DE3326867A1 - ARRANGEMENT FOR COMPENSATING ENVIRONMENTAL INFLUENCES IN LENGTH MEASURING DEVICES - Google Patents

Description

Anordnung zur Kompensation von Umwelteinflüssen bei Längenme ßgerat enArrangement for the compensation of environmental influences Length measuring devices

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Kompensation von Umwelteinflüssen bei mit interferometrischen V/egmeßsystemen ausgerüsteten Längenmeßgeräten.The invention relates to an arrangement for compensating for environmental influences with interferometric measuring systems equipped length measuring devices.

Aus der DD-PS 120 082 ist ein interferometrisches Me(3system mit einer Einrichtung zur Kompensation des Einflusses der Umweltbedingungen auf die Messung von Verschiebungen und Längen von Meßobjekten bekannt. Dabei umfaßt eine Zueatzimpulse erzeugende Korrekturvorrichtung ein zweites Interferometer, welches aus einem Strahlenteilerelement und zwei, mittels fester Einstellmarken einstellbarer, in der Höhe der MeOstrecke angeordneter Reflektoren besteht. Zugehörige fotoelektrische Wandler zur Erzeugung einer von den jeweiligen Umweltbedingungen.abhängigen Anzahl von Differenzimpulsen sind vorgesehen. Diese Zusatzimpulse werden mittels eines Z'veirichtungszählers gezählt, und mittels eines Rechners werden.die ermittelten Meßwerte auf Horma!bedingungen bezogen..Um gleiche thermische Verhältnisse zu erzielen, sind u. a. die festen Einstellmarken auf dem das Meßobjekt und den Meßreflektor tragenden Schlitten angeordnet.From DD-PS 120 082 an interferometric measurement (3system with a device to compensate for the influence of environmental conditions on the measurement of displacements and lengths of objects to be measured are known. In this case, a correction device generating additional pulses comprises a second Interferometer, which consists of a beam splitter element and two reflectors, adjustable by means of fixed setting marks, arranged at the height of the measuring path consists. Associated photoelectric converters for generating one dependent on the respective environmental conditions Number of differential pulses are provided. These additional pulses are counted by means of a direction counter are counted, and by means of a calculator determined measured values related to Horma! conditions To achieve the same thermal conditions are, among other things. the fixed setting marks on the target and the Measuring reflector carrying carriage arranged.

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Diese.Einrichtung erfordert jedoch einen erheblichen optisch-mechanischen Aufwand und set st die Gleichheit der thermischen Ausdehnungskoeffizienten in Meß- und Korrekturstrecke im Meßgerät voraus. So v/erden prinzipiell lediglich Änderungen der Umweltbedingungen, welche die "/ellenlange des verwendeten Lichtes beeinflussen, kompensiert. This device, however, requires considerable opto-mechanical Effort and set st the equality of the thermal expansion coefficients in the measurement and correction sections in the measuring device ahead. In principle, only changes in the environmental conditions which the "/ ellen length of the light used, compensates.

