DE3036406A1 - Band-saw for e.g. semiconductor materials - is supported on rolls and has effective run carried on fluidic bearing - Google Patents
Band-saw for e.g. semiconductor materials - is supported on rolls and has effective run carried on fluidic bearingInfo
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Abstract
Description
Bandsäge, insbesondere für kristalline oder kristallähnliche Ma-Bandsaw, especially for crystalline or crystal-like machin-
terialien, mit einem um Umlaufrollen umlaufenden endlosen Sägeband Die Erfindung betrifft eine Bandsäge, insbesondere für kristalline oder kristallähnliche Materialien, mit einem um Umlaufrollen umlaufenden endlosen Sägeband.materials, with an endless saw band rotating around revolving rollers The invention relates to a band saw, in particular for crystalline or crystal-like Materials, with an endless saw band that revolves around revolving rollers.
Bandsägen sind an sich bekannt. Ihre Verwendung für kristalline oder kristallähnliche Materialien wurde nach Kenntnis des Erfinders jedoch noch nicht vorgeschlagen.Band saws are known per se. Your use for crystalline or however, crystal-like materials have not yet become known to the inventor suggested.
Unter "kristallinen oder kristallähnlichen Materialien" sollen insbesondere Halbleiter wie Silicium und Germanium, Quarz und andere Mineralien, aber auch Glas, bestimmte Isolierstoffe usw. verstanden werden.Under "crystalline or crystal-like materials" are meant in particular Semiconductors such as silicon and germanium, quartz and other minerals, but also glass, certain insulating materials, etc. are understood.
Der Verwendung von Bandsägen zum Schneiden von kristallinen und kristallähnlichen Materialien steht jedoch entgegen, daß insbesondere beim Schneiden dünner Halbleiterplättchen, deren Dicke in der Größenordnung von 0,3 mm liegt, eine hohe Genauigkeit, auch was die Ebenheit der Schnittfläche betrifft, gefordert wird. Die Sägeblätter müssen extrem dünn sein, sind daher empfindlich und neigen zum Flattern. Auch ist das Band erhöht anfällig gegen Staub und Abrieb.The use of band saws to cut crystalline and crystal-like However, materials are opposed to the fact that, especially when cutting thin semiconductor wafers, whose thickness in the Of the order of 0.3 mm, a high level of accuracy, also with regard to the evenness of the cut surface is required. The saw blades must be extremely thin, so they are sensitive and tend to flutter. Also is the tape increases susceptibility to dust and abrasion.
Es ist bekannt, Kristalle mit Innenrandsägen zu schneiden. Diese haben jedoch insbesondere den Nachteil, ~daß ohne wirtschaftlich und technisch nicht zu vertretenden Aufwand die Innenlöcher nicht hinreichend groß gemacht werden können, so daß nicht mehrere Kristalle der heute üblichen Größen bis 150 mm Durchmesser auf einmal geschnitten werden können.It is known to cut crystals with inner edge saws. Have this however, in particular the disadvantage ~ that without it economically and technically not to Representative effort the inner holes cannot be made sufficiently large, so that not several crystals of today's usual sizes up to 150 mm in diameter can be cut at once.
Es ist auch bekannt, Kristalle mit Gattersägemaschinen zu schneiden. Damit können mit verhältnismäßig geringem maschinellen Aufwand gleichzeitig mehrere Werkstücke bearbeitet werden. Mit der in der Deutschen Patentanmeldung P 28 49 190.9-24 des gleichen Anmelders beschriebenen Gattersägemaschine können im Gegensatz zu herkömmlichen Gattersägemaschinen auch hohe Schnittgeschwindigkeiten von 20 bis 30 m/s erzielt werden. Bei Gattersägemaschinen besteht jedoch die Gefahr, daß das Ausbrechen einer geschnittenen Scheibe sämtliche Scheiben zerstört.It is also known to cut crystals with gang saw machines. This means that several Workpieces are processed. With the in the German patent application P 28 49 190.9-24 The frame saw machine described by the same applicant can, in contrast to conventional Frame saw machines also achieve high cutting speeds of 20 to 30 m / s will. In frame saws, however, there is a risk that a breakout cut slice destroyed all slices.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Bandsäge so weiterzubilden, daß sie insbesondere auch zum Schneiden von kristallinen und kristallähnlichen Materialien geeignet ist und durch Abrieb nicht beeinträchtigt wird.The object of the invention is therefore to develop a band saw so that that they are especially suitable for cutting crystalline and crystal-like materials is suitable and is not affected by abrasion.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das sägende Trum des Sägebandes durch mindestens ein Fluidlager gelagert ist.This object is achieved in that the sawing Run of the saw band is supported by at least one fluid bearing.
Das sägende bzw. trennende Trum wird im Regelfall das ziehende, also von der mit laufenden Umlaufvorrichtung zur angetriebenen Umlaufvorrichtung sich bewegende Trum sein. Es ist aber auch denkbar, daß das löse oder beide Trümer zum Trennen verwendet werden.The sawing or separating strand is usually the pulling one, that is from the circulating device running with the rotating device to the driven circulating device itself be moving dream. But it is also conceivable that this will solve or both ruins to Separate can be used.
Unter Fluid wird ein Gas oder eine Flüssigkeit verstanden. Das Fluidlager ist also insbesondere ein hydrostatisches oder pneumatisches Lager.Fluid is understood to mean a gas or a liquid. The fluid bearing is therefore in particular a hydrostatic or pneumatic bearing.
Diese Lösung hat insbesondere den Vorteil, daß das gerade in der Richtung senkrecht zur Laufrichtung wegen seiner geringen Dicke und vergleichsweise großen Länge instabile Sägeband stabilisiert wird. Durch die Verwendung eines Fluids geschieht dies an den Hauptflächen des Sägebandes praktisch berührungsfrei. Somit wird das Band und das Lager geschont. Durch das Fluid wird ferner Abrieb im Lager verhindert. Zusätzlich wird Abrieb aus dem Sägevorgang vom Band abgeblasen bzw. -gespült und somit verhindert, daß Abrieb auf die Flächen, wo Band und Umlaufvorrichtung sich berühren, gelangt.This solution has the particular advantage that it is straight in the direction perpendicular to the direction of travel because of its small thickness and comparatively large Length unstable saw band is stabilized. It happens through the use of a fluid practically contact-free on the main surfaces of the saw band. So that becomes Belt and bearing spared. The fluid also prevents wear in the bearing. In addition, abrasion from the sawing process is blown off or rinsed off the belt and thus prevents abrasion on the surfaces where the belt and circulation device are touch, got.
Vorzugsweise ist das mindestens eine Fluidlager in der Nähe des zu schneidenden Werkstücks, besonders bevorzugt in Laufrichtung des Sägebandes bandabwärts, angeordnet. Dadurch wird eine besonders gute Stabilisierung im Schnittbereich erzielt. Die Anordnung bandabwärts hat insbesondere den Vorteil, daß Abrieb aus dem Sägespalt durch das Fluid zurückgehalten bzw. abgespült oder -geblasen wird und somit seine Verschleppung zum nachfolgenden Werkstück und/ oder zur Umlaufrolle verhindert wird.The at least one fluid bearing is preferably in the vicinity of the to cutting workpiece, particularly preferably in the running direction of the saw band down the band, arranged. This achieves particularly good stabilization in the cutting area. The downstream arrangement has the particular advantage that abrasion from the saw gap is retained or rinsed off or blown away by the fluid and thus its Carry-over to the following workpiece and / or to the revolving roller is prevented.
Bevorzugt ist die Zahl der Fluidlager um mindestens eins höher als die Zahl der gleichzeitig zu sägenden Werkstücke und sind die Fluidlager so angeordnet, daß sich zu beiden Seiten jedes Werkstücks mindestens ein Fluidlager befindet.The number of fluid bearings is preferably at least one greater than the number of workpieces to be sawed at the same time and are the fluid bearings arranged in such a way that that there is at least one fluid bearing on both sides of each workpiece.
