DE3720142A1 - Holographische messeinrichtung - Google Patents
Holographische messeinrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine holographische Meßeinrichtung gemäß
dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Die holographische Meßtechnik wird bisher allgemein in Hologra
phielabors mit einem schwingungsisolierten Tisch durchgeführt, an
dem ein Laser starr montiert ist, wobei bei der Pulsholographie
auf die Schwingungsisolierung des Tisches verzichtet werden kann.
Die optischen Komponenten und das Meßobjekt sind auf dem Tisch
angeordnet. Ungünstig ist dabei, daß das Gewicht und das Volumen
des Lasers selbst und das der Versorgungs- und Steuereinrichtun
gen die Mobilität bisher bekannter holographischer Meßeinrichtun
gen erheblich einschränkt. Bisher ist praktisch wegen der starren
Verbindung der zur holographischen Meßtechnik erforderlichen
voluminösen und schweren Einrichtungen keine Mobilität gegeben,
so daß stets das Meßobjekt in das Holographielabor zur Durchfüh
rung der Messung gebracht werden muß.
Zur Durchführung der holographischen Meßtechnik, insbesondere von
holographischer Interferometrie, besteht demgemäß ein Bedürfnis,
die qualitativen Vorzüge derartiger Meßverfahren unabhängig von
Holographielabors, insbesondere an industriellen Meßplätzen mit
einfacher und problemloser Handhabung zuverlässig ausnutzen zu
können.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine holographische
Meßeinrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die bei
einfacher Handhabung unabhängig von Holographielabors verwendet
werden kann.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die im Patentanspruch 1
gekennzeichneten Merkmale gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen der
Erfindung sind in den nachgeordneten Patentansprüchen genannt.
Durch die Erfindung wird in günstiger Weise ein Holographiemeß
kopf geschaffen, der nicht wie bisher starr mit einem Laser und
holographischen Aufarbeitungseinrichtungen verbunden ist, sondern
von diesen körperlich unabhängig als modulare, mobile Einheit
ausgebildet ist. Der Holographiemeßkopf ist lediglich über
flexible optische Wellenleiter mit einer Einheit verbunden, die
einen Laser und holographische Aufarbeitungseinrichtungen
aufweist.
Der erfindungsgemäße Holographiemeßkopf eröffnet völlig neue
Anwendungsmöglichkeiten für die holographische Meßtechnik,
insbesondere für die Durchführung von holographischer Interfero
metrie, besonders im industriellen Bereich. Es wird nun möglich,
berührungslose Meßverfahren mit höchster Genauigkeit unmittelbar
am Meßobjektort durchzuführen, insbesondere die Messung von
Meßobjektverformungen im Mikrometerbereich, ohne daß die am
Meßobjektort herrschenden Bedingungen die empfindliche holo
graphische Strahlaufbereitung beeinträchtigen.
Zur Gewährleistung der Meßgenauigkeit im Bereich des Holographie
meßkopfes trägt vorteilhaft die vorgesehene formsteife Halte
platte bei, auf der die Hologrammplatte und Optiken aufweisende
Auskopplungshalter für optische Wellenleiter befestigt sind,
wobei in günstiger Weise die Orientierung jedes Referenzstrahls
auf die Hologrammplatte nach einmaliger Justierung festgelegt
ist.
Aufgrund der erfindungsgemäßen Konzeption lassen sich die
erforderlichen Komponenten für den Meßkopf klein ausbilden und
sind in der Handhabung einfach.
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird das
Hologramm auf photothermischer Grundlage unter Verwendung
einer Thermoplastplatte hergestellt. Dies hat den Vorteil, daß
die Holographie vor Ort sofort verarbeitet werden kann. Dabei
sieht die Erfindung nach einer bevorzugten Weiterbildung statio
näre Korona-Entladungseinrichtungen vor, die um die Hologramm
fläche herum angeordnet sind. Diese Korona-Entladungs-Einrichtun
gen können beispielsweise aus einem Kranz von metallischen
Nadeln, die um die holographische Platte herum angeordnet sind,
oder aus vor der holographischen Platte aufgespannten dünnen
Drähten bestehen. Eine bevorzugte Ausführungsform der holo
graphischen Platte besteht aus einer wiederbenutzbaren löschbaren
Thermoplastschicht. Die Verwendung einer stationären Korona-
Entladungseinrichtung hat gegenüber thermoplastischen Einrichtun
gen herkömmlicher Bauart, bei denen die Sensibilisierung durch
Aufsprühen von elektrischen Ladungen aus einer vor der hologra
phischen Platte bewegten Korona-Entladungseinrichtung erreicht
wird, den Vorteil, daß keine bewegten Teile nötig sind.
