DE3112339C2 - - Google Patents

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Ernst-Guenter Dipl.-Phys. Dr. 6131 Schwalbach De Lierke
Wolfgang Dipl.-Phys. 6100 Darmstadt De Heide
Rudolf Ing.(Grad.) 6277 Camberg De Grossbach
Karl Ing.(Grad.) 6382 Friedrichsdorf De Floegel
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    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
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    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Zerstäubung von Flüssigkeiten, bestehend im wesentlichen aus einem Ultraschall-Anregungssystem mit einem mit Ultraschallfrequenzen schwingenden Biegeresonator, der eine in bezug auf die Achse des Anregungssystems geneigte Fläche aufweist, sowie Einrichtungen für die Flüssigkeitszuführung.
Bei konventionellen Ultraschall-Kapillarwellenzerstäubern erfolgt die Vernebelung durch Tropfenabschnürung aus einem stehenden Kapillarwellengitter mit schachbrettartig angeordneten Knotenlinien, das sich auf einem dünnen, von einer schwingenden Festkörperfläche angeregten Flüssigkeitsfilm an der flüssig/gasförmigen Phasengrenze ausbildet. Die Zerstäubung erfordert eine von der Frequenz und verschiedenen Flüssigkeitsparametern abhängige Anregungsamplitude der schwingenden Festkörperfläche und einer geeigneten Dicke des Flüssigkeitsfilms. Bei zu dünnem Film können sich keine Tröpfchen bilden, bei zu dickem Film werden durch Dämpfung in der Flüssigkeit keine effektiven Kapillarwellen angeregt.
Um den optimalen flächenspezifischen Zerstäubungsdurchsatz von einigen Litern pro Stunde und cm² bei niederviskosen Flüssigkeiten zu erreichen, muß die Flüssigkeit kontinuierlich so auf die Zerstäuberfläche aufgebracht werden, daß eine möglichst optimale Filmdicke auf einem möglichst großen Bereich der schwingenden Fläche aufrechterhalten wird.
Bei der üblichen Flüssigkeitsversorgung durch eine axiale Bohrung des Ultraschallzerstäubers ist dies nur bis zu relativ kleinen Durchsätzen unter 5 l/h erreichbar. Bei einer solchen inneren Flüssigkeitszuführung treten jedoch insbesondere bei größerem Durchsatz Kavitationsspritzer auf, die das Tropfenspektrum in unzulässiger Weise verschlechtern, da bei den üblichen λ /2-Schwingern die Flüssigkeitszufuhr in Bereichen maximaler Schwingungsamplitude erfolgt. Dieser Effekt kann durch eine äußere Flüssigkeitszuführung über mehrere Röhrchen ausgeschaltet werden. Eine solche Ausführungsform kann bei großen Durchsätzen unter Umständen unwirtschaftlich und nicht optimal sein. Hinzu kommt, daß mit den bekannten Vorrichtungen, z. B. bei der Pulverherstellung, eine Separation nach der Teilchengröße nicht erfolgen kann.
Ferner ist eine Vorrichtung zur Zerstäubung von Flüssigkeiten mit einem Ultraschallanregungssystem bekannt (DE-OS 25 57 958), das konisch ausgebildet ist und an seinem oberen Ende ein Biegeschwinger als kreisrunde, nach innen geneigte Platte aufweist. Die Zufuhr der Flüssigkeit erfolgt über eine konzentrische Bohrung, die konzentrisch durch das Anregungssystem unter dem Biegeschwinger geführt ist. Das Anregungssystem ist mittels eines angedrehten Flansches in der Schwingungsknotenlinie befestigt. Das heißt, am oberen Ende des Anregungssystems kann kein Schwingungsknoten auftreten, sondern lediglich ein Schnellebauch, so daß im mittleren Bereich bzw. im Vorbereich und somit Schwingungskavitation und daher Blasenbildung eintritt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Biegeschwinger derart auszubilden, daß in den Zuführbereichen keine Kavitation auftritt. Die Erfindung ist durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 aufgeführten Merkmale gelöst.
