DE3629407A1 - Kontaktiervorrichtung in form einer sogenannten nadelkarte fuer zu pruefende hochpolige bauelemente der mikroelektronik - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Kontaktiervorrich­ tung für zu prüfende hochpolige Bauelemente der Mikro­ elektronik, insbesondere hochintegrierte Schaltkreise, in Form einer sogenannten Nadelkarte mit einer der An­ zahl der Kontakte des zur prüfenden Bauelements entspre­ chenden Anzahl von Kontaktiernadeln.

Moderne Bauelemente der Mikroelektronik, wie z.B. hoch­ integrierte Schaltungen als Chip auf einer Silizium­ scheibe, müssen in Prüfeinrichtungen so kontaktiert wer­ den, daß die Kontaktiervorrichtung selbst möglichst nur geringe elektrische Störgrößen (wie z.B. Serienindukti­ vitäten, Erdkapazitäten und elektromagnetische Kopplun­ gen, sowie ohmsche Kontaktwiderstände) erzeugt. Nur dann können die elektrischen Eigenschaften des Bauteils ein­ wandfrei gemessen werden. Fehlerfreie Messungen an Sub­ nanosekundenschaltkreisen und -Chips sind aber aus fol­ genden Gründen mit herkömmlichen Kontaktiervorrichtungen nur schwer oder gar nicht durchzuführen: Die hochinte­ grierten Bauelemente erhalten zunehmend immer feinere Kontaktteilungen. Eine Kontaktierung durch die bisher übliche Ausgestaltung und Abmessung von Einzelfedern hat somit konstruktive Grenzen und erzeugt elektrische Stö­ rungen. Eine Kontaktierung durch Verwendung von flexib­ len gedruckten Schaltungen in Verbindung mit einem ela­ stischen Andruckkissen führt nicht unbedingt zu gleich­ mäßigen Kontaktkräften für alle Kontakte. Sie stößt aber auch noch aus einem anderen Grunde auf Schwierigkeiten. Wenn die Zahl der Kontakte des zu prüfenden Bauelementes so groß ist, daß sie nicht mehr alle in einer einzigen Reihe am Rande des Bauelementes angeordnet werden kön­ nen, ist es bislang nicht möglich, flexible gedruckte Schaltungen einzusetzen, die mit den in mehreren Reihen hintereinander angeordneten Kontaktflecken der Bauele­ mente kontaktiert werden könnten. Die Chipkontaktierung auf Scheiben erfolgt deshalb heute noch mit Abtastna­ deln.

Für die Ausbildung solcher Kontaktiervorrichtungen mit Abtastnadeln, die in einer der Anzahl der Kontakte des zu prüfenden Bauelements entsprechenden Anzahl in einer sogenannten Nadelkarte angeordnet sind, sind eine Reihe von Lösungen bekannt geworden. So ist es z.B. bekannt, vom Rande der inneren Öffnung der Nadelkarte weg schräg nach unten frei wegragende Kontaktiernadeln vorzusehen, die jeweils mit einem nach unten weggebogenen freien En­ de auf den jeweiligen Kontaktflecken des Bauelementes drücken. Die Herstellung derartiger Kontaktvorrichtung ist bei Kontaktiervorrichtung für die Prüfung sehr hoch­ poliger Bauelemente wegen der geringen Abstände der Kon­ taktflecken der Bauelemente und ihrer somit extrem ge­ ringen Abmessungen äußerst schwierig.

Es ist daher auch schon vorgeschlagen worden, die der Kontaktierung dienenden Enden der Kontaktnadeln in Füh­ rungslöchern einer Platte zu führen, die über dem zu prüfenden Bauelement angeordnet wird. Die Nadeln ragen von dieser Platte nach oben hin leicht gebogen weg und sind an ihrem Ende in einen gemeinsamen Block eingebet­ tet. Durch die leichte Durchbiegung der Nadeln können diese beim Andruck auf das jeweils zu prüfende Bauele­ ment etwas seitlich ausweichen und damit einen federnden Andruck ermöglichen. Der Nachteil dieser Anordnung ist, daß die Kontaktierungsnadeln nicht in Richtung der Na­ delkarte sondern senkrecht zu ihr nach oben wegführen und damit wegen ihrer Länge und Lage große elektrische Störgrößen erzeugen. Ferner ist ein Auswechseln einzel­ ner Nadeln im Fall ihrer Beschädigung bei dieser Kontak­ tiervorrichtung überhaupt nicht möglich.

