DE3244811A1

DE3244811A1 - Verfahren und einrichtung zum vorspannen von fotoleiterdetektoren

Info

Publication number: DE3244811A1
Application number: DE19823244811
Authority: DE
Inventors: Charles Thomas Elliott; Anthony Michael Malvern Worcestershire White
Original assignee: UK Secretary of State for Defence
Current assignee: UK Secretary of State for Defence
Priority date: 1981-12-07
Filing date: 1982-12-03
Publication date: 1983-06-16
Also published as: JPS58108425A; IL67280A; US4551623A; FR2517887B1; FR2517887A1

Description

The Secretary of State for Defence in Her Britannic Majesty's Government

of the United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland, Whitehall, London SWlA 2HB, England

Verfahren und Einrichtung zum Vorspannen von Potoleiterdetektoren

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Vorspannen von Potoleiterdetektoren nach dem Oberbegriff des Anspruchs

Ferner bezieht sich die Erfindung auf eine Einrichtung zur Ausführung dieses Verfahrens gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs H sowie auf einen Fotoleiterdetektor zur Verwendung in dieser Einrichtung nach dem Oberbegriff des . Anspruchs 9.

Fotoleiterdetektoren, insbesondere auf Infrarotstrahlung ansprechende Fotoleiterdetektoren, v/erden in Abbildungssystemen eingesetzt. Sie können auch in zukünftigen Laser-Kommunikations- und Laser-Entfernungsmeßsystemen Anwendung finden.

Herkömmliche Fotoleiterdetektoren v/eisen ein oder mehrere quadratische Elemente aus lichtempfindlichem

. S-

Material auf, v/obei jedes Element zwei mit gegenseitigem Abstand angeordnete Vorspannkontakte besitzt,, Für Abbildungen anwendungen wird ein solcher Detektor in der Bildebene eines optischen Systems angeordnet und gewöhnlich abgeschirmt, um den Einfall von ilintergrundlicht auf den Detektor au verringern . Der Detektor ist gewöhnlich an einer kalten Halterung montiert und wird gekühlt, um die Signal/Rausch-Trennung zu verbessern.

Bei einer Ausführungsform einer herkömmlichen Detektor= einrichtung unter Verwendung fotoleitender Elemente, die auf den mittleren und fernen Infrarotbereich des Spektrums entsprechen , findet bei jedem Element eine Konstantstromvorspannung mittels eines konstanten Gleichstroms einer Konstantstromquelle Anwendung. Infolgedessen entwickelt sich über jedem Detektorelement ein■ Austastungsvorspannungs·= pegel, der von der Größe des Vorspannungsstromes und dem Widerstand des Elements abhängig ist. Wenn Strahlung entsprechender Wellenlänge auf die Detektorelemente auftrifft, entstehen Fotosignale, im vorliegenden Fall Fotospannungen, und diese erhöhen die an jedem Element liegende Spannung. Diese zusätzliche Fotosignalspannung ist bei normalen Strahlungsintensitäten um mehrere Größenordnungen kleiner als die Größe des Austastungsvorspannungspegels, und es ist daher üblich, von der an jedem Element anfallenden Gesamtspannung eine dem Vorspannungspegel entsprechende Gleichspannung zu subtrahieren, um die Eliminierung und Verstärkung der Fotosignalkomponente zu ermöglichen» Hierbei muß jedoch, um die gewünschte Kompensationswirkung zu erreichen, diese Kompensationsgleichspannung etwa auftretenden Schwankungen der Austastungsvorspannung folgen« Solche VorspannungsSchwankungen können beispielsweise durch Temperaturdrifterscheinungen der kalten Halterung, durch Änderungen der Umgebungstemperatur, durch Veränderungen der mittleren Hintergrundbeleuchtung, und durch Stromdrifterscheinungen auftreten. Derartige Schwankungen des

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Austastungsvorspannungspegels liegen im allgemeinen ebenfalls um Größenordnungen höher als die Potosignalkomponente. Außerdem schwankt der Austastungsvorspannungspegel und die Änderung dieses Vorspannungspegels von Element zu Element.

