DE29703266U1 - Imaging cathodoluminescence (KL) spectrometer for recording poly- and monochromatic and polychromatic KL microimages and KL spectra for use on luminescence generating, e.g. electron optical, devices - Google Patents

Imaging cathodoluminescence (KL) spectrometer for recording poly- and monochromatic and polychromatic KL microimages and KL spectra for use on luminescence generating, e.g. electron optical, devices

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Description

Bislicher Str. 18 B :Bislicher Str. 18 B :

46487 Wesel ASK 46487 Wesel ASK

BeschreibungDescription

Abbildendes Kathodolumineszenz-(KL)-Spektrometer für die Aufnahme von poly- und monochromatischen und polychromatischen KL-Mikrobildern und KL-Spektren zur Verwendung an lumineszenzerzeugenden, z.B. elektronenoptischen, GerätenImaging cathodoluminescence (CL) spectrometer for recording poly- and monochromatic and polychromatic CL microimages and CL spectra for use on luminescence-generating devices, e.g. electron-optical ones

Mit Lumineszenz bezeichnet man die Emission von Licht charakteristischer spektraler Zusammensetzung aufgrund von Energiezufuhr auf ein Präparat. Diese Beaufschlagung des Präparates kann z.B. mit einem Elektronenstrahl bestimmter Energie, z.B. im Raster-Elektronenmikroskop, erfolgen. In diesem Fall spricht man von Kathodolumineszenz. Anhand von Kathodolumineszenz erfolgt im folgenden exemplarisch die weitere Beschreibung, ohne das eine Beschränkung des Einsatzgebietes des Spektrometers auch für anders induzierte Lumineszenzphänome ausgdrückt werden soll. Entsprechende Präparate stammen aus den Bereichen Halbleiter-Bauelemente, Keramiken (z.B. Katalysatoren), Kunststoffe sowie Biomedizin (z.B. Gewebsproben). Eine Abbildung des Präparates mit Hilfe des KL-Signals bzw. die Messung des KL-Spektrums mit Hilfe eines geeigneten abbildenden Spektrometers ergibt wichtige Aussagen über die Eigenschaften des Präparates, die Gegenstand aktueller Forschung und mit anderen Meßmethoden nicht zugänglich sind. Hinzu kommt der Vorteil der hohen Ortsauflösung, die mit elektronenoptischen Geräten erzielt werden kann (< 1&mgr;&eegr;&eegr;). Außer der bloßen Abbildung interessiert vor allem auch die spektrale Zusammensetzung der KL. Ein kommerziell sinnvoll nutzbares KL-Meßsystem muß daher sowohl die Messung von Spektren als auch mono- und poly chromatische Abbildung eines Präparatbereiches ermöglichen.Luminescence is the emission of light with a characteristic spectral composition due to the supply of energy to a preparation. This exposure of the preparation can be achieved, for example, with an electron beam of a certain energy, e.g. in a scanning electron microscope. In this case, we speak of cathodoluminescence. The following description is based on cathodoluminescence as an example, without limiting the area of application of the spectrometer to other induced luminescence phenomena. Corresponding preparations come from the areas of semiconductor components, ceramics (e.g. catalysts), plastics and biomedicine (e.g. tissue samples). Imaging the specimen using the CL signal or measuring the CL spectrum using a suitable imaging spectrometer provides important information about the properties of the specimen that are the subject of current research and are not accessible using other measurement methods. Added to this is the advantage of the high spatial resolution that can be achieved with electron-optical devices (< 1μηη). In addition to the mere imaging, the spectral composition of the CL is also of interest. A commercially viable CL measurement system must therefore enable both the measurement of spectra and monochromatic and polychromatic imaging of a specimen area.

KL-Spektrometer bestehen in der Regel aus einem Lichtkollektor, einer Fokussieroptik und einem Spektralapparat (in der Regel Monochromatoren) mit nachgeschaltetem Detektor und Ausgangssignal-Verstärkerkette. Monochromatoren verfügen stets über eine nur kleine Apertur, so daß das in den Eintrittsspalt fokussierte Lichtbündel einen Öffnungswinke! von höchstens 9° nicht überschreiten darf. Andernfalls treten nicht tolerierbare Verluste auf. Die Kollektion der KL erfolgt in der Regel mit in der Nähe der Probe angebrachten Spiegeln, die das Licht aus der Probenkammer heraustransportieren sollen. Meist liegt der vom Elektronenstrahl getroffene Präparatbereich in einem Brennpunkt des verwendeten Spiegels. Die Einkopplung des Lichtes in ein Spektrometer erfolgt unterschiedlich.KL spectrometers usually consist of a light collector, a focusing optic and a spectral device (usually monochromators) with a downstream detector and output signal amplifier chain. Monochromators always have a small aperture, so that the light beam focused into the entrance slit must not exceed an aperture angle of 9°. Otherwise, intolerable losses occur. The KL is usually collected using mirrors mounted near the sample, which are intended to transport the light out of the sample chamber. The preparation area hit by the electron beam is usually located at a focal point of the mirror used. The light is coupled into a spectrometer in different ways.

