DE3504498A1 - Gassensor mit mehreren sensorelementen - Google Patents

Gassensor mit mehreren sensorelementen

Info

Publication number
DE3504498A1
DE3504498A1 DE19853504498 DE3504498A DE3504498A1 DE 3504498 A1 DE3504498 A1 DE 3504498A1 DE 19853504498 DE19853504498 DE 19853504498 DE 3504498 A DE3504498 A DE 3504498A DE 3504498 A1 DE3504498 A1 DE 3504498A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gas sensor
sensor elements
sensors
carrier
sensor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19853504498
Other languages
English (en)
Other versions
DE3504498C2 (de
Inventor
Werner Dipl.-Phys. Dr. 2407 Bad Schwartau Hagen
Dipl.-Phys. Dr.Dr.-habil. 2400 Lübeck Lagois
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Draegerwerk AG and Co KGaA
Original Assignee
Draegerwerk AG and Co KGaA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Draegerwerk AG and Co KGaA filed Critical Draegerwerk AG and Co KGaA
Priority to DE19853504498 priority Critical patent/DE3504498A1/de
Priority to FR868601927A priority patent/FR2577320B1/fr
Priority to GB08602789A priority patent/GB2170913B/en
Priority to JP61023072A priority patent/JPS61186847A/ja
Priority to US06/827,073 priority patent/US4654624A/en
Publication of DE3504498A1 publication Critical patent/DE3504498A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3504498C2 publication Critical patent/DE3504498C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0031—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array
    • G01N33/0032—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array using two or more different physical functioning modes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