Bei der optisch-interferometrischen Teilvorrichtung nach der DE-AS 1.235.601 ist die gesamte Teilvorrichtung in. einem luftdicht abgeschlossenen Behälter untergebracht. Der mit der Teilung versehene Gegenstand und der Reflektor des die Teilschritte festlegenden Teilungsinterferometers sind auf einem verschiebaren Schlitten angeordnet. Die übrigen optischen Teile des Interferometers sowie das Reißerwerk befinden sich stationär auf einer Grundplatte* Die Schlittenvorschubbewegung wird in Abhängigkeit von einer fotoelektrischen Überwachung der Interferenastreifen gesteuert, welche am Ausgang des Teilungsinterferometers vorgesehen ist. Zur Kompensation der durch Änderung der Umweltbedingungen in dem Behälter sich ergebenden, die Teilungsgenauigkeit beeinträchtigenden Einflüsse ist im Behälter ein weiteres, von einer gesonderten Lichtquelle versorgtes Interferometer mit einer auf dem Schlitten in der Uähe des zu teilenden Gegenstandes gelegenen Interferenzstandardeinheit angeordnet, welche zwei in einem vorgegebenen Abstand gehaltene Reflektoren umfaßt. Über Detektoren und eine Steuereinrichtung ist eine.ständige Regelung des Luftdruckes im Behälter erzielbar.In the case of the optical-interferometric dividing device according to DE-AS 1.235.601, the entire device part is housed in an airtight container. The object provided with the graduation and the reflector of the graduation interferometer defining the sub-steps are arranged on a displaceable slide. The remaining optical parts of the interferometer as well as the The shredding mechanism is stationary on a base plate * The slide feed movement is dependent on photoelectric monitoring of the interference fringes controlled, which is provided at the output of the graduation interferometer. To compensate for by changing the Environmental conditions in the container that result Influences affecting the accuracy of the division are also caused by a separate light source in the container supplied interferometer with one on the slide in Interference standard unit located near the object to be divided arranged, which comprises two reflectors held at a predetermined distance. Above Detectors and a control device can be used to regulate the air pressure in the container independently.

Ein wesentlicher Nachteil dieser Teilvorrichtung besteht darin, daß das gesamte interferometrische Meßsystem in einem abgeschlossenen Behälter untergebracht ist, wodurch die gesamte Vorrichtung kompliziert und von außen schwer zugänglich ist. Auch lassen sich lediglich die die YJeI-lenlänge des Lichtes beeinflussenden Umweltfaktoren kom-A major disadvantage of this sub-device is that the entire interferometric measuring system in is housed in a closed container, making the entire device complicated and difficult from the outside is accessible. Also, only the environmental factors that influence the length of the light can be

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pensieren. Einflüsse auf die Genauigkeit, die auf unterschiedliche Wärmedehnungen verschiedener Werkstoffe zurückzuführen sind, werden nicht kompensiert.retire. Influences on the accuracy that on different Thermal expansions of different materials are due to, are not compensated.

Es ist der Zweck der Erfindung, die Nachteile des Standes der Technik zu beseitigen und die Meßgenauigkeiten von mit interferometrischen Meßsystemen ausgerüsteten Längen- und Koordinatenmeßgeräten zu erhöhen·It is the purpose of the invention to eliminate the disadvantages of the prior art and the measuring accuracy of with length and length measuring systems equipped with interferometric measuring systems To increase coordinate measuring machines

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur Kompensation von Umwelteinflüssen bei Längen- und Koordinatenmeßgeräten zu schaffen, mit welcher sowohl die die Wellenlänge des im Interferometer verwendeten Lichtes beeinflussenden Umweltfaktoren als auch durch unterschiedliche thermische Ausdehungskoeffizienten zwischen Meßobjekt und Uormal oder Gerät bedingte Meßungenauigkeiten kompensierbar sind.The invention is based on the object of an arrangement for compensating for environmental influences in the case of length and length To create coordinate measuring devices with which both the wavelength of the light used in the interferometer influencing environmental factors as well as by different thermal expansion coefficient between measurement object and measurement inaccuracies caused by the normal or device are compensable.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe bei einer Anordnung zur Kompensation von Umwelteinflüssen bei Längenmeßgeräten mit interferometrischen Meßsystemen dadurch gelöst, daß auf dem Schlitten vorzugsweise parallel zum Meßobjekt oder zu den Verschiebeeinrichtungen des Schlittens aus Material unterschiedlicher thermischer Ausdehnung bestehende Hilfsmaßstäbe angeordnet sind, die in möglichst großem Abstand; M&rkierungen zur Antastung mit fiier optischen Antasteinrichtung und zur Durchführung von Längenmessungen an diesen Hilfsmaßstäben besitzen, und welche vorzugsweise an einem Ende miteinander fest verbunden sind.According to the invention, the object is achieved in an arrangement for Compensation of environmental influences in length measuring devices with interferometric measuring systems solved in that on the slide, preferably parallel to the test object or to the sliding devices of the slide Material of different thermal expansion existing auxiliary scales are arranged in the possible large distance; Markings for probing with fiier optical Have probing device and for performing length measurements on these auxiliary scales, and which preferably are firmly connected at one end.

