DE3730257A1 - Messgeraet fuer spektralcharakteristiken einer laserstrahlung - Google Patents
Messgeraet fuer spektralcharakteristiken einer laserstrahlungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft Meßgeräte für Spektralcharakteri
stiken einer Laserstrahlung der im Oberbegriff des Patent
anspruchs 1 angegebenen Gattung, die bevorzugt zur automa
tisierten Kontrolle der Emissionswellenlänge und -linien
breite von Laserquellen mit Impuls- und Dauerstrahlung von
automatisierten Industrie- und Forschungs- und Entwick
lungs-Laserkomplexen sowie als selbständige Kontrollmeß
instrumente eingesetzt werden.
Aus der US-A-41 73 442 ist ein Meßgerät für Spektralcha
rakteristiken einer Laserstrahlung bekannt, das ein Fizau-
Reflexionsinterferometer (optischer Keil) mit zwei ebenen
Glasplatten, einen Kollimator, der eine ebene Wellenfront
der zu messenden Strahlung mit einer Apertur formiert, ei
nen linearen Fotoempfänger zur Registrierung einer räumli
chen Intensitätsverteilung des vom Interferometer erzeug
ten Interferenzfeldes sowie Systeme zur Verarbeitung einer
vom Fotoempfänger kommenden optischen Information und zur
computerunterstützten Berechnung der Emissionswellenlänge
enthält. Die Messung der Emissionswellenlänge mit diesem
Gerät erfolgt in zwei Etappen, und zwar nach der räumli
chen Periode des Interferenzbildes und nach der Lage der
Interferenzmaxima, die durch den Fotoempfänger registriert
werden.
Dieses Gerät hat nur eine begrenzte Meßgenauigkeit wegen
der Verwendung nur eines Interferometers und ist zur Be
stimmung des Strahlungsspektrums wegen der zu geringen
Auflösung des Zweistrahlinterferometers ungeeignet. Außer
dem müssen sehr hohe Anforderungen an die Qualität der op
tischen Elemente und des Fotoempfängers erfüllt werden,
weil auch geringste Abweichungen in der Homogenität der
auf das Interferometer einfallenden Wellenfront und Ver
zerrungen im Kanal zur fotografischen Aufzeichnung sowie
die Nichtlinearität des Interferometers selbst unbedingt
vermieden werden müssen. Die verhältnismäßig hohe energe
tische Empfindlichkeitsschwelle des Geräts ergibt sich aus
einem kleinen Reflexionskoeffizienten der als Spiegel im
Fizau-Interferometer eingesetzten unbedampften Glasplatten
sowie durch die notwendige sorgfältige räumliche Filterung
der Eingangsstrahlung zur Erzeugung der Eingangsfront.
Im Artikel Appl. Physics, 25, 1981, N. Konishi et. al.
"High precision wavelength meter with Fabry-Perot optic"
ist ein Meßgerät für Spektralanalysen einer Laserstrahlung
beschrieben, das - im Strahlengang hintereinander angeord
net - ein formierendes Teleskop, einen Lichtteiler zur
Trennung eines durch das Teleskop formierten Strahlungs
bündels in eine Reihe von Einzelbündeln, je ein Inter
ferometer (beispielsweise Fizau-Interferometern) für jedes
Strahlungsbündel enthält. Die verschiedenen Basen dieser
Interferometer sind so aufeinander abgestimmt, daß der
Dispersionsbereich des Interferometers mit größerer Basis
einem glaubwürdigen Intervall zur Bestimmung der Wellen
länge mit Hilfe des vorhergehenden Interferometers mit
kleinerer Basis ungefähr gleich ist. Jedem Interferometer
ist ein Fotoempfänger im Strahlengang nachgeordnet, die an
eine Informationsverarbeitungseinheit angeschlossen sind.
Die Messung erfolgt durch eine Analyse der von dem Foto
empfänger aufgezeichneten Interferenzbilder. Bei diesem
Gerät sind die vier Interferometer unabhängig voneinander
ausgeführt und durch ein eigenes Befestigungs- und Ju
stiersystem gehaltert, was die Abmessungen des Geräts we
sentlich vergrößert und dessen Verstimmung im Betrieb und
damit die Meßgenauigkeit und -stabilität verringert. Unter
der Meßstabilität wird die Wahrscheinlichkeit der Fehler
freiheit im Algorithmus zur Berechnung der Emissionswel
lenlänge durch schrittweise Präzisierung unter Benutzung
einer Information von Interferometern mit zunehmenden Ba
sen verstanden. Die notwendige Evakuierung der Interfero
meter und ihre Wärmestabilisierung (und nach Möglichkeit
auch der gesamten optischen Einheit des Geräts) bereiten
bei diesem Gerät erhebliche Schwierigkeiten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Meßgerät für
Spektralcharakteristiken einer Laserstrahlung zu schaffen,
bei dem eine gegenseitige Verstimmung der Interferometer
im Betrieb vermieden wird, was die Meßgenauigkeit und
-stabilität erhöht, die Abmessungen des Geräts verkleinert
und die Evakuierung und Wärmestabilisierung der Interfero
meter erleichtert.
