bezüglich des Transportweges des isolierenden Substrates 11 angeordnet ist. Die oberen und unteren Stützglieder 12 werden zusammen durch einen Zahnstangenmechanismus bewegt, so daß die Glieder 12 gleichzeitig bewegt werden (hin- und weg voneinander). Das heißt, die oberen und unteren Stützglieder 12 sind entsprechend mit einer Zahnstange 12A und einem Zahnrad 12B versehen, das mit der Zahnstange 12A im Eingriff steht. Die Stützglieder 12 werden von einer Antriebsquelle 12C angetrieben, die an dem unteren Stützglied 12 angeordnet ist. Die Antriebsquelle 12C kann beispielsweise ein pneumatischer Zylinder sein. Weiterhin kann die Antriebsquelle 12C mit einem hydraulischen Zylinder, einem elektromagnetischen Zylinder, oder einem Schrittmotor, und einem Kraftübertragungsmechanismus versehen sein, der die Verschiebung des Zylinders oder des Motors überträgt.
Die Hauptvakuumplatte 10 ist so auf dem Stützglied 12 angeordnet, um hin zu dem isolierenden Substrat 11 und weg von ihm (in eine durch einen Pfeil C angezeigte Richtung) bewegt zu werden. Die Hauptvakuumplatte 10 wird durch eine Antriebsquelle 12D betrieben, die auf einem Stützglied 12 angeordnet ist und einen Zahnstangenmechanismus hat. Der Zahnstangenmechanismus umfaßt ein Zahnrad 12E, das an der Antriebsquelle 12D angeordnet ist, eine Zahnstange 12F, die auf dem Stützglied 12 angeordnet ist, und eine Zahnstange 10A, die an der Hauptvakuumplatte 10 angeordnet ist. Die Antriebsquelle 12D würde der Antriebsquelle 12C ähnlich sein.
Die in der Fig. 5 dargestellte Hauptvakuumplatte 10 (eine perspektivische Ansicht eines teilweisen Querschnitts der Hauptvakuumplatte 10) ist mit einer Vielzahl von Rillen 10B versehen, die sich in transversaler Richtung in eine Richtung im wesentlichen senkrecht zu der Richtung der Zuführung des Verbundmaterials 1B erstrecken, und die in der Richtung, in der das Verbundmaterial 1B transportiert wird, angeordnet sind. Die Länge jeder einzelnen Rille 10B, gemessen in der Richtung transversal zu der Richtung, in der das Verbundmaterial 1B zugeführt wird, ist im wesentlichen die gleiche wie das Ausmaß des Verbundmaterials 1B, gemessen in dieser transversalen Richtung, so daß das Verbundmaterial 1B jede Rille 10B überdecken wird. Der Boden jeder Rille 10B ist mit einer Vielzahl von Sauglöchern 10C versehen, durch-die das Verbundmaterial 1B auf die Hauptvakuumplatte 10 gesaugt wird. Obwohl nicht dargestellt, ist jedes Ansaugloch 10C durch ein Abluftrohr mit einer Vakuumquelle, wie beispielsweise einer Vakuumpumpe verbunden. Die Ansaugoperation der Hauptvakuumplatte 10 und die Ansaugoperation eines vorübergehenden Bondierabschnitts 10E werden unabhängig voneinander gesteuert. Beide Enden 10D jeder Rille 10B verjüngen sich von dem Rand der Hauptvakuumplatte 10 zu ihrem Zentrum. Die verjüngenden Enden 10D sind so gestaltet, daß die Enden des Verbundmaterials 1B paßgenau mit ihnen positioniert werden, wenn es auf die Hauptvakuumplatte 10 angesaugt wird.
Die sich verjüngenden Enden 10D dienen den folgenden zwei Zwecken; erstens stellen sie ein verbessertes Ansaugen des Verbundmaterials 1B durch das Sicherstellen einer maximalen Fläche her, in der es in die Rillen 10B angesaugt wird; zweitens kann jeder kleine Versatz in der Position, auf die das Verbundmaterial 1B in die Rillen 10E angesaugt wird, durch die sich verjüngenden Enden 10D absorbiert werden, die zur Verhinderung, daß die Ränder des Verbundmaterials 1B aus dem Eingriff mit den verjüngenden Enden herausfallen, einen ausreichenden Luftstrom bereitstellen, und dadurch sicherstellen, daß das Verbundmaterial 1B in die Rillen 10B in einer verläßlicheren Weise angesaugt wird.
Das in der Richtung des Transports des Verbundmaterials 1B gesehene stromabwärtige Ende der Hauptvakuumplatte 10 ist mit einem vorübergehenden Thermokompressions-Bondierabschnitt 10E versehen, der eine bogenförmige Oberfläche aufweist, auf die das Verbundmaterial 1B angesaugt werden soll. Dieser Bondierabschnitt 10E ist als ein integraler Teil der Hauptvakuumplatte 10 gebildet. Wie in den Fig. 1 und 4 dargestellt, ist eine Heizung 10F in dem Inneren des Bondierabschnitts 10E als eine Einrichtung zum Heizen dessen bogenförmigen Abschnitts vorgesehen. Der Bondierabschnitt 10E ist derart gestaltet, daß durch diese Fläche die führende Kante des Verbundmaterials 1B, das auf die Hauptvakuumplatte 10 zugeführt wurde, vorübergehend auf das Substrat 11 (mit Hitze und Druck) gebondet wird.
Die Hauptvakuumplatte 10 und der vorübergehende Bondierabschnitt 10E können als separate Glieder ausgeführt werden, die einzeln auf dem Stützglied 12 befestigt sind.
