DE2945823A1 - Multilayer protective coating for articles - contains vacuum-deposited inorganic pref. ceramic layer and resin, pref. poly:arylalkyl-siloxane layer - Google Patents

Abstract

In an article consisting of a (non) metal substrate coated with 2 applied protective layers, the protective layers, consist, in opt. sequence, of a vacuum-deposited inorganic material layer, (A), and of a resin layer, (B). The substrate may pref. be (i) vacuum-plated with (A) which is then coated with (B) or (ii) coated with (B) which is then vacuum-plated with (A). Pref. (B) is a silicone resin having a large aryl content, partic. a polyarylalkylsiloxane in which the mol. % ratio aryl: (aryl + alkyl) gps. is 65 to 100, which contains 2 or 3 polymerisable functional gps. and in which C:Si atom no ratio is 4.25 to 16. (A) is esp. a ceramic material, pref. Al2O3, MgO, ZrO2, spinel, an Al oxide having a high Al content, a mullite-, Zr- or Li2O-type ceramic, e.g. "Pyroceram" (RTM). The articles may be used as reflectors, e.g. for lighting. The protective coatings are resistant to heat, light, oil and chemicals.

Description

Beschichteter GegenstandCoated item

B e s c h r e i b u n g Die Erfindung betrifft auf ein substrat applizierte Schutzueberzüge, insbesondere Schutzüberzüge aufweisende Gegenstände verbresserter Wärme-, Licht-, Öl- und Chemikalienbeständigkeit. The invention relates to applied to a substrate Protective covers, in particular objects with protective covers Resistance to heat, light, oil and chemicals.

Ilit Schutzüberzügen, z., einer iarzsicht oder einer anorganischen Schicht versehene Gegenstände, z.ü. eine Porzellanemailleschicht aufweisende Gegenstände, sind bekannt.With protective coatings, e.g. a resin layer or an inorganic one Objects provided with a layer, e.g. objects having a porcelain enamel layer, are known.

Gegenstände, bei denen auf das Substrat eine Harzschicht aufgetragen ist, kranken jedoch an einer schlechten Wärme-, Licht-, Witterungs-, Chemikalien- und Abriebsbeständigkeit. Objects that have a layer of resin applied to the substrate but suffer from poor heat, light, weather, chemical and abrasion resistance.

Darüber hinaus neigt die Harzschicht nach längerem Gebrauch zur Verfärbung oder zu einem Verlust ihrer Durchsichtigkeit. In addition, the resin layer tends to discolor after prolonged use or to a loss of their transparency.

Schließlich kann es oftmals beim Abwischen mit einem Tuch und dergleichen zum Säubern zu einer Kratzerbildung kommen. Finally, it can often occur when wiping with a cloth and the like scratches occur when cleaning.

Die Harzschicht wird in der Regel durch Applikation einer Harzlösung, anschließende Verdampfung des verwendeten Lösungsmittels und Härtung des Harzes erzeugt. IIierdurch treten bei der Herstellung Umweltverschmutzungsprobleme auf, so daß eine Lösungsmittelrückgewinnungsanlage erforderlich ist. The resin layer is usually created by applying a resin solution, subsequent evaporation of the solvent used and curing of the resin generated. This leads to pollution problems during production, so that a solvent recovery system is required.

Wenn die Substratoberfläche glatt ist, bereitet das Beschichten im I-linblick auf die Ausbildung eines gleichmäßgen Überzugs auf unebenen oder gemusterten Oberflächen Schwierigkeiten. So kann beispielsweise die aufgetragene Harzbeschichtung einsacken oder die konkaven Teile und Ausnehmungen der gemusterten Oberfläche ausfüllen. Darüber hinaus ist die Dicke des Uberzugs in der Regel groß, was zu einer höheren Absorption von Licht und Infrarotstrahlen führt. Dadurch erhöht sich die Oberflächentemperatür, was zu einer beschleunigten Beeinträchtigung der physikalischen Eigenschaften des Harzes führt.When the substrate surface is smooth, the coating prepares in I look at the formation of an even coating on uneven or patterned surfaces Surface difficulties. For example, the applied resin coating bag or fill in the concave parts and recesses of the patterned surface. In addition, the thickness of the coating is usually large, resulting in a greater thickness Absorption of light and infrared rays leads. This increases the surface temperature, which leads to an accelerated deterioration of the physical properties of the resin leads.

Mit Porzellanemaille versehene Gegenstände kranken andererseits an einer geringen Schlagfestigkeit. An den bei Schlageinwirkung gebildeten Kissen beginnt dann eine Korrosion oder Erosion.On the other hand, objects covered with porcelain enamel suffer from it a low impact resistance. Begins on the cushion formed by the impact then a corrosion or erosion.

Erfindungsgemäß ist es nun gelungen, den geschilderten 1Jachteilen zu begegnen. So hat es sich gezeigt, daß man beim Aufbringen eines Schutzüberzugs aus einer Harzschicht und einer im Vakuum aufgetragenen anorganischen Schicht einen von den geschilderten Nachteilen freien Schutzfilm erhält.According to the invention, the described disadvantages have now been achieved to meet. It has been shown that when applying a protective coating a resin layer and an inorganic layer applied in a vacuum receives free from the disadvantages described protective film.

Als Harz für die Harzschicht kommen einen hohen Arylgehalt aufweisende Siliconharze mit einem molprozentualen Verhältnis Arylreste/(Alkylreste + Arylreste) von 65 bis 100 in Frage. Unter einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharzen sind wärmehärtbare Polyarylpolyalkylsiloxane entsprechend der Definition der JA-OS 38 409/1978, mit einem molprozentualen Verhältnis Arylreste/(Arylreste + Alkylreste) von 65 bis 100, zwei bis drei polymerisierbaren funktionellen Gruppen und einem Verhältnis Kohlenstoff zu Silicium von 4,25 bis 16 zu verstehen. Wenn der molprozentuale Anteil an Arylresten unter 6526 liegt, sinkt in höchst nachteiliger Weise die XWårmebeständigkeit des gehärteten Films. Durch Einstellen der Anzahl an funktionellen Gruppen auf 2 bis 3 lassen sich die Applikation des Harzes und die Rolymerisation oder Aushärtung desselben durch Erwärmen nach dem Auftragen erleichtern.The resin used for the resin layer is those having a high aryl content Silicone resins with a mol% ratio aryl residues / (alkyl residues + aryl residues) from 65 to 100 in question. Among silicone resins with a high aryl content are thermosetting polyaryl polyalkylsiloxanes according to the definition of the JA-OS 38 409/1978, with a mol percentage ratio aryl residues / (aryl residues + alkyl residues) from 65 to 100, two to three polymerizable functional groups and one The ratio of carbon to silicon from 4.25 to 16 should be understood. If the mole percentage The proportion of aryl radicals is below 6526, the extremely disadvantageous decrease in the heat resistance of the cured film. By setting the number of functional groups to 2 to 3 can be the application of the resin and the polymerization or curing make it easier by warming up after application.

Im Vergleich zu üblichen Siliconharzen mit zahlreichen Alkylresten besitzen die erfindungsgemäß verwendeten, einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharze eine hohe Härte.Compared to conventional silicone resins with numerous alkyl radicals have those used according to the invention, a high aryl content silicone resins exhibiting high hardness.

Demzufolge zeigen sie folgende günstige Eigenschaften: (1) Siliconharze mit einem hohen Arylgehalt besitzen im Vergleich zu üblichen Siliconharzen mit entweder nur Alkylresten oder zahlreichen Alkylresten eine hervorragende Ilitzebeständigkeit. Sie halten dauernd eine Temperatur von 2500C oder weniger und einige h Temperaturen von 2500 bis 6000C aus. Darüber hinaus sind sie hervorragend licht-, witterungs-, chemikalien- und wasserbeständig.Accordingly, they show the following favorable properties: (1) Silicone resins with a high aryl content compared to conventional silicone resins with either only alkyl groups or numerous alkyl groups have excellent resistance to ilite. They permanently maintain a temperature of 2500C or less and temperatures for a few hours from 2500 to 6000C. In addition, they are excellent light, weather, chemical and water resistant.

(2) Sie haften ausreichend an dem Substrat.(2) They adhere sufficiently to the substrate.

(3) Sie lassen sich hervorragend durch Vakuumbeschichten insbesondere bei erhöhter Temperatur auf lichtreflektierende Metalle auftragen.(3) They can be excellently applied by vacuum plating in particular Apply to light-reflecting metals at elevated temperature.

(4) Da ihre Lichtbeugung der Lichtbeugung von Glas und Quarz ähnlich ist, treten beim Beschichten derselben kaum Reflexions- oder Beugungsprobleme auf.(4) Because their light diffraction is similar to that of glass and quartz there are hardly any reflection or diffraction problems when they are coated.

(5) Da sie, in Filmform aufgetragen, farblos und durchsichtig sind, erhält man Uberzüge hoher Lichtdurchlässigkeit.(5) Since they are colorless and transparent when applied in film form, coatings of high light transmission are obtained.

(6) Die Biegebeständigkeit ist sehr hoch, so daß beim Biegen der Überzug praktisch nicht reißt oder sich ablöst.(6) The bending resistance is very high, so that when bending, the coating practically does not crack or peel off.

(7) Die Verarbeitbarkeit bei der Herstellung ist gut, wobei praktisch keine Umweltverschmutzungsprobleme auftreten.(7) The manufacturing processability is good, but practical no pollution problems arise.

Da die erfindungsgemäß verwendeten Harze die geschilderten Eigenschaften aufweisen, lassen sie sich auf Gebieten, auf denen eine Hitzebeständigkeit erforderlich ist, und auf verschiedenen neuen Gebieten, auf denen der Einsatz üblicher Siliconharze hohen Gehalts an Alkylresten Schwierigkeiten bereitet, zum Einsatz bringen. Es hat sich gezeigt, daß man optimale Eigenschaften erhält, wenn als zur Ausbildung der im Vakuum abgelagerten Schicht verwendete anorganische Materialien keramische liaterialien verwendet werden.Since the resins used according to the invention have the properties described have, they can be used in areas where heat resistance is required is, and in various new fields in which the use of conventional silicone resins high content of alkyl radicals makes it difficult to use. It has it has been shown that optimal properties are obtained when used to train the Inorganic materials deposited in the vacuum layer used ceramic liaterialien be used.

Im Gegensatz zu amorphem Siliciumdioxid und zu amorphen Gläsern besitzt ein erfindungsgemäß im Vakuum aufgetragener keramischer Schutz film wegen seiner kristallinen Natur folgende Eigenschaften: (1) Auch bei kompliziert gestalteten Gegenständen oder Gegenständen mit tiefen Ausnehmungen läßt sich im Gegensatz zu Siliciumdioxid oder Gläsern ohne Schwierigkeiten im ta&utm ein gleichmäßiger Uberzug ausbilden.In contrast to amorphous silicon dioxide and amorphous glasses an inventively applied in a vacuum ceramic protective film because of its crystalline nature has the following properties: (1) Even with complicated designs Objects or objects with deep recesses can, in contrast to Silicon dioxide or glasses without difficulty in the ta & utm a more uniform Form coating.

(2) Je nach dem beabsichtigten Verwendungszweck und im Hinblick auf eine möglichst hohe Affinität lassen sich geeignete Arten von Substraten und keramischen Materialien wählen und miteinander kombinieren, wobei man mit Schutzüberzügen versehene Gegenstände erhält, deren Schutzüberzug eine hohe Dichte und feste Haftung aufweist, gegenüber Lösungsmitteln, Wasser und Chemikalien inert ist und länger haltbar ist.(2) Depending on the intended use and with regard to the highest possible affinity can be suitable types of substrates and ceramic Choose materials and combine them with each other, with protective covers being provided Receives objects with a protective coating that has a high density and firm adhesion, is inert to solvents, water and chemicals and has a longer shelf life.

(3) Zusätzlich zu seiner Schutzfunktion für das Substrat vermag die im Vakuum aufgetragene keramische Schicht dem Gegenstand andere wertvolle Eigenschaften zu verleihen.(3) In addition to its protective function for the substrate, the Ceramic layer applied in a vacuum gives the object other valuable properties to rent.

So sind beispielsweise einige keramische Materialien niedrigen Oxidationsgrads elektrisch leitend, so daß sie dem Gegenstand durch Ableitung der Elektrizität Antischleiereigenschaften verleihen. Ferner ist es möglich, den Überzug durchsichtig oder willkürlich lichtreflektierend zu machen.For example, some ceramic materials are low Degree of oxidation electrically conductive, so that it has anti-fog properties by dissipating electricity to lend. It is also possible to make the coating transparent or arbitrarily light-reflective close.

(4) Zur Gewinnung von farbigem Siliciumdioxid oder Glas müssen Farbstoffe zugesetzt werden, dagegen sind von IIause aus verschiedene farbige keramische Ilaterialien verfügbar.(4) To obtain colored silicon dioxide or glass, dyes are required are added, on the other hand, different colored ceramic materials are inherent available.

Bei Verwendung dieser von läuse aus farbigen keramischen jIaterialien lassen sich ohne Schwierigkeiten Gegenstände der verschiedensten Farben herstellen.When using these from lice made of colored ceramic materials objects of various colors can be produced without difficulty.

Unter einem "Substrat" ist erfindungsgemäß nicht nur ein platten- oder lagenförmiger Gegenstand zu verstehen. Substrate können vielmehr die verschiedensten Formen aufweisen. Erfindungsgemäß können sowohl metallische als auch nicht-metallische Substrate zum Einsatz gelangen. Typische Beispiele für metallische Substrate sind Metalle und Legierungen, wie Eisen, rostfreier Stahl, Kupfer, Messind, Bronze, Nickel, Aluminium und Duralumin, und Platten oder Bleche, deren Oberfläche mit Metallen überzogen ist, z.B.According to the invention, a "substrate" is not just a plate or layered object to understand. Rather, substrates can be very diverse Have shapes. According to the invention, both metallic and non-metallic Substrates are used. Typical examples of metallic substrates are Metals and alloys, such as iron, stainless steel, copper, brass, bronze, nickel, Aluminum and duralumin, and plates or sheets, the surface of which is covered with metals is coated, e.g.

verzinkte und verzinnte iisenbleche.galvanized and tinned iron sheets.

Als ITicht-I.etalle für das Substrat können diejenigen, die bei dem beim Vaiwumbeschichten herrschenden verminderten Druck niedrige Ijoleküle hohen Dampfdrucks bilden (z.B.The non-I.metals for the substrate can be those that are involved in the the reduced pressure prevailing in the vacuum coating process low molecular weight high Forming vapor pressure (e.g.

Wasser) oder eine Zersetzung erfahren, erfindungsgemäß nicht verwendet werden. Beispiele für erfindungsgemäß verwendbare nicht-metallische Substrate sind unter anderem stabile Polymerisate, z.B. Epoxy-, Polyester, Melamin-, Silicon-, Acryl-, Polycarbonat-, Polyurethan- oder Fluorkohlenstoffharze, Glas, keramische Materialien, Glimmer und Steine. Selbstverständlich eignen sich auch noch andere stabile nicht-metallische Substrate. Im Falle, daß ein polymeres nicht-metallisches Substrat vollständig mit einem jlarz bedeckt ist (vgl. Prüflinge 5 bis d von Tabelle I), lassen sich die genannten Bedingungen ohne weiteres erfüllen, so daß neben den genannten Substraten auch noch Schiefer, Holz, Papier und dergleichen verwendet werden können.Water) or undergo decomposition, not used according to the invention will. Examples of non-metallic substrates which can be used according to the invention are including stable polymers, e.g. epoxy, polyester, melamine, silicone, Acrylic, polycarbonate, polyurethane or fluorocarbon resins, Glass, ceramic materials, mica and stones. Of course, they are also suitable still other stable non-metallic substrates. In the case that a polymeric non-metallic The substrate is completely covered with a glass resin (cf. test items 5 to d of table I), the conditions mentioned can easily be met, so that in addition to mentioned substrates also slate, wood, paper and the like are used can be.

Ein Substrat, dessen Oberfläche etwas uneben ist oder sehr kleine Löcher aufweist, läßt sich durch Beschichten mit einem Harz und anschließendes Vakuumbeschichten mit einem kristallinen keramischen Material oder einen amorphen siliciumhaltigen Glas glätten, wobei man ein Substrat hoher Glätte erhält. Beispiele für erfindungsgemäß verwendbare kristalline keramische ilaterialien sind unter anderem oxidische keramische tiaterialien, wie Aluminiumoxid, Magnesiumoxid, Zirkonoxid und Spinells idiolitische keramische Materialien, wie Cordierit, einen hohen Aluminiumgehalt aufweisende Aluminiumoxide und mullitische keramische Materialien, keramische Zirkonium- und Steatitmaterialien, keramische Titanoxidmaterialien und keramische Celsianmaterialien. Diese Aufzählung ist jedoch noch nicht endgültig.A substrate whose surface is slightly uneven or very small Has holes can be obtained by coating with a resin and then vacuum coating with a crystalline ceramic material or an amorphous silicon-containing one Flatten glass to obtain a substrate of high smoothness. Examples of the invention Crystalline ceramic materials that can be used include oxide ceramics tiaterialien such as alumina, magnesia, zirconia and spinels idiolitic ceramic materials such as cordierite, aluminas having a high aluminum content and mullitic ceramic materials, ceramic zirconium and steatite materials, titanium oxide ceramic materials and celsian ceramic materials. This list however, it is not final.

