DE29521135U1 - Positionsmeßsystem - Google Patents

Positionsmeßsystem

Info

Publication number
DE29521135U1
DE29521135U1 DE29521135U DE29521135U DE29521135U1 DE 29521135 U1 DE29521135 U1 DE 29521135U1 DE 29521135 U DE29521135 U DE 29521135U DE 29521135 U DE29521135 U DE 29521135U DE 29521135 U1 DE29521135 U1 DE 29521135U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring system
position measuring
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE29521135U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority to DE29521135U priority Critical patent/DE29521135U1/de
Priority claimed from DE19508834A external-priority patent/DE19508834C2/de
Publication of DE29521135U1 publication Critical patent/DE29521135U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D3/00Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
    • G01D3/08Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for safeguarding the apparatus, e.g. against abnormal operation, against breakdown
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/249Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code
    • G01D5/2497Absolute encoders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Radar Systems Or Details Thereof (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)

Description

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 9. März 1995
Positionsmeßsystem
Die Erfindung betrifft ein Positionsmeßsystem gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Aus der DE-29 38 318-C3 ist ein derartiges Positionsmeßsystem bekannt. Zum eindeutigen Anschließen höher auflösender Codegruppen an gröber auflösende Codegruppen ist ein Festwertspeicher vorgesehen. Am Eingang des Festwertspeichers liegen die digitalisierten Abtastsignale an. Am Ausgang des Festwert-Speichers steht ein die Absolutposition bestimmendes Codewort zur Weiterverarbeitung in einer numerischen Steuerung zur Verfügung.
Aus der DE-37 34 938-C2 ist ein Winkelmeßsystem bekannt, bei dem die Winkellage einer Welle über mehrere Umdrehungen mittels eines mehrstufigen Winkelcodierers bestimmt wird. Aus den analogen Abtastsignalen jeder Codescheibe wird ein digitales Codewort gebildet. Zur Synchronisation dieser Code-
Wörter ist eine Auswerteeinheit vorgesehen, so daß am Ausgang des Winkelcodierer ein die Absolutposition bestimmendes Codewort zur direkten Weiterverarbeitung an einer numerischen Steuerung ansteht.
5
Weiterhin ist in der EP-O 369 031-B1 ein absolutes Positionsmeßsystem beschrieben, bei dem aus den analogen Abtastsignalen mehrere Codewörter gebildet werden, und daraus durch Synchronisation der Codewörter ein die Absolutposition definierendes Codewort gebildet wird.
Bei diesen Positionsmeßsystemen erfolgt somit die gesamte Auswertung der analogen Abtastsignale innerhalb des Positionsmeßsystems. Eine fehlerhafte Synchronisation der Abtastsignale kann von einer angeschlossenen Folgeelektronik (numerische Steuerung) nicht erkannt werden.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Positionsmeßeinrichtung anzugeben, bei der Fehlfunktionen der Positionsmeßeinrichtung von einer angeschlossenen externen Einrichtung erkannt werden können.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
30
Mit Hilfe der Zeichnungen werden Einzelheiten und Vorteile der Erfindung näher erläutert.
Es zeigt
Figur 1 eine Winkelmeßeinrichtung gemäß der Erfindung im Prinzip,
Figur 2 eine weitere erfindungsgemäße Winkelmeßeinrichtung,
Figur 3 ein Signaldiagramm,
Figur 4 ein weiteres Signaldiagramm und
10
Figur 5 eine Anschlußlogik.
Die Winkelmeßeinrichtung 1 gemäß Figur 1 besteht aus einer Eingangswelle 2, an der eine erste Codescheibe 3 mit drei Codespuren Al, A2, A3 angebracht ist, die in bekannter Weise lichtelektrisch abgetastet wird, um die Absolutposition der Eingangswelle 2 innerhalb einer Umdrehung zu bestimmen.
Die Eingangswelle 2 ist über ein nicht gezeigtes Untersetzungsgetriebe mit einer weiteren Welle 4 mit einer zweiten Codescheibe 5 gekoppelt. Diese Codescheibe 5 besitzt ebenfalls drei Codespuren A4, A5, A6, die ebenfalls lichtelektrisch abgetastet werden. Die Codierung erfolgt vorzugweise im Graycode. Alle Codespuren Al bis A3 der ersten Codescheibe 3 bilden eine erste Codegruppe und alle Codespuren A4 bis A6 der zweiten Codescheibe 5 eine weitere Codegruppe, wobei die erste Codegruppe eine höhere Auflösung als die zweite Codegruppe aufweist.