Bei einem der bisherigen KL-Spektrometer-Typen wird zur Kollektion des Lichtes ein Parabolspiegel verwendet, der die vom Präparat emittierte KL in ein Parallelstrahlbündel umwandelt. Dieses muß dann unter Verwendung weiterer optischer Bauelemente (Linsen oder Linsengruppen, Umlenkspiegel, etc.) in das Spektrometer fokussiert werden. Dabei werden einerseits hohe Absorptionsverluste an den optischen Grenzflächen verursacht und ferner erzeugen die verwendeten Glas-Materialien durch Eigenlumineszenz unabdingbare Artefakte, die sich dem eigentlichen Meßsignal störend überlagern. Die Meßergebnisse zeigen daher ein nur mäßiges Signal/Rausch-Verhältnis. Des weiteren setzen die optischen Bauelemente einen hohen Justieraufwand voraus, der die Störanfälligkeit des Systems erhöht.In one of the previous types of CL spectrometer, a parabolic mirror is used to collect the light, which converts the CL emitted by the preparation into a parallel beam. This must then be focused into the spectrometer using additional optical components (lenses or lens groups, deflecting mirrors, etc.). On the one hand, this causes high absorption losses at the optical interfaces, and on the other hand, the glass materials used generate inevitable artifacts through self-luminescence, which interfere with the actual measurement signal. The measurement results therefore show only a moderate signal-to-noise ratio. Furthermore, the optical components require a high level of adjustment, which increases the system's susceptibility to interference.

Ferner existieren nur noch reine Abbildungssysteme (keine Spektrometer) zur Erzeugung polychromatischer Abbildungen, die zur KL-Kollektion kurzbrennweitige Ellisoidspiegel verwenden, die ebenfalls nicht direkt fokussierend wirken. Das Licht wird durch innen verspiegelte Rohre bzw. Lichtleiter zum Detektor transportiert. Für Lichtleiter gilt das Gleiche wie für die o.g. optischen Bauelemente. Vor allem aber kann das Licht aufgrund der ungünstigen Austrittscharakteristik von Rohren und Lichtleitern nicht ohne hohe Verluste in einen Monochromator fokussiert werden, so daß diese Anordnungen sich praktisch nicht zu Spektrometern ausbauen lassen..Furthermore, there are only pure imaging systems (no spectrometers) for generating polychromatic images, which use short focal length ellipsoid mirrors for the KL collection, which also do not have a direct focusing effect. The light is transported to the detector through tubes or light guides that are mirrored on the inside. The same applies to light guides as to the optical components mentioned above. Above all, however, due to the unfavorable exit characteristics of tubes and light guides, the light cannot be focused into a monochromator without high losses, so that these arrangements can practically not be expanded into spectrometers.

Allen diesen Geräten ist ferner gemeinsam, daß Spiegel benutzt werden, die in Meßstellung das Präparat nach oben und/oder zur Seite hin kuppeiförmig abdecken. Dies hat die extrem nachteilige Folge, daß das Präparat in der Probenkammer des elektronenoptischen Gerätes für andere Detektoren (Sekundär-, Rückstreuelektronen-Detektor, Röntgenanalyse-System) 'unsichtbar' wird und keine Simultanmessungen mehr möglich sind. Erst durch Zurückziehen des Kollektors werden die anderen Meßmethoden wieder einsetzbar, was praxisbezogenem Arbeiten widerspricht.All of these devices also have in common that they use mirrors that cover the specimen upwards and/or to the side in a dome-like manner when in the measuring position. This has the extremely disadvantageous consequence that the specimen in the sample chamber of the electron-optical device becomes 'invisible' to other detectors (secondary, backscattered electron detector, X-ray analysis system) and simultaneous measurements are no longer possible. The other measuring methods can only be used again by retracting the collector, which contradicts practical work.

