DE3730257A1 - Messgeraet fuer spektralcharakteristiken einer laserstrahlung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft Meßgeräte für Spektralcharakteri­ stiken einer Laserstrahlung der im Oberbegriff des Patent­ anspruchs 1 angegebenen Gattung, die bevorzugt zur automa­ tisierten Kontrolle der Emissionswellenlänge und -linien­ breite von Laserquellen mit Impuls- und Dauerstrahlung von automatisierten Industrie- und Forschungs- und Entwick­ lungs-Laserkomplexen sowie als selbständige Kontrollmeß­ instrumente eingesetzt werden.

Aus der US-A-41 73 442 ist ein Meßgerät für Spektralcha­ rakteristiken einer Laserstrahlung bekannt, das ein Fizau- Reflexionsinterferometer (optischer Keil) mit zwei ebenen Glasplatten, einen Kollimator, der eine ebene Wellenfront der zu messenden Strahlung mit einer Apertur formiert, ei­ nen linearen Fotoempfänger zur Registrierung einer räumli­ chen Intensitätsverteilung des vom Interferometer erzeug­ ten Interferenzfeldes sowie Systeme zur Verarbeitung einer vom Fotoempfänger kommenden optischen Information und zur computerunterstützten Berechnung der Emissionswellenlänge enthält. Die Messung der Emissionswellenlänge mit diesem Gerät erfolgt in zwei Etappen, und zwar nach der räumli­ chen Periode des Interferenzbildes und nach der Lage der Interferenzmaxima, die durch den Fotoempfänger registriert werden.

Dieses Gerät hat nur eine begrenzte Meßgenauigkeit wegen der Verwendung nur eines Interferometers und ist zur Be­ stimmung des Strahlungsspektrums wegen der zu geringen Auflösung des Zweistrahlinterferometers ungeeignet. Außer­ dem müssen sehr hohe Anforderungen an die Qualität der op­ tischen Elemente und des Fotoempfängers erfüllt werden, weil auch geringste Abweichungen in der Homogenität der auf das Interferometer einfallenden Wellenfront und Ver­ zerrungen im Kanal zur fotografischen Aufzeichnung sowie die Nichtlinearität des Interferometers selbst unbedingt vermieden werden müssen. Die verhältnismäßig hohe energe­ tische Empfindlichkeitsschwelle des Geräts ergibt sich aus einem kleinen Reflexionskoeffizienten der als Spiegel im Fizau-Interferometer eingesetzten unbedampften Glasplatten sowie durch die notwendige sorgfältige räumliche Filterung der Eingangsstrahlung zur Erzeugung der Eingangsfront.

Im Artikel Appl. Physics, 25, 1981, N. Konishi et. al. "High precision wavelength meter with Fabry-Perot optic" ist ein Meßgerät für Spektralanalysen einer Laserstrahlung beschrieben, das - im Strahlengang hintereinander angeord­ net - ein formierendes Teleskop, einen Lichtteiler zur Trennung eines durch das Teleskop formierten Strahlungs­ bündels in eine Reihe von Einzelbündeln, je ein Inter­ ferometer (beispielsweise Fizau-Interferometern) für jedes Strahlungsbündel enthält. Die verschiedenen Basen dieser Interferometer sind so aufeinander abgestimmt, daß der Dispersionsbereich des Interferometers mit größerer Basis einem glaubwürdigen Intervall zur Bestimmung der Wellen­ länge mit Hilfe des vorhergehenden Interferometers mit kleinerer Basis ungefähr gleich ist. Jedem Interferometer ist ein Fotoempfänger im Strahlengang nachgeordnet, die an eine Informationsverarbeitungseinheit angeschlossen sind. Die Messung erfolgt durch eine Analyse der von dem Foto­ empfänger aufgezeichneten Interferenzbilder. Bei diesem Gerät sind die vier Interferometer unabhängig voneinander ausgeführt und durch ein eigenes Befestigungs- und Ju­ stiersystem gehaltert, was die Abmessungen des Geräts we­ sentlich vergrößert und dessen Verstimmung im Betrieb und damit die Meßgenauigkeit und -stabilität verringert. Unter der Meßstabilität wird die Wahrscheinlichkeit der Fehler­ freiheit im Algorithmus zur Berechnung der Emissionswel­ lenlänge durch schrittweise Präzisierung unter Benutzung einer Information von Interferometern mit zunehmenden Ba­ sen verstanden. Die notwendige Evakuierung der Interfero­ meter und ihre Wärmestabilisierung (und nach Möglichkeit auch der gesamten optischen Einheit des Geräts) bereiten bei diesem Gerät erhebliche Schwierigkeiten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Meßgerät für Spektralcharakteristiken einer Laserstrahlung zu schaffen, bei dem eine gegenseitige Verstimmung der Interferometer im Betrieb vermieden wird, was die Meßgenauigkeit und -stabilität erhöht, die Abmessungen des Geräts verkleinert und die Evakuierung und Wärmestabilisierung der Interfero­ meter erleichtert.

