DE3412076A1 - Vorrichtung zur zweidimensionalen vermessung von lichtpunkten - Google Patents

Vorrichtung zur zweidimensionalen vermessung von lichtpunkten

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Volker Dipl.-Biol. 3407 Gleichen Heerich
Helmut Prof. Dr. Dipl.-Ing. 3400 Göttingen Kellner
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Description

  • Vorrichtung zur zweidimensionalen Vermessung von Lichtpunkten
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur zweidimensionalen Vermessung von auf der Dingseite befindlichen Lichtpunkten, mit einer zwischen Dingseite und Bildseite angeordneten Abbildungsoptik und zwei Fotodiodenzeilen zum Erfassen der beiden Koordinaten des Lichtpunktes.
  • Lichtempfindliche Dioden, die in einer Vielzahl in Zeilenform aneinandergereiht sind, sind auch als sog. CCD-Zeile bekannt.
  • Eine CCD-Zeile ist ein Halbleiterbauelement, das aus einer grossen Zahl auf einem Substrat dicht integrierter MOS-Kondensatoren besteht, die ein analoges Signal in Form von Ladungspaketen speichern können und die diese Ladungspakete bei entsprechender Steuerung durch Taktsignale von Kondensator zu Kondensator weiterleiten können. Die einzelnen Dioden oder auch Bildelemente werden auch als Pixel bezeichnet. Ein einziges Pixel oder eine einzige Diode kann beispielsweise typisch eine Größe von 0,013 x 0,013 mm2 oder auch 0,010 x 0,010 mm2 aufweisen. Die einzelnen Dioden sind unmittelbar aneinanderstoßend in Zeilenform angeordnet. Es ist bekannt, in einer solchen Zeile beispielsweise 256 - 4.096 einzelne Dioden bzw. Pixel anzuordnen.
  • Wird eine einzelne Diode innerhalb der Zeile belichtet, so entsteht eine elektrische Ladung, die in einen Zwischenspeicher verschoben wird. Die Zwischenspeicher können dann ausgelesen werden, um festzustellen, welche der zahlreichen Dioden belichtet worden ist. Die dabei erhältlichen Informationen können entweder analog als Helligkeitsverteilung dargestellt oder mit Hilfe eines Analog-/Digital-Wandlers in Zahlenwerte umgeformt werde. Die Belichtungszeit einerseits und die Auslesetaktrate andererseits können gesteuert werden. Das Auslesen kann äußerst schnell erfolgen, z.B. mit einer Auslesetaktrate von bis zu 20 MHz.
  • Für eine Zeile mit 1.728 Dioden und einer Auslesetaktrate von 2 MHz ergibt sich eine Wiederholfrequenz von 1,16 KHz. Es versteht sich, daß mit derartigen Fotodiodenzeilen nur ein eindimensionales Messen möglich ist.
  • Zum zweidimensionalen Messen ist es bekannt, die Dioden, Bildelemente bzw. Pixel als Matrix anzuordnen, die dann aus n zeilen mit je m Dioden besteht. Auf diese Art und Weise ergeben sich n x m Bildelemente. Die Bildelemente können rechteckige Form, z. B. 0,018 x 0,030 mm2 oder auch quadratische Form, z. B. 0,023 x 0,023 mm2 haben. Daraus ergeben sich auch die Abstände in Zeile und Reihe. Eine solche Fotodiodenmatrix wird auch als CCD-Array bezeichnet. Das Auslesen einer solchen Matrix erfolgt zeilenweise, d. h. die n Zeilen werden zeitmäßig nacheinander ausgelesen. Aus diesem Grund ist die Auslesezeit um den Faktor n größer als bei einer Einzelzeile. Die übliche Auslesetaktrate liegt hier bei 50 Hz.
  • Für eine zweidimensionale Messung wird eine Kamera mit einer Fotodiodenmatrix eingesetzt. Für die Messung der dreidimensionalen Lage von Lichtpunkten werden üblicherweise zwei derartige Kameras in Stereoanordnung benötigt. Solche Messungen sind z. B. von erheblicher Bedeutung bei der zwei- oder dreidimensionalen berührungslosen Positionierung von mobilen Robotern relativ zu einem Lichtpunkt. Ein solcher Lichtpunkt kann selbstleuchtend ausgebildet sein, also z. B. als Diode oder auch durch Remission erzeugt werden. Mit einer dreidimensionalen Punktvermessung kann somit auch die Oberfläche eines Körpers erfaßt werden, wobei z. B. die Lichtpunkte von einem bewegten Laserstrahl nach Scanntechnik erzeugt werden.