Das durch die Schutzansprüche 1-7 beschriebene Gerät vermeidet jeden dieser Nachteile aufgrund folgender Eigenschaften:The device described by claims 1-7 avoids each of these disadvantages due to the following properties:

ASK Analytische Systeme und Komponenten^^ #. . .. ...»ASK Analytical Systems and Components^^ # . . .. ...»

Dr. Georg Koschek ·; ;&ldquor; I Il · &idigr;##· .·* Bislicher Str. 18 B I I*: &idigr; *"* * ..· ; .__Dr. Georg Koschek ·; ;&ldquor; I Il · &idigr;## · .·* Bislicher Str. 18 BII*: &idigr;*"* * ..· ; .__

46487 Wesel " ASK 46487 Wesel " ASK

Der verwendete Ellipsoidpiegel ist so ausgelegt, daß im ersten Brennpunkt die vom Elektronenstrahl getroffene Präparatstelle (3 in Abb. 1) liegt (kleine Brennweite, 11 in Abb.1). Die kleine Brennweite ist in der Regel größer als 30 mm. Der Spiegel (7 in Abb.1) überdeckt nicht den gesamten Halbraum oberhalb des Präparates, sondern ist als Segment ausgelegt.The ellipsoid mirror used is designed so that the first focal point is the specimen point hit by the electron beam (3 in Fig. 1) (small focal length, 11 in Fig. 1). The small focal length is usually greater than 30 mm. The mirror (7 in Fig. 1) does not cover the entire half-space above the specimen, but is designed as a segment.

Diese Vorkehrungen haben zur Folge, daß das Präparat in Meßstellung des Spiegels für alle anderen Detektoren (1 und 2 in Abb.1) sichtbar bleibt und Simultanmessungen demnach praktisch uneingeschränkt möglich sind {Anspruch 4).These precautions result in the preparation remaining visible to all other detectors (1 and 2 in Fig. 1) when the mirror is in the measuring position and simultaneous measurements are therefore practically possible without restriction (claim 4).

Der zweite (große) Brennweite (14 in Abb.1) ist so groß gewählt, daß durch ein in der Kammerwand befindliches Vakuumfenster (9 in Abb.1 B) in einen Punkt außerhalb der Probenkammer fokussiert wird. Dort ist der Eintrittsspalt des Monochromators mit nachgeschaltetem Meßkopf bzw. der Meßkopf selbst positioniert (5,6 in Abb.2). Die Fokussierung erfolgt daher direkt und vor allem ohne den Zwang, weitere optische Bauelemente (s.o) zur Hilfe nehmen zu müssen (Anspruch 1).The second (large) focal length (14 in Fig.1) is chosen to be so large that it is focused on a point outside the sample chamber through a vacuum window (9 in Fig.1 B) located in the chamber wall. The entrance slit of the monochromator with the measuring head connected downstream or the measuring head itself is positioned there (5,6 in Fig.2). Focusing is therefore carried out directly and, above all, without the need for additional optical components (see above) (claim 1).

