DE3310592A1

DE3310592A1 - HIGH-SPEED VACUUM SHUT-OFF VALVES

Info

Publication number: DE3310592A1
Application number: DE19833310592
Authority: DE
Inventors: Richard John Hertel
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1982-03-29
Filing date: 1983-03-23
Publication date: 1983-10-06
Also published as: NL8300642A; FR2524102A1; GB2117495A; GB8304434D0; JPS58178066A

Description

Hochgeschwindigkeits-VakuumabsperrschieberHigh speed vacuum gate valve Beschreibungdescription

Die Erfindung bezieht sich auf Vakuumabsperrschieber und.insbesondere auf Hochgeschwindigkeits-Hochvakuum-Absperrschieber mit langer Lebensdauer.The invention relates to vacuum gate valves and in particular on high speed high vacuum gate valve with long life.

Vakuumabsperrschieber werden auf einer Vielzahl von Anwendungsgebieten benutzt, zu denen auch mit hoher Energie arbeitende · Teilchenbeschleuniger gehören. Auf einigen dieser Gebiete sind hohe Geschwindigkeit und große Zuverlässigkeit von höchster Bedeutung. Beispielsweise wird bei kommerziell arbeitenden Ionenimplantationssystemen in der Halbleiterindustrie der Weg des lonenstrahls zwischen der Ionenquelle und dem das Ziel bildenden Halbleiterplättchen auf einem Vakuum in der Größen-Vacuum gate valves are used in a wide variety of applications used, which also include high-energy particle accelerators. In some of these areas are high speed and great reliability are paramount. For example, when working commercially Ion implantation systems in the semiconductor industry, the path of the ion beam between the ion source and the target forming semiconductor wafers on a vacuum in the size

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Ordnung von 10 Torr gehalten. Während des Auswechselns der Plättchen wird das Plättchenende des Systems durch einen Vakuumabsperrschieber dicht verschlossen, um das Volumen klein zu halten, das wiederholt leergepumpt werden muß. Um den Durchsatz des Systems zu vergrößern, muß das Auswechseln der Plättchen einschließlich der Betätigung des Vakuumabsperrschiebers in möglichst kurzer Zeit geschehen. Die Betätigungszeit des Absperrschiebers muß in der Größenordnung von 0,2 bis 0,5 Sekunden liegen. Außerdem muß der Absperrschieber äußerst zuverlässig arbeiten, da Ausfallzeiten des Systems zum Reparieren oder Auswechseln des Schiebers unerwünscht sind. Es ergibt sich daher, daß hohe Geschwindigkeit und große Verläßlichkeit auf vielen Anwendungsgebieten von Vakuumabsperrschiebern erforderlich sind.-7
Maintained order of 10 Torr. During the changing of the platelets, the platelet end of the system is tightly closed by a vacuum gate valve in order to keep the volume small, which has to be repeatedly pumped out. In order to increase the throughput of the system, the replacement of the platelets, including the actuation of the vacuum gate valve, must be carried out in the shortest possible time. The actuation time of the gate valve must be on the order of 0.2 to 0.5 seconds. In addition, the gate valve must be extremely reliable, since downtime of the system to repair or replace the valve is undesirable. It therefore follows that high speed and high reliability are required in many vacuum gate valve applications.

η r « β · * j β β 6 * * u βη r «β * j β β 6 * * u β

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Bekannte Vakuumabsperrschieber arbeiten zwar im allgemeinen zufriedenstellend, eignen sich aber nicht für hohe Geschwindigkeiten bei langer Lebensdauer. Zu einer Bauart eines Absperrschiebers, das von R.A. Childs in "Reliable UHV Gate Valves" (Zuverlässige Ultrahochvakuum-Absperrschieder), Ind. Res./Dev., Juli 1978, beschrieben wurde, gehört ein Schlitten der mit einer Verschlußplatte schwenkbar verbunden ist. Der Schlitten und die Verschlußplatte bewegen sich linear entlang einer Führung, bis die Verschlußplatte an einen mechanischen Anschlag anstößt. Der Schlittenbewegt sich weiter entlang der Führung und bewirkt, daß die Verschlußplatte nach oben geschwenkt wird und die Öffnung verschließt. Ein Absperrschieber mit einem mechanischen Anschlag und einer Nockenstange zum Anpressen einer Verschlußplatte an eine Vakuumöffnung ist in der US-PS 3 554 486 beschrieben. Bei Schiebern, die mit einem mechanischen Anschlag arbeiten, führen jedoch die beim Auftreffen der Verschlußplatte auf den Anschlag entstehenden Stoßbelastungen zu einem schnellen Verschleiß der Schieberteile. Ein Hochvakuum-Absperrschieber, bei dem die Verschlußplatte auf einem schwingenden Arm montiert ist und seitlich von der Öffnung weg schwenkbar ist, ist in der US-PS 3 973 753 beschrieben. Dieser Schieber ist nicht für einen Betrieb mit hoher Geschwindigkeit geeignet.Known vacuum gate valves work in general satisfactory, but are not suitable for high speeds with long life. For a type of gate valve, that of R.A. Childs in "Reliable UHV Gate Valves", Ind. Res./Dev., July 1978, includes a slide which is pivotably connected to a closure plate. Of the The carriage and the shutter plate move linearly along a guide until the closure plate abuts a mechanical stop. The carriage continues to move along the Guide and causes the closure plate is pivoted upwards and closes the opening. A gate valve with a mechanical stop and a cam rod for pressing a closure plate against a vacuum opening is in the U.S. Patent 3,554,486. In the case of slides that work with a mechanical stop, however, they lead when they hit the closing plate on the stop resulting shock loads to a rapid wear of the slide parts. A high vacuum gate valve with the closure plate mounted on a swinging arm and to the side of the opening is pivotable away is described in US Pat. No. 3,973,753. This slider is not designed to operate at high levels Speed suitable.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, neue und verbesserte Hochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschieber zu schaffen. Weiterhin sollen durch die Erfindung Hochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschieber mit langer Lebensdauer und großer Zuverlässigkeit geschaffen werden. Außerdem sollen Absperrschieber der erwähnten Art geschaffen werden, die sich ohne abrupte Richtungs- oder Geschwindigkeitsänderungen zwischen einer offenen und einer geschlossenen Stellung bewegen. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung von Absperrschiebern, bei denen hohe Stoßbelastungen der Bauteile während des Betriebs vermieden werden.It is an object of the invention to provide new and improved high speed vacuum gate valves. Farther The invention aims to provide high-speed vacuum gate valves with a long service life and great reliability be created. In addition, gate valves of the type mentioned are to be created that move without abrupt directional changes. or move speed changes between an open and a closed position. Another job The invention is to create gate valves in which high impact loads on the components are avoided during operation will.