Diese Aufgabe wird bei dem Meßgerät für Spektralcharakte
ristiken einer Laserstrahlung, das - im Strahlengang hin
tereinander angeordnet - ein formierendes Teleskop, einen
Lichtteiler zur Trennung eines durch das Teleskop formier
ten Strahlungsbündels in eine Reihe von Einzelbündeln,
eine Reihe von Fizau-Interferometern nach der Anzahl der
einzelnen Strahlungsbündel, die je im Lichtstromweg des
entsprechenden Einzelbündels angeordnet sind und verschie
dene Basen aufweisen, die aneinander angepaßt unter der
Bedingung gewählt sind, daß der Dispersionsbereich des
Interferometers mit größerer Basis einem glaubwürdigen
Intervall zur Bestimmung der Wellenlänge mit Hilfe des
vorhergehenden Interferometers mit kleinerer Basis unge
fähr gleich ist, eine Reihe von Fotoempfängern nach der
Anzahl der Fizau-Interferometer, die je im Strahlengang
hinter dem entsprechenden Interferometer angeordnet sind,
und eine Informationsverarbeitungseinheit, deren Eingänge
an die Ausgänge der Fotoempfänger angeschlossen sind, ent
hält, gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß sämtliche
Fizau-Interferometer in Form eines einheitlichen Blocks
aus strahlungsdurchlässigem Werkstoff hergestellt sind,
dessen Bauelemente mit Hilfe eines optischen Kontaktes
miteinander verbunden sind und der zwei zueinander paral
lel angeordnete Platten, die auf Abstand miteinander ver
bunden sind und von denen eine als Grundplatte des Blocks
dient, wobei die innere Oberfläche der zweiten Platte eine
Spiegelschicht trägt, die die Funktion eines für alle
Fizau-Interferometer gemeinsamen Spiegels übernimmt. Keil
platten verschiedener Dicke in der Anzahl der Fizau-Inter
ferometer weisen an je einer ihrer einen optischen Keil
bildenden Flächen eine Spiegelschicht auf und sind auf der
Grundplatte des Blocks angeordnet. Die Rippen der opti
schen Keile der Keilplatten sind zueinander parallel und
die Flächen mit der Spiegelschicht sind dem gemeinsamen
Spiegel zugekehrt, so daß sie die Funktion der anderen
Spiegel der Fizau-Interferometer erfüllen, wobei die mitt
leren Dicken der Keilplatten unter der Bedingung der ge
genseitigen Anpassung der Basen der Fizau-Interferometer
gewählt sind.
Es ist zweckmäßig, in einem Gerät mit Zylinderspiegeln im
formierenden Teleskop den Lichtteiler mit reflektierenden
Drehspiegeln in der Anzahl der Fizau-Interferometer auszu
führen, die einander parallel angeordnet sind. Jeder nach
folgende Spiegel ist gegenüber dem vorhergehenden Spiegel
in Richtung senkrecht zur Achse des Bündels um einen zur
Anzahl der Fizau-Interferometer umgekehrt proportionalen
Teil des Durchmessers des Strahlungsbündels versetzt, wo
durch eine Verteilung des Strahlungsbündels über das Feld
gewährleistet wird, wobei die infolge der gegenseitigen
Verschiebung der Drehspiegel gebildeten wirksamen Kanten
zu den Erzeugenden der Zylinderflächen der Spiegel des
Teleskops und den Rippen der optischen Keile der Keil
platten senkrecht stehen.
