DE3686530T2 - Aufzeichnungstraeger, versehen mit hochdichter information. - Google Patents

Aufzeichnungstraeger, versehen mit hochdichter information.

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DE3686530T2
DE3686530T2 DE8686108255T DE3686530T DE3686530T2 DE 3686530 T2 DE3686530 T2 DE 3686530T2 DE 8686108255 T DE8686108255 T DE 8686108255T DE 3686530 T DE3686530 T DE 3686530T DE 3686530 T2 DE3686530 T2 DE 3686530T2
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger, der zur Aufzeichnung und Wiedergabe von Information auf einer Aufzeichnungsschicht mittels eines Laserstrahls verwendet wird. Die Erfindung betrifft, genauer gesagt, eine optische Scheibe, und noch spezieller eine magneto-optische Aufzeichnungsscheibe mit einem Kunststoffsubstrat.
  • Bei einer optisch ablesbaren Scheibe ist es technisch in höchstem Maße wichtig, die Haltbarkeit oder Zuverlässigkeit zu verbessern, wenn ein Kunststoffsubstrat verwendet wird. Obwohl ein Kunststoffsubstrat zahlreiche Vorteile gegenüber einem Glassubstrat aufweist, hat es einen gravierenden Nachteil: Die Aufzeichnungsschicht, die auf einem Kunststoffsubstrat ausgebildet wird, wird durch Restwasser und Restmonomer in einem Kunststoffsubstrat und auch durch Wasser verschlechtert, das durch ein Kunststoffsubstrat eindringt.
  • Um diesen Nachteil zu eliminieren, wurde ein Aufzeichnungsträger vorgeschlagen, der aus einem Kunststoffsubstrat und einer Aufzeichnungsschicht mit einem dünnen Film aus alkalifreiem Glas bestand, der zwischen diesen angeordnet war; vgl. JP-A 59-32230, Titel: "Optischer Informationsaufzeichnungsträger (Optical information recording carrier)"; eingereicht am 22. Februar 1984 (EP-A 163 810). Der dünne Film aus alkalifreiem Glas verbessert in starkem Maße die Haltbarkeit der optischen Scheibe und führt zu einer zufriedenstellenden optischen Scheibe.
  • Um die vorstehend erwähnte Erfindung weiter zu verbessern, wurden weitere Experimente durchgeführt. Es wurden bevorzugte Bedingungen gefunden, unter denen die Bit-Fehlerrate (bit error rate; BER) verbessert werden kann, ohne daß die Haltbarkeit verschlechtert wird. Auf der Grundlage der Ergebnisse dieser Experimente wurde die vorliegende Erfindung vollendet.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, einen optischen Informationsaufzeichnungsträger bereitzustellen, der eine niedrigere Bit-Fehlerrate (BER) aufweist und der über eine lange Zeitspanne stabil ist, da das Kunststoffsubstrat eine verbesserte Glätte und Härte aufweist und eine Feuchtigkeitsbeständigkeit wie ein Glassubstrat hat, so daß der funktionelle Film oder die Aufzeichnungsschicht gegen eine Qualitätsverschlechterung durch das Substrat geschützt ist.
  • Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger bereitzustellen, in dem der funktionelle Film oder die Aufzeichnungsschicht aus einer amorphen Legierung aus einem Seltenerdelement und einem Übergangsmetall in hohem Maße im Hinblick auf ihre magneto-optischen Aufzeichnungseigenschaften verbessert ist.
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung werden die oben genannten Aufgaben gelöst durch einen Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger, der ein transparentes Kunststoffsubstrat, eine Hochdichteinformationsaufzeichnungsschicht, die auf dem Substrat ausgebildet ist, und eine dünne Filmschicht aus anorganischem Glas einschließt, die zwischen dem Substrat und der Aufzeichnungsschicht angeordnet ist, wobei der Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger dadurch gekennzeichnet ist, daß die dünne Filmschicht aus anorganischem Glas aus einem Glas hergestellt ist,
  • (a) bei dem es sich um ein alkalifreies Glas handelt, das weniger als 1 Gew.-% an Alkalimetallen (auf Basis von Alkalimetalloxiden) enthält, und
  • (b) das außerdem 20 Gew.-% bis 35 Gew.-% Erdalkalimetalle (auf Basis von Erdalkalimetalloxiden) enthält, und
  • (c) das einen linearen Ausdehnungskoeffizienten von 40 bis 70 · 10&supmin;&sup7;/ºC aufweist.