Dabei ist es vorteilhaft, daß der eine Hilfsmaßstab einen sehr kleinen und der andere Hilfsmaßstab einen sehr großen oder einen dem Meßob_rjekt nahe kommenden Wärmedehnungskoeffizienten besitzt, und daß die Hilfsmaßstäbe in der Fokalebene des Objektives der Antasteinrichtung angeordnet sind.It is advantageous that an auxiliary scale, a very small and the other auxiliary scale, a has very large, or _r ject near the Messob coming coefficient of thermal expansion, and that the auxiliary gauges are arranged in the focal plane of the lens of the Antasteinrichtung.

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Eine günstige konstruktive Lösung ergibt sich, wenn die Markierungen mindestens einea der Hilfsmaßstäbe lös- und auswechselbar am Maßstab angeordnet sind.A favorable constructive solution is obtained if the markings can be removed from at least one of the auxiliary scales are arranged interchangeably on the scale.

Es ist weiterhin vorteilhaft, daß die Markierungen auf Teilungsträgern, die durch ^lemm- oder Klebeverbindungen mit den Hilfsmaßstäben verbunden sind, angeordnet sind.It is also advantageous that the markings on graduation supports, which are made by ^ lemm- or adhesive connections are connected to the auxiliary scales, are arranged.

Dabei wird durch das interferometrische Meßsystem, z.B. im Laserwegmeßsystem, die Strecke zwischen dem Vergleichsspiegel und dem Meßspiegel als Differenz des Abstandes des Vergleichsspiegels von der Interferenzebene des Interferometers und des Abstande3 des Meßspiegels von der Interferenzebene gemessen, wobei dieses Meßergebnis von den Umwelt bedingungen, die die ',"/ellenlange des verwendeten Lichtes beeinflussen, sowie von den thermischen Verhältnissen am Meßobjekt abhängig ist. Durch Messung der Länge des Hilfsmaßstabes mit dem sehr kleinen Wärmedehungskoeffizienten wird der Einfluß der die Wellenlänge bestimmenden Umweltfaktoren ermittelt.The interferometric measuring system, e.g. in the laser measuring system, the distance between the comparison mirror and the measuring mirror as the difference in the distance of the comparison mirror from the interference plane of the interferometer and the distance3 of the measuring mirror from the interference plane measured, this measurement result of the environmental conditions that the ', "/ ellenlange of the used Influence the light, as well as the thermal conditions depends on the measurement object. By measuring the length of the auxiliary rule with the very small coefficient of thermal expansion the influence of the environmental factors determining the wavelength is determined.

Durch Messung des Hilfsmaßstabes mit bekanntem oder großem Ausdehnungskoeffizienten und unter Verwendung der Messungen am Hilfsmaßstab mit sehr kleinem Ausdehnungskoeffizienten wird mit Hilfe der Auswerteeinrichtung auch eine vollständige Temperaturkorrektion des zu messenden Abstandes auf dem Meßobjekt erzielt, und es wird dieser Abstand mittels der Auswerteeinrichtung auf Hormalbedingungen umgerechnet.By measuring the auxiliary scale with known or large Expansion coefficients and using the measurements on the auxiliary scale with a very small expansion coefficient With the help of the evaluation device, a complete temperature correction of the to be measured is also carried out Distance achieved on the measurement object, and it is this distance by means of the evaluation device on normal conditions converted.