  • Die für die angesprochenen Messungen verfügbaren Kameras, die mit einer Fotodiodenmatrix arbeiten, haben vor alen Dingen zwei wesentliche Nachteile. Die Anzahl der Fotodioden innerhalb der Matrix ist relativ gering und die Auslese zeit ist relativ hoch. Oft wird auch, z. B. für Positionieraufgaben ein großer Bildbereich bei hoher Auflösung in Verbindung mit einer kurzen Meßzeit verlangt. Diese Forderungen können von einer Fotodiodenmatrix, bedingt durch deren konstruktiven Aufbau, praktisch nicht oder nur sehr schwer erfüllt werden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, die mit einer geringen Anzahl von Fotodioden auskommt und bei der die Auslesetaktrate relativ hoch gewählt werden kann, wie dies an sich bei Fotodiodenzeilen möglich ist.
  • Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß die beiden Fotodiodenzeilen getrennt voneinander in unterschiedlichen Bildebenen und nicht in einer gemeinsamen Ebene angeordnet sind, daß die Abbildungsoptik einen halbdurchlässigen Spiegel und zwei dem Spiegel nachgeordnete Zylinderlinsen aufweist, und daß die den Fotodiodenzeilen zugeordneten Zylinderlinsen mit ihren Zylinderachsen windschief zueinander angeordnet sind und die Koordinatenachsen festlegen. Die Erfindung geht von dem Gedanken aus, die Verwendung einer Fotodiodenmatrix mit mehreren Zeilen bei der zweidimensionalen Vermessung zu verlassen und gleichsam eine Matrix aus zwei Zeilen in zwei räumlich getrennte Zeilen voneinander aufzuteilen und damit zu messen. Die Erfindung setzt somit die an sich bekannten Fotodiodenzeilen mit ihren höheren Auslesetaktraten ein, jetzt aber nicht zur eindimensionalen, sondern zur zweidimensionalen Messung. Diese beiden Fotodiodenzeilen werden in unterschiedlichen Bildebenen so angeordnet, daß sie nicht in einer gemeinsamen Ebene liegen. Zur Abbildungsoptik gehört weiterhin ein halbdurchlässiger Spiegel und zwei dem Spiegel nachgeordnete Zylinderlinsen. Die Erfindung benutzt weiterhin die Erkenntnis, daß sich ein Punkt mit Hilfe einer Zylinderlinse zu einem Strich bzw. Balken abbilden läßt. Aus einem Leuchtpunkt wird dabei ein Lichtbalken. Bildet man diesen Lichtbalken schräg auf der Fotodiodenzeile ab, dann wird das betreffende Bildelement im Schnittpunkt beleuchtet. Aus der betreffenden Fotodiodenzeile läßt sich eine Koordinate auslesen.
  • Gleiches gilt für die andere Fotodiodenzeile, wobei die Zylinderachsen, die im allgemeinen Fall lediglich windschief zueinander angeordnet sein müssen, zugleich die Koordinatenachsen festlegen. Mit diesen zwei Fotodiodenzeilen lassen sich auf diese Art und Weise die X- und die Y-Koordinate des Lichtpunktes messen, und zwar mit sehr großer Geschwindigkeit. Jeder auf diese Art und Weise erzeugte Lichtbalken beschreibt in Verbindung mit dem Projektionszentrum der Abbildungsoptik eine Ebene im Raum.