  • Die Erfindung wird unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
  • Fig. 1 eine anschauliche Querschnitt-Ansicht einer optischen Scheibe, auf die die vorliegende Erfindung anwendbar ist;
  • Fig. 2 eine graphische Darstellung, die die Beziehung zwischen dem Wert der Bit- Fehlerrate (BER) von magneto-optischen Aufzeichnungsscheiben mit einer Vielzahl von Dicken der Schutzschicht aus anorganischem Glas, wie sie in Beispiel 2 beschrieben ist, und dem Wert der Dicke nach 30 Tagen unter den Bedingungen einer Temperatur von 45ºC und 90%iger relativer Feuchtigkeit zeigt.
  • Das alkalifreie Glas enthält weniger als 1 Gew.-% Alkalimetalle, nämlich Li, Na, K, Rb, Cs. Es enthält vorzugsweise weniger als 0,8 Gew.-% Alkalimetalle auf Basis Alkalimetalloxiden.
  • Das transparente Kunststoffsubstrat und die Hochdichteinformationsaufzeichnungsschicht, wie sie im Rahmen der vorliegenden Erfindung verwendet werden, sind im einzelnen in der parallel anhängigen japanischen Patentanmeldung JP-A 59-32230 beschrieben. Im Rahmen der vorliegenden Beschreibung wird hierauf verwiesen. Eine erneute Beschreibung ist also hier nicht erforderlich.
  • Die übliche Struktur einer optischen Scheibe ist schematisch in Fig. 1 gezeigt. Eine optische Scheibe besteht aus einem transparenten Kunststoffsubstrat 1, einer Schutzschicht 2, einer Schicht 3 aus einem Aufzeichnungsmedium, einer Oberflächenschutzschicht 4 und einer externen Schutzschicht 5, welche vorgesehen wird, wenn sie erforderlich ist.
  • Das Substrat 1 besteht aus irgendeinem transparenten Kunststoff wie beispielsweise einem Acrylharz, einem Polycarbonatharz, einem Epoxidharz und einem Styrolharz. Die drei erstgenannten Harze sind bevorzugt aufgrund der Doppelbrechung, Formbarkeit und Stabilität.
  • Das Hochdichteinformationsaufzeichnungsmedium 3 kann ein Medium eines beliebigen bekannten Typs sein, wie beispielsweise DRAW (direct read after write) und E-DRAW (erasable direct read after write).
  • Bei der herkömmlichen optischen Scheibe besteht die Schutzschicht 2 aus einem Oxid, wie beispielsweise SiO&sub2; und TiO&sub2;, oder einem organischen Polymer, wie beispielsweise aus einem Organopolysiloxan. Das Kennzeichen der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die Schutzschicht 2 aus einem anorganischen Glas mit speziellen charakteristischen Eigenschaften besteht.
  • Die Schutzschicht 2 aus anorganischem Glas hat eine Dicke von 10 bis 200 nm. Bei einer Dicke von weniger als 10 nm ist die Schutzwirkung nicht zufriedenstellend. Eine Schutzschicht mit einer Dicke über 200 nm ist unwirtschaftlich und führt zu einem Problem, wie beispielsweise zur Absorption von Laserlicht. Die anorganische Glasschicht 2 kann gebildet werden durch Abscheidung aus der Dampfphase, Sputtering oder Ionenplattierung.