Im allgemeinen ist der elektrische Widerstand von Element zu Element etwas unterschiedlich, da der spezifische Materialwiderstand und die Abmessungen der Elemente innerhalb der üblichen Fertigungstoleranzen schwanken. Wegen dieser Ungleichförmigkeiten des Austastungsvorspannungspegels ist es äußerst schwierig, wenn nicht sogar unmöglich, bei nicht abgetasteteten, sog. "starrenden" Systemen die Elementengrundspannung zufriedenstellend zu kompensieren, so daß das gewünschte, beleuchtungsabhängige Potosignal ohne einen unannehmbar hohen festen Rauschpegel eliminiert v/erden kann. Es ist auch möglich, diese Detektoren unter Verwendung einer Konstantspannung anstelle eines Konstantstromes vorzuspannen, wobei in diesem Falle der Stromfluß als Meßgröße dient. Aber auch diese Möglichkeit erfordert eine Vorspannungskompensation und verursacht in gleicher Weise einen festen Rauschpegel.

Diese Schwierigkeiten behindern den Fortschritt der technischen Entwicklung der Fotoleiterdetektoren und begünstigen die alternative Entwicklung fotovoltaischer Detektoren (Sperrschichtfotodetektoren), obwohl diese letztere Detektorgattung eine komplexere, im allgemeinen teurere und weniger weit fortgeschrittene Technologie erfordert.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eben erläuterte Problem zu bewältigen.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Verfahrensmaßnahmen gelÖ3t.

Eine Detektoreinrichtung zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist Gegenstand des Anspruchs k„

Anspruch 9 kennzeichnet einen Fotoleiterdetektor zur Verwendung in der erfindungsgemäßen Detektoreinriehtungo

Der in Anspruch 9 verwendete Begriff der Ansprechempfindlichkeit bezieht sich auf die Ausgangssignalzunahme jedes Elements (nämlich eine Spannungszunähme im Falle der Vorspannung durch einen Strom oder eine Stromzunahme im Falle der Vorspannung durch eine Spannung), die erzeugt wird, wenn eine Strahlung geeigneter Wellenlänge mit dem Beleuchtungsintensitätswert Eins auf das betreffende Foto~ leiterelement auftrifft.

Ein solcher Detektor nach Anspruch 9 weist mindestens ein Fotoleiterelement auf_s und jedes Element ist so ausgelegt, daß es in Abhängigkeit von einer angelegten Vorspannung ein entlang seiner Länge sich ungleichförmig änderndes elektrisches Vorspannungsfeld entwickelt, so daß eine polaritätsabhängige Ansprechempfindlichkeit gegeben ist. Dementsprechend kann jedes Element eine über seine Länge veränderliche Breite und/oder Dicke haben, wobei "diese Breite oder Dicke oder beide diese Abmessungen sich entlang der Elementenlänge kontinuierlich oder stufenweise ändern können= Alternativ dazu kann jedes Element mit Vorspannungskontakten unterschiedlicher Breite versehen sein, um auf diese Weise ein ungleichförmiges Vorspannungsfeld zu erzeugen. Eine weitere Alternative besteht darin, daß jedes Element eine ungleichförmige Dotierungskonzentration oder eine ungleichförmige Oberflächenbehandlung aufweist. Weiter können Kontakte mit unterschiedlichen Rekombinationseigenschaften (beispielsweise kann der eine Kontakt als akkumulierender und der andere Kontakt als nicht akkumulierender Kontakt ausgebildet sein) verwendet werden, um die gewünschte Feldungleich-

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förmigkeit herbeizuführen.

Wenn an einem der oben beschriebenen Detektorelemente eine Vorspannung anliegt und eine Strahlung geeigneter Wellenlänge auf das Element auftrifft, werden in dem Material Fototräger erzeugt und driften dann in einer von der Polarität der Vorspannung abhängigen Richtung. Bei der einen Polarität der Vorspannung driften die Fototräger folglich in Richtung zum stärkeren Feld und bei der anderen Polarität zum schwächeren Feld hin. Bei einem ausgeräumten Detektorelement ist das durch jeden Fototräger miterzeugte Signa] proportional zur Potentialdifferenz, durch welche dieser aus seinem Weg zum'Ausgangskontakt hindurchdriftet. Bei jedem der oben beschriebenen Detektorelemente ist das elektrische Feld ungleichförmig und das Potential V hängt von der Trägerposition (x, y) ab. Wenn also das Potential am einen Endkontakt den Wert Vq und am anderen Endkontakt den Wert V. hat, wobei V. > V_Q, ist das durch die ausgeräumten Fototräger erzeugte Signal in einem Fall proportional zu Σ [V(x, y) - V^J und im anderen Fall proportional zu 2Γ fv. - V(x, y)] . Da das elektrische Feld ungleichförmig ist, sind diese beiden Summensignale unterschiedlich, d.h. das Ansprechverhalten für die beiden Strömungsrichtungen ist unterschiedlich. Irr.