Die Erfindung zeichnet sich vorallem durch eine besondere Einfachheit aus, indem lediglich zwei zusätzliche Hilfsmaßetäbe mit unterschiedlichem Ausdehnungskoeffizienten am Schlitten des Meßgerätes angebracht werden, deren Längen mit dem ohnehin vorhandenen Meßsystem gemessen werden. Selbst bei fehlender Kenntnis des thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Meßobjektes ist eine volle Fehlerkompensation erreichbar.The invention is characterized above all by a special one Simplicity by adding just two additional auxiliary standards with different expansion coefficients are attached to the slide of the measuring device, whose Lengths can be measured with the measuring system that is already available. Even with a lack of knowledge of the thermal The expansion coefficient of the measured object is a full one Error compensation achievable.

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Die Erfindung wird nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. In der Zeichnung zeigen Figur 1 die Anordnung der Hilfsraa'3stäbe in Aufsicht, Figur 2 eine schematische Ansicht der Anordnung Figur 3 die Kopplung der Hilfsma3stäbe in parallelerThe invention is described below using an exemplary embodiment explained in more detail. In the drawing, FIG. 1 shows the arrangement of the auxiliary space rods in a plan view, FIG. 2 shows a schematic view of the arrangement; FIG. 3 shows the coupling of the auxiliary scales in parallel

undand

Figur 4 die Kopplung der Hilfsmaßstäbe in senkrechter Anordnung,FIG. 4 shows the coupling of the auxiliary scales in a vertical position Arrangement,

Nach den Figuren 1 und 2 besitzt ein Längenmeßgerät 1 ein aus kohärenter Lichtquelle 2, Interferometer 3 mit Meß- und Vergleichsstrahlengang und fotoelektrischem 7/andler 4 bestehendes interferometrisches Meßaystem, sowie eine optische Antacteinrichtung 5 zum Αηΐβείβη von Markierungen am zu prüfenden Meßobjekt 6 oder an den Maßstäben 10 und 11. Das Meßobjekt 6 ist auf einem, auf dem Meßgerät 1 verschiebbar gelagerten Schlitten 7 angeordnet, an dem sich ein Meßspiegel 8 für einen Interferometerstrahlengang befindet. An der Antasteinrichtung 5 befindet sich ein Vergleichsspiegel 9 eines Vergleichsstrahlenganges.According to Figures 1 and 2, a length measuring device 1 has a coherent light source 2, interferometer 3 with Measurement and comparison beam path and photoelectric converter 4 existing interferometric measuring system, as well as an optical counter 5 for Αηΐβείβη of markings on the test object 6 or on the scales 10 and 11. The test object 6 is on a, on the measuring device 1 slidably mounted carriage 7, on which a measuring mirror 8 for an interferometer beam path is located. A comparison mirror 9 of a comparison beam path is located on the probing device 5.

Neben oder in der Nähe des Meßobjektes 6, welches in Figur 1 der Einfachheit halber als ein mit Strichen versehener Maßstab dargestellt ist, sind auf dem Schlitten zwei Hilfsmaßstäbe 10 und 11, vorzugsweise parallel zum Meßobjekt 6 oder zu den Verschieberichtungen des Schlittens 7, insbesondere bei Mehrkoordinatenmeßgeräten, angeordnet. Diese Hilfsmaßstäbe 10 und 11 bestehen aus Materialien mit unterschiedlichen Wärmedehnungskoeffizienten und besitzen in einem möglichst großen Abstand Markierungen 12, 13, 14, 15 die zur Antastung mit der Antasteinrichtung 5 und zur Lägenmessung an diesen Hilfamaßstäben 10; 11 benutzt werden. Wie die Figuren 3 und 4 zeigen, sind diese Hilfsmaßstä,be 10; 11 an einem Ende fest miteinander verbunden, ßemß der Ausführung von Figur 4 können die Hilfsmaßstäbe 16 und 17 übereinander angeordnet werden.Next to or in the vicinity of the measurement object 6, which in FIG. 1 is shown as a dashed line for the sake of simplicity Scale is shown, two auxiliary scales 10 and 11, preferably parallel to the slide Object to be measured 6 or to the displacement directions of the slide 7, especially in the case of multi-coordinate measuring devices. These auxiliary scales 10 and 11 are made of materials with different coefficients of thermal expansion and possess Markings 12, 13, 14, 15 at as great a distance as possible are used for probing with the probing device 5 and for length measurement on these auxiliary measuring rods 10; 11th to be used. As FIGS. 3 and 4 show, these auxiliary scales are 10; 11 firmly together at one end connected, according to the embodiment of Figure 4, the Auxiliary scales 16 and 17 are arranged one above the other.

