DE3623112C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Spindel-Mutter-Vor­ schubvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentan­ spruchs 1.The invention relates to a spindle-nut-before thrust device according to the preamble of the patent saying 1.

Eine derartige Spindel-Mutter-Vorschubvorrichtung, die in der DD-PS 2 14 324 gezeigt ist, weist eine drehbar gelager­ te Schraubspindel auf, die mit einer Mutter über ein Gewinde im Eingriff steht. Die Mutter ist unter Zwischen­ schaltung einer Ausgleichsbuchse mit einem verfahrbaren Tisch verbunden, so daß bei einer Drehung der Schraubspin­ del die Mutter zusammen mit dem Tisch axial verschoben wird. Um Zwängungen infolge von Montageungenauigkeiten zu vermeiden, ist es notwendig, daß die Ausgleichsbuchse in radialer Richtung verformungsweich ist, so daß die Mutter in radialer Richtung nachgiebig bzw. schwimmend am Tisch gelagert ist. Gleichzeitig muß die Ausgleichsbuchse zur Erzielung einer präzisen Vorschubbewegung des Tisches in axialer Richtung verformungssteif und in Umfangsrichtung torsionssteif sein. Es ist zwar theoretisch möglich, eine derartige Ausgleichsbuchse zu konzipieren, wenn man die sogenannte Theorie I. Ordnung (Rechnung am idealen, unver­ formten System) zugrundelegt. Bereits bei der Konstruktion einer derartigen Ausgleichbuchse nach der wesentlich praxisnäheren Theorie II. Ordnung (Rechnung am verformten System) erkennt man, daß die axiale Druck- bzw. Zugstei­ figkeit und die radiale Steifigkeit nicht voneinander unabhängig sind. Bei einer geringen radialen Steifigkeit würde beispielsweise das Aufbringen einer Druckkraft trotz einer hohen axialen Steifigkeit zu einem sofortigen radia­ len Ausknicken der Ausgleichsbuchse führen, wodurch sie für den vorgesehenen Anwendungsfall technisch unbrauchbar wäre. Es ist deshalb in der Praxis notwendig, für die axiale und die radiale Steifigkeit jeweils einen geeigne­ ten Wert zu finden, so daß eine relativ große radiale Verformbarkeit und eine relativ geringe axiale Verformbar­ keit erzielt werden kann. Es wurde allerdings festge­ stellt, daß eine Ausgleichsbuchse mit derartigen Steifig­ keitswerten nicht gleichzeitig den hohe Anforderungen an eine präzise Führung des Tisches in axialer Richtung und an eine in hohem Maße nachgiebige Lagerung der Mutter genügt.Such a spindle-nut feed device, which in the DD-PS 2 14 324 is shown has a rotatable bearing te screw spindle with a nut over one Thread is engaged. The mother is in between circuit of a compensating bush with a movable Table connected so that when turning the screw del the nut moved axially together with the table becomes. To constraints due to assembly inaccuracies avoid it is necessary that the compensating bush in radial direction is soft, so that the nut Compliant in the radial direction or floating on the table is stored. At the same time, the compensating bush must Achieving a precise feed movement of the table in  axially rigid and circumferentially be torsionally rigid. It is theoretically possible to have one to design such a compensating bush, if one the So-called first-order theory (calculation at the ideal, shaped system). Already with the construction such a compensating bushing after the essential practical theory of the second order (calculation on the deformed System) you can see that the axial compression or tension and radial rigidity do not differ from one another are independent. With a low radial rigidity would, for example, apply a pressure force despite a high axial rigidity to an instant radia len bend the compensating bushing, causing them technically unusable for the intended application would. It is therefore necessary in practice for that axial and radial stiffness are suitable to find ten value, so that a relatively large radial Deformability and a relatively low axial deformability speed can be achieved. However, it was fixed provides that a compensating bush with such stiffness values do not simultaneously meet the high requirements precise guidance of the table in the axial direction and of a highly compliant bearing of the mother enough.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Spindel- Mutter-Vorschubvorrichtung zu schaffen, bei der die Aus­ gleichsvorrichtung sowohl eine präzise Führung des Tisches als auch eine in hohem Maße nachgiebige Lagerung der Mutter gewährleistet.The invention has for its object to provide a generic spindle To create mother feed device, in which the off same device both precise guidance of the table as well as a highly compliant storage of the Mother guaranteed.

Diese Aufgabe wird in Verbindung mit den Oberbegriffsmerkmalen erfindungsgemäß durch die Merkmale im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 gelöst.This object is achieved in connection with the generic features by the features in characterizing part of claim 1 solved.