Es hat sich gezeigt, daß sich diese Aufgabe lösen läßt, wenn die Flüssigkeitszuführung in den Schnellknotenbereich des Biegeresonators erfolgt und die Länge des Anregungssystems etwa (2n + 1) λ /4 beträgt, wobei n = 0 oder eine ganze Zahl ist. Die vorteilhaften Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind in den Unteransprüchen 2 bis 12 beschrieben.
Zum Verständnis, daß in der Mitte des Biegeschwingers ein Schnelle- bzw. Auslenkungsknoten besteht, wird darauf verwiesen, daß der antreibende Longitudinal-Schwinger 1/4 λ, 3/4 λ, 5/4 λ -lang ist und somit an der Koppelstelle zum Biegeresonator ein Knoten entstehen muß.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung besteht aus einem üblichen Ultraschall-Amplitudentransformator und einem damit mechanisch verbundenen Biegeresonator der gleichen Resonanzfrequenz. Die Verbindung der beiden Teile kann so ausgeführt werden, daß der Biegeresonator als eine selbständige Einheit ausgewechselt werden kann. Im einfachsten Fall ist der Biegeresonator ein radialsymmetrischer Hohlkonus.
Die Biegeschwingung des Resonators wird durch ein axiales Anregungssytem bewirkt. Das Anregungssystem ist vorzugsweise ein piezoelektrisch angeregter Verbundschwinger, der als Stufentransformator oder mit konischer, exponentieller oder ähnlicher Kontur ausgeführt sein kann.
Der erfindungsgemäße Ultraschallzerstäuber kann insbesondere in Luftbefeuchtern bei Klimaanlagen, Ölbrennern, als Metallzerstäuber zur Pulvergewinnung aus zerstäubten Schmelzen, als Zerstäuber von Lösungen, Suspensionen und Emulsionen zur Pulvergewinnung durch Abdampfen der flüssigen Komponenten verwendet werden. Es kann auch in Prozeßkammern bei vermindertem oder erhöhtem Gasdruck, bei niedriger oder hoher Temperatur, inerter oder reaktiver Gasatmosphäre eingesetzt werden, so daß infolge des hohen, mit minimalem Leistungsaufwand erzielbarem Durchsatz viele verfahrenstechnische Anwendungen im industriellen Maßstab denkbar sind. Bei der letzteren Anwendung wird insbesondere eine Be- oder Entgasung von Flüssigkeiten durch Diffusion erzielt. Hierbei kann durch Einstellung der Neigung der Zerstäubungsfläche eine lange Flugbahn der Flüssigkeitsteilchen ermöglicht und damit das gesamte Volumen des Prozeßraums optimal ausgenutzt werden.
Die durch die Erfindung erzielten Vorteile sind im wesentlichen darin zu sehen, daß große Flüssigkeitsmengen über eine zentrale Zuführung unter optimalen Bedingungen auf die Zerstäuberfläche gefördert werden können. Ferner wird die Kavitation an den Zuführungsstellen trotz anfänglich großer lokaler Flüssigkeitsfilmdicke vermieden. Durch die parabelförmige Nebelcharakteristik wächst der Abstand der Tröpfchen untereinander stetig, so daß sich die übliche Neigung dichter Nebel zur Koagulation stark verringert. Durch die Zunahme des Flugbahndurchmessers mit dem Quadrat des Tropfendurchmessers ist eine Teilchenseparation bei der Pulverherstellung möglich. Die Schrägstellung der Zerstäuberfläche bewirkt, daß sich durch stetige Aufnahme der Flüssigkeitsschicht beim Ablaufen nach unten automatisch eine Zone mit optimaler Filmdicke für die Zerstäubung einstellt. Oberhalb der Zone ist der Film zu dick oder zu dünn, so daß sich keine Kapillarwelle ausbilden kann. Die überschüssige Flüssigkeit läuft über den Rand des Zerstäubers ab, ohne dessen Funktion zu beeinträchtigen.
