DE3735324A1 - Mikroskopobjektiv mit korrekturvorrichtung - Google Patents
Mikroskopobjektiv mit korrekturvorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung ist vorteilhaft anwendbar als Mikroskopobjektiv
mittlerer und höherer Apertur (ab ca. 0,4) in einer Objektiv
reihe mit Objektiven geringerer Apertur, wo sich zwischen dem
zu untersuchenden Objekt und dem Objektiv durchsichtige, plan
parallele Platten beliebiger Dicke befinden, z. B. Abschluß
platten spezieller Kammern oder Böden von Flüssigkeitsbehäl
tern.
Ein Maß für die Austauschbarkeit von Mikroskopobjektiven einer
Objektivreihe ist die einheitliche Abgleichlänge, z. B. 45 mm.
Die Abgleichlänge ist definiert als Abstand von der Objektebene
bis zur Objektiv-Anlagefläche.
Objektive mit kleinen Aperturen sind unempfindlich hinsichtlich
der Bildgüte bei geringen Abweichungen von der genormten Deck
glasdicke von 0,17 mm.
Bei größeren Aperturen wirken sich bereits sehr geringe Ab
weichungen von der vorgeschriebenen Deckglasdicke auf Grund
des dadurch entstehenden Öffnungsfehlers ungünstig auf die
Bildgüte aus. Deshalb haben Trockenobjektive höchster Apertur
(0,9 bzw. 0,95) für bedeckte Präparate eine Korrektionsfassung,
die ein Einstellen auf die verwendete reale Deckglasdicke ge
stattet und den Öffnungsfehler kompensiert. Die bei zu klei
ner oder zu großer realer Deckglasdicke entstehende sphärische
Unter- oder Überkorrektion wird zumeist durch Änderung des
Abstandes zwischen dem vorderen und dem hinteren Teil des op
tischen Systems des Objektivs kompensiert, was mechanisch
durch Drehen eines Korrektionsringes geschieht. Die mit der
artigen Korrektionsfassungen ausgerüsteten Objektive gleichen
nur Deckglasdickenschwankungen in der Größenordnung von hun
derstel Millimetern aus.
Bei bestimmten Verfahren der Mikroskope befinden sich zwi
schen Objekt und Objektiv durchsichtige planparallele Platten
unterschiedlicher Dicke, die einen weitaus größeren Schwan
kungsbereich haben können (Zehntelmillimeter bis Millimeter),
der durch Nachfokussieren auszugleichen ist, was eine Ände
rung der Abgleichlänge darstellt.
Wenn verschiedene Planplattendicken auftreten, benötigen be
reits Objektive mittlerer und höherer Apertur eine Bildfehler
korrektion wie bei den herkömmlichen Objektiven mit Korrektions
fassung. Das führt gleichzeitig zu der Notwendigkeit der Nach
fokussierung. Korrektur des sphärischen Fehlers und Nachfo
kussieren sind so oft zu wiederholen, bis genügende Bildqua
lität erreicht wird ("trial and error"-Methode).
Beim Übergang zu einer anderen Vergrößerung (Umschalten am
Objektivrevolver) ist erneut nachzufokussieren, wenn die im
Objektraum befindliche Plattendicke vom Sollwert abweicht.
Objektive einer Reihe, mit verschiedener Vergrößerung, haben
dann nicht mehr eine einheitliche Abgleichlänge, wenn sie zum
Bildfehlerausgleich eine Korrektionsfassung herkömmlicher Aus
führung haben und die Plattendicke vom Sollwert abweicht.
Ziel der Erfindung ist es, die Nachteile des Standes der Tech
nik zu beseitigen, d. h. Objektive zu erhalten, die bei mitt
lerer und höherer Apertur mit Bildfehlerkorrektion gleichzei
tig die gleiche Schärfenebene wie die schwachen Objektive ohne
Bildfehlerkorrektion bei allen auftretenden Dicken der im Ob
jektraum verwendeten Planplatten haben, so daß diese Objektiv
reihe immer untereinander abgeglichen bleibt.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Mikroskopobjektiv zu erhal
ten, daß bei Verwendung unterschiedlich dicker planparalleler
Platten im Objektraum neben einer Bildfehlerkorrektur gleich
zeitig eine Schärfenebenenkorrektur ermöglicht, um für alle
auftretenden Plattendicken abgeglichen zu sein zu andern Ob
jektiven einer Objektivreihe.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Mikroskopobjektiv mit
Korrekturvorrichtung insbesondere für unterschiedlich dicke
planparallele Platten im Objektraum, wobei eine Frontlinsen
gruppe an der Objektseite und eine hintere Linsengruppe an
der Abbildungsseite eines veränderlichen Luftabstandes ange
ordnet sind, wobei erfindungsgemäß Korrekturvorrichtung
so ausgebildet ist, daß gleichzeitig mit der Veränderung des
Luftabstandes zur Bildfehlerkorrektur eine axiale Verschie
bung des gesamten optischen Systems zur Korrektur der Lage
der Schärfenebene vorgenommen wird.