Erfindungsgemäß sind die nachgiebige Lagerung der Mutter­ vorrichtung und die Übertragung der axialen Vorschubkraft funktional vollständig voneinander getrennt und werden von unterschiedlichen Bauteilen wahrgenommen, so daß diese für die jeweilige Funktion optimiert sein können. Zur nachgie­ bigen Lagerung der Muttervorrichtung dient das zylindri­ sche Tragelement, das in bekannter Weise in radialer Richtung verformungsweich ist. Da das Tragelement erfin­ dungsgemäß nicht der Übertragung der axialen Vorschubkräf­ te dient, ist es darüber hinaus auch in axialer Richtung verformungsweich ausgebildet. Durch diese sowohl radiale als auch axiale Verformungsweichheit des Tragelementes kann dieses die Muttervorrichtung in optimaler Weise schwimmend lagern. Die Übertragung der axialen Vorschub­ kräfte von der Muttervorrichtung auf den Tisch erfolgt über zwei Schubstangen, die im wesentlichen parallel zur Vorschubspindel verlaufen. Die Schubstangen sind ausrei­ chend verformungssteif, um eine sehr präzise Bewegungs­ übertragung von der Muttervorrichtung auf den Tisch zu gewährleisten, und behindern - bedingt durch ihre geometri­ sche Formgebung als langgestrecktes Bauteil - die schwimmen­ de Lagerung des Tragelementes darüber hinaus nicht bzw. in kaum feststellbarem Maße. Auf diese Weise ist eine Aus­ gleichseinrichtung für die Spindel-Mutter-Vorschubvorrich­ tung geschaffen, die sowohl eine präzise Führung des Ti­ sches als auch eine nachgiebige Lagerung der Mutter ge­ währleistet.According to the invention, the flexible storage of the mother device and the transmission of the axial feed force  functionally completely separated from each other and are by perceived different components, so that these for the respective function can be optimized. For the nachgie The storage of the mother device is used for the cylinder cal support element, which in a known manner in radial Direction is soft. Since the support element invented In accordance with the transfer of the axial feed force te serves, it is also in the axial direction designed to be soft in deformation. Through this both radial as well as axial softness of deformation of the support element can this the mother device in an optimal way store floating. The transmission of the axial feed forces from the mother device to the table via two push rods that are essentially parallel to the Feed spindle run. The push rods are enough Deformation-resistant to a very precise movement transmission from the mother device to the table guarantee and hinder - due to their geometry form as an elongated component - they float de storage of the support element beyond or not barely noticeable dimensions. In this way it is an end same device for the spindle-nut feed device tion created that both precise guidance of the Ti as well as a flexible storage of the mother ge ensures.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Spin­ del-Mutter-Vorschubvorrichtung sind Gegenstand der Unter­ ansprüche 2 bis 5. Advantageous embodiments of the spin according to the invention del nut feeder are the subject of the sub claims 2 to 5.  

Einzelheiten der Erfindung werden aus der folgenden ausführlichen Beschreibung einiger bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezug­ nahme auf die Zeichnung er­ sichtlich. Es zeigtDetails of the invention will be apparent from the following detailed description some preferred embodiments with reference I took the drawing visibly. It shows

Fig. 1 einen Aufriß einer Spindel-Mutter-Vorschubvorrich­ tung einer Schleifmaschine, Fig. 1 is an elevational view of a spindle-nut Vorschubvorrich tung a grinding machine,

Fig. 2 eine Seitenansicht der Spindel-Mutter-Vorschubvorrich­ tung in Richtung des Pfeils II in Fig. 1, Fig. 2 is a side view of the spindle-nut Vorschubvorrich tung in the direction of arrow II in Fig. 1,

Fig. 3 einen Schnitt entlang der Linie III-III in Fig. 1, Fig. 3 is a section along the line III-III in Fig. 1,

Fig. 4 einen teilweise gebro­ chen dargestellten Aufriß eines anderen Ausführungsbeispiels und Fig. 4 is a partially broken Chen shown elevation of another embodiment and

Fig. 5 einen teilweise gebro­ chen dargestellten Aufriß eines weiteren Ausführungsbeispiels. Fig. 5 is a partially broken Chen shown elevation of another embodiment.

