DE29707657U1 - Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakkuumbeschichtungsanlage oder für deren Magazinierung - Google Patents

Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakkuumbeschichtungsanlage oder für deren Magazinierung

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Description

LEYBOLD SYSTEMS GmbH Wilhelm-Rohn-Straße 25
63450 Hanau
Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakuumbeschichtungsanlage oder
für deren Magazinierung
Die Neuerung betrifft eine Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakuumbeschichtungsanlage oder für deren Magazinierung mit einer motorischen Antriebseinheit mit drei von dieser angetriebenen, ebenen, formschlüssigen Zugmittelgetrieben mit jeweils mindestens zwei Zahnscheiben und jeweils einem über jedes Zahnscheibenpaar geführten endlosen Zahnriemen.
Es sind Vorrichtungen der infrage stehenden Art bekannt, mit denen ein besonders rascher Transport von Substraten entlang eines geraden Transportweges bewirkt werden kann (DE-OS 43 3 6 792 Al) .
Bekannt ist auch eine Vorrichtung zum Transport von scheibenförmigen Substraten mit Hilfe von zwei
• ·
offenen Flachriemengetrieben, bei denen die Rotationsachsen der Leitrollen der Flachriemen winklig zueinander angeordnet und die beiden Lasttrums in parallelen Ebenen laufen (GB 2 170 164 A).
Weiterhin ist ein Substrat-Förderapparat bekannt mit einer endlosen Kette, die mindestens zwischen einem Paar von Kettenrädern umläuft, einer quer verlaufenden Basisplatte, die quer zur Förderrichtung der endlosen Kette verläuft und an der endlosen Kette befestigt ist, einer Druckleiste oder -stange, die von der Querbasisplatte oder der endlosen Kette gehalten ist und mit Bezug auf die Querbasisplatte geöffnet werden kann, mindestens einer ortsfest angeordneten Kurvenbahn oder -schiene für Kurvenfolgerollen, die an der Querbasisplatte befestigt bzw. mit der Druckleiste oder -stange verbunden sind und beim Eintreffen der Querbasisplatte in eine Substrat-Aufnahmeposition die Druckleiste oder -stange öffnen sowie die Druckleiste oder -stange schließen, bis die Querbasisplatte eine vorbestimmte Position erreicht und einem Anschlag, der entweder an der Querbasisplatte oder an der Druckleiste oder -stange befestigt ist und an dem das jeweilige zwischen die Querbasisplatte und die Druckleiste oder -stange eintretende Substrat zur Anlage gelangt (DE-OS 35 16 853 Al).
Bekannt ist schließlich eine Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten durch eine Behandlungsstation oder von einer ersten zu einer zweiten Bearbeitungsstation einer Vakuumbe-
Schichtungsanlage, bei der eine motorische Antriebseinheit mit drei von dieser angetriebenen, ebenen, formschlüssigen Zugmittelgetrieben mit jeweils mindesten zwei Zahnscheiben und jeweils einem über jedes Zahnscheibenpaar geführten Zahnriemen vorgesehen sind, wobei zwei dieser Zugmittelgetriebe so zueinander angeordnet sind, daß ihre Zahnscheiben sich in einer gemeinsamen Ebene und ihre Zahnriemen sich zumindest mit jeweils einem Trum parallel und im Abstand zueinander erstrekken, und wobei die Zahnscheiben eines dritten Zugmittelgetriebes sich in einer Ebene erstrecken, die rechtwinklig zur Ebene der Zahnriemen der beiden anderen Zugmittelgetriebe verläuft, wobei zumindest ein Trum des dritten Zugmittelgetriebes parallel des Trums der beiden anderen Zugmittelgetriebe verläuft, und wobei alle drei einander zugeneigten Trums der drei Zugmittelgetriebe den Außenrand von kreisscheibenförmigen Substraten tangieren, deren Durchmesser dem Abstand entsprechen, den die beiden einander parallelen Trums der beiden ersten Zugmittelgetriebe voneinander aufweisen und die sich in Ebenen quer zu diesen Trums erstrecken, wobei die Zahnriemen der drei Zugmittelgetriebe auf ihren einander zugekehrten Außenflächen mit quer verlaufenden Rippen oder Zähnen versehen sind, deren Abstände und Anzahl jeweils denjenigen der in die Zahnscheiben eingreifenden Zähnen der Zahnriemen entsprechen (DE-OS 43 41 634 Al).
Der vorliegenden Neuerung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der infrage stehenden Art
zu schaffen, die bei minimalem Platzbedarf geeignet ist eine große Anzahl von Substraten, beispielsweise von Compact Discs (CD's) in der Vorrichtung zur Herstellung der Substrate zwischenzulagern, um diese abzukühlen oder bei Ausfall einer der Bearbeitungsstationen einer Fertigungslinie mit mehreren verschiedenen Bearbeitungsstationen zwischenzulagern, um sie zu einem späteren Zeitpunkt wieder dem Fertigungsprozeß zuzuführen.