Für das Photothermoplast-Filmmaterial der Hologrammplatte ist es
charakteristisch, daß es für einen ganz bestimmten Winkel
zwischen Referenzstrahl und Objektstrahl ein Wirkungsgradoptimum
gibt. Dieses Optimum ist abhängig von der Dicke der Thermoplast
schicht und der verwendeten Wellenlänge. Übliche Photothermo
plast-Hologramm-Materialien und verwendete Lichtwellenlängen
haben ein Optimum zwischen 24 und 27 Winkelgraden zwischen
Referenzstrahl und Objektstrahl. Legt man den Objektstrahl
orthogonal in die Mitte der Hologrammplatte, so ist der geome
trische Ort für Referenzstrahlen für das Wirkungsgrad-Optimum ein
Kegel mit einem Kegelwinkel von ca. 2×25°=50°. Jeder Re
ferenzstrahl, der auf Mantellinien dieses Kegels angeordnet ist,
genügt der Bedingung des optimalen Wirkungsgrades.
Der mobile Holographiemeßkopf eignet sich für die Durchführung
von holographischen Messungen, welche nur mit einem Referenz
strahl auskommen. Dabei wird der unverformte Zustand eines
Meßobjekts in der holographischen Platte gespeichert. Dieser
Zustand wird rekonstruiert und das Rekonstruktionsbild dem
tatsächlichen überlagert (klassisches Real-Time-Verfahren). Wenn
jetzt das tatsächliche Objekt verformt wird, entsteht sozusagen
in vivo ein diese Verformung anzeigendes Interferenzmuster. Ein
solchermaßen hergestelltes Interferenzmuster kann mit einem
sogenannten Phasen-Shift-Verfahren verarbeitet werden, wobei die
Phase in dem einzigen Referenzstrahl, mit dem das gespeicherte
unverformte Bild rekonstruiert wird, geschoben werden kann. Das
tatsächlich vorhandene Objekt hat im Augenblick der Betrachtung
dann eine invariante Phase.
Der mobile Holographiemeßkopf eignet sich auch hervorragend zur
Durchführung von holographischer Interferometrie. Zur Auswertung
von Hologramm-Interferogrammen ist das sogenannte Phasen-Shift-
Verfahren bekannt, vergl. R. Dändliker, R. Thalmann, Hetero-dyne
und Quasi-Heterodyne Holographic Interferometry, Optical En
gineering, September/Oktober 1985, Vol. 24, Nr. 5 S. 824-831.
Bei diesem Zwei-Referenzstrahl-Verfahren werden mit zwei Re
ferenzstrahlen zu zwei Zeitpunkten zwei Objektzustände auf einer
Hologammplatte aufgenommen, wobei sich bei der Rekonstruktion die
beiden Bilder der Objektzustände kohärent zu einem Interferogramm
überlagern. Übliche Ausführungsformen dieses Auswerteverfahrens
arbeiten in der Weise, daß die beiden Referenzstrahlen nach Art
eines Michelsen-Interferometers erzeugt werden. Diese Verfahrens
weise hat jedoch den Nachteil, daß bei der Auswertungsprozedur
ein 50%iger Rauschanteil auftritt, der die Auswertung zum Teil
erheblich erschwert. Dieser hohe Rauschanteil rührt von sich
überlagernden Bildern her, d.h. von dem von einen Referenzstrahl
rekonstruierten Bildern des anderen Referenzstrahls, welche von
den die Meßinterferenz erzeugenden Bildern überlagert werden.
Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausbildung des Holographiemeßkopfs
werden störende Bilder von den Meß-Interferenzbildern total
abgetrennt. Dies geschieht in der Weise, daß die beiden Referenz
strahlen mit dem Objektstrahl einen Raumwinkel von 90° bilden,
wodurch jede Überlagerung der Meßinterferenzen durch störende
Bilder vorteilhaft ausgeschlossen ist.
Bei dem obigen Holographiemeßkopf werden somit in günstiger Weise
durch den gewählten Kegelmantelwinkel ein optimaler Wirkungsgrad
für die Thermoplastschicht der Hologrammplatte und eine optimale
Auswertegenauigkeit durch nicht Überlagerung störender Bilder
aufgrund des beanspruchten sphärischen Winkels von etwa 90°
zwischen den beiden Referenzstrahlen erreicht. Der erfindungs
gemäße Holographiemeßkopf vereinigt somit die Vorzüge einer
kompakten Ausbildung mit denen einer hohen Meß- und Auswertege
nauigkeit.