Damit sich nach der erstmaligen Spiegel-Justage, die mit Hilfe einer Vorrichtung am Spiegelgehäuse (9 in Abb.2) in alle Raumrichtungen erfolgt (Anspruch 3), nichts mehr verstellen kann, d.h. die Brennweitenverhältnisse gewahrt bleiben und das System zudem zurückziehbar und abnehmbar ausgeführt werden kann, sind Ellipsoidspiegelsegment und das außerhalb der Kammer befindliche Spektrometer mit einer festen Welle über eine Vakuum-Schiebedurchführung (7,8 in Abb.2) miteinander verbunden (Anspruch 2). Das Spektrometer ist auf einem Linearsteller (in den Abb. nicht gezeigt, Bewegungsrichtung entsprechend Pfeil in Abb.2) manuell oder motorisch transversal verschiebbar angeordnet (Anspruch 5). Aufgrund dieser Konzeption können sich Spiegel und Spektrometer bzw. Meßkopf später nicht mehr relativ zueinander verstellen. Beim Zurückziehen des Spektrometers verändert sich der Abstand zwischen Kammerwand und Monochromator bzw. Meßkopf. Damit kein Streulicht die KL beeinflußt, befindet sich dazwischen deshalb ein lichtundurchlässiges Teleskoprohr (4 in Abb.2) variabler Länge (Anspruch 6). Der Meßkopf kann mit unterschiedlichen Detektoren für Ultraviolett bis Infrarot ausgestattet werden. Das Ausgangssignal wird durch einen Vorverstärker hoher Bandbreite verstärkt, um z.B. abbildende Untersuchungen bis zu TV-Frequenz zu gewährleisten (Anspruch 7). Das Meßsystem wird softwaregesteuert und arbeitet unter windows&trade;. Zu dem Komplettsystem gehören ferner Steuer- und Regeleinheiten sowie gegebenenfalls PC und Peripherie.So that after the first mirror adjustment, which is carried out in all spatial directions using a device on the mirror housing (9 in Fig. 2) (claim 3), nothing can be adjusted, i.e. the focal length ratios are maintained and the system can also be designed to be retractable and removable, the ellipsoid mirror segment and the spectrometer located outside the chamber are connected to one another with a fixed shaft via a vacuum sliding feedthrough (7, 8 in Fig. 2) (claim 2). The spectrometer is arranged on a linear actuator (not shown in the figures, direction of movement according to arrow in Fig. 2) that can be moved transversely manually or by motor (claim 5). Due to this design, the mirror and spectrometer or measuring head can no longer be adjusted relative to one another later. When the spectrometer is retracted, the distance between the chamber wall and the monochromator or measuring head changes. To ensure that no stray light influences the CL, an opaque telescopic tube (4 in Fig. 2) of variable length is located between them (claim 6). The measuring head can be equipped with different detectors for ultraviolet to infrared. The output signal is amplified by a high-bandwidth preamplifier in order to ensure, for example, imaging examinations up to TV frequency (claim 7). The measuring system is software-controlled and works under Windows&trade;. The complete system also includes control and regulation units and, if necessary, a PC and peripherals.

Ein Ausführungsbeispiel wird durch die Abb. 1A, 1B und Abb.2 gezeigt.An embodiment is shown in Fig. 1A, 1B and Fig. 2.

In Abb.1 wird das in den Ansprüchen beschriebene Gerät von oben (A) und von der Seite betrachtet (B) gezeigt. Der Elektronenstrahl (15, gepunktete Linie) verläßt die letzte vordem Präparat befindliche Linse des elektronenoptischen Gerätes (8) und fällt auf die Probe (3), wo daraufhin die Kathodolumineszenz erzeugt wird. Die durchgezogenen Linien entsprechen den den Randstrahlen des dabei emittierten und durch das Ellipsoidspiegel-Segment 7 kollektierten Lichtbündels. Das Ellipsoidspiegel-Segment 7, das die Abmaße 4, 5 und 10 hat (4 und 5 : von der Mitte aus gemessene Breite; 10 die Höhe), befindet sich im Abstand 11 (kleine Brennweite) von der Probe und im Abstand 14 (große Brennweite) vom außerhalb der Vakuumkammer gelegenen Detektor bzw. vom Monochromator. Es ist zu sehen, wie aufgrund der Ellipsoidspiegeleigenschaften die Direktfokussierung über das Fenster 9 mit dem Durchmesser 6 in den außerhalb der Vakummkammer gelegenen Brennpunkt 16 erfolgt. Alles, was sich links vom Fenster befindet, liegt innerhalb der Vakuumkammer des elektronen-optischen Gerätes, alles, was sich rechts davon befindet, liegt außerhalb. Es ist deutlich zu sehen, daß andere Detektoren (hier als 1 und 2 bezeichnet) freie Sicht auf das mit 3 bezeichnete Präparat haben. Der Abstand zwischen der vom Elektronenstrahl 15 getroffenen Probe 3 und der Vakuumkammer ist mit 12 bezeichnet, der Abstand zwischen Vakuumkammer und Fokus mit 13.In Fig. 1, the device described in the claims is shown viewed from above (A) and from the side (B). The electron beam (15, dotted line) leaves the last lens of the electron-optical device (8) located in front of the preparation and falls on the sample (3), where cathodoluminescence is then generated. The solid lines correspond to the edge rays of the light beam emitted and collected by the ellipsoidal mirror segment 7. The ellipsoidal mirror segment 7, which has the dimensions 4, 5 and 10 (4 and 5: width measured from the center; 10 the height), is located at a distance of 11 (small focal length) from the sample and at a distance of 14 (large focal length) from the detector or monochromator located outside the vacuum chamber. It can be seen how, due to the properties of the ellipsoid mirror, direct focusing takes place via the window 9 with a diameter of 6 into the focal point 16 located outside the vacuum chamber. Everything to the left of the window is inside the vacuum chamber of the electron-optical device, everything to the right of it is outside. It can be clearly seen that other detectors (here designated 1 and 2) have a clear view of the preparation designated 3. The distance between the sample 3 hit by the electron beam 15 and the vacuum chamber is designated 12, the distance between the vacuum chamber and the focus is designated 13.