Eine Subvakuumplatte 13 (Dünnfilmrückhalteglied) ist in einem Gebiet nahe des vorübergehenden Bondierabschnitts 10E vorgesehen, insbesondere in der Umgebung des Zuführweges des Verbundmaterials 1B zwischen dem Bondierabschnitt 10E und dem Substrat 11. Obwohl nicht dargestellt, ist die Subvakuumplatte 13 ebenfalls mit Ansauglöchern versehen und ist aus einem oberen Ansaugabschnitt 13a und einem unteren Ansaugabschnitt 13b zusammengesetzt, damit sich eine in der Fig. 4 dargestellte U-förmige Form ergibt (der U-förmige Abschnitt ist an einer Abschneideposition des Verbundmaterials 1B positioniert). Der obere Ansaugabschnitt 13A der Subvakuumplatte 13 dient hauptsächlich dazu, daß die führende Kante des Verbundmaterials 1B angesaugt ist, so daß sie auf dem vorübergehenden Bondierabschnitt 10E angesaugt (und zurückgehalten) wird. Um es der führenden Kante des Verbundmaterials 1B zu ermöglicheng auf dem Bondierabschnitt 10E angesaugt zu werden, ist die Subvakuumplatte 13 auf dem Stützglied 12 montiert und arbeitet mit einer Antriebsquelle 13A, die die Form eines Luftzylinders haben kann, der hin zu dem Zuführungsweg des Verbundmaterials 1B und weg von ihm beweglich ist (d. h. in die Richtung des Pfeiles D bewegt wird).
Der untere Ansaugabschnitt 13b der Subvakuumplatte 13 ist derartig gestaltet, daß, nachdem eine kontinuierliche Form des Verbundmaterials 1B mit einer Schneideeinheit 14 geschnitten worden ist, das sich ergebende Segment des Verbundmaterials an seiner Hinterkante angesaugt wird und innerhalb des Zuführungsweges des Verbundmaterials 1B zurückgehalten wird. Dieser untere Ansaugabschnitt 13b ist ebenfalls derart gestaltet, daß sich nach dem in der Fig. 4 dargestellten Beginn der Thermokompressionslamination eine Lose in dem Abschnitt des Verbundmaterials 1B ausbilden wird, der sich zwischen 13b und einer drehenden Vakuumplatte 15 befindet (insbesondere kann eine Verbundmaterial-Lose 1B' ausgebildet werden, indem das Verbundmaterial 1B zur Hauptvakuumplatte 10 mit einer Geschwindigkeit zugeführt wird, die so gesteuert ist, daß sie größer als die Umfangsgeschwindigkeit einer Thermokompressionswalze 16 (d. h. der Geschwindigkeit der Thermokompressionslamination) ist. Obwohl nicht dargestellt, werden die Geschwindigkeit, mit der das Verbundmaterial der Hauptvakuumplatte 10 zugeführt wird und die Umfangsgeschwindigkeit der Walze 16 durch eine Folgesteuerschaltung gesteuert.
Wie in dem Fall der Antriebsquelle 12C, kann die Antriebsquelle 13A für die Subvakuumplatte 13 in der Form eines hydraulischen Zylinders oder ähnlichem anstelle eines Luftzylinders sein.
Die Schneideeinheit 14 ist in dem Laminatorkörper 7 in einem Gebiet nahe des Seitenweges des Verbundmaterials 1B vorgesehen, das zwischen dem vorübergehenden Bondierabschnitt 10E und dem isolierenden Substrat 11 passiert (tatsächlich zwischen dem vorübergehenden Bondierabschnitt 10E und der drehenden Vakuumplatte 15). Genauer gesagt, ist die Schneideeinheit 14 gegenüberstehend der Subvakuumplatte 13 angeordnet, wobei die Hinterkante des Verbundmaterials 1B in eine Schneideposition gebracht wird. Die Schneideeinheit 14 ist auf der Seite einer vorderen Transporteinrichtung 17 angeordnet, die das isolierende Substrat 11 transportiert (alternativ ist die Einheit 14 auf der Einrichtung 17 angeordnet). Die Schneideeinheit 14 ist so gestaltet, daß das Verbundmaterial 1B, das kontinuierlich der Hauptvakuumplatte 10 zugeführt wird, auf eine vorbestimmte Länge in Übereinstimmung mit den Ausmaßen des Substrates 11 geschnitten wird.
Die Konstruktion der Schneideeinrichtung 14 ist genauer in der Fig. 6, die eine schematische Draufsicht auf diese Schneideeinrichtung in der Richtung des Pfeiles 6 der Fig. 4 zeigt, und in der Fig. 7, die einen Schnitt der Schneideeinheit entlang der Linie VII-VII der Fig. 6 zeigt, gezeigt.
Wie aus den Fig. 6 und 7 hervorgeht, ist die Schneideeinheit 14 im wesentlichen aus einem Führungsglied 14A, einem Bewegungsglied 14B und einem scheibenförmigen Schneider 14C zusammengesetzt.
Das Führungsglied 14A erstreckt sich transversal zu der Richtung, in der das Verbundmaterial 1B zugeführt wird, und beide Ende (oder ein Ende) des Gliedes 14A sind an dem Laminatorkörper 7 durch Befestigungseinrichtungen, wie Schrauben, Bolzen, Muttern und Klebstoffen fest angeordnet. Um eine richtige Bewegung des Bewegungsgliedes 14B in die transversale Richtung zu derjenigen der Zuführung des Verbundmaterials 1B (d. h. die Richtung eines Pfeiles E in der Fig. 6) sicherzustellen, ist das Führungsglied 14A mit Aussparungen (oder Vorsprüngen) 14a versehen, die in entsprechend geformte Vorsprünge (oder Aussparungen) 14B eingreifen, die auf dem Bewegungsglied 14B ausgebildet sind.