Somit befinden sich zwischen je 2 Werkstücken und an der je äußeren, d.h. zu den Umlaufrollen gerichteten, Seite der äußeren Werkstücke ein Fluidlager. Dadurch wird insbesondere die Übertragung von Störungen und Abrieb von einem Werkstück zum nächsten und auf und von den Umlaufrollen vermieden.Thus there are between 2 workpieces and on the outer, i.e. a fluid bearing on the side of the outer workpieces facing the revolving rollers. This particularly prevents the transmission of disturbances and abrasion from a workpiece to the next and on and off the revolving rollers.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist im Lager ein Hohlraum, in den das Fluid eingebracht wird, mit zwei einander gegenüberliegenden, offenen Seiten, durch die das Sägeband geführt ist, vorgesehen. Dieser Vorschlag hat insbesondere den Vorteil, daß das Sägeband ungehindert in das Lager ein- und aus diesem austreten kann und im Lager insbesondere an seinen Flachseiten durch den sich über das Fluid aufbauenden Gegendruck der Wände des Hohlraums abgestützt wird.In a preferred embodiment, there is a cavity in the bearing into which the fluid is introduced, with two opposite, open sides, through which the saw band is guided, provided. This proposal has in particular the advantage that the saw band can enter and exit the camp unhindered can and in the camp especially on its flat sides through the fluid building back pressure of the walls of the cavity is supported.
Vorzugsweise stützt sich das Sägeband mit seiner der Schneidkante gegenüberliegenden Kante gegen ein im Fluidlager ausgebildetes Widerlager, vorzugsweise eine verschleißfeste Anlauffläche, ab. Die verschleißfeste Anlauffläche ist bevorzugt als auswechselbare Hartmetall-Leiste ausgebildet. Sie hat den Vorteil, trotz der Belastung durch den Druck des Sägevorganges längere Zeit nicht ausgewechselt zu werden brauchen.The saw band is preferably supported with its cutting edge opposite edge against an abutment formed in the fluid bearing, preferably a wear-resistant contact surface. The wear-resistant contact surface is preferred designed as an exchangeable hard metal strip. She has the advantage in spite of that Load from the pressure of the sawing process has not been replaced for a long time will need.
Bevorzugt ist die sägende Stirnseite des Sägebandes mit einem Schneidstoffbelag, besonders bevorzugt Diamant oder Borazon, versehen. Dadurch wird die Sägeleistung erheblich erhöht. Vorzugsweise ist der Schneidstoffbelag über die ganze Sägebandlänge durchgehend, da dadurch die mechanische Belastung~des Bandes verringert wird.The cutting face of the saw band with a cutting material coating is preferred, particularly preferably diamond or borazon. This will increase the sawing performance increased significantly. The cutting material coating is preferably over the entire length of the saw band continuous, as this reduces the mechanical load on the belt.
Bevorzugt ist im Bereich der Schneidkante des Sägebandes eine dritte offene, in die beiden gegenüberliegenden offenen Seiten übergehende, Seite am Hohlraum vorgesehen, so daß das Lager zangenartig ausgebildet ist. Diese zangenartige Ausbildung ermöglich ggf. den Durchtritt eines Bandteiles durch diese Seite und, wenn dies gewünscht ist, auch von Fluid, das dabei eventuelle Verunreinigungen mit sich fortführt.A third one is preferred in the area of the cutting edge of the saw band open, merging into the two opposite open sides, side on the cavity provided so that the bearing is designed like pliers. This pincer-like training enables a part of the tape to pass through this side, if necessary, and if this is the case is desired, also of fluid, which carries away any impurities with it.
Besonders bevorzugt ragt das Sägeband mit dem Bereich seiner Schneidkante an der dritten offenen Seite aus dem Lager heraus.The saw band particularly preferably projects with the region of its cutting edge on the third open side out of the warehouse.
Diese Lösung hat den Vorteil, daß im Lager keine besonderen Maßnahmen zur Führung eines eventuellen verdickten Bereiches der Schneidkante vorgesehen zu werden brauchen. Insbesondere braucht bei der Bemessung der seitlichen Öffnungen des Hohlraums für den Durchtritt des Bandes keine Rücksicht auf die an der sägenden Stirnseite ggf. größere Dicke genommen zu werden. Außerdem kann das Sägeband leicht gewechselt werden.This solution has the advantage that no special measures are taken in the warehouse intended to guide any thickened area of the cutting edge will need. In particular, needs when dimensioning the lateral Openings of the cavity for the passage of the tape do not take into account the the sawing face to be taken thicker if necessary. Besides that, it can Saw band can be changed easily.
In einer anderen bevorzugten Ausführungsform ist im Abstand der Breite des Sägebandes vom hinteren Widerlager im Lager eine Nut zur Aufnahme der Schneidkante des Sägebandes vorgesehen. Diese Ausführungsform hat den Vorteil, daß auch bei einer verdickten Schneidkante das Lager nur an der Antritts- und Austrittsseite für das Band geöffnet zu werden braucht und eine sichere Führung des Bandes gewährleistet ist. Die Öffnung des Lagers nur an zwei Seiten hat den Vorteil der erhöhten Stabilität des Lagers.In another preferred embodiment, the spacing is the width of the saw band from the rear abutment in the bearing a groove for receiving the cutting edge of the saw band provided. This embodiment has the advantage that even with a thickened cutting edge the bearing only on the entry and exit side for the Tape needs to be opened and a secure guidance of the tape is guaranteed is. Opening the bearing only on two sides has the advantage of increased stability of the camp.
Vorzugsweise sind die offenen Seiten des Hohlraums als schmale, d.Preferably the open sides of the cavity are designed as narrow, i.
h. in der Höhe die Dicke des Sägebandes nur wenig übertreffende, Schlitze ausgebildet. Dies hat insbesondere den Vorteil, daß innerhalb des Hohlraums des Lagers ein gewisser Druck zur Stabilisierung des Sägebands aufgebaut und gehalten werden kann und dennoch ein übermäßiger Fluidverbrauch vermieden wird. Zwischen dem oberen bzw.H. Slits only slightly exceeding the thickness of the saw band in height educated. This has the particular advantage that within the cavity of the Bearing built up and held a certain pressure to stabilize the saw band and yet excessive fluid consumption is avoided. Between the upper resp.
unteren Rand des Schlitzes und der Fläche des Sägebandes verbleibt vorzugsweise nur ein Spalt, der um eine Größenordnung kleiner ist als die Dicke des Sägebandes. Somit wird eine sehr sichere und dennoch an den breiten Flächen berührungsfreie Lagerung erzielt.the lower edge of the slot and the surface of the saw band remains preferably only a gap which is an order of magnitude smaller than the thickness of the saw band. Thus, a very safe and yet on the wide areas Contact-free storage achieved.
Besonders bevorzugt ist der durch die Schlitze offene Hohlraum im Innern auf beiden Seiten des Sägebandes senkrecht zur Bandfläche zumindest teilweise kuppelartig erweitert.The cavity in the open through the slots is particularly preferred Inside on both sides of the saw band perpendicular to the band surface at least partially widened like a dome.
Unter Bandfläche wird immer die durch Breite und Erstreckung in Bewegungsrichtung des Bandes definierte Fläche verstanden. Die kuppelartige Erweiterung im Innern, die die Schlitzöffnungen unberührt läßt, hat insbesondere den Vorteil, daß das Fluid besser über die Bandfläche im Lager verteilt wird und sich eine für die Stabilität des Sägebandes günstigere Druckverteilung ergibt.The band area always refers to the width and extent in the direction of movement Understand the defined area of the tape. The dome-like extension inside, which leaves the slot openings untouched, has the particular advantage that the fluid is better distributed over the belt surface in the warehouse and is one for stability of the saw band results in more favorable pressure distribution.
In einer bevorzugten Ausbildung sind die Erweiterungen beidseits des Bandes kissenförmig ausgebildet.In a preferred training, the extensions are on both sides of the Ribbon shaped like a pillow.
In einer alternativen bevorzugten Ausbildung sind die Erweiterungen beidseits des Bandes kugelkalottenförmig ausgebildet.In an alternative preferred embodiment, the extensions are formed spherical cap-shaped on both sides of the band.
In einer weiteren alternativen Weiterbildung sind die Erweiterungen beidseits des Bandes tonnenförmig ausgebildet, wobei sich die Tonnenlängsachse quer zur Bandlaufrichtung erstreckt.In a further alternative further training are the extensions barrel-shaped on both sides of the belt, with the barrel's longitudinal axis running transversely extends to the direction of tape travel.
Diese alternativen Ausbildungen der kuppelartigen Erweiterungen des Hohlraums erlauben eine dem jeweils verwendeten Fluid optimal angepaßte Formgebung und damit eine optimale Stabilisierung des Sägebandes.These alternative designs of the dome-like extensions of the Cavity allow a shape optimally adapted to the fluid used in each case and thus an optimal stabilization of the saw band.
Besonders bevorzugt befinden sich die Zuführleitungen für das Fluid beidseits des Sägebands, vorzugsweise im höchsten Punkt. der Erweiterungen.The feed lines for the fluid are particularly preferably located on both sides of the saw band, preferably in the highest point. of the extensions.
Beidseits bedeutet hier: Beidseits senkrecht zu den Bandflächen.Both sides here means: both sides perpendicular to the belt surfaces.
Dadurch kann das Sägeband von beiden Seiten mit Druck beaufschlagt werden. Die Anordnung der Zuführleitung, d.h. ihrer Ausfluß- bzw.This means that the saw band can be subjected to pressure from both sides will. The arrangement of the supply line, i.e. its outflow or
Ausströmöffnungen im höchsten Punkt der kuppelartigen Erweiterungen stellt insbesondere eine gleichmäßige Druckverteilung im Hohlraum des Lagers sicher. Die Druckbeaufschlagung der Seiten des Sägebandes wird vorzugsweise nach der Lage von Band und Lager zur Richtung der Schwerkraft differenziert.Outflow openings at the highest point of the dome-like extensions in particular ensures a uniform pressure distribution in the cavity of the bearing. The pressurization of the sides of the saw band is preferably based on the location differentiated from belt and bearing to the direction of gravity.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist ein Doppellagerr bestehend aus im wesentlichen gleichen Lagern, die in Laufrichtung des Sägebandes unmittelbar nebeneinander angeordnet sind, vorgesehen. Dies hat den Vorteil, daß einerseits die Dimensionierung der Lager nicht geändert werden muß, insbesondere ggf. nur ein Lagertyp hergestellt zu werden braucht, andererseits aber das Sägeband über eine noch längere Strecke sicher geführt und somit seine Stabilität erhöht werden kann.In a preferred embodiment there is a double bearing from essentially the same bearings, which are directly in the running direction of the saw band are arranged side by side, provided. This has the advantage that on the one hand the dimensioning of the bearing does not have to be changed, in particular only one if necessary Storage type needs to be produced, but on the other hand the saw band has a even longer distances can be safely guided and thus its stability can be increased.
In einer bevorzugten Weiterbildung geht die Auslaßöffnung des einen Lagers des Doppellagers für das Sägeband in die Einlaß öffnung des anderen Lagers über. Dadurch kann zusätzlich Verlust von Fluid vermieden werden. Insbesondere können das Doppellager oder seine entsprechenden Teile einstückig ausgebildet werden In einer bevorzugten Ausführungsform ist im Abstand der Breite des Sägebandes von einem hinteren Widerlager der Umlaufrollen für das Sägeband in den Umlaufrollen eine Umfangsnut zur Aufnahme der durch den Schneidstoffbelag gebildeten Verdickung vorgesehen.In a preferred development, the outlet opening is one Bearing of the double bearing for the saw band in the inlet opening of the other bearing above. In this way, loss of fluid can also be avoided. In particular, can the double bearing or its corresponding parts are integrally formed In A preferred embodiment is at a distance of the width of the saw band from one rear abutment of the circulating rollers for the saw band in the circulating rollers a circumferential groove intended to accommodate the thickening formed by the cutting material coating.
Dadurch wird insbesondere verhindert, daß der durch den Schneidstoffbelag in der Regel verdickte Bereich des Sägebandes an dessen Stirnkante an den Umlaufrollen aufliegt und die gleichmäßige Auflage der restlichen Breite des Sägebandes stört.This prevents in particular that the cutting material coating usually thickened area of the saw band at its front edge on the circulating rollers rests and disturbs the even contact of the remaining width of the saw band.
In einer alternativen bevorzugten Ausführungsform ist die Länge der Umlaufrollen in ihrer Axialrichtung höchstens gleich der Breite des Sägebandes minus der Breite des Bereichs des Schneidstoffbelages.In an alternative preferred embodiment, the length is Circumferential rollers in their axial direction at most equal to the width of the saw band minus the width of the area of the cutting material coating.
Dies verhindert ebenfalls, daß der Schneidstoffbelag mit den Umlaufrollen in Berührung kommt.This also prevents the cutting material covering with the circulating rollers comes into contact.
Bevorzugt wird als Fluid das Kühlfluid der Bandsäge verwendet. Dies ermöglicht insbesondere die Verwendung einer geringeren Anzahl von Leitungen, Reservoiren und Sammelstellen und somit eine Vereinfachurg der gesamten Anlage.The cooling fluid of the band saw is preferably used as the fluid. this in particular enables the use of a smaller number of lines, reservoirs and collection points and thus a simplification of the entire system.
Besonders bevorzugt wird als Fluid entsalztes Wasser verwendet.Desalinated water is particularly preferably used as the fluid.
Dies hat den Vorteil, daß entsalztes Wasser verhältnismäßig einfach zu beschaffen und zu handhaben ist und gleichzeitig als Kühlflüssigkeit verwendbar ist.This has the advantage that desalinated water is relatively easy can be procured and handled and at the same time can be used as a coolant is.
In einer weiteren, bevorzugten anlternativen Ausführungsform wird als Fluid Druckluft verwendet.In a further, preferred alternative embodiment, compressed air is used as the fluid.
Druckluft steht in den meisten gewerblich-technischen Betrieben zur Verfügung und ist ebenfalls einfach und verhältnismäßig gefahrlos zu andhaben.Compressed air is available in most commercial and technical companies Available and is also easy and relatively safe to use.
Bevorzugt sind kurz vor den Auflauf stellen des Sägebandes auf die Umlaufrollen Abweiser und/oder Bürsten und/oder Spüldüsen zur Reinigung des Sägebands, besonders bevorzugt der rollenzugewandten In- nenseite des Sägebandes, vorgesehen.Preference is given to putting the saw band on the run-up area Circulating rollers deflectors and / or brushes and / or flushing nozzles for cleaning the saw band, particularly preferred by the role-facing Indians inside of the saw band, intended.
Dies hat insbesondere den Vorteil, daß der Schutz der Berührungsflächen der Rollen und Sägebänder vor Verschmutzung und Abrieb, die etwa die Fluidlager überwunden haben, noch verbessert werden kann. Dadurch wird ein Flattern des Sägebandes und eine Lockerung seiner Spannung durch Wärmeausdehnung, wobei die Erhitzung des Sägebandes durch die durch die Verschmutzung des Sägebandes erhöhte Reibung gesteigert wird, verhindert.This has the particular advantage that the contact surfaces are protected the rollers and saw bands from dirt and abrasion, which about the fluid bearings have overcome, can still be improved. This will cause the saw band to flutter and a relaxation of its tension by thermal expansion, whereby the heating of the Saw band due to the increased friction caused by the soiling of the saw band will be prevented.
Vorzugsweise werden Spüldüsen verwendet, wobei zur Speisung der Spüldüsen das für die Fluidlager verwendete Fluid und/oder die Spülflüssigkeit benutzt werden kann.Rinsing nozzles are preferably used, the rinsing nozzles being fed the fluid used for the fluid bearings and / or the flushing liquid can be used can.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist die äußere Zylindermantelfläche der Umlaufrollen mit mindestens einer Nut versehen. Diese mindestens eine Nut hat insbesondere den Vorteil, daß sich in ihr diejenigen Schmutz- und Abriebteilchen sammeln, die durch die vorhergehenden Reinigungsmaßnahmen noch nicht erfaßt wurden, und somit den Umlauf des Sägebandes auf den Umlaufrollen nicht stören.In a preferred embodiment, the outer cylinder jacket surface of the revolving rollers provided with at least one groove. This has at least one groove in particular, the advantage that in it those dirt and abrasion particles collect that has not yet been recorded by the previous cleaning measures, and thus do not interfere with the rotation of the saw band on the circulating rollers.
In einer besonders bevorzugten Weiterbildung ist die mindestens eine Nut schraubenförmig ausgebildet. Dies hat insbesondere den Vorteil, daß die mechanische Belastung des Sägebandes durch die Nut geringer wird.In a particularly preferred development, the at least one is Groove formed helically. This has the particular advantage that the mechanical Load on the saw band through the groove is lower.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen noch näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 eine Vorderansicht einer erfindungsgemäßen Bandsäge Fig. 2 eine Schnittansicht der Fig. 1 an der Linie II - II Fig. 3 eine Aufsicht auf die Anordnung gemäß Fig. 2 Fig. 4 einen Schnitt an der Linie IV - IV in Fig. 2 in vergrößertem Maßstab Fig. 5 einen Schnitt an der Linie V - V in Fig. 2 in vergrößertem Maßstab Fig. 6 eine weitere Ausführungsform eines Fluidlagers gemäß der Erfindung im Schnitt, wobei das Fluidlager als Doppellager ausgebildet ist Fig. 7 einen Querschnitt durch ein Sägeband gemäß der Erfindung und Fig. 8 noch eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Fluidlagers im Schnitt In Fig. 1 weist eine insgesamt mit 1 bezeichnete Bandsäge einen gemeinsamen Sockel 3 auf. Auf dem Sockel ist auf einem festen Ständer 5 die erste Umlaufrolle 7 drehbar gehaltert. Parallel zur ersten Umlaufrolle und in der gleichen Tiefe im Verhältnis zur Zeichenebene ist auf einem beweglichen Ständer 9 in gleicher Höhe über dem gemeinsamen Sockel 3 wie die erste Umlaufrolle 7 eine zweite Umlaufrolle 11 drehbar gehaltert.The invention is described below on the basis of preferred embodiments explained in more detail with reference to the accompanying drawings. Show it: 1 shows a front view of a band saw according to the invention; FIG. 2 shows a sectional view 1 on the line II - II, FIG. 3 shows a plan view of the arrangement according to FIG. FIG. 4 shows a section on the line IV - IV in FIG. 2 on an enlarged scale Fig. 5 shows a section on the line V - V in FIG. 2 on an enlarged scale; FIG. 6 shows a further embodiment of a fluid bearing according to the invention in section, wherein the fluid bearing is designed as a double bearing FIG. 7 shows a cross section through a Saw band according to the invention and FIG. 8 yet another embodiment of a Fluid bearing according to the invention in section Bandsaw a common base 3. On the base is on a solid stand 5, the first revolving roller 7 is rotatably supported. Parallel to the first circulation roller and at the same depth in relation to the plane of the drawing is on a movable stand 9 at the same height above the common base 3 as the first revolving roller 7 a second revolving roller 11 rotatably supported.
Mit Hilfe einer Verstellvorrichtung 13, die an dem beweglichen Ständer 9 für die zweite Umlaufrolle angreift, ist dieser, und damit die zweite Umlaufrolle 11 auf einer Führung 15 für den beweglichen Ständer 9 senkrecht zur Drehachse der beiden Umlaufrollen 7 und 11 zur ersten Umlaufrolle 7 hin oder von dieser weg bewegbar.With the help of an adjusting device 13 attached to the movable stand 9 engages for the second revolving roller, it is this, and thus the second revolving roller 11 on a guide 15 for the movable stand 9 perpendicular to the axis of rotation two revolving rollers 7 and 11 towards the first revolving roller 7 or away from it.
Um die erste Umlaufrolle 7 und die zweite Umlaufrolle 11 zusammen ist eine Sägeband 17 gelegt. Durch die Verstellvorrichtung für den beweglichen Ständer 9 kann das Sägeband 17 gestrafft, bzw. beispielsweise zum Auswechseln, gelockert werden. Das Sägeband liegt mit seiner rückwärtigen, vom Betrachter abgewandten und den Ständern für die Umlaufrolle zugewandten Stirnseite an je einem kreisringförmigen Widerlager 19 bzw. 21, das mit der ersten Umlaufrolle 7 bzw. der zweiten Umlaufrolle 11 verbunden ist, an. Diese Widerlager sind vorzugsweise ebenso wie die Mantelflächen der Umlaufrollen aus einem hochverschleißfesten Material.To the first revolving roller 7 and the second revolving roller 11 together a saw band 17 is placed. With the adjustment device for the movable stand 9, the saw band 17 can be tightened or, for example, loosened for replacement will. The saw band lies with its rear, facing away from the viewer and the end face facing the stand for the revolving roller on each one circular ring-shaped Abutment 19 or 21, the one with the first revolving roller 7 and the second revolving roller 11 is connected. These abutments are preferably just like the lateral surfaces of the revolving rollers made of a highly wear-resistant material.
Die erste Umlaufrolle 7 wird durch einen Antriebsmotor 23 in Richtung des Pfeiles 25, in der Zeichnung also entgegen dem Uhrzeigersinn, angetrieben. Dadurch wird das obere Trum 27, das im vorliegenden Beispiel zugleich das sägende Trum ist, zum ziehenden Trum während das untere, rücklaufende Trum 29 zum losen Trum wird.The first revolving roller 7 is driven by a drive motor 23 in the direction of the arrow 25, ie counterclockwise in the drawing, driven. Through this the upper run 27, which in the present example is also the saw run, to the pulling strand while the lower, returning strand 29 becomes a loose strand.
Die vordere, mit einer Schneidbeschichtung (vergl. Fig. 7) versehene, Stirnkante des Sägebands 17 schneidet die vor der Zeichnungsebene der Fig. 1 gelegenen und nur gestrichelt angedeuteten Kristalle 31, 32 und 33 . Jeweils zwischen zwei Schnittstellen, also den Stellen an denen das Sägeband 17 die Kristalle 31 - 33 schneidet, und zwischen den jeweils den Umlaufrollen 7 und 11 am nächsten gelegenen Schnittstellen und diesen Umlaufrollen, sind auf Lagerständern 35, die ihrerseits auf Sockeln 37 ruhen, insgesamt mit 39 bezeichnete Fluidlager für das obere, sägende Trum 27 des Sägebandes 17 angeordnet. In Fig. 1 sind auf den Lagern jeweils obere Zuführungen 41 für das Fluid für die obere Lagerhälfte sichtbar. Die Zuführungsleitungen sind nicht gezeigt.The front, provided with a cutting coating (see Fig. 7), The front edge of the saw band 17 intersects the one located in front of the plane of the drawing in FIG. 1 and crystals 31, 32 and 33 only indicated by dashed lines. Between two each Interfaces, that is to say the points at which the saw band 17 removes the crystals 31-33 intersects, and between the respective revolving rollers 7 and 11 closest Interfaces and these revolving rollers are on storage stands 35, which in turn rest on sockets 37, a total of 39 designated fluid bearing for the upper, sawing Strand 27 of the saw band 17 is arranged. In Fig. 1 are each upper on the bearings Inlets 41 for the fluid for the upper half of the bearing are visible. The supply lines are not shown.
