DE3490382T1 - Faseroptischer Hohlleiter-Strahlaufteiler/-verbinder - Google Patents
Faseroptischer Hohlleiter-Strahlaufteiler/-verbinderInfo
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Description
Die Erfindung betrifft faseroptische Strahlaufteiler und -verbinder
zum Teilen, Verbinden und Lenken von Lichtstrahlen entlang gewünschter Wege.
Die Anwendung von faseroptischen Strahlenaufteilern/-verbindern
zum Lenken von Licht entlang eines gewünschten Weges ist bekannt. Verschiedene Beispiele von angewandten Verfahren zur Hervorbringung
eines Netzes von Lichtwegen sind veröffentlicht worden, zum Beispiel in den US-Patenten 4,314,740, 3,968,564, 4,346,961,
4,351,585 und 4,296,995. In jedem dieser Patente sowie in anderen Arbeiten auf diesem Gebiet sind mindestens zwei optische Fasern
erforderlich gewesen, die infolge eines Kupplungsbereiches oder -raumes zwischen den Fasern getrennt wurden und/oder deren
Formen beträchtlich abgeändert werden mußten. Diese Anordnungen
Formen beträchtlich abgeändert werden mußten. Diese Anordnungen
gemäß dem Stand der Technik erfordern eine genaue Ausrichtung der Faserenden, die in einigen Fällen um weniger als eine Lichtwellenlänge
voneinander getrennt sein können, oder sie erfordern eine sorgfältige Gegenüberstellung von Fasern, von denen Bereiche
der Umhüllung genauestens entfernt worden sind.
Zur Vermeidung von Polarisationsveränderungen ist es ebenfalls
wichtig, die optischen Faserenden und/oder -längen genau auszurichten. Bei vielen Anwendungen und bei der Nutzbarmachung
von optischen Fasern ist es wichtig, eine lineare Polarisation des Lichtes beizubehalten. Eine Änderung des Polarisationszustandes
kann als Randverschiebungen in Erscheinung treten und kann große Rauschamplituden in das Ergebnis zum Beispiel eines
faseroptischen, interferometrischen Sensors hineinbringen. Um
den Beitrag der Rauschamplitude zu vermindern, der durch eine Änderung des Polarisationszustandes hervorgerufen wird, können
fiberoptischen Strahlaufteiler mit abgeschrägten Enden hergestellt
werden, polarisationstreue Fasern. Durch die Anwendung von polarisationstreuen Fasern wird der Einfluß von Polarisationsvermischungen innerhalb der Fasern verringert. Die genaue Ausrichtung,
der Faserenden und/oder -längen kann die Polarisation durch einen Verbindungsabschnitt beibehalten, der zwei optische
Fasern voneinander trennt.
Die genaue Ausrichtung, die für die Enden und Längen der optischen
Fasern in dem Kupplungsabschnitt erforderlich sind, verlangen nach sehr genauen und sehr zeitintensiven Verrichtungen. Die
hier beschriebene und beanspruchte Erfindung beseitigt das Problem der Ausrichtung zweier optischer Fasern, um Licht mit
Hilfe eines inneres Schlitzes zu übertragen, der innerhalb von unberührten optischen Faser geformt wird. Dieser innere Schlitz
wird, anders als ein äußerer Abstand zwischen Fasern, dazu benutzt, um eine Neuausrichtung und übertragung des Lichts entlang
gewünschter Wege zu verwirklichen.
Die beschriebene und beanspruchte Erfindung betrifft einen faseroptischen Strahlenaufteiler/-verbinder und ein Verfahren
zur Herstellung eines faseroptischen Hohlleiter-Strahlaufteilers/-verbinders.
Das Verfahren beinhaltet Schritte der Hervorbringung eines ausgerichteten Schlitzes in einem unberührten
optischen Hohlleiter und der Benutzung des Schlitzes, um Lichtstrahlen zu teilen und/oder entlang gewünschter Wege
zu lenken. In bevorzugter Form werden mikrobearbeitende Techniken angewendet, um den ausgerichteten Schlitz in dem Hohlleiter
hervorzubringen. Die Mikrobearbeitung kann entweder durch einen physikalischen Prozeß oder einen chemischen Prozeß erfolgen
und kann ohne Einschränkung Photonenbestrahlung, Ätzen mit reaktiven Partikelstrahlen, Litographie oder Ätzen umfassen.
