DE3440152C2 - Ultraschall-Mikroskop - Google Patents

Ultraschall-Mikroskop

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DE3440152C2
DE3440152C2 DE3440152A DE3440152A DE3440152C2 DE 3440152 C2 DE3440152 C2 DE 3440152C2 DE 3440152 A DE3440152 A DE 3440152A DE 3440152 A DE3440152 A DE 3440152A DE 3440152 C2 DE3440152 C2 DE 3440152C2
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    • G01S15/00Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/88Sonar systems specially adapted for specific applications
    • G01S15/89Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
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Abstract

Bei einem Ultraschall-Mikroskop sind ein Schallkopf (6) und ein optischer Kopf (4) mit einem im voraus festgelegten Abstand in Y-Richtung auf einer Schiebeplatte (3) angeordnet, die an einem Arm (2) des Mikroskops verschieblich angeordnet ist. Dieser Aufbau ermöglicht eine präzise Betrachtung desselben Bereiches eines Objektes (12) durch Ultraschall nach einem Ultraschall-Rasterbild und optisch nach einem optischen Bild dadurch, daß der Schallkopf (6) und der optische Kopf (4) mittels der Schiebeplatte (3) gemeinsam um einen mit dem Zwischenabstand zumindest annähernd gleichen Betrag verstellt werden.

Description

Zusatzabtastung vorzunehmen. Auf diese Weise wird mit dem Schallkopf 6 eine Rasterabtastung des Objektes 12 vorgenommen. Beim Abtasten wird vom Schallkopf 6 ein Ultraschallwellenstrahl auf das Objekt 12 gerichtet, und der vom Objekt 12 reflektierte Ultra-Schallwellenstrahl wird vom Schallkopf S aufgefangen und in ein elektrisches Signal umgewandelt Dieses wird in zweckdienlicher Weise zu einem Bildsignal verarbeitet, das zur Darstellung eines Ultraschallbildes eine; a Monitor zugeführt wird. ι ο
Wenn nach beendeter Ultraschall-Betrachtung eine optische Betrachtung durchgeführt werden soll, wird die Schiebeplatte 3 von Hand in y-Richtung so viel verstellt, daß die optische Achse des Objektivs bzw. optischen Kopfes 4 in die Nähe der Betrachtungsachse des Mikroskops kommt Es ist von Vorteil, wenn die optische Achse des optischen Kopfes 4 zur völligen Koinzidenz mit der Betrachtungsachse des Mikroskops gebracht wird, so daß das Objekt 12 an der optischen Achse des Mikroskops gehalten wird. Weil in diesem Fall der Verstellweg durch die zwischen der Schiebeplatte 3 und dem Arm 2 angeordnete Rastvorrichtung begrenzt wird, ist eine einfache und genaue Positionierung des Objektivs bzw. optischen Kopfes 4 möglich.
Die Schiebeplatte 3 hat ein Loch zum Durchlassen von Licht zwischen dem Objektiv bzw. dem optischen Kopf 4 und dem Tubus 7; somit kann von der Lichtquelle 9 ausgesendetes Licht durch den Lichtübertrager 8, den Tubus 7 und den optischen Kopf 4 hindurch gegen eine Oberfläche des Objektes 12 gerichtet werden. Dg her kann ein von der Oberfläche des Objektes 12 zurückgestrahlter Lichtstrom mittels des optischen Kopfes 4, des in die Schiebeplatte 3 eingearbeiteten Loches, des Tubus 7 und des Okulars 10 betrachtet werden.
Gemäß der Erfindung sind der Schallkopf 6 und der optische Kopf 4 auf der in y-Richtung verschiebbaren Schiebeplatte 3 mit einem im voraus festgelegten Zwischenabstand in Y- Richtung angeordnet, und die Schiebeplatte 3 hat einen diesem Abstand zumindest annähernd gleichen Verschiebeweg. Es ist daher möglich, die Köpfe 4 und 6 auf bequeme Weise exakt zu positionieren, ohne den Objekttisch 11 zu bewegen.
Es wird nun das Einstellen eines Verstellweges der Schiebeplatte 3 beschrieben. In F i g. 3 sind ein Abtastbereich des Schallkopfes 6 und ein Gesichts- bzw. Bildfeld des Objektivs des optischen Kopfes 4 auf dem Objekt 12 dargestellt, wobei die Abtastlinie des Schallkopfes 6 mit einer durchgezogenen Linie und das vom Objektiv des optischen Kopfes 4 betrachtete Gesichtsbzw. Bildfeld mit einer gestrichelten Kreislinie gezeich- net sind. Der Schallkopf 6 beginnt mit dem Abtasten in einer Startposition 5 und tastet einen im wesentlichen quadratischen Bereich ab, um ein quadratisches Raster zu erzeugen. Das vom Objektiv betrachtete BiIdTeId ist ein zumindest annähernd kreisförmiger Bereich, in dem die Betrachtungsachse P des Mikroskops im Zentrum des Abtastbereiches des Schallkopfes 6 angeordnet ist.
In Fig.3 ist zu erkennen, daß, um eine Gleichheit zwischen dem Abtastbereich des Schallkopfes 6 und dem Bildfeld des Objektivs des optischen Kopfes 4 herzustellen, die optische Achse daher ausgehend von der Startposition S um einen Betrag d/2 verlagert werden muß, worin d der Zusatzabtastweg des Schallkopfes 6 ist.
In F i g. 4A und 4B sind der Verstellweg für die Schiebeplatte 3 zum Einfahren eines Kopfes in die Betrachtungsposition und Stellungsbeziehungen bei der Ultraschall- und der optischen Betrachtung dargestellt. Dabei ist das Objekt 12 an der Achse des Ultraschall-Mikroskops angeordnet, der Abstand zwischen dem Schallkopf 6 und dem optischen Kopf 4 ist 1, der Zusatzabtast· weg bei der Ultraschall-Betrachtung ist d, und bei der Ultraschall-Betrachtung ist der Objekttisch 11 um den Betrag d in y-Richtung verstellbar. Außerdem muß bei der Ultraschall-Betrachtung der Schallkopf 6 von der (mit einer strichpunktierten Linie gezeichneten) Betrachtungsachse Pdes Mikroskops um den Betrag d/2 in y-Richtung fortgesetzt sein, und bei der optischen Betrachtung sollte die Betrachtungsachse P des Mikroskops zur völligen Koinzidenz mit der optischen Achse des Objektivs des optischen Kopfes 4 gebracht werden. Wenn daher die optische Betrachtung nach beendeter Ultraschall-Betrachtung durchgeführt wird, wird die Schiebeplatte 3 um den Betrag 1 + d/2 in — y-Richtung verschoben. Wenn die Ultraschall-Betrachtung nach beendeter optischer Betrachtung durchgeführt wird, wird die Schiebeplatte 3 um den Betrag 1 + d/2 in Y- Richtung verschoben.
Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform wird die Zusatzabtastung in — y-Richtung vorgenommen, sie kann aber auch in der — y-Richtung durchgeführt werden. In diesem Falle muß die Schiebeplatte 3 um den Betrag 1 — d/2 verschoben werden. Weil die Bewegung der Schiebeplatte 3 zwischen den zwei im voraus festgelegten Positionen gemäß der Erfindung durch die zwischen dem Arm 2 und der Schiebeplatte 3 angeordnete Rastvorrichtung begrenzt wird, kann der Benutzer die Schiebeplatte 3 in y-Richtung oder in — Y-Richtung genau um den vorstehend angegebenen Betrag verschieben, so daß sich jeder der Köpfe 4 und 6 bequem, rasch und genau in die gewünschte Betrachtungsstellung einfahren läßt. Die den Schallkopf 6 und den optischen Kopf 4 tragende Schiebeplatte 3 kann in y-Richtung nicht nur von Hand, sondern durch Benutzung einer zweckdienlichen Antriebsvorrichtung auch automatisch verstellt werden.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1 2 Ein derartiges Ultraschall-Mikroskop ist aus der DE- Patentansprüche: OS 34 35 559 bekannt Dort dient ein optisches Mikroskop der Überwachung der Lage der Probe in bezug auf
1. Ultraschall-Mikroskop zum Betrachten eines eine Ultraschall-Linse. Dementsprechend steht die Ach-Ultraschall-Rasterbildes eines Objektes (12) auf ei- 5 se des optischen Beobachtungssystems senkrecht zur nem Objekttisch (11), wobei das Objekt (12) durch Achse der Ultraschall-Beobachtung.
Schwingungen eines Ultraschall-Kopfes (6) in einer Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein gatersten Richtung (X) und durch Bewegung des Ob- tungsgemäßes Ultraschall-Mikroskop derart weiterzujekttisches (11) in einer zweiten Richtung (Y), die zur bilden, daß sowohl eine Ultraschall- als auch eine optiersten Richtung senkrecht steht, abgetastet wird, 10 sehe Betrachtung desselben Bereiches eines Objektes und zum Betrachten eines optischen Bildes des Ob- präzise vorgenommen werden können, ohne daß durch jektes mittels einer Lichtquelle (9), eines Okulars (10) die Bedienungsperson aufwendige Einstellarbeiten und eines optischen Kopfes (4) einschließlich eines durchgeführt werden müssen.
Objektivs, dadurch gekennzeichnet, daß Ein diese Aufgabe lösendes Ultraschall-Mikroskop ist
der Ultraschall-Kopf (6) und der optische Kopf (4) 15 im Patentanspruch 1 gekennzeichnet
auf einem Schieber (3) unter einem vorgegebenen In den Unteransprüchen sind vorteilhafte Ausgestal-
Abstand (1) in der ersten oder zweiten Richtung (X tungen des Ultraschall-Mikroskops beschrieben. Ein
p oder Y) angeordnet sind und daß der Schieber (3) in Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden
p der ersten oder zweiten Richtung über eine solche anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert Es
% Strecke (1 + d/2) verschiebbar ist, daß der Mittel- 20 zeigt
'i| punkt des Ultraschall-Rasterfeldes gleich ist dem F i g. 1 eine Seitenansicht eines Ultraschall-Mikro-
|| Mittelpunkt (P) des optischen Bildfeldes. skops,
p 2. Ultraschall-Mikroskop nach Anspruch 1, da- F i g. 2 die zugehörige Vorderansicht,
Sf durch gekennzeichnet daß der Ultraschall-Kopf (6) F i g. 3 eine vereinfachte Darstellung eines Abtasthebel und der optische Kopf (4) auf dem Schieber (3) in der 25 reiches bei der Ultraschall-Betrachtung und eines Geis zweiten Richtung (Y)den vorgegebenen Abstand (1) sichts- bzw. Bildfeldes bei der optischen Betrachtung,
ίί aufweisen. Fig.4A und 4B vereinfachte Darstellungen eines H 3. Ultraschall-Mikroskop nach einem der Ansprü- Verstellweges einer Schiebeplatte.
j! ehe 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet daß der Ver- Zuerst wird der Gesamtaufbau des in F i g. 1 und 2 (f. schiebeweg des Schiebers (3) so eingestellt ist, daß er 30 dargestellten Ultraschall-Mikroskops beschrieben. t|l die Summe aus dem Abstand (1) zwischen dem Ul- Beim gezeigten Beispiel ist an einem Fuß 1 ein Arm 2 If traschall-Kopf (6) und dem optischen Kopf (4) und befestigt, auf dem eine als Schieber dienende Schiebe-1;{ dem halben Abtastweg (d) des Ultraschall-Kopfes platte 3 in K-Richtung verschieblich angeordnet ist. Die k| (6) in der zweiten Richtung (Y) ist Schiebeverbindung zwischen der Schiebeplatte 3 und ti 4. Ultraschall-Mikroskop nach Anspruch 1, da- 35 dem Arm 2 ist durch Schwalbenschwanznuten und eine ;■; durch gekennzeichnet, daß der Verschiebeweg des nicht dargestellte Rastvorrichtung zum Begrenzen der ';■ Schiebers (3) so eingestellt ist, daß er der Differenz Schiebebewegung der Schiebeplatte 3 hergestellt. Mit H zwischen dem Abstand (1) zwischen dem Ultra- einem im voraus festgelegten Zwischenabstand in :: schall-Kopf (6) und dem optischen Kopf (4) und dem V-Richtung sind an der Schiebeplatte 3 ein optischer :■..· halben Abtastweg (d)aes Ultraschall-Kopfes (6) in 40 Kopf 4 mit einem Objektiv für die optische Betrachtung % der zweiten Richtung (Y) entspricht. und ein Schallkopf 6 mit einem Schwinger 5 befestigt. V-I 5. Ultraschall-Mikroskop nach Anspruch 1, da- Der optische Kopf 4 ist mit der Schiebeplatte 3 lösbar ß durch gekennzeichnet, daß die Bewegung des Schie- verbunden, um das Betrachten eines Objektes 12 bei ii? bers (3) durch eine zwischen ihm und einem Arm (2) verschiedenen Vergrößerungen zu ermöglichen. Am |- des Mikroskops angeordnete Rastvorrichtung be- 45 Arm 2 ist ferner ein Tubus 7 befestigt. Mit dem Arm 2 ist p grenzt ist. auch über einen Lichtübertrager 8 eine Lichtquelle 9 5: 6. Ultraschall-Mikroskop nach Anspruch 1, da- fest verbunden, die mit ihm ein Auflicht-Beleuchtungs-Ä durch gekennzeichnet, daß das Ultraschall-Raster- system bildet. Mit dem Tubus 7 ist ein Doppelokular 10 '.i bildfeld von zumindest annähernd gleicher Größe verbunden. Unter den Betrachtungsköpfen ist ein in der ;f wie das optische Bildfeld ist. 50 V-Richtung beweglicher Objekttisch 11 angeordnet, der ■: 7. Ultraschall-Mikroskop nach Anspruch 1, da- mit einer nicht dargestellten Antriebsvorrichtung ge- !·.,: durch gekennzeichnet, daß eine Auflicht-Beleuch- kuppelt ist, die bei der Ultraschall-Betrachtung eine Zu-V tungseinrichtung (Lichtübertrager 8, Lichtquelle 9) satzabtastung des auf dem Objekttisch 11 angeordneten ·; vorgesehen ist. Objektes in der V-Richtung ermöglicht.
;| 8. Ultraschall-Mikroskop nach Anspruch 1, da- 55 Die Arbeitsweise ist folgende:
'; durch gekennzeichnet, daß das Okular (10) von ei- Wenn eine Ultraschall-Betrachtung vorgenommen ■;.; nem binokularen Linsensystem gebildet ist. werden soll, wird zuerst das zu betrachtende Objekt 12 ; ϊί 9. Ultraschall-Mikroskop nach Anspruch 1, da- auf dem Objekttisch 11 angeordnet und dann die Schieä durch gekennzeichnet, daß der optische Kopf (4) mit beplatte 3 von Hand so in eine Ultraschall-Betrach- : dem Objektiv abnehmbar an dem Schieber (3) ange- 60 tungsposition bewegt, daß, wie in F i g. 1 dargestellt, der ordnet ist. Schallkopf 6 über dem Objekt 12 nahe einer Betrachtungsachse des Mikrokops in Stellung gebracht wird.
Mittels des Schwingers 5 wird der Schallkopf 6 in
Schwingungen in der X-Richtung versetzt, um eine
65 Grundabtastung in der (zur Zeichnungsebene der
Die Erfindung betrifft ein Ultraschall-Mikroskop mit F i g. 1 senkrechten) X-Richtung durchzuführen. Gleich-
den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspru- zeitig damit wird der Objekttisch 11 mit einer konstan-
chesl. ten Geschwindigkeit in der Y- Richtung bewegt, um die
DE3440152A 1983-11-02 1984-11-02 Ultraschall-Mikroskop Expired DE3440152C2 (de)

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DE3440152A1 DE3440152A1 (de) 1985-05-23
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DE (1) DE3440152C2 (de)
GB (1) GB2149506B (de)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5627320A (en) * 1988-03-23 1997-05-06 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for automated non-destructive inspection of integrated circuit packages
CA1325537C (en) * 1988-08-01 1993-12-28 Timothy Peter Dabbs Confocal microscope
US5319977A (en) * 1991-06-20 1994-06-14 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Near field acoustic ultrasonic microscope system and method
USD387366S (en) * 1996-09-11 1997-12-09 Nikon Corporation Microscope
US6398721B1 (en) * 1999-02-19 2002-06-04 Olympus Optical Co., Ltd. Surgical microscope apparatus
JP2001224595A (ja) * 1999-12-08 2001-08-21 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡下手術用超音波プローブ
JP2005292320A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Olympus Corp 画像顕微鏡装置
JP1527716S (de) * 2014-05-12 2015-06-29
USD824445S1 (en) 2014-08-19 2018-07-31 Leica Microsystems Cms Gmbh Microscope
CN104792882A (zh) * 2015-04-03 2015-07-22 上海和伍新材料科技有限公司 利用激光笔进行超声探头定位的装置和方法
US20180372874A1 (en) * 2017-06-26 2018-12-27 GM Global Technology Operations LLC Apparatus for mechanical scanning scheme for lidar illuminator

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4011748A (en) * 1975-09-18 1977-03-15 The Board Of Trustees Of Leland Stanford Junior University Method and apparatus for acoustic and optical scanning of an object
JPS5824069B2 (ja) * 1978-05-18 1983-05-19 松下電器産業株式会社 動コンバ−ゼンス調整回路
JPS5774657A (en) * 1980-08-30 1982-05-10 Olympus Optical Co Ltd Ultrasonic microscope device
JPS57104856A (en) * 1980-12-22 1982-06-30 Hitachi Ltd Sonic microscope
JPS58118958A (ja) * 1982-01-06 1983-07-15 Hitachi Ltd 超音波顕微鏡
JPS6070350A (ja) * 1983-09-28 1985-04-22 Hitachi Ltd 光学顕微鏡を併設した超音波顕微鏡
DE3335480A1 (de) * 1983-09-30 1985-04-18 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Verfahren und vorrichtung zur durchfuehrung mehrerer einander ergaenzender mikroskopischer untersuchungen

Also Published As

Publication number Publication date
GB2149506A (en) 1985-06-12
GB2149506B (en) 1987-01-21
DE3440152A1 (de) 1985-05-23
US4621531A (en) 1986-11-11
GB8427666D0 (en) 1984-12-05
JPS6098352A (ja) 1985-06-01
US4726229A (en) 1988-02-23

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