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Die Hilfsmaßstäbe müssen nicht unbedingt fest miteinander an einem Ende verbunden sein. Die feste Verbindung schafft den Vorteil, daß zur Kompensation weniger Messungen erforderlich, sind. Ohne Verbindung müßten die Markierungen. 12, 13, 14, 15 gemessen werden. Mit Verbindung genügt es, nur die Markierungen 13 und 14 zu messen·The auxiliary standards do not necessarily have to be fixed to one another be connected at one end. The fixed connection has the advantage that fewer measurements are required for compensation, are. The markings would have to be without a connection. 12, 13, 14, 15 can be measured. With connection it is enough only measure the marks 13 and 14

Die Markierungen 12, 13, 14,-15 können lös- und auswechselbar an den Hilfsmaßstäben 10,11, 16, 17 oder auf Teilungsträgern 18, welche durch Klemm- oder Klebeverbindungen, mit den Hilfsmaßstäben verbunden sind, angeordnet sein*The markings 12, 13, 14, -15 can be detached and exchanged on the auxiliary scales 10, 11, 16, 17 or on graduation carriers 18, which are connected by clamping or adhesive connections, are connected to the auxiliary scales, be arranged *

Zur Erzielung einer hohen Meßgenauigkeit ist es vorteilhaft, wenn der eine Hilfamaßstab 10 einen sehr kleinen, der andere Hilfsmaßstab 11 einen sehr großen oder einen dem Meßobjekt 6 nahekommenden Wärmedehnungskoeffizienten besitzt· So kann z. B, der Hilfsmaßstab 10 aus Quarz bestehen« To achieve high measurement accuracy, it is advantageous if the one auxiliary scale 10 has a very small, the other auxiliary scale 11 is a very large one or one the measured object 6 approximate thermal expansion coefficient possesses · So z. B, the auxiliary rule 10 consist of quartz "

Bei der Durchführung der Messungen wird durch das interferometrische Meßsystem der Abstand I₃ des Meßspiegels vom Vergleichsspiegel 9 als Differenz 1, = I₂ - I₁ der Abstände I₂ und 1. dee Vergleichsspiegeüs 9 und des Meßspiegels 8 von der Interferenzebene 19 des Interferometers 3 bestimmt, wobei das Meßergebnis vor allem abhängig ist von der //eilenlänge /L des verwendeten Lichtes, von der Lufttemperatur t und der Luftfeuchte r, von dem Luftdruck ρ und vom CO₂-Gehalt c der Luft. Es gilt alsoWhen carrying out the measurements, the interferometric measuring system determines the distance I _{3 of} the measuring mirror from the comparison mirror 9 as the difference 1, = I ₂ - I _{1 of} the distances I ₂ and 1 determined, wherein the measurement result is mainly dependent on the length // rush / L of the light used, on the air temperature t and the humidity r, ρ by the air pressure and the CO ₂ content of the air c. So it applies

I₃ = 1_O3( 1 + a^A + a₂^ + a₃ Δ r + a^ Ap + a^ Ag) I₃ = I₀₃ · K,I ₃ = 1 _O3 (1 + a ^ A + a ₂ ^ + a ₃ Δ r + a ^ Ap + a ^ Ag) I ₃ = I ₀₃ K,

wobei a-, a_2#.»ac- Konstanten und Iq₃ die auf Uormalbedingungen bezogene Länge von I₃ sind. Durch Messung des Abstandes I^ der Markierungen 12 und auf dem Hilfsmaßstab 10, der einen vernachlässigbaren Wärmeausdehungskoeffizienten besitzt, ist der Faktor K ermittelbar.where a, a _{2 #,} ac constants and Iq _{3 are} the length of I ₃ related to normal conditions. By measuring the distance I ^ of the markings 12 and on the auxiliary scale 10, which has a negligible coefficient of thermal expansion, the factor K can be determined.

