DE3406125A1 - Verfahren und vorrichtung zur herstellung von piezoelektrischen und/oder pyroelektrischen polyvinylidenfluorid-folien - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur herstellung von piezoelektrischen und/oder pyroelektrischen polyvinylidenfluorid-folien

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DE3406125A1 DE19843406125 DE3406125A DE3406125A1 DE 3406125 A1 DE3406125 A1 DE 3406125A1 DE 19843406125 DE19843406125 DE 19843406125 DE 3406125 A DE3406125 A DE 3406125A DE 3406125 A1 DE3406125 A1 DE 3406125A1
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Manfred Dipl.-Ing. Dr. Hanschen
Wolfgang Heeren
Jobst-Heino Dipl.-Chem. Dr. 2890 Nordenham Hübner
Bernd Dipl.-Phys. Dr. 2890 Nordenheim Lammers
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description

  • Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von
  • piezoelektrischen und/oder pyroelektrischen Polyvinylidenfluorid-Folien Beschreibung Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung piezoelektrischer und/oder pyroelektrischer Polyvinylidenfluorid-Folien (PVDF-Folien), bei dem eine unbehandelte Polyvinylidenfluorid-Folie mit einem überwiegenden Anteil von OL Ot-Kristalliten bei einer Temperatur von 135°C gereckt wird'und bei dem die Folie einem elektrischen Gleichspannungsfeld ausgesetzt wird. Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf eine Vorrichtung zur Herstellung von piezoelektrischen und/oder pyroelektrischen Polyvinylidenfluorid-Folien, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens , mit einer Heizeinrichtung zum Erwärmen der Folie, einer Reckeinrichtung zum mechanischen Recken der Folie und mit an eine Hochspannungs-Gleichspannungsquelle angeschlossenen Elektroden, die die Folie einem elektrischen Gleichspannungsfeld aussetzen.
  • Verfahren und Vorrichtung der gattungsbildenden Art sind aus der DE-AS 21 47 892 bekannt. Bei den bekannten Verfahren wird eine PVDF-Folie mit überwiegendem Anteil von Kristalliten bei einer Temperatur von nicht oberhalb l30°C in wenigstens einer Richtung um das 3- bis 3,6fache gereckt und anschließend bei einer Temperatur von wenigstens 40 0C , jedoch unterhalb des Schmelzpunktes der Folie mit einer elektrischen Gleichspannung zwischen 200 kV/ cm und 1 500 kV/:cm behandelt, wobei die Gleichspannungsbehandlung für ca. 1 Stunde durchgeführt wird.
  • Durch das Recken werden die $ Dt-Kristalliten zu p-Kristalliten umgewandelt (vgl. DE-AS 21 47 892, Spalte 2 Zeile 28-53). Durch die nachfolgende Gleichspannungsbehandlung im elektrischen Feld zwischen 200 und 1 500 kV/cm werden dann die ß-Kristallite polarisiert, so daß eine PVDF-Folie mit guten piezoelektrischen und auch gewissen pyroelektrischen Eigenschaften entsteht.
  • Bei der bekannten Vorrichtung erfolgt das Recken dadurch, daß die Folie auf der einen Seite an einem elektromechanischen Schwinger und an der anderen Seite an einer unter mechanischer Zugspannung stehenden Klemme befestigt wird.
  • Als Elektroden werden beidseitig der Folie und deren Fläche vollständig abdeckende Plattenelektroden verwendet.
  • Ein wesentlicher Nachteil dieses Standes der Technik liegt in der verhältnismäßig geringen Ausbeute. Die jeweils zu behandelnde, üblicherweise rechteckige Folie muß eingespannt werden, anschließend auf die Temperatur von unter 130 0C erwärmt werden, danach gereckt werden, dann auf eine Temperatur von ca. 40 ob abgekühlt werden, dann für ca. 1 Stunde dem elektrischen Gleichspannungsfeld ausgesetzt und schließlich aus der Vorrichtung entnommen werden.