Zur Abtastung der Codespuren Al bis A6 sind Fotodetektoren 6 bis 11 vorgesehen, an dessen Ausgang analoge Abtastsignale Bl bis B6 anstehen.
Zur Triggerung dieser Abtastsignale Bl bis B6 sind A/D-Wandler 12 bis 17 in der Winkelmeßeinrichtung 1 angeordnet, an dessen Ausgang die in Figur 3 dargestellten digitalen Abtastsignale Cl bis C6 anstehen. Zur Speicherung dieser digitalen Abtastsignale Cl bis C6 sind Speicherbausteine 18 bis 23 vorgesehen. Die digitalen Abtastsignale Cl bis C6 werden auf Anforderung einer Folgeelektronik 24 zum Zeitpunkt ti abgespeichert und parallel einer Anschlußlogik 25 zugeführt. Der Aufbau einer derartigen Anschlußlogik 25 ist in Figur 5 dargestellt und wird später näher erläutert.
Aus den sechs digitalen Abtastsignalen Cl bis C6 wird durch Synchronisation in der Anschlußlogik 25 ein Codewort D7 bestehend aus fünf Bits gebildet. Die Signale Dl bis D5, welche dieses Codewort D definieren, sind in Figur 4 dargestellt. Dieses Codewort D definiert direkt die absolute Position der Eingangswelle 2 über mehrere Umdrehungen im Graycode und wird seriell zur Folgeelektronik 24 übertragen. Zur Parallel-Seriell-Wandlung ist ein Schieberegister 26 vorgesehen. Die Folgeelektronik 24 ist beispielsweise eine NC-Steuerung, welche in Abhängigkeit des die Absolutposition definierenden Codewortes D Bewegungsvorgänge steuert.
Gemäß der Erfindung ist die Winkelmeßeinrichtung 1 dazu ausgebildet, außer dem Codewort D auch die abgespeicherten digitalen Abtastsignale Cl bis C6 zur Folgeelektronik 24 zu übertragen. Die digitalen Abtastsignale Cl bis C6 werden bei Umgehung der Anschlußlogik 25 ebenfalls dem Schieberegister 26 als Schnittstellenbaustein zugeführt und seriell übertragen. Wie in Figur 1 gestrichelt dargestellt ist, kann zur Übertragung auch ein zusätzliches
Schieberegister 26' dienen, wobei die Übertragung zur Folgeelektronik 24 seriell auf der selben Leitung wie das Codewort D erfolgt, oder mit mehr Leitungsaufwand parallel (strichpunktiert dargestellt) auf eigenen Leitungen.
Wie aus Figur 1 ersichtlich, wird das Codewort D in der Folgeelektronik 24 mittels des Wandlers 27 seriell-parallel gewandelt und einem Speicherbaustein 28 zugeführt. Ebenso werden die digitalen Abtastsignale Cl bis C6 mittels des Wandlers 27 ebenfalls seriell-parallel gewandelt und einer Anschlußlogik 29 zugeführt. Diese Anschlußlogik 29 hat die gleiche Funktion wie die in der Winkelmeßeinrichtung 1 integrierte Anschlußlogik 25. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Anschlußlogik 29 in der Folgeelektronik 24 softwaremäßig realisiert ist. Die Anschlußlogik 29 synchronisiert die digitalen Abtastsignale Cl bis C6 und bildet das Codewort DF, welches einem Speicherbaustein 30 zugeführt wird. Das Codewort D und das Codewort DF werden einem Vergleicher 31 zugeführt. Der Vergleicher 31 prüft beide Codewörter D, DF auf Gleichheit. Wird festgestellt, daß sich die Codewörter D, DF unterscheiden, wird ein Fehlersignal F abgegeben, das der Folgeelektronik 24 eine Fehlfunktion der Winkelmeßeinrichtung 1, insbesondere der Anschlußlogik 25 signalisiert.
Werden zur Übertragung von der Winkelmeßeinrichtung 1 zur Folgeelektronik 24 zwei separate Schnittstellenbausteine 26 und 26' verwendet, so ist von der Folgeelektronik 24 auch eine Fehlfunktion der Schnittstellenbausteine 26, 26' erkennbar.
In Figur 5 ist ein Beispiel der Anschlußlogik 25 dargestellt. Die digitalen Abtastsignale Cl bis C3 der höher auflösenden Codegruppe werden in dieser Anschlußlogik 25 mit den digitalen Abtastsignalen C4 bis C6 der gröber auflösenden Codegruppe logisch verknüpft. Durch diese Verknüpfung geht im dargestellten Beispiel ein Bit verloren, so daß am Eingang sechs Bits und am Ausgang fünf Bits zur Verfügung stehen. Die dargestellte Verknüpfung ist an sich bekannt und soll nur kurz erläutert werden. Es ist aus Figur 3 ersichtlich, daß die ersten zwei höchstauflösenden Abtastsignale Cl und C2 einen Gray-Code bilden und das dritte Abtastsignal C3 gegenüber dem zweiten um 90° phasenverschoben ist, aber die gleiche Signalperiode wie das Abtastsignal C2 aufweist. Dieses Abtastsignal C3 dient zur Synchronisation, also zum korrekten Anschluß der Abtastsignale Cl bis C3 und C4 bis C6 beider