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Die am Meßobjekt 6 zu messende Größe 1. (Figur 2) ist unter gegebenen Umwelt bedingungen 1. = Iq. · K(1 +cc.-At)_t wobei Iq. die auf Norma!bedingungen bezogene zu .messende Größe von I^ (Länge), A t die Temperaturdifferenz und cc . der Wärmedehnungskoeffizient des Meßobjektes 6 sind« Mit Hilfe der Messung der Länge Ig des Hilfsmaßstabes 11 und mit der Voraussetzung, daß 1,- = I₀,- · K, thermisch unabhängig, d# h. od cÄJ 0 oder cc c**^ ist, was bei Quarz nahezu zutrifft, wird 4 t ermittelt. So kann bei bekanntem od. α und Δ _t die auf Hormalbedingungen reduzierte Größe Iq^, des Meßobjektes 6 mit Hilfe der Auswerteeinrichtung 20 ermittelt werden·The size to be measured on the object 6 to be measured 1. (Figure 2) is under given environmental conditions 1. = Iq. · K (1 + cc.-At) _t where Iq. the measured quantity of I ^ (length), A t the temperature difference and cc. the coefficient of thermal expansion of the measuring object 6 are «With the help of the measurement of the length Ig of the auxiliary rule 11 and with the prerequisite that 1, - = I ₀ , - · K, thermally independent, i.e.. od cÄJ 0 or cc c ** ^, which is almost the case with quartz, is determined to be 4 t. Thus, with known od. Α and Δ _t, the quantity Iq ^, reduced to normal conditions, of the test object 6 can be determined with the aid of the evaluation device 20.

Die Anordnung erlaubt es ebenfalls, auch wenn der Wärmeausdehnungskoeffizient oC . des Meßobjektes 6 nicht bekannt ist, eine vollständige Temperaturkorrektion des Meßergebnisses durchzuführen, nämlich dann, wenn der Hilfsmaßstab 11 aus gleichem Material besteht wie das Meßobjekt 6.The arrangement also allows it, even if the coefficient of thermal expansion oC. of the measurement object 6 is not known to carry out a complete temperature correction of the measurement result, namely when the auxiliary scale 11 is made of the same material as the measurement object 6.

Dann ist ac * =Then ac * = OC /"«
QOC / "«
Q tt • K• K Es ist dannIt is then :i +: i + H =H = ¹O₅ ¹ O ₅ H H ⁼⁼

undand

Damit ist die auf Uormalbedinguhgen reduzierte Größe des Meßobjektes 6This is the size reduced to normal conditions of the measured object 6

(1 +OC₄At) .K,
wobei 1. die gemessene Größe am Prüfling ist.(1 + OC ₄ At) .K,
where 1. is the measured value on the test item.

Somit gestattet die Anordnung der zusätzlichen Hilfsmaßstabe 10 und 11 eine vollständige Korrektion der Messungen unabhängig von den herrschenden Umweltbedingungen unter der Voraussetzung, daß sich die Umweltbedingungen Innerhalt der Intervalle für die Kompensationsmeaoungen nicht wesentlich ändern.Thus, the arrangement of the additional auxiliary scales allows 10 and 11 a complete correction of the measurements regardless of the prevailing environmental conditions the prerequisite that the environmental conditions are internal the intervals for the compensation measures are not essential change.