In Fig. 2, die einen Schnitt in Fig. 1 entlang der Linie II ; II in der in Fig. 1 gezeigten Blickrichtung (von links nach rechts in der Zeichnung) zeigt, ist zu ersehen, daß das Lager 39 (zur Vereinfachung der Herstellung, Montage und Wartung) eine obere Hälfte 43 und eine untere Hälfte 45 aufweist. Das eigentliche Lagerteil 39 überragt den Lagerständer 35 so weit in der Erstreckungsrichtung der Umlaufrollen, daß es das obere Trum 27 des Sägebandes 17 aufnehmen kann, und das untere Trum 29 genug Raum hat, ungestört vom Lagerständer 35 unter dem Lager 39 zurückzulaufen.In Fig. 2, which is a section in Fig. 1 along the line II; II in the viewing direction shown in Fig. 1 (from left to right in the drawing) shows, it can be seen that the bearing 39 (to simplify manufacture, assembly and Maintenance) has an upper half 43 and a lower half 45. The real one Bearing part 39 protrudes beyond the bearing stand 35 so far in the direction of extent of the Revolving rollers that it can accommodate the upper run 27 of the saw band 17, and that The lower run 29 has enough space undisturbed by the bearing stand 35 under the bearing 39 to run back.
Aus Fig. 2 ist auch ersichtlich, daß der Bereich des Schneidbelags 47 am Sägeband 17 sowohl die Umlaufrolle 11 wie die Lagerführung überragt.From Fig. 2 it can also be seen that the area of the cutting surface 47 on the saw band 17 protrudes over both the circulating roller 11 and the bearing guide.
Vor der Bandsäge 1, in Fig. 2 also rechts, ist eine insgesamt mit 2 bezeichnete Kristallhaltevorrichtung angeordnet. Das von der Bandsäge zu schneidende Werkstück, im Ausführungsbeispiel ein zu schneidender Kristall 33 sowie die nicht zu sehenden Kristalle 31 und 32, sind durch Klebeverbindungen 51 auf Kristallträgern 53 (jeweils nur einer in Fig. 2 zu sehen) aufgeklebt. Der Kristallträger besteht aus Glas. Er wird jedes Mal bei einem Schneidgang etwas mit eingeschnitten, so daß sich die abgetrennten Scheiben des Kristalles ihrerseits leicht vom Kristallträger trennen lassen.In front of the band saw 1, ie on the right in FIG. 2, there is a total of 2 designated crystal holding device arranged. The one to be cut by the band saw Workpiece, in the exemplary embodiment one to be cut crystal 33 as well as the not visible crystals 31 and 32, are by adhesive connections 51 glued to crystal carriers 53 (only one can be seen in FIG. 2). Of the Crystal carrier is made of glass. He becomes aware of something every time during a cutting pass cut so that the severed slices of the crystal in turn can be easily separated from the crystal carrier.
Der Kristallträger 53 ist seinerseits sicher an einem Schlitten 55 gehaltert. Der Schlitten 55 ist durch eine Hydraulik 57 auf einem Führungsteil 59 senkrecht zu den Hauptlaufrichtungen der Bandsäge 17 in einer Ebene parallel zu den Trumen 27 und 29 in Richtung auf das Sägeband 17 und von diesem weg wie durch den Pfeil 61 angedeutet, verschieblich. Statt der Hydraulik 57 kann beispielsweise auch ein Schrittmotor verwendet werden. Mit Hilfe des Vorschubs durch die Hydraulik 57 wird der zu schneidene Kristall 33 zu Beginn des Schneidvorganges an das obere Trum 29 herangeführt und während des Schneidvorgangs für ein immer tieferes Eindringen der Bandsäge in den Kristall daran angedrückt. The crystal carrier 53 is in turn secure on a slide 55 held. The slide 55 is mounted on a guide part 59 by a hydraulic system 57 perpendicular to the main directions of travel of the band saw 17 in a plane parallel to the strands 27 and 29 in the direction of the saw band 17 and away from this as through indicated by the arrow 61, displaceable. Instead of the hydraulic 57, for example a stepper motor can also be used. With the help of the feed through the hydraulics 57 the crystal 33 to be cut is attached to the upper one at the beginning of the cutting process Strand 29 brought up and during the cutting process for ever deeper penetration the band saw pressed into the crystal on it.
Das Führungsteil 59 ist seinerseits vorzugsweise wiederum mit Hilfe eines Schrittmotors senkrecht zur durch den Vorschub 61 des Schlittens 55 und die Laufrichtung des oberen Trums 27 gebildeten Ebene, im vorliegenden Falle also senkrecht nach oben, in oder aus einem Grundteil 63 der Kristallhaltevorrichtung 2, das seinerseits über einen Sockel 65 auf der Bodenfläche, auf der auch der gemeinsame Sockel 3 der Bandsäge 3 steht, abgestützt ist, verschieblich. Auf diese Weise lassen sich an den Kristallen 31, 32 und 33 nacheinander mehrere parallele Schnitte durchführen. The guide part 59 is in turn preferably with the aid a stepper motor perpendicular to the feed 61 of the carriage 55 and the Running direction of the upper run 27 plane formed, in the present case that is perpendicular upwards, in or out of a base part 63 of the crystal holding device 2, which in turn via a base 65 on the floor surface, on which the common base 3 of the Bandsaw 3 stands, is supported, displaceable. In this way you can get on the crystals 31, 32 and 33 successively carry out several parallel cuts.
Auf diese Weise kann der Kristall oder das sonst zu trennende Werkstück in zahlreiche dünne planparallele Platten getrennt werden. In this way, the crystal or the workpiece otherwise to be separated be separated into numerous thin plane-parallel plates.
Aus Fig. 3 ist deutlicher ersichtlich, wie mit Hilfe der Hydraulik 57 die über die Klebeverbindungen 51 an den Kristallträgern 53 befestigten Kristalle 31, 32 und 33 gleichzeitig auf das Sägeband 17 zubewegt werden können und somit durch dessen Lauf in Richtung der Pfeile 69 gleichzeitig geschnitten werden können. Es wird somit deutlich, daß die Verwendung einer Bandsäge den Vorteil hoher Schnittgeschwindigkeit (Bandgeschwindigkeit ca. 30 m/s), gleichzeitiger Bearbeitung mehrerer Werkstücke auch großer Abmessungen, eines permanenten Eingriffes des Werkstücks am Werkstück bei einem im Verhältnisse dazu geringen maschinellen Aufwand mit sich bringt. From Fig. 3 it can be seen more clearly how with the help of the hydraulics 57 the crystals attached to the crystal carriers 53 via the adhesive connections 51 31, 32 and 33 can be moved towards the saw band 17 at the same time and thus can be cut simultaneously by running in the direction of arrows 69. It can thus be seen that the use of a band saw has the advantage of high cutting speed (Belt speed approx. 30 m / s), simultaneous processing of several workpieces also large dimensions, permanent engagement of the workpiece on the workpiece with relatively little mechanical effort brings.
