DE3717552A1 - Schichtweise aufgebauter magnetkopf mit haupt- und hilfspol - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Magnetkopf mit schicht­ weisem Aufbau, der

• - von einem aerodynamisch über ein senkrecht (vertikal) zu magnetisierendes Aufzeichnungsmedium hinwegzuführenden nicht­ magnetischen Flugkörper getragen ist,
• - einen den magnetischen Fluß führenden magnetischen Leitkör­ per mit zwei Magnetschenkeln aufweist, die einen dem Auf­ zeichnungsmedium zugewandten dünnen Hauptpol und einen ver­ gleichsweise dickeren Hilfspol bilden, wobei die Magnetpole durch mindestens eine isolierende Spaltschicht getrennt sind, die zwischen ihnen mindestens 5 µm ausgedehnt ist,

und

• - mit mindestens einer Schreib-/Lesespulenwicklung versehen ist, deren Leiterwindungen sich durch einen zwischen den Magnetschenkeln ausgebildeten Zwischenraum erstrecken.

Ein Magnetkopf mit einem derartigen Aufbau geht aus der EP-A-00 99 124 hervor.

Das Prinzip einer senkrechten Magnetisierung zur Speicherung von Informationen in entsprechenden Aufzeichnungsmedien ist allgemein bekannt (vgl. "IEEE Transactions on Magnetics", Vol. MAG-16, No. 1, Januar 1980; Seiten 71 bis 76 oder Vol. MAG-20, No. 5, September 1984, Seiten 657 bis 662 und 675 bis 680). Für dieses Prinzip, das vielfach auch als vertikale Magnetisierung bezeichnet wird, sind neben besonderen Aufzeichnungsmedien auch spezielle Schreib-/Lese-Magnetköpfe erforderlich. Ein hierfür geeigneter Kopf weist zur Führung des magnetischen Flusses einen Leitkörper aus magnetischem Material auf, der beispiels­ weise mit zwei Magnetschenkeln eine Gestalt ähnlich einer Ring­ form hat. Dabei kann einer der Magnetschenkel einen sehr schmalen Hauptpol bilden, mit dem ein hinreichend starkes senk­ rechtes Magnetfeld zum Ummagnetisieren einer Speicherschicht des Aufzeichnungsmediums längs einer Spur zu erzeugen ist. Der notwendige magnetische Rückschluß läßt sich dann mit Hilfe des anderen Magnetschenkels vornehmen, der einen sogenannten Hilfs­ pol darstellt. Dieser Hilfspol wird mehrere Mikrometer entfernt vom Hauptpol angeordnet und ist wesentlich großflächiger als dieser ausgebildet. Bei Magnetköpfen von diesem Kopftyp soll also der Hilfspol praktisch nur zur magnetischen Flußrückfüh­ rung dienen. Der dann nur mit dem Hauptpol schreibende und lesende Kopf kann deshalb auch als Einzelpol-Kopf bezeichnet werden.

Auch bei dem aus der eingangs genannten EP-A zu entnehmenden Magnetkopf handelt es sich um einen Kopf von diesem Kopftyp. Dementsprechend stellen die beiden Magnetpole des bekannten, im wesentlichen senkrecht zur Oberfläche des zu magnetisierenden Aufzeichnungsmediums ausgedehnten Magnetkopfes einen Haupt- und einen Hilfspol dar. Dabei sind die beiden Pole auf der Rück­ seite eines nicht-magnetischen Flugkörpers angeordnet, wobei die Normale auf dieser Seite parallel zur Bewegungsrichtung liegt (vgl. auch die korrespondierende Veröffentlichung "EEE Transactions on Magnetics", Vol. MAG-18, No. 6, November 1982, Seiten 1158 bis 1163). Der Hauptpol besteht im wesent­ lichen aus einem dünnen, senkrecht zur Bewegungsrichtung ver­ laufenden Endstück des entsprechenden Magnetschenkels, während der in Bewegungsrichtung vor dem Hauptpol liegende Hilfspol von einem vergleichsweise wesentlich dickeren Endstück des weiteren Magnetschenkels gebildet wird. Um ein Mitlesen dieses somit eine verhältnismäßig große Fläche der Spur überdeckenden Hilfspols mit seiner ablaufenden Kante zumindest weitgehend zu unterbinden, muß der zwischen den beiden Polen ausgebildete Abstand hinreichend ausgebildet sein, damit eine weitgehende Reduzierung der magnetischen Flußdichte am Hilfspol zu ge­ währleisten ist. Für den durch diesen Abstand festgelegten sogenannten Luftspalt zwischen den beiden Magnetpolen wird deshalb im allgemeinen eine Ausdehnung von mindestens 5 µm vorgesehen.