Codegruppen. Die Codespur A3, welche zur Bildung des Abtastsignales C3 dient, wird deshalb auch als Anschlußspur bezeichnet. Bei einem Getriebespiel des Untersetzungsgetriebes verschieben sich die Flanken der Abtastsignale C4 bis C6 gegenüber der dargestellten Soll-Lage. Um ein unvermeidliches Getriebespiel zuzulassen, werden aus dem am gröbsten auflösenden Abtastsignal C3 der höher auflösenden Codegruppe und den Abtastsignalen C4 bis C6 der gröber auflösenden Codegruppen Abtastsignale D3, D4, D5 erzeugt, die mit den Abtastsignalen Dl und D2 einen korrekten Gray-Code bilden. Wie in der DE-37 34 938-C2 in Figur 2 anschaulich erläutert ist, ist eine korrekte Synchronisation gewährleistet, wenn das Getriebespiel innerhalb einer halben Signalperiode des am gröbsten auflösenden Abtastsignales C3 der höher auflösenden Codegruppe liegt.
Die beispielsweise dargestellte Anschlußlogik 25 besteht aus dem Inverter 32, den UND-Gliedern 33, 34 sowie den EXOR-Gliedern 35 bis 40.
In nicht gezeigter Weise können die Speicherbausteine 18 bis 23 auch vor den A/D-Wandlern 12 bis 17 zur Speicherung der analogen Abtastsignale Bl bis B6 angeordnet sein.
Eine weitere Möglichkeit zur Realisierung der Erfindung besteht darin, anstelle der digitalen Abtastsignale Cl bis C6 die analogen Abtastsignale Bl bis B6 - insbesonders seriell - zur Folgeelektronik 24 zu übertragen. Dieses Beispiel ist in Figur 2 dargestellt. Gleiche Bauteile wurden in Figur 1 und Figur 2 mit gleichen Bezugszeichen versehen. Der wesentliche Unterschied zu Figur 1 besteht darin, daß außer dem durch die Anschlußlogik 25 gebildeten Datenwort D der Folgeelektronik 24 alle analogen Abtastsignale Bl bis B6 zur Verfügung stehen. Diese analogen Abtastsignale Bl bis B6 werden A/D-Wandlern 41 zur Bildung von digitalen Abtastsignalen Cl bis C6 zugeführt. Wie zu Figur 1 beschrieben, werden dann diese digitalen Abtastsignale Cl bis C6 in einer Anschlußlogik 29 zu dem Datenwort DF in der Folgeelektronik 24, also außerhalb der Winkelmeßeinrichtung miteinander verglichen.
In den dargestellten Beispielen wird aus jedem analogen Abtastsignal Bl bis B6 ein digitales Abtastsignal Cl bis C6 in Form eines einzigen Bits abgeleitet. Wie in der EP-O 369 031-B1 sowie der EP-O 575 843-Al beschrieben, können die Codespuren aber auch derart ausgebildet sein, daß aus einer Code-
spur bereits ein mehrstelliges Datenwort erzeugt wird, wobei aus mehreren Datenwörtern die Absolutposition bestimmt wird. Die einzelnen Bits der Datenwörter werden gemäß der Erfindung wie die Bits der digitalen Abtastsignale Cl bis C6 behandelt, wobei jedes Datenwort als Codegruppe bezeichnet werden kann.
Die Funktion der Anschlußlogik 25 sowie 29 kann in Hard- oder Software realisiert sein und ist nicht auf das dargestellte Beispiel beschränkt.
Mit der Erfindung ist es auch möglich, die einzelnen analogen Abtastsignale Bl bis B6 individuell durch Beaufschlagen mit Hilfsspannungen oder Regeln der zugeordneten Lichtquellen 42 bis 47 auf definierte Pegel zu verschieben oder die Triggerpegel der A/D-Wandler 12 bis 17 und/oder der A/D-Wandler 41 definiert zu verschieben. Durch diese Maßnahme können alle im Betrieb vorkommenden Signalkombinationen simuliert werden und bei allen Signalkombinationen die Anschlußlogik wie vorstehend erläutert ist, überprüft werden.
Die Steuerung der seriellen Übertragung der Abtastsignale Dl bis D5 sowie Cl bis C6 oder Bl bis B6 erfolgt über die dargestellte serielle Schnittstelle von der NC-Steuerung ausgehend. Die Schnittstelle ist daher als bidirektionale Schnittstelle ausgeführt.
Das übertragene Datenwort D definiert die Absolutposition im Gray-Code, es ist aber auch möglich, das Gray-Code-Datenwort D vor der Übertragung in einen Binär-Code zu wandeln.
Die zu synchronisierenden Codegruppen können auch auf einer einzigen Maßverkörperung aufgebracht sein. Dies kann erforderlich sind, da sich die Flanken eines Abtastsignales allein durch frequenzabhängige Einflüsse relativ gegenüber einem weiteren Abtastsignal verschieben können. Diese Verschiebung erfolgt beispielsweise allein durch die Triggerung aufgrund der Frequenzabhängigkeit der Triggerstufen.
Die Erfindung ist bei Winkel- sowie Linearmeßeinrichtungen einsetzbar, die auf dem lichtelektrischen, kapazitiven, induktiven oder magnetischen Abtastprinzip beruhen.