Drägerwerk Aktiengesellschaft Moislinger Allee 53-55, 2400 Lübeck, DE
Gassensor mit mehreren Sensorelementen
Die Erfindung betrifft einen Gassensor mit mehreren, auf einem gemeinsamen Träger angeordneten Sensorelementen , einer Heizanordnung zur Erzeugung der zur Messung notwendigen Betriebstemperatur und Temperaturfühlern.
Ein derartiger Sensor ist aus der US-PS 4.007.435 bekannt geworden.
Der bekannte Gassensor zeigt eine erste Trägerschicht, auf welcher eine Heizanordnung aufgebracht ist, und eine zweite Trägerschicht, auf welcher verschiedene Sensorelemente angeordnet sind. Sowohl Heizanordnung als auch Sensorelemente sind mit geeigneten Kontakten und Leiterbahnen als elektrische Anschlüsse versehen. Zum Betrieb werden beide Schichten in engen Kontakt miteinander gebracht, so daß die untere Schicht mit der Heizanordnung die darüber liegende Schicht mit den Sensorelementen auf die zur Messung notwendige Betriebstemperatur bringt. Da die Sensorelemente zur Feststellung von Gaskomponenten in beispielsweise Autoabgasen dienen, müssen ihre Oberflächen dem Gasstrom frei ausgesetzt werden, so daß eine andere Anordnung der Schichten nicht möglich ist. Eine Erweiterung des bekannten Gassensors unter Einsatz von weiteren Sensorelementen würde die zweite Trägerschicht weiter vergrößern, welches eine entsprechende Vergrößerung der ersten Trägerschicht mit der Heizanordnung zur Folge hätte.
Wegen der schichtförmigen Ausbildung des bekannten Gassensors sind relativ hohe Heizleistungen nötig, um die Sensorelemente auf ihre Betriebstemperatur zu bringen, bzw. auf dem einmal erreichten Temperaturwert zu halten.
Außerdem ist es mit der bekannten Anordnung nicht möglich, beispielsweise Wärmetönungssensoren (Pellistoien) auf der zweiten die Sensorelemente tragenden Schicht anzuordnen, da wegen der vergleichsweise großen Masse der Trägerschicht die in solchen Fällen nur geringfügigen Temperaturänderungen infolge der Wärmeableitung nicht mehr registriert werden können.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird darin qesehen, einen Gassensor der genannten Art derart zu verbessern, daß mehrere Sensorelemente, die auf unterschiedlichen Meßprinzipien arbeiten, wie z.B. Halbleitersensoren oder Pellistoren, auf einem gemeinsamen Träger angeordnet sind, wobei die Sensoren dem zu untersuchenden Gasgemisch ausgesetzt sind. Die für die Erzeugung der Betriebstemperaturen notwendige Heizleistung soll verrinqert und die Ansprechgeschwindigkeit der betreffenden Sensoren infolge der geringen Masse von Sensormaterial und Trägersubstrat erhöht werden.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß auf einer Seite des Trägers die Sensorelemente als Dünnschichthalbleitersensoren und auf einem verdünnten Trägerteil weitere Sensorelemente angeordnet sind.
Die Vorteile der Erfindung sind darin zu sehen, daß die als Dünnschichthalbleitersensoren angeordneten Sensorelemente lediglich einen an sich dünnwandigen Träger benötigen, und ihre Gestalt in beliebiger Form und Größe den jeweiligen Anforderungen angepaßt werden kann. Sämtliche Kontaktflächen zur Spannungsversorgung oder zur Signalabgabe können im Halbleitersensor mit integriert werden. Der auf dem verdünnten Trägerteil angeordnete Sensor ist thermisch von dem ihn umgebenden Trägermaterial weitgehend abgekoppelt, so
daß ein Signal nahezu ungestört durch die übrigen Halbleitersensoren reqistriert werden kann.
Besonders vorteilhaft erweist sich die Anbringung von Wärmetönungssensoren auf dem verdünnten Trägerteil, da diese dann thermisch von den übrigen Sensoren entkoppelt sind.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung können die Wärmetönungssensoren auf zungenförmig ausgebildeten Ansatzstücken angebracht sein, welche an einem Ende des Trägers vorgesehen sind. Dadurch wird deren thermische Isolierung weiter erhöht und die erforderliche Heizleistung verringert. 15
Vorteilhafterweise können die Wärmetönungssensoren jeweils als Meßelement mit einem Katalysator versehen, oder als katalysatorfreies Referenzelement ausgebildet sein. Wegen ihrer benachbarten Lage können somit Meßsignale mit höherer Genauigkeit ausgewertet werden. Desgleichen ist es möglich, verschiedene Wärmetönungssensoren mit unterschiedlichen Katalysatoren zu versehen, um verschiedene Gaskomponenten gleichzeitig nachzuweisen.
Zur Erhöhung der Wärmeabgabe an die Sensorelemente und zur Verminderung der dazu notwendigen Heizleistung sind die Leiterbahnen an dem nachweisempfindlichen Teil der Sensorelemente mäanderförmig oder in beliebiger Weise ineinander verschlungen angeordnet. Die Elektroden der Halbleiter sensoren sind zweckmäßigerweise als ineinandergreifende Kämme angeordnet.
Ein Beispiel der Erfindung ist anhand der Zeichnung erläutert und wird im folgenden näher beschrieben.
350U98 f
In der einzigen Figur sind auf einem Träger 1 zwei Halbleitersensoren 2 und 3 sowie auf den zungenförmigen Ansatzstücken 4 und 5 Wärmetönungssensoren 6 und 7 angeordnet. Die Halbleitersensoren 2 und 3 weisen kammförroige Elektroden 12 und 13 auf, welche von mäanderförniig ineinander verschlungenen Heizleiterbahnen 14 und 15 sowie einem Temperaturfühler 17 umgeben sind. Die Kontaktflächen 16 für die Elektroden 12, 13, die Heizleiterbahnen 14, 15 und die Temperaturfühler 17 sind ebenfalls auf dem Träger 1 aufgebracht. Von den Wärmetönungssensoren 6 und 7 ist der eine mit einem Katalysator 8 versehen. Beide Sensoren 6 und 7 besitzen an ihrem nachweisempfindlichen Teil mäanderförmige Heizleiterbahnen 9 und 10, welche in flächig ausgeführten Kontaktflächen 11 auf dem Substrat 1 münden.
ORIGINAL
- Leerseite -