Das Bewegungsglied 14B ist so gestaltet, daß es entlang dem Führungsglied 14A in eine durch einen Pfeil E gezeigte Richtung gleiten wird. Dieses Bewegungsglied 14B ist mit einem Gleiter 14E verbunden, der sich in die Richtung eines Pfeiles E' innerhalb einer hohlen Röhre 14D bewegen wird, die sich entlang des Führungsgliedes 14A erstreckt und die an beiden Enden an den Laminatorkörper 7 gestützt wird. Die Bewegung des Gleiters 14E wird durch das Blasen eines Fluids, wie beispielsweise Luft, in die hohle Röhre 14D (oder das Absaugen eines derartigen Fluids von der Röhre) durch eines der beide Enden bewerkstelligt. Mit anderen Worten, der Gleiter 14E wird von links nach rechts in der Fig. 6 bewegt werden, wenn ein Fluid in die hohle Röhre 14D von deren linken Seite eingeblasen wird, und wird in die entgegengesetzte Richtung bewegt werden, wenn das Fluid von der rechten Seite eingeblasen wird. Der Gleiter 14E ist so gestaltet, daß das Bewegungsglied 14B verschoben wird. Anstelle von Luft, kann ein Gas wie ein Inertgas oder eine Flüssigkeit, wie beispielsweise Wasser oder Öl, in die hohle Röhre 14D eingeblasen werden. Alternative Einrichtungen zum Bewerkstelligen der Verschiebung des Bewegungsgliedes 14B umfassen Luftzylinder, einen hydraulischen Zylinder und einen Motor.
Der scheibenförmige Schneider 14C wird gedreht, wenn das bewegliche Glied 14B verschoben wird, und zumindestens dessen Peripherie ist mit einer Schneide zum Schneiden des Verbundmaterials 1B ausgestattet. Die Kraft zum Drehen des scheibenförmigen Schneiders 14C wird durch die Verbindung eines Zahnrades 14E auf einer Achse 14F mit einem Übersetzungsrad 141 auf einer Achse 14H, das mit einer Zahnstange 14J verbunden ist, ausgeübt. Eines oder beide Enden der Zahnstange 14J sind mit dem Laminatorkörper 7 fest verbunden. Der Eingriff zwischen der Zahnstange 14J und dem Übersetzungsrad 141 wird mittels einer Rückhaltewalze 14L stabilisiert, die auf dem Bewegungsglied 10B montiert ist.
Der scheibenförmige Schneider 14C ist aus einem metallischen Material hergestellt, beispielsweise einem Hochgeschwindigkeitswerkzeugstahl, und zumindestens ist die Oberfläche der Schneide mit Polytetrafluorethylen überzogen. Polytetrafluorethylen ist höchst inert gegenüber Chemikalien und hat eine ausgezeichnete Wärmestabilität; zusätzlich hat dieses Harz einen kleinen Reibungskoeffizienten und wird sich nicht ohne weiteres mit anderen Materialien verbinden. In Laminatoren wird das wiederholte Schneiden des Verbundmaterials 1B Späne produzieren, die aus winzigen Partikeln zusammengesetzt sind und die verschiedene Chemikalien enthalten. Wenn derartige Späne an der Schneide des scheibenförmigen Schneiders 14C haften, wird dessen Schneideleistung leicht herabgesetzt. Dieses Problem kann durch das Überziehen der Schneidenoberfläche mit einem Film von Polytetrafluorethylen leicht gelöst werden.
Das Bewegungsglied 14B in der Nachbarschaft des scheibenförmigen Schneiders 14C ist mit einer Schutzabdeckung 14K über dem Schneider 14C versehen, die hauptsächlich dazu gedacht ist, die Sicherheit für das Bedienungspersonal zu gewährleisten.
Die im obigen beschriebene Schneideeinheit 14 ist so gestaltet, daß, als Antwort auf das Gleiten des Bewegungsgliedes 14B entlang des Führungsgliedes 14A in eine Richtung, der scheibenförmige Schneider 14C gedreht wird, um das Verbundmaterial 1B auf eine Größe zu schneiden, die der Länge des isolierenden Substrates 11 entspricht. Das Verbundmaterial 1B kann durch das Bewegen des scheibenförmigen Schneiders 14C in eine Richtung geschnitten werden, und dies ermöglicht ein schnelles Schneiden des Verbundmaterials 1B.
In dem obenbeschriebenen Laminator sind die Hauptvakuumplatte 10 und die Subvakuumplatte 13 auf dem Laminatorkörper 7 mittels des Stützgliedes 12 montiert, das hin zu dem Substrat 11 und weg von ihm beweglich ist, und die Schneideeinheit 14 zum Schneiden des Verbundmaterials 1B ist an dem Laminatorkörper 7 in einem Gebiet nahe des Zuführweges des Verbundmaterials 1B zwischen dem vorübergehenden Bondierabschnitt 10E und dem Substrat 11 befestigt. Diese Anordnung reduziert effektiv das Gewicht der Glieder 12 und erlaubt damit den Antrieb des Glieds 12 mit einer Antriebsquelle 12C, die eine kleine Antriebsleistung (oder Kapazität) haben kann.
Die obenbeschriebene Anordnung ist weiterhin im Reduzieren der Anzahl der mechanischen Teile wirksam, die durch das Stützglied 12 unterstützt werden müssen, und wodurch dadurch die Gestaltung des Stützgliedes 12 und damit verbundener Komponenten vereinfacht wird, so daß die Gesamtgröße des Laminators reduziert wird.
Die Reduktion der Größe der Antriebsquelle 12C und anderer Komponenten bietet den zusätzlichen Vorteil, daß sich die Produktionskosten des Laminators verringern.