In den Fig. 1 und 2 ist ein Führungssockel bzw. -bett 10 einer Schleif­ maschine dargestellt, in dem eine eine V-Nut aufwei­ sende Gleitbahn 10 a und eine ebene Gleitbahn 10 b parallel zueinander ausgebildet sind, auf denen ein bewegbarer Tisch 11 verschiebbar gelagert ist. Die Schleifmaschine ist mit einer Vorschub­ spindel 12 versehen, die um eine parallel zu den Gleitbahnen 10 a und 10 b verlaufenden Achse drehbar an dem Führungssockel 10 befestigt und an ihrem einen Ende mit einem Servomotor M in der üblichen Weise an­ triebsmäßig verbunden ist. Der bewegbare Tisch 11 weist eine Befestigungs- bzw. Verbindungsplatte 13 auf, die an seiner unteren Oberfläche befestigt ist. Eine Kugel­ muttervorrichtung 15 ist mit der Vorschubspindel 12 über nicht dargestellte Kugeln gewindemäßig ver­ bunden und an der Befestigungsplatte 13 schwimmend gelagert, wodurch die Kugelmuttervorrichtung radial zur Vorschubspindel 12 bewegbar ist.In Figs. 1 and 2 is a guide base 10 -bed or a grinding machine shown in which a a V-groove aufwei send a slideway 10 and a flat slideway 10 b are formed in parallel to each other, on which a movable table 11 movable is stored. The grinding machine is provided with a feed spindle 12 which is rotatably attached to the guide base 10 about an axis parallel to the slideways 10 a and 10 b and is connected at its one end with a servo motor M in the usual manner to the drive. The movable table 11 has an attachment plate 13 attached to its lower surface. A ball nut device 15 is threadedly connected to the feed screw 12 via balls not shown and connected to the mounting plate 13 floating, whereby the ball nut device is radially movable to the feed screw 12 .

Im folgenden wird eine Ausgleichseinrichtung ausführlich beschrieben, die die Kugelmuttervorrichtung 15 rela­ tiv zu der Befestigungsplatte 13 schwimmend lagert. Die Ausgleichseinrichtung weist ein zylindrisches Tragelement 20 auf, das koaxial zu der Vorschub­ spindel 12 angeordnet ist. Das Tragelement 20 weist einen Endabschnitt 20 A, der an der Befe­ stigungsplatte 13 angebracht ist, einen weiteren End­ abschnitt 20 B, der an einem einem Flansch 15 a aufweisenden Ende der Kugelmuttervorrichtung 15 befestigt ist, und einen Mittelabschnitt 20 C auf, der zwischen den beiden Endabschnitten 20 A und 20 B angeordnet und mit diesen über ein Paar axial beabstandeter flexibler Abschnitte 21 und 22 verbunden ist. Die flexiblen Abschnitte 21 und 22 des Tragelements 20 weisen jeweils die Form einer ringförmigen Platte geringer Dicke auf, die senkrecht zur Rotationsachse der Vorschubspindel 12 angeordnet ist. Der gemäß Fig. 1 linksseitige flexible Abschnitt 21 des Tragelementes 20 ist zwischen einem Paar diame­ tral angeordneter Schlitze 23 und einem Paar diametral angeordneter Schlitze 24 ausgebildet, die von den Schlitzen 23 in Axial­ richtung einen geringen Abstand aufweisen und in Quer­ richtung zu diesen angeordnet sind. In ähnlicher Weise ist der gemäß Fig. 1 rechtsseitige flexible Ab­ schnitt 22 des Tragelements 20 zwischen einem Paar diametral angeordneter Schlitze 25 und einem Paar diametral angeordneter Schlitze 26 ausgebildet, die von den Schlitzen 25 in Axialrichtung einen geringen Abstand aufweisen und in Querrichtung zu diesen angeordnet sind.In the following a compensation device will be described in detail, the ball nut device 15 rela tively to the mounting plate 13 floating. The compensation device has a cylindrical support element 20 which is arranged coaxially to the feed spindle 12 . The support member 20 has an end portion 20 A, the stigungsplatte at the BEFE 13 is attached, a further end section 20 B, which is a end having the ball nut device 15 attached to a a flange 15, and a central portion 20 C, the between the both end portions 20 A and 20 B arranged and connected to them via a pair of axially spaced flexible portions 21 and 22 . The flexible sections 21 and 22 of the support element 20 each have the shape of an annular plate of small thickness, which is arranged perpendicular to the axis of rotation of the feed spindle 12 . The 1 left-sided flexible portion 21 as shown in FIG. Of the support member 20 is between a pair Diame tral disposed slots 23 and a pair of diametrically disposed slots 24 formed, the direction of the slots 23 in the axial have a small distance and direction in the cross are arranged on these . In a similar manner, the right-hand flexible section 22 of FIG. 1 of the support element 20 is formed between a pair of diametrically arranged slots 25 and a pair of diametrically arranged slots 26 , which have a small distance from the slots 25 in the axial direction and are arranged in the transverse direction thereof are.