  • Das anorganische Glas ist vorzugsweise ein sogenanntes alkalifreies Glas, welches keine Alkalimetalle oder nur eine geringe Menge an Alkalimetallen enthält. Alkalifreies Glas ist im Handel beispielsweise erhältlich von der Firma Coming Glass Works unter der Produktnummer 7059. Es besteht aus SiO&sub2; (49,9%), BaO (25,1%), B&sub2;O&sub3;(10,5%), Al,O&sub3; (10,3%) und CaO (4,3%) Dies ist jedoch kein für das anorganische Glas gemäß der vorliegenden Erfindung beschränkendes Beispiel. Das anorganische Glas ist hinsichtlich seiner Zusammensetzung nicht in besonderer Weise beschränkt, solange es die Ausbildung eines dünnen Films auf seiner Oberfläche durch physikalische Abscheidung aus der Dampfphase erlaubt.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das oben beschriebene anorganische Glas zur Herstellung der Schutzschicht 2 verwendet, die zwischen dem Kunststoffsubstrat 1 und der Aufzeichnungsschicht 3 angeordnet ist. Es kann auch zur Herstellung der Schutzschicht 4 verwendet werden, die außerhalb der Aufzeichnungsschicht 3 angeordnet ist, und zur Herstellung der Schutzschicht 5 verwendet werden, die außerhalb des Kunststoffsubstrats 1 angeordnet ist.
  • Die oben erwähnte Schicht aus anorganischem Glas ist insbesondere im Hinblick auf ihre Beständigkeit gegen Feuchtigkeitsabsorption einer herkömmlichen Schutzschicht überlegen, die aus einer einfachen Substanz, wie beispielsweise SiO&sub2; und TiO&sub2;, hergestellt ist.
  • Die vorliegende Erfindung liefert das beste Ergebnis, wenn sie auf eine magneto-optische Scheibe angewandt wird, in der die Hochdichteinformationsaufzeichnungsschicht aus einer amorphen Legierung aus einem Seltenerdelement und einem Übergangsmetall hergestellt ist. Der in jüngerer Zeit beobachtete schnelle Anstieg in Bezug auf die Menge an Information machte eine Hochdichteaufzeichnung und einen Hochgeschwindigkeitszugang notwendig. Um dieses Erfordernis zu erfüllen, wurde ein dünner Film aus einer amorphen Legierung entwickelt, die aus Seltenerdelementen und Übergangsmetallen zusammengesetzt ist, z. B. TbFe, TbFeCo und GdTbFe. Die Legierung hat die Achse leichter Magnetisierung in der Richtung senkrecht zur Filmoberfläche. Daher hat sie allgemeine Beachtung als Hochdichteinformationsaufzeichnungsmedium gefunden, das zum Aufzeichnen, Wiedergewinnen und Löschen geeignet ist. Die Informationsaufzeichnungsscheibe wird Anwendung finden für Dokumentdateien, Dateien für stehende (stille) Bilder, Dateien für bewegte Bilder und Computerspeicher. Zu ihrer Verbesserung ist es wichtig, die Fehlerrate zu verringern und das Signal-zu-Geräusch-Verhältnis zu erhöhen. Diese Faktoren sind verbunden mit dem Aufzeichnungsmedium, und sie werden nachteilig beeinflußt durch
  • (1) eine ungleiche Filmdicke und Legierungszusammensetzung;
  • (2) ungleiche magnetische Eigenschaften; und
  • (3) den Qualitätsverlust durch Oxidation.
  • Die Leistung des Aufzeichnungsmediums hängt ab von der Sauberkeit, Glattheit und Fehlerfreiheit des Substrats.
  • Die drei oben genannten Störungen können alle auf einmal eliminiert werden, wenn die anorganische Glasschicht 2 zwischen dem Kunststoffsubstrat 1 und der Schicht 3 des Aufzeichnungsmediums aus einer amorphen Legierung aus einem Seltenerdelement und einem Übergangsmetall angeordnet wird. Im Ergebnis ist es möglich, einen magneto-optischen Aufzeichnungsträger zur praktischen Verwendung zu erhalten, der nachfolgend als "magneto-optische Scheibe", bezeichnet wird.
  • Das magneto-optische Aufzeichnungsmedium, bei dem die vorliegende Erfindung angewendet werden kann, ist eine amorphe Legierung eines beliebigen bekannten Typs aus einem Seltenerdelement und einem Übergangsmetall. Beispiele der Legierung schließen die folgenden Legierungen ein: Eine Tb-Fe-Legierung (japanische Patentveröffentlichung Nr. 20691/1982), eine Dy-Fe-Legierung (japanische Patentveröffentlichung Nr. 20692/1982), eine Gd-Tb-Fe-Legierung (japanisches offengelegtes Patent Nr. 126907/1981), eine Gd-Tb- Dy-Fe-Legierung (japanisches offengelegtes Patent Nr. 94948/1982), eine Gd-Co-Legierung (japanisches offengelegtes Patent Nr. 121 719/1979) und eine Tb-Fe-Co-Legierung. Die Schicht der Legierung aus einem Seltenerdelement und einem Übergangsmetall kann auf der anorganischen Glasschicht durch Abscheidung, Sputtering oder Ionenplattierung gebildet werden. Die Dicke der Schicht ist üblicherweise 50 bis 150 nm.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung hat die anorganische Glasschicht die gleiche Zusammensetzung und Dicke, wie sie oben erwähnt wurde.
  • Bis zum heutigen Tage wurden umfangreiche Forschungsarbeiten über die Bildung einer amorphen Schicht auf einem Glassubstrat durchgeführt. Es ist heute möglich, eine amorphe Schicht, die im rechten Winkel magnetisiert werden kann, auf einem Glassubstrat auszubilden. Es existiert jedoch keine etablierte Technologie zur Ausbildung einer stabilen amorphen Schicht, die im rechten Winkel magnetisiert werden kann, auf einem Kunststoffsubstrat. Im Falle einer amorphen Schicht, die auf einem Glassubstrat ausgebildet wird, ist der Kerr-Drehwinkel größer als 0,3º, während im Fall einer amorphen Schicht, die auf einem Kunststoffsubstrat ausgebildet wird, der Kerr-Drehwinkel bestenfalls 0,1º beträgt. Es mag manchmal möglich sein, eine amorphe Schicht mit einem Kerr-Drehwinkel zu erhalten, der größer ist als 0,2º; dieser ist jedoch nicht über einen längeren Zeitraum stabil und kann nur schlecht reproduziert werden. Es besteht daher ein starkes Bedürfnis für die Technologie der Ausbildung einer stabilen amorphen Schicht, die im rechten Winkel magnetisiert werden kann, auf einem einfach handhabbaren Kunststoffsubstrat anstelle des herkömmlichen Glas- oder Aluminiumsubstrats.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine magneto-optische Scheibe mit praktischer Verwendbarkeit bereitgestellt, die auf einem Kunststoffsubstrat aufgebaut ist. Die Fertigstellung der neuen magneto-optischen Scheibe kann der oben genannten anorganischen Glasschicht 2 zugeschrieben werden, die es erlaubt, daß eine stabile Schicht aus einer amorphen Legierung auf einem Kunststoffsubstrat ausgebildet wird. Die magneto-optische Scheibe in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung weist nahezu dasselbe C/N- Verhältnis auf wie die herkömmliche magneto-optische Scheibe, die auf einem Glassubstrat basiert.
  • Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf eine magneto-optische Scheibe beschrieben, obwohl die Erfindung auf jedes beliebige bekannte Aufzeichnungsmedium des DRAW-Typs anwendbar ist. Das magneto-optische Aufzeichnungsmedium wurde als Beispiel für die erklärende Darstellung gewählt, da es eine höhere Leistung, insbesondere in Bezug auf die Feuchtigkeitsbeständigkeit, erfordert als ein Aufzeichnungsmedium des DRAW-Typs. Jede Eigenschaft, die die strengen Erfordernisse eines magneto-optischen Aufzeichnungsmediums erfüllt, wäre zufriedenstellend anwendbar auf ein Aufzeichungsmedium des DRAW-Typs. Offensichtlich ist dies auch anwendbar auf jedes beliebige E-DRAW-Medium des Phasenwechseltyps und Formwechseltyps, für welches Haltbarkeit erforderlich ist.
  • Das erste kennzeichnende Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die Menge oder der Mengenanteil an Alkalimetallen in dem alkalifreien Glas geringer ist als 1 Gew.-%, vorzugsweise geringer ist als 0,8 Gew.-%, bezogen auf Alkalimetalloxide. Mit anderen Worten: Das alkalifreie Glas enthält weniger als 1 Gew.-%, vorzugsweise weniger als 0,8 Gew.-%, an Alkalimetallen (Li, Na, K, Rb und Cs), bezogen auf ihre Oxide.
  • Wenn die Menge an Alkalimetall größer ist als 1 Gew.-%, bezogen auf Alkalimetalloxide, treten Risse in der Aufzeichnungsschicht auf, wodurch die aufgezeichneten Daten zerstört werden. Dies führt zu einer geringeren Bit-Fehlerrate (BER). Der Grund hierfür ist nicht bekannt. Es scheint jedoch, daß das Alkalimetall mit der Feuchtigkeit, die durch das Kunststoffsubstrat hindurch eindringt, mit dem Monomer, das aus dem Kunststoffsubstrat herauswandert, oder mit der Feuchtigkeit der Luft unter Verschlechterung der Aufzeichnungsschicht reagiert. Die Menge an Alkalimetall sollte vorzugsweise geringer sein als 0,8 Gew.-%, bezogen auf Alkalimetalloxid. Je geringer die Menge an Alkalimetall ist, desto erstrebenswerter ist dies, solange die Eigenschaften des Glases nicht nachteilig beeinflußt werden. Es ist im industriellen Maßstab unmöglich, Alkalimetall vollständig zu eliminieren. Ein Alkalimetallgehalt bis zu 1 Gew.-% bringt jedoch in der Praxis keine Probleme.
  • Das alkalifreie Glas, das erfindungsgemäß eingesetzt wird, schließt nicht Siliciumdioxid-Glas ein, das nahezu vollständig aus SiO&sub2; aufgebaut ist. Eine Schutzschicht, die durch die Abscheidung von SiO&sub2; allein ausgebildet wurde, war bekannt. Der dünne Film aus Siliciumdioxid-Glas weist jedoch nahezu keine Feuchtigkeitsbeständigkeit auf.
  • Die Dicke des dünnen Films des anorganischen Glases sollte 10 bis 200 nm sein. Mit einer Dicke, die geringer ist als 100 Å (10 nm), führt der dünne Film die Schutzfunktion nicht zufriedenstellend aus. Bei einer Dicke, die größer ist als 200 nm, absorbiert der dünne Film Laserlicht und ist unwirtschaftlich.
  • Die vorliegende Erfindung wird vorteilhafterweise auf eine optische Scheibe angewendet, in der das Hochdichteinformationsaufzeichnungsmedium ein magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial aus einer amorphen Legierung aus einem Seltenerdelement und einem Übergangsmetall ist, z. B. TbFeCo. Offensichtlich ist sie auch anwendbar auf andere Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger, auf denen ein Aufzeichnungsmaterial ausgebildet ist, das empfänglich ist für das Monomer und die Feuchtigkeit in dem Kunststoffsubstrat und/oder die Feuchtigkeit aus der Luft.
  • Es ist eine Selbstverständlichkeit, daß die dünne Schutzschicht aus anorganischem Glas auf der Außenseite der Aufzeichnungsschicht oder auf der gegenüberliegenden Seite des Substrats ausgebildet werden kann, um die Aufzeichnungsschicht von der Atmosphäre zu isolieren.
  • Das zweite Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß das anorganische Glas außerdem 20 Gew.-% bis 35 Gew.-% Erdalkalimetalle enthält, bezogen auf Erdalkalimetalloxide.
  • Das Erdalkalimetalloxid ist wenigstens eines der Oxide, die aus der aus BaO, CaO, MgO, SrO und BeO bestehenden Gruppe gewählt sind. Vorzugsweise bestehen die Oxide hauptsächlich aus CaO und BaO. Am meisten bevorzugt ist das Oxid BaO.
  • Übrige Komponenten, aus denen das anorganische Glas besteht, können solche Stoffe sein, die zur Ausbildung von Glas zusammen mit Erdalkalimetallen verwendet werden. Dies können Oxide des Siliciums, Aluminiums, Bors, Bleis oder dergleichen sein, wie beispielsweise SiO&sub2;, Al&sub2;O&sub3;, B&sub2;O&sub3; und PbO. Wenn die Menge an Erdalkalimetalloxiden nicht größer ist als 20 Gew.-%, ist es wegen eines Anstiegs des Schmelzpunkts sowie eines Abfalls der Sputtering-Geschwindigkeit schwierig, das anorganische Glas herzustellen. Wenn die Menge an Oxid 35 Gew.-% überschreitet, sinken die Beständigkeit gegenüber Wasser und Säuren, so daß eine dünne Filmschicht, die aus dem resultierenden anorganischen Glas hergestellt wird, eine geringere Beständigkeit gegenüber Feuchtigkeit zeigt und folglich die am Ende entstehende optische Aufzeichnungsscheibe eine niedrigere Leistung aufweist. Tatsächlich kann die Haltbarkeit einer optischen Aufzeichnungsscheibe verbessert werden, und die Geschwindigkeit zur Ausbildung der dünnen Filmschicht des anorganischen Glases kann erhöht werden, wenn die Menge an Erdalkalimetallen auf den oben erwähnten Bereich gemäß der vorliegenden Erfindung beschränkt wird. Der Grund, warum die Haltbarkeit durch eine solche Beschränkung verbessert wird, ist noch nicht klar. Die Menge der Erdalkalimetalle hängt jedoch mit der Ausbildung der anorganischen Glasschicht zusammen, die entscheidend beeinflußt wird von dem Anstieg der Sputtering-Geschwindigkeit.
  • Das dritte Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß das anorganische Glas einen linearen Ausdehnungskoeffizienten im Bereich von 40 bis 70 · 10&supmin;&sup7;/ºC aufweist, um die BER der resultierenden Scheibe weiter zu verbessern. Wenn der Koeffizient außerhalb dieses Bereichs liegt, treten Risse in der Aufzeichnungsschicht auf, was zu einer Erniedrigung des BER-Wertes führt. Der lineare Ausdehnungskoeffizient eines anorganischen Glases kann auf jeden gewünschten Wert dadurch verändert werden, daß man die Zusammensetzung des Glases ändert.
  • Die dünne Filmschicht aus dem anorganischen Glas kann durch jede beliebige herkömmliche Technik zur physikalischen Abscheidung aus der Dampfphase hergestellt werden. Beispiele hierfür sind Sputtering-Verfahren, Abscheidungsverfahren aus der Dampfphase oder Ionenplattierungsverfahren. Theoretisch kann die dünne Filmschicht aus anorganischem Glas auf einem Kunststoffsubstrat dadurch hergestellt werden, daß man jedes beiliebige geeignete Verfahren einsetzt, so daß eine Vielzahl von Komponenten unter Vakuum aus mehr als zwei Ausgangsstoffen abgeschieden werden, woraus sich das anorganische Glas bildet, das die Mengenanteile der Alkalimetalle und/oder Erdalkalimetalle aufweist, wie sie im Anspruch definiert sind. Im Fall der Herstellung im industriellen Maßstab wird jedoch eine Ausgangssubstanz für ein anorganisches Glas einschließlich der oben genannten Erdalkalimetalle und/oder Alkalimetalle hergestellt. Diese wird physikalisch aus der Dampfphase abgeschieden.
  • Die Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die nachfolgenden Beispiele beschrieben.
    • Beispiel 1
  • Optische Scheiben wurden wie folgt hergestellt: Das Kunststoffsubstrat war ein 1,2 mm dickes Substrat aus Polymethylmethacrylat (PMMA) oder ein Substrat aus Polycarbonat (PC). Ein dünner Film aus einem anorganischen Glas wurde auf dem Substrat durch ein Sputtering-Verfahren unter Verwendung einer Radiofrequenz-(RF-)Magnetron-Sputtering- Vorrichtung (Hersteller: Nippon Shinku Gijutsu Co., Ltd.) auf dem Substrat gebildet. Die Dicke des dünnen Films betrug 50 nm. Die Zusammensetzung des anorganischen Glases ist in Tabelle 1 gezeigt.
