DE3736701A1 - Verfahren und vorrichtung zum dosieren eines gases - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum dosieren eines gasesInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Dosieren
eines Gases insbesondere für die Gasversorgung eines Va
kuumofens sowie eine Vorrichtung zur Durchführung dieses
Verfahrens.
Vakuumöfen zur chemischen Behandlung von Metallen und
anderen Stoffen werden mit kleinen Gasmengen in wiederhol
baren Dosierungen von beispielsweise bis zu 0,2 dm3/s
bei sich dynamisch ändernden Durchflußwerten versorgt.
Dazu ist es bekannt, die Dosierung über die Steuerung vor
gegebener Werte beispielsweise über eine indirekte Beein
flussung des Gasdurchflusses über entsprechend reagierende
thermische Widerstände zu bewirken, die über elektronische
Einrichtungen angesteuert werden. Vorrichtungen, die nach diesem
Prinzip arbeiten, sind beispielsweise von der Firma MKS in
München erhältlich.
Diese bekannten Vorrichtungen sind jedoch mit einem
hohen technischen Aufwand verbunden, arbeiten mit verhältnis
mäßig großen Abweichungen zwischen den erwartenden und den ange
nommen Durchflußwerten und weisen nur einen begrenzten Do
sierungsbreite des Gasdurchflusses auf.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht
demgegenüber darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum
Dosieren eines Gases insbesondere für die Gasversorgung
eines Vakuumofens zu schaffen, die den Anforderungen der
chemischen Wärmebehandlung in Vakuumöfen genügen, d. h.
eine hohe Meßgenauigkeit bei der Messung des Gasdurchflusses
sowie eine dementsprechende hohe Genauigkeit der Steuerung
des Gasdurchflusses und der Reproduzierbarkeit der Dosierung
haben.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung bei dem er
findungsgemäßen Verfahren und der erfindungsgemäßen Vor
richtung durch die Ausbildung ausgelöst, die im Kennzeichen
der Patentansprüche 1 bzw. 4 angegeben ist.
Besonders bevorzugte Ausbildungen und Ausgestaltungen
des erfindungsgemäßen Verfahrens und der erfindungsgemäßen
Vorrichtung sind Gegenstand der Patentansprüche 2 und 3
bzw. der Patentansprüche 5 bis 13.
Im folgenden wird anhand der zugehörigen Zeichnung ein
besonders bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung be
schrieben. Es zeigen
Fig. 1 in einem schematischem Blockschaltbild
ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Vorrichtung, Fig. 2 schematisch die Aufteilung der Gas
kanäle in Gruppen und Fig. 3 ein Beispiel der Ausbildung
der Gaskanäle.
Das in Fig. 1 dargestellte Ausführungsbeispiel der
Erfindung umfaßt ein Gehäuse 1, in dem eine Vorkammer 2 und
eine Nachkammer 3 ausgebildet sind, die über eine Vielzahl
von Gaskanälen 4 miteinander verbunden sind. Der Ausgang
der Nachkammer 1 wird mit der zu versorgenden Einheit bei
spielsweise einem Vakuumofen 5 verbunden. Dem Eingang der
Vorkammer 2 ist ein Absperrventil 6 vorgeschaltet, daß mit
einer nicht dargestellten Gasversorgungsquelle verbunden ist.
In der Vorkammer und in der Nachkammer sind Druckfühler 8
angeordnet, deren Ausgangssignale an einem Differenzdruckreg
ler 7 liegen, der das Absperrventil 6 ansteuert. Das Ab
sperrventil öffnet und schließt vorzugsweise impulsförmig,
wobei die Impulsfrequenz von einem nicht dargestellten Zeit
geber vorgegeben ist. Der Differenzdruckregler 7 kann auf
den Zeitgeber so einwirken, daß über eine Steuerung der Im
pulsfrequenz zum Schalten des Absperrventils 6 die Druck
differenz zwischen der Vor- und Nachkammer 2, 3 kostant
gehalten wird.
Die Gaskanäle 4, die Vorkammer 2 und die Nachkammer 3
verbinden, sind so ausgebildet, daß die hindurchgehende
Gasströmung bei allen in Frage kommenden Strömungsgeschwindigkeiten
laminar ist. Das kann anhand der Reynold′schen Zahl, der Sutherland′
schen Konstanten sowie der dynamischen Viskosität für verschiedene Ga
se festgelegt werden. Da bei einer laminaren Strömung die Durchflußmen
ge durch die Strömungskanäle bei sonst unveränderten Betriebsbe
dingungen nur von der Druckdifferenz zwischen dem Eingang
und dem Ausgang der Kanäle abhängt, kann über eine ent
sprechende Regelung dieser Druckdifferenz durch den Differenz
druckregler 7 ein Grundwert der Gasdosierung eingestellt
und konstant gehalten werden. Durch eine entsprechende
Beeinflussung des Druckes in der Vorkammer über die An
steuerung des Absperrventils 6 kann über eine gewisse Ver
zögerung einer Anpassung an einen vorgegebenen Druckdifferenz
wert erreicht werden.