Der Auskopplungshalter für den Objektbeleuchtungsstrahl, der den
Objektbeleuchtungsstrahl auf das Meßobjekt richtet, ist nach
einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung schwenkbar, um eine
gute Ausleuchtung des zu beobachtenden Meßbereichs zu ermögli
chen. Die Ausleuchtung kann weiterhin in vorteilhafter Weise
durch vorsetzbare Linsen noch optimiert werden.
Nach einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist der
Holographiemeßkopf hinter der Hologrammplatte eine auf der
Halteplatte befestigte Video-Kamera mit Objektiv auf. Hierdurch
lassen sich Rekonstruktionen unmittelbar für die Beobachtung auf
einem Bildschirm und/oder für eine On-Line-Auswertung und/oder zu
einer Magnetbandspeicherung erfassen. Die Video-Kamera besteht
beispielsweise aus einer CCD-Kamera und ist starr auf der
Halteplatte befestigt. Sie bildet vorteilhaft mit den übrigen auf
der Platte befestigten Teilen eine mobile Einheit.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung sind
dem anschließenden Beschreibungsteil zu entnehmen, in dem ein
Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die
beigefügten Zeichnungen näher erläutert wird. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht eines Holographiemeß
kopfes ;
Fig. 2 eine Draufsicht auf den in Fig. 1 gezeigten Hologra
phiemeßkopf ; und
Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Kegels, auf dessen
Mantel die beiden Referenzstrahlen angeordnet sind und
dessen Spitze im Bereich der Hologrammplatte liegt.
In den Fig. 1 und 2 ist eine holographische Meßeinrichtung zur
Verwendung bei der Durchführung von holographischer Interferome
trie dargestellt. Die holographische Meßeinrichtung besteht aus
einem mobilen Holographiemeßkopf 10, der eine formsteife Halte
platte 11 aufweist. Auf der Halteplatte 11 sind eine Video- bzw.
CCD-Kamera 12 mit zugeordneter Elektronik 13 über einer Zwischen
platte 14 starr befestigt. Die Elektronik 13 dient zur Erzeugung
der Hochspannung für die Sensibilisierung der Photothermoplast-
Platte. Die schematisch dargestellte CCD-Kamera 12 ist mit einem
Zoom-Objektiv 15 versehen, das auf eine Hologrammplatte 16
gerichtet ist.
Die Hologrammplatte 16 besteht aus einer Thermoplastplatte, die
in einer Plattenaufnahme 17 auswechselbar und justierbar montiert
ist. Die Plattenaufnahme 17 besteht aus einem U-Profil, welches
senkrecht auf der Halteplatte 11 befestigt ist, siehe Fig. 2.
Einzelheiten des Aufbaues der Plattenaufnahme 17 sind in Fig. 2
im Schnitt dargestellt. Die Hologrammplatte 16 in eine Aufnahme
22 eingesetzt, welche von einer Montageplatte 23 gegen eine
Anlageschulter 24 der Plattenaufnahme 17 gehalten wird. Vor der
holographischen Platte 16 ist eine Fassung mittels einer Montage
platte 28 befestigt, wobei in die Fassung 27 ein Nadelkranz für
das gleichmäßige Überbringen der Hochspannung für die gleich
mäßige Sensibilisierung der Thermoplastplatte mit nicht darge
stellter elektrischer Leitung angeordnet ist. In der Platte 30
befinden sich eine nicht dargestellte Lampe zum Löschen der
Thermoplastplatte sowie nicht dargestellte Sensoren zur Regelung
der optischen Hologrammwerte.
Auf der Zwischenplatte 21 sind ferner ein Auskopplungshalter 31
für eine Mono- oder Multimode-Glasfaser 32 und zwei Auskopplungs
halter 33 und 34 mit abgewinkelten Befestigungsabschnitten starr
montiert. Der Auskopplungshalter 31 weist eine Optik 35 auf, die
in dem gabelförmig ausgebildeten Auskopplungshalter 31 um eine
Achse 36 schwenkbar ist, welche parallel zu der Halteplatte 11
und zu der Hologrammplatte 16 verläuft. Der Schwenkbereich der
Optik 35 beträgt etwa 15°. Über die Optik 35 wird ein Objektbe
leuchtungsstrahl 37 aus der Mono- bzw. Multimode-Glasfaser 32
ausgekoppelt, der von der Hologrammplatte 16 abgewandt auf ein
Meßobjekt gerichtet ist und durch nicht dargestellte vorsetzbare
Linsen eine optimale Ausleuchtung des Meßbereichs ermöglicht.
