DE3117556A1 - Verfahren und vorrichtung zur korrektur von sich wiederholenden nicht-linearitaeten in der position von optischen bildabtastern - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur korrektur von sich wiederholenden nicht-linearitaeten in der position von optischen bildabtasternInfo
- Publication number
- DE3117556A1 DE3117556A1 DE19813117556 DE3117556A DE3117556A1 DE 3117556 A1 DE3117556 A1 DE 3117556A1 DE 19813117556 DE19813117556 DE 19813117556 DE 3117556 A DE3117556 A DE 3117556A DE 3117556 A1 DE3117556 A1 DE 3117556A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- signal
- sampling
- sampling time
- error
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Details Of Television Scanning (AREA)
Description
Patentanwälte L·
Dr. rer. nat. Thomas Berendt
• Dr.-Ing. Hans Leyh Innere Wiener Str. 20 - D 8000 Machen 89
Unser Zeichen: A 14 Lh/fi
Ferranti Limited
Bridge House,Park Road, Gatley, Cheadle, Cheshire., England
Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von sich wiederholenden Nicht-Linearitäten in der Position von optischen Bildabtastern
Ferranti Ltd. A 14-483 ■
Die Erfindung betrifft die Korrektur von sich wiederholenden Nicht-Linearitäten hinsichtlich der Position von optischen Bildabtastern.
Ein Beispiel eines optischen Bildabtasters ist eine Kathodenstrahlröhre
mit fliegendem Punkt, bei welcher ein Lichtpunkt auf dem Schirm
der Kathodenstrahlröhre erzeugt und wiederholt über den Schirm geführt
wird in Form einer Zeilenabtastung. Licht von dem Punkt wird nach dem ·
Auftreffen auf ein Objekt erfaßt und die gemessene Stärke ist ein Anzeichen für eine optische Eigenschaft des Objektes, z.B. seiner
Reflexion, Diffusion, Durchlässigkeit oder seines Absorptionsvermögens. Insbesondere5jede Veränderung der gemessenen Stärke
ein Anzeichen für eine Veränderung der optischen Eigenschaft. Der Abstand des Punktes vom Beginn der Abtastung ist eine Funktion der
an den Elektronenstrahl der Kathodenstrahlröhre angelegten Ablenkspannung
und diese wird nach einer vorgegebenen Funktion der Zeit variiert, um eine lineare Abtastung fixierter Dauer zu erhalten,
d.h. die Position des Lichtpunktes ist eine Funktion der Zeit, die verstrichen ist seit Beginn der Abtastung, und.diese Zeit wird' nachfolgend
als Abtastzeit bezeichnet.
Durch Verwendung der Kenntnis der Punkt-Position während der Abtastung
kann der Bildabtaster geeignet zur Bildkodierung verwendet werden, d.h. quantitative Messungen der optischen Eigenschaften ausführen, durch
Abfragen des Detektorsignales, ob es einen oder mehrere vorgegebene Schwell werte überschritten hat und zwar im Bezug zur Abtastzeit des
Auftretens dieser Oberschreitungen. Diese abgefragten Signale oder Werte
können aufgezeichnet oder gespeichert und reproduziert oder weiterverarbeitet werden als eine Aussage über das Bild, das durch den Lichtpunkt
während der Abtastung erzeugt wird.
Bei diesen und anderen Typen von Bildabtastern, wie z.B. Fernsehkameraröhren
oder rotierenden Spiegeln oder Prismenabtastern, können jedoch Nicht-Linearitäten im Verhältnis zwischen der Lichtpunkt-Position (oder
seines Äquivalents) und der Abtastzeit auftreten, die sich von Abtastung zu Abtastung wiederholen, die jedoch eine Funktion des einzelnen Abtasters
sind.-Die Abtastzeit,zu welcher diese Proben bzw. Signale aufgezeichnet
werden, wie sie entstehen, kann daher einen Fehler enthalten in einer Größe, die den Abtaster ungeeignet für genaue quantitative Messungen
macht". Da ferner solche Nicht-Linearitäten besonders für einzelne
Teile der Vorrichtung gelten, kann eine generelle Kompensation nicht
leicht an der Abtaststeuerung vorgenommen werden, insbesondere im .Falle von rotierenden mechanischen Abtastern, bei denen die Trägheit
•merkliche Veränderungen bzw. Beaufschlagungen der Abtastgeschwindigkeit innerhalb einer Abtastperiode verhindert.