Der bei dem bekannten Magnetkopf von den Leiterwindungen einer Schreib-/Lesespulenwicklung nicht ausgefüllte, dem Aufzeich­ nungsmedium zugewandte Restraum des Luftspaltes muß mit minde­ stens einer sogenannten isolierenden Spaltschicht gefüllt sein. Eine entsprechende Isolationsschicht sollte aus möglichst har­ tem Material bestehen, um Einkerbungen oder Auswaschungen während der Kopfherstellung zu vermeiden. Verbleibende Uneben­ heiten können nämlich zum Absturz des über dem Aufzeichnungs­ medium mit äußerst geringem Abstand geführten Magnetkopf durch sich anlagernde Schmutzpartikel führen. Es hat sich nun ge­ zeigt, daß für den bekannten Magnetkopf die Realisierung dieser zwischen dem Haupt- und dem Hilfspol liegenden, mehrere Mikro­ meter breiten Spaltschicht außerordentlich schwierig ist. Die hierfür eingesetzten Materialien unterscheiden sich nämlich zum Teil erheblich von den magnetischen Materialien der benach­ barten Magnetschenkel, wodurch mechanische Spannungen und Haftungsprobleme wegen der großen Schichtdicke vielfach unver­ meidlich sind. Außerdem treten auch Probleme bei der Her­ stellung eines magnetischen Rückschlusses im hinteren Kopfteil zwischen den beiden Magnetschenkeln auf, wo die Spaltschicht durchgeätzt werden muß. Da schließlich der bekannte Magnet­ kopf in Bewegungsrichtung gesehen einen verhältnismäßig ausge­ dehnten Aufbau hat, treten auch Einebnungsprobleme auf, wobei die magnetischen Eigenschaften des Hauptpoles beeinträchtigt werden können.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, den als Einzelpol-Kopf wirkenden Magnetkopf der eingangs genannten Art dahingehend auszugestalten, daß er verhältnismäßig einfach herzustellen ist und dabei insbesondere die erwähnten Probleme hinsichtlich der Ausbildung der Spaltschicht verringert sind.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Magnetkopf in einer entsprechend strukturierten Ausnehmung in der dem Aufzeichnungsmedium zugewandten Unterseite des Flug­ körpers mit parallel zu der Unterseite liegender Hauptausdeh­ nungsrichtung versenkt angeordnet ist, daß der erste Magnet­ schenkel mit einer an der Unterseite liegenden ringförmigen Flachseite eines Schenkelteiles den Hilfspol bildet, der eine zentrale Öffnung umschließt, daß der zweite Magnetschenkel einen ringförmigen, gegenüber dem den Hilfspol bildenden Schenkelteil des ersten Magnetschenkels beabstandeten Schenkel­ teil und einen zentralen fingerartigen Schenkelteil aufweist, wobei dieser fingerartige Schenkelteil in die zentrale Öffnung des ersten Magnetschenkels hineinragt und dort an der Unter­ seite den kleinflächigen Hauptpol bildet, sowie daß am Außen­ rand des magnetischen Leitkörpers die beiden Magnetschenkel magnetisch miteinander verbunden sind.

Eine Ausbildung von Magnetköpfen auf der Unterseite eines Sub­ strates ist an sich bekannt (vgl. z.B. EP-A-01 18 969, EP-A-01 47 003 oder EP-A-01 52 326). Die einzelnen Schichten dieser bekannten Magnetköpfe sollen jedoch jeweils sukzessive auf dem Substrat abgeschieden werden, so daß sich erhebliche Einebnungsprobleme ergäben, falls man diese Köpfe mit der für eine vertikale Magnetisierung typischen äußerst geringen Flug­ höhe über einem Aufzeichnungsmedium hinwegführen wollte. Außer­ dem haben die bekannten Magnetköpfe einen quasi kreissymme­ trischen Aufbau hinsichtlich ihrer beiden Magnetschenkel, so daß die von ihnen erzeugten Magnetfelder nicht den Magnet­ feldern entsprechen, wie sie mit Einzelpol-Magnetköpfen zur Vertikalmagnetisierung hervorzurufen sind.