  • Sämtliche Lichtpunkte im dingseitigen Bereich dieser Ebene werden auf dem Lichtbalken abgebildet. Führt man dies mit Hilfe des halbdurchlässigen Spiegels zweimal für den betreffenden Lichtpunkt durch, so werden letztendlich zwei Ebenen im Raum definiert und der Lichtpunkt kann nur auf der Schnittgeraden dieser beiden Ebenen im Raum liegen. Durch die Verwendung von zwei Fotodiodenzeilen wird erfindungsgemäß gleichsam eine Pseudo-Array-Kamera geschaffen. Überraschend daran ist, daß man mit Fotodiodenzeilen, die an sich bisher nur zur eindimensionalen Messung eingesetzt wurden, auf die Art und Weise auch zweidimensional messen kann. Die Anwendung einer etwas weiter ausgebildeten Vorrichtung erlaubt sogar eine dreidimensionale Messung, und zwar ebenfalls unter Verwendung von nur zwei Fotodiodenzeilen, was völlig ungewöhnlich ist. Es ist natürlich auch möglich, mit zwei Vorrichtungen, die zur zweidimensionalen Messung ausgebildet sind, letztendlich dreidimensional zu messen.
  • Die wesentlichen Vorteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind darin zu sehen, daß nur zwei Fotodiodenzeilen ausgelesen werden müssen. Dies kann parallel zueinander geschehen, wodurch extrem kurze Meßzeiten erreicht werden. Die Meßfrequenz liegt mit Sicherheit im KHz-Bereich. Weiterhin ist es vorteilhaft, daß die Auf lösung in beiden Koordinatenrichtungen gleich sein kann und dem Abstand der Fotodioden in der Zeile entspricht, also in einer Größenordnung von 0,010 bis 0,013 mm liegt. Mit handelsüblichen CCD-Zeilen können auf diese Art und Weise 4.096 x 4.096 = 16.777.216 Bildpunkte bestimmt werden. Die Anzahl der Bildpunkte kann durch das Aneinanderreihen von CCD-Zeilen weiter erhöht werden.
  • Die Zylinderachsen können den Fotodiodenzeilen so zugeordnet sein, daß der durch die Abbildung des Lichtpunktes jeweils entstehenden Lichtbalken orthogonal auf der jeweiligen Fotodiodenzeile steht. Dies hat den Vorteil, daß ein größtmöglicher Bildwinkel zur Verfügung steht. Die Auflösung ist dabei auf den Abstand der Dioden in der Diodenzeile beschränkt.
  • Die beiden Bildebenen, die beiden Fotodiodenzeilen und die beiden Zylinderlinsen können jeweils orthogonal zueinander angeordnet sein. Damit ergibt sich eine kompakte, kleinbauende Einheit, die als Kamera auch eine hinreichende Stabilität besitzt.
  • Die Abbildungsoptik kann eine dem halbdurchlässigen Spiegel vorgeordnete Linsenoptik oder zwei nachgeordnete Linsenoptiken aufweisen. Bei der Nachordnung erhöht sich der bauliche Aufwand geringfügig.
  • Für die Realisierung des halbdurchlässigen Spiegels ergeben sich verschiedene Möglichkeiten, z. B. auch als Strahlen teiler usw.
  • Zum Zwecke der dreidimensionalen Vermessung können zwei derartige Vorrichtung, wie beschrieben, in Stereoanordnung Verwendung finden. Es versteht sich, daß dabei mit beiden Vorrichtungen der Dingraum mit dem zu vermessenden Lichtpunkt gemeinsam überdeckt werden muß. Es ist aber auch möglich, den Aufwand nicht zu verdoppeln, sondern lediglich eine etwas weitergebildete Vorrichtung für die dreidimensionale Messung einzusetzen. Dies ist dadurch möglich, daß zwei Linsenoptiken vor oder nach dem halbdurchlässigen Spiegel angeordnet sind, und daß im Bereich einer der beiden durch den halbdurchlässigen Spiegel dingseitig definierten optischen Achsen ein Oberflächenspiegel so angeordnet ist, daß sich auf der Dingseite ein gemeinsam überdeckter Messraum ergibt. Der zusätzliche Aufwand ist hier an sich nur noch in einem Oberflächenspiegel zu sehen, so daß überraschenderweise mit lediglich zwei Fotodiodenzeilen insgesamt 3 Koordinaten und somit der Lichtpunkt dreidimensional vermessen werden kann. Selbstverständlich ist es dabei erforderlich, zu unterscheiden, im Bereich welcher optischer Achse die zwei zueinander gehörigen Koordinaten jeweils ermittelt werden. Dabei ist es möglich, daß der halbdurchlässige Spiegel und der Oberflächenspiegel so angeordnet sind, daß der Schnittwinkel der optischen Achsen dingseitig möglichst groß, insbes. 900, ist. Es ergibt sich damit die größte Koordinatenmeßgenauigkeit.