Der Auskopplungshalter 33 weist eine Optik 39 für die Auskopplung
eines ersten Referenzstrahls 40 aus einer Monomode-Glasfaser 41
auf.
Der Auskopplungshalter 34 besitzt eine Optik 42 zur Auskopplung
eines zweiten Referenzstrahls 43 aus einer Monomode-Glasfaser 44.
Der erste Referenzstrahl 40, der zweite Referenzstrahl 43 und der
Objektbeleuchtungsstrahl 37 bestehen aus kohärentem Licht, das
von einem Laser stammt und vor Einleitung in die verschiedenen
Glasfasern holographische Strahlaufbereitungseinrichtungen zur
Abspaltung der beiden Referenzstrahlen von dem Objektbeleuch
tungstrahl durchläuft.
Der erste Referenzstrahl 40 und der zweite Referenzstrahl 43 sind
schräg nach oben auf die Hologrammplatte 16 gerichtet. In Fig. 3
ist die besondere räumliche Orientierung der beiden Referenz
strahlen 40 bzw. 43 näher erläutert. Fig. 3 zeigt einen Kegel 46
mit einer Grundfläche 47, einem Mantel 48 und einer Spitze 49,
die im Bereich der schematisch angedeuteten Hologrammplatte 16
liegt. Dargestellt ist ferner die Symmetrie- bzw. Mittelachse 50
des Kegels 46, die durch den Mittelpunkt 51 der Grundfläche 47
verläuft.
Der aus der Optik 39 austretende erste Referenzstrahl 40 verläuft
auf dem Mantel 48 des Kegels 46 bis zu der Spitze 49 und trifft
hier auf den zweiten Referenzstrahl 43, der ebenfalls auf der
Mantelfläche 48 des Kegels 46 aus der Optik 42 verläuft. Zwischen
dem ersten Referenzstrahl 40 und der Symmetrieachse 50 des Kegels
46 sowie zwischen dem zweiten Referenzstrahl 43 und der Symme
trieachse 50 liegt ein Winkel α, dessen Größe abhängig von der
Wellenlänge des verwendeten Lasers ist. Wird beispielsweise ein
Argonlaser verwendet, beträgt der Winkel α etwa 24°, während bei
Verwendung eines Helium-Neonlasers der Winkel etwa 27° ist. Die
auf der Grundfläche 47 angeordneten Optiken 39 und 42 schließen
mit dem Mittelpunkt 51 der Grundfläche 47 einen Winkel β von etwa
90° ein.
Der Holographiemeßkopf 10 eignet sich vor allem für das Erstellen
und On-Line Auswerten von Interferogrammen, die nach dem Zwei-
Referenzstrahlverfahren am Ort des Meßobjekts aufgrund der
Mobilität des Holographiemeßkopfes 10 hergestellt werden können.
Hierzu wird die Halteplatte 11 entweder in nicht dargestellter
Weise auf einem Stativ oder unmittelbar im Bereich des Meßobjekts
befestigt. Das von dem Meßobjekt auf die Hologrammplatte zurück
gestreute Licht des unverformten Objekts wird dabei nur mit dem
ersten Referenzstrahl 40 überlagert. Anschließend wird das von
dem verformten Objekt auf die Hologrammplatte zurückgestreute
Licht nur mit dem zweiten Referenzstrahl 43 überlagert. Bei jeder
Beleuchtung wird in der Thermoplastplatte ein Hologramm erzeugt.
Bei der Rekonstruktion kann das Bild des unverformten Meßobjekts
und das Bild des verformten Meßobjekts mit dem jeweils relevanten
Referenzstrahl getrennt dargestellt werden. Bei gleichzeitiger
Benutzung der beiden Referenzstrahlen überlagern sich die Bilder
des unverformten und verformten Meßobjekts in Echtzeit.
Für die quantitative Auswertung wird mittels eines nicht darge
stellten Phasenschiebers die Phase in einem der beiden Referenz
strahlen verschoben. Nach bekannten Verfahren, vergleiche R.
Dändliker, E. Marom und F.M. Mottie, Two-reference-beam holo
graphic interferometry, J. Opt. Soc. Am., Vol. 66, Nr. 1, January
1976, S. 23-30, kann dadurch die durch Konturänderung hervorgeru
fene Phasenänderung in jedem Punkt der Kontur bestimmt werden.