Es können weitere nicht dargestellte Temperatur- und Druck
überwachungseinrichtungen vorgesehen sein, die zusätzlich
dazu dienen, den Gasdurchsatz d. h. den Grundwert der
Dosierung konstant zu halten. Die den Gasdurchfluß über
wachende Steuereinrichtung, die gleichfalls nicht darge
stellt ist, kann automatisch über ein einschriebenes Pro
gramm arbeiten oder mit einer zentralen den Prozeß in der
Einrichtung 5 führenden Überwachungs- und Steueranlage ver
bunden sein, die entsprechende Parameterwerte zur Steuerung
des Gasdurchflusses liefert.
In diesem Zusammenhang wird darauf hingewiesen, daß
die Höhe des Vakuums in der zu versorgenden Vakuumeinrichtung
beispielsweise in dem Vakuumofen 2 hPa bis 10 hPa betragen
kann.
Wie es insbesondere in Fig. 2 dargestellt ist sind
die Gasdurchlaßkanäle 4 zwischen der Vorkammer 2 und der
Nachkammer 3 in Gruppen 4.1 . . . 4 i jeweils zusammenge
faßt, die mit nicht dargestellten Sammelleitungen ver
bunden sind, die in der Nachkammer 3 münden und in denen
beispielsweise Magnetventile angeordnet sind, die wahl
weise geöffnet oder geschlossen werden können. Die An
zahl der Gaskanäle in jeder Gruppe kann dabei so gewählt
sein, daß sie einem Wert eines Zahlensystems entspricht.
Beim dualen System können beispielsweise 1024 Gaskanäle
vorgesehen sein, die jeweils in Gruppen von 1, 2, 4, 8,
16....256, 512 mit einer Sammelleitung verbunden sind, wie
es schematisch in Fig. 2 dargestellt ist. Durch diese
Ausbildung ist eine digitale Dosierung möglich, da durch
entsprechende Kombinationen geöffneter und geschlossener
Ventile der Sammelleitungen alle Werte zwischen 0 und
1024 erreicht werden können und somit eine Dosierung in
Schritten von Promill möglich ist.
Es können zusätzliche Drucküberwachungs- und Tempe
raturregeleinrichtungen für die Plattenblöcke vorgesehen
sein, mit denen der Druck über dem laminaren Strömungsweg
zusätzlich beeinflußt werden kann. Über die Temperaturre
geleinrichtungen kann insbesondere ein die Kanäle liefern
de Plattenblock beispielsweise auf eine Temperatur von bis
zu 2000°C aufgeheizt werden, so daß zur Erzeugung des Gases,
dessen Durchsatz zu dosieren ist, von pulverförmigen Fest
stoffen ausgegangen werden kann, die aufgrund der hohen Tem
peratur zunächst vergast werden, woraufhin die Dosierung
der gebildeten Gase in der gewünschten Weise erfolgt.
Wenn insbesondere mehrere Plattenblöcke in Strömungs
richtung hintereinander mit dazwischen ausgebildeten Zwi
schenräumen vorgesehen sind, ist es möglich, durch eine
entsprechende Temperaturverteilung an den einzelnen Blöcken
zunächst eine Vergasung der pulverförmigen Feststoffe zu
bewirken und anschließend über die nachgeschalteten Blöcke
die gewünschte Dosierung zu erreichen.
Bei mehreren kaskadenartig hintereinander geschalteten
Plattenblöcken mit Gaskanälen ist die Ausbildung derart,
daß sich ein Druckabfallsystem ergibt, dessen Gesamtdruck
abfall annähernd gleich der Summe der Druckabfälle der ein
zelnen Plattenblöcke ist.
Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, können die Gaska
näle 4 dadurch gebildet sein, daß Platten mit halbkreis
förmigen Kanälen 9 paßgenau zusammengelegt werden, wobei
die Kanalgruppen 4.1...4i durch eine entsprechende Zusammen
fassung der Platten zu Blöcken gebildet werden können.