Es ist auch schon vorgeschlagen worden, die einzelnen Kontaktiernadeln in dünnen Röhrchen zu führen, die alle miteinander in einem sogenannten Kontaktblock eingegos­ sen sind und damit ihre Abstände sicher halten. Der Nachteil dieser Kontaktiervorrichtungen ist, daß der Querschnitt der Nadeln bei sehr geringem Abstand der Kontakte des zu prüfenden Bauelementes stark verringert werden muß, da sie ja auch noch in den Führungsröhrchen geführt sind. Ferner ist die Kontaktgabe zwischen Nadel und Führungsrohr unsicher. Da alle Führungsröhrchen in dem Kontaktblock vergossen sind, ist zwar das Auswech­ seln einzelner Nadeln, nicht aber das Auswechseln be­ schädigter Führungsröhrchen möglich.

Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, eine Kon­ taktiervorrichtung der eingangs genannten Art zu schaf­ fen, die aber im Gegensatz zu den bekannten Kontaktier­ vorrichtungen keine großen elektrischen Störgrößen er­ zeugt, mit hoher Präzision und weitgehend mechanisiert hergestellt werden kann, und bei der einzelne Kontak­ tiernadeln oder Gruppen von Nadeln jederzeit ausgewech­ selt werden können.

Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß die Kon­ taktiernadeln U-förmig ausgestaltet und so angeordnet sind, daß jeweils der eine der beiden Schenkel der Na­ deln durch ein engtoleriertes Führungsloch in der Nadel­ karte senkrecht nach unten ragt und seine Spitze federnd auf den Kontaktfleck des zu prüfenden Bauelements drückt, daß der jeweils andere Schenkel der Nadeln mit den Zuleitungen zur Prüfeinrichtung verbunden ist und daß der die beiden Schenkel verbindende Teil der Nadeln geradlinig ausgestaltet und in engem Abstand parallel zu der Nadelkarte angeordnet ist.

Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und der nachfolgenden Beschreibung eines vorteilhaften Ausführungsbeispiels derselben anhand der Fig. 1, 2 und 3, wobei

Fig. 1 in schematischer Darstellung die erfindungsgemäße Kontaktiervorrichtung,

Fig. 2 eine etwas andere Art der Verbindung der einen En­ den der Kontaktiernadeln mit den Zuleitungen zur Prüf­ einrichtung und

Fig. 3 den Sockel zur Lagerung der Kontaktiernadeln zeigt.

Fig. 1 zeigt in schematischer und teilweise geschnittener Darstellung einen Teil einer erfindungsgemäßen Kontak­ tiervorrichtung, bestehend aus einer Nadelkarte 1, einer Kontaktiernadel 2 und einem auf der Oberseite der Nadel­ karte 1 angebrachten Sockel 10. Wie aus der Fig. 1 er­ sichtlich, ist die Kotnaktiernadel 2 U-förmig ausgestal­ tet und so angeordnet, daß der eine Schenkel der Nadel 2, nämlich der Schenkel 3 durch ein engtoleriertes Füh­ rungsloch 4 in der Nadelkarte 1 senkrecht nach unten ragt und mit seiner Spitze federnd auf den Kontaktfleck 5 des zu prüfenden Bauelementes 6 drückt. Der andere Schenkel 7 der Nadel 2 ist mit der zugeordneten Zulei­ tung 8 zur Prüfungseinrichtung verbunden. Im Falle des Beispiels von Fig. 1 ist der Schenkel 7 in eine durchkon­ taktierte Bohrung 15 in der Nadelkarte 1 eingelötet. Wie in Fig. 2 dargestellt, ist es aber auch möglich, den Schenkel 7 der Nadel 2 abzubiegen und unmittelbar mit der Zuleitung 8 zur Prüfungseinrichtung zu verbinden.