Der "Schlitz" kann außerdem durch Dotieren oder eine ion- oder bestrahlungsbewirkte Beschädigung bzw. Änderung eines lokalen
Bereiches der optischen Faser hervorgerufen werden. Bei beiden Verfahren zur Hervorbringung des Schlitzes, das heißt also
beim Mikrobearbeiten sowie beim Dotieren, wird die Neuumlenkung und Übertragung des Lichtes in der optischen Faser infolge
eines Wechsels in den wirklichen und/oder imaginären Abschnitten des Brechungsindex in dem Lichtweg bewirkt.
Wenn in der Faser Licht auf den Schlitz trifft, wird ein Teil reflektiert und ein Teil weitergeleitet, wobei die Richtung des
reflektierten und weitergeleiteten Anteils von dem Winkel abhängt,
den der Schlitz mit der Faserachse bildet. Für einige Winkel besteht das geleitete Licht in dem Schlitz in der Form
einer abklingenden Welle, während bei anderen Winkeln das geleitete Licht in der Form einer stehenden Welle existiert. Der
Anteil an Licht, das durch den Schlitz geleitet wird, kann durch die Schlitzbreite und den Lagewinkel bestimmt werden.
Es ist gemäß der Erfindung auch möglich, einen internen Schlitz innerhalb der unversehrten Faser mit einem dünnen, leitenden
Film zu beschichten, um die Schlitzwinkel weniger kritisch zu machen.
Der Strahlaufteiler/-verbinder der vorliegenden Erfindung kann wahlweise in einer Anordnung von linearen Hohlleitern
angekuppelt werden. Die linearen Hohlleiter bestehen bei einem bevorzugten Ausfuhrungsbeipsiel aus einer ersten und
zweiten Schicht aus einem Werkstoff, der einen bestimmten Brechungsindex aufweist, und aus einer dritten Schicht eines
Werkstoffes zwischen den ersten beiden Schichten, der einen Brechungsindex aufweist, der höher ist als der Brechungsindex
des Materials der ersten und zweiten Schicht. Eine Vielzahl von unberührten linearen Hohlleitern ist in den Schichten gebildet.
Eine Vielzahl von lichtlenkenden Schlitzen ist in jedem der unberührten linearen Hohlleiter angeordnet, wobei
die Hohlleiter wahlweise miteinander verbunden sind, um eine Schaltung zu erzeugen. Die linearen Hohlleiter können variierende
Breiten aufweisen.
Figur 1 zeigt ein Verfahren gemäß des Standes der Technik zum Umlenken von Licht von einer
optischen Faser auf eine andere.
Figur 2 ist eine schematische Darstellung einer unversehrten optischen Faser mit einem inneren Schlitz
zur Lichtumlenkung.
Figur 3 ist eine vergrößerte Ansicht einer optischen
Faser und eines unversehrten, inneren Schlitzes.
Figur 4 ist eine Ansicht entlang der Linie 4-4 in der Figur 3.
Figur 4A ist eine Ansicht entlang der Linie 4-4 der Figur 3, wobei der innere Schlitz mit Hilfe
eines abweichenden Verfahrens bearbeitet ist.
Figur 5 ist eine schematische Darstellung einer weiteren Konfiguration zur Ablenkung von Licht gemäß der
Erfindung.
Figur 6 ist ein zweidimensionaler optischer Hohlleiteraufbau vor der Mikrobearbeitung.
Figur 7 ist der Hohlleiter der Figur 6, der durch
Mikrobearbeiten in ein Netz von miteinander verbundenen eindimensionalen Hohlleitern überführt
ist.
Die Erfindung schlägt einen faseroptischen Strahlzerteiler
und -verbinder, ein brauchbares Mittel zur Herstellung eines faseroptischen Strahlenzerteilers und -verbinders und ein.Verfahren
zur Herstellung komplizierter Netzwerke miteinander verbundener optischer Hohlleiter vor. Die Erfindung eignet
sich besonders zur Herstellung polarisationstreuer Strahlaufteiler und -verbinder, sie kann jedoch ebenso für nicht-polarisationstreue
Strahlzerteiler und -verbinder nutzbar gemacht werden.