Die Platten bestehen vorzugsweise aus einem Metall, einem
Keramikmaterial oder Glas.
Die Gaskanäle können in der oben beschriebenen Weise
einfach und mit geringen Kosten ausgebildet werden, so daß
sich eine kostengünstige Fertigung bei hoher Dosierungs
genauigkeit ergibt. Die Platten können weiterhin bei Ver
unreinigung ausgewechselt und gereinigt werden.
Das oben beschriebene Ausführungsbeispiel der er
findungsgemäßen Vorrrichtung arbeitet in der folgenden
Weise. Ein Grundwert der Gasdosierung wird durch eine
entsprechende Regelung des Differenzdruckes zwischen der
Vorkammer 2 und der Nachkammer 3 über den Differenzdruck
regler 7 eingestellt. Dieser Grundwert ist variabel und
hängt nur von dem genannten Druckunterschied ab, der
seinerseits über eine Steuerung des Druckes in der Vor
kammer 2 mittels des in seiner Frequenz steuerbaren Ab
sperrventils 6 einstellbar ist. Der Druck in der Vorkammer 2
ist höher als der Druck in der Nachkammer 3.
Da die Gasströmung in den Gaskanälen laminar ist
und der Gasdurchsatz nur von der Druckdifferenz zwischen
dem Eingang der Gaskanäle 4 in der Vorkammer 2 und dem
Ausgang der Gaskanäle 4 in der Nachkammer 3 abhängt, ergibt
sich somit eine Gasströmung mit konstant dosiertem Gas
durchsatz nach Maßgabe des genannten Grundwertes. Dieser
Gasstrom wird der zu versorgenden Einrichtung,beispiels
weise dem Vakuumofen 5 zugeführt.
Geichzeitig wird die Temperatur der gesamten Anlage
überwacht und gesteuert.
Ausgehende von diesem Grundwert der Dosierung ist es
dann über eine entsprechende Öffnung und Schließung einer
Kombination von Ventilen der Sammelleitungen d. h. über
die Öffnung einer entsprechenden Anzahl von Gaskanälen
möglich, eine Feindosierung in kleinen Schritten auszu
führen, die bei einer entsprechenden Ausbildung, wie es
in Fig. 2 dargestellt ist, eine digitale Dosierung sein
kann, deren Genauigkeit und Annährung an eine stufenlose
Dosierung durch die Anzahl der Gaskanäle gegeben ist. Dabei
ergibt sich eine hohe Reproduzierbarkeit der Gasdosierung.
Die Vorrichtung enthält mindestens ein für ein bestimmtes
Gas oder Gasgemisch ausgelegtes Durchflußsystem, so daß
das Material der Platten, in denen die Gaskanäle ausgebil
det sind, ein für die jeweilige Gasart und Arbeitstemperatur
neutrales Verhalten zeigen muß. Bei einer Verschmutzung der Gas
kanalblöcke können diese ausgewechselt, auseinandergenommen
und gesäubert werden.
Die Gaskanalblöcke können somit in Form einer aus
wechselbaren Einlage ausgebildet sein, die ggf. beispiels
weise bei einer Verschmutzung oder auch bei einem Übergang
zu einer anderen Gasart ausgewechselt werden können.
Claims (13)
1. Verfahren zum Dosieren eines Gases inbesondere für
die Gasversorgung eines Vakuumofens, dadurch gekenn
zeichnet, daß ein Grundwert der Gasdosierung da
durch eingestellt wird, daß die Druckdifferenz über einer
Störmungswegstrecke wenigstens eines laminaren Gasströmungs
weges im Gasleitungssystem von einer Gasversorgungsquelle
zum Gasauslaß auf einem entsprechenden Wert gehalten wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß eine schrittweise Feindosierung
dadurch erfolgt, daß eine entsprechende Anzahl von Gas
strömungswegen geöffnet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Einstellung des Grundwertes
der Gasdosierung dadurch erfolgt, daß der Druck auf der
Seite der Gasversorgungsquelle so geregelt wird, daß sich
die gewünschte Druckdifferenz über der Strömungswegstrecke
ergibt.