Claims (9)

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 9. März 1995 Ansprüche
1. Positionsmeßsystem zur Erfassung der Absolutposition zweier relativ zueinander beweglicher Teile mit einer am ersten Teil vorgesehenen Abtasteinheit (6 bis 11, 42 bis 47) zum Abtasten mehrerer am anderen Teil vorgesehener Codespuren
{Al bis A6) unterschiedlicher Auflösung, so daß mehrere analoge und/oder digitale Abtastsignale (Bl bis B6, Cl bis C6) mit unterschiedlichen Signalperioden gewonnen werden, die einer Anschlußlogik (25) zur Kombination mehrerer dieser Abtastsignale (Bl bis B6, Cl bis C6) zugeführt werden und von der Anschlußlogik (25) ein Datenwort (D) gebildet wird, das die Absolutposition definiert, und daß dieses Datenwort (D) über zumindest eine Leitung am Ausgang des Positionsmeßsystems (1) ansteht, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich die analogen oder digitalen Abtastsignale (Bl bis B6, Cl bis C6) unter Umgehung der Anschlußlogik (25) auf die genannte Leitung oder auf weitere Leitungen am Ausgang des Positionsmeßsystems (1) legbar sind, so daß einer Folgeelektronik (24) wahlweise die Abtastsignale (Bl bis B6, Cl bis C6) oder das von der Anschlußlogik (25) gebildete Codewort (D) zuführbar ist.
2. Positionsmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der Folgeelektronik (24) eine weitere Anschlußlogik (25) mit der gleichen Funktion der Anschlußlogik (25) des Positionsmeßsystems (1) vorgesehen ist/ und daß die zur Folgeelektronik (24) übertragenen digitalen Abtastsignale (Cl bis C6) oder die digitalisierten analogen Abtastsignale (Bl bis B6) dieser Anschlußlogik (29) zugeführt werden und ein weiteres Datenwort (DF) gebildet wird.
3. Positionsmeßsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet/ daß das übertragene Datenwort (D) mit dem in der Folgeelektronik (24) gebildeten Datenwort (DF) verglichen wird, und daß ein Fehlersignal (F) abgegeben wird, wenn keine Übereinstimmung der Datenwörter (D7 DF) festgestellt wird.
4. Positionsmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die digitalen oder analogen Abtastsignale (Bl bis B6, Cl bis C6) in dem Positionsmeßsystem (1) abgespeichert werden und nach einem Anforderungssignal der Folgeelektronik (24) die abgespeicherten Abtastsignale (Bl bis B6/ Cl bis C6) und das Codewort (D) seriell zur Folgeelektronik (24) übertragen werden.
5. Positionsmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Positionsmeßsystem eine Winkelmeßeinrichtung (1) mit mehreren über Untersetzungsgetriebe miteinander verbundenen Codescheiben (3, 5) ist, und daß in der Anschlußlogik (25, 29) digitale Abtastsignale (C4, C5, C6) gröber auflösender Codespuren
(A4, &Agr;5, &Agr;6) zumindest mit einem Abtastsignal (C3) einer höher auflösenden Codespur (A3) kombiniert werden.
6. Positionsmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung vorgesehen ist, mit der die Pegel der analogen Abtastsignale definiert veränderbar sind, wodurch verschiedene Absolutpositionen simuliert werden.
7. Positionsmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung vorgesehen ist, mit der die Triggerpegel zur Analog/Digital-Wandlung der analogen Abtastsignale definierbar veränderbar sind, wodurch verschiedene Absolutpositionen simuliert werden.
8. Positionsmeßsystem nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß bei jeder Verschiebung zumindest eines Pegels die Datenwörter (D, DF) in der Folgeelektronik (24) miteinander verglichen werden
9. Positionsmeßsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Folgeelektronik eine NC-Steuerung (24) ist.
DE29521135U 1995-03-11 1995-03-11 Positionsmeßsystem Expired - Lifetime DE29521135U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE29521135U DE29521135U1 (de) 1995-03-11 1995-03-11 Positionsmeßsystem