Das Wesen der Erfindung wird anhand von Zeichnungen verdeut
licht.
In Fig. 1a ist ein Objektiv 1 geringer Apertur dargestellt,
dessen Abgleichlänge O 1 T beträgt, wobei O 1 der abzubildende
Objektpunkt und T der Achsenpunkt der Anlagefläche des Ob
jektivs ist.
In Fig. 1b ist die Verwendung einer planparallelen Platte 2
der Dicke d und Brechzahl µ im Objektraum gezeigt, wobei sich
die Abgleichlänge des Objektivs 1 um den Betrag
d ·
vergrößert.
In Fig. 1c ist ein Objektiv höherer Apertur 3 dargestellt,
das aus einer vorderen Linsengruppe 4 und einer hinteren
Linsengruppe 5 besteht, das für eine mittlere Dicke der im
Objektraum befindlichen Platte 2 korrigiert ist und dessen
Abgleichlänge somit für diese mittlere Plattendicke mit der
Abgleichlänge des Objektivs geringer Apertur 1 in Fig. 1 über
einstimmt.
In Fig. 1d wird eine dickere Platte 2* zwischen Objekt und
Objektiv 3 gebracht. Erfindungsgemäß wird zwecks Bildfehler
korrektur der Abstand zwischen den Linsengruppen 4 und 5 ge
ändert und zwecks Erhaltung der Schärfenebene zwischen den
Objektiven 1 (mit Platte 2*) und 3 zusätzlich das gesamte
optische System (Teilsysteme 4 und 5 gemeinsam) axial ver
schoben.
Die Korrekturvorrichtung, mit der gleichzeitig beide Ver
schiebungen realisiert werden, kann beliebig ausgeführt sein.
Eine mögliche Art ist im Ausführungsbeispiel erläutert.
Die Zahl der Linsengruppen in einem erfindungsgemäßen Mikros
kopobjektiv ist nicht wesentlich, erfindungswesentlich ist,
daß eine Linsengruppe, vorzugsweise die Frontlinsengruppe,
zur Bildfehlerkorrektur verschiebbar ist und daß alle Lin
sengruppen des Objektivs zusätzlich gemeinsam axial ver
schiebbar sind.
Eine mögliche Realisierung der Erfindung wird anhand Fig. 2
erläutert.
Ein dargestelltes Mikroskopobjektiv enthält eine verschieb
bare Frontlinse 6 und Linsengruppen 7 a, 7 b, 7 c, 7 d, die ge
meinsam in einem Gleitrohr 8 gelagert sind.
Mit der Fassung der Frontlinse 6 ist fest verbunden eine
Hülse mit Bewegungsgewinde 9 und gleichzeitig wird axial
verschiebbar das Gleitrohr 8 gehalten.
In das Bewegungsgewinde der Hülse 9 greift ein Gewinde eines
Bedienteiles 10 ein, in dem eine Schraube mit Führungszylin
der 13 befestigt ist, die an einer Kurvenkante eines Ab
stimmringes 14 anliegt, daß mit einem feststehenden Rohr 11
fest verbunden ist. Den abbildungsseitigen Anschlag des Gleit
rohres 8 im Rohr 11 bildet eine Schraube 12. Der objektseitige
Anschlag wird durch die Kurvenkante des Teiles 14 an dem
Führungszylinder der Schraube 13 gebildet.
Das dargestellte Mikroskopobjektiv enthält als Bildfehler
kompensationselement die axial verschiebbare Frontlinse 6.
Die Fassung dieser Linse wird über die Hülse mit Bewegungs
gewinde 9 durch Drehung des Bedienteiles 10 in bezug auf die
übrigen Linsengruppen im Gleitrohr 8 axial verschoben. Er
findungsgemäß wird bei dieser Drehung des Bedienteiles 10
auch das Gleitrohr 8 bewegt und somit das gesamte optische
System verschoben, um die Schärfenebenenverschiebung auszu
gleiche. Das geschieht dadurch, daß im feststehenden Rohr 11
das axialverschiebbar gelagerte und azimutal gesicherte Gleit
rohr 8 durch die Federkraft der Feder 12 über die Schraube 13
am Kurvenablauf des Abstimmringes 14 anschlägt, der fest mit
dem Rohr 11 verbunden ist.