Erfindungsgemäß werden diese und andere Ziele und Vorteile bei einem Hochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschieber erreicht, zu dem ein Gehäuse mit einer darin ausgebildeten Öffnung, ein Verschlußteil zum Verschließen der Öffnung, Führungseinrichtungen zum Führen des Verschlußteils zwischen einer geschlossenen und einer offenen Stellung sowie Betätigungseinrichtungen gehören. Zu den Führungseinrichtungen gehören ein der Öffnung nahegelegener proximaler Abschnitt, der sich nach hinten von der Öffnung weg erstreckt, ein distaler Abschnitt der sich seitwärts von der Öffnung weg erstreckt, sowie ein gekrümmter Abschnitt, der die beiden genannten Abschnitte miteinander verbindet. Die Führungseinrichtung führt das Verschlußteil derart, daß eine von abrupten Richtungs- oder Geschwindigkeitsänderungen freie Bewegung stattfindet. Die Betätigungseinrichtung übt auf das Verschlußteil eine Kraft aus, um es entlang einer Bahn zu bewegen, die durch die Führungseinrichtung zwischen der offenen und der geschlossenen Position definiert ist.The present invention provides these and other objects and advantages in a high speed vacuum gate valve to which a housing having an opening formed therein Closure part for closing the opening, guide devices for guiding the closure part between a closed one and an open position and controls. The guide devices include an opening nearby proximal portion that extends rearwardly away from the opening, a distal portion that extends extending laterally away from the opening, and a curved section connecting the two said sections together. The guide device guides the closure part in such a way that one of abrupt changes in direction or speed free movement takes place. The actuator exerts a force on the closure member to move it along a path to move defined by the guide means between the open and closed positions.

Die Erfindung wird im folgenden an Ausführungsbeispielen anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:The invention is explained in more detail below using exemplary embodiments with reference to schematic drawings. It shows:

Fig. 1 einen Querschnitt eines erfindungsgemäßen Vakuumabsperrschiebers in seiner geschlossenen Stellung;1 shows a cross section of a vacuum gate valve according to the invention in its closed position;

Fig. 2 den Schnitt 2-2 in Fig. 1;
Fig. 3 den Schnitt 3-3 in Fig. 1;FIG. 2 shows section 2-2 in FIG. 1; FIG.
3 shows the section 3-3 in FIG. 1;

Fig. 4 einen Querschnitt des Vakuumabsperrschiebers nach Fig. 1 in seiner offenen Stellung;FIG. 4 shows a cross section of the vacuum gate valve according to FIG. 1 in its open position;

Fig. 5 den Schnitt 5-5 in Fig. 4, der den Vakuumabsperrschieber in seiner offenen Stellung zeigt;Fig. 5 is section 5-5 in Fig. 4 showing the vacuum gate valve in its open position;

Fig. 6 einen Querschnitt einer anderen bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen VakuumabsperrSchiebers; 6 shows a cross section of another preferred embodiment of the vacuum shut-off valve according to the invention;

ΓΥ^: ΓΥ ^:

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Fig. 7 den Schnitt 7-7 in Fig. 6; und Fig. 8 den Schnitt 8-8 in Fig. 6.FIG. 7 shows section 7-7 in FIG. 6; and FIG. 8 shows section 8-8 in FIG. 6.

Eine bevorzugte Ausführungsform eines Hochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschiebers nach der Erfindung ist in Fig. 1 bis. 5 dargestellt. Zu dem Schieber gehören ein Gehäuse 10 mit einer darin ausgebildeten Öffnung 12 sowie ein Verschlußteil 14 zum Verschließen der Öffnung 12. Außerdem weist der Schieber Führungseinrichtungen zum Führen des Verschlußteils 14 zwischen einer geschlossenen Stellung nach Fig. 1 bis 3 und einer offenen Stellung nach Fig. 4 und 5 auf. Bei der Ausführungsform nach Fig. 1 bis.5 gehören zu der Führungseinrichtung ein Führungsglied 16 mit Führungen 17, 18 und ein Führungsglied 20 mit Führungen 21, 22. Zu dem Schieber gehört außerdem eine Betätigungseinrichtung zum Ausüben einer Kraft auf das Verschlußteil 14, um es entlang der durch die Führungen 17, 18, 21, 22 definierten Bahn zwischen seiner offenen und seiner geschlossenen Stellung zu bewegen. Bei der Ausführungsform nach Fig. 1 bis 5 gehört zu der Betätigungseinrichtung ein Schlitban26, der mit dem Verschlußteil 14 durch Gestängeglieder 28, 29 verbunden ist. Die Gestängeglieder 28 und 29 verlaufen parallel zueinander und sind von gleicher Länge. lter SdiLitten 26 wird durch die Führungen 30 und 31 in den Führungsgliedern 20 bzw. 16 entlang einer linearen Bahn geführt und läßt sich an eine Betätigungskraftquelle anschließen, bei der es sich bei der Ausführungsform nach Fig. 1 bis 5 um einen durch eine Verbindungsstange 36 mit dam Sdrlittai 26 verbundenen durchluf tbetätigten Kolben 34 handelt. Eine lineare Dichtung 38 dichtet die Verbindungsstange 36 an ihrer Durchtrittssteile durch das Gehäuse 10 ab. Bei der linearen Dichtung 38 werden bekannte Techniken zum Abdichten einer linear bewegbaren Stange angewendet. Ein kleines Volumen um die Stange 36 zwischen zwei O-Ringen wird luftleer gepumpt, um eine Hochvakuumabdichtung sicherzustellen.A preferred embodiment of a high speed vacuum gate valve according to the invention is shown in Fig. 1 to. 5 shown. The slide includes a housing 10 with a opening 12 formed therein and a closure part 14 for Closing the opening 12. In addition, the slide has guide devices for guiding the closure part 14 between a closed position according to FIGS. 1 to 3 and an open position according to FIGS. 4 and 5. In the embodiment According to FIGS. 1 to 5, the guide device includes a guide member 16 with guides 17, 18 and a guide member 20 with guides 21, 22. The slide also includes an actuating device for exerting a force on the closure part 14 to move it along the by the guides 17, 18, 21, 22 defined path between its open and its closed position to move. In the embodiment according to Fig. 1 to 5 belongs to the actuating device a Schlitban26, the is connected to the closure part 14 by rod members 28, 29. The rod links 28 and 29 run parallel to one another and are of equal length. older SdiLitten 26 is through the guides 30 and 31 guided in the guide members 20 and 16 along a linear path and can be attached to a Connect the actuating force source, which in the embodiment according to FIGS. 1 to 5 is a connecting rod 36 air actuators connected to the Sdrlittai 26 Piston 34 acts. A linear seal 38 seals the connecting rod 36 at its passage parts through the Housing 10 from. The linear seal 38 employs known techniques for sealing a linearly movable rod. A small volume around the rod 36 between two O-rings is evacuated to create a high vacuum seal to ensure.