Auf diese Weise ist der linksseitige flexible Abschnitt 21 des Tragelementes 20 mittels eines Paares von diametral angeordneten Rippen bzw. Stegen 21 a einstückig mit dessen Mittel­ abschnitt 20 C und mittels eines Paares von diametral angeordneten Rippen 21 b, die in Querrichtung zu den Rippen 21 a angeordnet sind, mit dessen linksseitigem Endabschnitt 20 A verbunden. Entsprechend ist der rechts­ seitige flexible Abschnitt 22 des Tragelementes 20 mittels eines Paares von diametral angeordne­ ten Rippen 22 a einstückig mit dessen rechtsseitigem Endabschnitt 20 B und mit­ tels eines Paares von diametral ange­ ordneten Rippen 22 b, die in Querrichtung zu den Rippen 22 a angeordnet sind, mit dem Mittelabschnitt 20 C verbunden.In this way, the left-hand flexible portion 21 of the support member 20 by means of a pair of diametrically arranged ribs or webs 21 a in one piece with its central portion 20 C and by means of a pair of diametrically arranged ribs 21 b , which in the transverse direction to the ribs 21 a are arranged, connected to the left-hand end portion 20 A. Accordingly, the right-hand flexible portion 22 of the support member 20 by means of a pair of diametrically arranged ribs 22 a in one piece with its right-hand end portion 20 B and by means of a pair of diametrically arranged ribs 22 b , which are arranged in the transverse direction to the ribs 22 a are connected to the central portion 20 C.

In der vorstehend beschriebenen Anordnung ist der Mittelab­ schnitt 20 C des Tragelementes 20 somit durch die axial aus­ einanderliegenden flexiblen Abschnitte 21 und 22 schwimmend bzw. federnd gelagert, um eine Ungenauigkeit bzw. einen Feh­ ler in der Zentrierung der Kugelmuttervorrichtung 15 relativ zu der Vorschubspindel 12 auszugleichen. Des weiteren weisen die flexiblen Abschnitte 21 und 22 jeweils eine ausreichend hohe Torsionsfestigkeit auf, um eine Drehung der Kugelmuttervorrichtung 15 zu beschränken. Die Kugelmuttervorrichtung 15 ist mit­ tels des Tragelementes 20 derart schwimmend gelagert, daß sie radial zur Achse der Vor­ schubspindel 12 bewegbar ist, ohne daß dies zu einer Eigendrehung führt.In the arrangement described above, the section 20 C of the support element 20 is thus floating or resiliently supported by the axially spaced flexible sections 21 and 22 in order to avoid an inaccuracy or an error in the centering of the ball nut device 15 relative to the feed spindle 12 balance. Furthermore, the flexible sections 21 and 22 each have a sufficiently high torsional strength to restrict rotation of the ball nut device 15 . The ball nut device 15 is so floating with means of the support member 20 that it can be moved radially to the axis of the feed screw 12 before, without this leading to its own rotation.

Um auf den bewegbaren Tisch 11 die von der Kugelmuttervorrichtung 15 ausgehenden Vorschubkräfte zuverlässig aufbringen zu können, sind zwei Schutzstangen 30 paral­ lel zu der Achse der Vorschubspindel 12 angeord­ net und jeweils an ihrem einen Ende mittels einer Halteklammer 31, die an der Befestigungsplatte 13 angebracht ist, sowie an ihrem jeweils anderen Ende an dem Flansch 15 a der Kugelmuttervorrichtung 15 befestigt. Die Schubstangen 30 sind jeweils mit einem Paar axial beabstandeter ringförmiger Nuten 32 und 33 ausgebildet, die die Flexibilität der Schubstangen 30 erhöhen, wodurch eine nachgiebige Lagerung der Kugelmuttervorrichtung 15 radial zur Achse der Vorschubspindel 12 möglich ist.In order to be able to apply to the movable table 11 emanating from the ball nut device 15 feed forces reliable, two protective rods 30 are paral net lel to the axis of the feed screw 12 angeord and in each case at their one end by means of a retaining clip 31 which is attached to the mounting plate 13 , and attached at their respective other ends to the flange 15 a of the ball nut device 15 . The push rods 30 are each formed with a pair of axially spaced annular grooves 32 and 33 , which increase the flexibility of the push rods 30 , whereby a resilient mounting of the ball nut device 15 is possible radially to the axis of the feed spindle 12 .