Diese keramischen Materialien bilden in der Regel nach dem Vakuumbeschichten kristalline Schichten. Wenn lIitze- und Säurebeständigkeit im Vordergrund stehen, werden oxidische keramische Materialien und mullitische keramische Materialien bevorzugt. Wenn eine Alkalibeständigkeit gewünscht wird, eignen sich keramischer Fayalit und Serpentin. Für Hochtemperaturgebrauch werden keramischer Idiolit oder keramisches Lithiumoxid bevorzugt. Wenn eine extrem niedrige thermische Ausdehnung und Kontraktion angestrebt werden, gelangen vorzugsweise keramische Lithiumoxide, wie pYroceram (lithiumhaltige Glaskeramik), zum Einsatz. Diese keramischen Materialien sind nach dem Auftragen lichtdurchlässig, so daß durch den betreffenden Überzug die Farbe und das Muster des Substrats sichtbar sind.These ceramic materials usually form after vacuum plating crystalline layers. If strand and acid resistance are the main focus, oxide ceramic materials and mullitic ceramic materials are preferred. If alkali resistance is desired, ceramic fayalite and are suitable Serpentine. For high temperature use, ceramic idiolite or ceramic become Lithium oxide preferred. When extremely low thermal expansion and contraction to be striven for, ceramic lithium oxides are preferred, such as pYroceram (lithium-containing glass ceramic), are used. These ceramic materials are translucent after application, so that through the coating in question the color and pattern of the substrate are visible.

Wenn lediglich für einen Schutz gesorgt werden soll und durch den Liter zug hindurch das Substrat nicht sichtbar sein muß, können die im folgenden aufgezählten opaken oder farbigen keramischen Materialien zum Einsatz gelangen. Beispiele für diese keramischen Naterialien sind Carbide, Boride, Nitride, Silicide und Oxide, wie Ferrit, sowie deren lçletallkeramiken.If only protection is to be provided and by the Liter train through the substrate does not have to be visible, the following can be used enumerated opaque or colored ceramic materials are used. Examples of these ceramic materials are carbides, borides, nitrides, and silicides and oxides, such as ferrite, and their oil-metal ceramics.

1. Oxidmetallkeramiken (wasserfrei) 30 Al203 + 70 Cr 70 Al203 + 30 Cr 70 BeO + 30 Be 2. Carbidmetallkeramiken Titancarbid (80 TiC + 20 Cr) Chromcarbid Berylliumcarbid Wolframcarbid 3. Boridmetallkeramiken ZrB2 Zirkoniumborid TiB2 Titanborid 85 CrB2 + 15 Ni 4. Silicidmetallkeramiken MoSi2 + 6% Co TiSi2 5. Nitridmetallkeramiken 34N Bornitrid TiN Titannitrid Cr2N, CrN Chromnitrid SiN4 Siliciumnitrid Die zweite Schicht (d.h. die erste Schutzschicht) der geschützten bzw. beschichteten Gegenstände gemäß der Erfindung besteht aus einer im Vakuum aufgetragenen anorganischen Schicht oder einer Harzschicht. Die Prüflinge 1, 2, 3 und 4 von Tabelle I, bei denen die zweite Schicht aus einer im Vakuum aufgetragenen anorganischen Schicht besteht, werden zunächst beschrieben. Bei der Herstellung der Prüflinge 1 und 2 können sämtliche durch Vakuumbeschichtung auftragbart anorganisch Substanzen zum Einsatz gelangen. Hierzu gehören amorphe kieselsäurehaltige Materialien, z.B. Siliciumoxide, wie Siliciumdioxid, Bergkristalle und Quarz, sowie Gläser, wie Natrium-, Kalium-, Blei-, Borsilicat- und Aluminosilicatglas. Wenn keine Durchsichtigkeit erforderlich ist, können auch die im folgenden genannten opaken oder farbigen Substanzen zum Einsatz gelangen.1. Oxide metal ceramics (anhydrous) 30 Al203 + 70 Cr 70 Al203 + 30 Cr 70 BeO + 30 Be 2. Carbide metal ceramics Titanium carbide (80 TiC + 20 Cr) Chromium carbide Beryllium carbide tungsten carbide 3. boride metal ceramics ZrB2 zirconium boride TiB2 titanium boride 85 CrB2 + 15 Ni 4. Silicide metal ceramics MoSi2 + 6% Co TiSi2 5. Nitride metal ceramics 34N boron nitride TiN titanium nitride Cr2N, CrN chromium nitride SiN4 silicon nitride The second layer (i.e. the first protective layer) of the protected or coated Articles according to the invention consists of an inorganic applied in a vacuum Layer or a resin layer. Samples 1, 2, 3 and 4 of Table I, where the second layer consists of an inorganic layer applied in a vacuum, are described first. In the manufacture of test items 1 and 2, all Inorganic substances can be applied by vacuum coating. These include amorphous silicic acid-containing materials, e.g. silicon oxides such as silicon dioxide, Rock crystals and quartz, as well as glasses such as sodium, potassium, lead, borosilicate and aluminosilicate glass. If transparency is not required, so can the opaque or colored substances mentioned below are used.

Beispiele hierfür sind farbige Gläser, z.B. rote Gläser, wie Gold-, Kupfer- und Selengläser, gelbe Gläser, z.B.Examples of this are colored glasses, e.g. red glasses, such as gold, Copper and selenium glasses, yellow glasses, e.g.

Silbergläser, blaue Gläser, z.B. Kobaltoxidgläser, violette Gläser, z.B. Nickeloxidgläser, grüne Gläser, z.B. Chromoxidgläser, und Opale, d.h. Gläser mit Fluoriden und sonstigen Trübungsmitteln (NaF, NaAlF6, CaF2, SnO2, Sb203 As2O3, ZrO2, TiO2 und dergleichen).Silver glasses, blue glasses, e.g. cobalt oxide glasses, violet glasses, e.g. nickel oxide glasses, green glasses, e.g. chrome oxide glasses, and opals, i.e. glasses with fluorides and other opacifiers (NaF, NaAlF6, CaF2, SnO2, Sb203 As2O3, ZrO2, TiO2 and the like).

Als Harze zur Ausbildung des Schutzfilms eignen sich unter anderem EpoXy-, Polyester-, Allyl-, Phenol- und Siliconharze. Vorzugsweise werden diese Harze in üblicher bekannter leise lösungsmittelfrei aufgetragen und dann durch Erwärmen, z.B. Brennen, gehärtet. Das Auftragen der Harze kann jedoch auch unter Zuhilfenahme von Lösungsmitteln mit nachgeschalteter Lösungsmittelverdampfung, durch elektrostatischen Auftrag, durch Kaschieren mit einem Film oder (weniger bevorzugt) nach anderen tiaßbes chichtungsverfahren mit nachgeschaltetem Trocknen erfolgen.Suitable resins for forming the protective film include, among others EpoXy, polyester, allyl, phenolic and silicone resins. Preferably these resins are applied in the usual known quietly and solvent-free then hardened by heating, e.g. firing. However, the application of the resins can also with the aid of solvents with downstream solvent evaporation, by electrostatic application, by lamination with a film or (less preferred) be carried out according to other tiaßbes coating processes with subsequent drying.

Dieser Schutzfilm ist direkt atmosphärischer Luft ausgesetzt und muß somit witterungs-, feuchtigkeits-, lösungsmittel-, chemikalien- und hitzebeständig sein.This protective film is directly exposed to atmospheric air and must thus weather, moisture, solvent, chemical and heat resistant be.

Vorzugsweise wird somit ein einen hohen Arylgehalt aufweisendes Siliconharz gemäß der JA-OS 38 409/1973 verwendet.A silicone resin having a high aryl content is thus preferred used according to JA-OS 38 409/1973.

Besonders gut geeignet sind einen hohen Arylgehalt aufweisende Polyarylpolyalkylsiloxane eines molprozentualen Verhältnisses Arylreste/(Arylreste + Alkylreste) von 65 bis 100, zwei bis drei polymerisierbaren funktionellen Gruppen und einem Verhältnis Kohlenstoff zu Silicium von 4,25 bis 16. Vakuumbeschichtungsverfahren für anorganische Substanzen sind beispielsweise die Vakuumetallisierung, die Zerstäubung und das Ionenplattieren. Unter "anorganischen Substanzen" sind hier und im folgenden kristalline keramische Materialien und amorphe kieselsäure- ba. siliciumdioxidhaltige Materialien zu verstehen.Polyarylpolyalkylsiloxanes having a high aryl content are particularly suitable a molar percentage ratio of aryl radicals / (aryl radicals + alkyl radicals) from 65 to 100, two to three polymerizable functional groups and a ratio Carbon to silicon from 4.25 to 16. Vacuum deposition process for inorganic Substances are for example vacuum metallization, atomization and that Ion plating. "Inorganic substances" here and below include crystalline substances ceramic materials and amorphous silica- ba. silicon dioxide containing materials to understand.

Das Vakuummetallisieren ist die einfachste Form der Vakuumbeschichtung. Die Energie, die zum Beschichten ausgenutzt werden kann, ist lediglich die kinetische Energie der verdampften Teilchen in dem mittleren freien Weg, beispielsweise 0,1 eV oder darunter. Folglich dringen die Teilchen in das Substrat nur 1 i oder weniger ein, so daß man einen schwachen Überzug erhält. Die Haftung der gebildeten Schicht an dem Substrat ist schlecht und die Filmdichte gering, so daß der Film folglich eine geringe Abziehfestigkeit besitzt.Vacuum metallizing is the simplest form of vacuum coating. The energy that can be used for coating is only kinetic Energy of the vaporized particles in the mean free path, for example 0.1 eV or below. As a result, the particles penetrate into the substrate only 1 i or less to give a poor coating. Liability the layer formed on the substrate is poor and the film density is low, so that the film consequently has poor peel strength.

Beim Eintauchen in Wasser und dergleichen kann sich der Film ablösen, ist dimer erosionsanfällig und kann seine Hitze- und Chemikalienbeständigkeit verlieren. Das Vakuummetallisieren erfolgt in dem mittleren Frontweg der verdampften Teilchen der anorganischen Substanzen. Folglich muß diesem Faktor in der Praxis Beachtung geschenkt werden.When immersed in water and the like, the film can peel off, dimer is prone to erosion and can lose its heat and chemical resistance. The vacuum metallizing takes place in the central front path of the vaporized particles of inorganic substances. Consequently, this factor must be taken into account in practice be given.

Der mittlere freie Weg der verdampften Metallteilchen sinkt mit abnehmendem Teilchengewicht, erhöhtem Vakuum und steigender Temperatur. Folglich lassen sich Substanzen niedrigeren Atomgewichts und kleineren Atomdurchmessers einfacher auftragen. Das Vakuum sollte mindestens 0,00013, vorzugsweise 0,000013 mbar oder weniger betragen. Da ein Unterschied von einer Zehnerpotenz beim Vakuum den 10-fachen Unterschied beim mittleren freien Weg bedingt, ist somit das Vakuum der wesentlichste Parameter beim Vakuummetallisieren. Wenn beispielsweise im Schmelzezustand eines keramischen Materials das Vakuum auf einen Wert nicht unter dem 100-fachen des vorgegebenen Werts sinkt, läßt sich der Vakuumauftrag des betreffenden keramischen Materials nur schwierig steuern, wobei man keine Schicht der gewünschten Festigkeit erhält. Andererseits variiert der mittlere freie Weg mit der Quadratwurzel der absoluten Temperatur.The mean free path of the vaporized metal particles decreases with decreasing Particle weight, increased vacuum and increasing temperature. Consequently, can Apply substances of lower atomic weight and smaller atomic diameter more easily. The vacuum should be at least 0.00013, preferably 0.000013 mbar or less. Since a difference of a power of ten in the vacuum is 10 times the difference Due to the mean free path, the vacuum is the most important parameter when vacuum metallizing. For example, if in the molten state of a ceramic Material the vacuum to a value not less than 100 times the specified Value decreases, the vacuum application of the ceramic material in question difficult to control without obtaining a layer of the desired strength. On the other hand, the mean free path varies with the square root of the absolute Temperature.

Folglich ist der Einfluß der Temperatur nicht so groß. Komplexe anorganische Substanzen, deren Bestandteile eine molekulare Verbindung bilden oder einen ähnlichen mittleren freien Weg und eine ähnliche Verdampfungsgeschwindigkeit aufweisen, können erfolgreich durch Vakuummetallisieren aufgetragen werden. Wenn jedoch diese Bedingungen nicht erfüllt sind, werden die dissoziierten Bestandteile getrennt auf das Substrat aufgetragen, was zur Bildung unebener oder schwacher Schichten führt. In diesen Fällen empfiehlt sich die Durchführung des später noch beschriebenen Zerstäubungsverfahrens.As a result, the influence of temperature is not so great. Complex inorganic Substances whose components form a molecular compound or a similar one mean free path and a similar evaporation rate can successful by vacuum metallizing be applied. if however, these conditions are not met, the dissociated constituents become applied separately to the substrate, resulting in the formation of uneven or weak layers leads. In these cases it is advisable to carry out the procedure described below Atomization process.

Wie die vorhergehenden Ausführungen gezeigt haben, läßt sich die Vakuummetallisierung ohne Schwierigkeiten mit Hilfe einer einfachen und preisgünstigen Vorrichtung bei einem Mindestmaß an Wartungsaufwand herstellen. Die danach hergestellten Schutzschichten sind bis auf wenige Fälle akzeptabel.As the previous statements have shown, the vacuum metallization without difficulty with the help of a simple and inexpensive device Establish a minimum of maintenance effort. The protective layers produced afterwards are acceptable except for a few cases.

Bei dem Zerstäubungsverfahren werden angeregte Teilchen größerer kinetischer Energie als bei der Vakuummetallisierung auf die Substratoberfläche auftreffen gelassen. Wenn die kinetische Energie von einigen 10 bis mehreren 100 Elektronenvolt reicht, dringen die Metallteilchen in das Substrat einige bis mehrere 10 i ein, wobei festere und haltbarere Uberzüge erhalten werden als bei der Vakuummetallisierung.In the atomization process, excited particles of larger size become more kinetic Energy than allowed to impinge on the substrate surface in the case of vacuum metallization. If the kinetic energy ranges from a few tens to several hundred electron volts, the metal particles penetrate into the substrate by a few to several 10 i, with stronger ones and more durable coatings are obtained than with vacuum metallization.

Andererseits muß das zu beschichtende Material in eine bestimmte Aufnahmeform spezieller Konfiguration, z.B. in Scheiben- oder Säulenform, gebracht werden. Dies schafft zusätzliche Kosten und in der Praxis bestimmte Beschränkungen. Darüber hinaus ist die Beschichtungsgeschwindigkeit die geringste und der Produktionszyklus der längste unter den drei Vakuumbeschichtungsverfahren. Dies erfordert höhere Anlagekosten und einen größeren Zeitaufwand bei der 'assenprodulrtion. Eines der Merkmale dieses Verfahrens ist, daß anorganische Substanzen in den meisten Fällen ohne Dissoziation der Komponenten im Vakuum aufgetragen werden können. Im Gegensatz zu der Vakuummetallisierung, bei der das Material aus der Schmelze verdampft wird, entstehen bei diesem Verfahren aus einem festen körper durch Sublimation Gase, in denen kaum eine Dissoziation der Bestandteile erfolgt.On the other hand, the material to be coated must be in a certain receiving form special configuration, e.g. in the shape of a disk or column. this creates additional costs and, in practice, certain limitations. Furthermore the coating speed is the lowest and the production cycle the longest of the three vacuum coating processes. This requires higher investment costs and a greater amount of time spent on food production. One of the features of this Method is that inorganic substances in most cases without dissociation the components are applied in a vacuum can. In contrast to vacuum metallization, in which the material is evaporated from the melt, In this process, gases are created in a solid body by sublimation which hardly any dissociation of the constituents takes place.

Wegen der höheren Bewegungsgeschwindigkeit der gasförmigen Teilchen ist der mittlere freie Weg länger als bei der Vakuummetallisierung.Because of the higher speed of movement of the gaseous particles the mean free path is longer than with vacuum metallization.

Wenn jedoch die Reaktionsbeschichtung durch hochangeregte Zerstäubung erfolgt, gibt es einige Fälle, in denen Bedingungen eingehalten werden müssen, die den bei der später beschriebenen Ionenplattierung einzuhaltenden Bedingungen stark ähneln.However, if the reaction coating by highly excited sputtering occurs, there are some cases where conditions must be met that the conditions to be observed in the ion plating described later are strong resemble.

Das dritte Verfahren ist die Ionenplattierung, bei welcher das Überziehen mit der höchsten Energie erfolgt. Dieses Verfahren läßt sich in mehrere Verfahrensvarianten einteilen. Wenn man eine Verfahrensvariante hohen Beschichtungswirkungsgrads durchführt, erreicht man bei einer energie von einigen KeV, daß die anorganischen Substanzen bis zu einer Tiefe von einigen 100 i eindringen.The third method is ion plating, in which plating takes place with the highest energy. This process can be divided into several process variants organize. If one carries out a process variant of high coating efficiency, at an energy of a few KeV, one achieves that the inorganic substances penetrate to a depth of a few 100 i.

Im Gegensatz zu den beiden Vakuumbeschichtungsverfahren wird bei der Ionenplattierung mit kationischen Teilchen anstelle von neutralen Teilchen gearbeitet. Die positiv geladenen Teilchen werden in Richtung auf eine Kathode, d.h.In contrast to the two vacuum coating processes, the Ion plating worked with cationic particles instead of neutral particles. The positively charged particles are directed towards a cathode, i.

das geladene Substrat, geschossen und treffen auf dieses mit höherer Geschwindigkeit auf als bei dem Zerstäubungsverfahren. Während die Teilchen bei der Vakuummetallisierung und beim Zerstäubungsverfahren nahezu neutral sind, sind, wie bereits erwähnt, die Teilchen bei der Ionenplattierung kationisch und folglich von geringerer Größe als die entsprechenden neutralen Teilchen. ;jornit ist also auch der mittlere freie et: länger als bei der Vakuummetallisierung oder bei der Zerstäubung bei der gleichen 'l'emperatur und demselben Druck.the charged substrate, shot and hit this with higher Speed than with the atomization process. While the particles at the vacuum metallization and the atomization process are almost neutral, are, as already mentioned, in ion plating the particles are cationic and consequently of smaller size than the corresponding neutral particles. ; jornit is also the mean free et: longer than with vacuum metallization or in the case of atomization at the same temperature and pressure.