I V w V^I V w V ^

Das Gehäuse 10 kann als Gehäuse für einen in sich abgeschlossenen Absperrschieber ausgebildet sein und weist in diesem Fall eine zweite Öffnung auf, die gewöhnlich auf die erste Öffnung 12 ausgerichtet ist. Alternativ kann es sich bei dem Gehäuse 10 um das Gehäuse der unter Vakuum arbeitenden Einrichtung, z.B. eines Ionenimplantationssystems handeln. Die Öffnung ist gewöhnlich kreisrund und hat einen Durchmesser von mehreren Zentimetern.The housing 10 can be designed as a housing for a self-contained gate valve and has in this Notice a second opening, usually aligned with the first opening 12. Alternatively, the Housing 10 can be the housing of the device operating under vacuum, for example an ion implantation system. the The opening is usually circular and several centimeters in diameter.

Zu dem Verschlußteil 14 gehört eine Verschlußplatte 40 mit einem O-Ring 42, der in einer O-Ringnut um den Umfang der Vorderfläche der Verschlußplatte 40 sitzt. In der Mitte der Rückseite der Verschlußplatte 40 ist ein Zapfenlager 44 an dieser starr befestigt. Das Gestängeglied 28 ist in dem Zapfenlager 44 mit Hilfe des Zapfens 46 schwenkbar gelagert. Ein Zapfenlager 45, das am unteren Teil der Rückseite der Verschlußplatte 40 angeordnet ist, ist durch einen Zapfen 47 schwenkbar mit dem Gestängeglied 29 verbunden. Rollenhalter 50, 52 erstrecken sich von der Rückseite der Verschlußplatte 40 nach hinten. Die Rollenhalter 50 und 52 sind in gleichen Abständen über und unter der Mitte der Verschlußplatte 40 und nahe den Führungen 17, 18, 21, 22 angeordnet. An den Rollenhaltern 50, 52 sind Rollen 54 angebracht, die mit den Führungen 17, 18, 21, 22 in der weiter unten beschriebenen Weise zusammenarbeiten. To the closure part 14 includes a closure plate 40 with an O-ring 42 which is in an O-ring groove around the circumference of the Front surface of the closure plate 40 is seated. In the middle of the back of the closure plate 40, a journal bearing 44 is on this is rigidly attached. The rod link 28 is pivotably mounted in the journal bearing 44 with the aid of the journal 46. A Trunnion 45, which is arranged on the lower part of the rear side of the shutter plate 40, is supported by a trunnion 47 pivotally connected to the linkage member 29. Roll holders 50, 52 extend from the rear of the closure plate 40 to the rear. The roll holders 50 and 52 are equidistant above and below the center of the shutter plate 40 and arranged near the guides 17, 18, 21, 22. On the roller holders 50, 52 rollers 54 are attached to the guides 17, 18, 21, 22 work together in the manner described below.

Die Führungen 17, 18, 21, 22 sind in Form langgestreckter Nuten ausgebildet. Die Nuten können in den einander gegenüberliegenden parallelen Wänden des Gehäuses 10 oder in parallelen Führungsgliedern 16, 20 ausgebildet sein j welch letztere auf beiden Seiten der Öffnung 12 starr an dem Gehäuse 10 befestigt sind. Die Führungen 21, 22 werden im folgenden anhand von Fig. 3 beschrieben. Es sei bemerkt, daß die Führungen 17, 18 spiegelbildlich den Führungen 21, 22 entsprechen. Zu den Führungen 21, 22 gehören nahe der Öffnung 12 gelegene proximale Abschnitte 21a, 22a, die sich nach hinten von der Öffnung weg erstrecken. Weiter weisen die Führungen 21, 22 distale Abschnitte 21b, 22b auf, die sich seitlich weg von der Öffnung 12 erstrecken.The guides 17, 18, 21, 22 are designed in the form of elongated grooves. The grooves can be in the opposite parallel walls of the housing 10 or in parallel guide members 16, 20 j which the latter on both sides of the opening 12 are rigidly attached to the housing 10. The guides 21, 22 are described below with reference to FIG. 3 described. It should be noted that the guides 17, 18 correspond to the guides 21, 22 in mirror image. Go to tours 21, 22 include proximal sections 21a, 22a located near opening 12 and extending rearwardly away from the opening. The guides 21, 22 also have distal sections 21b, 22b which extend laterally away from the opening 12.

A α 6 ο * * β «σ« aA α 6 ο * * β «σ« a

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Bei der Ausführungsform nach Fig. 1 bis 5 verlaufen die distalen Abschnitte 21b, 22b parallel zur Ebene der Öffnung 12, während die proximalen Abschnitte 21a, 22a rechtwinklig zur Ebene der Öffnung 12 verlaufen. Die proximalen Abschnitte 21a, 22a sind durch gekrümmte Abschnitte 21c, 22c mit den distalen Abschnitten 21b bzw. 22b verbunden. Die proximalen Abschnitte 21a, 22a, die distalen Abschnitte 21b, 22b und die gekrümmten Abschnitte 21c, 22c bilden zusammen kontinuierliche, ununterbrochene Bahnen zwischen der geschlossenen und der offenen Stellung, die frei von abrupten Richtungs- oder Geschwindigkeitsänderungen sind. Die proximalen Abschnitte 21a, 22a sind gegenüber der Öffnung 12 in einem Abstand so angeordnet, daß sie mit den Rollen 54 zusammenarbeiten und die Verschlußplatte 40 auf die Öffnung 12 ausrichten.In the embodiment according to FIGS. 1 to 5, the distal sections 21b, 22b run parallel to the plane of the opening 12, while the proximal sections 21a, 22a run at right angles to the plane of the opening 12. The proximal sections 21a, 22a are connected to the distal sections 21b and 22b, respectively, by curved sections 21c, 22c. The proximal sections 21a, 22a, the distal sections 21b, 22b and the curved sections 21c, 22c together form continuous, uninterrupted paths between closed and open positions, free from abrupt changes in direction or speed are. The proximal sections 21a, 22a are arranged opposite the opening 12 at a distance so that that they cooperate with the rollers 54 and align the shutter plate 40 with the opening 12.

Zu dem Sdhlitten 26 gehört ein Schlitbankörper 66, der auf seinen beiden Seiten mit Rollen 68 versehen ist. Bei den Führungen 30, 31 kann es sich um langgestreckte Nuten in den Führungsgliedern 20 bzw. 16 handeln. Die Rollen 68 sind so angeordnet, daß sie in die Führungen 30, 31 eingreifen. Der Schlitten 26 weist außerdem Zapfenlager 70, 71 auf, die starr an dem Schlittenköper 66 befestigt sind. Das Zapfenlager 70 ist durch einen Zapfen 72 schwenkbar mit dem Gestängeglied 28 verbunden, während das Zapfenlager 71 durch einen Zapfen 73 schwenkbar mit dem Gestängeglied 29 verbunden ist.To the Sdhlitten 26 is a slide body 66, which is on his is provided with rollers 68 on both sides. The guides 30, 31 can be elongated grooves in the guide members 20 and 16, respectively. The rollers 68 are arranged so that they engage in the guides 30, 31. The carriage 26 also has journal bearings 70, 71 which are rigidly attached to the Slide body 66 are attached. The journal bearing 70 is through a pin 72 is pivotally connected to the linkage member 28, while the pin bearing 71 is pivotable by a pin 73 is connected to the linkage member 29.