Das erfindungsgemäße Meßgerät für Spektralanalysen einer
Laserstrahlung gestattet es durch die Ausbildung der opti
schen Einheit der Fizau-Interferometer als kompakter ein
heitlicher Block mit einer gemeinsamen Basis - Grund
platte -, einem gemeinsamen Spiegel, die Dauerstabilität
von Betriebsparametern der Interferometer, wie die opti
sche Länge in einem vorgegebenen Punkt, die Winkel der op
tischen Keile und die Einfallswinkel der Strahlung beim
Auftreffen auf das Interferometer zu erhöhen und damit
einen Dauerfehler bei der Messung der Emissionswellenlänge
geringer zu halten und die Betriebsstabilität des Geräts
zu steigern oder mit anderen Worten die Wahrscheinlichkeit
der fehlerfreien Wellenlängenmessung bei Benutzung des Al
gorithmus zur Berechnung durch schrittweise Präzisierung
der Wellenlänge unter Auswertung der Information von den
Fizau-Interferometern mit den zunehmenden Basen zu er
höhen. Die Anwendung des Lichtteilers mit Verteilung des
Strahlungsbündels über das Feld in der Ausführungsform des
Geräts mit dem Zylinderteleskop bietet die Möglichkeit,
die Empfindlichkeitsschwelle des Meßgeräts nach der Lei
stung der Dauerstrahlung oder nach der Energie der Impuls
strahlung wesentlich zu erhöhen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von konkreten Aus
führungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher
erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 schematisch ein Meßgerät für Spektral
charakteristiken,
Fig. 2 eine Ansicht des Blocks in Pfeil
richtung A in Fig. 1,
Fig. 3 einen Schnitt III-III in Fig. 1.
Das dargestellte Meßgerät für Spektralcharakteristiken
einer Laserstrahlung enthält - im Strahlengang hinterein
ander angeordnet - eine Eintrittsblende 1, ein formieren
des Teleskop 2 mit Zylinderspiegeln 3, 4, einen Lichttei
ler 5 zur Trennung eines durch das Teleskop 2 geformten
Strahlenbündels 6 in eine Reihe von Einzelbündeln 7 klei
neren Querschnitts, eine Reihe von Fizau-Interferometern
in der Anzahl der einzelnen Strahlenbündel 7, im Strahlen
gang jedes Bündels 7, die in Form eines einheitlichen
Blocks 8 ausgeführt sind, eine Reihe von Fotoempfängern 9
in der Anzahl der Interferometer, die jeweils hinter dem
entsprechenden Interferometer angeordnet sind, und eine
Informationsverarbeitungseinheit 10, deren Eingänge an die
Ausgänge der Fotoempfänger 9 angeschlossen sind.
Im beschriebenen Ausführungsbeispiel umfaßt die Reihe vier
Bauelemente, beispielsweise vier Fotoempfänger 9, vier
Fizau-Interferometer usw.
Die Zylinderspiegel 3 und 4 (Fig. 1, 3) erfüllen die
Funktion eines Objektivs und eines Kollimators des
Teleskops 2.
Der Lichtteiler 5 umfaßt vier totalreflektierende Dreh
spiegel 11, die parallel zueinander und unter einem Winkel
von 45 zur optischen Achse 12 angeordnet sind, die als
durch die Mitte der Apertur der Blende 1 gehende Linie de
finiert wird, und gekoppelte (zusammenfallende) Brennpunk
te der Zylinderspiegel 3, 4 perpendikular zu den Erzeugen
den dieser Spiegel. Die wirksamen Kanten 13 der Spiegel 11
der Breite "k" sind durch Rippen 14 begrenzt, wobei die
Spiegel 11 in der Weise angeordnet sind, daß ihre Rippen
14 senkrecht zu den Erzeugenden der Zylinderspiegel 3, 4
stehen und jeder nachfolgende Spiegel bezüglich des vor
hergehenden in Richtung perpendikular zur Achse 12 des
Bündels 6 im Strahlengang um einen zur Anzahl der Licht
teilerspiegel - hier D/4 - umgekehrt proportionalen Teil
des Durchmessers D eines Eingangsbündels 15 versetzt ist,
wodurch das Strahlungsbündel 6 hinter dem Teleskop 2 über
das Feld verteilt wird.