  • Weiterhin ist der Energiebedarf für Heizung und Gleichspannungsbehandlung relativ groß.
  • Aus der DE-OS 21 59 861 ist ein ähnliches Verfahren zur Herstellung von piezoelektrischen Formgegenständen aus einem Vinylidenfluorid-Mischpolymerisat bekannt.
  • Ebenso ist es aus der US-PS 3 792 204 bekannt, eine Vinyliden-Fluoridfolie nach einem Reckvorgang zur Bildung eines Elektrets einem Gleichspannungsfeld auszusetzen. Gleiches gilt auch für das Firmenprospekt "Solvay-Informationen" (Solef, Piezoelektrische Folien aus Polyvinylidenfluorid (PVDF)), wo auch beschrieben ist, daß piezoelektrische und pyroelektrische Effekte bei polaren Polymeren wie PVDF gemeinsam auftreten.
  • Anwendungsbeispiele für piezoelektrische und pyroelektrische Folien sind in der US-PS 3 912 830, US-PS 3 794 986, GB-PS 1 525 136 und FR-2 124 600 beschrieben.
  • Ausgehend von dem gattungsbildenden Stand der Technik ist es Aufgabe der Erfindung, Verfahren bzw. Vorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, daß bei ähnlich guten piezoelektrischen bzw. pyroelektrischen Eigenschaften eine deutlich höhere Ausbeute erzielt wird.
  • Als Nebeneffekt soll auch der Energieverbrauch verringert werden.
  • Verfahrensmäßig wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die unbehandelte PVDF-Folie in einem Temperaturbereich von ca. 70-90 0C gereckt und gleichzeitig, d. h. während des Reckens einem elektrischen Gleichspannungsfeld von weniger als 200 kV/cm ausgesetzt wird.
  • Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß sich während des Reckens die einzelnen Molekeln noch in Bewegung befinden und daher leichter polarisierbar sind. Folglich kann beim Polarisieren mit geringerer elektrischer Feldstärke, kürzerer Einwirkungsdauer und niedrigerer Temperatur gearbeitet werden.
  • Hierdurch wird es dann nach einer Weiterbildung der Erfindung möglich, kontinuierlich, d. h. im Durchlaufverfahren mit bahnförmigem Folienmaterial zu arbeiten. Vorteilhaft ist es hierbei, daß das Gleichspannungsfeld nur auf einen räumlich begrenzten Bereich einwirkt, der in der Größenordnung von 200 mm gemessen in Reckrichtung der Folie -liegt. Es können dann relativ kleine Elektroden bzw.
  • relativ hohe Durchlaufgeschwindigkeiten gewählt werden.
  • Günstig hierfür ist auch, daß nach der Erfindung die Einwirkung des elektrischen Feldes auf die jeweiligen Flächenbereiche der PVDF-Folie kürzer als 100 5 sein muß.
  • Einwirkungszeiten herunter bis zu 5 Sek. konnten sogar mit guten Erfolgen verwirklicht werden.
  • Eine Weiterbildung der Erfindung liegt darin, daß die gereckte und elektrisch behandelte PVDF-Folie unter mechanischer Spannung gehalten und in diesem Zustand eine Zeitlang getempert wird. Durch diese Nachbehandlung unter mechanischer "Orientierungsspannung" können sich die Molekeln nicht zurückstellen. Durch das Tempern werden die mechanischen Spannungen abgebaut, so daß ein nachfolgendes Schrumpfen der Folie nicht auftritt. Eine so nachbehandelte Folie kann in höheren Temperaturbereichen verwendet werden, in denen konventionelle Folien ihre piezoelektrischen Eigenschaften verlieren, was bei Temperaturen oberhalb von 60-70 0C sonst auftritt.
  • Günstig ist, wenn das Tempern bei Temperaturen zwischen 90 und 130 0C für mindestens eine Stunde durchgeführt wird. Temperdauern von 1 bis 3 Stunden haben sich als günstig erwiesen.