Die Schneideeinheit 14, die ihre Funktion durch die Bewegung des scheibenförmigen Schneiders 14C bewerkstelligt, kann die Form eines Strahlschneiders haben, der eine entsprechende Einrichtung, wie beispielsweise Ultraschallwellen oder einen Laserstrahl, verwendet. Alternativ kann die Schneideeinheit 14 die Form beispielsweise eines Guillotineschneiders oder eines bandartiger Schneiders, eines drahtartiger Schneiders (der beheizt oder nicht beheizt sein kann) oder eines messerähnlicher Schneiders haben, der eine Klinge hat, die sich transversal zu der Zuführungsrichtung des Verbundmaterials 1B erstreckt und die im allgemeinen gleich oder größer als das transversale Ausmaß des Verbundmaterials 1B ist. Welche Art von Schneider auch gewählt wird, die Schneideeinheit 14 ist in der Lage, durch das gewünschte Gebiet des Verbundmaterials in einem einzigen Vorgang durchzuschneiden.
Das Verbundmaterial 1B, dessen führende Kante mit der leitenden Schicht auf dem isolierenden Substrat 11 vorübergehend mittels des vorübergehenden Bondierabschnittes 10E der Hauptvakuumplatte 10 gebondet (Thermokompressionsbonden) wurde, wird nachfolgend über das Substrat mittels Thermokompression durch die Walze 16 laminiert. Wenn die führende Kante des Verbundmaterials 1B vorübergehend auf die leitende Schicht mittels des vorübergehenden Bondierabschnitts 10E gebondet wurde, wird sich die Thermokompressionswalze 16 in eine durch die gestrichelte Linie 16' der Fig. 1 angezeigte Position drehen. Die Walze 16C ist so gestaltet, daß sie danach nicht in Kontakt mit dem Bondierabschnitt 10E während des vorübergehenden Bondierarbeitsganges in Kontakt kommt. Nach dem vorübergehenden Bondierarbeitsgang wird die Walze 16 von der durch die gestrichelte Linie 16' angezeigten Position zu der durch die durchgezogene Linie angezeigten Position versetzt, oder dorthin, wo das isolierende Substrat 11, das das Verbundmaterial 1B an beiden Seiten trägt, zwischen den oberen und unteren Thermokompressionswalzen 16 gehalten wird. Die Walzen 16 werden dann in die durch den Pfeil F in der Fig. 4 angezeigten Richtung gedreht, so daß sie das isolierende Substrat 11 transportieren werden, während das Verbundmaterial 1B auf der leitenden Schicht auf dem Substrat durch Thermokompression laminiert wird. Solang wie der Schritt der Thermokompressionslamination durchgeführt wird, wird der Modus des Ansaugens des Verbundmaterials 1B auf die Hauptvakuumplatte 10 oder Subvakuumplatte 13 abgeschaltet, und das Verbundmaterial 1B wird automatisch von der Zuführwalze 2 durch die rotierende Kraft der Walzen 16 und die Rückhaltekraft, die durch diese Walzen und das Substrat 11 geliefert wird, zugeführt.
Die Hinterkante des Verbundmaterials 1B, das gerade mit der Schneideeinheit 14 geschnitten worden ist, wird durch eine dreieckige, drehende Vakuumplatte 15 derart geführt werden, daß es keine Falten oder andere Oberflächendefekte entwickeln wird, und daß es mit den Walzen 16 korrekt durch Thermokompression laminiert wird. Die drehende Vakuumplatte 15 ist drehbar auf der Welle von jeder Thermokompressionswalze 16 gestützt und eine Vielzahl von Ansauglöchern 15A sind in der Ansaugoberfläche der Platte 15 angeordnet, die gegenüberliegend dem Verbundmaterial 1B angeordnet ist. Die mit den Ansauglöchern 15a versehene Ansaugoberfläche ist in der gleichen Weise wie die Ansaugoberfläche der in der Fig. 5 dargestellten Hauptvakuumplatte 10 gestaltet. Obwohl nicht dargestellt, können die Ansauglöcher ebenfalls in der obenliegenden Oberfläche der drehenden Vakuumplatte 15 angeordnet sein, und diese Anordnung hat den Vorteil, daß es eine Verbundmaterial-Lose 1B' in der in der Fig. 4 dargestellten Form liefert.
Das Substrat 11 wird zu der vorübergehenden Bondierposition des Laminators mittels der vorderen Transporteinrichtung 17 transportiert, die aus unteren Transportwalzen (untere Stufe) 17A und oberen Transportwalzen (obere Stufe) 17B besteht. Nachdem das Verbundmaterial 1B über dem Substrat 11 mittels der Walzen 16 des Laminators laminiert worden ist, wird das Substrat zur Erzeugung der gemusterten Verdrahtung mit einer hinteren Transporteinrichtung 18, die ist aus (unteren) Transportwalzen 18A und (oberen) Transportwalzen 18B zusammengesetzt ist, zu einer Belichtungseinheit transportiert.
Eine Dünnfilmjustiereinheit 19 ist, wie in den Fig. 1 und 4 gezeigt, auf dem Laminatorkörper 7 (oder vorderer Transporteinrichtung 17 oder Stützglied 12) in einem Gebiet nahe dem Seitenweg (von der Dünnfilmzuführung) vorgesehen oder dem Seitenweg der Bewegung der vorübergehenden Bondierposition 10E der Hauptvakuumplatte 10 vorgesehen. Die Justiereinheit 19 ist so gestaltet, daß sie die führende Kante des Verbundmaterials 1B justiert, damit sie in eine Richtung zugeführt wird, in der sie in engen Kontakt mit dem vorübergehenden Bondierabschnitt 10E kommt. Der Justierer 19 ist aus einer fluidtransportierenden Röhre 19A zusammengesetzt, die sich transversal zu der Richtung erstreckt, in der das Verbundmaterial 1B zugeführt wird und eine Vielzahl von fluidverblasenden Löchern 19B sind in diese Röhre 19A eingelassen.