4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahren nach
Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
in einem Gehäuse (1) eine Vorkammer (2) mit einem Gasein
laß und einer Nachkammer (3) mit einem Gasauslaß ausge
bildet sind, die über wenigstens einen Gaskanal (4) mit
einander verbunden sind, wobei in der Vor- und Nachkammer
(2, 3) jeweils ein Druckfühler (8) vorgesehen ist, dessen
Ausgangssignal an einem Differenzdruckregler (7) liegt, der
die Druckdifferenz über dem Gaskanal (4) konstant hält,
und der Gaskanal so ausgebildet ist, daß die durchgehende
Gasströmung bei den in Frage kommenden Strömungsgeschwin
digkeiten laminar ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeich
net durch ein Absperrventil (6), daß dem Gaseinlaß
in der Vorkammer (2) vorgeschaltet ist und pulsierend
von einem Zeitglied gesteuert öffnet und schließt, wo
bei der Differenzdruckregler (7) die Druckdifferenz über
dem Gaskanal (4) durch eine entsprechende Steuerung des
Zeitgliedes und damit der Impulsfrequenz des Absperrventiles
(6) konstant hält.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, gekenn
zeichnet durch Temperatur- und Drucküberwachungs
und -regeleinrichtungen für die gesamte Vorrichtung zur zu
sätzlichen Beeinflußung der Druckdifferenz über dem Gaska
nal (4).
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Gas
kanäle (4) gruppenweise mit Sammelleitungen jeweils ver
bunden sind, die in der Nachkammer (3) münden und in
denen Ventile liegen, die wahlweise geöffnet oder ge
schlossen werden können.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Ventile in den Sammelleitungen
Magnetventile sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Zahl der Gaskanäle (4) in
den Gruppen(4i)jeweils gleich den in einem Zahlensystem
benutzten Zahlenwerten ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9, ge
kennzeichnet durch eine Steuereinrichtung,
die über ein eingeschriebenes Programm oder in Abhängigkeit
von gemessenen Parameterwerten, die von einer den Prozeß
in der mit Gas zu versorgenden Einrichtung steuernden Über
wachungs- und Steuereinheit kommen, die Gasdosierung steuert
und mit dem Differenzdruckregler (7) verbunden ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die Gas
kanäle (4) dadurch gebildet sind, daß Platten mit
halbkreisförmigen Kanälen in den Außenflächen paßgenau
zusammengefügt sind, wobei die Platten aus einem Metall,
einem Keramikmaterial oder Glas bestehen und zu Kanalblöcken
(4 i) zur Verbindung mit den Sammelleitungen zusammenge
faßt sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch ge
kennzeichnet, daß die in den Platten ausge
bildeten Gaskanäle (4) kurze laminare Durchlaufkanäle sind
und Plattenblöcke in Durchflußrichtung mit dazwischen vor
gesehenen Zwischenräumen kaskadenartig angeordnet sind,
derart, daß sich ein Druckabfallsystem ergibt, dessen Ge
samtdruckabfall annähernd gleich der Summe der Druckabfälle
der einzelnen Plattenblöcke ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Gaskanal (4) in einer
auswechselbaren Einlage ausgebildet ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873736701 DE3736701A1 (de) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | Verfahren und vorrichtung zum dosieren eines gases |
PL26946087A PL269460A1 (en) | 1987-10-29 | 1987-12-14 | Method of feeding gas and a device for feeding gas |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873736701 DE3736701A1 (de) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | Verfahren und vorrichtung zum dosieren eines gases |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3736701A1 true DE3736701A1 (de) | 1989-05-11 |
Family
ID=6339371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873736701 Withdrawn DE3736701A1 (de) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | Verfahren und vorrichtung zum dosieren eines gases |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3736701A1 (de) |
PL (1) | PL269460A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1995015520A1 (fr) * | 1993-12-03 | 1995-06-08 | Helispire | Dispositif pour doser un fluide de maniere controlee |
DE10110113C1 (de) * | 2001-03-02 | 2002-05-16 | Finze & Wagner Gmbh | Gasdosiermodul zum gegendruckunabhängigen Einbringen von Gasen in Metallschmelzen |
-
1987
- 1987-10-29 DE DE19873736701 patent/DE3736701A1/de not_active Withdrawn
- 1987-12-14 PL PL26946087A patent/PL269460A1/xx unknown
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1995015520A1 (fr) * | 1993-12-03 | 1995-06-08 | Helispire | Dispositif pour doser un fluide de maniere controlee |
FR2713362A1 (fr) * | 1993-12-03 | 1995-06-09 | Helispire Sarl | Dispositif pour doser un fluide de manière contrôlée. |
DE10110113C1 (de) * | 2001-03-02 | 2002-05-16 | Finze & Wagner Gmbh | Gasdosiermodul zum gegendruckunabhängigen Einbringen von Gasen in Metallschmelzen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PL269460A1 (en) | 1988-09-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: INTER SYSTEM VERFAHRENSTECHNIK GMBH, 8000 MUENCHEN |
|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |