DE3671940D1 - Verfahren und vorrichtung zum regenerieren einer kryopumpe. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum regenerieren einer kryopumpe.

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DE3671940D1
DE3671940D1 DE8686902122T DE3671940T DE3671940D1 DE 3671940 D1 DE3671940 D1 DE 3671940D1 DE 8686902122 T DE8686902122 T DE 8686902122T DE 3671940 T DE3671940 T DE 3671940T DE 3671940 D1 DE3671940 D1 DE 3671940D1
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cryopum
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R Andeen
C Pandorf
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
    • F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
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US70746785A 1985-03-01 1985-03-01
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EP0214277B1 (de) 1990-06-13
EP0214277A1 (de) 1987-03-18
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