Beim Betrieb bewegt sich das Verschlußteil 14 zwischen der geschlossenen Stellung nach Fig. 1 bis 3 und der offenen Stellung nach Fig. 4 und 5 entlang einer durch die Führungen 17, 18, 21, 22 gebildeten Bahn. Das Verschlußteil 14 wird durch den S±litten26 betätigt, der sich entlang einer durch die Führungen 30, 31 gebildeten Bahn bewegt und über das Gestängeglied eine Kraft auf das Verschlußteil 14 ausübt. Das Gestängeglied 29 dient dazu, das Verschlußteil 14 während seiner Bewegung zwischen seiner offenen und geschlossenen Stellung in einer zu der Öffnung 12 parallelen Ebene zu stabilisieren^ es ist keinIn operation, the closure member 14 moves between the closed position of FIGS. 1 to 3 and the open position 4 and 5 along a path formed by the guides 17, 18, 21, 22. The closure part 14 is through actuated the S ± sufferer26, which runs along one of the guides 30, 31 is moved and a force exerts on the closure part 14 via the linkage member. The linkage 29 serves to keep the closure part 14 in a closed position during its movement between its open and closed positions to stabilize the opening 12 parallel plane ^ it is no

tragendes Teil. Das Gestängeglied 29 ist zwar nicht ein unentbehrlicher Bestandteil des Vakuumabsperrschiebers, doch ermöglicht es einen stabileren Betrieb, besonders bei niedrigen Geschwindigkeiten. Der Sdhlitben26 wird durch den druckluftbetätigten Kolben 34 angetrieben. Ausgehend von der geschlossenen Stellung, schiebt die Verbindungsstange 36 denSdüitben 26 und das Verschlußteil 14 nach unten. Der Schlitten 26 bewegt sich kontinuierlich entlang den Führungen 30, 31. Die an dem Verschlußteil 14 angebrachten Rollen 54 rollen entlang den distalen Abschnitten 21b, 22b der Führungen 21, 22 und entlang den entsprechenden distalen Abschnitten der Führungen 17, 18. Während dieses Teils der Bewegung bleibt das Verschlußteil 14 gegenüber dem SchlittHi26 in einer festen Position. Wenn die Rollen 54 die gekrümmten Abschnitte 21c, 22c der Führungen 21, 22 erreichen, folgen die Rollen 54 und das gesamte Verschlußteil 14 der durch die Führungen 17, 18, 21, 22 definierten Bahn und ändern ihre Richtung, um sich auf die Öffnung 12 zuzubewegen, Wegen der Krümmung der Abschnitte 21c, 22c spielt sich diese Richtungsänderung allmählich und kontinuierlich ab, und das Verschlußteil 14 wird keiner Stoßbelastung ausgesetzt. Während das Verschlußteil 14 sich von dan Schlitten 26 weg und auf die Öffnung 12 zu bewegt, wird das Gestängeglied 28 um die Zapfen 24 und 72 und das Gestängeglied 29 um die Zapfen 47 und 73 geschwenkt. Wenn die Rollen 54 die proximalen Abschnitte 21a, 22a der Führungen 21, 22 erreichen, bewegt sich das Verschlußteil rechtwinklig zu der Ebene der Öffnung 12. Wenn das Verschlußteil 14 mit dem Umfang der Öffnung 12 in Berührung tritt, kommt es daher nicht zu einer Abschürfung des O-Ringes 42, Außerdem bewegt sich dar Schiitbai 26 während der Schließbewegung des Verschlußteils 14 weiter linear nach unten und verstärkt dadurch die auf das Verschlußteil 14 senkrecht zur Ebene der Öffnung 12 aufgebrachte Kraftkomponente. Diese Kraftkomponente hat die Tendenz, den O-Ring 42 zusammenzudrücken und dadurch die Abdichtung zu verbessern. Bei seiner Annäherung an die Schließstellung verlangsamt sich die Bewegung des Verschlußteils 14 wegen der Schwenkbewegung der Gestängeglieder 28, 29load-bearing part. The linkage member 29 is not an indispensable one Part of the vacuum gate valve, but allows more stable operation, especially at low levels Speeds. The Sdhlitben26 is operated by the compressed air Piston 34 driven. From the closed position, the connecting rod 36 pushes the nozzle 26 and the closure member 14 downwards. The carriage 26 moves continuously along the guides 30,31 on the closure member Rollers 54 attached to 14 roll along the distal portions 21b, 22b of the guides 21, 22 and along the corresponding distal portions of the guides 17, 18. During this part of the movement, the closure member 14 remains in a fixed position in relation to the slide Hi26. If the Rollers 54 reach the curved portions 21c, 22c of the guides 21, 22, followed by the rollers 54 and the entire closure member 14 of the path defined by the guides 17, 18, 21, 22 and change their direction in order to move towards the opening 12, Because of the curvature of the sections 21c, 22c, this change of direction takes place gradually and continuously, and that Closure part 14 is not subjected to any shock load. While the closure part 14 moves away from the slide 26 and onto the opening 12 is moved, the linkage 28 is pivoted about the pins 24 and 72 and the linkage 29 about the pins 47 and 73. When the rollers 54 reach the proximal portions 21a, 22a of the guides 21, 22, the locking member moves perpendicular to the plane of the opening 12. When the closure member 14 comes into contact with the periphery of the opening 12, there is therefore no abrasion of the O-ring 42, In addition, the Schiitbai 26 moves during the closing movement of the closure part 14 continues linearly downwards and thereby reinforces the on the closure part 14 perpendicular to the plane of the Opening 12 applied force component. This component of force has a tendency to compress the O-ring 42 and thereby improve the seal. As it approaches the closed position, the movement of the closure part slows down 14 because of the pivoting movement of the rod links 28, 29

■J f■ J f

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allmählich, so daß ein Zuschlagen des Verschlußteils 14 vermieden wird. Der Schlitten 26 wird gegenüber dem Verschlußteil 14 um eine kurze Strecke über den oberen Totpunkt hinausbewegt, um das Verschlußteil 14 in seiner Schließstellung zu verriegeln, Wird das Verschlußteil 14 aus der geschlossenen in die offene Stellung bewegt, spielt sich der oben beschriebene Ablauf entgegengesetzt ab, und die Führungen 17, 18, 21, 22 bringen das Verschlußteil 14 in seine offene Stellung.gradually, so that slamming of the closure part 14 is avoided will. The slide 26 is moved with respect to the closure part 14 by a short distance beyond the top dead center, in order to lock the closure part 14 in its closed position, the closure part 14 is moved from the closed to the open Position moves, the sequence described above takes place in the opposite direction, and the guides 17, 18, 21, 22 bring this Closure part 14 in its open position.

Eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Hochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschiebers ist in Fig. 6 bis 8 dargestellt. Zu dem Schieber gehören ein Gehäuse 110 mit einer Öffnung 112 sowie ein Verschlußteil 114 zum Verschließen der Öffnung 112. Bei der Ausführungsform nach Fig. 6 bis 8 gehören zu der Führungseinrichtung ein Führungsglied 120 mit einer Führung 122 auf einer Seite des Verschlußteils 114 und ein Führungsglied 116 auf der anderen Seite des Verschlußteils 114 mit einer zu der Führung 122 parallelen und spiegelbildlichen Führung 118. Zu der Betätigungseinrichtung gehört ein Schlitten 126, der mit dem Verschlußteil 114 durch Gestängeglieder 128, 129 verbunden ist. Der Schlitten 126 wird durch eine Führung 130 im Führungsglied 120 und eine Führung 131 in dem Führungsglied 116 entlang einer linearen Bahn geführt und ist durch eine Verbindungsstange 136 an eine Antriebskraftquelle anschließbar. Bei der Ausführungsform nach Fig. 6 bis 8 dient ein einziges Paar von Führungen zum Führen des Verschlußteils 114, während die Ausführungsform nach Fig. 1 bis 5 mit zwei Paaren von Führungen zum Führen des Verschlußteils 14 arbeitet.Another embodiment of the high speed vacuum gate valve according to the invention is shown in Figs. 6-8. The slide includes a housing 110 with a Opening 112 and a closure part 114 for closing the opening 112. In the embodiment according to FIGS. 6 to 8 belong to the guide device a guide member 120 with a guide 122 on one side of the closure part 114 and a guide member 116 on the other side of the closure part 114 with a parallel to the guide 122 and a mirror image Guide 118. The actuating device includes a slide 126, which is connected to the closure part 114 by means of rod members 128, 129 is connected. The carriage 126 is through a guide 130 in the guide member 120 and a Guide 131 guided in the guide member 116 along a linear path and is by a connecting rod 136 to a Drive power source can be connected. In the embodiment according to FIGS. 6 to 8 use a single pair of guides for guiding the closure part 114, while the embodiment according to FIG. 1 to 5 with two pairs of guides for guiding the closure part 14 works.

Zu dem Verschlußteil 114 gehören eine Verschlußplatte 140 mit einem O-Ring 142, der in einer 0-Ringnut auf der Vorderseite der Verschlußplatte 140 sitzt. Ein in der Mitte der Rückseite der Verschlußplatte 140 angeordnetes Zapfenlager 144 ist durch einen Zapfen 146 schwenkbar mit dem Gestängeglied 128 verbunden. Ein am unteren Teil der Rückseite der Verschlußplatte angeordnetes Zapfenlager 145 ist durch den Zapfen 147 schwenkbar mit dem Gestängeglied 129 verbunden. Rollenhalter 150, dieThe closure part 114 includes a closure plate 140 with an O-ring 142 which is in an O-ring groove on the front the closure plate 140 is seated. A pivot bearing 144 located in the center of the rear of the locking plate 140 is through a pin 146 pivotally connected to the linkage member 128. One on the lower part of the back of the shutter plate The trunnion bearing 145 is pivotably connected to the linkage member 129 by the trunnion 147. Roll holder 150, the

zu beiden Seiten des Zapfenlagers 144 nahe den Führungen 118, 122 vorgesehen sind, sind an der Rückseite der Verschlußplatte 140 befestigt. Die Rollenhalter 150 tragen Rollen 154, die in die Führungen 118, 122 eingreifen.on both sides of the journal bearing 144 near the guides 118, 122 are provided on the rear of the locking plate 140 attached. The roll holders 150 carry rolls 154 which engage in the guides 118, 122.

Die Führungen 118, 122 ähneln den oben beschriebenen Führungen 17, 18, 21, 22. Die Führungen 118, 122 sind in Form langgestreckter Nuten in den Führungsgliedern 116, 120 ausgebildet. Zu dem Führungsglied 122 gehört ein proximaler Abschnitt 122a nahe der Öffnung 112, der sich von dieser weg nach hinten erstreckt. Da auf jeder Seite nur eine Führung vorhanden ist, befindet sich der proximale Teil 122a der Führung 122 nahe der Mitte des Verschlußteils 140. Zu der Führung 122 gehören außerdem ein distaler Abschnitt 122b, der sich seitlich von der Öffnung 112 weg erstreckt, sowie ein gekrümmter Abschnitt 122c, der den proximalen Abschnitt 122a mit dem distalen Abschnitt 122b verbindet. Die Abschnitte 122a, 122b, 122c bilden zusammen eine kontinuierliche, ununterbrochene Bahn zwischen der Schließ- und der Öffnungsstellung, die frei von abrupten Richtungs- oder Geschwindigkeitsänderungen ist.The guides 118, 122 are similar to the above-described guides 17, 18, 21, 22. The guides 118, 122 are elongated in shape Grooves are formed in the guide members 116, 120. The guide member 122 has a proximal section 122a near the opening 112 which extends rearwardly therefrom. Since there is only one guide on each side, the proximal part 122a of the guide 122 is located near the center of the closure part 140. The guide 122 includes also a distal portion 122b extending laterally away from the opening 112 and a curved portion 122c connecting the proximal section 122a with the distal section 122b connects. The sections 122a, 122b, 122c together form a continuous, uninterrupted path between the closed and open positions that are free from abrupt changes in direction or speed.

Zu dem Sdilitten 126 gehört ein Schlittenkörpar 166, an dem auf beiden Seiten Rollen 168 angebracht sind. Bei den Führungen 130, 131 kann es sich um Nuten in den betreffenden Führungsgliedern 120, 116 handeln. Die Rollen 168 sind so angeordnet, daß sie in die Führungen 130, 131 eingreifen. Zu dsm Schlitten 126 gehören ferner ein Zapfenlager 170, das durch einen Zapfen 172 schwenkbar mit dem Gestängeglied 128 verbunden ist, sowie ein Zapfenlager 171, das durch einen Zapfen 173 schwenkbar mit dem Gestängeglied 129 verbunden ist. Die Gestängeglieder 128 und 129 verlaufen parallel zueinander und sind von gleicher Länge. Wenn sich das Verschlußteil zwischen seiner Schließ- und seiner Öffnungsstellung bewegt, bleibt es daher in einer zu der Ebene der Öffnung 112 parallelen Lage.A sledge body 166 belongs to the sledge 126, on which both Side rollers 168 are attached. The guides 130, 131 can be grooves in the relevant guide members 120, 116 act. The rollers 168 are arranged to engage the guides 130, 131. To dsm carriage 126 also include a journal bearing 170 pivotally connected to the linkage member 128 by a journal 172, as well as a Trunnion 171, which is pivotably connected to the linkage member 129 by a pin 173. The linkage members 128 and 129 run parallel to each other and are of the same length. If the closure part between its closing and its Moved to the opening position, it therefore remains in a position parallel to the plane of the opening 112.