Während es unpraktisch ist, den Versuch zu machen, das Auftreten von
Nicht-Linearitäten zu verhindern, ist es eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung, zu schaffen, um sich wiederholende
Nicht-Linearitäten zu korrigieren.
Nach der Erfindung wird dies dadurch erreicht, daß der Abtaster benutzt
wird, um ein Eich-Objekt abzutasten, das genau positionierte optische Diskontinuitäten aufweist, daß die wirklichen Abtastzeiten, zu denen
diese Diskontinuitäten festgestellt werden, mit ihren theoretischen Feststell-Zeiten verglichen werden, um eine Mehrzahl von Abtastzeit-Fehlersignalen
abzuleiten, um welche der Abtaster von den theoretischen
Feststell-Zeiten abweicht, daß diese Fehlersignale gespeichert werden,
daß dann in jeder Abtastung.eines zu bearbeitetden Objektes jede Überschreitung
von vorgegebenen Schwellwerten durch das Bild und die zugehörige Abtastzeit festgestellt werden, daß jede Abtastzeit entsprechend
mit einem gespeicherten Fehlersignal, das sich auf diese Abtastzeit bezieht, .gekoppelt und eine Information erzeugt wird, die jeweils die
Erfassung'oder· Feststellung eines Schwellwertes und.die zugehörige
linear korrigierte Abtastzeit dieser Feststellung des Schwellwertes
darstellt. . .
■ . 3117.SBG
: 7.
Vorzugsweise werden die Abtastzeiten gemessen als Anzahl von Impulsen,
die von einem Taktgeber abgeleitet werden und die vom Beginn der Abtastung an gezählt werden, und die entsprechenden Fehlersignale werden
als Anzahlen von Impulsen dargestellt, die digital als Fehlerworte in
einem digitalen Speicher aufgezeichnet werden.
Nach der Erfindung ist ferner eine Vorrichtung zur Korrektur von sich
wiederholenden Nicht-Linearitäten in der Abtastzeit von optischen Bildabtastern vorgesehen,'mit einem Photodetektor, der in jeder Abtastung
eines Objektes ein Detektorsignal mit einem.Parameter .erzeugt, der auf
das Licht bezogen ist, das von dem abgetasteten Objekt empfangen wird, einer Schwellwertschaltung, die ein Abtastsignal oder Abfragesignal
abgibt, das anzeigt, wenn ein Detektorsignal einen vorgegebenen Schwell wert von einem Bereich von Werten oder Größen zu einem anderen überschreitet,
eine Timing-Schaltung, die auf den Beginn jeder Abtastung
anspricht und ein Abtastzeitsignal produziert, das kontinuierlich
•während der Abtastung die Abtastzeit angibt, eine Torschaltung, die auf jedes Abtastsignal anspricht und veranlaßt, daß ein Abtastzeitsignal
von der Timing-Schaltung gelesen wird, eine E/ichvorrichtung mit einem Eich-Objekt, das so angeordnet ist, daß es vom Abtaster
optisch abgetastet wird, derart, daß Veränderungen der optischen Eigenschaften des Eich-Objektes in Positionen auftreten, für welche entsprechende
theoretische Abtastzeiten gespeichert sind, eine Subtrahier-Schaltung,
die während einer Abtastung des Eichobjektes tätig wird und Abtastzeitsignale von den gespeicherten theoretischen Abtastzeiten
subtrahiert, um Fehlersignale zu erzeugen, die den Fehler anzeigen, um welchen jede gemessene Abtastzeit von ihrem theoretischen Wert abweicht,
ferner mit einem Fehlersignal-Speicher zur Speicherung dieser Fehlersignale in Speicherstellen, die durch die gemessenen Abtastzeitsignale
spezifiziert sind, eine Korrekturschaltung für die Abtastzeit- ·
signale, die auf jedes während der Abtastung eines Objektes erzeugte
Abtastsignal anspricht, um das zugehörige Abtastzeitsignal sowohl an den Fehler-Speicher zur Wiedererlangung des der Abtastzeit entsprechenden
Fehlersignales, als auch an eine Addierschaltung anzulegen, in welcher das Fehlersingal algebraisch hinzuaddiert wird, um einen linear-korrigicrten
Wert des Abtastzeitsignal es zu erzeugen.
