DE3004331C2 - Zu Dickenscherungsschwingungen anregbare Resonatorplatte - Google Patents
Zu Dickenscherungsschwingungen anregbare ResonatorplatteInfo
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Description
8. Resonatorplatte nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die
Anregungselektroden jeweils den gesamten, nicht abgeflachten Bereich der großen Oberflächen
bedecken.
60
Die Erfindung bezieht sich auf eine zu Dickenscherungsschwingungen
anregbare piezoelektrische Resonatorplatte, die auf jeder ihrer großen Oberflächen mit
einer Anlegungselektrode versehen ist und die wenigstens in Teilbereichen ihres Randes eine zum Rand der
Platte hin abnehmende Dicke aufweist (Randabflachung), wobei jeweils im Bereich einer solchen
Randabflachung ein Anschlußorgan eine der Anregungselektroden kontaktiert.
Eine solche Resonatorplatte ist z, B, aus der DE-OS 28 06 435 bekannt Mit Hilfe solcher randseitig abgeflachter
Platten ist es möglich, die Abmessungen des Resonators in der Ebene seiner großen Oberflächen zu
verkleinern, ohne daß dadurch die Funktionstüchtigkeit des Resonators durch Störungen, die insbesondere von
den in Randbereichen den Resonator erfassenden und die Anregungselektroden kontaktierenden Anscrnußorganen
verursacht werden können, beeinträchtigt wird. Da jedoch im Bereich der Abflachungen zu deren
Herstellung Resonator-Material abgetragen werden muß, können die Anregungselektroden bzw. von den
Anregungselektroden zu den Angriffspunkten der A.-.schlußorgane führende Anschlußelektroden erst
nach dem Einarbeiten der Abflachungen auf den Resonator aufgebracht werden, da die Elektroden sonst
im Bereich der Abflachungen zusammen m?t dem Resonator-Material wieder abgetragen werden wurden.
Bei bestimmten Herstellungsabläufen für solche Resonatoren ist es jedoch erwünscht die Elektroden
vor dem Einarbeiten der Abflachungen auf den Resonator aufbringen zu können.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Resonatorplatte der eingangs genannten Art so auszubilden, daß
die randseitigen Abflachungen auch noch nach dem Aufbringen der Elektroden auf die Resonatorplatte in
diese eingearbeitet werden können.
Erfindungsgemäß ergibt sich die Lösung dieser Aufgabe dadurch, daß die Randabflachungen zumindest
in dem Bereich, in dem eine Verbindung zwischen dem Anschlußorgan und einer Anregungselektrode vorgesehen
ist, jeweils nur in die Seite der Resonatorplatte eingearbeitet sind die von der jeweils zu kontaktierenden
Anregungselektrode abgewandt ist
Auf diese Weise werden zumindest in den Randabschnitten, in denen die beiden zum Anschluß je einer
Anregungselektrode vorgesehenen Anschlußorgane die Resonatorplatte erfassen, Randabflrshungen geschaffen,
die bei dem einen Anschlußorgan nur auf der einen Seite und bei dem anderen AnschluQorgan nur auf der
anderen Seite der Resonatorplatte vorhanden sind, so daß immer eine Resonatorseite zumindest im Bereich
eines Anschlußorganes von den Abflachungen unbeeinträchtigt bleibt Daher können aber auch die auf den
jeweils unbeeinträchtigten Resonatorseiten vorgesehenen Elektrodenflächen unverändert bis zum Rand der
Platte reichen. Vorteilhaft werden dabei sogar Elektrodenflächen, die ursprünglich bis zum Rand der
Resonatorplatte reichten, auf derjenigen Seite des Resonators wieder von diesem randseitig entfernt, auf
der das in dem entsprechenden Randabschnitt die
Resonatorplatte erfassende und randseitig umfassende Anschlußorgan keinen Kontakt mit der auf dieser Seite
der Resonatorplatte vorgesehenen Anregungselektrode herstellen soll, so daß z.B. keine Masken beim
Aufbringen der Elektroden benötigt werden.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen,
daß die großen Oberflächen der Resonatorplatte durch die Abflachungen parallelogrammartig gegeneinander
verschoben sind und daß die parallelogrammartige Verschiebung bei einer aus Quarz bestehenden
Resonatorplatte mit rechteckigem Umriß, deren große Oberflächen sich parallel zur kristallographischen
x, z'-Ebene erstrecken, in z'-Richtung vorgesehen ist, oder daß bei rechteckförmiger Plattenkonfiguration die