Die Stellung der Kristalle 31 - 33 gegen Ende des Schnittvorgangs ist auf dem Sägeband 17 gestrichelt angedeutet.The position of the crystals 31 - 33 towards the end of the cutting process is indicated by dashed lines on the saw band 17.
Durch die Lager 39, die sich je zwischen zwei zu schneidenden Werkstücken und zusätzlich noch zwischen den äußeren Werkstücken und den jeweils benachbarten Umlaufrollen befinden, ist in allen Bereichen eine sichere Bandführung gewährleistet.Through the bearings 39, which are each between two workpieces to be cut and additionally between the outer workpieces and the adjacent ones There are circulating rollers, safe tape guidance is guaranteed in all areas.
Aufbau und Funktionsweise der Lager werden nachfolgend noch näher anhand der Fig. 4 und 6 erläutert.The structure and functionality of the bearings are explained in more detail below explained with reference to FIGS. 4 and 6.
Fig. 4 zeigt einen Schnitt an der Linie IV - IV in Fig. 2 in vergrößertem Maßstab, also eine Ansicht der Vorderfläche des Lagers und einen Schnitt durch das durch das Lager hindurchgehende Sägeband 17. Aus der oberen Hälfte 43 des Lagers und der unteren Hälfte 45 des Lagers ist jeweils über die ganze Breite, aber nur über einen Teil der Länge und nur bis zu einer geringen Tiefe das Material entfernt. Die so gebildeten Vertiefungen sind beim Zusammenfügen der Lagerhälften zum Lager 39 gegeneinandergekehrt, so daß ein nach 3 von 4 Seiten offener Hohlraum in Form einer tiefen, durchgehenden Nut geringer Nutbreite entsteht. Zusätzlich sind, wie weiter unten geschildert, noch Vertiefungen in den Wänden der Nut vorgesehen, die ihre Form im Innern entsprechend abwandeln.FIG. 4 shows a section on the line IV - IV in FIG. 2 on an enlarged scale Scale, i.e. a view of the front face of the bearing and a section through that saw band 17 passing through the bearing. From the upper half 43 of the bearing and the lower half 45 of the bearing is each over the full width, but only the material is removed over part of the length and only to a shallow depth. The depressions formed in this way are when the bearing halves are joined together to form the bearing 39 facing each other, so that a cavity open on 3 of 4 sides in the form a deep, continuous groove with a narrow groove width is created. Additionally are how Described further below, recesses are provided in the walls of the groove, which change their shape inside accordingly.
Jedoch sind die öffnungen dieser Nut nach außen nur schmale Schlitze. Das Sägeband wird durch die seitlichen Schlitze 71 und 73, die einander in Laufrichtung des oberen Trums 27 gegenüberliegen, hindurchgeführt. Der durch die beiden Lagerhälften 43 und 45 gebildete nutartige Hohlraum ist wie gesagt auch nach vorne durch den sich unterbrechungslos an die Seitenschlitze 71 und 73 anschliessenden vorderen Schlitz 75 offen. Die Tiefe des Hohlraums in rückwärtiger, d.h. dem Schlitz 75 entgegengesetzter, Richtung ist jedoch so bemessen, daß das Sägeband 17, wenn es bis an die Hinterfläche (den Boden) der waagrechten Nut geführt wird, mit seiner Breite aus dem vorderen Schlitz zumindest mit dem mit dem Schneidbelag 47 versehenen Kantenteil des Sägebandes 17 herausragt. Dabei stützt sich die der mit dem Schneidbelag 47 versehenen Stirnseite entgegengesetzte Stirnseite vorzugsweise auf einer auswechselbaren Hartmetall-Leiste 77, mit der der Boden der Nut versehen ist, ab.However, the openings of this groove are only narrow slots towards the outside. The saw band is through the side slots 71 and 73, which are facing each other in the direction of travel of the upper run 27 are opposite, passed through. The one through the two halves of the camp 43 and 45 formed groove-like cavity is as I said forward through the uninterruptedly adjoining the side slits 71 and 73 front Slot 75 open. The depth of the cavity in the rear, i.e. opposite the slot 75, However, the direction is such that the saw band 17 when it reaches the rear surface (the bottom) of the horizontal groove is guided, with its width from the front Slot at least with the edge part of the saw band provided with the cutting surface 47 17 protrudes. The end face provided with the cutting facing 47 is supported in this case opposite end face preferably on an exchangeable hard metal strip 77, with which the bottom of the groove is provided, from.
Dadurch, daß der mit dem Schneidbelag 47 versehene und dadurch verdickte Kantenbereich des Sägebandes 17 nicht durch die Schlitze 71, 73 oder 75 geführt wird, können diese der geringeren Dicke der restlichen Breite des Sägebandes angepaßt werden. Die Dicke eines zum Sägen von Halbleiterkristallen hinreichend dünnen Sägebandes beträgt beispielsweise 0,2 mm. Die Breite der Spalten 71, 73 und 75 des Lagers ist so bemessen, daß zu beiden Seiten der Dicke des Sägebandes 17 noch ein Abstand zwischen 10 und 50 ßm verbleibt, so daß die Gesamtbreite des Spaltes im vorliegenden Falle zwischen 220 und 250 am liegt. Die gewählte Lösung hat einerseits den Vorteil, daß das der Nut zugeführte Fluid nicht in großem Ausmaß aus dem Lager auslaufen kann, so daß leichter ein gewisser Druck innerhalb des Lagers aufrecht erhalten werden kann und der Verlust an Fluid begrenzt ist. Andererseits erlaubt das Fluidlager, das Sägeband 17 ohne Berührung mit den festen Bestandteilen des Lagers zu führen, so daß Unebenheiten des Bandes und eventueller Abrieb die Führung nicht verschlechtert.Because the one provided with the cutting coating 47 and thereby thickened The edge area of the saw band 17 is not guided through the slots 71, 73 or 75 these can be adapted to the smaller thickness of the remaining width of the saw band will. The thickness of a saw band that is thin enough for sawing semiconductor crystals is, for example, 0.2 mm. The width of columns 71, 73 and 75 of the bearing is dimensioned so that on both sides of the thickness of the saw band 17 there is still a distance between 10 and 50 .mu.m remains, so that the total width of the gap in the present case is between 220 and 250 am. The chosen solution has the advantage that the fluid supplied to the groove cannot leak out of the bearing to a large extent, so that it is easier to maintain a certain pressure within the bearing and the loss of fluid is limited. On the other hand, the fluid bearing allows to guide the saw band 17 without touching the solid parts of the bearing, so that unevenness of the belt and possible abrasion do not impair the guidance.
Das Fluid wird zu den, durch das in der Mitte der Nut hindurch geführte Sägeband 17 gebildeten, 2 Hälften der Nut getrennt durch eine erste (in der Anordnung des gewählten Ausführungsbeispiels obere) Zuführung 41 und durch eine zweite (in der Anordnung des gewählten Ausführungsbeispiels untere) Zuführleitung 42 zugeführt, die in nicht gezeigter Weise durch Zwischenzuführleitungen mit einem nicht gezeigten Reservoir für das Fluid, vorzugsweise die für die Säge verwendete Kühlflüssigkeit, verbunden sind. Die Kühlflüssigkeit und damit das Fluid ist im gewählten Ausführungsbeispiel entsalztes Wasser. Das Fluid wird den beiden Hälften der Lagerkammer (Nut) unter Druck zugeführt, wobei der Druck für die obere und untere Zuführleitung 41 bzw. 42 je so gewählt wird, daß das Band ggf. unter Berücksichtigung der Schwerkraft im Lager mit seinen Hauptflächen berührungsfrei und nur an der hinteren Stirnseite gegen die Hartmetall-Leiste 77 abgestützt, geführt wird.The fluid becomes the one passed through in the middle of the groove Saw band 17 formed, 2 halves of the groove separated by a first (in the arrangement of the selected embodiment upper) feed 41 and through a second (in the arrangement of the selected exemplary embodiment is fed to the lower) feed line 42, in a manner not shown by intermediate feed lines with a not shown Reservoir for the fluid, preferably the cooling liquid used for the saw, are connected. The cooling liquid and thus the fluid is in the selected exemplary embodiment desalinated water. The fluid is under the two halves of the bearing chamber (groove) Pressure supplied, with the pressure for the upper and lower supply lines 41 and 42 is chosen so that the band, if necessary, taking into account the force of gravity in the warehouse with its main surfaces contact-free and only on the rear face supported against the hard metal strip 77, is performed.
