DE3230879A1

DE3230879A1 - Verfahren und einrichtung zur galvanischen metallabscheidung

Info

Publication number: DE3230879A1
Application number: DE3230879A
Authority: DE
Inventors: Kiyoshi Tokyo Inoue
Original assignee: Inoue Japax Research Inc
Current assignee: Inoue Japax Research Inc
Priority date: 1981-08-19
Filing date: 1982-08-19
Publication date: 1983-03-03
Also published as: FR2511706B1; FR2511706A1; GB2104918A; IT1189341B; GB2104918B; US4425197A; DE3230879C2; IT8249009A0

Description

Inoue-Japax Research Incorporated Yokohamashi, Kanagawaken, Japan

Verfahren und Einrichtung zur galvanischen Metallabscheidung

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Einrichtung zur galvanischen Metallabscheidung, wobei ein Metallüberzug, z. B. aus Kupfer, Nickel, Chrom oder Gold, auf eine elektrisch leitende Oberfläche, z. B. ein Substrat oder einen dünnen Metallisierungsfilm, der auf einem elektrisch nichtleitenden Gegenstand oder einer solchen Form vorgeformt wurde, galvanisch abgeschieden wird. Ein solches Substrat bzw. ein solcher Gegenstand bzw. eine solche Form werden nachstehend als "Werkstück" bezeichnet.

Die galvanische Metallabscheidung wird in großem Umfang dazu eingesetzt, einen Gegenstand mit einem dauerhaften Metallüberzug zu versehen, sowie auch zum Elektroformen eines Werkzeugs oder einer Werkzeugelektrode zur elektrischen Bearbeitung (z. B. für die Funkenerosion). Beim Elektrofor-

men wird auf eine Form, die typischerweise aus einem metallisierten elektrisch nichtleitenden Werkstoff besteht, ein erwünschtes Metall galvanisch abgeschieden, und der galvanische Metallüberzug muß mit einer beträchtlichen Dicke abgeschieden werden, so daß er anschließend entformt und als der gewünschte Gegenstand verwendet werden kann. Der Gegenstand oder die Form, also das Werkstück, das den Überzug erhalten soll, ist häufig groß und kompliziert geformt oder makroskopisch uneben, so daß sich eine oder mehrere vertiefte oder ausgesparte Bereiche ergeben. Erwünschterweise soll ein Überzug oder eine Elektroform gleichmäßige Dicke oder eine erwünschte Dickenverteilung über die Gesamtfläche einer solchen komplizierten oder unebenen Kontur aufwe^s^n. Ferner ist es häufig erwünscht, daß der Metallüberzug in vorspringenden Bereichen dünner und in Vertiefungen dicker ist; diese Anforderungen stehen jedoch normalerweise im Gegensatz zu der Eigenart der galvanischen Metallabscheidung. So besteht bei einem galvanischen Metallüberzug die Tendenz, daß er in vorspringenden Bereichen, z. B. auf Kanten oder konvexen Winkelabschnitten, dicker ist, während er in Vertiefungen dünner ist. In einer Vertiefung besteht die Tendenz, daß sich die Abscheidung am Öffnungsrand derselben konzentriert und nur sehr wenig oder sogar praktisch gar nichts auf dem Boden und in den Ecken abgeschieden wird, wenn eine konventionelle Einrichtung zur galvanischen Metallabscheidung eingesetzt wird, bei der das Werkstück in eine ruhende Masse des galvanischen Bads eintaucht und eine einfache planare Elektrode in großem Abstand davon angeordnet ist. Ein Strom zur galvanischen Metallabscheidung kann dann nur mit sehr geringer Stromdichte zugeführt werden.

Andererseits ist es bekannt, daß die Stromdichte bei der galvanischen Metallabscheidung erhöht werden kann, wenn das das Metall enthaltende galvanische Bad dem Bereich von Elektrode und Werkstück im Zwangsfluß zugeführt wird oder diesen Bereich durchspült. Es hat sich zwar gezeigt, daß der Einsatz einer Elektrode, die komplementär zu den Werkstückkonturen geformt ist und die so angeordnet wird, daß sie der Werkstückoberfläche in nahem Abstand gegenüberliegt, eine Erhöhung der Dichte des zuführbaren Abscheidungsstroms erlaubt und damit die Abscheidungsrate steigert; diese MKaßnahme hat sich jedoch hinsichtlich einer erheblichen Verbesserung der Gleichmäßigkeit des Überzugs auf der profilierten Oberfläche als im allgemeinen unbefriedigend erwiesen, und zwar offenbar deshalb, weil die erwünschte gleichmäßige Verteilung des Spülbads über die Gesamtfläche nicht unbedingt erzielbar ist. Ferner ist diese Maßnahme dann nicht anwendbar, wenn eine selektive oder örtlich begrenzte galvanische Metallabscheidung vorzunehmen ist.

Es wurde nun gefunden, daß ein erwünschter galvanischer Metallüberzug von erheblicher und gleichmäßiger Dicke in sehr wirksamer Weise dadurch erhalten werden kann, daß eine einfache Elektrode mit einer aktiven Elektrodenfläche verwendet wird, die wesentlich schmaler als die zu überziehende Werkstückoberfläche ist, wobei die Elektrode relativ zu dem Werkstück bewegbar ist, so daß die aktive Elektrodenfläche die Werkstückoberfläche überstreicht, und wobei der geringe Zwischenraum bzw. Spalt zwischen Elektrode und Werkstück ständig mit dem galvanischen Bad geflutet oder davon durchspült wird, so daß der Abscheidungsstrom hoher Dichte in dem Spalt unterhalten werden kann. Auf diese Weise

kann eine unebene und große oder komplizierte Oberfläche, die eine oder mehrere Vertiefungen aufweist, einen guten galvanischen Metallüberzug erhaUen, wobei dies jedoch im Vergleich zu dem konventionellen Verfahren innerhalb äußerst kurzer Zeit erfolgt. Eine selektive oder örtlich begrenzte galvanische Metallabscheidung sowie die Bildung eines galvanischen Überzugs mit kontrollierter Dickenverteilung kann erreicht werden durch Regelung der Größe des Abscheidungsstroms und/oder des Durchsatzes des galvanischen Bads.

Es wurde zwar gefunden, daß praktisch auf jede geeignete Oberfläche sehr schnell ein galvanischer Überzug aufgebracht werden kann, indem ein dynamischer Strom des galvanischen Bads unterhalten wird; es wurde nunmehr jedoch erkannt, daß dabei infolge der Verbesserung von Wirkungsgrad und Leistung ein Problem auftritt. In dem Zwischenraum, in dem die galvanische Metallabscheidung stattfindet, werden mit sehr hoher Geschwindigkeit für die Umwelt sowie für wesentliche Einheiten oder Teile der Einrichtung schädliche Stoffe erzeugt. In dem Metallabscheidungs-Zwischenraum werden elektrolytisch Gase erzeugt, die zusammen mit feinen Tröpfchen des Bads zu Abgasen werden, die aus dem galvanischen Bad aufsteigen und nicht nur für den Bediener, sondern auch für die Umwelt und die empfindlichen Teile der Einrichtung schädlich sind. Diese Abgase sind nicht nur für Personen schädlich oder gefährlich, sondern bei Auftreten über einen längeren Zeitraum können sie die Korrosion oder den Ausfall von Bauteilen und somit der Einrichtung zur Folge haben.

Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung eines neuen und verbesserten Verfahrens und einer Einrichtung zur galvanischen Metallabscheidung auf eine elektrisch leitende Oberfläche, wobei der erwünschte Metallüberzug mit sehr hoher Geschwindigkeit und Gleichmäßigkeit oder mit erwünschter Dicken- oder Musterverteilung aufbringbar sein soll, ohne daß die Umwelt durch Schadstoffe verunreinigt und die Einrichtung beschädigt wird. Dabei soll die Einrichtung relativ kompakt gebaut sein und soll die Hochpräzisions- und Hochleistungs-Bildung eines galvanischen Metallüberzugs auf einer elektrisch leitenden Oberfläche gewährleisten und gleichzeitig in wirksamer Weise eine Umweltverschmutzung und einen korrosionsbedingten Ausfall von Einrichtungsteilen aufgrund von Schadstoffen verhindern.

Das Verfahren nach der Erfindung zur galvanischen Metallabscheidung auf eine elektrisch leitende Oberfläche ist gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: a) Anordnen eines Werkstücks, das eine mit einem galvanischen Metallüberzug zu versehende Fläche aufweist, in einem hermetisch dichten Behälter; b) Positionieren einer Anode mit Abstand gegenüber dem Werkstück in dem Behälter; c) Spülen eines galvanischen Bads mindestens in den Bereich eines Zwischenraums zwischen der Anode und dem Werkstück innerhalb des Behälters; d) Leiten eines Abscheidungsstroms zwischen die Anode und das Werkstück, so daß das Metall aus dem galvanischen Bad mindestens hauptsächlich auf einen begrenzten Bereich der Werkstückoberfläche gegenüber der Anode galvanisch abgeschieden wird, während elektrolytisch erzeugte Gase aus dem Zwischenraum, gegebenenfalls zusammen

mit feinen Tröpfchen des galvanischen Bads, sich als Abgas in einem Raum innerhalb des Behälters sammeln können; e) Verschieben des Werkstücks und der Anode relativ zueinander, so daß der begrenzte Bereich der Werkstückoberfläche, auf dem mindestens die hauptsächliche Abscheidung erfolgen soll, fortschreitend überstrichen wird; und f) Absaugen der in dem Raum angesammelten Abgase aus dem Behälter.

In vorteilhafter Ausgestaltung des Verfahrens ist vorgesehen, daß das in dem Raum angesammelte Abgas aus dem Behälter nach außen durch Anlegen einer Druckdifferenz, z. B. einer Saugkraft, zwischen dem Raum und außen abgezogen wird. Der Behälter kann dabei eine oder mehrere Lüftungsvor^ichtungen aufweisen, so daß durch die Druckdifferenz Frischluft in den Behälter förderbar ist. Alternativ kann der Behälter hermetisch dicht sein. In den Raum kann dann von einer Gasversorgung ein ungiftiges oder unschädliches Gas, ζ. Β. Luft, Stickstoff oder Argon, in den Raum gefördert werden. In diesem Fall wird der Druck im Raum auf einem Überdruckpegel, bevorzugt zwischen 1,96 und 4,9 bar, gehalten. Alternativ kann der Raum auf einem Unterdruck gehalten werden. Das nach außerhalb des Behälters abgezogene Abgas wird bevorzugt in Flüssigkeit und Gase getrennt, die dann in einer konventionellen Gasaufbereitungsanlage behandelt werden können.

Die Einrichtung nach der Erfindung zur galvanischen Metallabscheidung ist gekennzeichnet durch a) einen im wesentlichen hermetisch dichten Behälter zur Aufnahme eines Werkstücks mit einer mit einem galvanischen Metallüberzug zu versehenden elektrisch leitenden Oberfläche; b) Elemente zur

Halterung des Werkstücks im Behälter; c) Einheiten zur Halterung einer Anode mit Abstand gegenüber dem Werkstück im Behälter; d) Mittel zum Spülen eines galvanischen Bads mindestens in den Bereich eines Zwischenraums zwischen der Anode und dem Werkstück im Behälter; e) eine Stromversorgung, die einen Abscheidungsstrom zwischen die Anode und das Werkstück schickt, so daß ein Metall aus dem galvanischen Bad mindestens hauptsächlich auf einen begrenzten Bereich der Werkstückoberfläche gegenüber der Anode abgeschieden wird, während in dem Zwischenraum elektrolytisch erzeugte Gase und gegebenenfalls Tröpfchen des galvanischen Bads als Abgas sich in einem Raum innerhalb des Behälters ansammeln; f) eine Antriebsvorrichtung zur Verschiebung des Werkstücks und der Anode relativ zueinander, so daß der begrenzte Bereich der Werkstückoberfläche auf dem hauptsächlich eine galvanische Metallabscheidung erfolgen soll, ständig von der Anode überstrichen wird; und g) eine Saugvorrichtung, die das in dem Raum angesammelte Abgas aus dem Behälter absaugt.

Dabei ist der Behälter bevorzugt mit einer Lüftungsvorrichtung ausgebildet, die den Raum mit der Atmosphäre verbindet, so daß während des Absaugens der Abgase aus dem Behälter Frischluft in den Raum förderbar ist. Alternativ ist der Behälter im wesentlichen hermetisch dicht, und ein unschädliches Gas wie Luft, Stickstoff oder Argon wird in den Raum gefördert, um den Druck im Raum auf einem vorbestimmten Pegel, bevorzugt auf einem Überdruck zwischen 1,96 und 4,9 bar, oder auf einem Unterdruckpegel zu halten.

Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 teilweise im Schnitt und teilweise in Form eines Blockschaltbilds eine Ansicht der galvanischen Metallabscheidungs-Einrichtung nach der Erfindung;

Fig. 2 eine Draufsicht von oben längs der Linie II-II von Fig. 1; und

Fig. 3 eine der Fig. 1 ähnliche Ansicht, die ein

weiteres Ausführungsbeispiel der Einrichtung zeigt.

Nach Fig. 1 ist eine galvanoplastische Form 1, z. B. aus Kunststoff, in einem elektrisch nichtleitfähigen &rbeitsbehälter 2 in einem darin enthaltenen galvanischen aaä gesichert. Die Form 1 weist einen dünnen Metallüberzug 4 auf, der vorher auf einen ausgewählten Oberflächenbereich z. B. durch chemische Abscheidung aufgebracht wurde und als elektrisch leitendes Substrat bzw. Werkstück dient. Das galvanische Bad 3 wird entweder kontinuierlich oder intermittierend von einem Vorrat 5 durch eine Leitung 6 in den Arbeitsbehälter 2 zugeführt, überflutet den Metallüberzug 4 und strömt durch einen Auslaß 7 in eine Pumpe 8. Die galvanoplastische Form 1 ist in dem Arbeitsbehälter 2 durch Stützen 9 festgelegt.

Der leitenden Oberfläche 4 der Form 1 in engem Abstand gegenüberliegend ist eine als Anode geschaltete lange Elektrode 10 positioniert, die vertikal oder in Z-Achsenrichtung bewegbar ist. Die Anode 10 wird von einem Antrieb 12, der eine Treibrolle 13 und eine Andruckrolle 14 umfaßt, in einer Buchse 11 bewegt. Ein Motor 15 für die Treibrolle

13 wird mit einem Signal von einer Steuereinheit 16 getrieben, die die Position der Anodenarbeitsfläche 10a bestimmt, die durch die untere Endfläche der Anode 10 gebildet ist. Zwei Rollen 17 und 18 dienen der weiteren Führung der vertikal bewegten langen Anode 10. Der Antrieb 12 und die Rollen 17 und 18 sind an einem Gestell 19 befestigt, das mittels Rädern auf zwei parallelen Schienen 20 mit Hilfe eines Motors 21 in Richtung der X-Achse verfahrbar ist. Jede Schiene 20 erstreckt sich in Richtung der X-Achse und ist an der Buchse 11 gesichert, die ebenfalls Räder aufweist und damit auf zwei parallelen Schienen 22 durch einen Motor 23 in Richtung der Y-Achse verfahrbar ist. Die Motoren 15, 21 und 23 werden durch Ansteuersignale von der Steuereinheit 16 aktiviert und verschieben die Anode 10 so, daß ihre Arbeitsfläche 10a die profilierte Oberfläche 4 entlang einer vorprogrammierten Bahn in dem X-, Y- und Z-Koordinatensystem überstreicht. Der enge Spalt zwischen der Arbeitsfläche 10a und der Werkstückoberfläche wird im wesentlichen gleichbleibend gehalten.

Ein Anschluß einer Stromversorgung 24 ist elektrisch an die elektrisch leitende Oberfläche 4 angeschlossen, und der andere Anschluß ist über die Schienen 22, die Buchse 11, die Schienen 20, das Gestell 19 und einen Leiter 25 an die Anode 10 angeschlossen. Die Buchse 11, die Schienen 20 und 22 und das Gestell 19 bestehen aus Metall und sind elektrisch leitend.

Die Antriebsvorrichtung mit den Elementen 11-23 ist in einem Deckel 26, der Lüftungsöffnungen 26a aufweist und auf dem Arbeitsbehälter 2 befestigt ist, aufgenommen. Ferner ist die

Antriebsvorrichtung gegenüber dem Arbeitsbehälter 2 durch ein faltenbalgartiges Trennelement 27 isoliert, das am oberen Ende der Wandung des Arbeitsbehälters 2 gesichert ist und eine lange viereckige Öffnung 28 (vgl. Fig. 2) zur Aufnahme der Buchse 11, die die lange Anode 10 führt, aufweist. Das Trennelement 27 ist in Richtung der Y-Achse gefaltet und ermöglicht eine Bewegung der Anode 10 in dieser Richtung. In die Öffnung 28 ist ein geteiltes Anschlußstück 29 eingesetzt, durch das die Anode 10 so verschiebbar einsetzbar ist, daß sie in Richtung der X-Achse bewegbar ist. Das Anschlußstück 29 kann ein geteiltes schwammartiges Organ sein, das den durch die Oberfläche des galvanischen Bads 3, die Wandung des Arbeitsbehälters 2 und das Trennelement 27 gebildeten Raum im wesentlichen hermetis< dicht abschließt.

Mit der vorstehend erläuterten Einrichtung wird eine Hochgeschwindigkeits- und Hochleistungs-Metallabscheidung auf die elektrisch leitende Oberfläche 4 durchgeführt, wobei diese Oberfläche 4 kompliziert geformt oder makroskopisch uneben sein kann. Wenn an die Anode 10 und die elektrisch leitende Oberfläche bzw. Kathode 4 ein Strom angelegt ist, baut sich der galvanische Metallüberzug auf der örtlich begrenzten Fläche der Oberfläche 4 schnell auf, und zwar aufgrund des Zwangsflusses des galvanischen Bades in den Bereich zwischen Anode 10 und Kathode 4, die in engem Abstand voneinander liegen. Mit fortschreitender galvanischer Metallabscheidung wird die Anode 10 relativ zu der Form 1 bewegt, so daß die aktive Anodenfläche 10a abtastend über die leitende Fläche 4 bewegt wird, wodurch die Oberfläche 4 fortschreitend mit einem galvanischen überzug aus dem Metall des Bades 3 überzogen wird.

Mit dem Beginn bzw. dem Fortgang der galvanischen Metallabscheidung werden in dem Spalt elektrolytisch Gase erzeugt, die feine Tröpfchen aus dem galvanischen Bad 3 mitreißen und somit in einem Abgas resultieren, das stark korrosiv und schädlich ist; das Abgas sammelt sich in dem durch die Wandung des Arbeitsbehälters 2, die Oberfläche des galvanischen Bads 3 und das Trennelement 27 gebildeten Raum. Gemäß einem wesentlichen Merkmal der vorliegenden Erfindung ist ein geschlossener Raum 28, der durch den vorgenannten Raum gebildet sein kann, vorgesehen, der über eine Leitung 29 mit einer Saugpumpe 30 in Verbindung steht, die das Abgas absaugt. Dadurch, daß der Raum 28 durch ds Trennelement 27 wirksam abgeschlossen ist, kann das Abgas nicht in Kontakt mit Teilen der Antriebsvorrichtung 11-23 gelangen. Das geteilte Anschlußstück 29 in dem Trennelement 27 kann durch ein poröses oder luftdurchlässiges verformbares Organ gebildet sein. Frischluft wird von der das Abgas absaugenden Pumpe 30 durch die Lüftungsöffnungen 26a in den Raum 28 angesaugt. Der Druck innerhalb des Raums 28 wird dann auf einem Unterdruckpegel gehalten. Das von der Pumpe 30 abgesaugte Abgas kann in einem Gasaufbereitungssystem 31 behandelt werden, das das Gas von der Badflüssigkeit 3 trennt und erforderlichenfalls die Gase in unschädliche Komponenten zerlegt. Die von den Gasen abgetrennte Flüssigkeit kann in einer konventionellen Flüssigkeits-Aufbereitungsanlage (nicht gezeigt) behandelt und abgeführt werden. In den Leitungen 29 sind Absperrorgane 32 angeordnet, die die Abgasmenge regeln, die aus dem Raum 28 von der Pumpe 30 abgesaugt wird.

Das geteilte Anschlußstück 29 kann auch ein undurchlässiges verformbares Teil sein. In diesem Fall steht der Raum 28 über Leitungen 33 und eine Ventilanordnung 34 mit einer Luftversorgung 35 oder einem ähnlich unschädlichen oder ungiftigen externen Gas, z. B. Argon oder Stickstoff, in Verbindung. Die Gasversorgung 35 führt das Gas in den von der Saugpumpe 30 evakuierten Raum 28 zu. Der Gasdruck im Raum 28 wird durch das Ventil 34 geregelt und kann auf einem Überdruckpegel gehalten werden, der bevorzugt oberhalb 1,96 bar liegt und bis zu 4,9 bar betragen kann. Alternativ kann der Druck im Raum 28 auf einem Unterdruckpegel gehalten werden, indem die Ventilanordnung 32 in Verbindung mit der Ventilanordnung 34 geregelt wird.

Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 entspricht im wesentlichen demjenigen nach den Fig. 1 und 2, wobei jedoch das galvanische Bad 3 in einer Zwangsströmung durch eine rohrförmige Anode 40 zugeführt wird. Dabei wird der Elektrolyt aus einem Behälter 42 durch eine Pumpe 41 in die rohrförmige Anode 40 über ein Druckregelsystem 43, ein Drosselventil 44 und ein Durchsatzregelventil 45 gefördert und strömt in den Spalt zwischen der Anode 40 und dem Werkstück 4 durch eine Endöffnung 40a der Anode 40. Da auch bei diesem Ausführungsbeispiel das Trennelement 27 sowie das Abgas-Abzugssystem 29-32 und die Lüftungsöffnungen 26a oder die externe Gasfördervorrichtung 33-35 vorgesehen sind, kann die Zuführrate des galvanischen Bads in den Spalt zwischen der aktiven Anodenfläche 40a und dem Werkstück 4 auf einen Höchstwert gesteigert werden, so daß die höchstmögliche Abscheidungs-Stromdichte und damit die höchstmögliche Abscheidungsrate ohne Umweltverschmutzung, Korrosion der Elemente der An-

triebsvorrichtung oder gesundheitliche Gefährdung des Bedieners gewährleistet sind. Der Druck der in den Abscheidungsspalt geförderten Elektrolytlösung 3 wird von dem Ventil 43 geregelt und sollte bevorzugt nicht weniger als 5 kg/cm² betragen.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 kann die Ventilanordnung 45 in vorprogrammierter Weise durch Ausgangssignale der Steuereinheit 16 verstellt werden. Somit wird der zugeführte Volumenstrom des galvanischen Bads in und durch den Spalt bevorzugt als eine Funktion der jeweiligen Form einer Fläche auf dem elektrisch leitenden Werkstück 4 und damit der Form 1, die der aktiven Anodenfläche 40a gegenüberliegt, geregelt. So kann für eine vertiefte oder ausgesparte Fläche der Durchsatz erhöht werden. Umgekehrt sollte bzw. kann für eine konvexe oder ebene Fläche der Durchsatz verringert bzw. minimiert werden. Auf diese Weise kann die elektrisch leitende Fläche 4 gründlich und gleichmäßig oder mit einer erwünschten Dickenverteilung über ihre Gesamtfläche und mit gesteigerter Geschwindigkeit mit einem galvanischen Überzug versehen werden.

Claims

__.V Verfahren zur galvanischen Metallabscheidung auf eine elektrisch leitende Oberfläche,
gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

a) Anordnen eines Werkstücks, das eine mit einem galvanischen Metallüberzug zu versehende Fläche aufweist, in einem hermetisch dichten Behälter;

b) Positionieren einer Anode mit Abstand gegenüber dem Werkstück in dem Behälter;

c) Spülen eines galvanischen Bads mindestens in den Bereich eines Zwischenraums zwischen der Anode und dem Werkstück innerhalb des Behälters;

d) Leiten eines Abscheidungsstroms zwischen die Anode und das Werkstück, so daß das Metall aus dem galvanischen Bad mindestens hauptsächlich auf einen begrenzten Bereich der Werkstückoberfläche gegenüber der Anode galvanisch abgeschieden wird, während elektrolytisch erzeugte Gase aus dem Zwischenraum, gegebenenfalls zusammen mit feinen