Bei den meisten verwendeten faseroptischen Strahlzerteilern und -verhindern, und insbesondere bei interferometrischen Sensoren
ist es wichtig, eine lineare Polarisation beizubehalten. Wenn die Polarisation nicht beibehalten wird, können Streifenverschiebungen
und starke Rauschamplituden in den Auswertungen die Folge sein. Polarisationsänderungen können sowohl in den
optischen Fasern, die Licht leiten, als auch in den Strahlaufteilern
und -verhindern auftreten, die die Fasern miteinander verbinden. Wie in Figur 1 gezeigt ist, sind „polarisationstreue
Fasern mit abgeschrägten Enden verwendet worden, um eine lineare Polarisation beizubehalten. Durch die Anwendung von polarisationstreuen
Fasern wird der Beitrag der Faser bezüglich Polarisationsänderungen reduziert. Durch sorgfältiges Positionieren der
abgeschrägten Enden der Fasern, wie in Figur 1 gezeigt, kann die lineare Polarisation durch einen Kupplungsbereich
oder -raum hindurch zwischen den Fasern beibehalten werden. Dieses Verfahren verlangt jedoch nach sehr genauen und zeitintensiven
Ausrichtungen der Faserenden. Die vorliegende Erfindung beseitigt diese Probleme durch die Anwendung einer
einzigen unversehrten Faser, um Licht auf den gewünschten Weg zu lenken im Gegensatz zu zwei Fasern, deren Enden sorgfältig
ausgerichtet sein müssen, was bisher beim Stand der Technik gemacht wurde.
Es ist außerdem bekannt, die Ummantelung an Abschnitten von zwei Fasern abzustreifen und dann die Fasern gegenüberliegend
anzuordnen. Auch diese Art erfordert sorgfältige Positionierung zusätzlich zu einer sehr sorgfältigen Entfernung der Ummantelung.
Wie in der Figur 2 gezeigt ist, beinhaltet die beschriebene
und beanspruchte Vorrichtung einen inneren Schlitz 10 innerhalb einer unversehrten optischen Faser 12. Der Schlitz 10
wird bei einem Ausführungsbeispiel durch eine Mikrobearbeitung durch die eine Seite der Faser 12 hergestellt, bis deren Kern
durchdrungen ist.
Wie in Figur 4 gezeigt ist, kann der Schlitz 10 durch eine Mikrobearbeitung hervorgebracht werden, bei der zum Beispiel
ein fein fokussierter Laser benutzt wird, in welchem Fall nur der mittlere Kern der Faser 12 bearbeitet wird. Alternativ
dazu können andere mikrobearbeitende Techniken angewandt werden, die weiter unten beschrieben werden, in welchem Fall eine
schmale Rille 34 in der Faser entsteht, wie in der Figur 4A gezeigt ist, die einen Zugang zum Kern der Faser 12 schafft,
um den Schlitz 10 nach Wunsch mikrobearbeiten zu können. Der
Schlitz 10 kann optisch flach oder zum Fokussieren gekrümmt sein. Der Winkel der Schlitzfläche 14 im Verhältnis zur Längsachse
der.Faser beträgt ungefähr 45°, es können jedoch auch andere Winkel angewendet werden, soweit für bestimmte Anwendungen
förderlich. Bei diesem Winkel,wie im übrigen in Figur 2 gezeigt, wird ein Teil des Strahles in einer Faser im Inneren an dem
Schlitz reflektiert, angedeutet bei 16, und ein Teil des Strahles wird weitergeleitet, wie bei 18 angedeutet. Der reflektierte
Strahl 16 wird dann zu einer benachbarten Faser geleitet,
wobei er durch zwei Faseroberflächen 20 und 22 hindurchtritt. Der reflektierte Strahl 16 wird dann nochmals durch
den zweiten Schlitz 24 in der zweiten Faser 26 reflektiert. Der hervorstechende Vorteil der beschriebenen und beanspruchten
Erfindung besteht darin, daß das Problem der genauen Ausrichtung von zwei Faserenden beseitigt ist, weil eine einzige unversehrte
Faser zur Leitung und Umlenkung des Lichtes eingesetzt wird. Natürlich können verschiedene Konfigurationen und Netzwerke
von optischen Fasern gebildet werden, und die schematische Verdeutlichung der Figur 2 dient lediglich beschreibenden Zwecken,
Wie in der Figur 5 gezeigt ist, können mehr als zwei optische Fasern eingesetzt werden. Figur 5 ist eine schematische Verdeutlichung
eines Strahlaufteilers für ein Faser-Mach-Zender-Interferometer. Es ist natürlich ebenso einfach, die Erfindung für
die Verwendung in anderen Strahlaufteilern und -verhindern zu erweitern.