Demgegenüber läßt sich bei einer erfindungsgemäßen Ausgestal­ tung eines Magnetkopfes vorteilhaft auf verhältnismäßig ein­ fache Weise ein quasi als Einzelpol-Kopf wirkender Magnetkopf mit Haupt- und Hilfspol herstellen. Bei dem z.B. aus der ein­ gangs genannten EP-A zu entnehmenden Kopftyp mit im wesent­ lichen vertikaler Ausdehnung seines ringkopfähnlichen magne­ tischen Leitkörpers muß nämlich die für die Funktion des Kopfes entscheidende sogenannte Pollänge durch mechanische Abtragungs­ verfahren wie insbesondere Läppen von der Unterseite des Sub­ strates her mit äußerst geringen Toleranzen von im allgemeinen unter 0,1 µm eingestellt werden. Unter der Pollänge wird dabei die gemeinsame vertikale Ausdehnung der beiden die Magnetpole ausbildenden, parallel zueinander ausgerichteten Endstücke der Magnetschenkel des Kopfes verstanden. Bei der Herstellung des erfindungsgemäßen Magnetkopfes kann man demgegenüber vor­ teilhaft Mikrofabrikationsverfahren mit wesentlich größeren Toleranzen einsetzen. Da ferner der den Hilfspol bildende Magnetschenkel sehr großflächig im Verhältnis zu dem Hauptpol auszubilden ist, läßt sich ein entsprechend verlustarmer magnetischer Rückschluß bei verhältnismäßig großem Abstand zwischen Haupt- und Hilfspol gewährleisten.

Vorteilhafte Ausgestaltungen gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung Bezug genommen, in deren Fig. 1 die Anordnung eines erfin­ dungsgemäßen Magnetkopfes auf einem bekannten Flugkörper an­ gedeutet ist. Fig. 2 zeigt einen Magnetkopf nach der Erfin­ dung als Längsschnitt, während aus den Fig. 3 bis 6 jeweils die beiden Magnetschenkel bzw. die Schreib-Lesespulenwicklung dieses Magnetkopfes als Aufsicht oder als Längsschnitt veran­ schaulicht sind. In den Figuren sind übereinstimmende Teile mit den gleichen Bezugszeichen versehen.

In Fig. 1 ist schematisch eine Schrägansicht auf die Unter­ seite U eines an sich bekannten Flugkörpers 2 ersichtlich. Um eine sehr geringe Flughöhe von beispielsweise etwa 0,2 µm dieses Flugkörpers über einem senkrecht (vertikal) zu magne­ tisierenden Aufzeichnungsmedium zu ermöglichen, ist aus aero­ dynamischen Gründen die dem Aufzeichnungsmedium zugewandte Unterseite U des Flugkörpers 2 so strukturiert, daß mindestens zwei Flugkufen 4 und 5 ausgebildet sind. Diese Flugkufen weisen jeweils eine dem Aufzeichnungsmedium zugewandte Flachseite 4 a bzw. 5 a auf. In einem in relativer Bewegungsrichtung v des Flugkörpers 2 gesehen rückwärtigen Bereich mindestens einer dieser Flachseiten 4 a, 5 a ist ein erfindungsgemäßer Magnetkopf versenkt angeordnet. Gemäß dem dargestellten Ausführungsbei­ spiel ist angenommen, daß auf jeder dieser Flachseiten 4 a, 5 a ein derartiger Magnetkopf M bzw. M′ vorhanden ist. Die aus dem jeweiligen Kopfbereich herausgeführten Anschlußleiter 7 einer zugehörigen Schreib-/Lesespulenwicklung sind als dünne Lei­ terbahnen um die zwischen der Flachseite 4 a bzw. 5 a und der Rückseite 8 des Flugkörpers 2 ausgebildete, abgeschrägte Kanten 9 a bzw. 9 b herumgeführt und münden in Kontaktierungsflächen 10 auf dieser Rückseite 8.

Der Flugkörper 2 kann insbesondere aus einem nicht-magnetischen Substrat wie z.B. einem Si-Wafer mit 5,25 Zoll Durchmesser herausgearbeitet werden. Vielfach bildet man auf einem solchen Substrat gleichzeitig mehrere Magnetköpfe bzw. Flugkörper mit derartigen Magnetköpfen in Form eines Arrays aus. Dieses Array wird schließlich zu den gewünschten einzelnen Teilen zerlegt. In den nachfolgenden Fig. 2 bis 5 ist nur ein einziger Magnetkopf dargestellt, der nach dieser Technik zu gewinnen ist.