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19508834A DE19508834C2 (de) 1995-03-11 1995-03-11 Positonsmeßsystem
DE29521135U DE29521135U1 (de) 1995-03-11 1995-03-11 Positionsmeßsystem

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE29521135U1 true DE29521135U1 (de) 1996-08-22

Family

ID=26013283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE29521135U Expired - Lifetime DE29521135U1 (de) 1995-03-11 1995-03-11 Positionsmeßsystem

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE29521135U1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10020895A1 (de) * 2000-04-29 2001-10-31 Anton Rodi Positionsgebervorrichtung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10020895A1 (de) * 2000-04-29 2001-10-31 Anton Rodi Positionsgebervorrichtung
DE10020895B4 (de) * 2000-04-29 2011-07-28 Rodi, Anton, 69181 Positionsgebervorrichtung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19681549T1 (de) Strukturmeßsystem
DE69420500T2 (de) Messsystem
DE59509359D1 (de) Sensorsystem
DE69636711D1 (de) Laservermessungssystem
DE59606841D1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE59608120D1 (de) Positionssensor
DE59305801D1 (de) Längenmesssystem
DE29580863U1 (de) Meßsystem
KR970002263A (ko) 거리 측정 장치
DE59610542D1 (de) Messeinrichtung
ATA43196A (de) Pyrometallurgisches system
DE29817719U1 (de) Positionsmeßsystem
DE59800558D1 (de) Messsystem
DE69618427D1 (de) Messsystem
DE69628014D1 (de) Messinstrument
DE59508231D1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE29513552U1 (de) Meßvorrichtung
DE29815905U1 (de) Winkelmeßsystem
DE29521135U1 (de) Positionsmeßsystem
KR960011273U (ko) 말뚝의 계측시스템
DE69424335T2 (de) Messsystem
DE29521403U1 (de) Positionsmeßeinrichtung
NO20000360D0 (no) Målesystem
DE9413879U1 (de) Positionsmeßsystem
DE29521910U1 (de) Positionsmeßeinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
R207 Utility model specification

Effective date: 19961002

R150 Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years

Effective date: 19980309

R151 Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years

Effective date: 20010410

R152 Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years

Effective date: 20030324

R071 Expiry of right