Wie aus Fig. 1 weiter ersichtlich ist, ist der die beiden Schenkel 3 und 7 der Nadel 2 verbindende Teil 9 geradli­ nig ausgestaltet und in engem Abstand, z.B. parallel zu Nadelkarte 1 angeordnet. Dies hat den großen Vorteil, daß sich alle Teile der Nadel 2 in unmittelbarer Nähe der Nadelkarte 1 befinden, kurz sind und die Zuleitung 8 von der Nadel 2 zur Prüfeinrichtung im wesentlichen in der Ebene der Nadelkarte 1 liegen kann.

Aus Fig. 1 und insbesondere aus Fig. 3 ist ersichtlich, daß bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel die die Schenkel verbindenden Teile 9 aller Nadeln 2 in einem auf der Oberseite der Nadelkarte 1 angebrachten Sockel 10 gelagert sind. Besonders vorteilhaft ist es, diesen Sockel 10 zweiteilig auszubilden, wobei mindestens der Unterteil 11 mit Kerben 12 versehen ist, in denen die die Schenkel verbindenden Teile 9 der Nadeln gelagert und festgehalten werden. Eine besonders sichere Halte­ rung und Lagerung dieser Teile der Nadeln 2 erhält man, wenn entsprechende Kerben 14 auch in dem Oberteil 13 des Sockels vorgesehen werden.

Durch Anordnen z.B. eines Klotzes 16 unter den Nadeln 2 können die in dem Sockel 10 gehalterten Nadeln 2 vorge­ spannt werden.

Durch die Lagerung der Nadeln 2 in einem derart ausge­ stalteten Sockel 10 ist es möglich, bei Beschädigung einzelner Nadeln oder Gruppen von Nadeln diese durch Ab­ heben des entsprechenden Oberteils 13 des Sockels zu ent­ fernen und durch neue Nadeln zu ersetzen.

Ferner ist es durch die Ausgestaltung und Anordnung der einzelnen Teile der erfindungsgemäßen Kontaktiervorrich­ tung möglich, alle Teile hochpräzise und weitgehend me­ chanisiert herzustellen und durch einfaches Einlegen der Nadeln in die Kerben 12 bzw. 14 des Sockels 10 einfach, schnell und präzise zu justieren. Außerdem ist die er­ findungsgemäße Kontaktiervorrichtung wegen des wesent­ lich geringeren Zeitaufwandes bei der Herstellung und Reparatur wesentlich kostengünstiger.

Claims (3)

1. Kontaktiervorrichtung für zu prüfende hochpolige Bau­ elemente der Mikroelektronik, insbesondere hochinte­ grierte Schaltkreise, in Form einer sogenannten Nadel­ karte mit einer der Anzahl der Kontakte des zu prüfenden Bauelements entsprechenden Anzahl von Kontaktiernadeln, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktiernadeln (2) U-förmig ausgestaltet und so ange­ ordnet sind, daß jeweils der eine (3) der beiden Schen­ kel der Nadeln (2) durch ein engtoleriertes Führungsloch (4) in der Nadelkarte (1) senkrecht nach unten ragt und seine Spitze federnd auf den Kontaktfleck (5) des zu prüfenden Bauelements (6) drückt, daß der jeweils andere Schenkel (7) der Nadeln (2) mit den Zuleitungen (8) zur Prüfeinrichtung verbunden ist und daß der die beiden Schenkel verbindende Teil (9) der Nadeln (2) geradlinig ausgestaltet und in engem Abstand zu der Nadelkarte (1) angeordnet ist.

2. Kontaktiervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die die Schenkel verbindenden Teile (9) der Nadeln (2) in einem auf der Oberseite der Nadelkarte (1) angebrachten Sockel (10) gelagert sind.

3. Kontaktierungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Sockel (10) aus einem auf der Nadelkarte (1) fest angeordnetem, mit Kerben (12) versehenen Unterteil (11) und mindestens einem der Abdeckung dienenden, vorzugs­ weise mit entsprechend angeordneten Kerben (14) versehe­ nen Oberteil (13) besteht.