Die flüssigkeitstransportierende Röhre 19A hat ein hohles Inneres und erlaubt den Durchfluß eines Fluids bei einem Druck, der höher als Atmosphärendruck ist. In der diskutierten Ausführungsform zeigt die fluidtransportierende Röhre 19A einen im allgemeinen kreisförmigen Querschnitt, allerdings ist die Querschnittsform dieser Röhre nicht auf einen Kreis begrenzt und kann rechteckig oder elliptisch sein.
Die fluidblasenden Löcher 19B sind in einer derartigen Weise angeordnet, daß ein Fluid gegen das Verbundmaterial 19B in eine Richtung geblasen wird, die eine richtige Justage des Verbundmaterials 1B sicherstellt (d. h. in die Richtung des Pfeiles G der Fig. 4).
Typischerweise wird Luft als ein Fluid in dem Filmjustierer 19 verwendet. Alternativ können Gase, wie beispielsweise Inertgase, oder Flüssigkeiten, beispielsweise Wasser und Öl, als Fluide verwendet werden.
Wie im vorangegangenen beschrieben, ist in dem Laminator die Dünnfilmjustiereinheit 19, die die führende Kante des Verbundmaterials 1B justiert, um sie in eine Richtung zu bringen, in der sie in engen Kontakt mit dem vorübergehenden Bondierabschnitt 10E gebracht wird, in dem Laminatorkörper 7 (oder dem Stützglied 12 oder der vorderen Transporteinrichtung 17) in einem Gebiet nahe des Bewegungsseitenwegs des Bondierabschnittes 10E angebracht. Diese Anordnung stellt sicher, daß die führende Kante des Verbundmaterials 1B in engen Kontakt mit dem Bondierabschnitt 10E gebracht wird, so daß die führende Kante vorübergehend auf der leitenden Schicht des isolierenden Substrates in einer verläßlichen Weise vorübergehend durch Thermokompression gebondet werden kann.
Wie in den Fig. 1 und 4 dargestellt, ist eine Dünnfilmschleudereinheit 20 in dem Laminatorkörper 7 (oder der vorderen Transporteinrichtung 17 oder dem Stützglied 12) in einem Gebiet nahe dem Verbundmaterial 1B (oder 1B') angeordnet, das zwischen dem unteren Ansaugabschnitt 13b der Subvakuumplatte 13 und der drehenden Vakuumplatte 15 zugeführt wird. Die Schleudereinheit 20 ist so gestaltet, daß sie die Verbundmaterial-Lose 1B' in einer Richtung bilden wird, in die es in engen Kontakt mit der Thermokompressionswalze 16 gebracht wird. Die Einheit 20 ist aus einer fluidtransportierenden Röhre 20A zusammengesetzt, die sich transversal zu der Richtung erstreckt, in die das Verbundmaterial 1B zugeführt wird, und eine Vielzahl von fluidblasenden Löchern 20B sind in dieser Röhre 20A angeordnet.
Die fluidtransportierende Röhre 20A hat ein hohles Inneres und erlaubt den Durchfluß eines Fluids bei einem Druck größer als Atmosphärendruck. Die fluidtransportierende Röhre 20A ist mit einem im wesentlichen kreisförmigen Querschnitt gezeigt, aber die Querschnittsform dieser Röhre ist nicht auf einen Kreis begrenzt und kann rechteckig oder elliptisch sein.
Die fluidblasenden Löcher 20B sind in einer Weise angeordnet, daß ein Fluid gegen das Verbundmaterial 1B' in eine Richtung geblasen wird, in der dessen Lose in der Weise überstehen wird, die bereits im vorangegangenen beschrieben wurde (d. h. in die Richtung eines Pfeiles H der Fig. 4). Wie in dem Fall der Dünnfilmjustiereinheit 19 wird Luft typischerweise als ein Fluid in der Filmschleudereinheit 20 verwendet. Alternativ können Gase, wie beispielsweise Inertgase, oder Flüssigkeiten, wie beispielsweise Wasser und Öl, als Fluide verwendet werden.
Wie im vorangegangenen beschrieben, wird in dem Laminator die Dünnfilmschleudereinheit 20, die die Verbundmaterial-Lose 1B' in eine Richtung schleudert, in der es in engem Kontakt mit der Thermokompressionswalze 16 gebracht wird, in dem Laminatorkörper 7 (oder Stützglied 12 oder Vordertransporteinrichtung 17) in einem Gebiet nahe des Verbundmaterials 1B' angeordnet. Diese Anordnung erlaubt es dem Verbundmaterial 1B', in einer Richtung lose zu werden, in der es verläßlich in engen Kontakt mit der Thermokompressionswalze 16 gebracht werden kann und ein insbesondere bemerkenswerter Vorzug, der sich aus dieser Tatsache ergibt, ist, daß die Hinterkante des Verbundmaterials 1B verläßlich auf die drehende Vakuumplatte 15 angesaugt werden kann. Konsequenterweise kann die Hinterkante des Verbundmaterials 1B in einer verläßlichen Weise über der leitenden Schicht auf dem isolierenden Substrat 11 durch Thermokompression laminiert werden, ohne irgendwelche Falten oder andere Oberflächendefekte zu entwickeln.
Die Dünnfilmjustiereinheit 19 oder die Dünnfilmschleudereinheit 20 kann aus einer Vielzahl von fluidverblasenden Düsen gestaltet werden, die transversal zu der Zuführungsrichtung des Verbundmaterials 1B vorgesehen sind, und durch welche ein Fluid in einer derartigen Weise gegen das Verbundmaterial 1B geblasen wird, daß es justiert oder in die richtige Richtung geschleudert wird, die in dem vorangegangenen Paragraphen definiert wurde.