Wie aus der vorstehenden Beschreibung hervorgeht, bewirkt das Tragelement 20, daß die Eigendrehung der Kugel­ muttervorrichtung 15 begrenzt ist, und die Schubstangen 30 bewirken, daß die Vorschubkräfte der Kugelmuttervor­ richtung 15 unabhängig von dem Tragelement 20 auf den bewegbaren Tisch 11 aufgebracht werden. As is apparent from the above description, the support member 20 causes the intrinsic rotation of the ball nut device 15 is limited, and the push rods 30 cause the feed forces of the Kugelmuttervor device 15 are applied independently of the support member 20 on the movable table 11 .

In Fig. 4 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Tragelements 40 dargestellt, das in Form einer Membran- bzw. Diaphragma-Kupplung ausgebildet ist. Das Tragelement 40 weist eine erste Membran 41 auf, die über einen Endabschnitt 42 in Form einer Halteplatte an der Befestigungsplatte 13 und an ihrer gegenüberliegenden Seite an einem Ende eines Mittelabschnitts 43 angebracht ist, der die Form einer Hülse aufweist, die koaxial zu der Vorschubspindel 12 verläuft. Das Tragelement 40 weist des weiteren eine zweite Membran 44 auf, die über einem Endabschnitt 45 in Form einer Halteplatte an dem Flansch 15 a der Kugelmuttervorrich­ tung 1 an ihrer gegenüberliegenden Seite an dem anderen Ende des Mittelabschnitts 43 angeordnet ist. Bei Betrieb können sich die axial auseinanderliegenden Membranen 41 und 44 federnd verformen, so daß ein Fehler bei der Zentrie­ rung der Kugelmuttervorrichtung 15 relativ zu der Vor­ schubspindel 12 ausgeglichen und die Eigendrehung der Kugelmuttervorrichtung 15 beschränkt werden kann.In FIG. 4 a further embodiment of a support member 40 is shown which is designed in the form of a membrane or diaphragm coupling. The support element 40 has a first membrane 41 , which is attached via an end section 42 in the form of a holding plate to the fastening plate 13 and on its opposite side to an end of a middle section 43 which has the form of a sleeve which is coaxial with the feed spindle 12 runs. The support member 40 further has a second membrane 44 which is arranged on an end portion 45 in the form of a holding plate on the flange 15 a of the Kugelmuttervorrich device 1 on its opposite side at the other end of the central portion 43 . In operation, the axially spaced membranes 41 and 44 can deform resiliently, so that an error in the centering tion of the ball nut device 15 relative to the feed screw 12 is compensated for and the intrinsic rotation of the ball nut device 15 can be limited.

Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel des Tragelementes 20 in Form eines metal­ lischen Balgs 50. Der metallische Balg 50 weist einen flexiblen Bereich 51 mit wellenförmigem Querschnitt auf, der an seinem gemäß Fig. 5 linksseitigen Ende an der Befestigungsplatte 13 und an seinem rechtsseitigen Ende an dem Flansch 15 a der Kugelmuttervorrichtung 15 befestigt ist. Bei dieser Anordnung weist der metal­ lische Balg 50 eine ausreichend hohe Torsionssteifig­ keit auf, um die Drehung der Kugelmuttervorrichtung 15 zu beschränken, und dient zur schwimmenden Lagerung der Kugelmuttervorrichtung 15 radial zur Achse der Vorschubspindel 12. Fig. 5 shows another embodiment of the support member 20 in the form of a metallic bellows 50th The metallic bellows 50 has a flexible region 51 with a wavy cross section, which is fastened at its left-hand end according to FIG. 5 to the mounting plate 13 and at its right-hand end to the flange 15 a of the ball nut device 15 . In this arrangement, the metallic bellows 50 has a sufficiently high torsional stiffness to limit the rotation of the ball nut device 15 , and is used for floating mounting of the ball nut device 15 radially to the axis of the feed spindle 12th

Claims (5)