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Beim Betrieb bewegt sich das Verschlußteil 114 zwischen seiner geschlossenen Stellung nach Fig. 6 bis 8 und seiner offenen Stellung entlang einer durch die Führungen 118, 122 definierten Bahn. Das Verschlußteil 114 wird durch den Schlitten 126 betätigt, der entlang einer durch die Führungen 130, 131' definierten Bahn bewegt wird und über das Gestängeglied 128 eine Kraft auf das Verschlußteil 114 ausübt. Die Bewegung des Verschlußteils 114 und des Wagens 126 zwischen der geschlossenen und der offenen Stellung ist die gleiche, wie sie weiter oben in Verbindung mit dem Valcuumabsperr schieber nach Fig. 1 bis 5 beschrieben wurde. Es kommt zu keiner Stoßbelastung der Bauteile des Absperrschiebers und zu keiner Abschürfung des O-Ringes. Das Gestängeglied 129 dient dazu, das Verschlußteil 114 in einer zur Ebene der Öffnung 112 parallelen Ebene zu stabilisieren, und bildet kein tragendes Bauteil.In operation, the closure member 114 moves between its closed position according to FIGS. 6 to 8 and its open position along one of the guides 118, 122 defined path. The closure part 114 is actuated by the carriage 126 which is moved along a path through the guides 130, 131 ' defined path is moved and via the linkage member 128 exerts a force on the closure member 114. The movement of locking member 114 and carriage 126 between closed and the open position is the same as described above in connection with the valve gate valve according to FIG. 1 to 5 has been described. There is no shock load on the components of the gate valve and no abrasion of the O-ring. The rod link 129 serves to close the closure part 114 in a plane parallel to the plane of the opening 112 stabilize, and does not form a load-bearing component.

Die Führungen, welche die Verschlußteile bei beiden oben beschriebenen Ausführungsformen führen, weisen gekrümmte Abschnitte auf, die die proximalen und die distalen Abschnitte miteinander verbinden. Der gekrümmte Führungsabschnitt bildet einen von abrupten Richtungs- oder Geschwindigkeitsänderungen freien Übergang zwischen den von der Öffnung weg gerichteten Bewegungen in rückwärtiger und seitlicher Richtung. Es ist zwar jede kontinuierliche Krümmung geeignet, doch wird für Betrieb mit hoher Geschwindigkeit eine kreisbogenförmige Krümmung bevorzugt. Der Krümmungsradius ist ein wichtiger Faktor hinsichtlich der Begrenzung der bei Betrieb mit hoher Geschwindigkeit auf die Baugruppe aufgebrachten Beschleunigungs- oder Verzögerungskräfte. Ein kleiner Radius führt zu einer stärkeren Beanspruchung der Baugruppe beim Passieren des gekrümmten Abschnitts. Die Führungen sind zwar in Form langgestreckter Nuten dargestellt, doch liegt es für den Fachmann auf der Hand, daß auch Führungen anderer Art verwendet werden können, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen. Es ist auch nicht erforderlich, daß der distale Abschnitt der Führungen,¹ d.h. derjenige Abschnitt, der das Verschlußteil in seitlicher RichtungThe guides which guide the closure parts in both of the above-described embodiments have curved sections which connect the proximal and distal sections to one another. The curved guide section forms a transition, free of abrupt changes in direction or speed, between the movements directed away from the opening in the rearward and lateral directions. While any continuous curve is suitable, an arcuate curve is preferred for high speed operation. The radius of curvature is an important factor in limiting the acceleration or deceleration forces applied to the assembly when operating at high speed. A small radius puts more stress on the assembly as it passes the curved section. Although the guides are shown in the form of elongated grooves, it will be obvious to those skilled in the art that guides of other types can also be used without departing from the scope of the invention. It is also not necessary that the distal section of the guides, ¹ ie that section which the closure part in the lateral direction

von der Öffnung weg bewegt, parallel zu der Öffnung verläuft. Es ist lediglich notwendig, daß der distale Führungsabschnitt das Verschlußteil seitlich von der Öffnung wegführt, damit das Verschlußteil in seiner offenen Stellung nicht die Öffnung blockiert. Der proximale Abschnitt der Führung verläuft rechtwinklig oder annähernd rechtwinklig zur Ebene der Öffnung, um Abschürfen und Verschleiß des O-Ringes zu vermeiden, wenn das Verschlußteil mit dem Umfang der Öffnung in Berührung kommt.moved away from the opening, runs parallel to the opening. It is only necessary that the distal guide section guide the closure part laterally away from the opening, so that the closure part in its open position does not block the opening. The proximal portion of the guide is rectangular or approximately at right angles to the plane of the opening to avoid abrasion and wear of the O-ring, when the closure member comes into contact with the periphery of the opening.

Bei einem Hochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschieber der Ausführungsform nach Fig. 1 bis 5 betrug der Durchmesser der Öffnung 12 etwa 200 mm, der Radius R der gekrümmten Abschnitte etwa 14 mm und die Betätigungszeit 0,5 Sekunden. Bei einem Radius R von 14 mm ist die Beschleunigung des Mechanismus auf annähernd 1 g begrenzt. Dieser Schieber wurde zu Testzwecken mit Erfolg über eine Million mal betätigt, wobei nur nach jeweils 500 000 Betätigungen die O-Ringe der linearen Dichtung erneuert werden mußten.In a high-speed vacuum gate valve of the embodiment According to FIGS. 1 to 5, the diameter of the opening 12 was about 200 mm, the radius R of the curved sections about 14 mm and the actuation time 0.5 seconds. With a radius R of 14 mm the acceleration of the mechanism is on limited to approximately 1 g. For testing purposes, this slide has been successfully operated over a million times, with only after each 500,000 operations the O-rings of the linear seal had to be renewed.

Durch die Erfindung wird somit ein Hochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschieber geschaffen, bei dem Stoßbelastungen des Mechanismus sowie Reibungsverschleiß des O-Ringes vermieden werden. .Die Konstruktion gestattet eine Betätigung des Schiebers mit hoher Geschwindigkeit, d.h. in weniger als einer Sekunde. Außerdem ermöglicht die Konstruktion einen äußerst zuverlässigen Betrieb bei langer Lebensdauer.The invention thus provides a high speed vacuum gate valve created in which shock loads on the mechanism and frictional wear on the O-ring are avoided will. The design allows the slide to be operated at high speed, i.e. in less than a second. In addition, the design enables extremely reliable operation with a long service life.