Für die Mikrobearbeitung sind verschiedene Techniken entwickelt
worden, um schmale Nuten oder Schlitze in Leitern, Halbleitern und Isolatoren zu formen, einschließlich Siliziumdioxyd (S1O2),
aus denen die meisten optischen Fasern hergestellt sind. Die mikrobearbeitenden Techniken betreffen sowohl diejenigen, die auf
physikalischen Prozessen beruhen wie zum Beispiel Oberflächenheizen und Sputtern als auch diejenigen, die auf chemischen Prozessen
beruhen, wie zum Beispiel die Bildung von flüchtigen Verbindungen aus Oberflächenmaterial sowie Kombinationen von beiden
Prozeßtypen. Beispiele für Mikrobearbeitungsprozesse, die benutzt werden können, um den inneren, ausgerichteten Schlitz 10 inner- ·
halb einer unversehrten optischen Faser 12 zu formen, sind die Direktkontakt- und Projektionslithographie, sowohl die Photolithographie
als auch die Röntgenstrahlenlithographie, Lithographie und direktes Schreiben sowie Fräsen mit Elektronen,
Ionen- und Laserstrahl, Plasmaätzen, Sputteraätzen, reaktives Sputterätzen, reaktives Ionenätzen, laserbewirktes Ätzen und
sysynergistische Elektron- Röntgenlithographie.
Chemische Reaktionen, die durch geladene Partikel oder Photonenbestrahlung beschleunigt werden, ist zum Beispiel
ein Verfahren, um einen inneren Schlitz in eine optische Faser hineinzubringen. Wenn zum Beispiel ein intensiver
Argonion-Laserstrahl ein Cl2-Molekül trifft, kann das Molekül in reaktive Cl-Atome dissoziiert werden, die dann sehr schnell
mit Si- oder SiC^-Oberflächenatomen reagieren. Die Reaktion
wird weiter verstärkt, wenn die Oberfläche geheizt wird. Wenn ein fokussierter Laserstrahl in einer Cl2~Atmosphäre eingesetzt
wird, werden folglich die Teile der Oberfläche aus Si oder S1O2 weggeätzt, die stark angestrahlt werden. Sehr kleine
Löcher und Rillen in der Größenordnung von 5 μΐη sind in dieser
Weise hergestellt worden. Die Ätzrate ist ungefähr 80-mal kleiner in S1O2 als in Si, für andere Gase, wie zum Beispiel
CF4 und CHF3 kann die Selektivität jedoch umgekehrt werden. Die durch diesen Ätzvorgang hervorgebrachte Oberfläche erscheint
glatt mit einer Oberflächenrauhigkeit von ungefähr 1000 Angström.
Diese Technik ist zum Beispiel sehr gut geeignet für d ie Produktion
der internen Schlitze bei polarisationstreuen Fasern. Eine feinere Auflösung kann jedoch erhalten werden mit dem
reaktiven Partikelstrahlätzen. Beide Techniken sind bekannt und werden zum Beispiel zum Ätzen von Schaltungen auf Mikrochips
angewendet.
Die zur Zeit erreichten Ätzraten und Auflösungen sind für die
fabrikmäßige Herstellung von faseroptischen Strahlaufteilern
und -verbindern gemäß der vorliegenden Erfindung relativ akzeptabel.
Beim Plasmaätzen von S1O2 in einem Plasma von C2F5,
CHF3 und He sind Raten von 10.000 Anström pro Minute mit einer Leistungsdichte von 10 Watt pro Quadratzentimeter erzielt
worden. Es würde also weniger als eine Stunde dauern, um den 50 μ Radius einer typischen polarisationstreuen Singlemode-Faser
zu durchlaufen. Vergleichbare oder sogar höhere Raten sind für laserunterstützte Oberflächenchemieen bekannt geworden.