Der Parameter des Detektorsignales, aufgrund welchem die Überschreitung
des Schwellwertes festgestellt wird, kann die Signalgröße sein.
Die Timing-Schaltung kann einen Oszillator aufweisen zur Erzeugung
eines Zuges von Taktimpulsen, sowie einen Zähler, der auf den Beginn jeder Abtastung anspricht und Taktimpulse während der Abtastung zählt
und'ein Abtastzähl signal erzeugt, welches das Abtastzeitsignal darstellt.
Das Abtastzählsignal kann als binäres Wort erzeugt werden und die theoretischen Abtastzeiten können als Anzahlen von Taktimpulsen in
binärer Form in einem digitalen Speicher gespeichert werden.
Das Eich-Objekt ist vorzugsweise ein Strichgitter, das in alternierende
Bereiche unterteilt ist, die optische Eigenschaften haben, derart, daß ein an die Schwellwert-Schaltung angelegtes Detektorsignal entweder über
oder unter einem Eich-Schwellwert liegt.
Eine beispielsweise Ausführungsform der Erfindung wird nachfolgend anhand
der Zeichnung beschrieben, in der
Fig. 1a in graphischer Darstellung die Detektorsignal-Größe über der
Zeit für eine einzige Abtastung eines Bildabtasters und seinen Zusammenhang mit drei Schwellwerten der Detektorsignal größe zeigt.
Fig. 1b zeigt in graphischer Darstellung das an diesen Schwellwerten abgetastete
bzw. abgefragte Detektorsignal, aufgezeichnet über der Abtastzeit, die durch Taktimpulse dargestellt ist.
Fig. 2a zeigt im Schnitt ein zur Eichung verwendetes Eichgitter.
Fig. 2b zeigt den Zusammenhang zwischen dem Detektorsignal, das durch einen
. Teil der Abtastung des Eichgitters erzeugt worden ist, und der Abtastzeit, die durch eine Anzahl von Taktimpulsen dargestellt ist.
Fig. 3 zeigt graphisch die Veränderung des Abtastzeitfehlers E als
Funktion der Abtastzeit oder der Lichtpunktwanderung.
Fig. 4 zeigt schematisch einen Bildabtaster und die Korrekturschaltung
der Erfindung bei Verwendung zur Eichung.
Fig. 5 zeigt schematisch die Korrekturschaltung bei Verwendung zur
Korrektur.
Fig. 1 zeigt ein Detektorsignal, das von einem Photodetektor während einer
Abtastung eines Objektes mittels.eines Lichtpunktes eines Abtasters erzeugt
worden ist, wobei die Größe des Signales während der Abtastung eine Funktion des von dem Objekt abgegebenen Lichtes ist. Solche Abtaster und
ihre Detektorsignale sind bekannt. Das Detektorsignal ist über der Abtastzeit einer einzigen Abtastung aufgetragen. Ferner sind drei vorgegebene
Spannungswerte V1 bis Vo dargestellt, die vier Bereiche der Detektorsignalgröße
definieren, nämlich O bis V1, V1 bis V2; V2 bis V3 und mehr als V3,
Die Zeiten, zu denen das Detektorsignal die Schwellwerte überschreitet
und in einen anderen Größenbereich eintritt, sind mit t.., t2 etc. be- ■
zeichnet.