Im folgenden werden typische Ionenplattierverfahren beschrieben: (1) Plasmaionenplattierung: An das beschichtungsmaterial und das substrat wird unter vermindertem Druck (0,013 bis 0,0015 mbar) eine Spannung von einigen 100 bis einigen 1000 V angelegt, um eine Glühentladung zu bewerkstelligen. Die verdampften neutralen Teilchen werden in dem entstandenen Plasma ionisiert. hierbei brird ein um mehrere 10,C höherer Ionisierungsgrad erreicht, was dazu führt, daß der gebildete Film eine hohe mechanische Festigkeit erhält. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß auch die Substratrückseite beschichtet werden kann.Typical ion plating processes are described below: (1) Plasma Ion Plating: Attached to the coating material and the substrate is under reduced pressure (0.013 to 0.0015 mbar) a tension of a few 100 to a few 1000 V applied to accomplish a glow discharge. The evaporated neutrals Particles are ionized in the resulting plasma. here one by several 10, C higher degree of ionization reached, which leads to the fact that the film formed a high mechanical strength. Another benefit is that too the back of the substrate can be coated.

Dies ist deshalb möglich, weil sich die Teilchen längs der elektrischen Kraftlinien bewegen. Das substrat muß jedoch thermisch stabil sein, da die Temperatur der Kathode steigt und der mittlere freie Weg gering ist. Zur Beschichtung großdimensionierter Gegenstände müssen also spezielle Vorkehrungen getroffen werden. This is possible because the particles move along the electrical Move lines of force. However, the substrate must be thermally stable because of the temperature the cathode rises and the mean free path is small. For coating large-sized Items must therefore take special precautions.

Diese Verfahrensvariante eignet sich in hervorragender Weise zur Reaktionsbeschichtung, weswegen man sich ihrer im Rahmen des Verfahrens gemäß der Erfindung vorteilhaft bedienen kann. This process variant is ideally suited for Reaction coating, which is why you are in the context of the process according to the Invention can operate advantageously.

(2) Hochfrequenzionenplattierung: Diese Verfahrensvariante besteht in einer Beschichtung eines Substrats mit verdampften Teilchen aus einer anorganischen Substanz, die beim Hindurchtritt durch eine tiochfrequenzoszillatorspule ionisiert wurden. Die Beschichtung kann bei relativ niedrigem Vakuum (0,0013 bis 0,00013 mbar) durchgeführt werden, da keine Glühentladung benötigt wird. Die Probleme hierbei sind der niedrige Ionisierungsgrad und die Schwierigkeiten beim Beschichten breiter vorspringender Bezirke. Diese sind auf den begrenzten Durchmesser der verwendeten Hochfrequenzoszillatorspule zurUckzuführen. Vorteilhaft an dieser Verfahrensvariante ist, daß sich die Kathodentemperatur nur geringfügig erhöht.(2) High-frequency ion plating: This process variant exists in a coating of a substrate with vaporized particles of an inorganic Substance that ionizes when passing through a high frequency oscillator coil became. The coating can be applied at a relatively low vacuum (0.0013 to 0.00013 mbar) be carried out since no glow discharge is required. The problems here the low degree of ionization and the difficulties in coating are broader protruding districts. These are due to the limited diameter of the used Return high frequency oscillator coil. This process variant is advantageous is that the cathode temperature increases only slightly.

(3) Ionenplattierung bei angelegter Spannung: Bei dieser Verfahrensvariante handelt es sich um ein modifiziertes Plasmaionenplattierverfahren, bei welchem in einem Vakuum von 0,00013 bis 0,000013 mbar gearbeitet wird. Obwohl visuell praktisch kein Glühen feststellbar ist, ist in der Tat ein Kathodenstromfluß nachweisbar. Bei einem Vakuum unter 0,00013 mbar und einem Spannungsgradienten von einigen 10 V/cm oder höher lassen sich akzeptable Ergebnisse erreichen. Die bei dieser Verfahrensvariante erzielten Ergebnisse liegen zwischen den Ergebnissen beim Plasmaionenplattieren und Vakuummetallisieren.(3) Ion plating with applied voltage: In this process variant is a modified plasma ion plating process in which in a vacuum of 0.00013 to 0.000013 mbar is used. Although visually practical If no glow is detectable, a cathodic current flow is indeed detectable. At a vacuum below 0.00013 mbar and a voltage gradient of a few 10 V / cm or higher can achieve acceptable results. The in this process variant The results obtained are in between the results obtained with plasma ion plating and vacuum metallizing.

(4) Mit ionisierender Pistole" arbeitendes Verfahren: Bei dieser Verfahrensvariante werden im Gegensatz zu den drei beschriebenen Verfahrensvarianten, bei denen vorher durch Widerstandsheizung oder Elektronenstrahlen verdampfte Teilchen direkt durch ein elektrisches Feld, ein Plasma oder Hochfrequenzwellen ionisiert werden, mittels einer ionisierenden Pistole direkt ionisierte Teilchen hergestellt. Typische Beispiele sind das i-Pistolenverfahren und das Hohlkathodenverfahren. Beide Verfahrensvarianten erlauben eine Beschichtung im Hochvakuum bei hohem Ionisierungswirkungsgrad. Letztere beiden Verfahrensvarianten stehen jedoch immer noch in der Entwicklung.(4) Process using ionizing gun ": In this process variant be opposed to the three described process variants, in which particles previously vaporized by resistance heating or electron beams ionized directly by an electric field, plasma, or radio frequency waves directly ionized particles are produced using an ionizing gun. Typical examples are the i-gun process and the hollow cathode process. Both Process variants allow coating in a high vacuum with a high degree of ionization efficiency. However, the latter two process variants are still under development.

Wenn eine Ionenplattierung oder -galvanisierung durchgeführt wird, ist es erforderlich, den geschilderten ErfordeF nissen Beachtung zu schenken.When ion plating or electroplating is performed, it is necessary to pay attention to the requirements outlined.

Erfindungsgemäß lassen sich die verschiedenen beschriebenen Vakuumbeschichtungsverfahren je nach den eingesetzten anorganischen Substanzen kombinieren. Im Vergleich zur Vakuumbeschichtung von Metallen unterscheidet sich die in der Praxis durchgeführte Arbeitsweise für anorganische Substanzen beträchtlich, was spezielle Aufmerksamkeit erfordert.The various vacuum coating processes described can be used in accordance with the invention combine depending on the inorganic substances used. In comparison to Vacuum coating of metals differs from that carried out in practice Working method for inorganic substances considerably, which deserves special attention requires.

Der erste zu beachtende Punkt ist, daß zum Aufschmelzen, Sublimieren oder Verdampfen anorganischer Substanzen eine weit größere Energie erforderlich ist als für Metalle. Unabhängig von dem jeweils durchgeführten Beschichtungsverfahren ist festzustellen, daß die Beschichtungsdauer länger ist und daß die Maßnahmen zur Vergasung und Ionisierung begrenzt sind. So können beispielsweise die meisten Metalle durch Widerstandsheizung unter Verwendung eines hochschmelzenden Metalls erschmolzen und vergast werden. Dagegen lassen sich die meisten anorganischen Substanzen durch Widerstandsheizung nicht in den Gaszustand überführen, so daß man sich zu diesem Zweck Elektronen- oder Ionenstrahlen bedienen muß. Der zweite so zu beachtende Punkt ist der, daß die meisten anorganischen Substanzen im Gegensatz zu Metallen, die wegen ihrer guten Wärmeleitfähigkeit gleichmäßig erhitzt werden und schmelzen, nur an der erhitzten Stelle und in deren Nachbarschaft schmelzen.The first point to keep in mind is that for melting, sublimating or evaporation of inorganic substances requires a far greater amount of energy is as for metals. Regardless of the coating process carried out in each case it should be noted that the coating time is longer and that the measures for Gasification and ionization are limited. For example, most metals can melted by resistance heating using a refractory metal and be gassed. In contrast, most inorganic substances can pass through Resistance heating do not convert into the gas state, so that one must use electron or ion beams for this purpose. The second So the point to be observed is the fact that most inorganic substances are in opposition to metals, which are heated evenly because of their good thermal conductivity and melt, only melt in the heated area and in its vicinity.

Sämtliche erfindungs gemäß verwendbaren anorganischen Substanzen besitzen die Struktur von Verbindungen. Dies hat zur Folge, daß ihre Vakuumbeschichtungseigenschaften sich von denen von Metallen unterscheiden. Auch diesem Punkt muß Beachtung geschenkt werden. Wenn man beispieiweise Siliciumdioxid mittels eines Elektronenrohrs erhitzt, dissoziiert diese Verbindung, wenn auch nur schwach, in Silicium, Siliciummonooxid, Sauerstoff und dergleichen. Der leichtgewichtige Sauerstoff wird leicht aus dem Vakuumsystem ausgetragen, so daß ein an Sauerstoff verarmter Schutzüberzug gebildet wird. Wenn dieser Schutzüberzug dann der Luft ausgesetzt wird, bildet ein derartiger an Sauerstoff verarmter Film eine wasserlösliche kieselsäureartige oder -haltige Substanz, die ihre Durchsichtigkeit verliert und trüb wird. Erfindungsgemäß lassen sich diese Schwierigkeiten dadurch vermeiden, daß man dem Beschichtungssystem genügend Sauerstoff zuführt oder den aufgetragenen Film in Gegenwart von Sauerstoff einer Reaktion (mit dem Substrat) unterwirft (Reaktionsbeschichtung).All inorganic substances which can be used according to the invention have the structure of connections. As a result, their vacuum coating properties differ from those of metals. Attention must also be paid to this point will. If, for example, silicon dioxide is heated by means of an electron tube, this compound dissociates, even if only weakly, into silicon, silicon monoxide, Oxygen and the like. The lightweight oxygen is easily removed from the Vacuum system discharged, so that an oxygen-depleted protective coating is formed will. When this protective coating is then exposed to air, it forms Oxygen-depleted film is a water-soluble silica-like or silica-containing one Substance that loses its transparency and becomes cloudy. Let according to the invention avoid these difficulties by giving the coating system sufficient Oxygen supplies or the applied film in the presence of oxygen one Reaction (with the substrate) subjects (reaction coating).

Ein typisches Beispiel ist die Vakuumbeschichtung von Aluminiumoxid, wobei in der Regel gelbe oder sogar dunkelbraune Ueberzüge gebildet werden. Nach den geschilderten Verfahren lassen sich jedoch durch Valnttnnauftrag farblose und durchsichtige Aluminiumoxidfilmo erzeugen.A typical example is the vacuum coating of aluminum oxide, yellow or even dark brown coatings are usually formed. To However, the processes outlined can be colorless and create clear aluminum oxide films.

Der mittlere freie Weg anorganischer Substanzen ist in den meisten Fällen kürzer als der von Metallen. Bei sonst gleichen Bedingungen sind jedoch für anorganische Substanzen drastischere Arbeitsbedingungen, z.B. ein höheres Vakuum, eine höhere Temperatur, ein höherer Ionisierungsgrad und dergleichen, erforderlich als für lSletalle. Aluminium läßt sich beispielsweise bei einem Vakuum in der Größenordnung von 0,00013 mbar auftragen, für Siliciumdioxid ist dagegen ein Vakuum von 0,000013 mbar erforderlich, um akzeptable Ergebnisse zu erreicnen. Bei der Durchführung eines Zerstäubungsverfahrens ist bei Verwendung von anorganischen Substanzen die Beschichtungsgeschwindigkeit weit geringer als bei der Verwendung von Metallen. Bei Ionenplattierverfahren bereiten andererseits die Ionisierung und die Tatsache, daß der aufgetragene Film, d.h. die Kathode, einen Isolator darstellt, Schwierigkeiten, indem nämlich die weitere Ionenplattierung nur unter extrem großen Schwierigkeiten abläuft. Dies gilt insbesondere für die Plasmaionenplattierung oder -galvanisierung, bei der das Kathodenpotential hoch und der Ionenstrom groß sind.The mean free path of inorganic substances is in most Cases shorter than that of metals. All other things being equal, however, are for inorganic substances more drastic working conditions, e.g. a higher vacuum, a higher temperature, a higher degree of ionization and the like are required than for lSletalle. For example, aluminum can be on the order of magnitude in a vacuum of 0.00013 mbar, for silicon dioxide, on the other hand, a vacuum of 0.000013 is mbar is required to achieve acceptable results. When performing a When using inorganic substances, the atomization method is the coating speed far less than when using metals. Prepare for ion plating process on the other hand the ionization and the fact that the applied film, i.e. the Cathode, an insulator, presents difficulties, namely the further ion plating runs only with extremely great difficulty. This is especially true for the Plasma ion plating or electroplating where the cathode potential is high and the ion current are large.

In solchen Fällen erreicht man eine merkliche Verbesserung durch Installieren einer getrennten Metallnetzkathode in der Machbarschaft der Kathode anstelle der Benutzung des aufgetragenen Films als Kathode. Die Plasmaionenplattierung sollte in einem Vakuum zwischen 0,0013 und 1,3 mbar, vorzugsweise bei einem Vakuum in der Größenordnung von 0,013 mbar, bei einer angelegten Spannung über der Ionisierungsspannung und unter etwa 10 KV durchgeführt werden.In such cases, a noticeable improvement can be achieved by installing a separate metal mesh cathode in the feasibility of the cathode instead of the Use of the applied film as a cathode. Plasma ion plating should in a vacuum between 0.0013 and 1.3 mbar, preferably at a vacuum in the Order of magnitude of 0.013 mbar, with an applied voltage above the ionization voltage and under about 10 KV.

Ein zu hohes Vakuum kann zu einer fehlerhaften Glühentladung oder zum Verschwinden des flunkelraums führen. Bei einem zu geringen Vakuum kann es andererseits zu einer Bogen- oder Funkenentladung kommen.Too high a vacuum can lead to a faulty glow discharge or lead to the disappearance of the whiskey room. On the other hand, if the vacuum is too low, it can to a Arc or spark discharge occur.

Wenn, wie bei der Hochfrequenzionenplattierung, bei Verwendung eines Hochfrequenzionenrohrs oder bei dem I-Iohlkathodenverfahren ein Ionengenerator verwendet wird, ist es in einigen Fällen möglich, die Vakuumbeschichtung erfolgreich bei einem Vakuum bis zu 0,00013 mbar durchzuführen.If, like high frequency ion plating, when using a High-frequency ion tube or in the I-Iohlkathodenverfahren an ion generator is used it is possible in some cases to successfully vacuum deposition at one Perform a vacuum down to 0.00013 mbar.

einer der Vorteile von Ionenplattierverfahren ist die Tatsache, daß der mittlere freie Weg der Substanzteilchen bei ausreichend hohem Ionisierungsgrad länger wird als bei der Vakuummetallisierung und daß sich der mittlere freie Weg zug durch Erhöhen der angelegten Spannung noch weiter verlängern läßt. Auf diese Weise kann man die Vakuumbeschichtung bei vermindertem Vakuum durchführen. Bei anorganischen Substanzen sind jedoch die Ionisierungsspannung höher und der mittlere freie eg kürzer. Möglich sollte die Plasmaionenplattierung vorzugsweise bei möglichst hoher Anregungsspannung durchgeführt oder eine Hohlkathode oder ein liochfrequenzionenrohr verwendet werden. In diesen Fällen kann jedoch, wenn unähnliche Materialien mit merklich verschiedenen freien Wegen und IonengescElwindigkeiten verwendet werden, der aufgetagene Film verfärbt sein oder seine Durchsichtigkeit teilweise oder vollständig verloren haben. Somit sollten also vorzugsweise Iiaterialien verwendet werden, die in chemischer Hinsicht so gleichmäßig wie möglich sind.one of the advantages of ion plating processes is the fact that the mean free path of the substance particles with a sufficiently high degree of ionization becomes longer than with vacuum metallization and that the mean free path Zug can be extended even further by increasing the applied voltage. To this In this way, vacuum coating can be carried out under reduced vacuum. With inorganic Substances, however, the ionization voltage is higher and the mean free eg shorter. The plasma ion plating should preferably be possible at the highest possible Excitation voltage carried out or a hollow cathode or a liochfrequenzionenrohr be used. In these cases, however, when using dissimilar materials noticeably different free paths and ion velocities are used, the film may be discolored or its transparency partially or completely discolored have lost. Thus, materials should preferably be used which are as uniform as possible chemically.

Ferner erfolgt die Beschichtung vorzugsweise auch in Gegenwart von Sauerstoff, um die Bildung von an Sauerstoff verarmten Filmen zu vermeiden. Schließlich ist es auch möglich, ein Metall und ein reaktionsfähiges Gas, wie Sauerstoff oder Stickstoff, durch Reaktionsvakuumbeschichten zur Bildung einer Schicht zu veranlassen.Furthermore, the coating is preferably also carried out in the presence of Oxygen to avoid the formation of oxygen-depleted films. In the end it is also possible to use a metal and a reactive gas, such as oxygen or Nitrogen, to cause a layer to form by reaction vacuum plating.