Die CCD-Kamera erfaßt die über die Hologrammplatte 16 erzeugten
Interferogramme und leitet sie zur On-line Auswertung und/oder
Speicherung und/oder Beobachtung auf einem Bildschirm über eine
elektrische Leitung 12 a an eine separate und damit die Mobilität
des Holographiemeßkopfes nicht einschränkende Auswertungsstation
weiter.
Claims (10)
1. Holographische Meßeinrichtung mit einer Hologrammplatte
(16), auf welcher das von wenigstens einem Referenzstrahl
(40, 43) einfallende Licht mit dem von einem Meßobjekt
zurückgestreuten Licht eines auf das Meßobjekt gerichteten
kohärenten Objektbeleuchtungsstrahls (37) überlagert wird,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßeinrichtung als mobiler Holographiemeßkopf (10)
mit einer formsteifen Halteplatte (11) ausgebildet ist, auf
der die Hologrammplatte (16) und Auskopplungsoptiken (35,
39, 42) aufweisende Auskopplungshalter (31, 33, 34) für
optische Wellenleiter (32, 41, 44) befestigt sind, welche
jeweils den Objektbeleuchtungsstrahl (37) und wenigstens
einen Referenzstrahl (40, 43) transportieren, wobei die
optischen Achsen der Auskopplungsoptiken (35) für jeden
Referenzstrahl (40, 43) jeweils auf dem Mantel (48) eines
mit seiner Spitze (49) in den Bereich der Hologrammplatte
(16) reichenden Kegels (46) liegen und jeweils mit der
Mittelachse (50) des Kegels (46) einen gleichen Winkel (α)
in einem Bereich von etwa 25° bis etwa 27° einschließen.
2. Einrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Winkel (α) abhängig von der Wellenlänge von Refe
renzstrahlen (40, 43) ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen zwei Referenzstrahlen (40, 43) auf dem Kegel
mantel (48) ein sphärischer Winkel (β) von etwa 90° vorge
sehen ist.
4. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Auskopplungshalter (36) für den Objektbeleuchtungs
strahl (37) schwenkbar ist.
5. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Auskopplungshalter (31) für den Objektbeleuchtungs
strahl (37) in dem Bereich zwischen den Auskopplungshaltern
(33, 34) für die Referenzstrahlen (40, 43) und der Holo
grammplatte (16) angeordnet ist.
6. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Hologrammplatte (16) aus einer Thermoplastplatte
besteht.
7. Einrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß für die Thermoplastplatte ein Ladungsaufsprühen mittels
wenigstens einer Nadelspitze oder wenigstens einem vor der
Hologrammplatte (16) aufgespannten Draht vorgesehen ist.
8. Einrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ladungsaufsprühen über einen Nadelkranz (29)
erfolgt.
9. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Holographiemeßkopf (10) hinter der Hologrammplatte
(16) eine auf der Halteplatte (11) befestigte CCD-Kamera
(12) mit Objektiv (15) aufweist.
10. Holographische Meßeinrichtung mit einer Hologrammplatte
(16), auf welcher das von wenigstens einem Referenzstrahl
(40, 43) einfallende Licht mit dem von einem Meßobjekt
zurückgestreuten Licht eines auf das Meßobjekt gerichteten
kohärenten Objektbeleuchtungsstrahls (37) überlagert wird,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßeinrichtung als modularer Holographiemeßkopf (10)
mit einer formsteifen Halteplatte (11) ausgebildet ist, auf
der die Hologrammplatte (16) in einer Plattenaufnahme (17)
mit stationären Holographiebearbeitungseinrichtungen und
Auskopplungsoptiken (35, 39, 42) aufweisenden Auskopplungs
haltern (31, 33, 34) für optische Wellenleiter (32, 41, 44)
befestigt sind, welche jeweils den Objektbeleuchtungsstrahl
(37) und zwei Referenzstrahlen (40, 43) transportieren,
wobei die optischen Achsen von zwei Referenzstrahlen (40,
43) jeweils auf dem Mantel (48) eines mit seiner Spitze (49)
in die Mitte des Bereiches der Hologrammplatte (16)
reichenden Kegels (46) liegen und jeweils mit der Mittel
achse (50) des Kegels (46) einen gleichen Winkel (α) in
einen Bereich von etwa 25° einschließen, und wobei die
optischen Achsen für die Referenzstrahlen (40, 43) mit der
Mittelachse (50) des Kegels (46) einen räumlichen Winkel von
etwa 90° bilden.