Diese Aufgabe wird bei dem Meßgerät für Spektralcharakte­ ristiken einer Laserstrahlung, das - im Strahlengang hin­ tereinander angeordnet - ein formierendes Teleskop, einen Lichtteiler zur Trennung eines durch das Teleskop formier­ ten Strahlungsbündels in eine Reihe von Einzelbündeln, eine Reihe von Fizau-Interferometern nach der Anzahl der einzelnen Strahlungsbündel, die je im Lichtstromweg des entsprechenden Einzelbündels angeordnet sind und verschie­ dene Basen aufweisen, die aneinander angepaßt unter der Bedingung gewählt sind, daß der Dispersionsbereich des Interferometers mit größerer Basis einem glaubwürdigen Intervall zur Bestimmung der Wellenlänge mit Hilfe des vorhergehenden Interferometers mit kleinerer Basis unge­ fähr gleich ist, eine Reihe von Fotoempfängern nach der Anzahl der Fizau-Interferometer, die je im Strahlengang hinter dem entsprechenden Interferometer angeordnet sind, und eine Informationsverarbeitungseinheit, deren Eingänge an die Ausgänge der Fotoempfänger angeschlossen sind, ent­ hält, gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß sämtliche Fizau-Interferometer in Form eines einheitlichen Blocks aus strahlungsdurchlässigem Werkstoff hergestellt sind, dessen Bauelemente mit Hilfe eines optischen Kontaktes miteinander verbunden sind und der zwei zueinander paral­ lel angeordnete Platten, die auf Abstand miteinander ver­ bunden sind und von denen eine als Grundplatte des Blocks dient, wobei die innere Oberfläche der zweiten Platte eine Spiegelschicht trägt, die die Funktion eines für alle Fizau-Interferometer gemeinsamen Spiegels übernimmt. Keil­ platten verschiedener Dicke in der Anzahl der Fizau-Inter­ ferometer weisen an je einer ihrer einen optischen Keil bildenden Flächen eine Spiegelschicht auf und sind auf der Grundplatte des Blocks angeordnet. Die Rippen der opti­ schen Keile der Keilplatten sind zueinander parallel und die Flächen mit der Spiegelschicht sind dem gemeinsamen Spiegel zugekehrt, so daß sie die Funktion der anderen Spiegel der Fizau-Interferometer erfüllen, wobei die mitt­ leren Dicken der Keilplatten unter der Bedingung der ge­ genseitigen Anpassung der Basen der Fizau-Interferometer gewählt sind.

Es ist zweckmäßig, in einem Gerät mit Zylinderspiegeln im formierenden Teleskop den Lichtteiler mit reflektierenden Drehspiegeln in der Anzahl der Fizau-Interferometer auszu­ führen, die einander parallel angeordnet sind. Jeder nach­ folgende Spiegel ist gegenüber dem vorhergehenden Spiegel in Richtung senkrecht zur Achse des Bündels um einen zur Anzahl der Fizau-Interferometer umgekehrt proportionalen Teil des Durchmessers des Strahlungsbündels versetzt, wo­ durch eine Verteilung des Strahlungsbündels über das Feld gewährleistet wird, wobei die infolge der gegenseitigen Verschiebung der Drehspiegel gebildeten wirksamen Kanten zu den Erzeugenden der Zylinderflächen der Spiegel des Teleskops und den Rippen der optischen Keile der Keil­ platten senkrecht stehen.