Kombinationen aus Silicium und Sauerstoff, Aluminium und Sauerstoff bzw. Titan und Stickstoff liefern Siliciumoxid-oder Siliciumdioxidfilme, Aluminiumoxidfilme bzw. Titannitridfilme. In diesen Fällen bilden sich manchmal trübe und elektrisch leitende Schichten niedrigen Oxidationsgrads.Combinations of silicon and oxygen, aluminum and oxygen and titanium and nitrogen, respectively, provide silicon oxide or silicon dioxide films, aluminum oxide films and titanium nitride films, respectively. In these cases, cloudy and electric sometimes form conductive layers with a low degree of oxidation.

Mit steigendem Oxidationsgrad steigt auch die Durchsichtigkeit bzw. Transparenz bei sinkender oder vollständig verschwindender Leitfähigkeit. In vielen Fällen sind jedoch die gebildeten Schichten farbig. Farblose durchsichtige Filme sind nur schwierig herzustellen.As the degree of oxidation increases, so does the transparency or Transparency with decreasing or completely disappearing conductivity. In many In some cases, however, the layers formed are colored. Colorless clear films are difficult to manufacture.

Bei der erfindungsgemäßen Ausbildung des Schutzüberzugs kann auf dem Substrat entweder ein Harzschutzüberzug oder eine durch Vakuumbeschichten aufgetragene anorganische Schicht vorgesehen sein. Welche Schicht im einzelnen auf das Substrat zu liegen kommt, hängt von dem beabsichtigten Endgebrauchszweck ab. In the inventive formation of the protective coating can on either a protective resin coating or one applied by vacuum deposition to the substrate inorganic layer may be provided. Which layer in detail on the substrate comes to rest depends on the intended end use.

Als Harz kommt entweder eines der genannten einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharze oder ein sonstiges Harz in Frage. Als anorganische Substanz zum Vakuumauftrag der anorganischen Schicht können keramische Materialien oder sonstige anorganische Substanzen getrennt oder in Laminatform zum Einsatz gebracht werden. Bevorzugt wird, wenn eine hohe Hitze-, Witterungs- und Lichtbeständigkeit erforderlich sind, einen hohen Arylgehalt aufweisende Siliconharze und keramische Materialien in aufeinander laminierter Form zu verwenden. Erfindungsgemäß braucht die Jeweils gebildete Schicht nicht aus einer einzigen Substanz zu bestehen. So kann (können) Harz- und/oder anorganische Schichten) in Form eines Laminats au8 zwei oder mehreren Materialien vorliegen. Either one of the named resins comes as a resin with a high aryl content having silicone resins or another resin in question. As an inorganic substance Ceramic materials or other materials can be used for vacuum application of the inorganic layer inorganic substances can be used separately or in laminate form. It is preferred when high resistance to heat, weathering and light is required are high aryl silicone resins and ceramic materials to be used in laminated form. According to the invention, each needs formed layer not to consist of a single substance. So can (can) Resin and / or inorganic layers) in the form of a laminate of two or more Materials are available.

Der in der geschilderten Weise ausgebildete Schutzfilm ist bereits unmittelbar nach seiner Herstellung hervorragend haltbar. Eine längere Lebensdauer erhält er in der Regel, indem man ihn altert. Dies geschieht beispielsweise dadurch, daß man (1) ihn einige Tage bei Raumtemperatur liegen läßt, (2) ihn mehrere 10 h lang auf eine Temperatur unter der Wärmeverformungstemperatur erwärmt oder (3) ihn mehrmals auf eine Temperatur unterhalb Wärmeverformungstemperatur erwärmt und anschließend abkühlt.The protective film formed in the manner described is already Excellent shelf life immediately after its production. A longer lifespan it is usually preserved by aging. This happens, for example, by that (1) it is allowed to stand for a few days at room temperature, (2) it is for several 10 hours heated to a temperature below the heat distortion temperature for a long time or (3) him heated several times to a temperature below the thermal deformation temperature and then cools down.

Den Schutzfilm oder -überzug erhält man durch Aufkaschieren einer Harzschicht auf eine im Vakuum auf einem Substrat abgelagerte anorganische Schicht. (1) Jeder einzelne Schutzfilm kann im Vergleich zur Verwendung eines einzigen Schutzfilms dUnner gemacht werden. (2) Die beiden Schutzschichten haften fest aneinander, so daß die bei lediglich mit einer anorganischen Schicht beschichteten Gegenständen zu beobachtende Sprödigkeit und geringe Schlagbeständigkeit verbessert werden. (3) Im Vergleich zur Verwendung von lediglich einer Harzschicht läßt sich die Gesamtfilmdicke des anorganischen Films und Harzfilms vermindern, was eine höhere Wärmeübertragung, einen geringeren Temperaturanstieg und eine verlängerte Haltbarkeit zur Folge hat. (4) Es lassen sich sowohl die hervorragenden Eigenschaften der anorganischen Substanzen (öl-, Lösungsmittel-, Licht-, arme- und Abriebbeständigkeit) und die guten Eigenschaften des Harzes (Wasser-, Feuchtigkeits-, Chemikalienbeständigkeit sowie Lichtdurchlässigkeit) erhalten, so daß der beschichtete Gegenstand insgesamt hervorragende physikalische und chemische Eigenschaften aufweist. (5) Die anorganische Substanz bildet beim Vakuumauftrag selbst auf gekrümmten Substraten eine gleichmäßig dicke Schicht und läßt eventuell vorhandene Muster nicht verschwinden.The protective film or cover is obtained by laminating a Resin layer on an inorganic layer deposited in vacuo on a substrate. (1) Each individual protective film can be compared to using a single protective film be made thinner. (2) The two protective layers adhere firmly to each other, see above that the objects coated only with an inorganic layer observed brittleness and low impact resistance can be improved. (3) The total film thickness can be compared to using only one resin layer the inorganic film and resin film decrease, resulting in higher heat transfer, results in a lower temperature rise and an extended shelf life. (4) It can be both the excellent properties of the inorganic substances (oil, solvent, light, poor and abrasion resistance) and the good properties of the resin (water, moisture, chemical resistance and light transmission) obtained, so that the coated article has excellent physical overall and has chemical properties. (5) The inorganic substance forms at Vacuum application of a uniformly thick layer even on curved substrates and does not make any existing patterns disappear.

(6) Eine besonders hohe Hitzebeständigkeit erreicht man bei Verwendung eines einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharzes. Eine besonders gute Hitze-, Witterungs-, Licht-, Lösungsmittel- und Abriebbeständigkeit erreicht man, wenn man durch Vakuumbeschichtung ein keramisches Material aufträgt. Die Kombination beider Substanzen ermöglicht die herstellung von beschichteten Gegenständen unerwarteter HaZtbarkeit. (7) Wenn ein mit einem Schutzüberzug versehener (beschichteter) Gegenstand gemäß der Ereindung als äußere Schicht (des doppellagigen Schutzüberzugs) eine Ilarzschicht aufweist, verschwinden die Nachteile der darunterliegenden anorganischen Schicht, z.B. schlechte Chemikalien-, Wasser- und FeuchtiglSeitsbeständigkeit sowie Sprödigkeit. Wenn dagegen die äußere Schicht aus einer anorganischen Schicht besteht, werden die Nachteile der darunterliegenden Harzschicht, nämlich eine schlechte Öl-, Lösungsmittel-, Licht-, Witterungs-, Hitze- und Abriebbeständigkeit, beseitigt.(6) Particularly high heat resistance is achieved when it is used a high aryl content silicone resin. A particularly good heat, Weather, light, solvent and abrasion resistance are achieved if you applies a ceramic material by vacuum coating. The combination of both Substances enables the manufacture of coated objects more unexpectedly Durability. (7) When an object provided with a protective coating (coated) According to the invention, the outer layer (of the double-layer protective coating) is an Ilarz layer the disadvantages of the underlying inorganic layer disappear, E.g. poor chemical, water and moisture resistance and brittleness. On the other hand, if the outer layer consists of an inorganic layer, will the disadvantages of the underlying resin layer, namely a poor oil, solvent, Light, weather, heat and abrasion resistance, eliminated.

Bei den mit Schutzüberzügen versehenen Prüflingen 1, 2, 3 und 4 in Tabelle I handelt es sich um Beispiele, bei denen auf das Substrat durch Vakuumbeschichtung eine anorganische Substanz aufgetragen ist. Die Unebenheit der Substratoberfläche ist nahezu perfekt wiedergegeben. Im Gegensatz dazu ist bei den Prüflingen 5, 6, 7 und 8 von Tabelle I das Harz direkt auf das Substrat appliziert, wobei eine glatte Oberfläche mit vollständig gefüllten kleinen Löchern und rauhen Stellen erhalten wird. Gegebenenfalls kann man in diesem Falle Muster und Unebenheiten bilden, die sich von den ursprünglich auf dem Substrat befindlichen Mustern und Unebenheiten unterscheiden.For the specimens 1, 2, 3 and 4 in Table I are examples that apply vacuum deposition to the substrate an inorganic substance is applied. The unevenness of the substrate surface is reproduced almost perfectly. In contrast, for the test items 5, 6, 7 and 8 of Table I the resin applied directly to the substrate, with a smooth Surface with completely filled small holes and rough spots will. If necessary, you can form patterns and bumps in this case, the from the patterns and bumps originally on the substrate differentiate.

Die Prüflinge 1, 2, 3 und 4 haben als äußerste Schicht eine Harzschicht. Dadurch sind die Sprödigkeit sowie die schlechte Chemikalien-, Wasser- und Feuchtigkeitsbeständigkeit der darunterliegenden anorganischen Schicht beseitigt. Bei den Prüflingen 5, 6, 7 und 8 von Tabelle I sind andererseits die Nachteile der unteren Schicht, nämlich die schlechte Öl-, Lösungsmittel-, Licht-, Witterungs-, Hitze-und Abriebbeständigkeit, durch die im Vakuum aufgetragene äußere anorganische Schicht kaschiert. Welche Art äußere Schicht bei dem jeweiligen Gegenstand benötigt wird, hängt vom Fndgebrauchszweck des beschichteten Gegenstandes ab.Samples 1, 2, 3 and 4 have a resin layer as the outermost layer. This results in brittleness and poor chemical, water and moisture resistance the underlying inorganic layer is eliminated. For test items 5, 6, 7 and 8 of Table I, on the other hand, are the disadvantages of the lower layer, viz the poor oil, solvent, light, weather, heat and abrasion resistance, laminated by the external inorganic layer applied in a vacuum. Which type The outer layer required for the respective item depends on the intended use of the coated object.

Die Erfindung läßt sich auch mit Substraten durchführen, die gegebenenfalls bereits eine Harzschicht oder eine im Vakuum aufgetragene lichtreflektierende Metaischicht aufweisen.The invention can also be carried out with substrates which, if appropriate already a resin layer or a light-reflecting metal layer applied in a vacuum exhibit.

Im folgenden werden die hervorragenden Eigenschaften erfindungsgemäßer beschichteter Gegenstände, insbesondere von Reflektoren, näher erläutert: (1) Durch Auftragen eines Harzes auf das Substrat läßt sich ein weit höheres regelmäßiges Reflexionsvermögen erreichen.In the following, the excellent properties become more in accordance with the present invention coated objects, in particular reflectors, explained in more detail: (1) By Applying a resin to the substrate can be made a far higher regularity Achieve reflectivity.

(2) Das Aufeinanderlaminieren einer lichtdurchlässigen anorganischen Schicht und einer Harzschicht zum Zwecke der Ausbildung eines Schutzüberzugs ermöglicht es, die Stärke oder Dicke der einzelnen Schichten im Vergleich zur alleinigen Verwendung einer der beiden Schichten zu verringern.(2) Laminating a translucent inorganic Layer and a resin layer for the purpose of forming a protective coating es, the thickness or thickness of each layer compared to when used alone decrease one of the two layers.

(3) Beide Schutzüberzuglagen lassen sich durch Harzbindung fest verankern. Die anorganische Schicht wird durch die Harzschicht verstärkt, so daß die bei alleinigem Auftrag der anorganischen Schicht beobachtete Sprödigkeit nicht mehr auftritt. Ferner wird hierbei die Schl«gestigkeit verbessert.(3) Both protective cover layers can be firmly anchored by resin bonding. The inorganic layer is through reinforces the resin layer, so that the brittleness observed with the sole application of the inorganic layer no longer occurs. In addition, the maneuverability is improved.

(4) Die geringere Dicke sowohl der anorganischen als auch der Harzschicht stellt ein höheres reguläres Reflexionsvermögen sicher, wobei man sehr klare reflektierte Bilder erhält oder eine Lichtsammlung oder Lichtstreuung mit großer Genauigkeit sicherstellen kann.(4) The thinner thickness of both the inorganic and resin layers ensures a higher regular reflectivity while reflecting very clearly Receives images or light collection or light scattering with great accuracy can ensure.

(5) Der aus einer anorganischen Schicht und einer Harzschicht bestehende Schutzüberzug kann eine geringere Dicke aufweisen als eine alleine aufgetragene lichtdurchlässige Harzschicht, was eine höhere Wärmeübertragung und einen geringeren Temperaturanstieg zur Folge hat. Dies stellt sicher, daß die Reflektoren länger haltbar sind.(5) The one composed of an inorganic layer and a resin layer Protective coating can have a smaller thickness than one applied alone translucent resin layer, resulting in higher heat transfer and lower Temperature rise. This ensures that the reflectors last longer are durable.

(6) Wenn die äußerste Schicht eine anorganische Schicht ist, machen sich die Nachteile der darunterliegenden Harzschicht, z.B. schlechte Ö1-, Lösungsmittel-, Licht-, Wärme-und Abriebbeständigkeit, nicht bemerkbar. Wenn andererseits die äußerste Schicht aus einer Harzschicht besteht, verschwinden die Nachteile der darunterliegenden anorganischen Schicht, z.B. Sprödigkeit und schlechte Wasser-, Feuchtigkeits- und Chemikalienbeständigkeit.(6) If the outermost layer is an inorganic layer, do it the disadvantages of the underlying resin layer, e.g. poor oil, solvent, Light, heat and abrasion resistance, not noticeable. If on the other hand the extreme Layer consists of a resin layer, the disadvantages of the underlying disappear inorganic layer, e.g. brittleness and poor water, moisture and Chemical resistance.

Die Vorteile der Reflektoren von Tabelle III werden im folgenden näher erläutert: Die Reflektoren 1 und 3 von Tabelle III, bei denen auf eine im Vakuum aufgetragene lichtreflektierende Metallschicht im Vakuum eine lichtdurchlässige anorganische Schicht aufgetragen ist, lassen sich in höchst wirksamer Weise herstellen, indem die beiden Vakuumbeschichtungsmaßnahmen nacheinander und fortlaufend durchgeführt werden. Hierbei braucht das jeweils einfach beschichtete "Zwischenprodukt" nicht aus der Vakuumbeschichtungsvorrichtung ausgetragen zu werden. Obwohl sie weniger öl- und lösungsmittelbeständig sind und ihre Oberflächenhärte geringer ist (was auf die äußere Harzschicht zurUckzuführen ist), sind sie biegsamer und besser chemikalien-, wasser- und feuchtigkeitsbeständig. Die Reflektoren 3 und 4 der Tabelle III enthalten auf dem Substrat eine Harzschicht und darauf eine im Vakuum aufgetragene lichtreflektierende Metallschicht. Hierdurch wird ein höheres regelmäßiges Reflexionsvermögen gewährleistet. Die Reflektoren 2 und 4 enthalten eine im Vakuum aufgetragene lichtreflektierende Metallschicht, eine darauf befindliche durchsichtige Harzschicht und eine auf die Harzschicht im Vakuum aufgetragene durchsichtige anorganische Schicht. In diesem Falle können die Reflektoren nicht dadurch hergestellt werden, daß die beiden Vakuumbe schichtungsmaßnahmen aufeinanderfolgend und kontinuierlich durchgeführt werden, d.h. der Produktionsgrad ist hier weit geringer als im ersteren Falle.The advantages of the reflectors of Table III are detailed below explained: The reflectors 1 and 3 of Table III, in which on one in a vacuum applied light-reflecting metal layer in a vacuum a translucent inorganic layer is applied, can be in most effective Way to produce by the two vacuum deposition measures one after the other and be carried out continuously. In each case, it needs a single coated one "Intermediate product" not being discharged from the vacuum coating device. Although they are less oil and solvent resistant and their surface hardness is smaller (due to the outer resin layer), they are more flexible and better chemical, water and moisture resistant. The reflectors 3 and 4 of Table III contain a resin layer on the substrate and an im Light-reflecting metal layer applied in a vacuum. This becomes a higher one regular reflectivity guaranteed. The reflectors 2 and 4 included a light-reflecting metal layer applied in a vacuum, one on top clear resin layer and a clear one applied on the resin layer in vacuo inorganic layer. In this case, the reflectors cannot be made thereby be that the two Vakuumbe coating measures successively and continuously be carried out, i.e. the level of production is far lower here than in the former Cases.

Der Vorteil dieser Art von Reflektoren ist andererseits deren überragende Lösungsmittelbeständigkeit, die darauf zurückzuführen ist, daß in diesem Falle die äußere Schicht aus einer lichtdurchlässigen anorganischen Schicht und nicht aus einer lichtdurchlässigen Harzschicht besteht. In diesen Fällen muß besonders beachtet werden, daß beim Vakuwabeschichten der Harzschicht das Verbleiben flüchtiger nicht-umgesetzter Monomerer und restlicher Lösungsmittel weitestgehend unterdrUckt wird.The advantage of this type of reflectors, on the other hand, is their overwhelming advantage Solvent resistance, which is due to the fact that in this case outer layer made of a translucent inorganic layer and not made of a translucent resin layer. Special attention must be paid in these cases that when the resin layer is vacuum coated the remaining volatile unreacted Monomer and remaining solvent is largely suppressed.