Randabflachungen jeweils Anschlußorgan-Randab-
schnitten zugeordnet sind, die nebeneinander auf derselben Randseite der Resonatorplatte vorgesehen
sind, daß bei einer aus Quarz bestehenden Resonatorplatte mit rechteckigem Umriß, deren große Oberflächen
sich parallel zur kristallographischen Λ,ζ'-Ebene
erstrecken, die den Anschlußorgan-Randabschnitten zugeordneten Randabflachungen an einer parallel zur
jr-Richtung sich erstreckenden Randseite der Resonatorplatte
vorgesehen sind, daß die Randabflachungen einen konkaven, konvexen oder gestuften Verlauf
aufweisen, daß sich die Abflachungen nur über einen Teil der Dicke der Resonatorplatte erstrecken und daß
schließlich die Anregungselektroden jeweils den gesamten, nicht abgeflachten Bereich der großen Oberflächen
bedecken. 1
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung
anhand von sechs Figuren noch näher erläuterL Dabei zsigt, jeweils nur grob schematisch, unter
Weglassung aller nicht unbedingt zum Verständnis der Erfindung erforderlichen Einzelheiten und nicht maßstabgerecht,
F i g. 1 in Schrägsicht eine als Parallelepiped ausgebildete
Resonatorplatte,
Fig.2 die Resonatorplatte entsprechend Fig. 1 von
der Seite her gesehen,
F i g. 3 eine Resonatorplatte in Schrägsicht, mit nur an
einer Randseite vorgesehenen Abflachungen, wobei diese in den den beiden Anschlußorganen zugeordneten
Randabschnitten zueinander gegenläufig verlaufen,
Fig.4 die Resonatorplatte entsprechend Fig.3 in
Seitenansicht gesehen,
F i g. 5 einige unterschiedlich ausgebildete Abdachungen und
F i g. 6 eine Resonatorplatte entsprechend den F i g. 1 und 2, die an einander gegenüberliegenden Randseiten
von je einem Anschlußorgan erfaßt wird.
Im einzelnen ist den Figuren zu entnehmen, daß eine vorzugsweise aus Quarz bestehende Resonatorplatte 1,
mit rechteckigem Umriß, zwei zueinander parallele, in der kristallographischen x, z'-Ebene verlaufende große
Oberflächen 2, 3 aufweist, die durch ihren Abstand voneinander die y'-Richtung verlaufende Dicke des
Resonators bestimmen. Solche Resonatorplatten werden vorzugsweise als Dickenscherungsschwinger für
gane 8, die meist zugleich zur mechanischen Halterung der Resonatorplatte 1 verwendet werden, mit der
Resonatorplatte 1 verbunden sind. Solche Anschlußorgane
8 sind meist als U-förmige Klipse ausgebildet, die
die Resonatorplatte randseitig umfassen und dabei auf einer Seite des Resonators eine Anregungselektrode 4,
5 bzw. eine mit der entsprechenden Anregungselektrode
4 bzw. 5 verbundene Anschlußelektrode kontaktieren. Unter einer Anschlußelektrode ist dabei eine
Elektrode zu verstehen, der auf der anderen Seite der Resonatorplatte keine Elektrodenfläche gegenüberliegt,
so daß im Bereich der Anschlußelektroden auch keine Resoriatorschwingungen angefacht werden können.
Um die Elektroden 4, 5 vor dem Einarbeiten der Abflachungen 6,7 auf den Seiten 2,3 des Resonators auf
die Resonatorplatte 1 aufbringen zu können, sind die Abflachungen 6, 7, die jeweils einem Randabschnitt der
Resonatorplatte 1 zugeordnet sind, in dem ein Anschlußorgan 8 die Resonatorplatte 1 randseitig
umfaßt, so ausgebildet, daß jeweils nur immer diejenige
Seite der Resonatorplatte 1 von den Abflachungen 6, 7
erfaßt wird, die der Anschlußelektrode 4 bzw. 5, die von dem jeweiligen Anschlußorganen 8 kontaktiert werden
soll, gegenüberliegt Dadurch bleibt jeweils die zu kontak'derende Elektrode bis zum Rand der Resonatorplatte 1 unverändert erhalten. Darüber hinaus können
infolge dieser Ausbildung der Abflachungen 6, 7 die großen Oberflächen 2,3 der Resonaiorplatte 1 vor dem
Einarbeiten der Abflachungen 6, 7, vollständig, also bis zum Rand der Resonatorplatte 1, mit einem Elektrodenbelag
versehen werden, da durch das Einarbeiten der Abmachungen 6, 7 automatisch in den Randabschnitten
der Resonatorplatte 1, in denen die Anschlußorgane 8 eine der beiden Elektrodcnflächen kontaktieren, die
gegenüberliegende Elektrodenschicht wieder entfernt wird. Die erhalten bleibenden Elektrodenschichten auf
den Seiten der Resonatorplatte bilden daher im Bereich dieser Randabschnitte automatisch Anschlußelektroden.