Das erfindungsgemäße Meßgerät für Spektralanalysen einer Laserstrahlung gestattet es durch die Ausbildung der opti­ schen Einheit der Fizau-Interferometer als kompakter ein­ heitlicher Block mit einer gemeinsamen Basis - Grund­ platte -, einem gemeinsamen Spiegel, die Dauerstabilität von Betriebsparametern der Interferometer, wie die opti­ sche Länge in einem vorgegebenen Punkt, die Winkel der op­ tischen Keile und die Einfallswinkel der Strahlung beim Auftreffen auf das Interferometer zu erhöhen und damit einen Dauerfehler bei der Messung der Emissionswellenlänge geringer zu halten und die Betriebsstabilität des Geräts zu steigern oder mit anderen Worten die Wahrscheinlichkeit der fehlerfreien Wellenlängenmessung bei Benutzung des Al­ gorithmus zur Berechnung durch schrittweise Präzisierung der Wellenlänge unter Auswertung der Information von den Fizau-Interferometern mit den zunehmenden Basen zu er­ höhen. Die Anwendung des Lichtteilers mit Verteilung des Strahlungsbündels über das Feld in der Ausführungsform des Geräts mit dem Zylinderteleskop bietet die Möglichkeit, die Empfindlichkeitsschwelle des Meßgeräts nach der Lei­ stung der Dauerstrahlung oder nach der Energie der Impuls­ strahlung wesentlich zu erhöhen.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von konkreten Aus­ führungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 schematisch ein Meßgerät für Spektral­ charakteristiken,

Fig. 2 eine Ansicht des Blocks in Pfeil­ richtung A in Fig. 1,

Fig. 3 einen Schnitt III-III in Fig. 1.

Das dargestellte Meßgerät für Spektralcharakteristiken einer Laserstrahlung enthält - im Strahlengang hinterein­ ander angeordnet - eine Eintrittsblende 1, ein formieren­ des Teleskop 2 mit Zylinderspiegeln 3, 4, einen Lichttei­ ler 5 zur Trennung eines durch das Teleskop 2 geformten Strahlenbündels 6 in eine Reihe von Einzelbündeln 7 klei­ neren Querschnitts, eine Reihe von Fizau-Interferometern in der Anzahl der einzelnen Strahlenbündel 7, im Strahlen­ gang jedes Bündels 7, die in Form eines einheitlichen Blocks 8 ausgeführt sind, eine Reihe von Fotoempfängern 9 in der Anzahl der Interferometer, die jeweils hinter dem entsprechenden Interferometer angeordnet sind, und eine Informationsverarbeitungseinheit 10, deren Eingänge an die Ausgänge der Fotoempfänger 9 angeschlossen sind.

Im beschriebenen Ausführungsbeispiel umfaßt die Reihe vier Bauelemente, beispielsweise vier Fotoempfänger 9, vier Fizau-Interferometer usw.

Die Zylinderspiegel 3 und 4 (Fig. 1, 3) erfüllen die Funktion eines Objektivs und eines Kollimators des Teleskops 2.

Der Lichtteiler 5 umfaßt vier totalreflektierende Dreh­ spiegel 11, die parallel zueinander und unter einem Winkel von 45 zur optischen Achse 12 angeordnet sind, die als durch die Mitte der Apertur der Blende 1 gehende Linie de­ finiert wird, und gekoppelte (zusammenfallende) Brennpunk­ te der Zylinderspiegel 3, 4 perpendikular zu den Erzeugen­ den dieser Spiegel. Die wirksamen Kanten 13 der Spiegel 11 der Breite "k" sind durch Rippen 14 begrenzt, wobei die Spiegel 11 in der Weise angeordnet sind, daß ihre Rippen 14 senkrecht zu den Erzeugenden der Zylinderspiegel 3, 4 stehen und jeder nachfolgende Spiegel bezüglich des vor­ hergehenden in Richtung perpendikular zur Achse 12 des Bündels 6 im Strahlengang um einen zur Anzahl der Licht­ teilerspiegel - hier D/4 - umgekehrt proportionalen Teil des Durchmessers D eines Eingangsbündels 15 versetzt ist, wodurch das Strahlungsbündel 6 hinter dem Teleskop 2 über das Feld verteilt wird.