  • Die einzelne Vorrichtung kann auch dadurch bezüglich der Fotodiodenzeile im Messbereich vergrößert werden, daß anstelle einer Fotodiodenzeile mehrere Fotodiodenzeilen in einer Ebene vorgesehen und einer Zylinderlinse bzw. Abbildungsoptik zugeordnet sind, auf die der Lichtbalken mittels Prismen, Spiegel o. dgl. abgebildet wird.
  • In Verbindung mit dem halbdurchlässigen Spiegel ist es auch möglich, zwei Meßräume mit einer einzigen Vorrichtung zu überwachen, wobei lediglich eine Zuordnung zwischen den Meßräumen und den ermittelten Koordinaten erfolgen muß.
  • Die Erfindung wird anhand einiger Ausfahrungsbeispiele weiter dargestellt und verdeutlicht. Es zeigen: Fig. 1 eine perspektivische Darstellung der Abbildung eines Lichtpunktes in einen Lichtbalken, Fig. 2 die räumliche Zuordnung der wesentlichen Teile der Vorrichtung in einer ersten Ausführungsform, Fig. 3 die Möglichkeit der Verwendung von mehreren Fotodiodenzeilen anstelle einer Fotodiodenzeile, Fig. 4 eine räumliche Anordnungsmöglichkeiten der Vorrichtung zur Uberwachung von zwei Meßräumen und Fig. 5 eine für eine dreidimensionale Messung weitergebildete Vorrichtung.
  • Fig. 1 verdeutlicht die Abbildung eines Lichtpunktes 1, der auf der Dingseite 2 vorgesehen ist zu einem Lichtbalken 3 auf einer Bildebene 4 im Bereich der Bildseite 5. Dies geschieht mit Hilfe einer Abbildungsoptik 6, die eine Linsenoptik 7 und eine Zylinderlinse 8 aufweist. Die Zylinderachse 9 der Zylinderlinse 8 und der Lichtbalken 3 legen in einer gemeinsamen Ebene, ja sogar parallel zueinander, wenn die Bildebene 4 entsprechend positioniert ist. Die Abbildungsgesetze einer Zylinderlinse 8 sind an sich bekannt. In einer ersten Abbildung erscheint der Lichtbalken 3 so wie dargestellt. Positioniert man nun eine Fotodiodenzeile 10 in der Bildebene 4 so, daß der Lichtbalken 3 schräg oder auch quer die Fotodiodenzeile 10 schneidet, so wird das betreffende Diodenelement der Fotodiodenzeile 10 belichtet und stellt damit eine Koordinate des Lichtpunktes 1 dar. Es versteht sich, daß in Verbindung mit der Zylinderachse 9 und dem belichteten Element der Fotodiodenzeile 10 eine Ebene definiert ist, in der auch der Lichtpunkt 1 angeordnet ist.
  • Die Anordnung nach Fig. 1 erlaubt noch keine zweidimensionale Vermessung, soll aber die prinzipiellen Möglichkeiten einer solchen Abbildung mit einer Zylinderlinse 8 aufzeigen.
  • Der in Fig. 2 dargestellte grundsätzliche Aufbau der Vorrichtung für eine zweidimensionale Messung baut zunächst auf der Anordnung gemäß Fig. 1 auf, d. h. der Lichtpunkt 1 wird mit Hilfe einer Linsenoptik 7 durch einen als Strahlenteiler ausgebildetem halbdurchlässigen Spiegel 11 und mittels der Zylinderlinse 8, deren Zylinderachse 9 dargestellt ist, als Lichtbalken 3 mit einer Fotodiodenzeile 10 zum Schnitt gebracht, wodurch beispielsweise die Koordinate X festgelegt ist. So wie die Zylinderlinse 8 an einer äußeren Planfläche des als Strahlenteilers ausgebildeten halbdurchlässigen Spiegels 11 angeordnet ist, ist eine zweite Zylinderlinse 12 mit ihrer Zylinderachse 13 orthogonal zu der Zylinderlinse 8 angeordnet. Mit Hilfe des halbdurchlässigen Spiegels 11 und der Zylinderlinse 12 wird der Lichtpunkt 1 ein zweites Mal als ein Lichtbalken 14 auf einer weiteren Fotodiodenzeile 15 abgebildet und damit die Koordinate Y des Lichtpunktes 1 festgelegt. Die beiden Fotodiodenzeilen 10 und 15 sind getrennt voneinander in unterschiedlichen Bildebenen und nicht in einer gemeinsamen Ebene angeordnet. Es wird darauf hingewiesen, daß es nicht unbedingt erforderlich ist, die Zylinderlinsen 8 und 12 orthogonal zueinander anzuordnen. Eine windschiefe Anordnung zueinander genügt. Jedoch trägt diese orthogonale Anordnung zum leichteren Verständnis bei. Jeder Lichtbalken 3, 14 beschreibt in Verbindung mit dem Projektionszentrum der Abbildungsoptik 6 eine Ebene im Raum. Sämtliche LIchtpunkte auf der Dingseite 2 dieser Ebene werden auf demselben Lichtbalken abgebildet. Es lassen sich zwei Raumebenen definieren. Der Schnittpunkt von zwei Raumebenen ist eine Schnittgerade 16, auf der der Lichtpunkt 1 liegt. Es versteht sich, daß sämtliche, auf der Schnittgeraden 16 liegenden Lichtpunkte gleiche X und Y Koordinaten liefern.
  • Die Darstellung der Fig. 3 soll verdeutlichen, daß mit Hilfe von Prismen 17 oder Spiegeln 18 die Möglichkeit besteht, den von einer Zylinder linse 8 abgebildeten Lichtbalken 3 bereichsweise auf drei Fotodiodenzeilen 19, 20, 21 zu lenken. Die Fotodioenzeilen 19, 20 und 21 ersetzen eine Fotodiodenzeile 10 oder 15.
  • Der Vorteil besteht darin, daß die Fotodioenzeilen 19, 20, 21 den Meßbereich vergrößern und außerdem parallel zueinander ausgelesen werden können, so daß sich damit die Geschwindigkeit der Messung noch einmal vergrößern läßt.
  • Gemäß Fig. 4 ist es möglich, mit einer Vorrichtung zwei verschiedene Bildräume zu überwachen, wobei im einen Bildraum der Lichtpunkt 1 und im anderen Bildraum der Lichtpunkt 22 angeordnet sein mögen. Mit Hilfe des halbdurchlässigen Spiegels 11 läßt sich die Messung einmal in Richtung des Lichtpunktes 1 und einmal in Richtung des Lichtpunktes 22 durchführen. Eine entsprechende Unterscheidung der dabei gemessenen Koordinaten ist natürlich erforderlich. Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Zylinderlinsen 8 und 12 orthogonal zueinander angeordnet. Auch hier reicht selbstverständlich aie windschiefe Anordnung grundsätzlich aus.
  • Aus den bisherigen Ausführungen ist für den Fachmann erkennbar, daß die zweifache Anwendung einer Vorrichtung zur zweidimensionalen Messung dann eine dreidimensionale Messung erlaubt, wenn eine Stereoanordnung verwirklicht wird.
  • Fig. 5 zeigt eine weitere Ausführungsmöglichkeit der Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung, wobei aber lediglich zwei Fotodiodenzeilen 10 und 15 eingesetzt werden. Der halbdurchlässige Spiegel 11 wird einmal nach der einen und zum anderen nach der anderen Richtung benutzt. Zu diesem Zweck muß neben der Linsenoptik 7 noch eine weitere Linsenoptik 23 vorgesehen sein. Die beiden Linsenoptiken 7 und 23 könnten auchlinter dem halbdurchlässigen Spiegel 11 angeordnet sein.
  • Beispielsweise der Linsenoptik 23 ist ein Oberflächenspiegel 24 zugeordnet, und zwar derart, daß auch in dieser Richtung die Dingseite 2 mit dem Lichtpunkt 1 überdeckt wird. Auf diese Art und Weise ist es möglich, mit den Fotodiodenzeilen 10 und 15 einmal durch die Linsenoptik 7 zwei Koordinaten festzustellen. Auch durch die Linsenoptik 23 ergeben sich zwei Koordinaten. Die jeweiligen Koordinatenpaare müssen jetzt nur sich unterschieden werden, was z. B. mit einer Chopper-Scheibe 25 geschehen kann, die in dem Strahlengang der Linsenoptik 23 angeordnet ist. Eine solche Chopper-Scheibe ist eine sich drehende Scheibe, die z. B. Fenster oder Aussparungen aufweist, so daß der Strahlengang einmal freigegeben und einmal abgedeckt wird. Auf diese Art und Weise erscheinen auf den Fotodiodenzeilen 10 und 15 immer abwechselnd 2 und 4 Koordinatensignale. Auch andere Unterscheidungsmethoden sind denkbar.
