DE3223226A1 - Gate valve - Google Patents

Abstract

A description is given of a gate valve arrangement which is used to seal off a vacuum treatment chamber airtightly from the atmosphere or an ante-chamber. This arrangement comprises a gate seating component with a cylindrical or spherical region which has an opening, and further comprises a guide rail which is secured on the inner surface of the gate seating component, and a gate which is movably mounted on the guide rail, and further comprises a device for bringing the gate into airtight contact with the gate seating component. The gate has a curvature which is equal to the curvature of the cylindrical or spherical component, and the device which serves to bring the gate into contact with the gate seating component comprises a multiplicity of bellows which can be expanded by compressed gas or compressed air.

Description

Absperrschieber Gate valve

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Absperrschieber oder ein Schleusentor und insbesondere eine Absperrschiebereinrichtung zum Öffnen eines Durchgangs für die Einführung eines Werkstücks in eine Vakuumkammer oder zum luftdichten Verschließen der Öffnung zum Zwecke der Behandlung des-Werkstlicks in der hermetisch verschlossenen Vakuumkammer.The present invention relates to a gate valve or a Lock gate and in particular a gate valve device for opening a passage for the introduction of a workpiece into a vacuum chamber or for airtight sealing the opening for the purpose of treating the workpiece in the hermetically sealed Vacuum chamber.

Werkstücke müssen häufig im Vakuum behandelt werden,z.B.Workpieces often have to be treated in a vacuum, e.g.

zur Durchführung einer Vakuumtrocknung oder zum Vakuumlöten von Metallen. Hierzu werden verschiedene Absperrschieberanordnungen benötigt, welche es gestatten, die Werkstücke auf einfache Weise in die Vakuumkammer zu führen,und dennoch für einen hermetischen Verschluß der Öffnungen sorgen, nachdem die Werkstücke in die Vakuumkammer eingeführt wurden. Die Vakuumkammer sollte in luftdichtem Zustand gehalten werden. Ein typisches Beispiel einer solchen Absperrschiebereinrichtung wird zwischen einer Vakuumkammer und einer Vorkammer vorgesehen, welche in Verbindung mit der Vakuumkammer steht.for performing vacuum drying or vacuum soldering from Metals. For this purpose, various gate valve arrangements are required, which allow the workpieces to be guided into the vacuum chamber in a simple manner, and nevertheless ensure that the openings are hermetically sealed after the workpieces were introduced into the vacuum chamber. The vacuum chamber should be in airtight condition being held. A typical example of such a gate valve device is provided between a vacuum chamber and an antechamber, which are in communication with the vacuum chamber.

Der Absperrschieber kann geöffnet und geschlossen werden.The gate valve can be opened and closed.

Die Menge an Luft, welche in die Vakuumkammer eindringt, wenn man ein Werkstück einführt oder ein Werkstück aus der Vakuumkammer entnimmt, wird so weit wie möglich verringert.The amount of air that enters the vacuum chamber when one inserting a workpiece or removing a workpiece from the vacuum chamber is so reduced as much as possible.

Im folgenden wird auf Fig. 1 Bezug genommen. Diese zeigt Absperrschieberanordnungen 4, 4' zwischen einer Vakuumkammer 1 und einer vorgeschalteten Kammer 2 bzw. einer nachgeschalteten Kammer 3 " welche mit der Vakuumkammer 1 in Verbindung stehen. Bei einer Anordnung dieses Typs wird die Vakuumkammer auf dem gewünschten Druck gehalten. Der Absperrschieber 4, 4' kann hermetisch verschlossen werden, so daß der Druck in der Vorkammer 2 bzw. in der nachgeschalteten Kammer 3 im wesentlichen gleich ist dem Druck in der Vakuumkammer 1. Sodann wird der Absperrschieber 4, 4' betätigt, wobei die Vorkammer 2 bzw.Reference is made to FIG. 1 below. This shows gate valve arrangements 4, 4 'between a vacuum chamber 1 and an upstream chamber 2 or a downstream chamber 3 ″ which are connected to the vacuum chamber 1. With an arrangement of this type, the vacuum chamber is at the desired pressure held. The gate valve 4, 4 'can be hermetically sealed so that the pressure in the antechamber 2 or in the downstream chamber 3 is essentially is the same as the pressure in the vacuum chamber 1. Then the gate valve 4, 4 ' actuated, whereby the antechamber 2 resp.

die nachgeschaltete Kammer 3 in Verbindung mit der Vakuumkammer 1 gebracht wird, wobei der Druck jedoch aufrechterhalten wird. Danach erfolgt die Einführung des Werkstücks bzw. die Entnahme des Werkstücks aus der Vakuumkammer.the downstream chamber 3 in connection with the vacuum chamber 1 is brought but the pressure is maintained. Then the Introduction of the workpiece or the removal of the workpiece from the vacuum chamber.

Eine solche Absperrschieberanordnung 4, 4' sollte einen Durchgang mit größerer Querschnittsfläche aufweisen, da das Werkstück sowohl in die Vakuumkammer 1 geführt werden muß als auch in die Vorkammer 2 bzw. die nachgeschaltete Kammer 3. Ferner ist es bei einer solchen Anordnung erforderlich, den Abstand zwischen den Flanschen so weit wie möglich zu verringern, so daß das Werkstück befördert werden kann, ohne daß eine Fördereinrichtung innerhalb der Absperrschieberanordnung erforderlich ist.Such a gate valve arrangement 4, 4 'should have a passage with a larger cross-sectional area, since the workpiece is both in the vacuum chamber 1 must be performed as well as in the antechamber 2 or the downstream chamber 3. Furthermore, it is necessary in such an arrangement, the distance between reduce the flanges as much as possible so that the workpiece is conveyed can be without a conveyor within the gate valve assembly is required.

Aus diesen Gründen hat man bisher eine Absperrschieberanordnung mit einem flachen Absperrschieber verwendet, wie in Fig. 2 dargestellt.For these reasons, a gate valve assembly has hitherto been used a flat gate valve as shown in FIG.

Diese Absperrschieberanordnung umfaßt einen Schieberkasten B mit einem Durchgang F, welcher an den Kanten Flansche A aufweist. Ferner ist ein flacher Absperrschieber D hermetisch innerhalb einer Führungsnut C derart vorgesehen, daß der Schieber vertikal (oder horizontal) verschiebbar ist. Der Durchgang F wird durch den Schieber D geöffnet bzw. verschlossen. Der Schieber D wird durch einen Antriebsmechanismus E angetrieben.This gate valve assembly comprises a valve body B with a Passage F, which has flanges A on the edges. There is also a flat gate valve D hermetically provided within a guide groove C such that the slide is vertical (or horizontally) is slidable. The passage F is opened by the slide D. or closed. The slider D is driven by a drive mechanism E.

Der Schieberkasten B umfaßt ein Gehäuse G, welches derart ausgebildet ist, daß es den Schieber D bei dessen Öffnung aufnimmt, während andererseits der Kanal F in hermetisch verschlossenem Zustand gehalten werden kann.The valve body B comprises a housing G, which is formed in this way is that it receives the slide D when it is opened, while on the other hand the Channel F can be kept in a hermetically sealed state.

Das Gehäuse G wird, wie oben erwahnt, unter Vakuum gehalten, während seine Außenwandung mit Atmosphärendruck beaufschlagt wird. Daher sollte die Außenwandung des Gehäuses G eine genügende Festigkeit aufweisen, um dem Atmosphärendruck standzuhalten. Gewöhnlich ist die Außenwand E mit einer gitterartigen Struktur H verstärkt.The housing G is, as mentioned above, kept under vacuum while its outer wall is subjected to atmospheric pressure. Therefore, the outer wall should of the housing G have sufficient strength to withstand the atmospheric pressure. Usually the outer wall E is reinforced with a grid-like structure H.

Wenn jedoch diese Struktur an dem Schieberkasten B durch Schweißen befestigt wird, so besteht die Gefahr, daß es zu Verzerrungen und Deformationen aufgrund der Wärmeeinwirkung kommt.However, if this structure is attached to the valve body B by welding is attached, there is a risk of distortion and deformation due to the effect of heat.