Claims

AnsprücheExpectations

f1. mochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschieber, gekennzeichnet
durch ein Gehäuse (10; 110) mit einer Öffnung (12; 112), ein Verschlußteil (14; 114) zum Verschließen des Gehäuses, Führungseinrichtungen zum Führen des Verschlußteils zwischen
einer Schließstellung und einer Öffnungsstellung, wobei zu
den Führungseinrichtungen ein proximaler Abschnitt nahe der Öffnung gehört, der sich von dieser aus nach hinten erstreckt, ein distaler Abschnitt, der sich von der Öffnung weg in seitlicher Richtung erstreckt, sowie gekrümmte Abschnitte, welche die proximalen und distalen Abschnitte miteinander verbinden, wobei die Führungseinrichtungen das Verschlußteil
derart führen, daß eine von abrupten Richtungs- oder Geschwindigkeitsänderungen freie Bewegung stattfindet, sowie
eine Betätigungseinrichtung zum Ausüben einer Kraft auf das Verschlußteil, um dieses zwischen seiner offenen und seiner geschlossenen Stellung entlang einer durch die Führungseinrichtungen definierten Bahn zu bewegen.f1. high speed vacuum gate valve, marked
by a housing (10; 110) with an opening (12; 112), a closure part (14; 114) for closing the housing, guide devices for guiding the closure part between
a closed position and an open position, with to
the guide means include a proximal portion near the opening extending rearward therefrom, a distal portion extending laterally away from the opening, and curved portions interconnecting the proximal and distal portions, the guide means the closure part
lead in such a way that a movement free of abrupt changes in direction or speed takes place, as well as
actuating means for exerting a force on the closure member to move it between its open and closed positions along a path defined by the guide means.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der proximale Abschnitt der Führungseinrichtung allgemein rechtwinklig zu der Ebene der Öffnung (12; 112) verläuft.2. Device according to claim 1, characterized in that the proximal portion of the guide device generally perpendicular to the plane of the opening (12; 112).

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der gekrümmte Abschnitt der Führungseinrichtung die allgemeine Form eines Kreisbogens aufweist.3. Apparatus according to claim 1, characterized in that the curved portion of the guide means is the general Has the shape of a circular arc.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der distale Abschnitt der Führungseinrichtung allgemein parallel zu der Ebene der Öffnung (12; 112) verläuft.4. Apparatus according to claim 1, characterized in that the distal portion of the guide device generally runs parallel to the plane of the opening (12; 112).

5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zu der Betätigungseinrichtung ein Schlitten(26; 126) gehört, der parallel zu dem distalen Abschnitt bewegbar ist, sowie Gestängeeinrichtungen, die den Schlitten mit dem Verschlußteil (14; 114) schwenkbar verbinden.5. Apparatus according to claim 2, characterized in that a slide (26; 126) belongs to the actuating device, which is movable parallel to the distal section, as well as linkage devices that connect the slide with the closure part (14; 114) pivotably connect.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß6. Apparatus according to claim 5, characterized in that

zu der Gestängeeinrichtung zwei parallele, in einem Abstand angeordnete Gestängeglieder (28, 29; 128, 129) gehören, die mit dem Verschlußteil (14; 114) und mit dem Schlittai(26; 126) schwenkbar verbunden sind, wobei das Verschlußteil während seiner Bewegung zwischen seiner Schließstellung und seiner Öffnungsstellung in einer zu der Ebene der Öffnung (12; 112) parallelen Lage gehalten wird.the linkage device includes two parallel, spaced-apart linkage members (28, 29; 128, 129) which with the locking part (14; 114) and with the Schlittai (26; 126) are pivotally connected, the closure part during its movement between its closed position and its The opening position is held in a position parallel to the plane of the opening (12; 112).

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Schlitbai(26; 126) wahrend der Bewegung des Verschlußteils (14; 114) in seine Schließstellung über einen Punkt hinausbewegt wird, der der Schließstellung entspricht, um das Verschlußteil in seiner Schließstellung zu verriegeln.7. Apparatus according to claim 6, characterized in that the Schlitbai (26; 126) during the movement of the closure part (14; 114) is moved into its closed position beyond a point which corresponds to the closed position by which To lock the locking part in its closed position.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zu der Führungseinrichtung ein Führungsglied (16, 20; 116, 120) gehört und daß der proximale, der distale und der8. The device according to claim 1, characterized in that a guide member (16, 20; 116, 120) and that the proximal, the distal and the

gekrümmte Abschnitt der Führungseinrichtung in Form einer langgestreckten Nut in dem Führungsglied ausgebildet sind.curved portion of the guide device are formed in the form of an elongated groove in the guide member.

9. Hochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschieber, gekennzeichnet durch ein Gehäuse (10; 110) mit einer Öffnung (12; 112), ein Verschlußteil (14; 114) zum Verschließen der Öffnung, zwei zu beiden Seiten des Verschlußteils angeordnete Führungsglieder (16, 20; 116, 120) zum Führen des Verschlußteils zwischen einer Schließstellung und einer Öffnungsstellung, wobei zu jedem Führungsglied eine Führung (17, 18, 21, 22; 118, 122) gehört und jede Führung einen proximalen Abschnitt (21a, 22a; 122a) nahe der Öffnung aufweist, der sich nach hinten von dieser weg erstreckt, einen distalen Ab~ schnitt (21b, 22b; 122b), der sich seitlich von der Öffnung weg erstreckt, sowie einen gekrümmten Abschnitt (21c, 22c; 122c), der den proximalen und den distalen Abschnitt miteinander verbindet, wobei die Führungen das Verschlußteil derart führen,, daß eine von abrupten Richtungs- oder Geschwindigkeitsänderungen freie Bewegung stattfindet, sowie eine Betätigungseinrichtung zum Ausüben einer Kraft auf das Verschlußteil, um es zwischen seiner Öffnungs- und seiner Schließstellung entlang einer Bahn zu bewegen, die durch die Führungen gebildet wird.9. High speed vacuum gate valve, labeled by a housing (10; 110) with an opening (12; 112), a closure part (14; 114) for closing the opening, two guide members (16, 20; 116, 120) arranged on both sides of the closure part for guiding the closure part between a closed position and an open position, with a guide (17, 18, 21, 22; 118, 122) and each guide has a proximal portion (21a, 22a; 122a) near the opening that extends extends rearward away from this, a distal section (21b, 22b; 122b) which extends laterally from the opening away, and a curved portion (21c, 22c; 122c) connecting the proximal and distal portions together connects, wherein the guides guide the closure part in such a way, that one of abrupt changes in direction or speed free movement takes place, as well as an actuator for exerting a force the closure member to move it between its open and its closed position along a path which is formed by the guides.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß jede Führung (17, 18, 21, 22; 118, 122) in Form einer langgestreckten Nut in dem Führungsglied (16, 20; 116, 120) ausgebildet ist.10. The device according to claim 9, characterized in that each guide (17, 18, 21, 22; 118, 122) in the form of an elongated Groove is formed in the guide member (16, 20; 116, 120).

11. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der proximale Abschnitt (21a, 22a; 122a) jeder Führung allgemein rechtwinklig zu der Ebene der Öffnung (14; 114) verläuft. 11. The device according to claim 9, characterized in that the proximal portion (21a, 22a; 122a) of each guide generally perpendicular to the plane of the opening (14; 114).

12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß zu dem Verschlußteil (14; 114) Rollen (54; 154) gehören,12. The device according to claim 10, characterized in that the closure part (14; 114) includes rollers (54; 154),

die zum Eingriff mit den Nuten ausgebildet sind, so daß sie eine rollende Bewegung des Verschlußteils (14; 114) entlang den Nuten ermöglichen.which are designed for engagement with the grooves so that they cause a rolling movement of the locking part (14; 114) enable along the grooves.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zu der Betätigungseinrichtung ein Sdnlitten(26; 126) gehört, der parallel zu dem distalen Abschnitt (21b, 22b; 122b) bewegbar ist, sowie ein Gestängeglied (28, 29; 128, 129) zur Herstellung einer Schwenkverbindung zwischen dem Schlitten und dem Verschlußteil (14; 114).13. The device according to claim 12, characterized in that a Sdnlitten (26; 126) belongs to the actuating device, which can be moved parallel to the distal section (21b, 22b; 122b), as well as a rod link (28, 29; 128, 129) for producing a pivot connection between the carriage and the closure part (14; 114).

14. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der gekrümmte Abschnitt (21c, 22c;. 122c) jeder Führung allgemein kreisbogenförmig ausgebildet ist.14. Apparatus according to claim 9, characterized in that the curved portion (21c, 22c; 122c) of each guide generally Is formed in the shape of a circular arc.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der distale Abschnitt (21b, 22b; 122b) allgemein parallel zu der Ebene der Öffnung (12; 112) verläuft.15. The device according to claim 14, characterized in that the distal portion (21b, 22b; 122b) is generally parallel extends to the plane of the opening (12; 112).

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß. die Führungsglieder (16, 20; 116, 120) an einander gegenüberliegenden Wänden des Gehäuses (10; 110) befestigt sind.16. The device according to claim 15, characterized in that. the guide members (16, 20; 116, 120) on opposite sides Walls of the housing (10; 110) are attached.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß zu jedem Führungsglied außerdem eine Schlittaifüinng (30, 31; 130, 131) zum Führen des Schlittens (26; 126) gehört.17. The device according to claim 16, characterized in that a Schlittaifüinng (30, 31; 130, 131) for guiding the carriage (26; 126).

18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Schlitten(26; 126) während der Bewegung des Verschlußteils (14; 114) in die Schließstellung über einen Punkt der Schlitt^nfüirung (30, 31; 130, 131) hinausbewegt, der der Schließstellung entspricht, um das Verschlußteil in seiner Schließstellung zu verriegeln.18. The device according to claim 17, characterized in that the carriage (26; 126) during the movement of the closure part (14; 114) moved into the closed position beyond a point of the slide guide (30, 31; 130, 131) which is the closed position corresponds to lock the closure part in its closed position.

19. Hochgeschwindigkeits-Vakuumabsperrschieber, gekennzeichnet durch ein Gehäuse (10; 110) mit einer Öffnung (12; 112),19. High-speed vacuum gate valve, characterized by a housing (10; 110) with an opening (12; 112),

ein Verschlußteil (14; 114) zum Verschließen der Öffnung, wobei zu dem Gehäuse zwei Wandteile zu beiden Seiten des Verschlußteils gehören, die das Verschlußteil zwischen einer Schließstellung und einer Öffnungsstellung führen, und wobei zu jedem Wandteil eine Führung (17, 18, 21, 22; 118, 122) gehört, die einen proximalen Abschnitt (21a, 22a; 122a) nahe der Öffnung aufweist, der sich nach hinten von dieser weg erstreckt, einen distalen Abschnitt (21b, 22b; 122b), der sich seitlich von der Öffnung weg erstreckt, sowie einen gekrümmten Abschnitt (21c, 22c; 122c), der den proximalen und den distalen Abschnitt miteinander verbindet, wobei die Führungen das Verschlußteil derart führen, daß eine von abrupten Richtungs- oder Geschwindigkeitsänderungen freie Bewegung stattfindet, sowie eine Betätigungseinrichtung zum Aufbringen "einer Kraft auf das Verschlußteil, um es entlang einer durch die Führungen definierten Bahn zwischen seiner Öffnungs- und seiner Schließstellung zu bewegen.a closure part (14; 114) for closing the opening, with two wall parts on both sides of the housing Include locking part that guide the locking part between a closed position and an open position, and wherein each wall part has a guide (17, 18, 21, 22; 118, 122) belonging to it, which has a proximal section (21a, 22a; 122a) has near the opening extending rearwardly therefrom a distal portion (21b, 22b; 122b), which extends laterally away from the opening, and a curved section (21c, 22c; 122c), the connects the proximal and the distal section to one another, the guides guide the closure part in such a way that a movement free of abrupt changes in direction or speed takes place, as well as an actuating device for applying "a force to the closure member to move it along a path defined by the guides between to move its open and its closed position.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der proximale Abschnitt (21a, 22a; 122a) jeder Führung allgemein rechtwinklig zu der Ebene der Öffnung (12; 122) verläuft. 20. The device according to claim 19, characterized in that the proximal portion (21a, 22a; 122a) of each guide generally perpendicular to the plane of the opening (12; 122).

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der gekrümmte Abschnitt (21c, 22c; 122c) jeder Führung allgemein kreisbogenförmig ausgebildet ist.21. The device according to claim 20, characterized in that the curved portion (21c, 22c; 122c) of each guide generally Is formed in the shape of a circular arc.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß jede Führung (17, 18, 21, 22; 118, 122) in Form einer langgestreckten Nut in den Wandteilen ausgebildet ist und daß zu dem Verschlußteil (14; 114) Rollen (54; 154) zum Eingriff in die Nuten gehören, um eine rollende Bewegung des Verschlußteils entlang den Nuten zu ermöglichen.22. Apparatus according to claim 21, characterized in that each guide (17, 18, 21, 22; 118, 122) is designed in the form of an elongated groove in the wall parts and that the locking member (14; 114) includes rollers (54; 154) for engaging the grooves for rolling motion to allow the closure part along the grooves.