Gegensatz dazu verhält sich aber beim Fehlen einer Beleuchtung jedes Element linear, so daß dann kein Unterschied in der Ansprechstärke vorhanden ist.

Vorteilhafterweise kann ein Teil der Fläche jedes Elements durch eine lichtundurchlässige Maske abgedeckt werden, um das unterschiedliche Fotoansprechverhalten bei positiv und negativ gepolter Vorspannung noch zu verstärken.

Jedes Element verhält sich ähnlich einem Halbwellengleichrichter, da er jeweils nur während einer Hälfte des

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Vorspannungszyklus ein vergrößertes Signal abgibt. Vor-= teilhafterweise können daher komplementäre Elemente paarweise zusammengeschaltet bzw» so geschaltet werden₉ daß sie das Analog eines Vollweggleichrichters bilden,

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Wenn die Elemente eine ungleichförmice Breite haben ₉ können geeignete Breitenprofile gewählt werden/die eine dichte Packung der Elemente in einer eindimensionalen oder einer zweidimensionalen Anordnung ermöglichen»"

Wenn an ein beleuchtetes Element eine Wechselvorspannung angelegt wird, kann das Ansprechsignal dieses Elements (ein Spannungs- oder ein Stromsignal) zwecks Erzeugung eines Gleichstromsignals integriert werden« Der Pegel dieses Signals hängt von der Intensität der auf das Element auftreffenden Strahlung ab. Beim Fehlen einer Strahlung verhält sich das Element jedoch linear und das Aus gangs signal hat echten Wechselstromcharakter.. Wenn dieses letztere Ausgangssignal integriert ist_s hat das so erhaltene Ausgangsgleichstromsignal den Pegel Kuli» Demzufolge ist es möglich, die Potosignalkomponente und die Vorspannuncskomponente des Gesamtausgangssignals voneinander zu trennen.

Alternativ dazu kann ein brauchbares Potosignal auch durch harmonische Trennung eliminiert werden^ indem ent·= weder ein Hochpaßfilter zum Abblocken der Vorspannungsfrequenz oder ein phaseneinpfindlicher Detektor Anwendung findet. .

Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen mehr im einzelnen beschrieben, in welchen zeigen:

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Pig. 1 eine Draufsicht auf ein Detektor-

eleinent mit modifizierter Form,

Fig. 2 ein schematisches Blockschaltbild

einer Detektoreinrichtung, mit einem

Detektor, der das in Fig. 1 gezeigte Detektorelement aufweist,

Fig. 3 in einem Diagramm (a) die Ansprech-

empfindlichkeit des Elements nach Fig. 1 als Funktion von Größe und Polarität der Vorspannung, weiter die Kurvenform (b) einer angelegten Vorspannung und die Kurvenform (c) eines Fotoausgangssignals,

Fig. 4 ein Blockschaltbild einer Detektoreinrichtung mit einen; Detektor, der eine zweireihige ineinandergreifende Elementenanordnung aufweist,

die Fig. 5 Draufsichten auf verschiedene

bis 7 weitere Detektorelementformen, und

Fig. 8 eine Detektoreinrichtung mit einen

Kombinations element.

Fig. 1 zeigt ein besonders geformtes Detektorelement aus η-leitendem Kadmium-Quecksilber-Tellurid, einem auf Strahlung im Fensterband von 8^m bis 14 n-m ansprechenden infrarotempfindlichen Material. Das Element weist an seinen beiden Enden Goldkontakte 3 und 5 auf. Die Elementform ist durch Ätzen aus einem 50u.ni breiten, 50 u_m langen und 10^m dicken Ausgangsmaterial hergestellt und weist einen schmalen Bereich 15 mit einer Breite von 10u.m und einer Länge von 15jJum sowie einen breiten Bereich 13 mit einer

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Breite von 50a.ra und einer Länge von 35 jA-vn auf. Das Element 2 besitzt einen typischer Widerstand zwischen 12 ... 50 XL /Q · Demzufolge ist das Element 2 so ausgelegt j daß man beim Anlegen einer Vorspannung zwischen

5- die beiden Vorspannungskontakte 3 und 5 ein elektrisches Vorspannungsfeld erhält, daß Über die Länge des Elements zwischen den beiden Kontakten ungleichförmig ist, d.h« dieses Vorspannungsfeld ist im schmalen Bereich 15 stärker und im breiten Bereich 13 schwächer.

Wie aus Fig. 2 hervorgeht-, wird an eine Detektoreinrichtung 1 mit dem in Pig«. I gezeigten Detektorelement eine Wechselstromvorspannung aus einer Wechselstromquelle 7 hoher Impedanz angelegt, und das Ausgangssignal des Detektorelements, nämlich ein Spannungssignal, wird an die Eingänge einer Ausgangsschaltung 11 hoher Impedanz, nämlich einen integrierenden Verstärker, angelegt. Die Fotosignalkomponente dieses Ausgangsspannungssignals ist in Fig. 3c dargestellt. Wie aus der Graphik gemäß Fig. 3a hervorgeht, ändert sich die Ansprechempfindlichkeit sowohl mit der Größe der Vorspannung als auch mit der Polarität der Vorspannung. Für niedrige Werte der Vorspannung ist die Ansprechempfindlichkeit in beiden interessierenden Quadranten linear. In diesem Bereich gehen Fototräger durch Rekombination im Elementwerkstoff verloren. Bei höheren Vorspannungspegeln ändert sich die Ansprechempfindlichkeit in nichtlinearer V/eise und nähert sich in jedem der beiden interessierenden Quadranten assymptotisch einem maximalen' Ansprechempfindlichkeitswert R_„ . Dieser Verlauf hat seinen Grund darin, daß die Fototrägerrekombination an den Vorspannungskontakten den vorherrschenden Verlustmechanismus darstellt, d.h. die Fototräger werden am einen oder anderen oder an beiden Vorspannungskontakten 3 und 5 "ausgeräumt". Bei einer Polarität der Vorspannung befindet sich jedoch der Kontakt 3, der dem breiten Rereich 13 des Elements 2 zugeordnet ist, unter negativer Vorspannung. Die Fototräger

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werden dadurch zum Driften zu diesem Kontakt 3 hin veranlaßt, und .nur einige, nämlich die in dem stärkeren Feld im engen Bereich 15 erzeugten Fototräger, driften in das stärkere Feld im schmalen Bereich 15 und in das schwache Feld im breiten Bereich 13, während der größere Rest nur in das schwache Feld im breiten Bereich 13 driftet. Die Ansprechempfindlichkeit für diese Polarität der Vorspannung ist deshalb gering. Bei entgegengesetzter Polarität der Vorspannung steht der andere Kontakt 5 unter negativer Vorspannung. Die im Element erzeugten Fototräger driften also in umgekehrter Richtung und zu diesem anderen Kontakt 5 hin. In diesem Fall driftet jedoch die Mehrzahl der Fototräger sowohl in das schwache Feld im breiten Bereich 13 als auch in das starke Feld im schmalen Bereich 15. Die Ansprechempfindlichkeit für diese urngekehrte Polarität ist daher höher. Diese Differenz der Ansprechempfindlichkeit kann dadurch noch verstärkt werden, daß eine lichtundurchlässige Maske 17 den schmalen Bereich 15 des Elements 2 abdeckt.

Auf diesem Wege erhält man ein Ansprechempfindlichkeitsverhältnis von

Max. Ansprechempfindlichkeit (pos. Vorspannung) _ max (+) Max. Ansprechempfindlichkeit (neg. Vorspannung) ~ R_m_„ (-}

Für die dargestellte Ausführungsform des Elements kann dabei ein Wert dieses Verhältnisses von etwa 3,0 erreicht werden, jedoch läßt sich dieser Wert in weiten Grenzen durch Modifikationen der Abmessungen der Anordnung verändern.

Ein Wechselstrom mit einer Spitzenamplitude von 1 mA bis 5 niA erlaubt eine Ausnutzung des größeren Teils der Ansprechempfindlichkeitscharakteristik nach den Piß· 3a und 3b, und dieser Strom wird so optimiert, daß man bei nur mäßigem Energieverlust eine gute Ausgangs-

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signalstärke erhält. Das Ausgangssignal des Elements weist eine größere lineare Wechselspannungskomponente auf«, welcher die nichtlineare, beleuchtungsabhängige Fotosignalkomponente überlagert ist. Der in Pig. 3c gezeigte Verlauf des Potosignals hat daher eine nichtlineare Wellenform und wird in den aufeinanderfolgenden Halbwellen in unterschiedlichem Maße abgeschnitten. Beim Verarbeiten des Ausgangssignals in dem integrierenden Verstärker 11 ergibt die Integration der linearen Vorspannungskomponente dieses Ausgangssignals den Wert Null. Da jedoch die Fotosignalkomponente des Ausgangs= signals assymetrisch ist (siehe Fig. 3c) _s ergibt sie bei der Integration ein von Hull verschiedenes Gleichspannungs~ signal. Dieses Signal stellt eine lineare Funktion .der Intensität der auf das Element 2 des Detektors! einfallenden Strahlung dar„ ·

Diese Methode der Vorspannung kann bei einem Detektor mit einer Doppelreihe von mit einem ungleichförmigen Breitenprofil versehenen Elementen 2, wie sie bei der Detektoreinrichtung nach Fig. ¹I vorhanden ist, ebenfalls Anwendung finden. Der Ausgangsvorspannungskontakt 5 jedes Detektorelements 2 ist an den Eingang eines integrierenden Verstärkers 11 angeschlossen. Das Ausgangssignal jedes Verstärkers 11 wird durch eine Abta3t~ und Halte= schaltung (S/ll-Schaltung) 21 einem Verzögerungsleitungsschieberegister 19 zugeführt. Diese Ab'tast- und Halteschaltungen 21 und das Schieberegister 19 werden dann periodisch getriggert, um am Ausgang 0/P des Registers ein serielles Auslesesignal zu erzeugen. Dieses Ausle.sesignal wird dann an eine Anzeige- oder sonstige überwachungsschaltung weitergeleitet.

Da das von jedem Element erzeugte Ausgangssignal nicht linear ist, kann das Signal anstelle der- Verarbeitung durch eine Integration auch durch ein Hochpaßfilter geleitet oder einem phasenempfindlichen Detektor zugeführt werden,

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um eine oder mehrere Harmonische (zweite Harmonische, dritte Harmonische usw.) des Fotosignals von der Vorspannungsfrequenz zu trennen.

Alternative Konstruktionsformen eines Fotoleiterelements sind in den Fig. 5 bis 7 dargestellt. Gemäß Fig. 5 hat das Element 2 eine Trapezfora mit einer Länge von 50 am und zwei Kontakten, von denen der eine lOjA-n breit und der andere 60 um breit ist. In Fig. 6 weist das

Element 2 einen breiten Bereich 13 mit Trapezforrn auf, an welchen sich ein schrraler Bereich 15 anschließt. Hierbei ist das Element 50i/cm lang und seine beiden Kontakte haben eine Breite von 10u.m bzw. 60 tun. Der schmale Bereich 15 ist 12 m lang. In Fig. 7 ist das Element 2 quadratisch mit einer Kantenlänge von 50 Lim, hat jedoch an einem Ende einen Kontakt 5 mit einer Breite von nur 6 w-m und am anderen Ende einen Kontakt mit einer Breite von 50^m. Elemente dieser Konstruktionsformen aus Kadmiurr.-Queck-•silber-Tellurid-Material wie beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 sind untersucht worden und es hat sich gezeigt, daß diese Elemente ebenfalls ein assymmetrisches Ansprechverhalten zeigen.

Die Elemente 2 können auch so gestaltet werden-, daß 25· sie eine dichte Packung in einer zweidimensionalen • Anordnung zulassen, wie es bei den. Detektor nach Fig. 4 dargestellt ist., Auf diese Woir>e kann die nutzbare Fotoleitermaterialfläche optimiert werden. Die Elemente dieses Detektors sind mit Metallkontakten 3 und - 5 beschichtet und die einander benachbarten Elementenreihen sind ineinander verzahnt. Die gesamte Anordnung kann aus einem einzigen Potoleitermaterialstreifen herausgeotzt werden.

In Pif. 8 ist ein Kombinationselement 2¹ dargestellt. Dieses Element 2¹ hat die Forr, einer mit drei Kontakten

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versehenen Anordnung, wobei ein Kontakt 3 an einem breiten Bereich 13 des Elements und zwei Kontakte !5 jeweils an einem von zwei schmalen Dereichen 15 angeordnet sind» Die Vorspannung wird an die beiden kleineren Kontakte 5 angelegt. Jede der beiden seitlichen Hälften des Detektors arbeitet bei alternierenden Halbwellen, und die Ausgangssignale der beiden Hälften addieren sich am Suniniieroincang eines Verstärkers 25· Die lineare Vorspannuncskomponente wird in der Eingangsschaltung 27 des Verstärkers kompensiert»

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Claims

Patentansprüche

( !./Verfahren zum Vorspannen eines Fotoleiterdetektors., wobex an jedes Element des Detektors eine Vorspannung angelegt und von dem von jedem Element erzeugten Ausgangs«= signal eine von der Strahlsintensität abhängige Fotosignal» komponente eliminiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß als Vorspannung eine Wechselvorspannung verwendet wird und daß ein Fotoleiterdetektor mit mindestens: einem Fotoleiterelement verwendet wird, dessen Ansprechempfindlieh'» keitscharakteristik für die beiden möglichen Vorspannungs-

Polaritäten unterschiedlich ist. ·
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangssignal jedes Detektorelements zwecks Eliminierung der Fotosignalkomponente integriert wird.

' ·
3. Verfahren nach Anspruch I₉ dadurch gekennzeichnet■, daß die Fotosignalkomponente aus dem Ausgangssignal jedes Detektorelements durch harmonische Trennung eliminiert wird.

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4. Einrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einem mindestens ein Fotoleiterelement aufweisenden Detektor, einer an den Detektor angeschlossenen Vorspannungsquelle zur Vorspannung jedes Detektorelements-, und mit einer an jedes Element angeschlossenen Ausgangs» schaltung, die von dem elektrischen Ausgangssignal jedes Elements eine von der auf das Element jeweils einfallenden

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Strahlungsintensität abhängige Fot.osignalkomponente eliminiert, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorspannungsquelle (7) eine Wechselvorspannungssignalquelle ist und daß der Fotoleiterdetektor (1) mindestens ein Fotoleiterelement (2) aufweist, dessen Ansprechempfindlichkeitscharakteristik für die beiden möglichen Vorspannungspolaritäten jeweils unterschiedlich ist (Fig. 3).
5. Einrichtung nach Anspruch ¹I, dadurch gekennzeichnet, daß jede Ausgangsschaltung einen Integrator (11) zur Erzeugung eines der Fotosignalkomponente entsprechenden Gleichstromsignals aufweist.
6. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jede Ausgangsschaltung ein Hochpaßfilter züJ? Eliminierung der Fotosignalkomponente aufweist.
7. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jede Ausgangsschaltung einen phasenempfindlichen Detektor zur Eliminierunr. der Foto3ignalkomponente aufweist.
8. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (1) mindestens ein Paar komplementärer Detektorelemente (2) aufweist, die paarweise zusammengeschaltet oder in Form eines Doppelelements (2') ausgebildet sind und eine Vollwellengleichrichtung erzeugen (Fig. 8). "
9. Fotoleiterdetektor zur Verwendung in einer Einrichtung nach Anspruch 4, mit einer Anzahl gleicher Detektorelemente, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Detektorelement (2) eine für die beiden möglichen Vorspannungspolaritäten jeweils unterschiedliche Ansprecheinpfindlichkeitscharakteristik (Fig. 3) aufweist.

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10. Detektor nach Anspruch· 9_S dadurch gekennzeichnet_s daß jedes Detektorelement (2) so ausgelegt is.t, daß es beim Anlegen einer Vorspannung ein über seine Länge ungleichförmiges elektrisches Vorspannungsfeld erzeugt ₀ .
11. Detektor nach Anspruch 1O₃, dadurch gekennzeichnet _s daß jedes Element (2) eine über die Eleirientläng© veränderliche Breite und/oder Dicke aufweist.
12. Detektor nach Anspruch 1O₅, dadurch gekennzeichnet_s daß jedes Element (2) zwei Vorspannungskontakte (3? 5) unterschiedlicher Breite aufweist.
13. Detektor nach Anspruch 1O₉ dadurch gekennzeichnet _a daß ein Teil der Fläche jedes Elements (2) durch eine lichtundurchLässige Maske (17 abgedeckt ist«

Ik. Fotoleiterdetektor zur Verwendung in der Ein·= richtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch ein Detektordoppelelement (2^T), das einen mit einem Massekontakt (3) versehenen breiten Teil (13) und zwei sich daran anschließende, jeweils mit einem Vorspannungskontakt (5) versehene schmale Teile (15) aufweist.