Wenn der Kanal F durch den Schieber D verschlossen wird und wenn die Vorkammer auf Atmosphärendruck gebracht wird, so wird der Schieber D mit Druck beaufschlagt. Aufgrund seiner flachen Gestalt kann der Schieber D durch die Druckbeaufschlagung auf einer Seite und durch Vakuum auf der anderen Seite deformiert werden, so daß das Öffnen und Schließen Schwierigkeiten bereitet und eine hermetische Schließung unmöglich ist. Es wurde festgestellt, daß mit steigendem Durchmesser des Durchgangs F die Probleme sich erhöhen.When the channel F is closed by the slide D and when the The prechamber is brought to atmospheric pressure, the slide D is pressurized. Due to its flat shape, the slide D can by the application of pressure on one side and by vacuum on the other side, so that Difficulty opening and closing and a hermetic closure is impossible. It was found that the larger the diameter of the passage F the problems increase.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die obigen Probleme zu lösen. Es wird erfindungsgemäß eine neue Schieberanordnung geschaffen, die zur hermetischen Abtrennung einer Vakuumkammer von der Außenatmosphäre oder einer Vorkammer oder nachgeschalteten Kammer geeignet ist und ungestört in die Offnungsstellung bzw. die Schließstellung bringbar ist.It is an object of the present invention to solve the above problems to solve. According to the invention, a new slide assembly is created for the hermetic Separation of a vacuum chamber from the outside atmosphere or an antechamber or downstream chamber is suitable and undisturbed in the open position or the closed position can be brought.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Schieber anordnung gelöst, welche dazu befähigt ist, eine Öffnung einer Vakuumkammer zu öffnen bzw. zu verschließen. Die Schieberanordnung umfaßt einen Schiebersitz mit einem zylindrischen oder kugelförmigen Bauteil, in dem eine Öffnung ausgebildet ist, wobei eine Führungsschiene an der Innenumfangsfläche des Ventilsitzbauteils angebracht ist. Ein Ventilkörper ist bewegbar an der Führungsschiebe gehaltert. Ferner sind Einrichtungen vorgesehen, um eine luftdichte Verbindung zwischen dem Ventilkörper und dem Ventilsitz herbeizuführen.This object is achieved according to the invention by a slide arrangement, which is able to open or close an opening of a vacuum chamber. The slide assembly includes a slide seat having a cylindrical or spherical shape Component in which an opening is formed, with a guide rail on the Inner peripheral surface of the valve seat member is attached. A valve body is movable held on the guide slide. Furthermore, facilities are provided to a bring about airtight connection between the valve body and the valve seat.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert; es zeigen: Fig. 1 eine Seitenansicht eines herkömmlichen Vakuumbehandlungs systems; Fig. 2 eine herkömmliche Schieberanordnung für das System der Fig. 1; Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform einer Vorkammer mit einer Schieberanordnung gemäß der Erfindung; Fig. 4 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform einer Vorkammer mit einer Schieberanordnung der Erfindung; Fig. 5 eine vergrößerte Darstellung der Vorkammer, wobei Teile weggeschnitten sind, zur Veranschaulichung der erfindungsgemäßen Schieberanordnung; Fig. 6 eine Schnittansicht der Führungsschiene für den Ventilkörper der Schieberanordnung der Erfindung; und Fig. 7 bis 9 weitere Ausführungsformen der Erfindung, wobei Fig. 7 eine Teilschnittdarstellung ist, Fig. 8 eine Schnittansicht von vorne und Fig.9 eine Schnittansicht von oben.In the following the invention is explained in more detail with reference to drawings; show it: Fig. 1 is a side view of a conventional vacuum treatment systems; Figure 2 shows a conventional gate assembly for the system of Figure 1; Fig. 3 shows a schematic representation of an embodiment of an antechamber with a Slide assembly according to the invention; Fig. 4 is a schematic representation of a further embodiment of an antechamber with a slide assembly of the invention; Fig. 5 is an enlarged view of the antechamber, with parts cut away, to illustrate the slide assembly according to the invention; Fig. 6 is a sectional view the guide rail for the valve body of the slide assembly of the invention; and FIGS. 7 to 9 show further embodiments of the invention, FIG. 7 being a partial sectional illustration Fig. 8 is a front sectional view, and Fig. 9 is a top sectional view.

Im folgenden sollen bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung anhand der Fig. 3 bis 9 erläutert werden. Zunächst wird auf die Fig. 3 bis 6 Bezug genommen. Diese zeigen eine erste Ausführungsform1der Erfindung, wobei ein zylindrisches Bauteil als Schiebersitzbauteil dient.In the following, preferred embodiments of the invention will be based on 3 to 9 will be explained. Reference is first made to FIGS. 3 to 6. These show a first embodiment 1 of the invention, wherein a cylindrical component serves as a slide seat component.

Die Fig. 3 und 4 zeigen in perspektivischer Darstellung eine Vorkammer, die mit einer Vakuumkammer verbunden werden soll, und zwar in Verbindung mit der erfindungsgemäßen Schieberanordnung. Die allgemein mit ii bezeichnete Vorkammer besteht aus einem zylindrischen Bauteil 10, sind beide Enden desselben sind luftdicht mit gewölbten Abdeckungen 12 und 12' verschlossen. Ein mit 13 bezeichnetes Verbindungsrohr dient der Verbindung mit der Vakuumkammer. Ein Ende weist einen Flansch 14 auf. Das andere Ende ist am Umfang des zylindrischen Bauteils 10 befestigt, und zwar derart, daß die Achse des Verbindungsrohrs im rechten Winkel zur Achse des Bauteils 10, welches die Vorkammer 11 bildet, steht. Vorzugsweise wird die Achse der Vorkammer 11 horizontal gehalten (Fig. 3) oder, alternativ, vertikal (Fig. 4). Ein Rohr 15 dient der Einführung eines Werkstücks in die Vorkammer 11. Ein Ende weist einen Flansch 16 auf, an dem eine nicht dargestellte Abdeckung befestigt ist. Das Rohr 15 ist in einer vorbestimmten Position am Umfang der Vorkammer 11 befestigt, und zwar an einer Stelle, welche der Befestigungsstelle des Rohrs 13 entgegengesetzt ist.3 and 4 show a perspective view of an antechamber, which is to be connected to a vacuum chamber, in conjunction with the slide assembly according to the invention. The antechamber, generally designated ii consists of a cylindrical member 10, both ends of which are airtight closed with curved covers 12 and 12 '. A connecting pipe labeled 13 is used to connect to the Vacuum chamber. One end has one Flange 14. The other end is attached to the circumference of the cylindrical component 10, in such a way that the axis of the connecting pipe is at right angles to the axis of the component 10, which forms the prechamber 11, is. Preferably the axis the antechamber 11 held horizontally (Fig. 3) or, alternatively, vertically (Fig. 4). A tube 15 is used to introduce a workpiece into the antechamber 11. One end has a flange 16 to which a cover, not shown, is attached. The tube 15 is fixed in a predetermined position on the circumference of the antechamber 11, at a point which is opposite to the fastening point of the tube 13 is.

Wie die Fig. 5 und 6 zeigen, befindet sich die erfindungsgemäße Schieberanordnung in einer Öffnung 17, über die das Verbindungsrohr 13 mit der Vorkammer 11 in Verbindung steht.As FIGS. 5 and 6 show, there is the slide assembly according to the invention in an opening 17 through which the connecting pipe 13 is connected to the antechamber 11 stands.

Fig. 5 zeigt eine perspektivische, vergrößerte Ansicht der Vorkammer 11, wobei Teile weggeschnitten sind. Fig.6 zeigt einen Schnitt eines Seitenbereichs der Führungsschiene. Die Erfindung soll nun für den Fall beschrieben werden, daß die Achse der Vorkammer 11 horizontal liegt.Fig. 5 shows a perspective, enlarged view of the antechamber 11 with parts cut away. 6 shows a section of a side area the guide rail. The invention will now be described for the case that the axis of the prechamber 11 is horizontal.

Führungsschienen 18 und 19 sind zu beiden Seiten der Öffnungen 17 positioniert und an der Innenfläche der Vorkammer 11 befestigt. Besondere Aufmerksamkeit muß der Größe der Öffnung 17 geschenkt werden, mit der das Ende des Rohrs 13 verbunden ist. Ein gekrümmtes Schieberbauteil 20 weist eine Krümmung auf, die gleich ist der Krümmung der Innenfläche des zylindrischen Bauteils, das die Vorkammer 11 bildet. Dieses Schieberbauteil 20 wird an beiden Enden verschiebbar von den Führungsschienen 18 und 19 gehalten. Ketten oder Drahtseile 21a, 21b, 21c und 21d sind rund um die Führungsschienen 18 und 19 befestigt. Die Drahtseile 21a bis 21d sind mit jeweils einem Ende mit den zugeordneten Kanten 20a bis 20d des Schiebers 20 verbunden. Die anderen Enden der Drahtseile 21a und 21b oder 21c und 21d sind unter Spannung miteinander verbunden und eng um einen Aufwickelrotor 22 gewickelt, welcher drehbar am Boden der Vorkammer 11 und parallel zu deren Achse gelagert ist. Der Aufwickelrotor 22 wird durch einen Antriebsmotor 23 gedreht, der mit dem Ende einer Verlängerung desselben verbunden ist.Guide rails 18 and 19 are on both sides of the openings 17 positioned and attached to the inner surface of the antechamber 11. Special attention must be given to the size of the opening 17 to which the end of the tube 13 is connected is. A curved slide member 20 has a curvature that is the same as that Curvature of the inner surface of the cylindrical component that forms the prechamber 11. This slide component 20 is displaceable at both ends by the guide rails 18 and 19 held. Chains or wire ropes 21a, 21b, 21c and 21d are attached around the guide rails 18 and 19. The wire ropes 21a to 21d are each with one end with the associated edges 20a to 20d of the slide 20 connected. The other ends of the wire ropes 21a and 21b or 21c and 21d are connected together under tension and wound tightly around a take-up rotor 22, which is rotatably mounted on the bottom of the antechamber 11 and parallel to its axis. The take-up rotor 22 is rotated by a drive motor 23 connected to the end an extension of the same is connected.

Eine Vielzahl von Riemenscheiben 24 ist in bestimmten Intervallen innerhalb der Führungsschienen 18 und 19 angeordnet und sorgen für eine leichte Bewegung des Schiebers 20. Ferner dienen sie als Führungen für die Drahtseile 21a bis 21d.A plurality of pulleys 24 are at certain intervals arranged within the guide rails 18 and 19 and ensure easy Movement of the slide 20. They also serve as guides for the wire ropes 21a until 21d.

Zwischen den Fürrungsschienen 18, 19 und dem Schieber 20 befindet sich ein Mechanismus für den hermetischen Angriff des Schiebers 20 am Schiebersitzbauteil 1Oa. Wie Fig. 6 zeigt, umfaßt diese Einrichtung eine Vielzahl von Bälgen 25, welche in denjenigen Bereichen der Führungsschienen 18 und 19 untergebracht sind, welche der Öffnung 17 zugeordnet sind. Die Bälge 25 sind miteinander durch ein Saugrohr 26 verbunden, welches sich luftdicht durch die Wandung der Vorkammer 11 zu einem Ventil 27 erstreckt. Zur Gewährleistung eines luftdichten Verschlusses der Öffnung 17 durch den Schieber 20 wird eine bestimmte Menge Druckluft den Bälgen über das Ventil 27 zugeführt. Hierdurch werden die Bälge 25 expandiert, so daß der Schieber 20 an der Innenwandung der Vorkammer 11 zur Anlage gebracht wird. Hierdurch wird die Vorkammer 11 hermetisch verschlossen.Located between the guide rails 18, 19 and the slide 20 a mechanism for hermetically engaging the slide 20 with the slide seat component 1Oa. As Fig. 6 shows, this device comprises a plurality of bellows 25, which are housed in those areas of the guide rails 18 and 19 which the opening 17 are assigned. The bellows 25 are connected to each other through a suction pipe 26 connected, which is airtight through the wall of the antechamber 11 to form a Valve 27 extends. To ensure an airtight seal of the opening 17 through the slide 20 a certain amount of compressed air is the bellows over the Valve 27 supplied. As a result, the bellows 25 are expanded, so that the slide 20 is brought to bear on the inner wall of the antechamber 11. This will the antechamber 11 is hermetically sealed.

Vorstehend wurde der Verschließmechanismus mit einer Vielzahl von Bälgen beschrieben. Es sind jedoch auch andere mechanische Vorrichtungen denkbar.The above has been the locking mechanism with a variety of Bellows described. However, there are too other mechanical devices conceivable.

Die erfindungsgemäße Schieberanordnung arbeitet folgendermaßen. Zum luftdichten Verschluß der Öffnung 17 des Rohrs 13, welches zur Vakuumkammer führt, wird eine bestimmte Menge Druckluft in die Bälge 25 über die Rohrleitung 26 eingeführt, und zwar durch Betätigen des externen Ventils 27. Hierdurch werden die Bälge 25 expandiert und der Schieber 20 erhält über die Bälge 25 einen Druck.The slide assembly according to the invention works as follows. To the airtight seal of the opening 17 of the tube 13, which leads to the vacuum chamber, a certain amount of compressed air is introduced into the bellows 25 via the pipe 26, by actuating the external valve 27. This causes the bellows 25 expands and the slide 20 receives a pressure via the bellows 25.

Hierdurch kommt es zu einer luftdichten Anlage des Schiebers 20 an der Innenwandung der Vorkammer 11. Wenn nun die Vorkammer 11 in Verbindung gebracht wird mit der Vakuumkammer, und zwar über die Öffnung 17, so wird die in den Bälgen 25 befindliche Druckluft abgelassen und der Innenraum der Bälge wird auf Atmosphärendruck gebracht oder vorzugsweise auf einen verringerten Druck.This results in an airtight installation of the slide 20 the inner wall of the prechamber 11. If the prechamber 11 is now connected is connected to the vacuum chamber, through the opening 17, it is in the bellows 25 located compressed air is discharged and the interior of the bellows is at atmospheric pressure brought or preferably to a reduced pressure.

Hierdurch wird der Schieber 20 von der Innenwandung der Vorkammer wegbewegt, und zwar aufgrund der Kontraktion der Bälge 25. Nun ist der Schieber 20 bewegbar und der Antriebsmotor 23 wird im Uhrzeigersinn betätigt. Dies hat zur Folge, daß der Aufwickelrotor 22, der mit dem Motor 23 verbunden ist, ebenfalls im Uhrzeigersinn gedreht wird, so daß die Drahtseile 21a bis 21d um den Rotor herumgewickelt werden. Die Drahtseile 21a und 21c werden aufgewickelt, während die Drahtseile 21b und 21d abgewickelt werden. Der Schieber 20 wird durch die Führungsschienen 18 und 19 geführt, und zwar aufgrund der Spannung der Drahtseile 21 a und 21c und aufgrund der Entspannung der Drahtseile 21b und 21d. Der Schieber bewegt sich entlang der Innenwandung des hohlen Zylinders, welcher die Vorkammer 11 bildet.As a result, the slide 20 is removed from the inner wall of the antechamber moved away due to the contraction of the bellows 25. The slide is now 20 movable and the drive motor 23 is operated clockwise. This has to As a result, the take-up rotor 22, which is connected to the motor 23, also is rotated clockwise so that the wire ropes 21a to 21d are wound around the rotor will. The wire ropes 21a and 21c are wound up while the wire ropes 21b and 21d are settled. The slide 20 is through the guide rails 18 and 19 out, due to the tension of the wire ropes 21 a and 21 c and due to the relaxation of the wire ropes 21b and 21d. The slide moves along the Inner wall of the hollow cylinder which forms the antechamber 11.

Vorstehend wurde eine Ausführungsform mit einer Vielzahl von Rollen 24 in den Führungsschienen 18 und 19 erläutert. Diese gewährleisten eine extrem glatte Gleitbewegung des Schiebers 20.The foregoing was an embodiment with a plurality of roles 24 in the guide rails 18 and 19 explained. These ensure an extremely smooth sliding movement of the slide 20.

Wenn nun die Vorkammer wiederum durch den Schieber 20 verschlossen werden soll, so wird der Antriebsmotor 23 im umgekehrten Sinne betätigt, wodurch die Drahtseile 21b und 21d um den Aufwickelrotor 22 aufgewickelt werden, während gleichzeitig die Drahtseile 21a und 21c abgewickelt werden. Die Drahtseile 21b und 21d ziehen an dem Schieber 20, während die Drahtseile 21a und 21c entspannt werden. Hierdurch wird der Schieber 20 entlang der Schienen 18 und 19 und entlang der Innenfläche der zylindrischen Vorkammer bewegt, bis die Öffnung 17 wieder verschlossen ist. Nun wird wiederum eine vorbestimmte Menge Druckluft den Bälgen 25 über das Ventil 27 zugeführt, so daß das Ventil 20 wiederum zur Anlage an der Innenwandung der Vorkammer 11 kommt, und zwar aufgrund der Expansion der Bälge 25. Dies hat zur Folge, daß der Schieber 20 die. Öffnung 17 luftdicht verschließt.If now the antechamber is closed again by the slide 20 is to be, the drive motor 23 is operated in the opposite direction, whereby the wire ropes 21b and 21d are wound around the take-up rotor 22 while at the same time the wire ropes 21a and 21c are unwound. The wire ropes 21b and 21d pull on the slide 20 while the wire cables 21a and 21c are relaxed. This moves the slide 20 along the rails 18 and 19 and along the inner surface moves the cylindrical antechamber until the opening 17 is closed again. Now a predetermined amount of compressed air is again the bellows 25 via the valve 27 is supplied so that the valve 20 again rests against the inner wall of the antechamber 11 comes, due to the expansion of the bellows 25. This has the consequence that the slide 20 the. Opening 17 closes airtight.

Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform ist der Hohlzylinder, der die Vorkammer 11 bildet, derart angeordnet, daß seine Achse horizontal liegt. Die Peripherie ist mit dem Verbindungsrohr 13 verbunden, wie in Fig. 3 gezeigt. Man kann jedoch erfindungsgemäß den Hohlzylinder auch mit vertikaler Achse anordnen, wobei das Verbindungsrohr 13 wiederum mit der Peripherie verbunden ist und zur Vakuumkammer führt. Der Schieber wird nun horizontal entlang der Innenfläche bewegt, so daß die Vorkammer wiederum geöffnet oder verschlossen werden kann.In the embodiment described above, the hollow cylinder is which forms the antechamber 11, arranged such that its axis is horizontal. The periphery is connected to the connecting pipe 13 as shown in FIG. 3. However, according to the invention, the hollow cylinder can also be arranged with a vertical axis, the connecting pipe 13 in turn being connected to the periphery and to the vacuum chamber leads. The slide is now moved horizontally along the inner surface so that the Antechamber can in turn be opened or closed.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung wird im folgenden anhand der Fig. 7 bis 9 erläutert. Bei dieser Ausführungsform dient als Ventilsitz eine Hohlkugel.Another embodiment of the invention is illustrated below with reference to 7 to 9 explained. In this embodiment, a valve seat is used Hollow sphere.

Eine Vorkammer 11 wird durch den Innenraum einer Hohlkugel gebildet und ist mit einem Verbindungsrohr 13 verbunden, welches zur Vakuumkammer führt. Führungsschienen 18 und 19 sind an beiden Seiten einer Öffnung 17 und entlang der inneren Umfangsfläche der Vorkammer 11 angeordnet. Ein gekrümmter Schieber 31 weist eine Krümmung auf, welche gleich der Innenkrümmung der kugelförmigen Vorkammer 11 ist. Der Schieber ist an beiden Enden an den Fühuungsschienen 18 und 19 gelagert, derart, daß er verschiebbar ist. Der Schieber 31 ist derart ausgebildet, daß er an einem Ventilsitzbereich 30a, welcher rund um die Öffnung 17 ausgebildet ist, zur Anlage kommen kann.An antechamber 11 is formed by the interior of a hollow sphere and is connected to a connecting pipe 13 which leads to the vacuum chamber. Guide rails 18 and 19 are on either side of an opening 17 and arranged along the inner circumferential surface of the prechamber 11. A curved one Slide 31 has a curvature which is equal to the inner curvature of the spherical Antechamber 11 is. The slide is at both ends on the guide rails 18 and 19 stored in such a way that it is slidable. The slide 31 is designed in such a way that that it is formed on a valve seat area 30a, which is formed around the opening 17 can come to the plant.

Im übrigen entspricht der Aufbau der vorhergehenden Ausführungsform.Otherwise, the structure corresponds to the previous embodiment.

Die Erfindung hat folgende Vorteile. Mit obiger Anordnung ist es möglich, Verzerrungen und Deformationen des Schiebers aufgrund des Vakuums und anderer Belastungen in einem extrem hohen Maße zu vermeiden, da der erfindungsgemäße Schieber gegenüber dem herkömmlichen, flachen Schieber eine erhöhte Festigkeit hat. Daher erreicht man mit diesem Schieber stets eine sichere Öffnung und Schließung ohne jede Störung.The invention has the following advantages. With the above arrangement it is possible Distortion and deformation of the slide due to the vacuum and other loads to be avoided to an extremely high degree, since the slide according to the invention is opposite the conventional, flat slide has an increased strength. Hence achieved With this slide you always have a safe opening and closing without any disturbance.

Da als Ventilsitz oder Schiebersitz die Innenfläche eines zylindrischen oder kugelförmigen Körpers verwendet wird, kann dieser Körper per se als Vorkammer dienen, und die Schieberanordnung kann der Vorkammer einverleibt werden, und zwar in solcher Weise, daß der Schieber entlang der Innenumfangsfläche derselben bewegbar ist. Es ist somit nicht erforderlich, eine gesonderte Schieberanordnung vorzusehen und mit dem zugeordneten System zu verbinden. Hierdurch spart man Arbeitszeit und Raum.As a valve seat or slide seat, the inner surface of a cylindrical or spherical body is used, this body per se can be used as an antechamber serve, and the slide assembly can be incorporated into the antechamber, namely in such a way that the slider is movable along the inner peripheral surface thereof is. It is therefore not necessary to provide a separate slide arrangement and to connect to the assigned system. This saves working time and Space.

Ferner entfällt jegliches Gehäuse für den Schieber, und es ist äußerst unwahrscheinlich, daß ein Leck auftritt oder daß Störungen auftreten können, die den Betrieb unterbrechen können.Furthermore, there is no housing for the slider, and it is extreme unlikely that a leak will occur or that malfunctions will occur can interrupt operations.

Wie bereits erwähnt, gewährleistet die Erfindung ein luftdichtes Verschließen bzw. eine Öffnung des Schiebers.As already mentioned, the invention ensures an airtight seal or an opening of the slide.

Dieser ist derart ausgebildet, daß eine hermetische Trennung möglich ist oder aber eine Verbindung zwischen der Vakuumkammer und der AuBenatmosphäre oder der Vorkammer. Der Schieber hat darüber hinaus eine ausreichende Festigkeit, daß etwaige verstärkende Strukturen oder Materialien entfallen können.This is designed in such a way that a hermetic separation is possible or a connection between the vacuum chamber and the outside atmosphere or the antechamber. The slide also has sufficient strength that any reinforcing structures or materials can be omitted.

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Claims (4)

Patentansprüche Schieberanordnung zum Öffnen oder Schließen einer ffnung einer Vakuumkammer, gekennzeichnet durch ein zylindrisches oder sphärisches Schiebersitzbauteil mit einer Öffnung, durch mindestens eine an der Innenfläche des Schiebersitzbauteils befestigte Führungsschiene, durch einen an der FUhrungsschiene gelagerten Schieber und durch eine Einrichtung zum luftdichten Anlegen des Schiebers an das Schiebersitzbauteil. Claims slide arrangement for opening or closing a Opening of a vacuum chamber, characterized by a cylindrical or spherical one Slider seat component having an opening through at least one on the inner surface of the slide seat component attached guide rail, by one on the guide rail stored slide and by a device for airtight application of the slide to the valve seat component. 2. Schieberanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schieber die gleiche Krümmung hat wie das zylindrische oder sphärische Schiebersitzbautel.2. slide arrangement according to claim 1, characterized in that the slide has the same curvature as the cylindrical or spherical slide seat component. 3. Schieberanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schieber zur Anlage kommt an der zylindrischen oder sphärischen Innenfläche des Schieber sitzbauteils.3. slide arrangement according to claim 1, characterized in that the slide comes to rest on the cylindrical or spherical inner surface of the slide seat component. 4. Schieberanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Anlegen des Schiebers an die Innenfläche des Schiebersitzbauteils eine Vielzahl von durch Druckgas expandierbare Bälge umfaßt.4. slide arrangement according to claim 1, characterized in that the means for placing the slide against the inner surface of the slide seat component comprises a plurality of pressurized gas expandable bellows.