Zum Beispiel sind Löcher von μΐη Durchmesser durch eine
250 μπι dicke Maske aus Si in 35 bis 45 Sekunden "gebohrt"
worden durch Verwendung eines Argonlasers in einer CI2 und
HCl Atmosphäre, während die Ätzrate in S1O2 ungefähr 80-mal
geringer ist.
Mikrobearbeitungsauflösungen im Unter-My-Bereich sind wünschenswert,,
wenn eine Welle über einen Schlitz verbunden werden soll. Die bekannte Ionenprojektion-Mikrolithographie hat die gewünschte
Auflösung im Unter-My-Bereich in einer Fokustiefe von mehr als 100 μΐη Durchmesser bei einer typischen polarisationstreuen
Singlemode-Faser erreicht. Eine Mikrobearbeitung kann auch ohne Erhöhung der Temperatur bis zu einem Punkt erreicht werden,
wo der Spannungsabbau und der potentielle Verlust der Polarisation der Fasern eintreten können. Zum Beispiel können die
Temperaturen an einem extremen Anstieg durch eine pulsierende Bearbeitung gehindert werden.
Da der besonders kritische Bereich des Schlitzes um den Kern der Faser angeordnet ist - das ist gleichbedeutend mit der
Größe-von 5 μ bei einer typischen Singlemode-Faserachse
kommt es nicht so sehr darauf an, daß die Wände der Schlitzabschnitte, die weiter weg vom Kern liegen, extrem sorgfältig
bearbeitet sind.. Das vermindert die Anforderungen an Rattern und Unterschneiden, die bei einigen der Mikrobearbeitungstechniken
auftreten können.
Zusätzlich zur Anwendung von Mikrobearbeitungstechniken zur Herstellung eines inneren, ausgerichteten Schlitzes in einer
unversehrten optischen Faser ist es ebenso möglich-, eine Ion-Implantation oder bestrahlungsverursachte Änderung einzusetzen,
um ausgerichtete Schlitze hervorzurufen, die unterschiedliche Brechungsindizes innerhalb optischer Hohlleiter aufweisen
zum Zwecke der Strahlaufteilung und -verbindung. Diese "Schlitze" unterscheiden sich von denen, die durch eine Mikrobearbeitung
hervorgerufen sind, dadurch, daß die mikrobearbeiteten Schlitze durch die Abwesenheit von Material definiert
sind, während die "Schlitze", die durch eine Ion-Implantation
hervorgebracht sind, durch ein begrenztes Feld definiert sind, das dotiert oder ion-verursacht bzw. bestrahlungsverursacht
beschädigt oder verändert ist. Wie bei der Mikrobearbeitung, die Material entfernt, um den Brechungsindex
innerhalb der optischen Faser zu ändern, verändert auch die Ion-Implantation den Brechungsindex und ist daher
ebenso wirkungsvoll beim Neuausrichten von Licht innerhalb einer unversehrten Faser auf einen gewünschten Weg.
Sowohl bei einem mikrobearbeiteten Schlitz als auch bei einem Schlitz, der durch Ion-Implantation entstanden ist,
kann die optische Faser mit einem dünnen Film überzogen werden, der ungefähr einige 100 Angström dick ist und aus
einem leitenden Material besteht. Dieser Film wirkt teilweise reflektierend und dient zur partiellen Neuumlenkung
des geführten Lichtes. Bei einem dünnen leitenden Film in Verbindung mit dem ausgerichteten inneren Schlitz einer
unversehrten optischen Faser ist der Schlitzwinkel nicht ganz so entscheidend. Die Anwendung eines leitenden Überzuges
kann jedoch dazu führen, daß die Polarität nicht erhalten bleibt, wenn dies ein gewünschtes Ziel ist.
Einem mikrobearbeiteten Schlitz kann ebenso Material zugefügt
werden, um den Brechungsindex des Schlitzes einzustellen. Der Grad der Leitung und Reflektion kann in dieser Weise eingestellt
werden. Dadurch ist außerdem die Verwendung dickerer Schlitze möglich.