  • Eine Aufzeichnungsschicht aus einer amorphen Legierung wurde auf dem anorganischen Glasfilm ausgebildet, wobei dieselbe Sputtering-Vorrichtung verwendet wurde, wie sie oben erwähnt wurde. Die amorphe Legierung hatte die folgende Zusammensetzung:
  • Gd0,12Tb0,12Fe0,76. Die Dicke der Aufzeichnungsschicht betrug 100 nm. Eine dünne Schutzschicht aus anorganischem Glas wurde auf der Aufzeichnungsschicht ausgebildet. Dies geschah durch ein Sputtering-Verfahren in derselben Weise, wie dies oben erwähnt wurde.
  • Das anorganische Glas hatte die oben erwähnte Zusammensetzung. Die Dicke der dünnen Schicht betrug 100 nm.
  • Die so erhaltenen optischen Scheiben wurden bewertet, indem man die Änderung des BER- Wertes und des C/N-Verhältnisses maß, das sich einstellte, nachdem die Scheiben bei 45ºC und einer relativen Feuchtigkeit von 90% 30 Tage aufbewahrt worden waren. Die Änderung des BER-Wertes wurde durch Vergleich mit dem Anfangswert (= 1) ermittelt, und die Änderung des C/N-Verhältnisses wird ausgedrückt auf der Grundlage der Verringerung (in dB) in Bezug auf den Anfangswert.
  • Tabelle 1 zeigt, daß der BER-Wert verringert werden kann, wenn die Menge an Alkalimetall (Na) auf weniger als 1 Gew.-% verringert wird, bezogen auf Alkalimetalloxid (Na&sub2;O). Tabelle 1 Probe Nr. Anteile der Glaskomponenten Material des Substrats Abfall des BER-Wertes Änderung von C/N (Abfall von C/N nach 30 Tagen)
    • Beispiel 2
  • Die Verfahrensweise aus Beispiel 1 wurde wiederholt. In diesem Fall wurde jedoch die Dicke der dünnen Filmschicht aus anorganischem Glas, das dieselben Glaskomponenten wie Probe Nr. A in Beispiel 1 aufwies, auf 25, 50, 75, 100 bzw. 200 nm auf einem Substrat aus Polycarbonatharz geändert.
  • Fig. 2 zeigt die BER-Werte der resultierenden magneto-optischen Scheibe, wenn der BER- Wert nach 30 Tagen gemessen wurde, während derer die Scheibe bei 45ºC und 90% relativer Feuchtigkeit gehalten worden war.
  • Aus Fig. 2 ist offensichtlich, daß die Dicke der dünnen Filmschicht aus anorganischem Glas vorteilhafterweise innerhalb des Bereichs von 50 bis 100 nm liegt.
    • Beispiel 3
  • Die Verfahrensweise aus Beispiel 1 wurde wiederholt. In diesem Falle wurde jedoch die Zusammensetzung des anorganischen Glases geändert. Dies ist in Tabelle 2 gezeigt.
  • Die so erhaltenen optischen Scheiben wurden dadurch bewertet, daß man die Änderung des BER-Wertes und des C/N-Verhältnisses maß, die sich einstellte, nachdem die Scheiben 30 Tage lang bei 45ºC und einer relativen Feuchtigkeit von 90% gehalten worden waren. Außerdem wurde die Abscheidungsgeschwindigkeit gemessen.
  • Die Änderung des BER-Wertes wurde ausgedrückt durch Vergleich mit dem Anfangswert (= 1). Die Änderung des C/N-Verhältnisses wurde ausgedrückt als Abfall (in dB) vom Anfangswert. Die Abscheidungsgeschwindigkeit wurde ausgedrückt durch die Sputtering- Geschwindigkeit. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 gezeigt. Tabelle 2 Probe Nr. Anteile der Glaskomponenten Material des Substrats Änderung des C/N-Wertes Anmerkung 1) BER Geschwindigkeit der Filmbildung (Anmerkung 2) Anmerkungen: (1) Änderung des C/N-Verhältnisses: Der Wert des Abfalls von C/N (dB) gegenüber dem Anfangswert nach Halten der Probe unter 45ºC bei einer relativen Luftfeuchtigkeit von 90% nach 30 Tagen (2) Geschwindigkeit der Filmbildung: Relative Sputtering-Geschwindigkeit: + = hoch; - = niedrig
  • Wie in Tabelle 2 gezeigt wurde, kann die Verwendung von alkalifreiem Glas, das die beschränkten Verhältnisse von Alkalimetallen und/oder Erdalkalimetallen aufweist, die durch die vorliegende Erfindung definiert sind, zur Herstellung von optischen Scheiben führen, die eine verbesserte Haltbarkeit und Produktivität aufweisen.