Mit dem in Fig. 2 schematisch gezeigten, relativ zu einem Auf­ zeichnungsmedium mit einer Geschwindigkeit v bewegten Magnet­ kopf nach der Erfindung soll sowohl eine Schreib- als auch eine Lese-Funktion gemäß dem Prinzip einer senkrechten (vertikalen) Magnetisierung auszuüben sein. Bei diesem als Längsschnitt dargestellten Kopf kann es sich z.B. um den mit M bezeichneten Kopf gemäß Fig. 1 handeln. Er soll erfindungsgemäß von der einem entsprechend zu magnetisierenden Aufzeichnungsmedium zugewandten Unterseite U eines Flugkörpers bzw. dessen Flug­ kufe 4 her in die untere Flachseite 4 a dieser Flugkufe ein­ gebracht sein. Bevor die Flugkufe 4 mit einer entsprechend strukturierten Vertiefung oder Ausnehmung 11 versehen wird, wurde diese noch mit einer dünnen Schicht 12 aus einem harten Kufenmaterial wie z.B. aus TiC überzogen.

Der in der Ausnehmung 11 untergebrachte Magnetkopf M enthält einen den magnetischen Fluß führenden, aus einem hierfür ge­ eigneten weichmagnetischen Material bestehenden magnetischen Leitkörper 13 mit zwei Magnetschenkeln 14 und 15. Dabei soll mit dem mit 14 bezeichneten Magnetschenkel im wesentlichen die dem Aufzeichnungsmedium abgewandte Seite des magnetischen Leit­ körpers 13 ausgebildet sein. Hierzu ist dieser Magnetschenkel am Boden 17 der Ausnehmung 11 abgeschieden, wobei er einen parallel zur Unterseite U liegenden, kreisringförmigen Schenkel­ teil 14 a aufweist, der einen zentralen Aussparungsbereich 18 umschließt. In diesem Bereich ist die Bodenfläche der Aus­ nehmung als pyramidenstumpfähnliche Erhebung 19 gestaltet, deren an ihrer Spitze liegende freie Fläche in der durch eine gestrichelte Linie angedeuteten Ebene E der Unterseite U liegt. Auf einer Flanke 20 dieses Pyramidenstumpfes 19 ragt dabei der Magnetschenkel 14 als fingerartiger Schenkelteil 14 b bis an diese Ebene E heran. An seiner Spitze bildet er einen klein­ flächigen Hauptpol P 1 des Magnetkopfes aus, der quer zur rela­ tiven Bewegungsrichtung des Kopfes ausgedehnt ist.

Innerhalb der strukturierten Ausnehmung 11 ist parallel zu dem kreisringförmigen Schenkelteil 14 a des Magnetschenkels 14 auf diesem in einer oder in mehreren Ebenen eine flache Schreib-/ Lesespulenwicklung 22 angeordnet, die ebenfalls kreisringförmig den Pyramidenstrumpf 19 umschließt. Ihre Anschlußleiter 7 sind dabei entsprechend Fig. 1 aus dem Bereich der Ausnehmung herausgeführt.

Der weitere Magnetschenkel 15 des magnetischen Leitkörpers 13 liegt mit einem ebenfalls kreisringförmigen Schenkelteil 15 a etwa konzentrisch zu dem Schenkelteil 14 a des Magnetschenkels 14 an der Ebene E der Unterseite U an. Seine zentrale Öffnung 24 ist dabei so groß gewählt, daß ein hinreichender Abstand a bis zu der den Hauptpol P 1 bildenden Spitze des finger­ artigen Schenkelteils 14 a des anderen Magnetschenkels 14 ein­ gehalten ist. Der Abstand a sollte mindestens 5 µm betragen. Vorteilhaft wird für den Abstand a ein Mindestwert von 10 µm, vorzugsweise 50 µm gewählt. Der kreisringförmige Schenkelteil 15 a des Magnetschenkels 15, mit dem ein großflächiger Hilfspol P 2 entsprechender Gestalt ausgebildet sein soll, hat vor­ teilhaft eine dem Aufzeichnungsmedium zugewandte Fläche, die mindestens zwei Größenordnungen größer als die Fläche des von ihr umschlossenen Hauptpoles P 1 ist. Dabei soll die in Be­ wegungsrichtung v des Magnetkopfes M zu messende Ausdehnung s 2 des Hilfspoles P 2 mindestens 3 mal, vorzugsweise mindestens 10 mal so groß sein wie die entsprechende Ausdehnung s 1 des Hauptpoles P 1. An seinem Außenrand ist der kreisringförmige Schenkelteil 15 a über einen Schenkelteil 15 b an den tieferlie­ genden Magnetschenkel 14 angefügt. Es ergibt sich so für den magnetischen Leitkörper 13 gemäß dem dargestellten Schnitt eine etwa ringkopfähnliche Gestalt mit im wesentlichen parallel zur Unterseite U liegender Hauptausdehnungsrichtung. Eine noch erforderliche, den verbleibenden Restraum der strukturierten Ausnehmung 11 ausfüllende Isolations- bzw. Spaltschicht ist in der Figur der Übersichtlichkeit wegen nicht dargestellt.

Die Herstellung des in Fig. 2 gezeigten Magnetkopfes M wird nachfolgend anhand der Fig. 3 bis 5 noch weiter erläutert. Dabei sind in den Fig. 3, 4 und 6 jeweils in Aufsicht der den Hauptpol P 1 bildende Magnetschenkel 14 bzw. die Spulen­ wicklung 22 bzw. der den Hilfspol P 2 bildende Magnetschenkel 15 schematisch veranschaulicht. Fig. 5 zeigt einen zu Fig. 4 zu­ gehörenden Längsschnitt.

Zur Herstellung mindestens eines erfindungsgemäßen Magnetkopfes, vorzugsweise eines ganzen Arrays solcher Magnetköpfe, wird von einem etwa 1 mm dicken Wafer des Flugkörper-Substratmaterials, z.B. aus Silizium, ausgegangen. Dieser Wafer wird zunächst mit einem Kufenmaterial wie z.B. aus TiC beschichtet wird. An­ schließend werden dann z.B. mit Hilfe bekannter Ionenstrahl­ techniken Ringstrukturen für die einzelnen Magnetköpfe und Streifenstrukturen für die Spulenanschlüsse auf dem Silizium­ substrat freigelegt. An den so von dem Kufenmaterial befreiten Bereichen lassen sich dann vorteilhaft naßchemisch, z.B. mit Brenzcatechin (Pyrocatechol), etwa 2O µm tiefe Ringstrukturen bzw. Gräben zur Aufnahme der Magnetköpfe mit von der Kristall­ struktur und dem unterschiedlichen Ätzangriff vorgegebener Flankensteilheit ätzen. In den so entstandenen Ausnehmungen werden dann die einzelnen Magnetköpfe schichtweise aufgebaut. Der Aufbau eines dieser Magnetköpfe wird nachfolgend anhand der Fig. 3 bis 5 noch näher erläutert.

In Fig. 3 ist eine strukturierte Ausnehmung 11 mit einer Ringvertiefung 25 angedeutet, welche den zentralen Pyramiden­ stumpf 19 aus dem Substratmaterial umschließt. Auf den Boden dieser Vertiefung wird zunächst die den Magnetschenkel 14 bildende mindestens eine Magnetschicht aus einem geeigneten Material, insbesondere aus einer speziellen NiFe-Legierung wie z.B. aus "Permalloy" (Warenzeichen der "Bell Telephone Manu­ facturing Comp."), abgeschieden. Diese Schicht mündet auf einer der vier schrägen Flanken 20 des zentralen Pyramidenstumpfes 19 unter Ausbildung des kleinflächigen magnetischen Hauptpoles P 1 an der zugehörigen Oberkante dieses Pyramidenstumpfes. Die Richtung der magnetischen Anisotropie des Schenkelmaterials liegt dabei vorteilhaft in der Schichtebene parallel zur schrei­ benden Kante dieses Magnetschenkels.

Anschließend wird gemäß Fig. 4 auf dem ebenen, den Boden der Ausnehmung 11 bedeckenden Schenkelteil des Magnetschenkels 14 eine entsprechende kreisringförmige Spulenwicklung 22, z.B. aus Kupfer, in Dünnfilm-Technik abgeschieden. Vorteilhaft wird eine Wicklung mit zwei Lagen ihrer Windungen 22 a und mit einer Mittelanzapfung ausgebildet. Die Spulenanschlüsse über in Gräben geführte Anschlußleiter 7 werden dabei auf die schrägen Flanken der benachbarten Grabenstruktur geführt. Die Anschluß­ leiter können vorteilhaft gegenüber den Windungen 22 a stark verbreitert sein.

In Fig. 5 ist ferner ein Fig. 4 entsprechender Längsschnitt gezeigt, aus dem streifenförmige Vertiefungen bzw. Gräben 26 zur Ausbildung der Spulenanschlüsse deutlicher hervorgehen. Ferner ist in dem Längsschnitt noch durch eine gestrichelte Linie eine Trennfläche 27 angedeutet, die nach einem Läppvor­ gang mit einer vorteilhaften Toleranz <1 µm die rückwärtige Fläche 8 des Flugkörpers 2 (vgl. Fig. 1) wird.

Auf diesen so entstandenen Aufbau aus unterem Magnetschenkel 14 und daraufliegender Spulenwicklung 22 wird anschließend der weitere Magnetschenkel 15 gemäß Fig. 5 aufgebracht. Dieser die Spulenwicklung 22 abdeckende Magnetschenkel ist an seinem äußeren Rand vorteilhaft großflächig mit dem darunterliegenden Magnetschenkel 14 magnetisch verbunden. Mit seinem an der Ebene der Unterseite anliegenden Schenkelteil bildet er den kreisringförmigen Hilfspol P 2 mit vorteilhaft großer Fläche zur Rückführung des magnetischen Flusses. Durch Kontrolle der Schichtdicken während des Lithographieprozesses wird die Oberkante des zweiten Magnetschenkels auf Kufenebene gebracht.

Um zu erreichen, daß auch der den Hauptpol P 1 bildende Schen­ kelteil 14 b des Magnetschenkels 14 exakt an der Oberkante der TiC-Abdeckung der Schicht 12 aus dem Kufenmaterial endet, wird dieser zunächst knapp über die Kante des Pyramidenstumpfes hinweggeführt und dann mit Ionenstrahl-Ätzen unter flachem Winkel auf Kantenhöhe abgearbeitet. Vorteilhaft ist dabei, daß die kritische Schenkeldimensionierung mit einem Lithographie- Prozeß und nicht mit einem verhältnismäßig groben Läppverfahren vorgenommen werden kann.

Nach Abschluß der Lithographie und einer Lackabdeckung der so auf einem Wafer auszubildenden Magnetköpfe werden die Kufen- Zwischenräume und die schrägen Kufenköpfe in den Wafer einge­ schliffen oder beispielsweise wiederum mit "Pyrocatechol" naß­ geätzt. Nach Trennen der einzelnen Kopfzeilen im Bereich der Streifenstrukturen können dann alle Streifen zusammengefaßt werden, um in einer verhältnismäßig groben Lithographie mit einer Linienbreite von über 100 µm gemeinsam die über die mit einer Facette versehenen Kufenhinterkanten führenden Spulen- Anschlußfahnen auf den Flugkörperrückseiten anzubringen.

Gemäß dem anhand der Fig. 3 bis 6 dargestellten Ausfüh­ rungsbeispiel wurde davon ausgegangen, daß die Magnetschenkel­ teile 14 a und 15 a sowie die Spulenwindungen 22 a mit kreisring­ förmiger Gestalt in einer entsprechenden Vertiefung 25 der strukturierten Ausnehmung 11 nach bekannter Dünnfilm-Technik abgeschieden werden. Ebensogut kann man aber für die Teile 14 a, 15 a, 22 a und 25 auch eine andere Gestaltungsform wie z.B. eine rechteckige oder ovale vorsehen. Auch die zentrale Erhebung 19 braucht nicht unbedingt eine Pyramidenstumpfform aufzuweisen, sondern kann z.B. kegelstumpfförmig ausgebildet sein.