Die erfindungsgemäß aufgetragenen Schichten werden, selbst wenn sie mehrlagig ausgebildet sind, aber derselben Art angehören, als eine Schicht angesehen. So wird beispielsweise eine Schicht aus lediglich Aluminium und eine Schicht aus Kupfer und Aluminium als eine Schicht angesehen. In ähnlicher Weise wird eine lichtdurchlässige anorganische Schicht aus Siliciumdioxid und Aluminiumoxid als eine Schicht angesehen. Dasselbe gilt für die lichtdurchlässige Harzschicht.The layers applied according to the invention are, even if they are multilayered, but belong to the same species, as one Layer viewed. For example, a layer made of just aluminum and a layer of copper and aluminum is considered to be one layer. In a similar way becomes a translucent inorganic layer of silicon dioxide and aluminum oxide viewed as a layer. The same is true for the translucent resin layer.

Die folgenden Beispiele sollen die Erfindung näher veranschaulichen.The following examples are intended to illustrate the invention in more detail.

Beispiel 1 Eine 0,1 cm dicke Aluminiumfolie wird zu einem 15 cm hohen Paraboloid eines Durchmessers von 30 cm ausgeformt, dann bis zur Haarlinie bearbeitet, entfettet, gesäubert und getrocknet. Hierauf wird das erhaltene Paraboloid in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung auf einen drehbaren Halter 20 cm über der Herdauskleidung gestellt. ilach dem Evakuieren des Systems auf einen Druck von 0,000013 mbar wird Siliciumoxid mittels eines Elektronenstrahls in Luft verdampft. Die Vakuumbeschichtung wird während 7 min bei einer angelegten Spannung von -0,5 kV, einer EB-IXJutzleistung von 1 bis 1,5 IÇW und einem Beschichtungsdruck von 0,000065 bis 0,000078 mbar durchgeführt (vgl. Tabelle II, 1). Während die Substrattemperatur auf 1500C gehalten wird, wird 7 min lang vakuummetallisiert.Example 1 A 0.1 cm thick aluminum foil becomes a 15 cm high Paraboloid formed with a diameter of 30 cm, then processed to the hairline, degreased, cleaned and dried. The paraboloid obtained is then transferred to the Bell jar of a vacuum coating device on a rotatable holder 20 cm above the stove lining. after evacuating the system to one Silicon oxide is subjected to a pressure of 0.000013 mbar by means of an electron beam in air evaporates. The vacuum deposition is carried out for 7 minutes with an applied voltage of -0.5 kV, an EB-IX power output of 1 to 1.5 IÇW and a coating pressure from 0.000065 to 0.000078 mbar carried out (see. Table II, 1). While the substrate temperature is kept at 1500C, is vacuum metallized for 7 minutes.

Die gesamte Oberfläche des Paraboloids mit dem gebildeten durchsichtigen Aluminiumoxidschutzfilm wird mit einem Melaminharz beschichtet und durch Erwärmen gehärtet. Der gebildete dreischichtige Schutzüberzug zeigt nach 3-tägigem Eintauchen in Stadtwasser keine unnormale Änderung. Auch nach 30-minütigem Eintauchen in übliche organische Lösungsmittel, z.B. Alkohole, Ester und Petroläther, 10%ige wäßrige Salzsäure, Natriumhydroxidlö sung und Kupferchloridl ö sung ist keine Änderung feststellbar, was die hervorragende Wasser-, Ldsungsmittel- und Chemikalienbeständigkeit des Schutzüberzugs belegt. Der mit einem feuerhemmenden Melaminharzschutzüberzug versehene Aluminlumreflektor besitzt bei guten Antikorrosions- und Hitzbeständigkeitseigenschaften ein hervorragendes Reflexionsvermögen. Somit ist er bestens zu Beleuchtungszwecken im Ilausinneren geeignet. Erforderlichenfalls kann das Melaminharz ohne Schwierigkeiten gefärbt werden und zeigt dann einen dekorativen Effekt.The entire surface of the paraboloid with the formed transparent Alumina protective film is coated with a melamine resin and heated by heating hardened. The three-layer protective coating formed shows after 3 days of immersion no abnormal change in city water. Even after 30 minutes of immersion in usual organic solvents, e.g. alcohols, esters and petroleum ethers, 10% aqueous hydrochloric acid, sodium hydroxide solution and copper chloride solution are not Change noticeable, which is the excellent resistance to water, solvents and chemicals of the protective coating. The one with a fire retardant melamine resin protective cover provided aluminum reflector has good anti-corrosion and heat resistance properties excellent reflectivity. Thus, it is ideal for lighting purposes suitable in the interior of Ila. If necessary, the melamine resin can be used without difficulty colored and then shows a decorative effect.

BeisDiel 2 Eine 0,1 cm x 10 cmx 10 cm große Glasplatte wird entfettet, gesäubert, und in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung gelegt. Sie befindet sich 4 cm über einer Hochfrequenzoszillaterspule einer Höhe von 10 cm und eines Durchmessers von 10 cm. Diese ist 8 cm direkt oberhalb der Herdauskleidung installiert. Nach dem Evakuieren auf einen Druck von 0,000027 mbar wird Sauerstoff bis zu einem Druck von 0,0065 mbar eingeführt. Danach wird das System erneut auf einen Druck von 0,000027 mbar evakuiert. Diese Meßnahmen werden zweimal wiederholt. Wie Tabelle II, 2 zeigt, wird Silicium mittels Elektronenstrahlen verdampft, wobei das Substrat auf Raumtemperatur gehalten wird. Die Vakuumbeschichtung erfolgt während 7 min bei einer angelegten Spannung von 0,7 KV, einer EB-Nutzleistung von 1 RW, einem Beschichtungsdruck von 0,00027 bis 0,00039 mbar, einer Hochfrequenznutzleistung von 400 W und einer Frequenz von 13,56 MHz * getrocknet Der erhaltene durchscheinende Schutzfilm in Form einer Siliciumoxidschicht wird mit einer Lösung eines wärmehärtbaren Polyesterharzes beschichtet. Der durch Erwärmen gehärtete dreischichtige Gegenstand zeigt nach dem Erhitzen in dem auf 1500C gehaltenen Ofen keine unnormale Änderung. Ebenso läßt sich keine unnormale Änderung nach 5-tägigem Eintauchen in Stadtwasser ober 30-minütigem Eintauchen in 10%ige wäßrige Salzsäure, Schwefelsäure o der oder Natriumhydroxidlösung feststellen. Der durchscheinende Siliciumoxidfilm vermag IR-Strahlen abzusperren. Diese Eigenschaft macht den Gegenstand zur Verwendung als kalter Spiegel sowie fUr Automobil- und Gebäude fens ter zum Abhalten von Infrarotstrahlung geeignet.BeisDiel 2 A 0.1 cm x 10 cm x 10 cm glass plate is degreased, cleaned, and placed in the bell jar of a vacuum coater. It is located 4 cm above a high frequency oscillating coil 10 in height cm and a diameter of 10 cm. This is 8 cm directly above the stove lining Installed. After evacuation to a pressure of 0.000027 mbar, it becomes oxygen Introduced up to a pressure of 0.0065 mbar. After that, the system will turn on again evacuated a pressure of 0.000027 mbar. These measurements are repeated twice. As Table II, 2 shows, silicon is evaporated by means of electron beams, wherein the substrate is kept at room temperature. The vacuum coating takes place during 7 min at an applied voltage of 0.7 KV, an EB useful power of 1 RW, a coating pressure of 0.00027 to 0.00039 mbar, a high-frequency useful power of 400 W and a frequency of 13.56 MHz * The received translucent protective film in the form of a silicon oxide layer is covered with a solution coated with a thermosetting polyester resin. The three-layer hardened by heating Item shows no abnormality after heating in the oven kept at 1500C Modification. Likewise, no abnormal change can be seen after 5 days of immersion in City water or immersion in 10% aqueous hydrochloric acid, sulfuric acid for 30 minutes o the or sodium hydroxide solution. The translucent silicon oxide film is able to block IR rays. This property makes the object useful as a cold mirror as well as for automobile and building windows to keep infrared radiation away suitable.

Beispiel 3 Eine Acrylpolyesterfolie wird auf ein 0,2 cm x 20 cm x 20 cm großes StUck zurechtgeschnitten, entfettet, gesäubert und getrocknet. Danach wird das Stück Folie in das Glockenfäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht. Es wird in einer Höhe von 25 cm parallel zur Herdauskleidung gelegt.Example 3 An acrylic polyester film is cut to a size of 0.2 cm x 20 cm x 20 cm piece cut to size, degreased, cleaned and dried. Thereafter the piece of foil is placed in the bell jar of a vacuum coater. It is placed at a height of 25 cm parallel to the stove lining.

Nach dem Evakuieren auf einen Druck von 0,000027 mbar wird Siliciumoxid mittels Elektronenstrahlen an der Luft verdampft. Das Vakuumbeschichten erfolgt während 7 min bei einer angelegten Spannung von -0,4 KV, einer EB-Nutzleistung von 0,5 KW und einem Beschichtungsdurck von 0,000078 mbar (vgl.After evacuation to a pressure of 0.000027 mbar, silicon oxide becomes evaporated in the air by means of electron beams. The vacuum coating takes place for 7 min at an applied voltage of -0.4 KV, an EB useful power of 0.5 KW and a coating pressure of 0.000078 mbar (cf.

Tabelle II, 3). Das Substrat wird bei Raumtemperatur gehalten.Table II, 3). The substrate is kept at room temperature.

Auf den erhaltenen lichtdurchlässigen Siliciumoxidschutzfill wird ein einen hohen Arylgehalt aufweisendes Siliconharz mit einem molprozentualen Verhältnis Phenylreste/(Phe-Arylreste + ?bthylreste) von 83,6 aufgetragen und durch Erwärmen gehärtet.On the resulting transparent protective silica fill a high aryl silicone resin with a mole percentage ratio Phenyl residues / (Phe-aryl residues +? Ethyl residues) of 83.6 applied and heated hardened.

Der gebildete dreilagige Schutzüberzug zeigt nach dem Erhitzen in dem 1800C heißen Ofen keine unnormale Änderung. Ebenso wenig zeigt sich eine unnormale änderung nach 5-tigigem Eintauchen in Stadtwasser bzw. 30-minUtigem Eintauchen in 10%ige wäßrige Salzsäure, Schwefelsäure oder Natriushydroxidlösung. Die Lösungsmittelbeständigkeit letzterer Schicht ist weit höher als die von üblichen Harzen, z.B. Polyester-und Melaminharzen. Neben seiner hervorragenden Hitze-, Wasser-, Chemikalien- und USsungsmittelbeständigkeit hält der gebildete Schutzfilm UV-Strahlungs ab und schützt somit das Polyes tersubs trat gegen Beeinträchtigung. Wegen ihrer Durchsichtigkeit, die die Farbe der inneren Melaminharzschicht sauber durchscheinen läßt, sowie wegen ihres leichten Gewichts, ihrer Steifheit und ihrer hohen Isoliereigenschaften eignet sich die mit einem Schutzüberzug versehene Folie als Innendekorationsmaterial.The three-layer protective coating formed shows after heating in no abnormal change in the 1800C oven. Nor does it show an abnormal one Change after 5 days immersion in city water or 30 minutes immersion in 10% aqueous hydrochloric acid, sulfuric acid or sodium hydroxide solution. The solvent resistance The latter layer is far higher than that of common resins, e.g. polyester and Melamine resins. In addition to its excellent resistance to heat, water, chemicals and solvents the protective film formed keeps out UV radiation and thus protects the polyester sub stepped up against impairment. Because of their transparency, which is the color of the interior Lets the melamine resin layer shine through cleanly, as well as because of its light weight, Due to their rigidity and their high insulating properties, those with a protective coating are suitable provided foil as interior decoration material.

Beispiel 4 Eine 0,1 cm x 10 cm x 10cm große Glasplatte wird entfettet, gesäubert, getrocknet und in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht. Sie befindet sich 4 cm Über einer Hochfrequenzoszillatorspule, die ihrerseits 8 cm direkt Über der Herdauskleidung angeordnet ist. Nach dem Evakuieren des Systems auf einen Druck von 0,000027 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0065 mbar gasförmiger Sauerstoff eingeführt, worauf das System erneut auf einen Druck von 0,000027 mbar evakuiert wird (vgl. Tabelle II, 4). Diese MaBDahmen werden zweimal wiederholt. Nun wird Silicium mittels Elektronenstrahlen verdampft, wobei das Substrat auf Raumtemperatur gehalten wird. Das Vakuumbeschichten erfolgt während 7 min in Sauerstoffatosphäre bei einer angelegten Spannung von -0,7 KV, einer EB-Nutzleistung von 1 KW, einem Beschichtungsdruck von 0,00027 bis 0,00039 mbar, einer Hochfrequenzleistung von 400 W und einer Frequenz von 3,65 MHz.Example 4 A 0.1 cm x 10 cm x 10 cm glass plate is degreased, cleaned, dried and placed in the bell jar of a vacuum coater brought in. It is located 4 cm above a high frequency oscillator coil, the in turn is arranged 8 cm directly above the stove lining. After evacuation of the system to a pressure of 0.000027 mbar is up to a pressure of 0.0065 mbar of gaseous oxygen is introduced, whereupon the system is again pressurized is evacuated from 0.000027 mbar (see. Table II, 4). These measures are taken twice repeated. Now silicon is evaporated by means of electron beams, with the substrate is kept at room temperature. The vacuum coating is carried out for 7 minutes in Oxygen atmosphere at an applied Voltage of -0.7 KV, an EB power output of 1 KW, a coating pressure of 0.00027 to 0.00039 mbar, a high frequency power of 400 W and a frequency of 3.65 MHz.

Die gebildete durchscheinende Siliciumoxidschicht wird mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet und durch Erwärmen gehärtet.The formed translucent silicon oxide layer is with a one silicone resin having a high aryl content with a mol percentage ratio of phenyl residues / (phenyl residues + Methyl residues) of 83.6 coated and hardened by heating.

Der derart erhaltene dreilagige Schutzüberzug zeigt beim Erhitzen in dem 1800C heißen Ofen keine unnormale Anderung.The three-layer protective coating thus obtained shows when heated no abnormal change in the 1800C oven.

Ebens,wenig zeigt er eine unnormale Änderung nach 5-tägigem Eintauchen in Stadtwasser. Nach 30-mintitigem Eintauchen in 10%ige wäßrige Salzsäure, Schwefelsäure oder Natriumhydroxidlösung ist keine Korrosion feststellbar. Ferner ist kein Angriff durch organische Lösungsmittel, wie Petroläther, Aceton, Ester und Hexan, nachweisbar. Die Lösungsmittelbeständigkeit der äußeren Harzschicht ist weit höher als die Lösungsmittelbeständigkeit üblicher Harzschutzfilme, z.B.Nor does it show any abnormal change after 5 days of immersion in city water. After immersion for 30 minutes in 10% aqueous hydrochloric acid, sulfuric acid or sodium hydroxide solution, no corrosion can be detected. Furthermore, there is no attack detectable by organic solvents such as petroleum ether, acetone, ester and hexane. The solvent resistance of the outer resin layer is far higher than the solvent resistance conventional resin protective films, e.g.

von Polyesterhar und Melaminharzschutzfilmen. Neben der hohen Hitze-, Wasser-, Chemikalien- und Lösungsmittelbeständigkeit hält der einen hohen Arylgehalt aufweisende Siliconharzfilm W-Strahlen ab. Der durchscheinende Siliciumoxidfilm schirmt dagegen Infrarotstrahlung ab. Diese Eigenschaften machen den beschichteten Gegenstand in höchst vorteilhafter Weise zur Verwendung als kalter Spiegel oder lediglich sichtbare Strahlung durchlassendes Filterglas geeignet.of polyester resin and melamine resin protective films. In addition to the high heat, Water, chemical and solvent resistance keeps a high aryl content silicone resin film having UV rays. The translucent silicon oxide film on the other hand, shields infrared radiation. These properties make the coated Item in a highly advantageous manner for use as a cold mirror or Only filter glass permitting visible radiation is suitable.

Beispiele 5 und 6 Die Oberfläche von jeweils 0,1 cm x 20 cm x 20 cm großen Aluminium- und Kupferfolien wird entfettet, gesäubert, getrocknet und getrennt in das Glockengefaß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung gelegt. Jede Folie ist 25 cm direkt über der Herdauskleidung parallel angeordnet. Nach dem Evakuieren auf einen Druck von 0,000013 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0065 mbar Sauerstoff eingeleitet. Danach wird das System wieder auf einen Druck von 0,000013 mbar evakuiert. Diese Maßnahmen werden zweimal wiederholt. Pyroceram (Beispiel 5) bzw. Aluminiumoxid (Beispiel 6) werden durch Erhitzen mittels Elektronenstrahlen in Sauerstoffat-Atmosphäre verdampft, wobei das Substrat auf Raumtemperatur gehalten wird. Die Bedingungen bei der Vakuumbeschichtung sind folgende: angelegte Spannung -0,7 EV, EB-Leistung 1 KW, Beschichtungsdruck 0,000078 bis 0,000091 mbar, Beschichtungsdauer: 7 min (Beispiel 5); angelegte Spannung: -0,5 KV, EB-Nutzleistung 1,5 KW, Beschichtungsdruck 0,00027 bis 0,00039 mbar, Beschichtungsdauer: 7 min (Beispiel 6).Examples 5 and 6 The surface of 0.1 cm x 20 cm x 20 cm each large aluminum and copper foils are degreased, cleaned and dried and placed separately in the bell jar of a vacuum coating device. Any slide is arranged in parallel 25 cm directly above the stove lining. After evacuation at a pressure of 0.000013 mbar up to a pressure of 0.0065 mbar oxygen initiated. The system is then evacuated again to a pressure of 0.000013 mbar. These measures are repeated twice. Pyroceram (Example 5) or aluminum oxide (Example 6) are obtained by heating with electron beams in an oxygenate atmosphere evaporated, keeping the substrate at room temperature. The conditions in the case of vacuum coating, the following are: applied voltage -0.7 EV, EB power 1 KW, coating pressure 0.000078 to 0.000091 mbar, coating time: 7 min (example 5); applied voltage: -0.5 KV, EB net power 1.5 KW, coating pressure 0.00027 up to 0.00039 mbar, coating time: 7 min (example 6).