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Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3803720A (en) * | 1971-09-27 | 1974-04-16 | Bendix Corp | Method and apparatus for making hologrammetric measurements |
DE2261093A1 (de) * | 1972-12-14 | 1974-06-27 | Jenoptik Jena Gmbh | Hologrammkamera fuer durchlicht-, auflicht- und geradeausverfahren sowie die entsprechenden rekonstruktionen, insbesondere fuer messungen im bild von objekten |
GB1505894A (en) * | 1976-05-28 | 1978-03-30 | Atomic Energy Authority Uk | Laser equipment |
DE2620755B2 (de) * | 1976-05-11 | 1978-09-14 | Dornier System Gmbh, 7790 Friedrichshafen | Holografische Vorrichtung zur Abbildung von pathologischen Veränderungen in biologischem Gewebe mittels eines Endoskops |
DE3015091A1 (de) * | 1979-04-27 | 1980-11-13 | Smiths Industries Ltd | Graet zum darstellen einer lage |
US4304458A (en) * | 1977-03-23 | 1981-12-08 | Thomson-Csf | Arrangement for displaying deformations of deformable structures by holographic interferometry |
DE3200204A1 (de) * | 1981-01-13 | 1982-08-12 | Smiths Industries Public Ltd. Co., London | Optisches messgeraet |
DE3510112A1 (de) * | 1984-04-06 | 1985-10-17 | Fiziko-techničeskij institut imeni A.F. Ioffe Akademii Nauk SSSR, Leningrad | Holografische anlage |
DE3153245C2 (de) * | 1980-10-06 | 1985-12-12 | Laser Technology, Inc., Norristown, Pa. | Hologrammvorrichtung zur Feststellung von Materialfehlern |
FR2568026A1 (fr) * | 1984-07-19 | 1986-01-24 | Aerospatiale | Camera holographique et dispositif de controle non-destructif utilisant une telle camera |
DE3623265A1 (de) * | 1986-07-10 | 1988-01-21 | Siemens Ag | Verfahren und anordnung zur faseroptischen messung einer weglaenge oder einer weglaengenaenderung |
-
1987
- 1987-06-16 DE DE19873720142 patent/DE3720142A1/de not_active Ceased
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3803720A (en) * | 1971-09-27 | 1974-04-16 | Bendix Corp | Method and apparatus for making hologrammetric measurements |
DE2261093A1 (de) * | 1972-12-14 | 1974-06-27 | Jenoptik Jena Gmbh | Hologrammkamera fuer durchlicht-, auflicht- und geradeausverfahren sowie die entsprechenden rekonstruktionen, insbesondere fuer messungen im bild von objekten |
DE2620755B2 (de) * | 1976-05-11 | 1978-09-14 | Dornier System Gmbh, 7790 Friedrichshafen | Holografische Vorrichtung zur Abbildung von pathologischen Veränderungen in biologischem Gewebe mittels eines Endoskops |
GB1505894A (en) * | 1976-05-28 | 1978-03-30 | Atomic Energy Authority Uk | Laser equipment |
US4304458A (en) * | 1977-03-23 | 1981-12-08 | Thomson-Csf | Arrangement for displaying deformations of deformable structures by holographic interferometry |
DE3015091A1 (de) * | 1979-04-27 | 1980-11-13 | Smiths Industries Ltd | Graet zum darstellen einer lage |
DE3153245C2 (de) * | 1980-10-06 | 1985-12-12 | Laser Technology, Inc., Norristown, Pa. | Hologrammvorrichtung zur Feststellung von Materialfehlern |
DE3200204A1 (de) * | 1981-01-13 | 1982-08-12 | Smiths Industries Public Ltd. Co., London | Optisches messgeraet |
DE3510112A1 (de) * | 1984-04-06 | 1985-10-17 | Fiziko-techničeskij institut imeni A.F. Ioffe Akademii Nauk SSSR, Leningrad | Holografische anlage |
FR2568026A1 (fr) * | 1984-07-19 | 1986-01-24 | Aerospatiale | Camera holographique et dispositif de controle non-destructif utilisant une telle camera |
DE3623265A1 (de) * | 1986-07-10 | 1988-01-21 | Siemens Ag | Verfahren und anordnung zur faseroptischen messung einer weglaenge oder einer weglaengenaenderung |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
DD-Z: J. Signal AM 10, H.1, 1982, S.47-54 * |
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