  • Vorrichtungsmäßig wird die oben angegebene Aufgabenstellung dadurch gelöst, daß die Reckeinrichtung aus mindestens zwei Walzengruppen (Einlaufwalzengruppe und Auslaufwalzengruppe) besteht, zwischen denen die bahnförmige Folie jeweils im wesentlichen schlupffrei geführt ist, und daß zwischen der Einlaufwalzengruppe und einer schneller als diese angetriebenen Auslaufwalzengruppe ein Reckbereich vorhanden ist, in welchem die Elektroden so angeordnet sind, daß sie auf die an ihnen vorbeilaufende Folie ein elektrisches Gleichspannungsfeld ausüben. Mit dieser Vorrichtung ist ein kontinuierlicher Durchlaufbetrieb möglich.
  • Vorzugsweise ist eine Elektrode auf einer Seite der Folie als Flächenelektrode und die andere Elektrode auf der anderen Seite der Folie als Klingen-, Messer-, Draht- bzw.
  • Nadelelektrode ausgebildet. Hierdurch wird das elektrische Gleichspannungsfeld mittels Corona-Entladungen erzeugt.
  • Als Abstand der beiden Elektroden hat sich ein Bereich zwischen 0,6 und 0,7 mm als günstig erwiesen. Bei Feldstärken von Z #200 kV/cm ergibt sich dann ein Gleichspannungs-Einwirkungsbereich bezogen auf die Reck- bzw. Bewegungsrichtung der Folie von 20 bis 25 mm. Vorzugsweise werden die Walzengruppen so angetrieben, daß sich eine Fördergeschwindigkeit zwischen 100 und 300 mm/min ergibt.
  • Für die Nachbehandlung ist bei der Vorrichtung ein Temper-Ofen vorgesehen, in welchem die Folie unter mechanischer Spannung gehalten ist. Besonders zweckmäßig ist es, eine Aufwickelbobine in dem Temper-Ofen anzuordnen, die so an- treibbar ist, daß die auf ihr aufgewickelte Folie unter mechanischer (Zug)-Spannung steht.
  • Da die Elektroden und insbesondere die Flächenelektrode elektrostatische. Kräfte auf die an ihnen vorbeilaufende Folie ausüben, die dazu führen, daß die Folie an die Flächenelektrode "angesaugt" wird, ist es vorteilhaft, die Flächenelektrode unter einem spitzen Winkel gegenüber der Bewegungsrichtung der Folie anzuordnen, und zwar so, daß sich der Abstand zwischen Folie und Flächenelektrode in Bewegungsrichtung der Folie verringert.
  • Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels im Zusammenhang mit der Zeichnung ausführlicher erläutert. Es zeigt: Fig. 1 eine schematische Seitenansicht der Vorrichtung nach der Erfindung; und Fig. 2 eine vergrößerte, schematische Schnittansicht der Elektroden der Fig. 1.
  • Bei der Vorrichtung der Fig. 1 ist die Polyvinylidenfluorid-Folie, im folgenden kurz PVDF-Folie bzw. Folie 10 genannt, das Ausgangsmaterial, das eine #-Kristallstruktur hat. Derartige Kristalle sind nur geringfügig polarisierbar. Durch Recken bzw. Strecken der Folie werden die -Kristalle in p-Kristalle umgewandelt, die verhältnismäßig gut polarisierbar sind. Die Folie 10 ist in Fig. 1 auf einer Bobine 11 aufgewickelt, von der sie in Pfeilrichtung in einen gestrichelt dargestellten Kasten 12 abgezogen wird. Dies geschieht durch ein Einlaufwalzenpaar aus Walzen 13 und 14, die in Pfeilrichtung angetrieben werden und die so angeordnet bzw. beschichtet sind, daß die Folie 10 im wesentlichen schlupffrei an ihnen geführt bzw. durch sie transportiert wird. In der Praxis können auch mehr als zwei Walzen hierfür vorgesehen sein. Nach dem Ablauf von der Walze 14 gelangt die Folie 10 in einen Behandlungsbereich, wo sie zunächst eine schematisch dargestellte, regelbare Heizeinrichtung 15 durchläuft, wo sie auf eine Temperatur zwischen 70 und 90 ob erwärmt wird.