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Tröpfchen des galvanischen Bads, sich als Abgas in einem Raum innerhalb des Behälters sammeln können;

e) Verschieben des Werkstücks und der Anode relativ zueinander, so daß der begrenzte Bereich der Werkstückoberfläche, auf dem mindestens die hauptsächliche Abscheidung erfolgen soll, fortschreitend überstrichen wird; und

f) Absaugen der in dem Raum angesammelten Abgase aus dem Behälter.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter durch mindestens eine Lüftungsöffnung zur Atmosphäre entlüftet wird und daß während des Absaugens des Abgases aus dem Behälter nach außen durch die mindestens eine Lüftungsöffnung Frischluft in den Raum gesaugt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß unter Druck ein unschädliches Gas in den Raum gefördert wird, während das Abgas aus dem Behälter nach draußen abgesaugt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Raum auf einem Unterdruck gehalten wird.
5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Raum auf einem Überdruck gehalten wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,

daß der Überdruck im Bereich zwischen 1,96 und 4,9 bar liegt.
7. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,

- daß die Anode ein Rohr mit einem darin ausgebildeten Fluidkanal ist und sich an ihrem Vorderende öffnet, und

- daß das galvanische Bad durch den Fluidkanal geschickt

und aus der Öffnung in den Zwischenraum unter einem Druck

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von mindestens 5 kg/cm gespult wird.
8. Einrichtung zur galvanischen Metallabscheidung, gekennzeichnet durch

a) einen im wesentlichen hermetisch dichten Behälter zur Aufnahme eines Werkstücks (1) mit einer mit einem galvanischen Metallüberzug zu versehenden elektrisch leitenden Oberfläche (4);

b) Elemente (9) zur Halterung des Werkstücks (1) im Behälter;

c) Einheiten (11, 19) zur Halterung einer Anode (10; 40) mit Abstand gegenüber dem Werkstück (1) im Behälter;

d) Mittel zum Spülen eines galvanischen Bads (3) mindestens in den Bereich eines Zwischenraums zwischen der Anode (10; 40) und dem Werkstück (1) im Behälter;

e) eine Stromversorgung (24), die einen Abscheidungsstrom zwischen die Anode (10; 40) und das Werkstück (1) schickt, so daß ein Metall aus dem galvanischen Bad (3) mindestens hauptsächlich auf einen begrenzten Bereich der

Werkstückoberfläche (4) gegenüber der Anode (10; 40) abgeschieden wird, während in dem Zwischenraum elektrolytisch erzeugte Gase und gegebenenfalls Tröpfchen des galvanischen Bads als Abgas sich in einem Raum (28) innerhalb des Behälters ansammeln;

f) eine Antriebsvorrichtung (11-23) zur Verschiebung des Werkstücks (1) und der Anode (10; 40) relativ zueinander, so daß der begrenzte Bereich der Werkstückoberfläche (4), auf dem hauptsächlich eine galvanische Metallabscheidung erfolgen soll, ständig von der Anode (10; 40) überstrichen wird; und

g) eine Saugvorrichtung (30), die das in dem Raum (28) angesammelte Abgas aus dem Behälter absaugt.
9. Einrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,

daß der Behälter Lüftungsmittel (26a, 29) aufweist, die den Raum (28) mit der Atmosphäre verbinden, so daß während des Absaugens der Abgase aus dem Behälter in eine Auslaßleitung (29) Frischluft in den Raum (28) ansaugbar ist.
10. Einrichtung nach Anspruch 8,
gekennzeichnet durch

eine Pumpe (30), die unter Druck ein unschädliches Gas in den Raum (28) fördert.
11. Einrichtung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Förder- und Saugvorrichtung den Druck in dem Raum (28) auf einem Unterdruckpegel hält.
12. Einrichtung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Förder- und Saugvorrichtung den Raum (28) auf einem Überdruck hält.
13. Einrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,

- daß die Elektrode ein Rohr (40) mit einem darin ausgebildeten Fluidkanal und einer Öffnung (40a) am Vorderende ist, und

- daß die unter (d) genannten Mittel einen Vorratsbehälter (42) für das galvanische Bad (3) und eine Pumpe (41) umfassen, die das galvanische Bad aus dem Vorratsbehälter (42) ansaugt,durch den rohrförmigen Fluidkanal (40) fördert und unter einem Druck von mindestens 5 kg/cm aus der Öffnung (40a) in den Zwischenraum spült.