    • Beispiel 4
  • Die Verfahrensweise aus Beispiel 1 wurde wiederholt. In diesem Beispiel 4 wurde jedoch die Zusammensetzung und/oder der lineare Ausdehnungskoeffizient des anorganischen Glases geändert, wie dies in Tabelle 3 gezeigt ist. Tabelle 3 zeigt auch das Ergebnis der Auslese-Eigenschaften der Scheibe.
  • Die so erhaltenen optischen Scheiben wurden dadurch bewertet, daß man die Änderung des BER-Wertes und des C/N-Verhältnisses maß, das sich einstellte, nachdem die Scheiben 30 Tage lang bei 45ºC und einer relativen Feuchtigkeit von 90% gehalten worden waren. Die Änderung des BER-Wertes wird ausgedrückt im Vergleich zum Anfangswert (= 1). Die Änderung des C/N-Verhältnisses wird ausgedrückt in Bezug auf den Abfall (in dB) vom Anfangswert. Tabelle 3 Probe Nr. Vergleichsbeispiel Zusammensetzung des Glases Linearer Ausdehnungskoeffizient Material des Substrats Änderung des BER-Wertes Änderung des C/N-Verhältnisses
  • Aus Tabelle 3 ergibt sich, daß in den Fällen, in denen ein anorganisches Glas mit einem linearen Ausdehnungskoeffizienten im Bereich von 40 bis 70 · 10&supmin;&sup7;/ºC verwendet wurde, die resultierenden optischen Scheiben eine kleine Änderung des C/N-Verhältnisses aufwiesen. Es ist auch festzustellen, daß die optischen Scheiben hinsichtlich des BER-Wertes in den Fällen verbessert wurden, in denen das alkalifreie Glas ein Glas war, das weniger als 1 Gew.-% Alkalimetall, bezogen auf dessen Oxide, enthielt.

Claims (5)

1. Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger mit einem transparenten Kunststoffsubstrat, einer Hochdichteinformationsaufzeichnungsschicht auf dem Substrat und einer dünnen Filmschicht aus anorganischem Glas zwischen dem Substrat und der Aufzeichnungsschicht, dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Filmschicht aus anorganischem Glas aus einem Glas hergestellt ist.
(a) bei dem es sich um ein alkalifreies Glas mit einem Gehalt von weniger als 1 Gewichts-% an Alkalimetallen (auf Basis von Alkalimetalloxiden) handelt und
(b) das ferner 20 bis 35 Gewichts-% Erdalkalimetalle (auf Basis von Erdalkalimetalloxiden) enthält und
(c) einen linearen Ausdehnungskoeffizienten 40 bis 70 · 10&supmin;&sup7;/ºC besitzt.
2. Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger nach Anspruch 1, bei dem die Menge an Alkalimetallen weniger als 0,8 Gewichts-% auf Basis von Alkalimetalloxiden beträgt.
3. Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger nach Anspruch 2, bei dem das Erdalkalimetalloxid mindestens eine Verbindung aus der BaO, CaO, MgO, SrO und BeO umfassenden Gruppe ist.
4. Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Hochdichteinformationsaufzeichnungsschicht aus einem magneto-optischen Aufzeichnungsmaterial hergestellt ist.
5. Hochdichteinformationsaufzeichnungsträger nach Anspruch 4, bei dem das magneto-optische Aufzeichnungsmaterial eine amorphe Legierung aus Seltenerdeelementen und Übergangsmetallen ist.
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