Diese Aufgabe wird gemäß der Neuerung dadurch gelöst, daß die Zahnscheibe der drei Zugmittelgetriebe jeweils lotrecht zueinander angeordnet sind, die Rotationsachsen ihrer jeweils unteren und die Rotationsachsen ihrer jeweils oberen Zahnscheiben ein gleichschenkliges Dreieck miteinander bilden und ihre Zahnriemen jeweils mit einem Trum parallel und in gleichem Abstand zueinander verlaufen, wobei alle drei einander zugeneigten parallelen Trums die radial äußeren Ränder von kreisscheibenförmigen Substraten tangieren, die lotrecht übereinander in Ebenen quer zu den Trums gehalten sind, wobei die Durchmesser der Substrate und der Abstand der Trums voneinander so bemessen sind, daß die Substrate jeweils auf den Zahnflanken dreier einander zugekehrter Zähne der Trums aufliegen, wozu die Zahnriemen der drei Zugmittelgetriebe auf ihren einander zugekehrten Außenflächen mit quer zur Zugrichtung verlaufenden Rippen oder Zähnen versehen sind, deren Abstände und Anzahl jeweils gleich bemessen sind.
Vorzugsweise sind die drei Endlosriemen oder Zahnriemen mit jeweils einem Trum mit einem alle drei Riemen gemeinsam umschließenden Treibring verbunden, der über eine Spindelmutter mit einer von einem Motor angetriebenen Schraubenspindel zusammenwirkt und von dieser auf- bzw. abbewegbar ist.
Zweckmäßigerweise sind die drei Zahnriemen nur jeweils zur Hälfte ihrer Länge an ihrer Außenseite mit Zähnen versehen, wobei der Treibring jeweils am Anfang der mit Zähnen bestückten Partien der Zahnriemen fest mit diesen verbunden ist.
Mit Vorteil sind die Leitrollen oder Zahnscheiben zur Führung der drei Riemen paarweise einander gegenüberliegend in Böcken gelagert, die zum einen an einem ringförmigen Fußteil und zum anderen an einer Kopfplatte angeordnet sind.
Gemäß der Neuerung ist unterhalb des ringförmigen Fußteils ein Stößel vorgesehen, der motorisch in vertikaler Richtung von einer unteren in eine obere Position bewegbar ist, wobei ein Substrat von einer Ausgangsposition in eine Position bewegt wird, in der die Zähne der drei Riemen das Substrat erfassen.
Die Neuerung läßt die verschiedensten Ausführungsmöglichkeiten zu; eine davon ist in den anhängenden Zeichnungen näher dargestellt, und zwar zeigen:
Fig. 1 die Vorrichtung in der Seitenansicht,
Fig. 2 eine Schnittdarstellung nach den Linien A-A gemäß Fig. 1,
Fig. 3 eine Schnittdarstellung nach den Linien C-C gemäß Fig. 1 und
Fig. 4 eine Schnittdarstellung nach den Linien B-B gemäß Fig. 1.
Die Vorrichtung gemäß Fig. 1 besteht im wesentlichen aus einem Rahmen 3 mit einem ringförmigen Kopfteil 4 und einem ringförmigen Fußteil 5 und insgesamt drei lotrecht angeordneten Streben 6,7,8; einer oberhalb des Kopfteils 4 angeordneten Kopfplatte 9 mit drei an ihr fest angeordneten Lagerböcken 10,11,12; drei weiteren, den Lagerböcken 10,11,12 gegenüberliegend auf dem Fußteil 5 befestigten Lagerböcken 13,14,15, einer in der Kopfplatte 9 einerseits und im Fußteil 5 andererseits drehbar gelagerten Schraubenspindel 16; drei jeweils in den oberen und den unteren Lagerböcken 10 bis 15 drehbar gelagerten Zahnscheiben oder Leitrollen 17 bis 22; den drei über die Leitrollen 17 bis 22 geführten Endlosriemen oder Zahnriemen; dem am Fußteil 5 gehaltenen Antriebsmotor 26 mit Getriebekasten 2 7 und Kegelradgetriebe 2 8 zum Antrieb der Schraubenspindel 16; einer mit der Schraubenspindel 16 zusammenwirkenden Spindelmutter 2 9 und einem von der Spindelmutter 2 9 bewegbaren Treibring 30, der einerseits alle drei Endlosriemen oder Zahnriemen 23 bis 25 umschließt und
andererseits jeweils mit einer Partie der drei Endlosriemen 23 bis 25 fest verbunden ist.
Die scheibenförmigen Substrate 31,31',... werden vom Arm 32 eines nicht näher dargestellten Manipulators in den Bereich unterhalb des Fußteils 5 gefördert und dort von einem elektromagnetisch bewegten Stößel 33 in Pfeilrichtung D so weit angehoben, bis sie in den Bereich der an den Außenseiten der Endlosriemen 23 bis 25 befestigten Zähne 34,34',... reichen, die, angetrieben vom Motor 26, schrittweise aufwärts bzw. abwärts bewegbar sind und das zugeführte Substrat 31,31',... gemeinsam greifen und in horizontaler Position auf- bzw. abwärts bewegen.
Die dargestellte Vorrichtung ist in der Lage, der Anzahl der Zähne 34,34',... entsprechend etwa 45 Substrate 31,31',... aufzunehmen und zwischenzulagern. Das Entleeren der Vorrichtung geschieht im umgekehrten Sinne, d. h. daß die einzelnen Substrate 31,31',... schrittweise von den drei Endlosriemen 23 bis 25 nach unten auf das Fußteil 5 zu transportiert werden und dann vom Manipulatorarm 32 übernommen und von der Vorrichtung weg transportiert werden.
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Bezugszeichenliste
3 Rahmen
4 Kopfteil
5 Fußteil
6 Strebe
7 Strebe
8 Strebe
9 Kopfplatte
10 Lagerbock oben
11 Lagerbock oben
12 Lagerbock oben
13 Lagerbock unten
14 Lagerbock unten
15 Lagerbock unten
16 Schraubenspindel
17 Leitrolle, Zahnscheibe
18 Leitrolle, Zahnscheibe
19 Leitrolle, Zahnscheibe 2 0 Leitrolle, Zahnscheibe
21 Leitrolle, Zahnscheibe
22 Leitrolle, Zahnscheibe
23 Endlosriemen, Zahnriemen
24 Endlosriemen, Zahnriemen 2 5 Endlosriemen, Zahnriemen
26 Antriebsmotor
27 Getriebekasten
2 8 Kegelradgetriebe 29 Spindelmutter
3 0 Treibring 31,31', ... Substrat
97 523
32 33 34,34' ,
Manipulatorarm
Stößel
Zahn