Die beschriebene und beanspruchte Erfindung kann außerdem dazu benutzt werden, um einen zweidimensionalen, optischen
Hohlleiteraufbau in eine Anordnung von selektiv miteinander verbundenen Linearhohlleitern umzuwandeln. Figur 6 zeigt
einen Aufbau 27, der aus einer Brechungsschicht 28 besteht, die nach Art eines Sandwich zwischen Werkstoffen 30 eingeschoben
ist, die Brechungsindizes aufweisen, die von dem Brechungsindex der Brechungsschicht 28 abweichen. Obwohl für
die Anordnung der Figur 6 drei Schichten gezeigt sind, sei
darauf hingewiesen, daß dieses nur zum Zwecke der Illustration geschehen ist. Es kann jegliche Anzahl von Brechungsschichten,
die für den entsprechenden Anwendungsfall geeignet ist, verwendet werden. Wenn auf den Zwischenflächen Metallfilme aufgebracht
werden, kann dieser Aufbau sogar polarisationsempfindlich gemacht werden mit Hilfe von elektrischen Feldern
vertikal zu den Sandwich-Ebenen. Mikrobearbeitung oder andere Techniken können nun dazu benutzt werden, um ausgesuchte
Abschnitte der einen oder mehrerer Flächen zu entfernen, um lineare Leiter in dem Aufbau zu definieren. Strahlzerteilende
oder -verbindende Schlitze können dann in den verbleibenden Abschnitten hervorgerufen werden, um eine Schaltung aus miteinander
verbundenen optischen Hohlleitern hervorzurufen, wie in Figur 7 gezeigt. Zur Festsetzung von Schwellen zur Entdeckung
verbundener Signale können Lichtdetektoren und,-quellen, deren Abstand sorgfältig ausgewählt und deren Wahl sorgfältig
getroffen ist, angewendet werden, wobei die linearen optischen Leiter eingesetzt werden. Das führt zu einem optischen Netz,
das unabhängig von jeglichen lokalen elektrischen Signalen geschaltet werden könnte und ausschließlich von den Lichtintensitätsstärken
abhinge, die in die einzelnen Kanäle eingeführt wurden. Zusätzlich können einige der eindimensionalen Leiterstrukturen,
die durch die nicht beseitigten Abschnitte des ursprünglichen Aufbaus 27 definiert sind, wie zum Beispiel
die Leiterabschnitte 32 in der Figur 7, mit variierender Breite hergestellt werden. Das dient dazu, Um die Form der einlaufenden
optischen Impulse^ abzuändern und um zum Beispiel eine Impulskompression
herbeizuführen.
Die beschriebene und beanspruchte Erfindung kann sowohl auf Multimode-Fasern und nicht-polarisationstreue Fasern und Leiterstrukturen
angewendet werden als auch auf Singlemode- und polarisationstreue Systeme. Wenn es zum Beispiel wünschenswert
ist, nur einen Teil des Lichtes von einer Multimode-Faser auf eine
andere Multimode-Faser zu übertragen, kann ein schmaler Schlitz in die erste Faser und ein größerer Schlitz in die zweite Faser
geschnitten werden, so daß die zweite Faser das ganze Licht auffangen kann, was von der ersten reflektiert wird. Ein
Schlitz, der kleiner ist als der Faserkern, reflektiert nur einen kleinen Bruchteil des durch die Faser hindurchgehenden
Lichtes, während ein größerer Schlitz einen größeren Anteil des Lichtes erfaßt. Gekrümmte Schlitze können ebenfalls verwendet
werden, um eine Fokussierung zu erreichen.
Obwohl die Erfindung mit Bezug auf bevorzugte Ausführungsbeispiele beschrieben worden ist, sind verschiedene Abänderungen
insbesondere bezüglich der Größe, der Form und der Lage für die angesprochenen Fachleute offenbar. Deshalb wird die Erfindung
nur durch die Anprüche festgelegt.
Claims (25)
1. Verfahren zur Herstellung eines optischen Hohlleiter-Strahlauf
teilers/-verbinders mit den Schritten der Erzeugung eines gerichteten Schlitzes in einem unberührten
optischen Hohlleiter und des Benutzens dieses Schlitzes, um Lichstrahlen zu teilen, zu vereinigen und auf erwünschte
Wege zu lenken.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Schritt der Erzeugung eines ausgerichteten Schlitzes eine Mikrobearbeitung
des optischen Hohlleiters enthält.
3. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem der Schritt der Mikrobearbeitung
eine Mikrobearbeitung durch ein physikalisches Verfahren beinhaltet.
4. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem der Schritt der Mikrobearbeitung
die Mikrobearbeitung durch ein chemisches Verfahren beinhaltet.
5. Vefahren nach Anspruch 2, bei dem der Schritt der Mikrobearbeitung
die Mikrobearbeitung durch ein kombiniertes physikalisches und chemisches Verfahren beinhaltet.
6. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die Mikrobearbeitung
eine Photonenbestrahlung einschließt.
7. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die Mikrobearbeitung das Ätzen mit einem reaktiven Partikelstrahl einschließt.
8. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die Mikrobearbeitung das Ätzen mit einem Photonenstrahl einschließt.
9. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die Mikrobearbeitung Litographie einschließt.
10. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die Mikrobearbeitung Ätzen einschließt.
11. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem die Mikrobearbeitung direktes Strahlschreiben und Fräsen beinhaltet.
12. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Schritt der Hervorbringung
eines ausgerichteten Schlitzes Dotieren einschließt.
13. Verfahren nach Anspruch 12, bei dem das Dotieren eine lonimplantation
zur Hervorbringung eines ausgerichteten Schlitzes beinhaltet, der einen anderen Brechungsindex als die anderen
Abschnitte des Hohlleiters aufweist.
14. Verfahren nach Anspruch 1, das den zusätzlichen Schritt des Überziehens der Faser mit einem leitenden Film beinhaltet.
15. Verfahren nach Anspruch 1, das zusätzlich den Schritt des Schlitzfüllens mit einem Werkstoff beinhaltet, der einen
anderen Brechungsindex als der des Hohlleiters aufweist.
16. Optischer Hohlleiter-Strahlaufteiler/-verbinder mit einem
unberührten optischen Hohlleiter, der einen inneren, darin hervorgebrachten Schlitz enthält, wobei der innere Schlitz
einen Lichtstrahl teilt, verbindet und auf gewünschte .Wege lenkt.
17. Optischer Hohlleiter-Strahlaufteiler/-verbinder mit
mindestens einer unberührten Faser, wobei die Faser mindestens einen darin hervorgebrachten und ausgerichteten
Schlitz enthält und eine Lichtquelle, die durch den Schlitz fällt, neu ausgerichtet ist.
18. Optischer Hohlleiter-Strahlaufteiler/-verbinder nach
Anspruch 17, bei dem der Schlitz einen vereinzelten Bereich einer ionverursachten Abweichung aufweist.
19. Optischer Hohlleiter-Strahlaufteiler/-verbinder nach
Anspruch 17, bei dem der Schlitz einen vereinzelten Bereich einer bestrahlungsverursachten Abänderung aufweist.
20. Optischer Hohlleiter-Strahlaufteiler/-verbinder nach
Anspruch 17, bei dem die Faser mit einem leitenden Film überzogen ist.
21. Optischer Hohlleiter-Strahlaufteiler/-verbinder nach
Anspruch 17, bei dem der Schlitz mit einem Material gefüllt ist, das einen anderen Brechungsindex hat als das
der Faser.
22. Optischer Hohlleiter-Strahlaufteiler/-verbinder nach
Anspruch 17, bei dem der Schlitz für eine Fokussierung gekrümmt ist.
23. Anordnung von wahlweise miteinander verbundenen linearen Hohlleitern mit einer Mehrzahl von Schichten aus einem
Werkstoff, der jeweils einen abweichenden Brechungsindex aufweist; eine Mehrzahl von unberührten linearen Hohlleitern
in den Schichten; und eine Mehrzahl von lichtumlenkenden Schlitzen, die in den unberührten Hohlleitern untergebracht
sind, wobei die Hohlleiter wahlweise zur Hervorbringung von Schaltungswegen aneinandergekuppelt sind.
24. Anordnung von wahlweise aneinandergekuppelten linearen Hohlleitern nach Anspruch 23, wobei die linearen Hohlleiter
eine sich ändernde Breite zur Erzielung einer Pulskorrektur aufweisen.
25. Anordnung von wahlweise aneinandergekuppelten linearen Hohlleitern nach 23, bei der die Schaltungswege dadurch
von der Stärke der Lichtintensität abhängen, daß die Größe und der Abstand der lichtrichtungsverändernden
Schlitze variiert ist.
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