Zur besseren Verteilung des Fluids und damit zur Ausübung eines gleichmäßigeren Druckes auf die beiden Seiten des Sägebandes 17 ist die im Lager gebildete nutartige Lagerkammer im Inneren in einer Richtung senkrecht zur Fläche des Sägebandes 17 nach oben und unten kuppelartig erweitert. Diese Erweiterung ist im gezeigten Ausführungsbeispiel kugelkalottenförmig, sie kann aber beispielsweise auch kissenförmig oder tonnenförmig sein. Wichtig ist hierbei, daß sich der Rand der gebildeten kuppelförmigen Aushöhlung nicht bis zum Rand des oberen bzw. unteren Lagerteils erstreckt, so daß die engen Schlitze 71, 73 und 75 als öffnung der Lagerkammer erhalten bleiben. Die obere Zuführung 41 und die untere Zuführung 42 für das Fluid sind dann zweckmäßig zur Erzielung einer günstigen und gleichmäßigen Druckverteilung so angeordnet, daß ihr Eintrittspunkt in die Lagerkammer 79 jeweils im Scheitel der gebildeten Aushöhlung liegt, wie gezeigt.For better distribution of the fluid and thus for exercising a more even Pressure on both sides of the saw band 17 is the groove-like formed in the camp Storage chamber inside in a direction perpendicular to the face of the saw band 17 up and widened like a dome at the bottom. This extension is in the embodiment shown, spherical cap-shaped, but it can, for example also be pillow-shaped or barrel-shaped. It is important here that the edge the dome-shaped cavity formed does not extend to the edge of the upper or lower one Bearing part extends so that the narrow slots 71, 73 and 75 as an opening of the storage chamber remain. The upper feed 41 and the lower feed 42 for the fluid are then useful to achieve a favorable and even pressure distribution arranged so that their entry point into the storage chamber 79 in each case in the apex of the cavity formed as shown.
Aus Fig. 5 ist noch deutlicher ersichtlich, daß die Erweiterung der Nut zur Lagerkammer 79 sich nicht bis zum Rande erstreckt, so daß die engen Eintritts- bzw. Austrittsschlitze 71 bzw. 73 erhalten bleiben. Die Erstreckung des Lagers in Laufrichtung des Sägebandes 17, also die Breite des oberen bzw. unteren Lagerteils 43 bzw. 45 beträgt beispielsweise 50 mm. Der Abstand der Scheitelpunkte der in der Nut gebildeten Aushöhlungen, d.h. der Abstand der Eintrittspunkte der Führungen 41 und 42 für das Fluid beträgt beispielsweise zwischen 2 und 5 mm.From Fig. 5 it can be seen more clearly that the extension of the Groove to the storage chamber 79 does not extend to the edge, so that the narrow entry or exit slots 71 and 73 are retained. The extension of the camp in Running direction of the saw band 17, that is, the width of the upper or lower bearing part 43 or 45 is 50 mm, for example. The distance between the vertices of the Groove formed cavities, i.e. the distance between the entry points of the guides 41 and 42 for the fluid is between 2 and 5 mm, for example.
Fig. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform eines Fluidlagers.Fig. 6 shows a further embodiment of a fluid bearing.
Dabei besteht das Fluidlager im wesentlichen aus 2 unmittelbar aneinander grenzenden Lagern der in Fig. 4 und 5 gezeigten Art.The fluid bearing consists essentially of two directly adjacent to one another adjacent bearings of the type shown in Figs. 4 and 5.
Durch die größere, beispielsweise 100 mm betragende Längserstrekkung der Lager in Laufrichtung des Sägebandes 17 wird eine noch sicherere Führung des Sägebandes erreicht, wobei die Ausbildung mit 2 Lagerkammern 79 und 79', die durch getrennte, aber durch eine je gemeinsame Zuführleitung gespeiste Zuführleitungen 41 und 41 bzw. 42 und 42' versorgt werden, die Abdichtung und die Stabilisierung des Druckes im Lager erleichtert.Due to the greater longitudinal extension, for example 100 mm the bearing in the direction of the saw band 17 is an even safer guidance of the Saw band achieved, the training with 2 storage chambers 79 and 79 ', which through separate feed lines fed by a common feed line 41 and 41 or 42 and 42 'are supplied, the sealing and the stabilization of the pressure in the warehouse.
Fig. 7 zeigt einen Querschnitt durch ein Sägeband. Das Sägeband 17 weist eine Breite von ca. 120 mm und eine Dicke von ca. 0,2 mm auf. Die Länge des oberen Trums 27 und des unteren Trums 29 beträgt je 1,5 m, der Durchmesser der Umlaufrollen beträgt je 0,22 m, die Gesamtlänge des Sägebandes ca. 3,7 m. Das Sägeband wird auf den Umlaufrollen durch die Verstellvorrichtung 13 vorgespannt.Fig. 7 shows a cross section through a saw band. The saw band 17 has a width of approx. 120 mm and a thickness of approx. 0.2 mm. The length of the the upper run 27 and the lower run 29 are each 1.5 m, the diameter of the revolving rollers is 0.22 m each, the total length of the saw band approx. 3.7 m The saw band is pretensioned on the revolving rollers by the adjusting device 13.
Der von Schneidstoffbelag bedeckte Kantenbereich ist ungefähr 2 mm breit. Bevorzugt ist der Schneidstoffbelag 47 über die Länge des Sägebandes 17 durchgehend aufgebracht. Dadurch wird das Sägeband 17 mechanisch gleichmäßiger beansprucht. Die Schneidkante kann aber auch mit einem periodisch unterbrochenen Schneidstoffbelag besetzt sein. Durch den Schneidstoffbelag wird das Sägeband in diesem Bereich auf 0,4 mm verdickt. Als Schneidstoffbelag dient beispielsweise Diamant, Borazon usw.The edge area covered by the cutting material coating is approximately 2 mm wide. The cutting material coating 47 is preferably continuous over the length of the saw band 17 upset. As a result, the saw band 17 is mechanically stressed more evenly. The cutting edge can, however, also have a periodically interrupted cutting material coating be occupied. The saw band is opened in this area by the cutting material coating 0.4 mm thick. For example, diamond, borazon etc. are used as the cutting material coating.