Claims (4)

Schutzansprüche
1. Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten (31,3I1,...) in einer Vakuumbeschichtungsanlage oder für deren Magazinierung mit einer motorischen Antriebseinheit (26,27) mit drei von dieser angetriebenen, ebenen, formschlüssigen Zugmittelgetrieben mit jeweils zwei Zahnscheiben (17,20 bzw. 19,21 bzw. 18,22) und jeweils einem über jedes Zahnscheibenpaar geführten endlosen Zahnriemen (23,24,25), dadurch gekennzeichnet, daß die Zahnscheiben der drei Zugmittelgetriebe jeweils lotrecht zueinander angeordnet sind, die Rotationsachsen (d,e,f) ihrer jeweils unteren und die Rotationsachsen (a,b,c) ihrer jeweils oberen Zahnscheiben ein gleichschenkliges Dreieck miteinander bilden und ihre Zahnriemen (23,24,25) jeweils mit einem Trum parallel und in gleichem Abstand zueinander verlaufen, wobei alle drei einander zugeneigten parallelen Trums die radial äußeren Ränder von kreisscheibenförmigen Substraten (31,31',...) tangieren, die lotrecht übereinander in Ebenen quer zu den Trums gehalten sind, wobei die Durchmesser der Substrate und der Abstand der Trums voneinander so bemessen sind, daß die Substrate (31,3I1,...) jeweils auf den Flanken dreier einander zugekehrter Rippen oder Zähne (34,34',...) der Trums aufliegen, wozu die Zahnriemen (23,24,25) der drei Zugmittelge-
triebe auf ihren einander zugekehrten Außenflächen mit quer zur Zugrichtung verlaufenden Rippen oder Zähnen (34,34',...) versehen sind, deren Abstände und Anzahl für jeden der drei Zahnriemen (23,24,25) gleich bemessen sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die drei Endlosriemen oder Zahnriemen (23 bis 25) mit jeweils einem Trum mit einem alle drei Riemen (23 bis 25) gemeinsam umschließenden Treibring (3 0) verbunden sind, der über eine Spindelmutter (29) mit einer von einem Motor (26) angetriebenen Schraubenspindel (IS) zusammenwirkt und von dieser auf- bzw. abbewegbar ist.
. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die drei Zahnriemen (23 bis 25) nur jeweils zur Hälfte ihrer Länge an ihrer Außenseite mit Zähnen (34,34',...) versehen sind, wobei der Treibring (3 0) jeweils am Anfang der mit Zähnen {34,34',...) bestückten Partien der Zahnriemen (23 bis 25) fest mit diesen verbunden ist.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitrollen oder Zahnscheiben {17 bis 22) zur Führung der drei Riemen (23 bis 25) paarweise einander gegenüberliegend in Böcken (10 bis 15) gelagert sind, die zum einen an einem ringförmigen Fußteil (5) und zum anderen an einer Kopfplatte (9) angeordnet sind.
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Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß unterhalb des ringförmigen Fußteils (5) ein Stößel {33) vorgesehen ist, der motorisch in vertikaler Richtung (D) von einer unteren in eine obere Position bewegbar ist und ein Substrat (31,31',...) von einer Ausgangsposition in eine Position bewegt, in der die Zähne (34,34',...) der drei Riemen (23 bis 25) das Substrat (31,31',...) erfassen.
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