Claims (13)

1. Magnetkopf mit schichtweisem Aufbau, der

• - von einem aerodynamisch über ein senkrecht (vertikal) zu magnetisierendes Aufzeichnungsmedium hinwegzuführenden nicht­ magnetischen Flugkörper getragen ist,
• - einen den magnetischen Fluß führenden Leitkörper mit zwei Magnetschenkeln aufweist, die einen dem Aufzeichnungsmedium zugewandten dünnen Hauptpol und einen vergleichsweise dickeren Hilfspol bilden, wobei die Magnetpole durch minde­ stens eine isolierende Spaltschicht getrennt sind, die zwi­ schen ihnen mindestens 5 µm ausgedehnt ist,

und

• - mit mindestens einer Schreib-/Lesespulenwicklung versehen ist, deren Leiterwindungen sich durch einen zwischen den Magnetschenkeln ausgebildeten Zwischenraum erstrecken,

dadurch gekennzeichnet,

• - daß der Magnetkopf (M) in einer entsprechend strukturierten Ausnehmung (11) in der dem Aufzeichnungsmedium zugewandten Unterseite (U) des Flugkörpers (2) mit parallel zu der Unter­ seite (U) liegender Hauptausdehnungsrichtung versenkt ange­ ordnet ist,
• - daß der erste Magnetschenkel (15) mit einer an der Unter­ seite (U) liegenden ringförmigen Flachseite eines Schenkel­ teiles (15 a) den Hilfspol (P 2) bildet, der eine zentrale Öffnung (24) umschließt,
• - daß der zweite Magnetschenkel (14) einen ringförmigen, gegen­ über dem den Hilfspol (P 2) bildenden Schenkelteil (15 a) des ersten Magnetschenkels (15) beabstandeten Schenkelteil (14 a) und einen zentralen fingerartigen Schenkelteil (14 b) auf­ weist, wobei dieser fingerartige Schenkelteil (14 b) in die zentrale Öffnung (24) des ersten Magnetschenkels (15) hineinragt und dort an der Unterseite (U) den kleinflächigen Hauptpol (P 1) bildet,

sowie

• - daß am Außenrand des magnetischen Leitkörpers (13) die bei­ den Magnetschenkel (14, 15) magnetisch miteinander verbunden sind.

2. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die dem Aufzeichnungsmedium zugewandte Fläche des Hilfspoles (P 2) mindestens zwei Größenordnungen größer ist als die entsprechende Fläche des Hauptpoles (P 1).

3. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die in relativer Bewegungs­ richtung (v) des Magnetkopfes (M) zu messende Ausdehnung (s 2) des Hilfspoles (P 2) mindestens 3 mal, vorzugsweise mindestens 10 mal so groß ist wie die entsprechende Ausdehnung (sl) des Hauptpoles (P 1).

4. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die strukturierte Aus­ nehmung (11) einen gegenüber der Unterseite (U) vertieften Boden (17) aufweist, der eine zentrale, an die Unterseite (U) heranreichende Erhebung (19) ringförmig umgibt, und daß der zweite, den Hauptpol (P 1) bildende Magnetschenkel (14) einen ringförmigen Schenkelteil (14 a) auf diesen Boden (17) und einen fingerartigen Schenkelteil (14 b) enthält, welcher auf einer ab­ geschrägten Flanke (20) der Erhebung (19) angeordnet ist und dort an seinem freien Ende den Hauptpol (P 1) bildet.

5. Magnetkopf nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die zentrale Erhebung (19) pyramiden­ stumpfähnliche oder kegelstumpfähnliche Gestalt hat.

6. Magnetkopf nach Anspruch 4 oder 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Windungen (22 a) der Schreib-/Lesespulenwicklung (22) ein- oder mehrlagig die zen­ trale Erhebung (19) umschließen.

7. Magnetkopf nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß Anschlußleiter (7) der Schreib-/Lese­ spulenwicklung (22) in Gräben in der Unterseite (U) der Flug­ kufe (4) verlaufen und zu auf einer Rückseite (8) der Flug­ kufe (4) befindlichen Kontaktierungsflächen (10) geführt sind.

8. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der den Hauptpol (P 1) bil­ dende Magnetschenkel (14) aus einem Material besteht, dessen magnetische Anisotropie parallel zu einer mit dem Magnetschen­ kel (14) ausgebildeten schreibenden Kante des Hauptpoles (P 1) gerichtet ist.

9. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine großflächige magne­ tische Verbindung der beiden Magnetschenkel (14, 15) am äußeren Rand des magnetischen Leitkörpers (13) ausgebildet ist.

10. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausdehnung (a) der die Magnetpole (P 1, P 2) trennenden Spaltschicht mindestens 10 µm, vorzugsweise mindestens 50 µm beträgt.