Alternativ kann die Justiereinheit 19 oder Schleudereinheit 20 aus einer Ansaugröhre, die sich transversal zu der Richtung erstreckt, in die das Verbundmaterial 1B zugeführt wird, und aus einer Vielzahl von Ansauglöchern gestaltet sein, die in dieser Röhre gemacht sind und durch die ein Vakuum angelegt wird, um das Verbundmaterial 1B zu justieren oder in die bereits definierte geeignete Richtung zu schleudern.
Falls gewünscht, kann jede der Einheiten 19 und 20 aus einem Schleuderglied gestaltet werden, welches es ermöglicht, daß das Verbundmaterial 1B justiert und in die spezifizierte richtige Richtung geschleudert wird.
Die Filmjustiereinheit 19 kann als die Filmschleudereinheit 20 dienen oder umgekehrt.
Ein Substratführungsglied 21 ist auf dem Laminatorkörper 7 (oder der hinteren Transporteinrichtung 18) in einem Gebiet zwischen der Thermokompressionswalze 16 und einer Transportwalze 18A in der hinteren Transporteinrichtung 18 angeordnet, wie es in den Fig. 1 und 4 dargestellt ist. Dieses Führungsglied 21 ist so gestaltet, daß das Substrat 11, über dem das Verbundmaterial 1B durch Thermokompression laminiert worden ist, von der Laminierposition zu dem Ort, wo die Transportwalzen 18A und 18B angeordnet sind, geführt wird. Das Führungsglied 21 kann in einer interdigitalen Form von Stangen sein, die sich in Transportrichtung des Substrats 11 erstrecken und die transversal zu dieser Transportrichtung angeordnet sind. Die interdigitalen Führungsglieder 21 ermöglichen eine weiche Führung des Substrates 11, indem die Kontaktfläche reduziert und daher der Reibungswiderstand mit dem Substrat 11 reduziert wird.
Der Vorteil des Einfügens des Substratführungsgliedes 21 zwischen der Thermokompressionswalze 16 und der Transportwalze 18A in der hinteren Transporteinrichtung 18 ist offensichtlich, falls das Substrat 11 dünn ist, da es dann in einer verläßlichen Weise geführt und zu den Transportwalzen 18A und 18B transportiert werden kann, ohne daß es an der führenden Kante durchhängt, nachdem das Verbundmaterial 1B auf jede seiner Seiten durch Thermokompression laminiert worden ist. Diese Effektivität des Substratführungsgliedes 21 ist insbesondere in der diskutierten Ausführungsform des Laminators groß, in der die Thermokompressionswalze 16 von der durch die unterbrochene Linie 16' zu der durch die durchgezogene Linie angezeigten Position zum vorübergehenden Bonden des Verbundmaterials 1B verschoben wird. Dieses Verschieben ergibt die Bildung eines beträchtlichen Raums zwischen der Walze 16 und der Transportwalze 18A, wobei das Substrat 11 glatt durch die Führung des Gliedes -1 durch diesen Raum laufen kann.
Das Substratführungsglied 21 kann durch einen Schirm gebildet werden.
Alternativ kann das Glied 21 aus einer festen Platte gebildet werden.
Das Laminationsverfahren des Verbundmaterials 1B durch Thermokompression mit dem Laminator der diskutierten Ausführungsform wird nachfolgend kurz unter Bezugnahme auf die Fig. 1, 4 und 8 bis 10 erklärt (vergrößerte Ansicht, die jeden der wesentlichen Schritte zeigt).
In dem ersten Schritt wird die führende Kante des Verbundmaterials 1B, das von dem Schutzfilm 1A auf der Abtrennwalze 3 abgetrennt worden ist, manuell zwischen die Subvakuumplatte 13 und die Schneideeinheit 14 positioniert.
In dem nächsten Schritt wird das isolierende Substrat 11 über die Transportwalzen 17A und 17B der vorderen Transporteinrichtung 17 transportiert. Wenn die führende Kante des Substrates 11 die vorübergehende Bondierposition erreicht, wird die führende Kante des Verbundmaterials 1B auf die Oberfläche der Subvakuumplatte 13 angesaugt. Danach wird die Antriebsquelle 13A in Gang gesetzt, um die Subvakuumplatte 13 von dem Zuführungsweg des Verbundmaterials 1B weg zu bewegen, so daß die führende Kante des Verbundmaterials an dem vorübergehenden Bondierabschnitt 10E angesaugt wird, wie es in der Fig. 8 dargestellt ist. Nachdem es auf die Hauptvakuumplatte 10 und den vorübergehenden Bondierabschnitt 10E angesaugt ist, wird das Verbundmaterial 1B einer Justierung durch die Dünnfilmjustiereinheit 19 unterzogen, so daß die führende Kante des Verbundmaterials ohne weiteres zu dem vorübergehenden Bondierabschnitt 10E angesaugt werden kann. Wenn die Betriebsweise kontinuierlich ist, wird die führende Kante des Verbundmaterials 1B, das mit der Schneideeinheit 14 geschnitten worden ist, an den vorübergehenden Bondierabschnitt 10E angesaugt.
Nachfolgend wird die Antriebsquelle 12c betätigt, um das Stützglied 12 zu bewegen, sowie die Hauptvakuumplatte 10 und die Subvakuumplatte 13 in einer Richtung nahe an das isolierende Substrat 11 zu bewegen. Gleichzeitig mit der Bewegung wird die Hauptvakuumplatte 10 bezüglich des Stützgliedes 12 mittels der Antriebsquelle 12D weiterbewegt, so daß das führende Ende des Verbundmaterials 1B, welches durch den in der Fig. 9 dargestellten vorübergehenden Bondierabschnitt 10E angesaugt wird, vorübergehend (vorübergehend thermokomprimiert) an die leitende Schicht des isolierenden Substrates 11 gebondet wird.