  • Statt einer separaten Heizeinrichtung kann auch das gesamte Innere des Kastens 12 einschließlich der in ihm befindlichen Walzen beheizt sein.
  • Nach der Heizeinrichtung 15 gelangt die Folie 10 zwischen zwei Elektroden 16 und 17, wobei eine Elektrode 16 auf einer Seite der Folie 10 als Plattenelektrode und die andere Elektrode auf der anderen Seite der Folie 10 als Klingen-, Messer-, Nadel- bzw. Drahtelektrode 17 ausgebildet ist.
  • Der Elektrodenabstand von der Spitze der Elektrode 17 zu der Fläche der Plattenelektrode 16 liegt vorzugsweise zwischen 0.6 und 0,7 mm, beträgt mindestens jedoch 0,2 mm.
  • Die Elektroden 16 und 17 sind über elektrische Leitungen 18 und 19 an einen Gleichspannungsgenerator 20 angeschl#ossen, der an die Elektroden eine Gleichspannung solcher Höhe anlegt, daß eine elektrische Feldstärke von kleiner als 200 kV/cm erzeugt wird. Wie in Fig. 1 angedeutet, kann der Gleichspannungsgenerator aus dem Netz mit Energie versorgt werden. Nach den Elektroden 16, 17 gelangt die Folie 10 zu einem Auslaufwalzenpaar aus Walzen 21 und 22, die mit einer zweiten Geschwindigkeit angetrieben werden. Diese zweite Geschwindigkeit ist größer als die erwähnte erste Geschwindigkeit des Einlaufwalzenpaares (Walzen 13 und 14), so daß die Folie 10 im Behandlungsbereich zwischen dem Einlaufwalzenpaar und dem Auslaufwalzenpaar gereckt wird.
  • Durch Änderung der Antriebsgeschwindigkeit der Walzenpaare kann das Reckverhältnis verändert werden. Zweckmäßig hat sich ein Reckverhältnis von 3 : 1 erwiesen, d. h. die Folie 10 wird in Förderrichtung um den Faktor 3 gereckt. Auch das Auslaufwalzenpaar (Walzen 21, 22) ist so angeordnet bzw. beschichtet, daß ein schlupffreier Transport der Folie 10 möglich ist. Am Auslaufende der Walze 22 wird die Folie 10 aus dem Kasten 12 herausgeführt und über eine Umlenkwalze 23 einer angetriebenen Aufwickelbobine 24 zugeführt. Die Aufwickelbobine 24 ist so angetrieben, daß die Folie relativ fest, d. h. unter mechanischer Zugspannung auf sie aufgewickelt wird. Die Aufwickelbobine 24 ist in einem Temper-Ofen 25 angeordnet, der beheizbar (nicht dargestellt) ist. Als Temper-Temperatur haben sich Werte zwischen 90 und 13000 als günstig erwiesen; als Temper-Zeiten wird mindestens eine Stunde bzw. ein Bereich von ein bis drei Stunden vorgeschlagen.
  • Die Strecklänge, d. h. die Strecke zwischen Auslauf der Walze 14 und Einlauf der Walze 21 kann relativ kurz sein und liegt in der Größenordnung von 30 cm.
  • Fig. 2 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform der Elektroden. Bei der Plattenelektrode 16 tritt während des Betriebes der Effekt auf, daß die Folie 10 durch elektrostatische Kräfte an die Plattenelektrode 16 "angesaugt" wird. Um eine zu hohe Reibung zu verhindern, ist nach einer Weiterbildung gemäß Fig. 2 die Plattenelektrode 16 gegenüber der Folie 10 unter einem spitzen Winkel t geneigt,und zwar so, daß in Bewegungsrichtung (Pfeil) der Folie 10 der Abstand zwischen Folie 10 und Plattenelektrode 16 zunehmend kleiner wird.Das Einlauf- und Auslaufende ist jeweils mit einer Rundung 26 versehen, um Beschädigungen der Folie 10 zu verhindern.