Mit einem konischen Biegeresonator mit 50 mm Durchmesser lassen sich z. B. bei einer Arbeitsfrequenz von 20 kHz bei einer HF-Leistungsaufnahme von weniger als 10 Watt etwa 150 l/h Wasser in Tropfen von etwa 40 µm zerstäuben. Bei größerer Konusfläche läßt sich der Durchsatz, der durch Verringerung der Flüssigkeitszufuhr ohne Änderung des Tropfendurchmessers bis nahezu auf Null reduziert werden kann, erheblich steigern. Ferner ist die erfindungsgemäße Vorrichtung ohne Schwierigkeiten bei Frequenzen bis etwa 100 kHz einsetzbar. Entsprechend werden bei fast gleichen flächenspezifischen Durchsätzen von einigen l/h und cm² die mittleren Tropfendurchmesser kleiner.
Die Erfindung wird anhand beiliegender Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt in schematischer Vereinfachung
Fig. 1 die Gesamtansicht einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Zerstäubers mit einem Hohlkonus als Biegeresonator;
Fig. 2 im Längsschnitt den konischen Biegeresonator;
Fig. 3 im Längsschnitt den erfindungsgemäßen konischen Biegeresonator mit vertikaler Flüssigkeitszuführung;
Fig. 4 eine Ausführungsform mit horizontaler Flüssigkeitszuführung;
Fig. 5 a) bis e) einige Ausführungsformen für den Biegeresonator;
Fig. 6 eine weitere Ausführungsform, bei der der konische Biegeresonator mit dem Anregungssystem derart verbunden ist, daß die Gesamtlänge des Anregungssystems λ /4 beträgt;
Fig. 7 eine Befestigungsmöglichkeit der in Fig. 6 dargestellten Vorrichtung;
Fig. 8 a) und b) einige Varianten der Flüssigkeitszuführung bei einer Vorrichtung mit umgedrehtem Konus;
Fig. 9 lineare Anordnung von mehreren Zerstäubern mit umgedrehtem Hohlkonus als Biegeresonator;
Fig. 10 eine kaskadenartige Verbindung mehrerer konischer Biegeresonatoren für eine Vorrichtung mit einem gemeinsamen Anregungssystem;
Fig. 11 einen Zerstäuber mit konischem Biegeresonator, der eine axiale Flüssigkeitszuführung von hinten aufweist;
Fig. 12 eine Ausführungsform mit Heizung und Kühlung, die sich zur Zerstäubung von Metallschmelzen eignet.
In der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform weist der erfindungsgemäße Ultraschallzerstäuber einen mittels zweier Piezo-Keramikscheiben 1 angeregten Koppelschwinger 2 auf, der als ein im Schnelleknoten 3 abgestufter Amplitudentransformator ausgebildet ist. Solche Koppelschwinger sind z. B. in der DE-OS 29 06 823 beschrieben. Der Biegeresonator 4 ist in diesem Beispiel in Form eines Hohlkonus ausgebildet und befindet sich an dem der Stufe 3 gegenüberliegenden Ende des schlanken, zylindrischen Teils 5 des Anregungssystems. Erfindungsgemäß kann die Gesamtlänge eines solchen Anregungssystems (2n + 1) λ /4 betragen, wobei n = 0 oder eine andere ganze Zahl ist. Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform ist die Länge 3λ /4, wobei der Abstand zwischen der Stufung 3 und der Spitze des Biegeresonators 4, d. h. die Länge des zylindrischen, schmaleren Teils 5 g /2 ist, so daß sich im Bereich der Konusspitze ein Schnelleknoten befindet. Die Abmessungen des Biegeresonators 4, d. h. die Dicke, der Durchmesser und der Konuswinkel werden so gewählt, daß sich bei der gewünschten Arbeitsfrequenz Biegeresonanzen mit mehr oder weniger vielen Knotenradien und/oder Knotenkreisen ergeben. Vorzugsweise wird eine Eigenresonanz gewählt, bei der der Biegeresonator 4 mit Knotenradien und mit einer vom Zentrum, d. h. Konusspitze, zur Peripherie zunehmenden Amplitude schwingt, so daß die auf die Konusspitze geleitete Flüssigkeit sich zum peripheren Bereich hin mit abnehmender Filmdicke ausbreiten kann.