In Fig. 8 ist noch eine weitere Ausführungsform der Erfindung im Schnitt gezeigt. Der Hohlraum 79'' im Lager 39' ist hier als durchgehende Schlitzbohrung ausgebildet. Dieser-Schlitz kann z.B. ins Lager eingefräst sein. An seinem für die der Schneidkante gegenüberliegende Kante des Sägebandes vorgesehenen Ende ist wiederum ein Widerlager 77 aus Hartmetall vorgesehen. Im Abstand der Breite des Sägebandes vom Widerlager 77 ist der Schlitz 79' 1 kreisförmig zu einer runden Bohrung 80, die also eine Nut im Lager darstellt, erweitert. Diese Erweiterung dient zur Aufnahme der durch den Schneidbelag 47 auf dem Sägeband 17 gebildeten Verdickung. Dem Hohlraum wird das Fluid, das das Sägeband 17 führt, wieder in den beiden durch das Sägeband gebildeten Hälften durch die Zuführungen 41 bzw.In Fig. 8 still another embodiment of the invention is in section shown. The cavity 79 ″ in the bearing 39 ′ is here as a continuous slot bore educated. This slot can be milled into the bearing, for example. At his for them the edge of the saw band opposite the cutting edge is again provided an abutment 77 made of hard metal is provided. At a distance equal to the width of the saw band of the abutment 77, the slot 79 '1 is circular to a round hole 80, which therefore represents a groove in the camp, expanded. This extension is used for recording the thickening formed by the cutting coating 47 on the saw band 17. The cavity the fluid that guides the saw band 17 is returned to the two by the saw band halves formed by the feeders 41 or
42 zugeführt. Die Schlitzbreite im Verhältnis zur Sägebanddicke ist nicht maßstäblich, auch hier bleibt zwischen Sägeband und den Wänden des Lagers nur ein ganz geringer Zwischenraum. Auch bei dieser Ausführungsform können aber Erweiterungen vorgesehen sein, die hier jedoch nicht gezeigt sind. Zur leichteren Erzeugung dieser Erweiterungen sowie für das Auswechseln des Sägebandes wäre das Lager 39' dann wieder mindestens zweistückig auszubilden. Die Nut 80 ermöglicht, auf die Öffnung 75 zu verzichten, was insgesamt zu einer erhohen Stabilität des Lagers beiträgt.42 supplied. The slot width in relation to the saw band thickness is not to scale, here too remains between the saw band and the walls of the warehouse only a very small gap. However, in this embodiment too Extensions may be provided, but these are not shown here. For the easier That would be the creation of these extensions and the replacement of the saw band Bearings 39 'then again to be designed in at least two pieces. The groove 80 enables to dispense with the opening 75, which overall leads to an increased stability of the Camp contributes.
Vor der Auflaufstelle des oberen Trums 27 auf die erste Umlaufrolle 7 bzw. des unteren Trums 29 auf die zweite Umlaufrolle 11 sind in unmittelbarer Nähe der Auflauf stelle Düsen 81 sowohl gegenüber der Innenseite (d.h. der den Umlaufrollen zugewandten Seite) als auch gegenüber der Haubenseite des Sägebandes 17 vorgesehen. Aus diesen Düsen kann zu Reinigungszwecken ein Fluid auf die beiden Seiten des Sägebandes 17 gesprüht werden.Dieses Fluid ist vorzugsweise das auch für die Lager 39 verwendete Fluid, insbesondere also die Kühlflüssigkeit für die Bandsäge 1. Das Fluid wird den Düsen 81 über nicht gezeigte Leitungen aus einem nicht gezeigten Reservoir zugeführt. Neben den und statt der Düsen können auch Bürsten und/ oder Abweiser vorgesehen sein. Durch diese zusätzliche Reinigung bleibt die Laufgenauigkeit noch besser erhalten.Before the run-up point of the upper run 27 on the first revolving roller 7 and the lower run 29 on the second revolving roller 11 are in the immediate vicinity Near the curb place nozzles 81 both opposite the inside (i.e. that of the revolving rollers facing side) and opposite the hood side of the saw band 17 is provided. From these nozzles, a fluid can be applied to both sides of the for cleaning purposes Saw band 17. This fluid is preferably that also used for the bearings 39 Fluid, in particular the cooling liquid for the band saw 1. The fluid is fed to the nozzles 81 via lines not shown from a reservoir, not shown. In addition to and instead of the nozzles, brushes and / or deflectors can also be provided be. With this additional cleaning, the running accuracy is maintained even better.
Die erfindungsgemäße Anordnung ist nicht auf die in den Fig. 1 bis 3 gezeigte Anordnung im Raum beschränkt. Insbesondere kann die Anordnung so gewählt werden, daß entweder Fig.1 oder Fig. 2 eine Aufsicht bilden. Im ersten Fall läge die Umlaufbahn des Bandes in einer horizontalen Ebene. Dies hätte den Vorteil, daß die Hauptflächen des Bandes vertikal gerichtet wären und somit Abrieb und Fluid leichter vom Band zu entfernen sind, da ihre Entfernung durch die Schwerkraft unterstützt wird. Auch ist die Relativbewegung von Bandsäge 1 und Haltevorrichtung 2 zueinander nicht auf eine Bewegung der Haltevorrichtung beschränkt.The arrangement according to the invention is not limited to that shown in FIGS 3 arrangement shown limited in space. In particular, the arrangement can be chosen in this way that either Fig.1 or Fig. 2 form a plan view. In the first case it would be the orbit of the belt in a horizontal plane. This would have the advantage that the main surfaces of the belt would be directed vertically and thus abrasion and fluid are easier to remove from the tape, as their removal is aided by gravity will. There is also the relative movement of the band saw 1 and the holding device 2 to one another not limited to a movement of the holding device.
Verunreinigungen, wie z.B. Abrieb, die etwa trotz des zwischen der letzten Schnittstelle und der Auflaufstelle des Sägebandes auf die Umlaufrolle angebrachten Lagers und trotz der Reinigung durch die Düsen oder die anderen angegebenen Mittel zwischen Sägeband 17 und die Umlaufrollen geraten, werden durch mindestens eine Nut, deren Ausgang in Fig. 1 auf der Endfläche der ersten Umlaufrolle 7 stark vergrößert gezeichnet und mit 83 bezeichnet ist, abgeführt. Die mindestens eine Nut wird schraubenförmig um die Walze geführt, um die mechanische Belastung zu vermindern.Impurities such as abrasion, for example, in spite of the between the last interface and the contact point of the saw band attached to the revolving roller Storage and despite cleaning by the nozzles or other specified means get between the saw band 17 and the revolving rollers are by at least one Groove, the exit of which is greatly enlarged in FIG. 1 on the end face of the first revolving roller 7 is drawn and denoted by 83, discharged. The at least one groove becomes helical guided around the roller to reduce mechanical stress.
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| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3036406A1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2603508A1 (en) * | 1986-09-09 | 1988-03-11 | Ryowa & Co Ltd | MECHANICAL BAND SAW |
| WO1997032698A1 (en) * | 1996-03-06 | 1997-09-12 | Heinolan Sahakoneet Oy | Cutter guide for a sawing machine |
| DE102008037051A1 (en) * | 2008-08-09 | 2010-02-11 | Jacobs University Bremen Ggmbh | Wafer separating method for solar panel, involves guiding separation tool i.e. saw, in profile parallel to normal direction by guiding device, and separating wafer from square-shaped ingot in normal direction |
| DE112009002528B4 (en) | 2008-11-07 | 2023-08-17 | Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. | Ingot cutting device and ingot cutting method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3452734A (en) * | 1968-08-19 | 1969-07-01 | Continental Machines | Precision band-type cutting machine |
-
1980
- 1980-09-26 DE DE19803036406 patent/DE3036406A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3452734A (en) * | 1968-08-19 | 1969-07-01 | Continental Machines | Precision band-type cutting machine |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2603508A1 (en) * | 1986-09-09 | 1988-03-11 | Ryowa & Co Ltd | MECHANICAL BAND SAW |
| WO1997032698A1 (en) * | 1996-03-06 | 1997-09-12 | Heinolan Sahakoneet Oy | Cutter guide for a sawing machine |
| DE102008037051A1 (en) * | 2008-08-09 | 2010-02-11 | Jacobs University Bremen Ggmbh | Wafer separating method for solar panel, involves guiding separation tool i.e. saw, in profile parallel to normal direction by guiding device, and separating wafer from square-shaped ingot in normal direction |
| DE112009002528B4 (en) | 2008-11-07 | 2023-08-17 | Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. | Ingot cutting device and ingot cutting method |
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