Beispielsweise wird die Resonatorplatte entsprechend den Fig. 1 und 2, wie Fig. 6 zu entnehmen ist,an
zwei in z'-Richtung einander gegenüberliegenden Randseiten von Anschlußorganen 8 erfaßt, wobei die
Frequenzen im MHz-Bereich verwendet, wobei aus 45 Anschlußorgane 8 infolge der speziellen Ausbildung der
einer dünnen, zusammenhängenden Metallschicht bestehende Anregungselektroden 4, 5, die zumindest
zentrale Bereiche der großen Oberflächen 2, 3 der Resonatorplatte bedecken, einander gegenüberliegen
und jeweils zum Anschluß an die Pole einer Wechsel- so Spannungsquelle vorgesehen sind.
Die Abmessungen einer solchen Resonatorplatte 1 quer zu ihrer frequenzbestimmenden Dicke können
nicht beliebig klein gemacht werden, wenn die Schwingeigenschaftc.n des Resonators nicht beeinträchtigt
werden sollen. Jedoch lassen sich die Abmessungen einer solchen Resonatorplatte quer zu ihrer Dicke
kleiner machen, als sie bei einer planparallelen Platte erforderlich wären, wenn man die Dicke des Resonators
zum Rand hin vermindert. Solche Randabflachungen 6, sind dabei insbesondere in denjenigen Randabschnitten
des Resonators erforderlich, in denen Anschlußor-Abflachungen
6, 7 jeweils nur eine Elektrodenfläche kontaktieren.
Wenn beide Anschlußorgane 8 die Resonatorplatte 1 auf derselben Randseite der Resonatorplatte 1 erfassen,
so sind zwei nebeneinanderliegende Randabschnitte mit zueinander gegenläufigem Verlauf der Randabflachungen
6,7 zu bilden (F i g. 3 und F i g. 4).
F i g. 5 zeigt, daß die Abflachungen 6, 7 konvex oder konkav gekrümmt verlaufen, oder auch als plane Fläche,
die einer zu den großen Oberflächen 2, 3 der Resonatorplatte schrägen Ebene folgt, ausgebildet sein
können, bzw. auch durch eine oder mehrere Abstufungen der Dicke des Resonators erzeugt sein können.
Dabei braucht in a'len Fällen die Abflachung nicht die
ganze Dicke der Resonatorplatte 1 zu erfassen, so daß ein stufenartig abgesetzter Bereich 9 verbleibt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentansprüche:1 Zu Dickenscberungsschwingungen anregbare piezoelektrische Resonatorplatte, die auf jeder ihrer großen Oberflächen mit einer Anregungselektrode versehen ist und die wenigstens in Teilbereichen ihres Randes eine zum Rand der Platte hin abnehmende Dicke aufweist (Randabflachung), wobei jeweils im Bereich einer solchen Randabflachung ein Anschlußorgan eine der Anregungselektroden )0 kontaktiert, dadurch gekennzeichnet dall die Randabflachungen (6, 7) zumindest in dem Bereich, in dem eine Verbindung zwischen einem Anschlußorgan (8)und einer Anregungselektrode (4,5) vorgesehen ist, jeweils in die Seite (2, 3) der Resonatorplatte (1) eingearbeitet sind, die von der jeweils zu kontaktierenden Anregungselektrode 14 bzw. 5) abgewandt ist.2 Resonatorplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die großen Oberflächen (2, 3) durch die AfcRachungen (6, 7) parallelogrammartig gegeneinander verschoben sind.3. Resonatorplatte nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die parallelogrammartige Verschiebung bei einer aus Quarz bestehenden Resona- M torplatte (1) mit rechteckigem Umriß, deren große Oberflächen (2, 3) sich parallel zur kristallographischen x, z'-Ebene erstrecken, in z'-Richtung vorgesehen ist ,4. Resonatorplatte nach Anspruch I1 dadurch gekennzeichnet, daß bei rechteckförmiger Resonatorkonfiguratkn die Randabflachungen (6,7) jeweils Anschiußorgan-Randab^chnitte" zugeordnet sind, die nebeneinander auf derselben Randseite der Resonatorplatte (1) vorgesehen sind (F ig. 3).5. Resonatorplatte nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer aus Quarz bestehenden Resonatorplatte (1) mit rechteckigem Umriß, deren große Oberflächen (2, 3) sich parallel zur kristallographischen x, z'-Ebene erstrecken, die den Anschlußorgan-Randabschnitten zugeordneten Abflachungen (6,7) an einer parallel zur x-Richtung sich erstreckenden Randseite der Resonatorplatte (1) vorgesehen sind.6. Resonatorplatte nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Randabflachungen (6, 7) einen konkaven, konvexen oder gestuften Verlauf aufweisen.7 Resonatorplatte nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Abflachungen (6,7) nur über einen Teil der Dicke der Resonatorplatte (1) erstrecken.
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