  • Bezugszeichenliste: 1 = Lichtpunkt 2 = Dingseite 3 = Lichtbalken 4 = Bildebene 5 = Bildseite 6 = Abbildungsoptik 7 = Linsenoptik 8 = Zylinderlinse 9 = Zylinderachse 10 = Fotodiodenzeile 11 = halbdurchlässiger Spiegel 12 = Zylinderlinse 13 = Zylinderachse 14 = Lichtbalken 15 = Fotodiodenzeile 16 = Schnittgerade 17 = Prisma 18 = Spiegel 19 = Teilzeile 20 = Teilzeile 21 = Teilzeile 22 = Lichtpunkt 23 = Linsenoptik 24 = Oberflächenspiegel 25 = Chopper-Scheibe - Leerseite -

Claims (9)

  1. Vorrichtung zur zweidimensionalen Vermessung von Lichtpunkten P a t e n t a n s p r ü c h e : 1. Vorrichtung zur zweidimensionalen Vermessung von auf der Dingseite befindlichen Lichtpunkten, mit einer zwischen Ding-und Bildseite angeordneten Abbildungsoptik und zwei Fotodiodenzeilen zum Erfassen der beiden Koordinaten des Lichtpunktes, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Fotodiodenzeilen (10, 15) getrennt voneinander in unterschiedlichen Bildebenen und nicht in einer gemeinsamen Ebene angeordnet sind, daß die Abbildungsoptik (6) einen halbdurchlässigen Spiegel (11) und zwei dem Spiegel nachgeordnete Zylinderlinsen (8, 12) aufweist, und daß die den Fotodiodenzeilen (10, 15) zugeordneten Zylinderlinsen (8,12) mit ihren Zylinderachsen (9, 13) windschief zueinander angeordnet sind und die Koordinatenachsen festlegen.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zylinderachsen (9, 13) den Fotodiodenzeilen (10, 15) so zugeordnet sind, daß der durch die Abbildung des Lichtpunktes (1) jeweils entstehende Lichtbalken (3, 14) orthogonal auf der jeweiligen Fotodiodenzeile (10, 15) steht.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Bildebenen, die beiden Fotodiodenzeilen (10, 15) und die Zylinderlinsen (8, 12) jeweils orthogonal zueinander angeordnet sind.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungsoptik (6) eine dem halbdurchlässigen Spiegel (11) vorgeordnete Linsenoptik (7) oder zwei nachgeordnete Linsenoptiken (7) aufweist.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der halbdurchlässige Spiegel (11) als Strahlenteiler ausgebildet ist.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zwecke der dreidimensionalen Vermessung zwei derartige Vorrichtungen in Stereoanordnung Verwendung finden.
  7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zwecke der dreidimensionalen Vermessung zwei Linsenoptiken (7, 23) vor oder nach dem halbdurchlässigen Spiegel (11) angeordnet sind, und daß im Bereich einer der beiden durch den halbdurchlässigen Spiegel (11) dingseitig definierten optischen Achsen ein Oberflächen-spiegel (24) so angeordnet ist, daß sich auf der Dingseite (2) ein gemeinsam überdeckter Dingraum ergibt.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der halbdurchlässige Spiegel (11) und der Oberflächenspiegel (24) so angeordnet sind, daß der Schnittwinkel der optischen Achsen dingseitig möglichst groß, insbes. 900, ist.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle einer Fotodiodenzeile (10 bzw. 15) mehrere Fotodiodenzeilen (19, 20, 21) in einer Ebene vorgesehen und einer Zylinderlinse bzw. Abbildungsoptik zugeordnet sind, auf die der Lichtbalken (3) mittels Prismen (17), Spiegel (18) o. dgl. abgebildet wird.
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