Nachdem das Verbundmaterial 1B vorübergehend an das Substrat 11 gebondet worden ist, wird das Ansaugen durch die Hauptvakuumplatte 10 und den vorübergehenden Bondierabschnitt 10E abgeschaltet und die Antriebsquellen 12C und 12D werden betätigt, um die Hauptvakuumplatte 10, den vorübergehenden Bondierabschnitt 10E und die Subvakuumplatte 13 von der vorübergehenden Bondierposition wegzubewegen.
Diese Bewegung weg von der vorübergehenden Bondierposition ist viel größer als die Bewegung während des Schritts, in dem das Verbundmaterial 1B an den vorübergehenden Bondierabschnitt 10E angesaugt wird, und die Bewegung, die von der Antriebsquelle 12C gemacht wird, um die Hauptvakuumplatte 10 und die Subvakuumplatte 13 zu bewegen. Diese Bewegungslänge ist proportional zu der losen Menge des Verbundmaterials 1B'. In diesem Falle kann die Antriebsquelle 12C des Stützgliedes 12 in der Größe kompakt gemacht werden, oder die Antriebsquelle 12C kann eine höhere Antriebsleistung liefern, um eine Hochgeschwindigkeitsoperation durchzuführen, da die Schneideeinheit 14, wie im vorangegangenen beschrieben, in dem Laminatorkörper 12 fest angebracht ist.
In einem nachfolgenden Schritt werden die Thermokompressionswalzen 16 von der durch die gestrichelte Linie 16' angezeigten Position zu der durch eine durchgezogene Linie angezeigten vorübergehenden Bondierposition verschoben. Während die Walzen 16 über beiden Seiten des isolierenden Substrates 11 gedreht werden, wobei die führende Kante des Verbundmaterials 1B vorübergehend daran gebondet ist, wird das Verbundmaterial auf die leitende Schicht des Substrates 11 durch Thermokompression laminiert. In diesem Schritt wird die Ansaugenoperation der Hauptvakuumplatte 10, des vorübergehenden Bondierabschnittes 10E und der Subvakuumplatte 13 ganz abgeschaltet, so daß jede der Thermokompressionswalzen 16 automatisch mit dem Verbundmaterial 1B von der Zuführwalze 2 durch die Drehkräfte der Walzen 16 und die durch die Walzen 16 und das Substrat bereitgestellten Rückhaltekräfte versorgt werden.
Wenn eine vorgegebene Menge des Verbundmaterials 1B auf das Substrat 11 durch Thermokompression laminiert worden ist, wird das Ansaugen durch die Hauptvakuumplatte 10, die Subvakuumplatte 13 und die rotierende Vakuumplatte 15 im wesentlichen gleichzeitig gestartet. Das Stützglied 12 wird durch die Antriebsquelle 12C von einer in der Fig. 10 dargestellten Position wegbewegt, und das Verbundmaterial 1B wird durch die Hauptvakuumplatte 10 dem isolierenden Substrat zugeführt, und zur gleichen Zeit wird die Hinterkante (Schneideposition) des Verbundmaterials 1B in Ausrichtung mit der Schneideposition der Schneideeinheit 14 mittels des unteren Vakuumabschnitts 13B der Subvakuumplatte 13 gebracht. Die Zuführgeschwindigkeit des Verbundmaterials 1B (Bewegungsgeschwindigkeit der Stützglieder 12) ist so eingestellt, daß sie schneller als die Geschwindigkeit ist, mit der durch die Walzen 16 auf dem Substrat 11 durch Thermokompression laminiert wird (oder die Umfangsgeschwindigkeit der Walzen 16).
Die Hauptvakuumplatte 10 und die Subvakuumplatte 13 sind an dem Stützglied 12 angeordnet, und das Stützglied 12 ist in dem Laminatorkörper 7 in einer derartigen Weise angeordnet, daß das Stützglied sich hin zu dem isolierenden Substrat 11 und weg von ihm bewegt. Daher wird die Hinterkante (Schneideposition) des Verbundmaterials 1B gleichzeitig mit der Ansaugoperation der Hauptvakuumplatte 10 an die Subvakuumplatte 13 angesaugt, und die Hauptvakuumplatte 10 und die Subvakuumplatte 13 werden durch das Stützglied 12 bewegt, um die Abschneideposition des Verbundmaterials 1B mit der Abschneideposition der Schneideeinheit 14 in Übereinstimmung zu bringen. Als Ergebnis wird keine überflüssige Lose in dem Verbundmaterial 1B zwischen der Hauptvakuumplatte 10 und der Subvakuumplatte 13 erzeugt. Das heißt, die Entfernung I zwischen der Hauptvakuumplatte 10 und der Position, an der der scheibenartige Schneider 14C der Subvakuumplatte 13 angewendet wird (U-förmiger Abschnitt), dargestellt in der Fig. 10, wird nicht geändert, selbst in dem Zustand, in dem die Abschneideposition des Verbundmaterials 1B in Ausrichtung mit der Abschneideposition der Schneideeinheit 14 ist, wie es in der Fig. 4 dargestellt ist. Daher ist die Schneideposition des Verbundmaterials 1B richtig mit der Schneideposition der Schneideeinheit 14 ausgerichtet, und das Verbundmaterial 1B kann zu einem genauen Ausmaß entsprechend dem Ausmaß des isolierenden Substrates 11 geschnitten werden. Entsprechend wird eine präzise Thermokompressionslamination bewirkt, um so eine hohe Ausbeute zu erhalten. Weiterhin kann das Stützglied 12, das mit der Hauptvakuumplatte und der Subvakuumplatte 13 versehen ist, durch eine Antriebsquelle mit einer kleinen Antriebsleistung angetrieben werden, da die Schneideeinheit 14 fest mit dem Laminatorkörper 7 verbunden ist.