In Abb.2 ist der Zusammenhang beispielhaft für einen Gitter-Monochromator (5) auch mit dessen innerem Strahlengang gezeigt.Ellipsoidspiegelsegment 2 und Probe 3 befinden sich innerhalb der Vakuumkammer des elektronenoptischen Gerätes 1. Die durchgezogenen Linien bedeuten wieder die Randstrahlen des Kathodolumineszenz-Lichtbündels. Man erkennt auch den dem Monochromator nachgeschalteten Meßkopf 6. 4 veranschaulicht das Telekoprohr zwischen Probenkammer und Monochromator bzw. Detektor, das den Strahlengang vor Steulicht außerhalb der Probenkammer schützt. Über die Welle 7 sind Monochromator und Ellipsoidspiegel-Segment 2 mit Hilfe eines Halters 9, derIn Fig. 2, the connection is shown as an example for a grating monochromator (5) and its inner beam path. Ellipsoid mirror segment 2 and sample 3 are located inside the vacuum chamber of the electron-optical device 1. The solid lines again represent the edge rays of the cathodoluminescence light beam. The measuring head 6 downstream of the monochromator can also be seen. 4 illustrates the telescope tube between the sample chamber and the monochromator or detector, which protects the beam path from scattered light outside the sample chamber. The monochromator and ellipsoid mirror segment 2 are connected via the shaft 7 with the help of a holder 9, which

ASK Analytische Systeme und Komponenten^^ Dr. Georg Koschek ·· ;.. Bislicher Str. 18 B : I 46487 WeselASK Analytical Systems and Components^^ Dr. Georg Koschek ·· ;.. Bislicher Str. 18 B : I 46487 Wesel

ASKASK

zugleich eine Justagevorrichtung enthält, fest verbunden. Dies gewährleistet, das deren Abstand konstant bleibt und insofern der zweite Brennpunkt immer im Eintrittsspalt des Monochromators bzw. auf der lichtempfindlichen Meßkopfposition liegt. Die Vakuumdichtigkeit gewährleistet die Schiebedurchführung 8.which also contains an adjustment device. This ensures that their distance remains constant and that the second focal point is always in the entrance slit of the monochromator or on the light-sensitive measuring head position. The vacuum tightness is ensured by the sliding feedthrough 8.

Claims (7)