  • Die Messer-, Klingen-, Draht- bzw. Nadelelektrode 17 weist an ihrem der Elektrode 16 gegenüberliegenden Ende eine Spitze 27 auf und ist bei schräggestellter Elektrode 16 etwas unterhalb der Mitte der Elektrode 16 angeordnet. Dies ist auch deshalb zweckmäßig, da bei der Klingenelektrode eine Corona-Entladung stattfindet, die nach oben gerichtet ist.
  • Die Breite der Elektroden 16 und 17, d. h. quer zur Bewegungsrichtung der Folie 10, entspricht der Breite der Folie 10.
  • ;Bei Betrieb der Vorrichtung bzw. Durchführung des Verfahrens müssen Temperatur, elektrische Feldstärke, mechanische Spannung und Geschwindigkeit aufeinander und auf die verwendete Folie abgestimmt sein. Insbesondere ist auch das Molekulargewicht bzw. die Dicke der Folie-von Bedeutung. Beispielsweise fordert ein höheres Molekulargewicht de-r Folie eine höhere Temperatur, allerdings keine Änderung der Feldstärke.
  • Bei einem Ausführungsbeispiel wurden folgende Parameter bzw. Größen erhalten: Ausgangsmaterial: PVDF-Folie, hergestellt auf einer Breitschlitzdüse mit einer Dicke von 75 lum Reckverhältnis: 1 : 3 Recktemperatur: 70 0C Abzugsgeschwindigkeit: 200 mm/min d31 : 20...25 pCN-1 #32 : 0,2 ..1,2 pCN -1 d33 : 18...25 pCN e33 : = 50 mCm#2 Enddicke: - 20 vum Reißfestigkeit: 250 N.mm 2 Reißdehnung: 60 % Dichte: 1,78 g.cm-3 Linearer Ausdehnungskoeffizient: ca. 1,5 x 10-4 x K-1 Schmelztemperatur der Kristalle: 178 0C Transmissionsgrad: 94 % Shore-Härte D: ca. 80 Kältebruchtemperatur: -40 0C Dielektrizitätszahl ( E ) 8... 12 (zwischen 20 und 150 °C) bei 1 kHz Dielektrischer Verlustfaktor ( tan#): 0,01..0,18 (zwischen 20 und 150 °C) bei 1 kHz Elektrische Feldstärke: 200 kV/cm Verhältnis#-Kristalle :#-Kristalle nach der Behandlung: 0>05 : 0,17.
  • Sämtliche in den Patentansprüchen, der Beschreibung und der Zeichnung dargestellten technischen Einzelheiten können sowohl für sich als auch in beliebiger Kombination miteinander erfindungswesentlich sein.
  • Bezugszeichenl iste 10 Folie 11 Bobine 12 Kasten 13 Walze 14 Walze 15 Heizeinrichtung 16 Elektrode 17 Elektrode (Messer-, Klingen-, Draht- bzw. Nadelelektrode) 18 Elektrische Leitung 19 Elektrische Leitung 20 Hochspannungsgenerator 21 Walze 22 Walze 23 Walze 24 Bobine 25 Temper-Ofen 26 Rundung 27 Spitze =Winkel

Claims (15)

  1. Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von piezoelektrischen und/oder pyroelektrischen Polyvinylidenfluorid-Folien Ansprüche Verfahren zur Herstellung piezoelektrischer und/ oder pyroelektrischer Polyvinylidenfluorid-Folien (PVDF-Folien), - bei dem eine unbehandelte Polyvinylidenfluorid-Folie mit einem überwiegenden Anteil von s -Kristalliten bei einer Temperatur von L135 0C gereckt wird und - bei dem die Folie einem elektrischen Gleichspannungsfeld ausgesetzt wird, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die unbehandelte Polyvinylidenfluorid-Folie in einem Temperaturbereich von 70 - 135 0C in Abhängigkeit vom verwendeten Rohmaterial und der Dicke der unbehandelten Folie gereckt und gleichzeitig, d. h. während des Reckens einem elektrischen Gleichspannungsfeld von weniger als 200 kV/cm ausgesetzt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch l, dadurch gekennzeichnet, daß die Polyvinylidenfluorid-Folie bahnförmiges Material ist, das kontinuierlich behandelt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrische Gleichspannungsfeld auf einen räumlich begrenzten Bereich der Polyvinylidenfluorid-Folie einwirkt, insbesondere auf einen Bereich von 200 mm gemessene Streckrichtung der Folie.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrische Gleichspannungsfeld kurzzeitig, insbesondere kürzer als 100 s auf den jeweiligen Flächenbereich der Polyvinylidenfluorid-Folie einwirkt.