Nach dem Zuführen des Verbundmaterials 1B und der Ausrichtung von dessen Schneideposition mit der Schneideposition der Schneideeinheit 14, kann eine Lose des Verbundmaterials 1B' zwischen der Subvakuumplatte 10 und der drehenden Vakuumplatte 15 gebildet werden. Die Hinter- und Vorderkanten der Lose des Verbundmaterials 1B', gesehen in der Richtung von dessen Zuführung, werden durch die Dünnfilmjustiereinheit 20 in einer derartigen Weise justiert, daß sie verläßlich auf den entsprechenden unteren Ansaugabschnitt 13b der Subvakuumplatte 13 und der drehenden Vakuumplatte 15 angesaugt werden.
Während das Verbundmaterial 1B in diesem Zustand gehalten wird, wird es an seiner Hinterkante (Schneideposition) mit der Schneideeinheit 14 geschnitten, um ein Segment einer vorbestimmten Größe zu erzeugen, das der Größe des Substrates 11 entspricht.
Nachfolgend wird die Hinterkante des so geschnittenen Verbundmaterials 1B von der drehenden Vakuumplatte 15 angesaugt, die sich dann mit einer Geschwindigkeit dreht, die ein wenig langsamer ist als die der Thermokompressionswalzen 16, und eine geeignete Spannung auf diesen Teil des dünnen Films ausübt, der durch das Gebiet, in dem er durch die Walzen 16 und seiner Hinterkante laminiert wird, definiert ist. Daraus resultiert, daß die Hinterkante des Verbundmaterials 1B auf die leitende Schicht auf dem isolierenden Substrat 11 laminiert werden kann, ohne daß irgendwelche Oberflächendefekte wie beispielsweise Falten entwickelt werden.
Nachdem das Verbundmaterial 1B durch Thermokompression laminiert worden ist, wird das Substrat 11 ohne Schwierigkeiten hinter das Substratführungsglied 21 transportiert, um durch die Transportwalzen 18A und 18B in die hintere Transporteinrichtung 18 durch die rotierenden Kräfte der Thermokompressionswalzen 16 gebracht zu werden. Das Substrat 11 wird weiterhin von der hinteren Transporteinrichtung 18 zu einer benachbarten Belichtungseinheit transferiert.
Die Subvakuumplatte 13 kann aus zwei unabhängig gesteuerten Platten zusammengesetzt sein, wobei eine Platte verwendet wird, um die führende Kante des Verbundmaterials 1B (gesehen in der Richtung von dessen Zuführung) an den vorübergehenden Bondierabschnitt 10E angesaugt zu haben und die andere Platte als Halter für die Schneideeinheit 14 verwendet wird.
In einer anderen Anwendung des Laminators der vorliegenden Erfindung wird das Substrat 11 als Vorbereitung auf die Lamination des Verbundmateriales 1B über dem Substrat mit ungeheizten Kompressionswalzen vorgeheizt.
Der Laminator der vorliegenden Erfindung kann ebenfalls zur Bondierung eines Schutzfilms auf die Oberfläche einer dekorativen laminierten Platte verwendet werden, wie sie als Konstruktionsmaterial verwendet wird.
Entsprechend der vorliegenden Erfindung wird in dem Laminator die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung an dem Dünnfilmzuführungsweg zur Detektion der Zuführung eines dünnen Films angeordnet. Daher wird die Dünnfilmzuführung präzise detektiert. Falls keine Zuführung stattfindet, kann der Bediener diese Tatsache bemerken und kann die Operation des Laminators stoppen. Daher wird die Produktionsausbeute verbessert.

Claims

1. Laminator zum Laminieren eines dünnen Films (1B) auf ein Substrat (11), der aufweist:

- eine Einrichtung (14) zum Schneiden eines kontinuierlichen dünnen Films (1B) zu einem vorbestimmten Ausmaß, wobei der dünne Film (1B) nach der Trennung von einem ersten transparenten Harzfilm (1A), eine fotosensitive Harzschicht und einen zweiten transparenten Harzfilm aufweist, die vor der Trennung zusammen laminiert sind;

- eine Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung (8), die an einem Dünnfilmzuführungsweg zur Detektion der Zuführung des dünnen Films (1B) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß

die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung (8) während der Drehung einer Dünnfilmtrennwalze (3) drehbar ist, und worin die Dünnfilmzuführungs-Detektionseinrichtung (8) aufweist:

- eine drehende Scheibe (8B), die einen Schlitzabschnitt (8A) an ihrem Umfangsabschnitt hat;

§- einen Detektionsabschnitt (8C) zur Detektion des Schlitzabschnitts; und

- einen Codierer zur Ausgabe eines Signals entsprechend einer Umdrehungsanzahl der Dünnfilmtrennwalze (3).

2. Laminator nach Anspruch 1, worin die Dünnfilmzuführungs- Detektionseinrichtung (8) an einem Endabschnitt der Trennwalze (3) angeordnet ist.

3. Laminator nach Anspruch 1, worin die Dünnfilmzuführungs- Detektionseinrichtung (8) innerhalb eines Abdeckrahmens des Laminatorkörpers (7) angeordnet ist.

4. Laminator nach einem der vorangegangenen Ansprüche, der aufweist:

- eine Zuführwalze (2) zur Zuführung des dünnen Films (1B);

- die Abtrennwalze (3) zum Trennen des ersten transparenten Harzfilms (1A) von dem dünnen Film (1B), wobei

- die Detektionseinrichtung koaxial mit der Trennwalze (3) angeordnet ist.