Claims (6)

Ansprüche
1. Gassensor mit mehreren, auf einem gemeinsamen Träqer angeordneten Sensorelementen, einer Heizanordnung zur Erzeugung der zur Messung notwendigen Betriebstemperatur und Temperaturfühlern, dadurch gekennzeichnet, daß auf derselben Fläche des Trägers (1) sowohl die Sensorelemente als Dünnschichthalbloitersensoren (2,3) sowie auf einem verdünnten Trägerteil (4,5) weitere Sensorelemente (6,7) angeordnet sind.
2. Gassensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorelemente (6,7) als beheizbare Wärmetönungssensoren ausgebildet sind.
3. Gassensor nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß der verdünnte Trägerteil (4,5) als zungenförmige Ansatzstücke an einem Ende des Trägers (1) ausgebildet ist.
4. Gassensor nach Anspruch 2,dadurch gekennzeichnet, daß einer der Wärmetönungssensoren als Meßelement (6) mit einem Katalysator (8) versehen ist, und der andere katalysatorfreie Sensor als Referenzelement (7) vorgesehen ist.
5. Gassensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizanordnung für die Wärmetönungssensoren (6,7) in mäanderförmigen Leiterbahnen (9,10) auf den Ansatzstücken (4,5) verlaufend angeordnet sind, deren Kontaktflächen (11) auf dem gemeinsamen Träger (1) enden.
6. Gassensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleitersensoren (2,3) kammartig ineinandergreifende Elektroden (12,13) aufweisen, ·" welche benachbart zu ineinander verschlungen ausgebildeten Heizleiterbahnen (14,15) und Temperaturfühlern (17) angeordnet sind. }
DE19853504498 1985-02-09 1985-02-09 Gassensor mit mehreren sensorelementen Granted DE3504498A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19853504498 DE3504498A1 (de) 1985-02-09 1985-02-09 Gassensor mit mehreren sensorelementen
FR868601927A FR2577320B1 (fr) 1985-02-09 1986-02-05 Detecteur de gaz a plusieurs elements detecteurs.
GB08602789A GB2170913B (en) 1985-02-09 1986-02-05 Gas sensor
JP61023072A JPS61186847A (ja) 1985-02-09 1986-02-06 複数個のセンサ素子を有するガスセンサ
US06/827,073 US4654624A (en) 1985-02-09 1986-02-06 Gas sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19853504498 DE3504498A1 (de) 1985-02-09 1985-02-09 Gassensor mit mehreren sensorelementen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3504498A1 true DE3504498A1 (de) 1986-08-14
DE3504498C2 DE3504498C2 (de) 1989-04-06

Family

ID=6262124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19853504498 Granted DE3504498A1 (de) 1985-02-09 1985-02-09 Gassensor mit mehreren sensorelementen

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4654624A (de)
JP (1) JPS61186847A (de)
DE (1) DE3504498A1 (de)
FR (1) FR2577320B1 (de)
GB (1) GB2170913B (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3724966A1 (de) * 1986-07-29 1988-02-04 Sharp Kk Sensor
WO1992014143A1 (de) * 1991-01-30 1992-08-20 Roth-Technik Gmbh & Co. Forschung Für Automobil- Und Umwelttechnik Vorrichtung zum kontinuierlichen überwachen der konzentrationen von gasförmigen bestandteilen in gasgemischen
US7893510B2 (en) 2004-07-14 2011-02-22 Heraeus Sensor Technology Gmbh High temperature-stable sensor