Fig. 2 macht die Biegeschwingung des Hohlkonus-Resonators 4 deutlich.
Aus Fig. 3 geht hervor, daß die zu vernebelnde Flüssigkeit 6 axial auf die Spitze des Biegeresonators 4 als ein relativ dicker Strahl von oben zugeführt werden kann. Da sich im Bereich der Spitze des Hohlkonus 4 ein Schnelleknoten befindet, findet dort keine Anregung von Kapillarwellen statt. Es kann auch keine Schwingungskaviatation auftreten, wie dies bei den zur Zerstäubung erforderlichen Amplituden bei größerer Flüssigkeitsfilmdicke der Fall wäre. Die Flüssigkeit läuft demzufolge ungestört über die Konusfläche ab, wobei sich mit zunehmendem Abstand zum Zentrum die Filmdicke bei gleichzeitig zunehmender Schnelleamplitude des Zerstäubers stetig verringert. Auf diese Weise stellt sich automatisch eine für die Zerstäubung optimale Filmdicke ein. Die Zerstäubung erfolgt dann in herkömmlicher Weise durch Abschürung von Tröpfchen aus dem Kapillarwellengitter. Durch die Neigung der Konusfläche werden die Tröpfchen axialsymmetrisch vom Zerstäuber weggeschleudert, wobei sich annähernd parabelförmige Flugbahnen ergeben, deren Abstand von Zentrum etwa proportional zur Schnelleamplitude ν des Wandlers zur Dichte ρ der zerstäubten Flüssigkeit und zum Quadrat des Tröpfchendurchmessers d ist. Der mittlere Tröpfchendurchmesser d m folgt in bekannter Weise aus der Kapillarwellenformel
mit
σ = Oberflächenspannung
λ = Kapillarwellenlänge
f = Frequenz des Anregungssystems
Das Tröpfchenspektrum wird durch eine relativ schmale logarithmische Normalverteilung beschrieben.
Aus Fig. 3 geht ferner hervor, daß der Biegeresonator 4 über ein Ankopplungsteil 7 an dem Anregungssystem befestigt wird.
Die Flüssigkeitszuführung kann in Variation der in Fig. 3 gezeigten Anordnung auch horizontal erfolgen, wie es in Fig. 4 dargestellt wird. Es ist auch möglich, die Flüssigkeit durch eine axiale Bohrung im Anregungssystem auf die Konusspitze zu leiten.
Bei einer Schwingung des Biegeresonators 4 mit mehreren Knotenkreisen könnte erfindungsgemäß auch erforderlich sein, daß Flüssigkeitszuführungen nicht nur zentral auf die Konusspitze, sondern auch in den Bereich der Knotenkreise gerichtet sind.
In den Fig. 5a) bis e) wird eine Auswahl möglicher Ausführungsformen für den Biegeresonator gezeigt. Wesentlich ist, daß mindestens eine geneigte bzw. gekrümmte Zerstäubungsfläche vorhanden ist und daß die Flüssigkeit auf den Bereich eines Schnelleknotens bzw. einer Schnelleknotenlinie zugeführt wird. Im Fall der in Fig. 5b) dargestellten Ausführungsform kann die Flüssigkeit entlang der gesamten Schnittkante beider Flächen z. B. durch eine spaltförmige Öffnung eingeleitet werden.
In Fig. 6 wird eine gedrungene Ausführungsform des in Fig. 1 gezeigten Zerstäubers mit konischem Biegeresonator 4 dargestellt. In diesem Fall beträgt die Gesamtlänge des Anregungssystems λ /4 (n = 0), so daß sich an der Spitze des Biegeresonators 4 ein Schnelleknoten befindet. Diese Ausführungsform wird bevorzugt, da sie relativ einfach durch einen Einstich in das zylindrische Anregungssystem herstellbar ist. Um eine Abstrahlung von Luftschall auf der Rückseite des Biegeresonators 4 zu vermeiden (sie würde unnötig Leistung verbrauchen) sollte die Breite des Einstichs, d. h. der Abstand zwischen dem peripheren Ende des Konus 4 und dem Anregungsteil 2 etwa λ (Luft) /4 betragen.