Das Detektorsignal kann digitiert werden durch Abfragen des Signals
bei den Überschreitungen der Schwellwerte und Aufzeichnung der Zeiten
t,., t2 etc. dieser Überschreitungen, ausgedrückt als eine Anzahl
rip n2 etc. von Taktimpulsen, wobei eine relativ kleine Anzahl von
Abtastungen für weitere Verarbeitung oder weitere Verwendung zur Aufzeichnung erforderlich ist. Aus einer kleinen Anzahl von aufgezeichneten
Abtastungen kann eine vereinfachte Form der Darstellung realisiert werden, wie in Fig. 1b gezeigt, in der die Wirkungen der Digitierung
dargestellt sind. Die Grobheit der Digitierungsschritte längs der vertikalen Achse kann verändert werden durch Variieren der Größen der
Schwellwertspannungen und der Anzahl der verwendeten Schwellwerte.
Die Erfindung umfaßt die Verwendung einer Eichung mittels eines Eichgitters,
wie in Fig.. 2a gezeigt, das regelmäßige und gut abgegrenzte alternierende,durchlässige und nicht-durchlässige Bereiche hat. Das
Detektorsignal einer Abtastung des Eichgitters ist in Fig. 2b dargestellt,
aufgezeichnet liber einer Anzahl von Abtastimpulsen, wobei die Spitzen
eine höhere Größe als eine Eich-Schwellwertspannung Vc haben. Wenn das
Eichgitter genau bezüglich dem Abtaster positioniert ist, dann sollte jede der Signaldiskontinuitäten nach einer bekannten konstanten Anzahl
. von Taktimpulsen auftreten und irgendwelche Differenzen zwischen der Zählung bis zu den theoretischen Meßpunkten und der bis zu den wirklichen
Meßpunkten stellen Fehler infolge einer Nicht-Linearität der Abtastung dar.
Fig. 3 zeigt einen nicht-linearen Abtastzeitfehler E als Funktion der
Abtastposition (oder Abtastzeit) für einen typischen Abtaster, und der Fehler kann ausgedrückt werden als eine Anzahl von Taktimpulsen
nr für den Fehler in der Abtastzeit und ausgedrückt in η für die
Position des Fehlers. · " ·
Fig. 4 zeigt einen Bildabtaster 10 mit einer nicht-linearen Korrektureinrichtung
im Eich-Betrieb. Eine Kathodenstrahlröhre 11 erzeugt einen·
Abtast-Lichtstrahl 12 mittels eines Kippgenerators 13. Ein Eichgitter
14 ist auf einem transparenten Tisch 15 angeordnet, unter welchem ein das Licht zusammenfassendes Gehäuse 16 angeordnet ist, um Licht,
das vom Gitter durchgelassen worden ist, auf einen Photodetektor 17 zu richten. Ein SchwelIwertdetektor 18 hat einen Eingang 19, der mit
dem Photodetektor verbunden ist, um das Detektorsignal zu empfangen,
•sowie einen weiteren Eingang 20, der mittels eines Potentiometers 21
an eine Eichspannung Vc gelegt ist. Ein Taktimpulsgenerator 22'liefert
Taktimpulse an einen Zähler 23. Der Zähler 23 zählt in jeder Abtastung die Anzahl von Impulsen, die vom Beginn der Abtastung an erzeugt wird
und gibt kontinuierlich in parallel binärer Form die akkumulierte Gesamtzahl
an eine Torschaltung 24. Die Torschaltung 24 wird durch den SchweTlwert-Detektor 18 jedesmal getriggert, wenn das Detektorsignal
den Eich-Schwellwert überschreitet und sie läßt dann die gegenwärtige
oder laufende Abtastzahl durch. Die Torschaltung 24 gibt die Abtastzahl sowohl an eine Subtrahierschaltung 25 als auch an den Adresseneingang
26 eines Fehler-Speichers 27. Ein vorprogrammierter Speicher
enthält Worte, die theoretische Abtastzahlen für die bekannten und genau
positionierten Diskontinuitäten im Eichgitter darstellen und diese werden in paralleler binärer Form an die Subtrahierschaltung 25 synchron
mit der Abtastung zum Vergleich mit den wirklichen Abtastzahlen gegeben. Die Differenz für jede Zahl bzw. Zählung, die den Zahl-Fehler
nr darstellt, wird an den Eingang 29 des Fehlerspeichers 27 gelegt
und in einer Speicherstelle gespeichert, die durch die Abtastzahl
definiert ist, welche den Adresseneingang 26 adressiert.