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2714006B2 (ja) * 1988-07-06 1998-02-16 大阪瓦斯株式会社 ガスセンサ
DE3826263A1 (de) * 1988-08-02 1990-02-08 Siemens Ag Anordnung zur messung der konzentrationen von komponenten in einem gasgemisch unter verwendung von nicht selektiven gassensoren
US4992244A (en) * 1988-09-27 1991-02-12 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Films of dithiolene complexes in gas-detecting microsensors
DE4006055A1 (de) * 1989-02-27 1990-08-30 Ricoh Kk Steuereinrichtung fuer ein kopiergeraet
JPH0320658A (ja) * 1989-03-30 1991-01-29 Ricoh Co Ltd 多ガス識別ガス検出装置
US5045285A (en) * 1989-09-05 1991-09-03 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Gaseous component identification with polymeric film sensor
US5057436A (en) * 1989-10-02 1991-10-15 Agmaster, Inc. Method and apparatus for detecting toxic gases
ES2208713T3 (es) * 1989-10-17 2004-06-16 Paragon Ag Dispositivo sensor de gas.
EP0426989B1 (de) * 1989-11-04 1994-02-02 Dornier Gmbh Selektiver Gassensor
IT1241405B (it) * 1990-03-02 1994-01-14 Eniricerche Spa Sensori di gas per determinare idrocarburi gassosi realizzati con film sottili di ossido di stagno
DE4020383C2 (de) * 1990-06-27 1999-04-01 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Schutz von Katalysatoren für die Abgasreinigung sowie Wärmetönungssensor zur Durchführung des Verfahrens
EP0606269B1 (de) * 1991-09-30 1997-01-15 Siemens Aktiengesellschaft Abgas-sensor in planartechnologie zur regelung von kfz-motoren
DE4132680C2 (de) * 1991-10-01 1994-02-10 Draegerwerk Ag Atemschutzmaske mit Innenhalbmaske und Schadstoffindikator
US5232667A (en) * 1992-05-21 1993-08-03 Diametrics Medical, Inc. Temperature control for portable diagnostic system using a non-contact temperature probe
DE4423289C1 (de) * 1994-07-02 1995-11-02 Karlsruhe Forschzent Gassensor für reduzierende oder oxidierende Gase
SE512866C2 (sv) * 1995-02-21 2000-05-29 Volvo Ab Anordning för analys av avgaser
GB9512929D0 (en) * 1995-06-24 1995-08-30 Sun Electric Uk Ltd Multi-gas sensor systems for automatic emissions measurement
US6709635B1 (en) * 1996-03-21 2004-03-23 California Institute Of Technology Gas sensor test chip
US5795545A (en) * 1996-05-20 1998-08-18 Motorola Inc. Integrated ceramic exhaust gas sensors
US6114674A (en) * 1996-10-04 2000-09-05 Mcdonnell Douglas Corporation Multilayer circuit board with electrically resistive heating element
US5989398A (en) * 1997-11-14 1999-11-23 Motorola, Inc. Calorimetric hydrocarbon gas sensor
DE19957991C2 (de) * 1999-12-02 2002-01-31 Daimler Chrysler Ag Anordnung einer Heizschicht für einen Hochtemperaturgassensor
US6544477B1 (en) * 2000-08-01 2003-04-08 Regents Of The University Of Minnesota Apparatus for generating a temperature gradient
DE10042000A1 (de) * 2000-08-26 2002-05-16 Bosch Gmbh Robert Heizeinrichtung, insbesondere für ein Sensorelement zur Analyse von Gasen
DE10131581B4 (de) * 2000-09-12 2008-04-03 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung und Überprüfung von Verbundanordnungen
DE10213805A1 (de) * 2001-03-28 2002-11-07 Denso Corp Gassensor und Verfahren zum Herstellen eines Gassensors
CA2453820A1 (en) * 2001-07-16 2003-01-30 Sensor Tech, Inc. Sensor device and method for qualitative and quantitative analysis of gas phase substances
US6890757B2 (en) * 2002-05-24 2005-05-10 International Technidyne Corporation Portable diagnostic system
GB2395561B (en) * 2002-11-19 2006-03-08 Qinetiq Ltd Fluid temperature measurement
US7204130B2 (en) * 2002-12-03 2007-04-17 Ppg Industries Ohio, Inc. Windshield moisture detector
WO2005012892A1 (de) * 2003-07-25 2005-02-10 Paragon Ag Gassensor und verfahren zu dessen herstellung
US7228725B2 (en) * 2004-01-27 2007-06-12 H2Scan Llc Thin film gas sensor configuration
ATE446505T1 (de) 2004-06-03 2009-11-15 Ust Umweltsensortechnik Gmbh Verfahren zur erfassung brennbarer gase, insbesondere zur erfassung von wasserstoff
US20060211123A1 (en) * 2005-03-18 2006-09-21 Ker Eric L Sensing element and method of making
US7611612B2 (en) * 2005-07-14 2009-11-03 Ceramatec, Inc. Multilayer ceramic NOx gas sensor device
US7937984B2 (en) * 2006-12-29 2011-05-10 Honeywell International Inc. Gas sensor test system and methods related thereto
US8564434B2 (en) * 2009-12-30 2013-10-22 Koninklijke Philips N.V. Baby monitoring systems
DE102018108723A1 (de) * 2018-04-12 2019-10-17 Tdk Corporation Sensorvorrichtung, Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung und elektronische Baugruppe, die eine Sensorvorrichtung aufweist