Die in Fig. 6 dargestellte Ausführungsform kann in einfacher Weise an einer Halterungseinrichtung 8 befestigt werden. Hierzu wird, wie in Fig. 7 gezeigt, die Konusspitze mit einer Bohrung versehen, durch die ein Halterungselement 9, z. B. ein Stift, Röhrchen, Draht oder dergleichen, geführt ist. Die Flüssigkeitszuführung 10 kann in diesem Fall das Halterungselement 9 konzentrisch umgeben. Auch andere Variationen des erfindungsgemäßen Zerstäubers können in analoger Weise fixiert werden. Die feste Halterungseinrichtung 8 kann auch eine Flüssigkeitsleitung sein, aus der die Flüssigkeit durch Kanal 10 in den Bereich der Konusspitze geführt wird.
Bei der in Fig. 8a) bzw. b) gezeigten Vorrichtung wird ein konischer Biegeresonator 4 mit der Spitze bzw. mit dem Ankoppelteil 7 an dem Anregungssystem 2 befestigt, so daß diese Ankopplung eine Umkehrung der eingangs erwähnten Ausführungsformen darstellt. Die Flüssigkeitszuführung erfolgt gemäß Fig. 8a) über eine Ringdüse 11, die um das Ankopplungsteil 7 des Biegeresonators, d. h. in der Übergangszone zwischen dem Biegeresonator 4 und dem Anregungssystem 2, angebracht ist. Die Flüssigkeit kann aber auch in beliebig anderer Weise in den Bereich des Schnelleknotens eingeleitet werden, z. B. durch axiale Bohrung 12 im Anregungssystem mit seitlichen Austrittsöffnungen am Konusmantel, d. h. in der Übergangszone zum Biegeresonator 4, wie es in Fig. 8b) dargestellt ist.
In Fig. 9 wird gezeigt, daß mehrere in Fig. 8a) und 8b) dargestellten Zerstäuber an einer gemeinsamen Flüssigkeitsversorgungsleitung befestigt werden können. Andere Arten von Anordnungen, z. B. kreisförmige, sind ebenfalls möglich. Eine solche Ausführungsform ist insbesondere für größere Flüssigkeitsdurchsätze geeignet.
Die Biegeresonatoren können aber auch kaskadenförmig miteinander verbunden und gemeinsam angeregt werden. Diese Ausführungsform wird in Fig. 10 schematisch verdeutlicht. Die Kaskadenelemente bestehen aus dimensions- und materialmäßig gleichen konusförmigen Biegeresonatoren 4 mit Ankoppelteilen 14. Die Gesamtlänge eines Kaskadenelements beträgt λ /2 und die Verbindung der Kaskadenelemente erfolgt jeweils in Schnellebäuchen z. B. durch Schrauben 15. Die einzelnen Kaskadenelemente können auch durch Leitung miteinander befestigt werden oder durch eine andere geeignete Maßnahme. Ein weitere Variante besteht in der Herstellung der Kaskade an einem Stück. Das den Kaskadenelementen gemeinsame Anregungssystem (hier nicht gezeigt) kann sich sowohl oberhalb als auch unterhalb der Kaskade befinden. Die Flüssigkeitszuführung kann in bereits oben erläuterter Weise erfolgen. Hier werden die Ankoppelteile 14 in der Übergangszone zur Konusspitze mit einem ringförmigen Rohr 16 versehen, welches Flüssigkeitsaustrittsöffnungen enthält.
Die in Fig. 11 dargestellte λ /4-Ausführung mit konischem Biegeresonator, die in Fig. 6 näher beschrieben wurde, eignet sich wegen der Art der Flüssigkeitszuführung insbesondere für einen Einsatz bei Ölbrennern. Das Anregungssystem 2 besitzt eine axiale Bohrung 17 bis zu Spitze des Resonators 4. Durch diese Bohrung 17 wird ein auf Resonanz abgestimmtes Röhrchen 18 geführt, das im Schnelleknotenbereich mit dem System, z. B. durch Verschrauben 19, fest verankert wird. Die Öffnung an der Spitze des Resonators ist etwa abgerundet, um eine optimale Verteilung der durch das Röhrchen 18 geleiteten und an der Spitze austretenden Flüssigkeit auf der Konusfläche zu bewirken.
In Fig. 12 wird eine Ausführungsform gezeigt, bei der der Biegeresonator 4 geheizt und die temperaturempfindliche Teile des Anregungssystems 2 gekühlt werden. Die Heizung erfolgt z. B. durch eine Induktionsspule 20, durch die die Metallschmelze 21 geleitet wird. Die Kühlung wird zwischen zwei benachbarten Schnelleknotenbereichen des schlanken Teils 5 bewirkt. Hierfür kann dieser Bereich z. B. konzentrisch mit einer Flüssigkeits- oder Gaskühlung 22 versehen sein. Die Kühlstrecke 22 wird vorzugsweise am unteren Bereich des schlanken Teils 5 angebracht. Die Kühlstrecke 22 und das Anregungssystem 2 können ferner mit einer Ummantelung 23 versehen sein, wodurch jegliche Beeinträchtigung durch Überhitzung ausgeschlossen ist.

Claims (12)

1. Vorrichtung zur Zerstäubung von Flüssigkeiten bestehend im wesentlichen aus einem Ultraschall-Anregungssytem und einem mit Ultraschallfrequenzen schwingenden Biegeresonator, der ein in bezug auf die Achse des Anregungssystems geneigte Fläche aufweist, sowie Einrichtungen für die Flüssigkeitszuführung, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeitszuführung in den Schnellknotenbereich des Biegeresonators (4) erfolgt und daß die Länge des Anregungssytems (2n + 1) λ /4 beträgt, wobei n = 0 oder eine ganze Zahl ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Biegeresonator (4) in Form einer Hohlpyramide ausgebildet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Biegeresonator (4) zwei im Winkel zueinander stehende Fläche aufweist und die Flüssigkeit entlang der Schnittkante dieser Flächen zuführbar ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Zerstäubung von Schmelzen eine Heizung (20) für den Biegeresonantor (4) vorhanden ist und daß zwischen zwei benachbarten Schnelleknotenbereichen des zylindrischen, schlanken Teils (5) des axialen Anregungssystems (1,2,5) eine Kühlstrecke (22) vorgesehen ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zu zerstäubende Flüssigkeit axial in einem Strahl (6) auf die Spitze des Biegeresonators (4) zuführbar ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Flüssigkeitszuführung das Anregungssytem (2) eine axiale Bohrung (17) besitzt, durch die ein auf Resonanz abgestimmtes Röhrchen (18) geführt und im Schnelleknotenbereich mit dem Biegeresonator (4) befestigt ist und die Spitze des Biegeresonators im Bereich der Öffnung abgerundet ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Spitze des Biegeresonators (4) mit einer Bohrung versehen und mittels eines Halterungselements (9) fixierbar ist und daß die Flüssigkeitszuführung (10) das Halterungselement (9) konzentrisch umgibt.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der zylindrische, schlanke Teil (5) des Anregungssystems von außen an die Spitze des Biegeresonators (4) ansetzt.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Flüssigkeitszuführung das Anregungssystem (2,5,7) eine axiale Bohrung (12) besitzt, die in der Übergangszone zum Biegeresonator (4) mit Flüssigkeitsaustrittsöffnungen versehen ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Flüssigkeitszuführung in der Übergangszone zwischen dem Biegeresonator (4) und dem Anregungssystem (2,7) ein ringförmiges Rohr (11) vorgesehen ist, das mehrere Flüssigkeitsautrittsöffnungen enthält.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Zerstäuber an einer gemeinsamen Flüssigkeitsversorgungsleitung (13) in linearer oder kreisförmiger Anordnung befestigt sind.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere gleiche Biegeresonatoren (4) mit einem gemeinsamen Anregungsssytem kaskadenartig miteinander verbunden sind und daß die Kupplung (15) der Kaskadenelemente in den Schnellebäuchen erfolgt.
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