Die gesamte Oberfläche der einen durchsichtigen Pyroceram Schutzüberzug aufweisenden Aluminiumfolie von Beispiel 5 wird mit einem Melaminharz beschichtet. Die gesamte Oberfläche der mit dem durchs i chti gen Aluminiumoxids chutzfilm überzogenen Kupferfolie des Beispiels 6 wird mit einem wärmehärtbaren Polyesterharz beschichtst.The entire surface of a clear protective pyroceram cover comprising aluminum foil from Example 5 is coated with a melamine resin. The entire surface of the covered with the transparent aluminum oxide protective film Copper foil of Example 6 is coated with a thermosetting polyester resin.

Danach werden die durch Erwärmen gehärteten, mit einem dreilagigen Schutzüberzug versehenen Gegenstände 3 Tage lang in Stadtwasser eingetaucht, wobei sich keine unnormale Änderung zeigt. Eine Korrosion ist nach dem Eintauchen in organische Lösungsmittel, wie Alkohole, Petroläther und Ester, oder 30-minütiges Eintauchen in 1obige wäßrige Salzsäure, Natriumhydroxid- und Kupferchloridlösungen nicht feststellbar. Bei der hohen Wasser-, Lösungsmittel- und Chemikalienbeständigkeit sowie der hervorragenden Durchsichtigkeit des Schutzüberzugs sind die metalleigene Färbung und der metalleigene Glanz ohne Schwierigkeiten zu sehen, so daß sich die beschichteten Folien in höchst zweckmäßiger Weise als haltbare Innen- und Außendekorationsmaterialien für Gebäude verwenden lassen. Insbesondere bei Verwendung als Lichtreflektoren der verschiedensten Formen lassen sich sehne Licht- bzw. Beleuchtungseffekte im Hausinneren erzielen.After that, the hardened by heating, with a three-layer Protective coated objects immersed in city water for 3 days, whereby there is no abnormal change. Corrosion is after immersion in organic Solvents, such as alcohols, petroleum ethers, and esters, or immersion for 30 minutes Not detectable in the above aqueous hydrochloric acid, sodium hydroxide and copper chloride solutions. At the high water, solvent and Chemical resistance as well as the excellent transparency of the protective coating are the metal's own Color and the metallic luster can be seen without difficulty, so that the coated foils in the most useful manner as durable interior and exterior decorative materials let use for building. Especially when used as light reflectors The most varied of shapes can be created with light or lighting effects inside the house achieve.

BeisPiel 7 Eine 0,1 cm x 20 cm x 20 cm große Aluminiumfolie wird entfettet, gesäubert und getrocknet, und schließlich in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung einge -bracht. Sie befindet sich 25 cm direkt über der Herdauskleidung in paralleler Anordnung. Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,000027 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0065 mbar gasförmiger Sauerstoff eingeleitet, worauf das System erneut auf ein Vakuum von 0,000027 mbar evakuiert wird (vgl. Tabelle II, 7). Diese Maßnahmen werden zweimal wiederholt. Ferner wird durch Erhitzen mit Elektronenstrahlen in Sauerstoffatmosphäre Mullit verdampft. Das Vakuumbeschichten erfolgt während 7 min, wobei das Substrat auf einer Temperatur von 1800C gehalten wird. Die angelegte Spannung beträgt -0,7 KV, die EB-Leistung 1,5 KW und der Beschichtungsdruck 0,00052 bis 0,00065 mbar.EXAMPLE 7 A 0.1 cm x 20 cm x 20 cm aluminum foil is degreased, cleaned and dried, and finally into the bell jar of a vacuum coater brought in. It is located 25 cm directly above the stove lining in parallel Arrangement. After evacuation to a vacuum of 0.000027 mbar, up to a Pressure of 0.0065 mbar gaseous oxygen introduced, whereupon the system again is evacuated to a vacuum of 0.000027 mbar (see. Table II, 7). These measures are repeated twice. Further, by heating with electron beams in Oxygen atmosphere mullite evaporates. The vacuum coating takes place for 7 minutes, wherein the substrate is kept at a temperature of 1800C. The applied voltage is -0.7 KV, the EB power 1.5 KW and the coating pressure 0.00052 to 0.00065 mbar.

Die gesamte Oberfläche der in der geschilderten Weise beschichteten Folie mit dem durchsichtigen Mhllitschutzillm wird mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylresto/(Phenylreste + n.thylreste) von 83,6 beschichtet und durch ErwErmen gehärtet.The entire surface of the coated in the manner described The film with the transparent mill cover has a high aryl content silicone resin containing a molar percentage ratio of phenyl radicals / (phenyl radicals + n.thylreste) of 83.6 coated and hardened by heating.

Der auf diese Weise erhaltene dreilagige Schutzüberzug zeigt nach dem Erwärmen in dem 1800C heißen Ofen keine unnormalen Änderungen. Ebensowenig lassen sich unnormal e Änderungen beobachten nach 5-tägigem Eintauchen in Stadtwasser. Eine Korrosion ist nach 30-mintitigem Eintauchen in 10Xige wäßrige Salzsäure-, Schwefelsäure-, Natriumhydorxyd- und Kupferchloridlösungen nicht feststellbar. Die Beständigkeit des Harüberzugs gegenüber Lösungsmitteln ist weit höher als bei üblichen Harzen, z.B. Polyester- und Nelaminharzen. Neben der hervorragenden Schutzwirkung, insbesondere guten Hitze-, Wasser-, Chemikalien- und Lösungsmittelbestandigkeit, verhindert der auf dem Substrat befindliche durchsichtige Schutzfilm einerseits eine Korrosion des Substrats, andererseits läßt er aber die dem Aluminium eigenen silbrigen Göanzeigenschaften voll zur Geltung kommen. Somit können dio gemäß diesem Beispiel hergestellten Gegenstände als Dekorationsmaterialien für das Gebäude innere und -äußere verwendet werden.The three-layer protective coating obtained in this way shows no abnormal changes when heated in the 1800C oven. Just as little leave it Observe abnormal changes after immersing in city water for 5 days. Corrosion is possible after immersion for 30 minutes in 10X aqueous hydrochloric acid, sulfuric acid, Sodium hydroxide and copper chloride solutions not detectable. The durability the resin coating against solvents is much higher than with conventional resins, e.g. polyester and nelamine resins. In addition to the excellent protective effect, in particular good resistance to heat, water, chemicals and solvents, prevents the On the one hand, the transparent protective film located on the substrate causes corrosion of the substrate, but on the other hand it leaves the silvery general properties inherent in aluminum come into their own. Thus, the articles manufactured according to this example be used as decorative materials for the building interior and exterior.

Beispiel 8 Eine 0,05 cm x 10 cm x 10 cm große Kupferfolie wird ontfettet, gesäubert, getrocknet und in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht. Sie befindet sich 4 cm über einer Hochfrequenzoszillatorspule eines Durchmessers und einer Höhe von jeweils 10 cm, die ihrerseits 8 cm direkt über der Herdauskleidung angeordnet ist. Nach dem Evakuieren auf 0,000027 abar wird gasförmiger Sauerstoff bis zu einem Druck von 0,0065 mbar eingeblasen, worauf das System erneut auf 0,000027 mbar evakuiert wird (vgl. Tabelle II, 8). Diese Maßnahmen werden zweimal wiederholt. Ferner wird Aluminiumoxid mit Hilfe von Elektronenstrahlen verdampft, wobei das Substrat auf Raumtemperatur gehalten wird.Example 8 A copper foil measuring 0.05 cm x 10 cm x 10 cm is greased, cleaned, dried and placed in the bell jar of a vacuum coater brought in. It is located 4 cm above a high frequency oscillator coil of a Diameter and height of 10 cm each, which in turn is 8 cm directly above the Hearth lining is arranged. After evacuating to 0.000027 abar becomes gaseous Oxygen is blown in up to a pressure of 0.0065 mbar, whereupon the System is again evacuated to 0.000027 mbar (see. Table II, 8). These measures are repeated twice. Furthermore, aluminum oxide is made with the help of electron beams evaporated, keeping the substrate at room temperature.

Der beim Verdampfen gebildete Aluminiumdampf strömt durch die Hochfrequenzoszillatorspule. Die Vakuumbeschichtung erfolgt während 7 min bei einer angelegten Spannung von -0,7 KV, einer EB-Ausgangsleistung von 1 bis 1,5 KW, eines Beschichtungsdrucks von 0,00052 bis 0,00065 mbar, einer Hochfrequenzleistung von 400 W und einer Frequenz von 13,56 MHz.The aluminum vapor formed during evaporation flows through the high-frequency oscillator coil. The vacuum coating takes place for 7 minutes with an applied voltage of -0.7 KV, an EB output power of 1 to 1.5 KW, a coating pressure of 0.00052 up to 0.00065 mbar, a high frequency power of 400 W and a frequency of 13.56 MHz.

Die gesamte Oberfläche der mit dem lichtdurchlässigen Aluminiumoxidschutzfilm beschichteten Kupferfolie wird ferner mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet, worauf die aufgetragene Schicht durch Erwärmen gehärtet wird.The entire surface of the light-transmitting aluminum oxide protective film coated copper foil is also made with a high aryl content Silicone resin with a mol% ratio of phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6, whereupon the applied layer is hardened by heating.

Der gebildete dreilagige Schutzüberzug zeigt keine Änderung nach dem Erwärmen in dem 1 800C heißen Ofen. Ebenso wenig zeigt sich eine unnormale Änderung nach 5-tägigem Eintauchen in Stadtwasser oder 30-minütigem Eintauchen in eine 10%ige wäßrige Salzsäure-, Schwefelsäure-, Natriumhydroxid-bzw. Kupferchloridlösung. Eine Korrosion ist nicht feststellbar. Die Beständigkeit des HarzUberzugs gegenüber Lösungsmitteln ist weit größer als bei üblichen Harzen,z.B. Polyester- und Melaminharzen. Neben der hohen Schutzwirkung, z.B. Hitze-, Wasser-, Chemikalien- und Lösungsmittelbeständigkeit, auf das Substrat besitzt der Schutzüberzug nicht nur eine hohe Korrosionsbeständigkeit, sondern er läßt auch die Färbung und den Glanz des Kupfers sowie ein gegebenenfalls auf dem Kupfer befindliches Muster klar erkennen. Somit eignet sich der mit dem Schutzüberzug versehene Gegenstand als schönes Baumaterial für das Gebäude innere und -äußere und als Dekorationsmaterial. Das Verfahren dieses Beispiels eignet sich auch zur Herstellung von Beleuchtungskörpern für die Innenbeleuchtung.The three-layer protective coating formed shows no change after Heating in the 1,800C hot oven. There is also no abnormal change after 5 days of immersion in city water or 30 minutes of immersion in a 10% aqueous hydrochloric acid, sulfuric acid, sodium hydroxide or. Copper chloride solution. One Corrosion is not detectable. The resistance of the resin coating to solvents is far larger than common resins, e.g. Polyester and melamine resins. Next to the high protective effect, e.g. resistance to heat, water, chemicals and solvents, on the substrate, the protective coating not only has a high level of corrosion resistance, but it also leaves the color and shine of the copper as well as an optional one clearly see the pattern on the copper. Consequently suitable the object provided with the protective coating is a beautiful building material for the building inside and outside and as a decorative material. The procedure of this Example is also suitable for the production of lighting fixtures for interior lighting.

Beispiel 9 Eine 0,1 cm x 20 cm x 10 cm große glatte Silberfolie wird in eine paraboloidische reflektierende Form gebracht, entfettet, gesäubert, getrocknet und auf der gesamten Oberfläche mit einem wärmehärtenden Polyesterharz beschichtet.Example 9 A 0.1 cm x 20 cm x 10 cm smooth silver foil is made Brought into a parabolic reflective shape, degreased, cleaned, dried and coated on the entire surface with a thermosetting polyester resin.

Danach wird die Harzschicht durch Erwarmen gehärtet. Hierauf wird das Ganze in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht und auf einen drehbaren Halter, der sich 20 cm über der Herdauskleidung befindet, gelegt.Thereafter, the resin layer is hardened by heating. Then will the whole is placed in the bell jar of a vacuum coating device and placed on a rotatable holder, which is 20 cm above the stove lining.

Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,000013 mbar wird Siliciumdioxid mittels Elektronenstrahlen in Luftatmosphäre verdampft, wobei das Substrat auf Raumtemperatur gehalten wird. Das Vakuumbeschichten erfolgt während 5 min bei einer angelegten Spannung von -0,2 KV, einer EB-Ausgengsleistung von 0,5 KW und einem Beschichtungsdruck von 0,000052 bis 0,000068 mbar (vgl. Tabelle II, 9).After evacuation to a vacuum of 0.000013 mbar, silicon dioxide becomes vaporized by means of electron beams in an air atmosphere, with the substrate at room temperature is held. The vacuum coating is carried out for 5 minutes on an applied Voltage of -0.2 KV, an EB output of 0.5 KW and a coating pressure from 0.000052 to 0.000068 mbar (see Table II, 9).

Das erhaltene dreilagige Silbergebilde mit dem lichtdurchlässigen Siliciumoxidschutzfilm zeigt keine unnormale Änderung nach 5-tägigem Liegenlassen bei einer Temperatur von 400C und einer relativen Feuchtigkeit von 90% bzw. nach dem Erwärmen in einem 1800C heißen Ofen. Wird die Oberfläche des Gebildes mit Gaze gerieben, bilden sich auf der Schutzüberzugoberfläche keine Kratzer. Neben der ausgezeichneten Abrieb-, Hitze- und Feuchtigkeitsbeständigkeit lassen sich die dem Silber eigenen Glanzeigenschaften ohne weiteres erkennen. Die Lichtreflexion ist ebenfalls gut. Bei Einwirkung einer Schwefelatmosphäre ist keine Verfärbung feststellbar.The three-layer silver structure obtained with the translucent Silica protective film shows no abnormal change after leaving it for 5 days at a temperature of 400C and a relative humidity of 90% and after heating in a 1800C oven. Will cover the surface of the structure with gauze rubbed, the protective coating surface will not be scratched. In addition to the excellent Abrasion, heat and moisture resistance can be the easily recognize the shine properties of silver. The light reflection is also good. There is no discoloration when exposed to a sulfur atmosphere detectable.

Diese Eigenschaften machen den Gegenstand bestens als Lichtreflektoren im Badezimmer und in der Umgebung heißer Quellen geeignet.These properties make the object ideal as light reflectors suitable in the bathroom and around hot springs.

Beispiel 10 Eine 0,1 cm x 10 cm x 10 cm große Glasplatte wird mit einem Polyurethanharz beschichtet, getrocknet und gehärtet. Danach wird sie in eine Zerstäubungsvorrichtung eingebracht und auf einem Substrathalter befestigt. Als Gegenstück dient eine Indiumoxidplatte, die in einem Abstand von 10 cm vom Substrat angeordnet ist. Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,0000039 mbar wird ein Gasgemisch aus Argon und 10% Sauerstoff bis zu einem Druck von 0,012 mbar eingeführt. Bei geschlossenem Schalter wird zur Säuberung der Oberfläche des Gegenstücks und Stabilisierung der Entladung 5 min lang mit einer Leistung von 0,7 KW und einer Frequenz von 13,56 MHz eine Säuberungszerstäubung durchgeführt. Danach wird der Schalter geöffnet, worauf 100 min lang bei relativ niedriger Temperatur und niedriger Beschichtungsgeschwindigkeit Indiumoxid zerstäubt wird.Example 10 A 0.1 cm x 10 cm x 10 cm glass plate is made with coated with a polyurethane resin, dried and cured. After that, it turns into a Introduced sputtering device and attached to a substrate holder. as The counterpart is an indium oxide plate, which is at a distance of 10 cm from the substrate is arranged. After evacuation to a vacuum of 0.0000039 mbar, a gas mixture is generated introduced from argon and 10% oxygen up to a pressure of 0.012 mbar. When closed Switch is used to clean up the surface of the counterpart and stabilize the Discharge for 5 minutes with a power of 0.7 KW and a frequency of 13.56 MHz carried out a cleaning atomization. Then the switch is opened, followed by 100 minutes at a relatively low temperature and a slow coating speed Indium oxide is atomized.

Der gebildete Schutzüberzug mit einer lichtdurchllssigen Indiumoxidschicht zeigt keine unnormale Anderung, wenn er bei Raustamperatur und einer relativen Feuchtigkeit von 90% liegen gelassen wird. Wegen seiner Fähigkeit zur Reflexion von Infrarotstrahlen eignet sich dieser beschichtete Gegenstand als Fensterfläche für Fahrzeuge, z.B. Automobile und Zuge, zur Erzeugung einer erfrischenderen Atmosphäre im Inneren des Fahrzeugs mit Kinaaniage.The protective coating formed with a translucent indium oxide layer shows no abnormal change when it is at room temperature and relative humidity of 90% is left behind. Because of its ability to reflect infrared rays this coated object is suitable as a window surface for vehicles, e.g. Automobiles and trains, to create a more refreshing atmosphere inside the Vehicle with kinaaniage.