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3223609A (en) * 1961-10-30 1965-12-14 Beckman Instruments Inc Hygrometer
US3240693A (en) * 1961-08-28 1966-03-15 Beckman Instruments Inc Hygrometer
US3260656A (en) * 1962-09-27 1966-07-12 Corning Glass Works Method and apparatus for electrolytically determining a species in a fluid
US3474022A (en) * 1967-09-14 1969-10-21 Atomic Energy Commission Alarm system for uf6 in air
US3763850A (en) * 1970-12-31 1973-10-09 Hoffmann La Roche Or measuring the partial pressure of a gas in a fluid
US4007435A (en) * 1973-07-30 1977-02-08 Tien Tseng Ying Sensor device and method of manufacturing same
DE2617031A1 (de) * 1976-04-01 1977-11-03 Battelle Institut E V Elektrochemischer sensor zur messung des brennstoff/luftverhaeltnisses in gasgemischen
DE2744771A1 (de) * 1976-10-07 1978-04-13 Leeds & Northrup Co Elektrolytische zelle zur bestimmung der konzentration von elektrochemisch aktiven substanzen in einem fluid
DE2718907A1 (de) * 1977-04-28 1978-11-02 Bosch Gmbh Robert Messfuehler zur bestimmung des sauerstoffgehalts in abgasen
US4343688A (en) * 1979-11-22 1982-08-10 U.S. Philips Corporation Method of making humidity sensors
US4457161A (en) * 1980-10-09 1984-07-03 Hitachi, Ltd. Gas detection device and method for detecting gas

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5851264B2 (ja) * 1980-03-24 1983-11-15 東京シリコ−ン株式会社 熱定着ロ−ラ−
US4469626A (en) * 1980-05-15 1984-09-04 The Bendix Corporation Composition and method for forming a thick film oxygen sensing element
JPS56168544A (en) * 1980-05-30 1981-12-24 Toyota Motor Corp Resistor type gas sensor
JPS57178147A (en) * 1981-04-27 1982-11-02 Nippon Soken Inc Detector for gaseous component
JPS58103654A (ja) * 1981-12-16 1983-06-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多機能ガスセンサ
JPS58106451A (ja) * 1981-12-18 1983-06-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガス検知素子
US4453151A (en) * 1982-06-07 1984-06-05 Leary David J Semiconductor gas sensor