Der einheitliche Block 8 (Fig. 1, 2) der Fizau-Interfero
meter besteht aus zwei parallelen optisch ebenen Platten
16, 17, von denen die erste die Funktion der Grundplatte
des Blocks 8 übernimmt und die zweite als gemeinsamer
Spiegel der Interferometer wirkt, weshalb auf den Zentral
teil der Innenfläche der Platte 17 eine teildurchlässige
Spiegelschicht 18 aufgetragen ist. Die Platten 16 und 17
sind in einem Abstand "a" mit Hilfe von Gestellen 19 ange
ordnet, während die einander zugekehrten Oberflächen der
Platten 16 und 17 streng parallel sind. Auf der Grundplat
te 16 sind vier Keilplatten 20 mit zwei optisch flachen
Seiten in verschiedenen mittleren Abständen a 1, a 2, a 3, a 4
(siehe Fig. 2) angeordnet. Die eine Seite jeder Platte 20
dient zur Befestigung auf der Grundplatte 16 während die
der Spiegelschicht 18 zugewandte Seite eine teildurchläs
sige Spiegelschicht 21 trägt, die mit der Spiegelschicht
18 ein Interferometer vom Typ des optischen Keils (Fizau-
Interferometer) bildet. Hierbei müssen die Rippen 22 der
Keile der Fizau-Interferometer, die vereinbarte Schnitt
linien der Ebenen der Spiegelschichten 18 und 21 darstel
len, einander ungefähr parallel sein. Die Abmessungen der
Gestelle 19 und die mittleren Abstände a 1, a 2, ... der
Keilplatten 20 werden unter der Bedingung der gegensei
tigen Anpassung der mittleren Basen h 1, h 2, h 3, h 4 der
Fizau- Interferometer gewählt.
Die Gestelle 19 und Keilplatten 20 sind mit den Platten 16
und 17 über einen tiefen optischen Kontakt verbunden.
Sämtliche Teile des Blocks 8 sind aus einem strahlungs
durchlässigen Werkstoff - Schmelzquarz - hergestellt.
Der Block 8 ist gegenüber dem Lichtteiler 5 derart be
festigt, daß die optische Achse 12 des Strahlenbündels 6
nach dessen Reflexion von den Drehspiegeln 11 auf der
Ebene der Spiegelfläche 18 und die Rippen 22 der Keile der
einzelnen Interferometer auf den Rippen 14 der Drehspiegel
11 senkrecht stehen.
Die vier Fotoempfänger 9 in der Anzahl der Fizau-Inter
ferometer sind lineare PZS-Silizium-Fotoempfänger. Zur Er
höhung des Effekts der fotografischen Registrierung sind
vor den Fotoempfängern 9 Zylinder-Fokussierlinsen 23 ange
ordnet, die bei Verwendung der Fotoempfänger mit einem
ausreichend großen Empfindlichkeitsbereich ausbleiben
können.
Um den Einfluß der Dispersion des Brechungsindexes, den
des Drucks und der Zusammensetzung eines Gasmediums, in
dem sich das Gerät befindet, auf die Meßgenauigkeit auszu
schließen, ist der Block 8 in einer hermetisch abgedichte
ten Kammer 24 angeordnet, die evakuiert werden kann. Die
Strahlung gelangt in die Kammer 24 durch ein Fenster 25.
Um die Temperatureinwirkung auf die Meßgenauigkeit und
-stabilität zu eliminieren, kann die Kammer 24 wärmestabi
lisiert werden. Die andere Variante der Elimination des
Temperatureinflusses sind Wärmeisolierung der Kammer 24,
Temperaturmessung beim Block 8 und Einführung einer Tempe
raturkorrektion für die Meßergebnisse bei der Ermittlung
der Emissionswellenlänge.
Der Vergrößerungsfaktor des Teleskops 2, die Abmessung "1"
der Spiegel 11 längs der Rippe 14 und die "1" gleiche Län
ge der Keilplatten 20 werden unter der Bedingung der An
passung der Abmessungen der Interferenzbilder in Richtung
der Dispersion der Keilinterferometer an die Länge des
Lichtempfindlichkeitsbereichs der Fotoempfänger 9 gewählt.
Die Keilwinkel α der Interferometer werden unter den
Bedingungen der Registrierung einer Sollzahl von
Interferenzstreifen gewählt.
Die Einheit 10 zur Verarbeitung der optischen Information
umfaßt mehrere Kanäle in der Anzahl der Fotoempfänger 9.
Jeder Kanal enthält ein Steuerwerk 26, das die Funktionen
der Steuerung des PZS-Fotoempfängers 9, der Videosignal
erzeugung, Analog-Digital-Umwandlung und der Vorbearbei
tung eines Interferogramms im Echtzeitbetrieb mit Hilfe
eines eingebauten Mikroprozessors erfüllt. Die Einheit 10
umfaßt auch einen eingebauten Zentralprozessor 27, der mit
den Steuerwerken 26 verbunden ist und eine Steuertastatur
sowie eine Anzeigeeinheit 28 aufweist. Dieser Aufbau der
Einheit 10 zur Verarbeitung der optischen Information er
möglicht eine maximale Arbeitsgeschwindigkeit des Geräts.