Im Eichbetrieb ist das Eichgitter 14 auf dem Tisch 23 genau angeordnet,
derart, daß die Diskontinuitäten an Orten auftreten, für welche die theoretisch gespeicherten Abtastzeiten geeignet sind.
Das Gitter wird vom Abtaster abgetastet und während der Abtastung verursacht
jede Erfassung einer Diskontinuität im Gittermuster,daß vom Tor 24 eine Abtastzahl erzeugt und an die Subtrahierschaltung 25 zusammen mit der theoretischen Abtastzahl gelegt wird. Die Differenz
zwischen ihnen, d.h. der Abtastzeit-Fehler, wird im. Fehlerspeicher 27 an einer Speicherstelle gespeichert, die einzig der gemessenen Abtastzahl
zugeordnet ist, die den Eingang 26 adressiert. Am Ende der Abtastung ist der Fehlerspeicher mit Abtastfehlerzahlen n£ für alle
Abtastpositionszahlen η gefüllt.
Fig. 5 zeigt den Abtaster in Korrekturbetrieb, wenn ein Objekt 14', das
auf dem Tisch angeordnet ist, abgetastet wird. Der Taktimpulsgenerator,
der Zähler und die Torschaltung 22, 23 und 24 werden ebenfalls verwendet, aber jetzt sind drei Schwellwert-Detektoren 30, 31 und 32
vorgesehen, von denen jeder Signale vom Photodetektor 17 empfängt, und diese entsprechend mit den Schwell Wertspannungen V,,, Vo und V3 '
vergleicht, die in Verbindung mit Fig. 1a genannt worden sind. Es kann natürlich einer der SchwelIwerte-Detektoren im Eichbetrieb als
SchwelIwert-Detektor 14 mit einer geeigneten Schwellwertspannung benutzt
werden.
Jeder der Detektoren 30, 31 und 32 hat entsprechend eine Ausgangskiemme
•33, 34 und 35, die an eine Kodierschaltung 36 gelegt sind, welche ein Signal erzeugt, das anzeigt, welche Schwellwerte überschritten worden
sind, d.h. in welchem Bereich die Detektorsignale liegen, zur weiteren Verarbeitung oder Speicherung.
Das durch die Toschaltung 24 durchgelassene Signal wird an den Adressenanschluß
26 des Fehlerspeichers 27 und außerdem an einen Eingang 37 einer Addierschaltung 38 gelegt. Ein zweiter Eingang 39 der Addierschaltung
38 ist mit einem Ausgang 40 des Fehlerspeichers verbunden. Der Addierkreis' 38 hat einen Ausgangsanschluß 41.
Im Meßbetrieb zählt somit der Zähler 23 Taktimpulse vom Beginn der
Abtastung an und die Zahl zu jedem Zeitpunkt, d.h. die Abtastzahl,
stellt die Abtastzeit dar. Die Detektoren 30, 31 und 32 empfangen das Photodetektorsignal und jedesmal wenn das Signal einen Schwellwert
von einem Bereich zum andern Bereich überschreitet, erzeugt die Kodierschaltung 36 ein Signal in binärer Form, das diesen Bereich
angibt, und die Schwellwertschaltung betätigt die Torschaltung 24, damit diese die Abtastzahl für diese Schwellwert-Überschreitung angibt.
Die Abtastzahl wird an den ersten Eingang 37 der Addierschaltung 38 und außerdem an den Adresseneingang des·Fehlerspeichers 27 gelegt,
aus welchem das Fehlersignal, das dieser Abtastzahl entspricht, wieder entnommen und an·den zweiten Eingang 39 der Addierschaltung
gelegt wird. Die Addierschaltung erzeugt eine linear korrigierte Abtastzahl,
die mit dem kodierten Signal der Kodierschaltung 36 gekoppelt
wird, um den Abtastpunkt des Detektorsignals zu identifizieren.
Die Detektorsignale von der Kodierschaltung und die Abtastzeit-Signale,
die beide in digitaler Form vorliegen, eignen sich zur Speicherung, zur weiteren Verarbeitung oder zur Darstellung in graphischer Form.
Wie bei anderen Formen der Digitierung von kontinuierlichen Ereignissen
durch Abtasten, hängt die Genauigkeit der Reproduktion vom Abtastintervall
ab, in diesem Fall von der Anzahl und dem Abstand der Schwellwerte und
von der Anzahl der Abtastzeiten, für welche eine Korrektur verfügbar ist.
Dieses letztere Merkmal hängt davon ab, ob eine ausreichende Anzahl
von Fehlerworten in ausreichend kleinen Zeitintervallen erzeugt wird
(eine Funktion der Gitterauflösung und der Taktfrequenz) sowie von'
den Speicherstellen für jedes erzeugte Wort.
Der Fehlerwort-Speicher muß Worte ausreichender Länge enthalten, die
den schlimmsten Fehler, der in der Vorrichtung erwartet werden kann, berücksichtigen, sowie eine ausreichende Anzahl von Worten für die
schlechteste zu erwartende Änderungsrate der Fehleramplitude:
Die wirklichen Werte, die für die verschiedenen Parameter gewählt werden, hängen vom Typ des Abtasters ab, ferner von den gemessenen
optischen Eigenschaften und von der Veränderung der letzteren.
In dem obigen Beispiel ist der Parameter des Detektorsignales, der
zum Vergleich mit den Schwellwerten gewählt wurde, die 'Signalgröße.
Das Detektorsignal kann aber auch mit einem anderen Parameter'erzeugt
werden, z.B. der Frequenz, die auf die Menge oder Stärke des Lichtes bezogen ist,und die Schwellenwerte werden dann in eine
entsprechende geeignete Form, z.B. Frequenzen, verändert. Ebenso ist die übertragung bzw. Weitergabe des Lichtes durch das Eichgitter
und durch das zu beobachtende Objekt und die Sammlung des Gesamtlichtes nur beispielsweise genannt. Das Licht (unabhängig
ob es innerhalb oder außerhalb des sichtbaren Spektrums liegt), das von dem Gitter und dem Objekt austritt bzw. abgegeben wird,
kann insgesamt oder auch nur teilweise durch geeignete Anordnung der Photodetektor-Einrichtung und der Lichtsammei-Einrichtung gemessen
werden.
Leerseite
Claims (7)
- Ferranti Ltd. - A 14 483 - ·PatentansprücheVerfahren zur Korrektur von sich wiederholenden Nicht-Linearitäten in der Abtastzeit von optischen Bildabtastern, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Abtaster ein Eich-Objekt abgetastet wird, das genau positionierte optische Diskontinuitäten aufweist,-daß die wirklichen Abtastzeiten, zu denen diese Diskontinuitäten erfaßt werden, verglichen werden mit ihren theoretischen Erfassungszeiten, um eine Mehrzahl von Abtastzeit-Fehlersignalen abzuleiten, um die der Abtaster von den theoretischen Erfassungszeiten bzw. Meßzeiten abweicht und diese Fehlersignale'gespeichert werden,- daß dann bei dem abzutastenden Gegenstand jede Überschreitung von vorgegebenen Schwellenwerten durch das Bild und die Abtastzeit jeder · derartigen Überschreitung festgestellt wird, daß.jede Abtastzeit in Übereinstimmung mit einem gespeicherten Zeit-Fehlersignal, das sich auf diese Abtastzeit bezieht, korrigiert und eine.Information erzeugt wird, die die Erfassung jedes Schwellenwertes mit der linear-korrigierten Abtastzeit dieser Erfassung oder Messung darstellt.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastzeiten gemessen werden als Zahlen von Impulsen, die von einem Taktgeber abgeleitet und vom Beginn der Abtastung an gezählt werden, und daß die entsprechenden Zeit-Fehlersignale dargestellt werden als Anzahlen von Taktimpulsen, die digital als Fehlerworte . in einem digitalen Speicher aufgezeichnet werden.
- 3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einem Photodetektor, um bei jeder Abtastung eines Gegenstandes ein Detektorsignal zu erzeugen, das einen Parameter aufweist, der auf das Licht bezogen ist, das von dem abzutastenden Gegenstand empfangen wird, einer Schwellwert-Schaltung zur Erzeugung eines Abtastsignales, das anzeigt,m- 0K ~ . -wenn ein Detektorsignaleinen vorgegebenen Schwellwert von einem Bereich zu einem anderen Bereich überschreitet, eine Timing-Schaltung, die während der Abtastung kontinuierlich auf die Abtastzeit anspricht, eine Torschaltung, die auf jedes Abtastsignal anspricht, damit ein Abtast-Zeitsignal von der Timing-Schaltung gelesen wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine Eichvorrichtung mit einem Ei.ch-Objekt vorgesehen ist, die vom Abtaster optisch abgetastet . wird, derart, daß Veränderungen der optischen Eigenschaften des Eich-Objektes in Positionen-auftreten, für welche entsprechende theoretische Abtastzeiten gespeichert sind, eine Subtrahierschaltung,, die bei jeder Abtastung des Eich-Objektes Abtast-Zeitsignale, die von der Schweilwert-Schaltung kommen, von den theoretischen Abtastzeiten subtrahiert werden, um Fehlersignale zu erzeugen, die den Fehler angeben, um den jede gemessene Abtastzeit von ihrem theoretischen Wert abweicht, ferner durch einen Fehlersignal-Speicher zum Speichern dieser Fehlersignale in Speicherstellen, die durch die gemessenen ■ Abtast-Zeitsignale spezifiziert sind, sowie durch eine Korrekturschaltung für die Abtast-Zeitsignale, die auf jedes abgetastete Signal, das bei der Abtastung des Gegenstandes erzeugt wird, anspricht, um das zugehörige Abtast-Zeitsignal an den Fehlerspeicher zu legen, um das der Abtastzeit entsprechende Fehlersignal wiederzuerlangen, und an eine Addierschaltung zu legen, in der das Fehlersignal algebraisch hinzuaddiert wird, um einen linear-korrigierten Wert des Abtast-Zeitsignales zu erhalten.
- 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzei chnet , daß der Parameter des Detektorsignales, aufgrund welchem die Schwell-Wertüberschreitung festgestellt wird, die Signal größe ist. "
- 5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Timing-Schaltung einen Oszillator aufweist zur Erzeugung eines Zuges von Taktimpulsen, sowie einen Zähler, der auf den Beginn jeder Abtastung anspricht, um Taktimpulse während der Abtastung zu zählen und ein Abtast-Zählsignal zu erzeugen, das das Abtast-Zeitsignal darstellt.
- 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet daß das Abtast-Zählsignal als binäres Wort erzeugt wird, und daß. die theoretischen Abtastzeiten als Anzahlen von Taktimpulsen in binärer Form in einem digitalen Speicher gespeichert werden.