onenten ASK Analytische Systeme und Komponenten .**..**. j * * j " / Dr. Georg Koschek .·* "*: · · · .·* · "··· j* Bislicher Str. 18 B 46487 Wesel Schutzansprücheonenten ASK Analytical Systems and Components .**..**. j * * j " / Dr. Georg Koschek .·* "*: · · · .·* · "··· j* Bislicher Str. 18 B 46487 Wesel Protection claims 1. abbildendes Kathodolumineszenz-(KL)-Spektrometer für die Aufnahme von poly- und monochromatischen und polychromatischen KL-Mikrobildern und KL-Spektren zur Verwendung an lumineszenzerzeugenden, z.B. elektronenoptischen, Geräten1. imaging cathodoluminescence (CL) spectrometer for recording poly- and monochromatic and polychromatic CL microimages and CL spectra for use on luminescence-generating, e.g. electron-optical, devices dadurch gekennzeichnet,characterized, daß zur Kollektion der KL im Inneren der Probenkammer des z.B. elektronenoptischen Gerätes ein langbrennweitiger Ellipsoidspiegel verwendet wird, der das aus dem untersuchten Präparat emittierte Licht (KL) durch ein in der Probenkammerwand befindliches, vakuumdichtes Fenster direkt ohne weitere optische Bauelemente in den Eintrittsspalt eines KL-Spektrometers lenkt, welches aus einem handelsüblichen Monochromator mit nachgeschaltetem Meßkopf nach Anspruch 7. besteht, und dessen Ausgangssignal zur poly- oder monochromatischen KL-Abbildung und zur Messung von KL-Spektren genutzt wird.that to collect the CL inside the sample chamber of the electron-optical device, for example, an ellipsoid mirror with a long focal length is used, which directs the light (CL) emitted from the preparation under investigation through a vacuum-tight window located in the sample chamber wall directly without further optical components into the entrance slit of a CL spectrometer, which consists of a commercially available monochromator with a downstream measuring head according to claim 7, and whose output signal is used for polychromatic or monochromatic CL imaging and for measuring KL spectra. 2. abbildendes KL-Spektrometer nach Anspruch 1
dadurch gekennzeichnet,2. imaging KL spectrometer according to claim 1
characterized, daß der Ellipsoidspiegel durch eine feste Welle über eine Vakuum-Schiebedurchführung mit dem außerhalb der Probenkammer des z.B. elektronenoptischen Gerätes befindlichen, linear beweglichen KL-Spektrometers bzw. KL-Detektors verbunden ist, so daß deren Abstand stets konstant ist.that the ellipsoid mirror is connected by a fixed shaft via a vacuum sliding feedthrough to the linearly movable CL spectrometer or CL detector located outside the sample chamber of the electron-optical device, for example, so that their distance is always constant. 3. abbildendes KL-Spektrometer nach Anspruch 1
dadurch gekennzeichnet,3. imaging KL spectrometer according to claim 1
characterized, daß der langbrennweitige Ellipsoidspiegel in einem Gehäuse gehaltert ist, das zur Justage in allen Raumrichtungen verstellt werden kann.that the long focal length ellipsoidal mirror is mounted in a housing that can be adjusted in all spatial directions for adjustment. 4. abbildendes KL-Spektrometer nach Anspruch 1
dadurch gekennzeichnet,4. imaging KL spectrometer according to claim 1
characterized, daß aufgrund der Auslegung des Ellipsoidspiegel als Segment sowie seiner großen Brennweiten in Meßstellung keine Abdeckung des Präparates nach oben hin erfolgt und insofern alle anderen in der Probenkammer des z.B. elektronenoptischen Gerätes befindlichen Detektoren nicht abgeschattet werden, und insofern eine simultane Detektion der unterschiedlichen Präparatsignale erfolgen kann.that due to the design of the ellipsoid mirror as a segment and its large focal lengths in the measuring position, the preparation is not covered at the top and therefore all other detectors in the sample chamber of the electron-optical device, for example, are not shaded and therefore simultaneous detection of the different preparation signals can take place. 5. abbildendes KL-Spektrometer nach Anspruch 1
dadurch gekennzeichnet,5. imaging KL spectrometer according to claim 1
characterized, daß das KL-Spektrometer bzw. der KL-Detektor inklusive dem durch die feste Welle gehalterten Ellipsoidspiegel auf einem Lineartrieb transversal definiert (motorisch oder manuell) bewegt werden kann.that the KL spectrometer or the KL detector including the ellipsoid mirror held by the fixed shaft can be moved transversely in a defined manner (motor-driven or manually) on a linear drive. 6. abbildendes KL-Spektrometer nach Anspruch 16. imaging KL spectrometer according to claim 1 ASK Analytische Systeme und Kompoije;n,(en ; ;· ; ; Dr. Georg Koschek .* i · I J .· · ·· Bislicher Str. 18 B ASK Analytical Systems and Companies ; ;· ; ; Dr. Georg Koschek .* i · I J .· · ·· Bislicher Str. 18 B 46487 Wesel46487 Wesel dadurch gekennzeichnet,characterized, daß sich zwischen Spektrometer und Wand des z.B. elektronenoptischen Gerätes ein Teleskoprohr befindet, welches unabhängig vom Abstand Kammerwand-Spektrometer Streulicht vom KL-Signal fernhält.that there is a telescope tube between the spectrometer and the wall of the electron-optical device, for example, which keeps stray light away from the CL signal regardless of the distance between the chamber wall and the spectrometer. 7. abbildendes KL-Spektrometer nach Anspruch dadurch gekennzeichnet,7. imaging KL spectrometer according to claim 1, characterized in that daß für den Spektrometer-Betrieb ein spezieller Meßkopf hoher Bandbreite nebst Regeleinheit verwendet wird, der Abbildungsfrequenzen bis zu TV-Frequenz erlaubt.that a special high-bandwidth measuring head and control unit are used for spectrometer operation, which allows imaging frequencies up to TV frequency.
DE29703266U 1997-02-25 1997-02-25 Imaging cathodoluminescence (KL) spectrometer for recording poly- and monochromatic and polychromatic KL microimages and KL spectra for use on luminescence generating, e.g. electron optical, devices Expired - Lifetime DE29703266U1 (en)

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