Beispiele 11 und 12 Eine 0,05 cm x 20 cm x 20 cm große Messingfolie wird mit einem wärmehärtbaren Polyesterharz beschichtet. Ferner wird eine 0,5 cm x 20 cm x 20 cm große Schieferplatte auf ihrer gesamten Oberfläche mit einem Melaminharz beschichtet, worauf die Harzschicht gehärtet wird.Examples 11 and 12 A 0.05 cm x 20 cm x 20 cm brass foil is coated with a thermosetting polyester resin. Furthermore, a 0.5 cm x 20 cm x 20 cm slate plate on its entire surface with a melamine resin coated, whereupon the resin layer is hardened.

Jedes Stück wird danach getrennt in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht und parallel in einer Höhe von 30 cm direkt über der Herdauskleidung angeordnet. Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,000027 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0065 mbar Sauerstoff oingoblasen, worauf das System wiederum auf einen Druck von 0,000027 mbar evakuiert wird. Diese Maßnahmen werden zweimal weder holt. Ferner werden Aluminiumoxid (Beispiel 11) und Mullit (Beispiel 12) durch Erhitzen verdampft, während in beiden Fällen das Substrat auf Raumtemperatur gehalten wird. Die Vakuumbeschichtung erfolgt während 5 min bei einer angelegten Spannung von -0,5 KV, einer EB-Leistung von 1 bis 1,5 KW und einem Beschichtungbdruck von 0,00065 bis 0,00078 mbar.Each piece is then separated into the bell jar of a vacuum coater introduced and parallel at a height of 30 cm directly above the stove lining arranged. After evacuation to a vacuum of 0.000027 mbar, up to a Pressure of 0.0065 mbar oxygen oingoblasen, whereupon the system in turn on a Pressure of 0.000027 mbar is evacuated. These actions are brought twice, neither. Further, alumina (Example 11) and mullite (Example 12) are made by heating evaporated, while in both cases the substrate is kept at room temperature. The vacuum coating takes place for 5 minutes with an applied voltage of -0.5 KV, an EB power of 1 to 1.5 KW and a coating pressure of 0.00065 up to 0.00078 mbar.

Die einen durchsichtigen Aluminiumoxids chutzfilm aufweisen de Mossingfolle und die einen Mullitschutzfilm aufweisende Schieferplatte zeigen keine unnormalen Änderungen, wenn sie 3 Tage lang in Stadtwasser oder Regenwasser getaucht werden.They have a transparent aluminum oxide protective film with de Mossingfolle and the slate plate having a mullite protective film shows no abnormality Changes when immersed in city water or rainwater for 3 days.

Beim starken Reiben der Oberflächen mit Gaze bilden sich in der Oberfläche des Schutzüberzugs keine Kratzer. Die Schutztiberzüge werden durch Öle und übliche Lösungsmittel, wie Alkohole, Aceton, Petroläther und Hexan, nicht angegriffen und zeigen eine gute Abrieb-, Wasser- und Lösungsmittelbeständigkeit. Unter Beachtung dieser Itgenschaften eignet sich die mit einem Schutzüberzug versehene Messingfolie des Beispiels 11 als Innen- und Außenbauteil und dekoratives Material hervorragender Korrosionsbeständigkeit, da diese die metallische Färbung und den Glanz ohne weiteres erkennen läßt. Die Maßnahmen des Beispiels 11 eignen sich auch zur Herstellung von Lichtreflektoren der verschiedensten Formen zur Verwendung im Hausinneren. Die gemäß Beispiel 12 letztlich erhaltene Schieferplatte zeigt einen Schutzfilm der angegebenen Eigenschaften und des angegebenen Aufbaus.If the surfaces are rubbing heavily with gauze, they form in the surface no scratches on the protective cover. The protective coatings are made by oils and usual Solvents such as alcohols, acetone, petroleum ether and hexane are not attacked and show good abrasion, water and solvent resistance. With attention of these properties the one provided with a protective coating Brass foil of Example 11 as an interior and exterior component and decorative material excellent corrosion resistance, as this is the metallic color and the Shine can be recognized without further ado. The measures of example 11 are also suitable for the production of light reflectors of various shapes for use in House interior. The slate finally obtained according to Example 12 shows a Protective film of the specified properties and the specified structure.

Beispiel 13 Eine hochglanzpolierte Aluminiumfolie einer Größe von 0,1 cm x 30 cm x 30 cm wird mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Fhenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet, worauf die Schicht durch Erwärmen gehärtet wird. Danach wird die beschichtete Folie in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht und parallel ausgerichtet im Abstand 30 cm direkt über der Herdauskleidung angeordnet. Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,000013 mbar wird unter Erwärmen mit Hilfe von Elektronenstrahlen in einer Luftatmosphäre Borsilicatglas verdampft. Die Vakuumbeschichtung erfolgt während 20 min bei einer angelegten Spannung von -0,2 KV, einer EB-Leistung von 0,5 KW und einem Beschichtungsdruck von 0,000039 bis 0,000065 mbar (vgl. Tabelle II, 13). Das Substrat wird auf einer Temperatur von 2000C gehalten.Example 13 A mirror polished aluminum foil a size of 0.1 cm x 30 cm x 30 cm is made with a high aryl content silicone resin a molar percentage ratio of phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6 coated, whereupon the layer is hardened by heating. After that, the coated film placed in the bell jar of a vacuum coating device and arranged in parallel at a distance of 30 cm directly above the stove lining. After evacuation to a vacuum of 0.000013 mbar it is heated with the aid borosilicate glass evaporated by electron beams in an air atmosphere. The vacuum coating takes place for 20 min at an applied voltage of -0.2 KV, an EB power of 0.5 KW and a coating pressure of 0.000039 to 0.000065 mbar (see table II, 13). The substrate is kept at a temperature of 2000C.

Das erhaltene Gebilde mit dem dreilagigen Schutzüberzug einschließlich des lichtdurchlässigen Borsilicatglasüberzugs wird an dem Gestell einer quadratischen Halogenlampe befestigt, worauf die Lampe angeschaltet und auf eine Temperatur von 1500C gebracht wird. Das beschichtete Gebilde wird 24 h lang bei dieser Temperatur belassen oder andererseits 3 Tage lang bei Raumtemperatur und einer relativen Feuchtigkeit von 90,' liegen gelassen. Hierbei ist in keinem Falle an der Folie eine Anderung feststellbar. Ebenso wenig ist ein Angriff durch Öl, Ketone und Lösungsmittel, z.B. Kohlenwasserstoffe, feststellbar. Bei dieser hervorragenden Hitze-, Feuchtigkeits-, und Chemikalienbeständigkeit sowie einer hohen Korrosionsfestigkeit eignet sich das beschichtete Gebilde fUr Natriumlampen und andere Arten von Beleuchtungskörpern an Straßen und in Tunnels. Weiterhin bleibt das Reflexionsvermögen der hochglanzpolierten Aluminiumfolie so, wie sie war, erhalten. Durch dieses einfache Herstellungsverfahren lassen sich somit preisgünstig qualitativ hochwertige Leuchtkörper herstellen.The structure obtained with the three-layer protective coating including of the translucent borosilicate glass cover is attached to the frame of a square Halogen lamp attached, whereupon the lamp switched on and on a Temperature of 1500C is brought. The coated structure is at for 24 hours leave this temperature or on the other hand for 3 days at room temperature and a relative humidity of 90 '. This is by no means a change can be seen on the film. Neither is an attack by oil Ketones and solvents, e.g. hydrocarbons, detectable. With this excellent Heat, moisture and chemical resistance as well as high corrosion resistance the coated structure is suitable for sodium lamps and other types of lighting fixtures on roads and in tunnels. Furthermore, the reflectivity of the highly polished remains Aluminum foil as it was received. Through this simple manufacturing process high-quality luminous bodies can thus be produced inexpensively.

Beispiel 14 Eine 0,2 cm x 10 cm x 10 cm große Folie aus einem wärmehärtbaren Polyesterharz, deren gesamte Oberfläche mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet ist, wird auf der Befestigungsvorrichtung im Glockengefäß einer Zerstäubungsvorrichtung befestigt. Als Gegenstück dient eine Siliciumoxidplatte, die sich im Abstand von 20 cm vom Substrat befindet. Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,0000052 mbar wird zum Brennen die Temperatur in dem Glockengefäß auf 1500C erhöht, worauf bis zu einem Druck von 0,0013 mbar gasförmiges Argon eingeleitet wird. Bei geschlossenem Schalter wird 5 min lang eine Säuberungszerstäubung bei einer Leistung von 4,5 KW und einer Frequenz von 13,56 MHz durchgeftihrt, um die G.genstückoberfläche zu säubern und um eine Stabilisierung der Entladung sicherzustellen. Nun wird der Schalter geöffnet, worauf das Siliciumoxid 50 min lang zerstäubt wird. Eine solche Hochtemperatur- und Hochgeschwindigkeitszerstäubung bringt verschiedene probleme mit sich, wenn in dem System ein übliches Harzmaterial enthalten ist.Example 14 A 0.2 cm x 10 cm x 10 cm sheet of a thermosetting Polyester resin, the entire surface of which has a high aryl content Silicone resin with a mol% ratio of phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6 is coated, is on the fastening device in the bell jar a Attached atomizing device. A silicon oxide plate serves as a counterpart, which is located at a distance of 20 cm from the substrate. After evacuating on a A vacuum of 0.0000052 mbar increases the temperature in the bell jar for firing 1500C increased, whereupon introduced up to a pressure of 0.0013 mbar gaseous argon will. When the switch is closed, atomization is applied for 5 minutes one Power of 4.5 KW and a frequency of 13.56 MHz carried out, to clean the counterpart surface and to stabilize the discharge to ensure. Now the switch is opened, whereupon the silicon oxide 50 min is atomized for a long time. Such a high temperature and high speed atomization poses various problems when a common resin material is used in the system is included.

Bei Verwendung des einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharzes der angegebenen Art lösen sich sämtliche dieser Probleme von selbst, wobei eine erfolgreiche Zerstäubungsoperation möglich ist und ein Schutzüberzug mit hervorragender Haftung zwischen den einzelnen Lagen gebildet wird.When using the silicone resin with a high aryl content of the type indicated solve all of these problems by themselves, with one successful atomization operation is possible and a protective coating with excellent Adhesion is formed between the individual layers.

Der dreilagige Schutzüberzug mit der durchsichtigen Siliciumoxidschicht zeigt bei 3-tägiger Lagerung bei Raumtemperatur und einer relativenFeuchtigkeit von 90% keine unnormale Änderung. Er wird weder durch Öle noch durch Ketone oder übliche Lösungsmittel, z.B. Kohlenwasserstoffe, angegriffen, was auf eine gute Lösungsmittel- und Feuchtigkeitsbeständigkeit hindeutet. Im Vergleich zu üblichen, auf Glas basierenden Platten ist die in der geschilderten Weise erhaltene Folie leichtgewichtig, nur schwierig zu zerbrechen und besitzt hohe Sicherheits- und gute Isoliereigenschaften. DarÜ-bor hinaus vermag sie Ultraviolettstrahlen abzuhalten. Unter Beachtung dieser Gesichtspunkte eignet sie sich als Sicherheitsfensterscheibe für Gebäude zum Schutz der Möbel gegen Verfärbung und Beeinträchtigung.The three-layer protective coating with the transparent silicon oxide layer shows when stored for 3 days at room temperature and relative humidity 90% no abnormal change. He is neither through oils nor through ketones or common solvents, e.g. hydrocarbons, are attacked, which indicates good solvent resistance and indicating moisture resistance. Compared to common, glass-based Plates, the film obtained in the manner described is lightweight, only difficult to break and has high security and good insulating properties. In addition, it can block ultraviolet rays. With this in mind It is suitable as a security window for buildings for protection the furniture against discoloration and deterioration.

BeisDielI5 Eino 0,3 cm dicke Kupfermedaille eines Durchmessers von 10 ca wird mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylr.ste + Methylreste) von 83,6 beschichtet, worauf die Schicht durch Erwärmen gehärtet wird. Danach wird die beschichtete Medaille in das Glas gefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht und parallel ausgerichtet im Abstand von 25 cm direkt über der Herdauskleidung angeordnet. Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,000013 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0065 mbar Sauerstoff eingeleitet, worauf das System erneut auf einen Druck von 0,000013 mbar evakuiert wird. Diese Maßnahmen werden zweimal wiederholt.BeisDielI5 One 0.3 cm thick copper medal with a diameter of 10 ca is with a high aryl content Silicone resin a mol percentage ratio of phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6 coated, whereupon the layer is hardened by heating. After that, the coated medal placed in the glass vessel of a vacuum coating device and arranged in parallel at a distance of 25 cm directly above the stove lining. After evacuation to a vacuum of 0.000013 mbar, up to a pressure of 0.0065 mbar oxygen introduced, whereupon the system again to a pressure of 0.000013 mbar is evacuated. These measures are repeated twice.

Unter Erhitzen wird ein keramisches Zirkoniummaterial mit tels Elektronenstrahlen verdampft, wobei ein Sauerstoffpartialdruck von 0,00065 bis 0,00078mbar aufrechterhalten wird. Das Vakuumbeschichten erfolgt während 7 min bei einer angelegten Spannung von -0,7 KV, einer EB-Leistung von 1,5 KW und einem Beschichtungsdruck von 0,00065 bis 0,00078 mbar (vgl. Tabelle II, 15). Das Substrat wird bei Raumtemperatur gehalten.A ceramic zirconium material is heated by means of electron beams evaporated, maintaining an oxygen partial pressure of 0.00065 to 0.00078mbar will. The vacuum coating is carried out for 7 minutes with an applied voltage of -0.7 KV, an EB power of 1.5 KW and a coating pressure of 0.00065 up to 0.00078 mbar (see Table II, 15). The substrate is kept at room temperature.

Beim starken Reiben der Oberfläche der Zirkoniumschutzschicht bilden sich keine Kratzer. Ferner ist bei 5-tägiger Lagerung bei Raumtemperatur und einer relativen Feuchtigkeit von 90% keine unnormal. Änderung festzustellen.Form when rubbing the surface of the protective zirconium layer no scratches. Furthermore, when stored for 5 days at room temperature and one relative humidity of 90% no abnormal. Determine change.

Beim Kreuzschneidetest erfolgt keine Ablösung, was dio gute Haftung der Schichten aneinander belegt. Die Färbung und der Glanz der Kupfermedaille sowie die eingravierten Muster und Buchstabe bleiben ohne Korrosion so, wie sie sind, d.h. die beschichtete Kupfermedaille kann ohne Änderung dauerhaft gelagert werden.In the cross-cutting test, there is no peeling, which means good adhesion of layers next to each other. The coloration and luster of the copper medal as well the engraved patterns and letters remain as they are without corrosion, i.e. the coated copper medal can be stored permanently without modification.

Die Maßnahmen dieses Beispiels lassen sich auch auf mit einem Schutzfilm aus einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz und einem Zirkoniumschutzfilm geschUtzte übliche Kupferbleche anwenden. Diese geschützten Kupferbleche eignen sich als Innen- und Außenbaumaterialien und Dekorationsmaterialien für Gebäude, da sie eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und Haltbarkeit aufweisen.The measures of this example can also be applied with a protective film made of a high aryl content silicone resin and a protective zirconium film Use protected common copper sheets. These protected copper sheets are suitable as interior and exterior construction materials and decorative materials for buildings, because they have excellent corrosion resistance and durability.

Beispiel 16 Eine 0,3 cm x 10 cm x 10 cm große Epoxyharzfolie wird mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/ (Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet, worauf die Schicht durch Erwärmen gehärtet wird. Danach wird das Ganze in das Glokkengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht und 4 cm über einer Hochfrequenzoszillatorspule einer Höhe und eines Durchmessers von jeweils 10 cm, die sich selbst im Abstand von 8 cm direkt über der Herdauskleidung befindet, angeordnet. Nach dem Evakuieren auf einen Druck von 0,000013 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0065 mbar Sauerstoff eingeblasen, worauf das System erneut auf einen Druck von 0,000013 mbar evakuiert wird. Diese Maßnahmen werden zweimal wiederholt. Nun wird Aluminiumoxid unter Erwärmen mittels Elektronenstrahlen verdampft, wobei das Substrat auf Raumtemperatur gehalten wird. Die verdampften Gase treten durch die Spule hindurch. Das Vakuumbeschichten wird 5 min lang bei einer angelegten Spannung von -0,5 KW, einer EB-Leistung von 1,0 bis 1,5 KW, einem Beschichtungsdruck von 0,00065 bis 0,00078 mbar, einer Hochfrequenzleistung von 500 W und einer Frequenz von 13,56 MHz durchgeführt (vgl. Tabelle II, 16).Example 16 A 0.3 cm x 10 cm x 10 cm epoxy resin sheet is made with a high aryl silicone resin of a mole percent Ratio phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6 coated, whereupon the layer is hardened by heating. Then the whole thing is in the bell jar a vacuum coater and 4 cm above a high frequency oscillator coil a height and a diameter of 10 cm each, which are spaced apart of 8 cm is located directly above the stove lining. After evacuation at a pressure of 0.000013 mbar up to a pressure of 0.0065 mbar oxygen blown in, whereupon the system evacuates again to a pressure of 0.000013 mbar will. These measures are repeated twice. Now aluminum oxide becomes with heating evaporated by means of electron beams, the substrate being kept at room temperature will. The vaporized gases pass through the coil. The vacuum coating is 5 min long at an applied voltage of -0.5 KW, an EB power of 1.0 to 1.5 KW, a coating pressure of 0.00065 to 0.00078 mbar, a high frequency power of 500 W and a frequency of 13.56 MHz (see Table II, 16).