Der einheitliche Block 8 (Fig. 1, 2) der Fizau-Interfero­ meter besteht aus zwei parallelen optisch ebenen Platten 16, 17, von denen die erste die Funktion der Grundplatte des Blocks 8 übernimmt und die zweite als gemeinsamer Spiegel der Interferometer wirkt, weshalb auf den Zentral­ teil der Innenfläche der Platte 17 eine teildurchlässige Spiegelschicht 18 aufgetragen ist. Die Platten 16 und 17 sind in einem Abstand "a" mit Hilfe von Gestellen 19 ange­ ordnet, während die einander zugekehrten Oberflächen der Platten 16 und 17 streng parallel sind. Auf der Grundplat­ te 16 sind vier Keilplatten 20 mit zwei optisch flachen Seiten in verschiedenen mittleren Abständen a ₁, a ₂, a ₃, a ₄ (siehe Fig. 2) angeordnet. Die eine Seite jeder Platte 20 dient zur Befestigung auf der Grundplatte 16 während die der Spiegelschicht 18 zugewandte Seite eine teildurchläs­ sige Spiegelschicht 21 trägt, die mit der Spiegelschicht 18 ein Interferometer vom Typ des optischen Keils (Fizau- Interferometer) bildet. Hierbei müssen die Rippen 22 der Keile der Fizau-Interferometer, die vereinbarte Schnitt­ linien der Ebenen der Spiegelschichten 18 und 21 darstel­ len, einander ungefähr parallel sein. Die Abmessungen der Gestelle 19 und die mittleren Abstände a ₁, a ₂, ... der Keilplatten 20 werden unter der Bedingung der gegensei­ tigen Anpassung der mittleren Basen h ₁, h ₂, h ₃, h ₄ der Fizau- Interferometer gewählt.

Die Gestelle 19 und Keilplatten 20 sind mit den Platten 16 und 17 über einen tiefen optischen Kontakt verbunden. Sämtliche Teile des Blocks 8 sind aus einem strahlungs­ durchlässigen Werkstoff - Schmelzquarz - hergestellt.

Der Block 8 ist gegenüber dem Lichtteiler 5 derart be­ festigt, daß die optische Achse 12 des Strahlenbündels 6 nach dessen Reflexion von den Drehspiegeln 11 auf der Ebene der Spiegelfläche 18 und die Rippen 22 der Keile der einzelnen Interferometer auf den Rippen 14 der Drehspiegel 11 senkrecht stehen.

Die vier Fotoempfänger 9 in der Anzahl der Fizau-Inter­ ferometer sind lineare PZS-Silizium-Fotoempfänger. Zur Er­ höhung des Effekts der fotografischen Registrierung sind vor den Fotoempfängern 9 Zylinder-Fokussierlinsen 23 ange­ ordnet, die bei Verwendung der Fotoempfänger mit einem ausreichend großen Empfindlichkeitsbereich ausbleiben können.

Um den Einfluß der Dispersion des Brechungsindexes, den des Drucks und der Zusammensetzung eines Gasmediums, in dem sich das Gerät befindet, auf die Meßgenauigkeit auszu­ schließen, ist der Block 8 in einer hermetisch abgedichte­ ten Kammer 24 angeordnet, die evakuiert werden kann. Die Strahlung gelangt in die Kammer 24 durch ein Fenster 25. Um die Temperatureinwirkung auf die Meßgenauigkeit und -stabilität zu eliminieren, kann die Kammer 24 wärmestabi­ lisiert werden. Die andere Variante der Elimination des Temperatureinflusses sind Wärmeisolierung der Kammer 24, Temperaturmessung beim Block 8 und Einführung einer Tempe­ raturkorrektion für die Meßergebnisse bei der Ermittlung der Emissionswellenlänge.

Der Vergrößerungsfaktor des Teleskops 2, die Abmessung "1" der Spiegel 11 längs der Rippe 14 und die "1" gleiche Län­ ge der Keilplatten 20 werden unter der Bedingung der An­ passung der Abmessungen der Interferenzbilder in Richtung der Dispersion der Keilinterferometer an die Länge des Lichtempfindlichkeitsbereichs der Fotoempfänger 9 gewählt. Die Keilwinkel α der Interferometer werden unter den Bedingungen der Registrierung einer Sollzahl von Interferenzstreifen gewählt.

Die Einheit 10 zur Verarbeitung der optischen Information umfaßt mehrere Kanäle in der Anzahl der Fotoempfänger 9. Jeder Kanal enthält ein Steuerwerk 26, das die Funktionen der Steuerung des PZS-Fotoempfängers 9, der Videosignal­ erzeugung, Analog-Digital-Umwandlung und der Vorbearbei­ tung eines Interferogramms im Echtzeitbetrieb mit Hilfe eines eingebauten Mikroprozessors erfüllt. Die Einheit 10 umfaßt auch einen eingebauten Zentralprozessor 27, der mit den Steuerwerken 26 verbunden ist und eine Steuertastatur sowie eine Anzeigeeinheit 28 aufweist. Dieser Aufbau der Einheit 10 zur Verarbeitung der optischen Information er­ möglicht eine maximale Arbeitsgeschwindigkeit des Geräts.

Die Arbeitsweise des dargestellten Meßgeräts für Spektral­ charakteristiken einer Laserstrahlung besteht in folgen­ dem.

Der Eingangsstrom der zu untersuchenden Strahlung trifft nach Passieren der Eintrittsblende 1 und des Zylindertele­ skops 2 auf den Lichtteiler 5, wo er in vier Lichtbündel 7 nach der Anzahl der verwendeten Fizau-Interferometer ge­ trennt wird. Die Verteilung des Bündels 6 über das Feld in dem erfindungsgemäßen Gerät ermöglicht eine hohe energeti­ sche Empfindlichkeit durch eine optimale Anpassung der räumlichen Form des Bündels 7 an die Größe des Foto­ empfindlichkeitsbereichs des Fotoempfängers 9.

Die Anwendung des Zylinderteleskops 2, der Zylinder-Fokus­ sierungslinsen 23 vor den linearen Fotoempfängern 9 sowie des Lichtteilers 5 zur Verteilung des Strahlungsbündels 6 über das Feld erlaubt es, die Empfindlichkeitsschwelle des Meßgerätes je nach der Leistung der Dauerstrahlung oder nach der Energie der Impulsstrahlung beträchtlich zu sen­ ken.

Die ebene Strahlungsfront in Form eines schmalen Streifens (Bündel 7), der in Richtung der Dispersion der Fizau- Interferometer erweitert ist, fällt auf die Platte 17 nor­ mal zur gemeinsamen Spiegelschicht 18 auf und formiert hinter der Platte 17 ein Interferenzbild in Form schmaler Streifen gleicher Dicke, die durch die linearen Foto­ empfänger 9 registriert werden. Die Signale von den Foto­ empfängern 9 enthalten Informationen über das räumliche Interferenzbild der zu analysierenden Strahlung. Diese Informationen werden im Steuerwerk 26 verarbeitet, um die Lage der Interferenzstreifen und deren Breite zu bestim­ men, nach der der Prozessor 27 die Wellenlänge der Laser­ strahlung mit der Informationsanzeige durch die Einheit 28 errechnet.

Die Algorithmen zur Bestimmung der Spektralcharakteristi­ ken der Strahlung verwerten die Ergebnisse einer Eichung der Fizeau-Interferometer, die in der Feststellung der Parameter, ausgehend von einer Analyse von Interferenz­ bildern einer Strahlung mit den bekannten Spektralcharak­ teristiken (Bezugslinien), besteht.

Die Genauigkeit der Messung der Wellenlänge der Laser­ strahlung durch das erfindungsgemäße Gerät wird im wesent­ lichen durch die Abmessung h ₄ der Basis des letzten Inter­ ferometers (mit der größten Basis) bestimmt. Die Basen h ₁, h ₂, h ₃ der anderen Fizau-Interferometer werden unter der Bedingung gewählt, daß der Dispersionsbereich des Inter­ ferometers mit größerer Basis einem glaubwürdigen Inter­ vall zur Bestimmung der Wellenlänge mit Hilfe des vorher­ gehenden Interferometers mit kleinerer Basis (nach einem Sollpegel der Gültigkeit (ungefähr gleich ist, wobei die vorläufige Bestimmung der Wellenlänge in der Stufe der Präzisierung der Wellenlänge unter Benutzung des Interfe­ rometers mit der kleinsten Basis h ₁ nach dem Interferenz­ streifenabstand durchgeführt wird. Daraus ist ersichtlich, daß die Vergrößerung der Zahl der Fizau-Interferometer unter Beibehaltung der höchstzulässigen Meßgenauigkeit eine beträchtliche Lockerung der Anforderung an den Grad der Präzisierung der Wellenlänge in jeder Stufe der Be­ rechnung herbeiführen kann. Dies hat seinerseits eine Lockerung der Forderungen an die Genauigkeit der Analyse der Interferenzbilder und eine Lockerung der Forderungen an die Herstellungsgüte der optischen Elemente zur Folge.

Im Betrieb können sich Parameter der Interferometer, wie die optische Länge in einem vorgegebenen Punkt der Keil­ winkel α und der Einfallswinkel der Strahlung beim Auf­ treffen auf das Interferometer u. a., mit der Zeit ändern, was einen Meßfehler bei der Wellenlängenmessung und eine Verringerung der Wahrscheinlichkeit dessen verursachen wird, daß die Messung fehlerfrei vorgenommen ist (die Fehlerfreiheit bedeutet, daß die Ordnungen der Interfe­ renzmaxima bei sämtlichen Interferometern richtig ermit­ telt sind). Um den Fehler der Messung geringer zu halten und den Pegel ihrer Glaubwürdigkeit durch Berücksichtigung der Änderungen der genannten Parameter der Interferometer zu erhöhen, müssen bekannte Meßgeräte unter Zuhilfenahme von Bezugslinien der Laserstrahlung häufiger nachgeeicht werden.

Das erfindungsgemäße Meßgerät für Spektralcharakteristiken einer Laserstrahlung, in dem sämtliche Interferometer in Form eines kompakten einheitlichen Blocks ausgebildet sind, gestattet es, eine gesteigerte Dauerstabilität der Betriebsparameter zu sichern, was seinerseits es ermög­ licht, eine längere Zeit ohne Neueichung des Geräts aus­ zukommen.

Claims (2)

1. Meßgerät für Spektralcharakteristiken einer Laserstrah­ lung, das im Strahlengang hintereinander angeordnet ent­ hält:

• - ein formierendes Teleskop (2),
• - einen Lichtteiler (5) zur Trennung eines durch das Te­ leskop (2) formierten Strahlungsbündels (6) in eine Rei­ he von Einzelbündeln (7),
• - je ein im Strahlengang jedes Einzelbündels (7) angeord­ netes Fizau-Interferometer, deren verschiedene aneinan­ der angepaßte Basen unter der Bedingung gewählt sind, daß der Dispersionsbereich des Interferometers mit größerer Basis einem glaubwürdigen Intervall zur Bestim­ mung der Wellenlänge mit Hilfe des vorhergehenden Inter­ ferometers mit kleinerer Basis ungefähr gleich ist,
• - je ein Fotoempfänger (9) im Strahlengang jedes Einzel­ bündels (7) hinter dem entsprechenden Interferometer, und
• - eine Verarbeitungseinheit (10), deren Eingänge an die Ausgänge der Fotoempfänger (9) angeschlossen sind, dadurch gekennzeichnet,
  daß sämtliche Fizau-Interferometer in Form eines einheit­ lichen Blocks (8) aus strahlungsdurchlässigem Werkstoff hergestellt sind, dessen Bauelemente mit Hilfe eines opti­ schen Kontaktes miteinander verbunden sind, wobei der Block (8) enthält:
  zwei zueinander parallele und mit einem Abstand "a" mit­ einander verbundene Platten (16, 17), von denen eine Platte (16) als Grundplatte dient und die andere Platte (17) auf der inneren Oberfläche eine Spiegelschicht (18) trägt, die einen für alle Fizau-Interferometer gemeinsamen Spiegel bildet, und
  je eine Keilplatte (20) verschiedener Dicke für jedes Fizau-Interferometer, deren eine optische Keilfläche eine Spiegelschicht (21) trägt und die auf der Grundplatte (16) derart angeordnet sind, daß die Rippen (22) der optischen Keile einander parallel, die Flächen mit der Spiegel­ schicht (21) dem gemeinsamen Spiegel zugekehrt sind und die Funktion der anderen Spiegel der Fizau-Interferometer erfüllen, wobei die mittleren Dicken der Keilplatten (20) unter der Bedingung der gegenseitigen Anpassung der Basen der Fizau-Interferometer gewählt sind.

2. Gerät nach Anspruch 1, dessen formierendes Teleskop Zy­ linderspiegel besitzt, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtteiler (5) reflektierende Drehspiegel (11) in der Anzahl der Fizau-Interferometer enthält, die einander parallel angeordnet sind, wobei jeder nachfolgende Spiegel gegenüber dem vorhergehenden in Richtung senkrecht zur Achse (12) des Bündels (6) um einen zur Anzahl der Fizau- Interferometer umgekehrt proportionalen Teil des Durchmes­ sers des Strahlungsbündels (6) versetzt ist, wodurch eine Verteilung des Strahlungsbündels (6) über das Feld gewähr­ leistet wird, wobei die durch die gegenseitige Verschie­ bung der Drehspiegel (11) gebildeten wirksamen Kanten (13) zu den Erzeugenden der Zylinderflächen der Spiegel (3, 4) des Teleskops (2) und den Rippen (22) der optischen Keile der Keilplatten (20) senkrecht ausgerichtet sind.