Die Arbeitsweise des dargestellten Meßgeräts für Spektral
charakteristiken einer Laserstrahlung besteht in folgen
dem.
Der Eingangsstrom der zu untersuchenden Strahlung trifft
nach Passieren der Eintrittsblende 1 und des Zylindertele
skops 2 auf den Lichtteiler 5, wo er in vier Lichtbündel 7
nach der Anzahl der verwendeten Fizau-Interferometer ge
trennt wird. Die Verteilung des Bündels 6 über das Feld in
dem erfindungsgemäßen Gerät ermöglicht eine hohe energeti
sche Empfindlichkeit durch eine optimale Anpassung der
räumlichen Form des Bündels 7 an die Größe des Foto
empfindlichkeitsbereichs des Fotoempfängers 9.
Die Anwendung des Zylinderteleskops 2, der Zylinder-Fokus
sierungslinsen 23 vor den linearen Fotoempfängern 9 sowie
des Lichtteilers 5 zur Verteilung des Strahlungsbündels 6
über das Feld erlaubt es, die Empfindlichkeitsschwelle des
Meßgerätes je nach der Leistung der Dauerstrahlung oder
nach der Energie der Impulsstrahlung beträchtlich zu sen
ken.
Die ebene Strahlungsfront in Form eines schmalen Streifens
(Bündel 7), der in Richtung der Dispersion der Fizau-
Interferometer erweitert ist, fällt auf die Platte 17 nor
mal zur gemeinsamen Spiegelschicht 18 auf und formiert
hinter der Platte 17 ein Interferenzbild in Form schmaler
Streifen gleicher Dicke, die durch die linearen Foto
empfänger 9 registriert werden. Die Signale von den Foto
empfängern 9 enthalten Informationen über das räumliche
Interferenzbild der zu analysierenden Strahlung. Diese
Informationen werden im Steuerwerk 26 verarbeitet, um die
Lage der Interferenzstreifen und deren Breite zu bestim
men, nach der der Prozessor 27 die Wellenlänge der Laser
strahlung mit der Informationsanzeige durch die Einheit 28
errechnet.
Die Algorithmen zur Bestimmung der Spektralcharakteristi
ken der Strahlung verwerten die Ergebnisse einer Eichung
der Fizeau-Interferometer, die in der Feststellung der
Parameter, ausgehend von einer Analyse von Interferenz
bildern einer Strahlung mit den bekannten Spektralcharak
teristiken (Bezugslinien), besteht.
Die Genauigkeit der Messung der Wellenlänge der Laser
strahlung durch das erfindungsgemäße Gerät wird im wesent
lichen durch die Abmessung h 4 der Basis des letzten Inter
ferometers (mit der größten Basis) bestimmt. Die Basen h 1,
h 2, h 3 der anderen Fizau-Interferometer werden unter der
Bedingung gewählt, daß der Dispersionsbereich des Inter
ferometers mit größerer Basis einem glaubwürdigen Inter
vall zur Bestimmung der Wellenlänge mit Hilfe des vorher
gehenden Interferometers mit kleinerer Basis (nach einem
Sollpegel der Gültigkeit (ungefähr gleich ist, wobei die
vorläufige Bestimmung der Wellenlänge in der Stufe der
Präzisierung der Wellenlänge unter Benutzung des Interfe
rometers mit der kleinsten Basis h 1 nach dem Interferenz
streifenabstand durchgeführt wird. Daraus ist ersichtlich,
daß die Vergrößerung der Zahl der Fizau-Interferometer
unter Beibehaltung der höchstzulässigen Meßgenauigkeit
eine beträchtliche Lockerung der Anforderung an den Grad
der Präzisierung der Wellenlänge in jeder Stufe der Be
rechnung herbeiführen kann. Dies hat seinerseits eine
Lockerung der Forderungen an die Genauigkeit der Analyse
der Interferenzbilder und eine Lockerung der Forderungen
an die Herstellungsgüte der optischen Elemente zur Folge.