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Claims (1)

Patentansprüche:Patent claims: 1,}Anordnung zur Kompensation von Umwelteinflüssen bei ■-"' Längenmeßgeräten, die mit interferometrischen Meßsystemen ausgerüstet sind,
umfassend eine kohärente Lichtquelle,1 ,} Arrangement for the compensation of environmental influences with ■ - "'length measuring devices, which are equipped with interferometric measuring systems,
comprising a coherent light source, Interferometer mit Referenzspiegeln für einen Meß- und Vergleichsstrahlengang und einen, einen Meßspiegel tragenden Schlitten, auf dem das Meßobjekt angeordnet ist, und daß eine optische Antasteinrichtung zur Antastung von Objekt- und Vergleichsmarken vorgesehen ist, und daß im Interferenzraum des Interferometers die Umwandlung der bei der Verschiebung des Spiegel entstehenden, der Inkrementezahl des Verschiebeweges proportionalen Helligkeitsschwankungen in elektrische Signale bewirkende, fotoelektrische Wandler vorgesehen sind, die mit einer Korrektur- und Auswerteeinrichtung verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Schlitten (7) vorzugsweise parallel zum Meßobjekt (6) oder zu den Verschieberichtungen des Schlittens (7) aus Material unterschiedlicher thermischer Ausdehnung bestehende Hilfsmaßstäbe (10; 11; 16; 17) angeordnet sind, die in möglichst großem Abstand Markierungen (12; 13; 14;15) zur Antastung mit der optischen Antasteinrichtung (5) und zur Durchführung von Längenmessungen an diesen Hilfsmaßstäben besitzen und welche vorzugsweise an einem finde miteinander fest verbunden sind·Interferometer with reference mirrors for a measuring and comparison beam path and a slide carrying a measuring mirror on which the measuring object is arranged, and that an optical scanning device is provided for scanning object and comparison marks, and that in the interference space of the interferometer the conversion of the resulting from the displacement of the mirror, the number of increments of the displacement path in electrical signals proportional to brightness fluctuations effecting photoelectric converters are provided, which are connected to a correction and evaluation device are, characterized in that on the slide (7), preferably parallel to the measurement object (6) or to the displacement directions of the slide (7) made of material of different thermal expansion existing auxiliary scales (10; 11; 16; 17) arranged are the markings (12; 13; 14; 15) at the greatest possible distance for probing with the optical probing device (5) and to carry out length measurements on these auxiliary scales and which ones are preferably firmly connected to each other at one location 2« Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dei eine Hilfsmaßstab (10) einen sehr kleinen und der andere Hilfsmaßstab (11) einen sehr großen oder einen dem Meßobjekt (6) nahe komuenden 7/ärmedehnungskoeff izienten besitzt, und daß die Hilfsmaßstäbe (10; 11; 16; 17) in der Jokalebene des Objektives der Abtasteinrichtung (5) angeordnet sind,2 «arrangement according to claim 1, characterized in that dei one auxiliary rule (10) one very small and the other Auxiliary scale (11) a very large or one of the measurement object (6) close komuenden 7 / armed expansion coefficients possesses, and that the auxiliary scales (10; 11; 16; 17) in the jocal plane of the lens of the scanning device (5) are arranged, 40734073 3. Anordnung nach. Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierungen mindestens eines der Hilfsmaßstäbe lös- und auswechselbar am Maßstab angeordnet sind·3. Arrangement according to. Claim 1 and 2, characterized in that that the markings at least one of the auxiliary scales are detachably and interchangeably arranged on the scale 4· Anordnung nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierungen auf Teilungsträgern (18), die durch Klemm- oder Klebeverbindungen mit den Hilfsmaßstäben (17) verbunden sind, angeordnet sind.4 · Arrangement according to claim 1 and 3, characterized in that the markings on graduation carriers (18), the by clamping or adhesive connections with the auxiliary scales (17) are connected, are arranged. 40734073