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3240693A (en) * 1961-08-28 1966-03-15 Beckman Instruments Inc Hygrometer
US3223609A (en) * 1961-10-30 1965-12-14 Beckman Instruments Inc Hygrometer
US3260656A (en) * 1962-09-27 1966-07-12 Corning Glass Works Method and apparatus for electrolytically determining a species in a fluid
US3474022A (en) * 1967-09-14 1969-10-21 Atomic Energy Commission Alarm system for uf6 in air
US3763850A (en) * 1970-12-31 1973-10-09 Hoffmann La Roche Or measuring the partial pressure of a gas in a fluid
US4007435A (en) * 1973-07-30 1977-02-08 Tien Tseng Ying Sensor device and method of manufacturing same
DE2617031A1 (de) * 1976-04-01 1977-11-03 Battelle Institut E V Elektrochemischer sensor zur messung des brennstoff/luftverhaeltnisses in gasgemischen
DE2744771A1 (de) * 1976-10-07 1978-04-13 Leeds & Northrup Co Elektrolytische zelle zur bestimmung der konzentration von elektrochemisch aktiven substanzen in einem fluid
DE2718907A1 (de) * 1977-04-28 1978-11-02 Bosch Gmbh Robert Messfuehler zur bestimmung des sauerstoffgehalts in abgasen
US4343688A (en) * 1979-11-22 1982-08-10 U.S. Philips Corporation Method of making humidity sensors
US4457161A (en) * 1980-10-09 1984-07-03 Hitachi, Ltd. Gas detection device and method for detecting gas

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Z: Technisches Messen, 51, Jg.1984, H.5, S. 187, 188 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3724966A1 (de) * 1986-07-29 1988-02-04 Sharp Kk Sensor
WO1992014143A1 (de) * 1991-01-30 1992-08-20 Roth-Technik Gmbh & Co. Forschung Für Automobil- Und Umwelttechnik Vorrichtung zum kontinuierlichen überwachen der konzentrationen von gasförmigen bestandteilen in gasgemischen
US7893510B2 (en) 2004-07-14 2011-02-22 Heraeus Sensor Technology Gmbh High temperature-stable sensor

Also Published As

Publication number Publication date
US4654624A (en) 1987-03-31
FR2577320B1 (fr) 1989-04-07
GB2170913A (en) 1986-08-13
JPS61186847A (ja) 1986-08-20
GB2170913B (en) 1988-02-10
FR2577320A1 (fr) 1986-08-14
GB8602789D0 (en) 1986-03-12
DE3504498C2 (de) 1989-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3504498A1 (de) Gassensor mit mehreren sensorelementen
DE2953771C1 (de) Gasdetektor
DE2457586C3 (de) Thermoelement und Thermobatterie daraus
DE4445243A1 (de) Temperaturfühler
DE2527505B2 (de) Thermischer Strömungsmeßumformer
EP0932828A1 (de) Anordnung für gassensorelektroden
EP0235360B1 (de) Messonde
WO2012084343A1 (de) Heizelement für einen gassensor
DE19957991C2 (de) Anordnung einer Heizschicht für einen Hochtemperaturgassensor
DE3539402C2 (de)
DE4036109A1 (de) Widerstandstemperaturfuehler
DE10204200A1 (de) Leistungsmodul
DE10123920A1 (de) Integriertes Mikrostruktursensorelement zur Erfassung thermodynamischer Größen eines Fluids
DE3743398A1 (de) Aufhaengung fuer eine sensoranordnung zum nachweis von gasen durch exotherme katalytische reaktionen
DE2601131A1 (de) Halbleitereinrichtungen vom druckkontakt-typ
EP1005647B1 (de) Sensoreinheit, insbesondere zur luftgütemessung
DE10333084A1 (de) Thermogenerator und Verfahren zu dessen Herstellung
EP1842245A2 (de) Thermosäule
DE4223432A1 (de) Gassensor mit einem temperaturfuehler
DE19880127B4 (de) Thermoelement zur Gewinnung elektrischer Energie und Anordnung mit einem Thermoelement und einem Fotoelement
DE19900017C2 (de) Gassensor
EP3118614B1 (de) Keramisches gas- und temperatursensorelement
DE102022206412A1 (de) Elektronikbaugruppe und Verfahren zur Herstellung einer Elektronikbaugruppe
EP0824692A1 (de) Sensorelement
DE202018102013U1 (de) Elektrische Heizeinrichtung für mobile Anwendungen

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8110 Request for examination paragraph 44
8125 Change of the main classification

Ipc: G01N 27/12

D2 Grant after examination
8363 Opposition against the patent
8339 Ceased/non-payment of the annual fee