  5. 5. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die gereckte und elektrisch behandelte Polyvinylidenfluorid-Folie unter mechanischer Spannung gehalten und in diesem Zustand eine Zeitlang getempert wird.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die gereckte und elektrisch behandelte Polyvinylidenfluorid-Folie unter mechanischer Spannung aufgewickelt wird.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Tempern bei Temperaturen von 90 bis 130°C für mindestens eine Stunde durchgeführt wird.
  8. 8. Vorrichtung zur Herstellung von piezoelektrischen und/oder pyroelektrischen Polyvinylidenfluorid-Folien, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, mit einer Heiz- einrichtung zum Erwärmen der Folie, einer Reckeinrichtung zum mechanischen Recken der Folie und mit an eine Hochspannungs-Gleichspannungsquelle angeschlossenen Elektroden, die die Folie einem elektrischen Gleichspannungsfeld aussetzen, dadurch gekennzeichnet, daß die Reckeinrichtung aus mindestens zwei Walzengruppen (Einlaufwalzengruppe 13, 14; Auslaufwalzengruppe 21, 22) besteht, zwischen denen die bahnförmige Folie (10) jeweils im wesentlichen schlupffrei geführt ist,und daß zwischen der Einlaufwalzengruppe (13, 14) und der schneller als diese angetriebenen Auslaufwalzengruppe (21, 22) ein Reckbereich vorhanden ist, in welchem die Elektroden (16, 17) so angeordnet sind, daß sie auf die an ihnen vorbeilaufende Folie (10) ein elektrisches Gleichspannungsfeld ausüben.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (16, 17) ein Elektrodenpaar bilden, deren eine Elektrode als Flächenelektrode (16) und deren andere als Messer-, Klingen-, Draht- bzw. Nadelelektrode (17) ausgebildet ist, und daß die Elektroden beidseitig der vorbeilaufenden Folie (10) angeordnet sind.
  10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der wechselseitige Abstand der beiden Elektroden mindestens 0,2 mm beträgt und vorzugsweise zwischen 0,6 und 0,7 mm liegt. -
  11. 11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge der Feldeinwirkung bezogen auf die Reck- bzw. Bewegungsrichtung der Folie (10) 20 bis 25 mm ist.
  12. 12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Fördergeschwindigkeit der Folie (10) zwischen 100 und 300 mm/min liegt.
  13. 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche'8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein der Reckeinrichtung nachgeschalteter Temper-Ofen (25) vorgesehen ist, in welchem die Folie (10) unter mechanischer Spannung gehalten ist.
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Temper-Ofen (25) eine Aufwickelbobine (24) angeordnet ist, die so antreibbar ist, daß die auf ihr aufgewickelte Folie (10) unter mechanischer (Zug)-Spannung steht.
  15. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächenelektrode (16) gegenüber der Folie in einem spitzen Winkel ( t) angeordnet ist, so daß der Abstand zwischen Folie (10) und Flächenelektrode (16) in Bewegungsrichtung der Folie (10) kontinuierlich abnimmt.
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