Im Betrieb können sich Parameter der Interferometer, wie
die optische Länge in einem vorgegebenen Punkt der Keil
winkel α und der Einfallswinkel der Strahlung beim Auf
treffen auf das Interferometer u. a., mit der Zeit ändern,
was einen Meßfehler bei der Wellenlängenmessung und eine
Verringerung der Wahrscheinlichkeit dessen verursachen
wird, daß die Messung fehlerfrei vorgenommen ist (die
Fehlerfreiheit bedeutet, daß die Ordnungen der Interfe
renzmaxima bei sämtlichen Interferometern richtig ermit
telt sind). Um den Fehler der Messung geringer zu halten
und den Pegel ihrer Glaubwürdigkeit durch Berücksichtigung
der Änderungen der genannten Parameter der Interferometer
zu erhöhen, müssen bekannte Meßgeräte unter Zuhilfenahme
von Bezugslinien der Laserstrahlung häufiger nachgeeicht
werden.
Das erfindungsgemäße Meßgerät für Spektralcharakteristiken
einer Laserstrahlung, in dem sämtliche Interferometer in
Form eines kompakten einheitlichen Blocks ausgebildet
sind, gestattet es, eine gesteigerte Dauerstabilität der
Betriebsparameter zu sichern, was seinerseits es ermög
licht, eine längere Zeit ohne Neueichung des Geräts aus
zukommen.
Claims (2)
1. Meßgerät für Spektralcharakteristiken einer Laserstrah
lung, das im Strahlengang hintereinander angeordnet ent
hält:
- - ein formierendes Teleskop (2),
- - einen Lichtteiler (5) zur Trennung eines durch das Te leskop (2) formierten Strahlungsbündels (6) in eine Rei he von Einzelbündeln (7),
- - je ein im Strahlengang jedes Einzelbündels (7) angeord netes Fizau-Interferometer, deren verschiedene aneinan der angepaßte Basen unter der Bedingung gewählt sind, daß der Dispersionsbereich des Interferometers mit größerer Basis einem glaubwürdigen Intervall zur Bestim mung der Wellenlänge mit Hilfe des vorhergehenden Inter ferometers mit kleinerer Basis ungefähr gleich ist,
- - je ein Fotoempfänger (9) im Strahlengang jedes Einzel bündels (7) hinter dem entsprechenden Interferometer, und
- - eine Verarbeitungseinheit (10), deren Eingänge an die
Ausgänge der Fotoempfänger (9) angeschlossen sind,
dadurch gekennzeichnet,
daß sämtliche Fizau-Interferometer in Form eines einheit lichen Blocks (8) aus strahlungsdurchlässigem Werkstoff hergestellt sind, dessen Bauelemente mit Hilfe eines opti schen Kontaktes miteinander verbunden sind, wobei der Block (8) enthält:
zwei zueinander parallele und mit einem Abstand "a" mit einander verbundene Platten (16, 17), von denen eine Platte (16) als Grundplatte dient und die andere Platte (17) auf der inneren Oberfläche eine Spiegelschicht (18) trägt, die einen für alle Fizau-Interferometer gemeinsamen Spiegel bildet, und
je eine Keilplatte (20) verschiedener Dicke für jedes Fizau-Interferometer, deren eine optische Keilfläche eine Spiegelschicht (21) trägt und die auf der Grundplatte (16) derart angeordnet sind, daß die Rippen (22) der optischen Keile einander parallel, die Flächen mit der Spiegel schicht (21) dem gemeinsamen Spiegel zugekehrt sind und die Funktion der anderen Spiegel der Fizau-Interferometer erfüllen, wobei die mittleren Dicken der Keilplatten (20) unter der Bedingung der gegenseitigen Anpassung der Basen der Fizau-Interferometer gewählt sind.
2. Gerät nach Anspruch 1, dessen formierendes Teleskop Zy
linderspiegel besitzt,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Lichtteiler (5) reflektierende Drehspiegel (11) in
der Anzahl der Fizau-Interferometer enthält, die einander
parallel angeordnet sind, wobei jeder nachfolgende Spiegel
gegenüber dem vorhergehenden in Richtung senkrecht zur
Achse (12) des Bündels (6) um einen zur Anzahl der Fizau-
Interferometer umgekehrt proportionalen Teil des Durchmes
sers des Strahlungsbündels (6) versetzt ist, wodurch eine
Verteilung des Strahlungsbündels (6) über das Feld gewähr
leistet wird, wobei die durch die gegenseitige Verschie
bung der Drehspiegel (11) gebildeten wirksamen Kanten (13)
zu den Erzeugenden der Zylinderflächen der Spiegel (3, 4)
des Teleskops (2) und den Rippen (22) der optischen Keile
der Keilplatten (20) senkrecht ausgerichtet sind.
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