1. Spindel-Mutter-Verbindungsvorrichtung mit
einer drehbar gelagerten Vorschubspindel,
einer mit der Vorschubspindel im Eingriff stehenden Kugel­ muttervorrichtung, die an einem verschiebbaren Tisch gela­ gert ist und infolge einer Drehung der Vorschubspindel entlang dieser axial verschiebbar ist, und mit
einer Ausgleichseinrichtung, die dem Tisch und der Kugel­ muttervorrichtung zwischengeschaltet ist und die eine axiale Verschiebung der Kugelmuttervorrichtung auf den Tisch überträgt, eine bezüglich der Vorschubspindel ra­ diale Bewegung der Kugelmuttervorrichtung aufnimmt sowie die Kugelmuttervorrichtung drehfest hält,
wobei die Ausgleichseinrichtung ein im wesentlichen ko­ axial vor Vorschubspindel angeordnetes, zylinderförmiges Tragelement umfaßt, das bezüglich seiner Längsachse tor­ sionssteif und in radialer Richtung verformungsweich ist,
dadurch gekennzeichnet, daß das Tragelement (20; 40; 50) in axialer Richtung verformungsweich ist und daß die Aus­ gleichseinrichtung des weiteren zwei Schubstangen (30) umfaßt, die sich zwischen der Kugelmuttervorrichtung (15) und dem Tisch (11) im wesentlichen parallel zur Vorschub­ spindel (12) erstrecken.1. Spindle-nut connection device with
a rotatably mounted feed spindle,
one with the feed screw engaged ball nut device, which is gela on a sliding table and is axially displaceable as a result of rotation of the feed screw, and with
a compensating device which is interposed between the table and the ball nut device and which transmits an axial displacement of the ball nut device onto the table, receives a radial movement of the ball nut device with respect to the feed spindle and holds the ball nut device in a rotationally fixed manner,
wherein the compensating device comprises a substantially co-axially arranged in front of the feed spindle, cylindrical support element which is torsionally rigid with respect to its longitudinal axis and deformable in the radial direction,
characterized in that the support element ( 20; 40; 50 ) is deformable in the axial direction and that the equalizing device further comprises two push rods ( 30 ) which are between the ball nut device ( 15 ) and the table ( 11 ) substantially parallel to Extend feed screw ( 12 ). 2. Spindel-Mutter-Vorschubvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragelement (20) zwei Endabschnitte (20 A, 20 B), über die es an dem Tisch (11) bzw. an einem Ende der Kugelmuttervorrichtung (15) ange­ bracht ist, sowie einen Mittelabschnitt (20 C) aufweist, der zwischen den Endabschnitten (20 A, 20 B) angeordnet ist und mit diesen jeweils über ein Paar axial beabstandeter flexibler Abschnitte (21, 22) verbunden ist.2. Spindle nut feed device according to claim 1, characterized in that the support element ( 20 ) has two end sections ( 20 A , 20 B) , via which it is on the table ( 11 ) or at one end of the ball nut device ( 15 ) is brought, and has a central section ( 20 C) , which is arranged between the end sections ( 20 A , 20 B) and is connected to these in each case via a pair of axially spaced flexible sections ( 21, 22 ). 3. Spindel-Mutter-Vorschubvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragelement (40) zwei Endabschnitte (42, 45), über die es an dem Tisch (11) bzw. an einem Ende der Kugelmuttervorrichtung (15) angebracht ist, sowie einen Mittelabschnitt (43) aufweist, der zwi­ schen den Endabschnitten (42, 45) angeordnet ist und mit diesen über jeweils eine Membran (41 bzw. 44) verbunden ist.3. Spindle nut feed device according to claim 1, characterized in that the support element ( 40 ) has two end sections ( 42, 45 ) via which it is attached to the table ( 11 ) or at one end of the ball nut device ( 15 ), and also has a central section ( 43 ) which is arranged between the end sections ( 42, 45 ) and is connected to these via a respective membrane ( 41 or 44 ). 4. Spindel-Mutter-Vorschubvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragelement ein metalli­ scher Balg (50) ist, der um eine Vorschubspindel (12) herum angeordnet ist und an seinen Enden an dem Tisch (11) bzw. am einem Ende der Kugelmuttervorrichtung (15) ange­ bracht ist.4. spindle-nut feed device according to claim 1, characterized in that the supporting element is a metallic bellows ( 50 ) which is arranged around a feed spindle ( 12 ) and at its ends on the table ( 11 ) or on one End of the ball nut device ( 15 ) is introduced. 5. Spindel-Mutter-Vorschubvorrichtung nach einem der An­ sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schub­ stangen (30) jeweils mit einem Paar axial beabstandeter, ringförmiger Nuten (32, 33) versehen sind.5. Spindle nut feed device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the push rods ( 30 ) are each provided with a pair of axially spaced, annular grooves ( 32, 33 ).