Bei der Drehung des Bedienteiles 10 läuft die Schraube 13 an
der azimutal angebrachten Steuerkurve des Abstimmringes 14
ab und positioniert das Gleitrohr und damit das gesamte op
tische System, entsprechend der erfindungsgemäßen Schärfen
ebenenverschiebung.
Bei Verwendung eines erfindungsgemäßen Mikroskopobjektivs
für normale Deckgläser oder unbedeckte Präparate ist es vor
teilhaft, eine planparallele Platte vor dem Objektiv im Ob
jektraum anzubringen als Kompensationselement.
Claims (2)
1. Mikroskopobjektiv mit Korrekturvorrichtung insbesondere
für unterschiedlich dicke planparallele Platten im Objekt
raum, wobei eine Frontlinsengruppe an der Objektseite und
eine hintere Linsengruppe an der Abbildungsseite eines ver
änderlichen Luftabstandes angeordnet sind, gekennzeichnet
dadurch, daß die Korrekturvorrichtung so ausgebildet ist,
daß gleichzeitig mit der Veränderung des Luftabstandes zur
Bildfehlerkorrektur eine axiale Verschiebung des gesamten
optischen Systems zur Korrektur der Lage der Schärfenebene
vorgenommen wird.
2. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das optische System aus zwei beweglichen Linsengruppen
besteht, von denen die eine Linsengruppe (6) über ein Be
wegungsgewinde (9) mit dem Bedienteil (10) relativ zur
zweiten Linsengruppe (7 a, 7 b, 7 c, 7 d) axial verschoben
wird, beide Linsengruppen sich in einem axial verschieb
baren und azimutal gesicherten Gleitrohr (8) befinden und
mit demselben Bedienteil (10) mittels der am azimutalen
Kurvenablauf des Abstimmringes (14) durch die Federkraft
der Feder (12) anschlagenden Schraube (13), relativ zum
feststehenden Rohr (11), gemeinsam verschoben werden.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD29685486A DD254033B5 (de) | 1986-12-01 | 1986-12-01 | Mikroskopobjektiv mit Korrekturvorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3735324A1 true DE3735324A1 (de) | 1988-06-16 |
Family
ID=5584335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873735324 Withdrawn DE3735324A1 (de) | 1986-12-01 | 1987-10-19 | Mikroskopobjektiv mit korrekturvorrichtung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63144317A (de) |
DD (1) | DD254033B5 (de) |
DE (1) | DE3735324A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4323721A1 (de) * | 1993-07-15 | 1995-01-19 | Leica Mikroskopie & Syst | Mikroskopobjektiv mit einer Korrekturfassung |
US6909540B2 (en) | 2001-12-03 | 2005-06-21 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Microscope objective, microscope, and method for imaging a specimen |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3812745C2 (de) * | 1988-04-16 | 1997-07-10 | Zeiss Carl Fa | Mikroskopobjektiv mit einer Einrichtung zur Einstellung auf unterschiedliche Deckglasdicken |
-
1986
- 1986-12-01 DD DD29685486A patent/DD254033B5/de not_active IP Right Cessation
-
1987
- 1987-10-19 DE DE19873735324 patent/DE3735324A1/de not_active Withdrawn
- 1987-12-01 JP JP30165387A patent/JPS63144317A/ja active Pending
Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
DE4323721A1 (de) * | 1993-07-15 | 1995-01-19 | Leica Mikroskopie & Syst | Mikroskopobjektiv mit einer Korrekturfassung |
WO1995002842A1 (de) * | 1993-07-15 | 1995-01-26 | Leica Mikroskopie Und Systeme Gmbh | Mikroskopobjektiv mit einer korrekturfassung |
US5561562A (en) * | 1993-07-15 | 1996-10-01 | Leica Mikroskopie Und Systeme Gmbh | Microscope objective with a correcting mount |
US6909540B2 (en) | 2001-12-03 | 2005-06-21 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Microscope objective, microscope, and method for imaging a specimen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DD254033B5 (de) | 1995-01-26 |
DD254033A1 (de) | 1988-02-10 |
JPS63144317A (ja) | 1988-06-16 |
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