- 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch g e k e η η zeichnet, daß das Eich-Objekt ein Strichgitter ist, das in alternierende Bereiche mit optischen Eigenschaften unterteilt ist, um zu bewirken, daß ein an die Schwellwertschaltung angelegtes Detektors"!gnal entweder über oder unter einem Eich-Schwellwert liegt. . ■
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB8015936A GB2076532B (en) | 1980-05-14 | 1980-05-14 | Correcting non-lineartities in optical scanners |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3117556A1 true DE3117556A1 (de) | 1982-05-19 |
Family
ID=10513417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19813117556 Withdrawn DE3117556A1 (de) | 1980-05-14 | 1981-05-04 | Verfahren und vorrichtung zur korrektur von sich wiederholenden nicht-linearitaeten in der position von optischen bildabtastern |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS579175A (de) |
DE (1) | DE3117556A1 (de) |
GB (1) | GB2076532B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000019167A1 (de) * | 1998-09-30 | 2000-04-06 | Lasertec Gmbh | Eichen eines tiefensensors einer laserbearbeitungsvorrichtung und schichtweise herstellung eines gesenks mit veränderlicher programmierung |
US7767928B2 (en) | 2001-09-05 | 2010-08-03 | Lasertec Gmbh | Depth measurement and depth control or automatic depth control for a hollow to be produced by a laser processing device |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3608884A1 (de) * | 1986-03-17 | 1987-09-24 | Mitec Moderne Ind Gmbh | Messanordnung |
-
1980
- 1980-05-14 GB GB8015936A patent/GB2076532B/en not_active Expired
-
1981
- 1981-05-04 DE DE19813117556 patent/DE3117556A1/de not_active Withdrawn
- 1981-05-11 JP JP6946881A patent/JPS579175A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000019167A1 (de) * | 1998-09-30 | 2000-04-06 | Lasertec Gmbh | Eichen eines tiefensensors einer laserbearbeitungsvorrichtung und schichtweise herstellung eines gesenks mit veränderlicher programmierung |
US6861616B1 (en) | 1998-09-30 | 2005-03-01 | Lasertec Gmbh | Depth measurement and depth control or automatic depth control for a hollow to be produced by a laser processing device |
US7767928B2 (en) | 2001-09-05 | 2010-08-03 | Lasertec Gmbh | Depth measurement and depth control or automatic depth control for a hollow to be produced by a laser processing device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2076532B (en) | 1983-09-01 |
GB2076532A (en) | 1981-12-02 |
JPS579175A (en) | 1982-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2657938C2 (de) | ||
DE3327139C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung von für die Rekonstruktion einer Wellenform vorgesehenen Daten | |
DE3304817C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Erkennung von Fehlern in Warenbahnen | |
DE2331952A1 (de) | Anordnung zum feststellen von fehlern mit einer laserabtasteinrichtung | |
DE4417838A1 (de) | Verfahren zur Charakterisierung eines Ereignisses bekannter Form in einem Signalzug von erfaßten Digitaldaten | |
DE2656520B2 (de) | Verfahren zur Ermittlung des Verhältnisses von Kernradius zu Mantelradius einer ummantelten optischen Faser | |
DE2548747C2 (de) | Vorrichtung zur Ableitung mindestens eines Fernseh-Parameters in digitaler Form aus einem im Fernsehsignal eingefügten analogen Prüfsignal | |
EP0365786B1 (de) | Verfahren zur Bestimmung der Übertragungsfunktion einer Videokamera | |
DE2723329A1 (de) | Vorrichtung zum pruefen von oberflaechen | |
CH645462A5 (de) | Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen messung einer dimension mindestens eines objekts. | |
EP0323564A2 (de) | Optische Fehlerinspektionsvorrichtung | |
EP0324757B1 (de) | Verfahren zur erweiterung der auflösung einer zeilen- oder matrixkamera | |
DE2146497B2 (de) | Segmentierungs-Vorrichtung für optische Zeichenleser | |
DE3315591C2 (de) | Oberflächenprüfvorrichtung | |
CH628425A5 (de) | Verfahren und vorrichtung zur kontaktlosen messung linearer wegstrecken, insbesondere des durchmessers. | |
EP0030520A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung beschichteten Trägerbahnstoffes zum Erfassen von darauf vorhandenen Giesslinien | |
DE3117556A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur korrektur von sich wiederholenden nicht-linearitaeten in der position von optischen bildabtastern | |
DE2742589A1 (de) | Elektronische vergleichsvorrichtung fuer die prozessteuerung | |
DE2720196A1 (de) | Diskriminierschaltung | |
DE2744973C2 (de) | Vorrichtung zum Abtasten und Verarbeiten von Bildinformationen für die Rekonstruktion von Tomogrammen | |
DE3321911C2 (de) | Bildinformations-Ausgabegerät | |
DE1952283A1 (de) | Einrichtung zur Bestimmung und Registrierung des Anteils und der Verteilung von digital anfallenden Messwerten | |
DE69021544T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Photodetektion. | |
DE3010559C2 (de) | Einrichtungen zur Feststellung von Fehlern in regelmäßigen Mustern | |
DE2756364A1 (de) | Fotoelektrische nivellierlatte |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |