DE3231239A1 - Zu einer drehbewegung antreibbares spiegelrad - Google Patents

Zu einer drehbewegung antreibbares spiegelrad

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DE3231239A1
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mirror wheel
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polygon
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DE19823231239
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Fromund Prof. Dr. 3003 Ronnenberg Hock
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Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
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Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft ein zu einer Drehbewegung antreibbares
  • Spiegelrad mit einem in Axialrichtung gesehen polygonartigen Umriß, an dem ebene Spiegelflächen angeordnet sind, die ein Auftreffen des Sendelichtbündel reflektieren und dem reflektierten Bündel beim Umlaufen des Spiegelrades um seine Drehachse eine sektorförmige Abtastbewegung erteilen.
  • Spiegelräder werden in der Technik der Laserdrucker, der Lichtstrahloszillographen, der Fehlersuchgeräte oder der Lichtvorhänge verwendet, um ein auf seinen Umfang auftreffendes stationäres Sendelichtbündel zu reflektieren und dabei über einen sektorförmigen Bereich eine periodische Abtastbewegung ausführen zu lassen ( z.B. DE-PS 25 32 602, DE-PS 25 52 333, DE-PS 28 00 351).
  • Bei den häufig vorkommenden Präzisionsanwendungen ist es wichtig, daß die vom Lichtbündel bevorzugt in einer Fokusebene erzeugte Abtastlinie für alle Spiegelflächen des Spiegelrades gleichartige, reproduzierbare Abtastspuren durchläuft.
  • Dazu werden von jeher an die Lagerung der Drehbewegung der Spiegelräder und an die Winkelabweichungen der Spiegelrichtung der einzelnen Spiegelflächen strenge Anforderungen gestellt.
  • Der Pyramidalfehler ist ein Maß für die Güte eines Spiegelrades.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Spiegelrad der eingangs genannten Gattung zu schaffen, bei dem größere Toleranzen der Spiegelradachslagerung und der Spiegelflächenanordnung zulässig sind, ohne daß die exakte Reflexion des reflektierten Lichtbündels auf eine vorgegebene Abtastspur beeinträchtigt wird.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß jedes geradlinige Polygonstück aus einer geradzahligen Anzahl von und insbesondere zwei ebenen Spiegelflächen besteht, die unter einem Winkel von kleiner als 1800 und insbesondere etwa 900 zueinander angeordnet sind und deren Schnittgeraden in einer gemeinsamen, senkrecht zur Drehachse verlaufenden Ebene liegen.
  • Aufgrund dieser Anordnung wird bei fester Relativanordnung der spiegelnden Flächen die Richtung des reflektierenden Lichtbündels weitgehend unabhängig von Kippbewegungen der Spiegelkombinationen, sofern die Spiegelnormalen dieser Spiegelkombinationen alle in einer Ebene liegen. Kippkomponenten der Spiegelkombinationen senkrecht zu dieser Ebene lassen ein umzulenkendes Lichtbündel genau so schwenken wie bei der Reflexion an einem einfachen Drehspiegel. Durch die erfindungsgemäße Ausbildung wird außerdem erreicht, daß durch die Wahl einer festen Winkelbeziehung zwischen den einzelnen Spiegelpaaren in einer Schnittebene eine feste Winkelumlenkung erreicht wird. Schließen die Spiegelpaare untereinander einen Winkel von 900 ein, so wird der vom drehbar angeordneten Spiegelpaar reflektierte Strahl wieder in die Einfallsrichtung zurückkehren. Weicht der von den Spiegelpaaren jeweils eingeschlossene Winkel von 900 ab, so wird die Umlenkrichtung den doppelten Betrag der Winkelabweichung von 900 relativ zum einfallenden Lichtbündel haben.
  • Je nach dem Anwendungszweck für das Spiegelrad werden die Spiegelpaare in gleichmäßigen Winkelabständen auf der Peripherie des Spiegelrades verteilt und entweder gleiche Winkel einschließen, so daß die Abtastspuren alle auf der gleichen Abtastlinie verlaufen, oder voneinander abweichende Winkel einschließen, um durch die Drehbewegung des Spiegelrades zueinander parallele Abtastspuren zu erzeugen.
  • Die Herstellung von Spiegelpaaren, die einen Winkel von 0 etwa 90 einschließen, in einem monolithischen Block aus Glas oder Metall, wirft gewisse technologische Probleme auf, da die Spiegelflächen bis in die Schnittkante hinein präzise poliert sein müssen.
  • Eine sehr wirtschaftlich herstellbare Ausführungsform des erfindungsgemäßen Spiegelrades kennzeichnet sich daher dadurch, daß Dachprismen in verspiegelter oder total reflektierender Form auf der Peripherie eines Polygonprismenträgers angeordnet sind.
  • Bei einer weiteren sehr günstig herstellbaren und sehr betriebssicheren Ausführungsform ist vorgesehen, daß zwei Spiegelpyramidenstümpfe in einer gemeinsamen Ebene, die senkrecht zu den beiden Pyramidenachsen liegt, so zusammengefügt sind, daß die Pyramidenstümpfe mit ihren virtuellen Spitzen aufeinander zugerichtet sind. Bei dieser Verbindung zweier Pyramidenstümpfe ist es zweckmäßig, die Lage der die Pyramidenstümpfe bestimmenden Schnittflächen mit Zentrier- und Winkelstabilisierungshilfen zu versehen. Im einfachsten Falle sind die Pyramidenstumpfflächen mit einem zu den Spiegelflächen präzise orientierten Bund- oder Ringnut versehen. Um eine zusätzliche Winkelorientierung zu erreichen, ist es zweckmäßig, die Pyramidenstumpfflächen als radial liegende Kerbverzahnungen auszubilden, so daß beim Zusammensetzen der Pyramidenstümpfe sich die Kerbverzahnungen zentrieren und unter elastischer Mittelung über die Zahnflanken - die Winkellagen stabilisierend - ineinandergreifen.
  • Durch die Ausbildung von kippungsunabhängigen Spiegelrädern aus zwei zusammengesetzten spiegelnden Pyramidenstümpfen ist es fertigungstechnisch einfach, die Spiegelstümpfe durch Replika-Techniken herzustellen, so daß bei geringen Kopierkosten der Hauptaufwand in der Herstellung der Replikaformen liegt. Bei der Herstellung von Pyramidenstümpfen werden vorbearbeitete, meist noch rauhe Trägerkörper aus Glas oder Metall mit einer dünnen aushärtbaren flüssigen Kunststoffschicht versehen. Dieser flüssige Kunststoff füllt einen engen Spalt zwischen Trägerkörper und Form aus, so daß die Oberflächengestalt der Form mit sehr geringen Abweichungen auf die Trägerkörper durch die Kunststoffläche übertragen wird. Dabei wird durch ein Trennmittel auf der Formoberfläche dafür gesorgt, daß sich der Abdruck leicht aus der Form lösen läßt. Die Form kann bei diesem Verfahren auf der sehr dünnen Trennmittelschicht bereits z.B. durch Aufdampfen hergestellte Spiegelschichten tragen, so daß sich die Spiegelschicht und der Kunststoff beim Aushärten monolithisch miteinander verbinden und ein vollständiges Pyramidenspiegelrad der Form entnommen werden kann. Die Pyramidenform mit in der Nähe von 450 liegendem Pyramidenwinkel erleichtert die Trennung von Form- und Spiegelrad im Gegensatz zur Abformung von Spiegelrädern mit zur Drehachse parallelen Spiegelflächen, da dann eine zerlegbare Form notwendig ist, die die Einhaltung der Winkel toleranzen beeinträchtigt.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung können die Spiegelflächen auf den Pyramidenstumpfpaaren auch aus mehreren nur sehr schwach geneigten Teilflächen zusammengesetzt sein, so daß aus einem Sende lichtbündel mehrere reflektierte Bündel entstehen. Bereits bei Verwendung von Pyramidenstumpfpaaren mit um nur sehr kleine Winkel von 900 abweichenden Spiegelflächenpaaren sind durch gemeinsame Beleuchtung des Flächenpaares mit einem großen Sendelichtbündel zwei etwa in der Reflexionsrichtung voneinander abweichende Teilbündel herstellbar.
  • Wird von den Pyramidenstumpfpaaren nur der eine Pyramidenstumpf vom Beleuchtungsstrahl so getroffen, daß der reflektierte Strahl die Spiegelkombination über den zweiten Pyramidenstumpf verläßt, ist es zur Herstellung der Strahlaufspaltung.
  • für Vielfachabtastung auch möglich, die zweite Fläche als spiegelnde Gitterstruktur auszubilden, so daß der reflektierte Strahl in einzelne Beugungsordnungen aufgespalten wird. Durch geeignete Furchenformen der Spiegelgitter ist es erreichbar, daß eine Anzahl von Beugungsordnungen mit gleicher Intensität bei der Reflexion entsteht. Je nach der gewünschten Zahl und Richtungsverteilung der durch Beugung herzustellenden Teilbündel wird die Spiegelfläche durch ein ein- oder zweidimensionales Beugungsgitter strukturiert.
  • Das Wesen der Erfindung ist also darin zu sehen, daß der abzulenkende Lichtstrahl eine Kombination von Spiegelflächendurchläuft und dabei eine gerade Zahl von Reflexionen erleidet und daß eine Vielzahl solcher ablenkender Spiegelgruppen in einem regelmäßigen oder unregelmäßigen Polygon angeordnet sind.
  • Ein Prismenträger'kann eine Polygonanordnung von reflektierenden Prismen tragen, die so im Polygonträger angeordnet sind, daß die Prismenkanten der Spiegelflächenpaare alle in einer gemeinsamen Ebene liegen.
  • Bevorzugt werden zwei mit der gleichen Seitenzahl versehene Spiegelpyramidenstümpfe zu einer festen Einheit zusammengefügt.
  • Unstrukturierte und strukturierte Spiegelflächen können durch Abdrucktechniken von Mutterspiegeln abgeleitet werden.
  • Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigt: Fig. 1 eine schematische Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Spiegelrades, Fig. 2 einen Schnitt nach Linie II-II in Fig. 1 und Fig. 3 -eine Teilseitenansicht ähnlich Fig. 1 zur Veranschaulichung des erfindungsgemäßen Reflexionst mechanismus.
  • Nach Fig. 2 hat das erfindungsgemäße Spiegelrad in Richtung der Drehachse 20 gesehen die Form eines im vorliegenden Fall sechseckigen Polygons, wobei alle sechs geradlinigen Polygonstücke 11, 12, 13, 14, 15 bzw. 16 sich über den gleichen Winkel Fbezüglich der Drehachse 20 erstrecken.
  • Nacn den Figuren 1 und 2 besteht jedes Polygonstück 11, 12, 13, 14 bzw. 16 aus zwei unter einem Winkel von 900 zueinander angeordneten Spiegelflächen 17, 18, deren Schnittgeraden 19 in einer gemeinsamen, senkrecht zur Drehachse 20 verlaufenden Ebene 21 (Fig. 2) liegen.
  • In Fig. 2 ist links ein Sendelichtbündel 22 dargestellt, welches in der Ansicht der Fig. 2 senkrecht auf die Spiegelflächen 17, 18 des Polygonstückes 15 auftrifft. In der Ansicht der Fig. 1 trifft das Sendelichtbündel 22 jedoch unter einem Winkel von 450 auf die jeweiligen ebenen Spiegelflächen 17, 18 auf. Aufgrund dieser Anordnung wird in der Ansicht der Fig. 1 das Sendelichtbündel 22 in sich selbst zurückreflektiert, und zwar unabhängig von Kippungen der Drehachse 20 um einen in Fig. 1 angedeuteten Winkel In der Ebene der Fig. 2 erfolgt jedoch beim Drehen des Spiegelrades in Richtung des Pfeiles f eine Ablenkung des reflektierten Lichtbündels in einem sektorförmigen Bereich, dessen Enden durch die gestrichelten Lichtbündel 23 bzw. 24 angedeutet sind. Die ebenen Spiegelflächen 17, 18 haben also nur in der Ebene der Fig. 1 eine korrigierende Wirkung.
  • Nach Fig 3 besitzt der Winkel zwischen den beiden ebenen Spiegelflächen 17, 18 den Wert 90 + £/2, was zur Folge hat, daß zwischen dem Sendelichtbündel 22 und dem reflektierten Lichtbündel 23 in der mit der Ebene der Fig. 1 identischen Ebene der Fig. 3 ein Winkel oC vorliegt. Der Winkel zwischen den Lichtbündeln 22, 23 bleibt auch bei Kippungen der Spiegelraddrehachse 20 unverändert, so daß auch insoweit eine vollständige Korrektur stattfindet.

Claims (7)

  1. Zu einer Drehbewegung antreibbares Spiegelrad - Patentansprüche -1. Zu einer Drehbewegung antreibbares Spiegelrad mit einem in Axialrichtung gesehen polygonartigen Umriß, an dem ebene Spiegelflächen angeordnet sind, die ein auftreffendes Sendelichtbündel reflektieren und dem reflektierten Bündel beim Umlaufen des Spiegelrades um seine Drehachse eine sektorförmige Abtastbewegung erteilen, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß jedes geradlinige Polygonstück (11, 12, 13, 14, 15, 16) aus einer geradzahligen Anzahl von und insbesondere zwei ebenen Spiegelflächen (17, 18) besteht, die unter einem Winkel von kleiner als 1800 und insbesondere etwa 900 zueinander angeordnet sind und deren Schnittgeraden in einer gemeinsamen, senkrecht zur Drehachse (20) verlaufenden Ebene liegen.
  2. 2. Spiegelrad nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß Dachprismen in verspiegelter oder total reflektierender Form auf der Peripherie eines Polygonprismenträgers angeordnet sind.
  3. 3. Spiegerad nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß zwei Spiegelpyramidenstümpfe in einer gemeinsamen Ebene, die senkrecht zu den beiden Pyramidenachsen liegt, so zusammengefügt sind, daß die Pyramidenstumpfe mit ihren virtuellen Spitzen aufeinander zugerichtet sind.
  4. 4. Spiegelrad nach Anspruch 3, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Spiegelflächen auf den Pyramidenstumpfpaaren auch aus mehreren nur sehr schwach geneigten Teilflächen zusammengesetzt sind, so daß aus einem Sendelichtbündel mehrere reflektierte Bündel entstehen.
  5. 5. Spiegelrad nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß zumindest eine der Spiegelflächen, die vom Sendelichtbündel durchlaufen werden, strukturiert ist.
  6. 6. Spiegelrad nach Anspruch 5, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß zur Strahlvervielfachung die Strukturierung zumindest einer Spiegelfläche aus schwach gegeneinander geneigten Spiegel facetten besteht.
  7. 7. Spiegelrad nach Anspruch 5, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Strukturierung aus ein- oder zweidimensionalen Beugungsgittern besteht.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0358868A2 (de) * 1988-09-12 1990-03-21 Josef-Ferdinand Dipl.-Ing. Menke Verfahren zur Herstellung eines Tripelspiegelrades
DE19530809A1 (de) * 1995-08-22 1997-02-27 Leica Ag Anordnung zur Retroreflexion einer Strahlung mit Tripelprismen
WO2014019676A3 (de) * 2012-08-03 2014-07-24 Technische Universität Braunschweig Carolo-Wilhelmina Ringlaserkreisel

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1142186A (fr) * 1955-02-28 1957-09-13 Kodak Pathe Dispositif à réflexions multiples et procédé pour sa fabrication
DE1783446U (de) * 1958-12-13 1959-02-19 Kodak Ag Dachkantprisma.
DE2534695A1 (de) * 1974-10-26 1976-04-29 Barr & Stroud Ltd Vorrichtung fuer die bildzerlegung oder bildabtastung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1142186A (fr) * 1955-02-28 1957-09-13 Kodak Pathe Dispositif à réflexions multiples et procédé pour sa fabrication
DE1783446U (de) * 1958-12-13 1959-02-19 Kodak Ag Dachkantprisma.
DE2534695A1 (de) * 1974-10-26 1976-04-29 Barr & Stroud Ltd Vorrichtung fuer die bildzerlegung oder bildabtastung

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0358868A2 (de) * 1988-09-12 1990-03-21 Josef-Ferdinand Dipl.-Ing. Menke Verfahren zur Herstellung eines Tripelspiegelrades
EP0358868A3 (en) * 1988-09-12 1990-10-03 Josef-Ferdinand Dipl.-Ing. Menke Method for production of a triple-mirror wheel
DE19530809A1 (de) * 1995-08-22 1997-02-27 Leica Ag Anordnung zur Retroreflexion einer Strahlung mit Tripelprismen
WO2014019676A3 (de) * 2012-08-03 2014-07-24 Technische Universität Braunschweig Carolo-Wilhelmina Ringlaserkreisel

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