Das dreilagige Gebilde mit Schutzüberzug einschließlich der lichtdurchlässigen Aluminiumoxidschutzs chicht zeigt nach starkem Reiben mit Gaze keine Kratzer. Weder nach dem Erhitzen in einem 1 800C heißen Ofen noch nach 3-tägigem Eintauchen in Stadtwasser oder Regenwasser sind unnormale Änderen feststellbar. Ein Angriff durch übliche Lösungsmittel, wie Alkohole, Aceton, Petroläther und Hexan, erfolgt nicht. Auch bei 5-tägiger kontinuierlicher Bostrahlung mit einer UV-Lampe ist keine Beschädigung oder Beeinträchtigung feststellbar. So läßt sich also das im Inneren befindliche Epoxyhar2substrat gegen Beschädigungen durch Uv-Strahlung und Hydrolyse schützen, so daß es als Außenbaumaterial guter Witterungsbeständigkeit und langer Haltbarkeit Verwendung finden kann.The three-layer structure with protective cover including the translucent Aluminum oxide protective layer shows no scratches after vigorous rubbing with gauze. Neither after heating in an oven at 1,800C, after immersion for 3 days in City water or rainwater are abnormal changes noticeable. An attack through Usual solvents such as alcohols, acetone, petroleum ether and hexane are not used. Even with 5 days of continuous radiation with a UV lamp there is no damage or impairment detectable. This is how what is inside can be Protect the epoxy resin substrate against damage from UV radiation and hydrolysis, so that it has good weather resistance and long durability as an exterior building material Can be used.

Beisiel 17 Eine hellpolierte Aluminiumfolie einer Größe von 0,1 cm x 40 cm x 40 cm wird in ein Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht und 42 cm direkt oberhalb der Herdauskleidung parallel ausgerichtet angeordnet.Example 17 A brightly polished aluminum foil 0.1 cm in size x 40 cm x 40 cm is placed in a bell jar of a vacuum coater and 42 cm directly above the stove lining, aligned in parallel.

Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,000039 mbar wird Aluminium mittels Elektronenstrahlen in Gegenwart von Sauerstoff verdampft. Die Vakuumbeschichtung erfolgt während 30 5 bei einer angelegten Spannung von -3 KV, einer EB-Ausgangsleistung von 2 KW und einem Beschichtungsdruck von 0,000052 bis 0,000078 mbar (vgl. Tabelle II, 1). Das Substrat wird auf Raumtemperatur gehalten.After evacuation to a vacuum of 0.000039 mbar, aluminum becomes evaporated by means of electron beams in the presence of oxygen. The vacuum coating takes place for 30 5 at an applied voltage of -3 KV, an EB output power of 2 KW and a coating pressure of 0.000052 to 0.000078 mbar (see table II, 1). The substrate is kept at room temperature.

Das vakuumbeschichtete Substrat wird dann - ohne aus dem Glockengefäß entnommen zu werden - der nächsten Vakuumbeschichtung unterworfen. Nach Einstellen des Vakuums auf 0,000039 mbar wird Pyroceram mittels Elektronenstrahlen in Gegenwart von Sauerstoff verdampft. Das Vakuumbeschichten erfolgt während 5 min bei einer angelegten Spannung von -0,7 KV, einer EB-Ausgangaleistung von 0,6 KW und einem Beschichtungsdruck von 0,000078 bis 0,000104 mbar (vgl. Tazelle II, 1). Das Substrat wird auf Raumtemperatur gehalten.The vacuum-coated substrate is then - without leaving the bell jar to be removed - subjected to the next vacuum coating. After setting of the vacuum Pyroceram becomes 0.000039 mbar by means of electron beams evaporated in the presence of oxygen. The vacuum coating takes place for 5 minutes with an applied voltage of -0.7 KV, an EB output power of 0.6 KW and a coating pressure of 0.000078 to 0.000104 mbar (cf. Tazelle II, 1). The substrate is kept at room temperature.

Der erhaltene dreischichtige Reflektor wird aus der Vakuumbeschichtungsvorrichtung entnommen und mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet. Danach wird die Harzschicht durch Erwärmen gehärtet, wobei ein vierschichtiger Reflektor erhalten wird.The obtained three-layer reflector is taken from the vacuum coating apparatus taken and with a high aryl content silicone resin of a mole percent Ratio phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6 coated. Thereafter the resin layer is cured by heating, using a four-layer reflector is obtained.

Der erhaltene Reflektor wird auf eine rechteckige 400-W-Lampe auf gesetzt und 24 h lang bei einer Temperatur von 1800C gehalten. Bezüglich Reflexionsvermögen und Aussehen, z.B.The reflector obtained is placed on a rectangular 400 W lamp set and kept at a temperature of 1800C for 24 hours. Regarding reflectivity and appearance, e.g.

Verfärbung und Rißbildung, sind keine Änderungen feststellbar. Der Reflektor zeigt auch keine Änderungen, wenn er 5 Tage lang in Regenwasser liegen gelassen wird.Discoloration and cracking, no changes are noticeable. Of the Reflector also shows no changes if it is left in rainwater for 5 days is left.

Die Ergebnisse des Klebebandtests betragen 100/100, was auf die ausgezeichnete Haftung der verschiedenen Schichten aneinander hindeutet. Im Vergleich zu üblichen Reflektoren, bei denen wasserfreie Kieselsäure nach dem Naßverfshren auf anodisiertes oder chemisch polierter Aluminium aufgetragen wird, zeigt der erfindungsgemäße Reflektor eine etwas bessere Gesamtreflexion. Die regelmäßige Reflexion ist jedoch hervorragend, so daß dieser Reflektor zur Verwendung bei Flugzeugaußenleuchten verwendet werden kann.The tape test results are 100/100, indicating the excellent Adhesion of the different layers to one another. Compared to usual Reflectors, in which anodized silica after wet processing or chemically polished aluminum is applied, shows the reflector according to the invention a slightly better overall reflection. However, the regular reflection is excellent, so that this reflector can be used for aircraft exterior lights can.

Beispiel 18 Eine als Substrat verwendbare 0,1 cm x 10 cm x 10 cm große Glasplatte wird entfettet, gesäubert und getrocknet und danach in einer Höhe von 7 cm über einer Hochfrequenzoszillatorspule eines Durchmessers und einer Höhe von jeweils 10 cm, die selbst 8 cm direkt über der Herdauskleidung in einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung befestigt ist, angeordnet. Nach dem Einstellen des Vakuums im Glockengefäß auf 0,000027 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0065 mbar gasförmiges Argon eingeleitet, worauf erneut auf ein Vakuum von 0,000027 mbar evakuiert wird. Diese Maßnahme wird nochmals wiederholt. Ferner wird mittels Elektronenstrahlen Aluminium bei einer Hochfrequenzausgangsleistung von 500 W und einer Frequenz von 13,56 MHz verdampft. Die Vakuumbeschichtung erfolgt während 30 5 bei einer angelegten Spannung von -1 KV und einer EB-Ausgangsleistung von 1,5 bis 2,0 KW (vgl. Tabelle II, 2). Das Substrat wird auf Raumtemperatur gehalten.Example 18 A 0.1 cm x 10 cm x 10 cm which can be used as a substrate Glass plate is degreased, cleaned and dried and then at a height of 7 cm above a high frequency oscillator coil of diameter and height of 10 cm each, which itself is 8 cm directly above the oven lining in a vacuum coating device is attached, arranged. After adjusting the vacuum in the bell jar to 0.000027 mbar, gaseous argon is introduced up to a pressure of 0.0065 mbar, whereupon is again evacuated to a vacuum of 0.000027 mbar. This measure is repeated repeated. Further, by means of electron beams, aluminum is made to have a high frequency output of 500 W and a frequency of 13.56 MHz. The vacuum coating takes place while 30 5 at an applied voltage of -1 KV and an EB output power from 1.5 to 2.0 KW (see Table II, 2). The substrate is kept at room temperature.

Der Argonpartialdruck im Glockengefäß wird auf 0,00052 bis 0,00065 mbar eingestellt. Danach wird Siliciumdioxid 4 min lang bei einer angelegten Spannung von , 15 EV und einer Elektronestrahlausgangsleistung von 0,6 KW im Vakuum aufgetragen.The argon partial pressure in the bell jar is set to 0.00052 to 0.00065 mbar. Thereafter, silicon dioxide is exposed to an applied voltage for 4 minutes of .15 EV and an electron beam output power of 0.6 KW applied in a vacuum.

Auf die gebildete Siliciumoxidschutzschicht wird eine Lösung eines wärmehärtbaren Polyesterharzes aufgötragen und durch Erwärmen gehärtet. Stücke des erhaltenen Reflektors werden 30 min in ein 1obige Schwefelsäure- oder Salzsäurelösung bzw. 3 Tage lang in Stadtwasser eingetaucht. Bei sämtlichen Stücken ist keine Änderung feststellbar, d.h.A solution of a is applied to the formed protective silicon oxide layer thermosetting polyester resin applied and cured by heating. Pieces of the The reflector obtained is immersed in a 1obige sulfuric acid or hydrochloric acid solution for 30 min or immersed in city water for 3 days. There is no change in any of the pieces detectable, i.e.

sie sind hervorragend säure- und wasserbeständig. Der erhaltene Reflektor eignet sich als Innenbeleuchtungsrenebtor für Feuchträume.they are extremely acid and water resistant. The received reflector is suitable as an interior lighting renebtor for damp rooms.

Beispiel 19 Eine 0,1 cm x 10 cm x 10 cm große Polycarbonatfolie für Automobilrückspiegel und Innenspiegel dient als Substrat.Example 19 A 0.1 cm x 10 cm x 10 cm polycarbonate sheet for Automobile rearview mirror and interior mirror serve as the substrate.

Die Folie wird in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht und parallel ausgerichtet 30 cm direkt über der Herdauskleidung angeordnet. Nach dem Einstellen des Drucks in dem Gefäß auf 0,000039mbar wird Aluminium mittels Elektronenstrahlen in Gegenwart von Luft verdampft. Die Vakuumbeschichtung erfolgt während 30 5 bei einer angelegten Spannung von -3 KV, einer EB-Ausgangsleistung von 2 KW und einem Beschichtungsdruck von 0,000078 bis 0,000091 mbar (vgl. Tabelle II, 3). Das Substrat wird bei Raumtemperatur gehalten. Nach dem Entnehmen des im Vakuum beschichteten Substrats aus dem Glockengefäß wird die Aluminiumoberfläche mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet, worauf die Schicht durch Erwärmen gehärtet wird. Die ses Stück wird erneut in das Glockengefäß eingebracht und in der angegebenen Lage befestigt. Nach dem Evakuieren auf einen Druck von 0,000013 mbar wird Siliciumdioxid im Vakuum bei einer angelegten Spannung von -0,6 KV, einem Beschichtungsdruck von 0,000065 bis 0,000091 mbar und einer Elektronenstrahlausgangsleistung von 0,5 KW beschichtet (vgl. Tabelle II, 3). Das Substrat wird auf Raumtemperatur gehalten.The foil is placed in the bell jar of a vacuum coater introduced and arranged in parallel 30 cm directly above the stove lining. After adjusting the pressure in the vessel to 0.000039mbar, aluminum is turned by means of Electron beams evaporate in the presence of air. The vacuum coating takes place while 30 5 at an applied voltage of -3 KV, an EB output power of 2 KW and a coating pressure of 0.000078 to 0.000091 mbar (see table II, 3). The substrate is kept at room temperature. After removing the im Vacuum coated substrate from the bell jar becomes the aluminum surface with a high aryl silicone resin of a mole percent Ratio phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6 coated, whereupon the layer is hardened by heating. This piece is put back into the bell jar introduced and fastened in the specified position. After evacuating to one Pressure of 0.000013 mbar is silicon dioxide in a vacuum with an applied voltage of -0.6 KV, a coating pressure of 0.000065 to 0.000091 mbar and an electron beam output power of 0.5 KW coated (cf. Table II, 3). The substrate is at room temperature held.

Der erhaltene Reflektor ist heller als übliche rückseitig beschichtete Glas spiegel und bricht beim Fallenlassen aus 2 m Höhe nicht. Beim Zwangsbrechen zersplittert er nicht wie übliche Glasspiegel in kleine Bruchstücke, was seine Sicherheit beweist. Der erhaltene Reflektor eignet sich als Automobilrückspiegel und Innenspiegel.The reflector obtained is lighter than the usual back-coated Glass mirrors and breaks off when dropped 2 m height not. At the When forced breaking, it does not shatter into small fragments like normal glass mirrors, which proves its safety. The reflector obtained is suitable as an automobile rearview mirror and inside mirror.

Beispiel 20 Ein 0,12 cm dickes Blech aus rostfreiem Stahl wird in die Form eines Projektorreflektors mit Durchmessern von 34 ca bzw. 14,5 cm gepreßt. Nach dem Schabbeln, Entfetten und Säubern der Innenfläche wird er in einer Zerstäubungsvorrichtung in den Substrathalter eingespannt. Als zylindrisches Aluminiumgegenstück wird eine koaxiale Magnetronzerstaubungselektrode verwendet. Diese wird 4,7 cm von dem nächsten Abschnitt des Substrats und 14,5 ca von dem weitesten Abschnitt fixiert. Nach dem Evakuieren des Glockongefäßes auf einen Druck von 0,0000033 ibar wird bis zu einen Druck von 0,0013 mbar gasförmiges Argon eingeleitet.Example 20 A 0.12 cm thick stainless steel sheet is used in the shape of a projector reflector with a diameter of 34 approx or 14.5 cm. After scraping, degreasing and cleaning the inner surface, it is placed in an atomizer clamped in the substrate holder. A coaxial magnetron sputtering electrode used. This will be 4.7 cm from the next Fixed section of the substrate and 14.5 ca from the furthest section. After this Evacuating the bell jar to a pressure of 0.0000033 ibar is up to one Introduced a pressure of 0.0013 mbar gaseous argon.

Bei geschlossenem Schalter wird 10 min lang eine Säuberungszerstäubung bei einer Ausgangsleistung von 4,5 KW und einer Frequenz von 13,56 MHz durchgeführt, um die Gegenstückoberfläche zu säubern und um die Entladung zu stabilisieren. Danach wird der Schalter geöffnet und Aluminium 5 min lang zerstäubt.When the switch is closed, a nebulization is carried out for 10 minutes carried out at an output power of 4.5 KW and a frequency of 13.56 MHz, to clean the counterpart surface and to stabilize the discharge. Thereafter the switch is opened and aluminum is atomized for 5 minutes.

Der erhaltene Reflektor wird aus dem Glockengefäß entnommen und mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/ (Phenylreste - + Methylreste) von 83,6 beschichtet, worauf die Harzschicht wärmegehärtet wird. Das beschichtete Substrat wird erneut in derselben Stellung in dem Glockengefäß befestigt. Danach wird die Temperatur im Glockengefäß auf 200°C erhöht. Als Gegenstück wird diesmal ein zylindrisches Siliciumdioxidgegenstück verwendet. Die Säuberungszerstäubung dauert 10 min und wird in entsprechender Weise, wie geschildert, durchgeführt. Schließlich wird 60 min lang Siliciumdioxid zerstäubt.The reflector obtained is removed from the bell jar and with a high aryl silicone resin on a mole percent ratio Phenyl residues / (phenyl residues - + methyl residues) of 83.6 coated, whereupon the resin layer is thermoset. The coated substrate is again in the same position attached in the bell jar. Then the temperature in the bell jar on 200 ° C increased. The counterpart this time will be a cylindrical silicon dioxide counterpart used. The cleaning atomization lasts 10 minutes and is carried out in a corresponding manner, as described, carried out. Finally, silica is atomized for 60 minutes.

Der erhaltene vierlagige Reflektor zeigt keine Kratzer, wenn er auf seiner Oberfläche fest mit einem Stück Gaze gerieben wird. Beim Klebebandtest erfolgt keine Entlaminierung. Weder nach dem Erhitzen in einem 1800C heißen Ofen noch nach 3-tägiger Lagerung bei Raumtemperatur und einer relativen Feuchtigkeit von 90% ist eine Änderung feststellbar. Der Reflektor wird auch durch organische Lösungsmittel, wie Petroläther, Ketone und Hexan, nicht angegriffen, d.h. er zeigt eine hervorragende Haftung und Abrieb-, Hitze-, Feuchtigkeits- und Chemikalienbeständigkeit. Er eignet sich bestens als Schirm für bei Schiffen verwendete Reflektoren.The four-layer reflector obtained shows no scratches when it is on its surface is rubbed firmly with a piece of gauze. Takes place in the adhesive tape test no delamination. Neither after heating in a 1800C oven nor after 3 days of storage at room temperature and a relative humidity of 90% a change can be detected. The reflector is also affected by organic solvents, like petroleum ether, ketones and hexane, not attacked, i.e. it shows excellent Adhesion and resistance to abrasion, heat, moisture and chemicals. He is suitable ideal as a screen for reflectors used on ships.

Beispiele 21 und 22 Im Beispiel 21 wird ein 0,12 cm dickes Blech aus rostfreiem Stahl in die Form eines Schirms für einen 400-W-Refloktor gepreßt. Der Durchmesser beträgt 42 cm, die Höhe 21 cm.Examples 21 and 22 In Example 21, a 0.12 cm thick sheet is made from stainless steel pressed into the shape of an umbrella for a 400 W reflector. Of the The diameter is 42 cm and the height 21 cm.

Danach wird der Preßling geschwabbelt, entfettet, geeäubert und getrocknet. Nun wird er mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet, worauf die Harzschicht wärme gehärtet wird.Then the pressed part is buffed, degreased, cleaned and dried. Now it is mole percent with a high aryl silicone resin Ratio phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6 coated, whereupon the resin layer is thermally cured.

Im Beispiel 22 wird eine 0,2 cm x 10 cm x 10 cm große Folie aus künstlichem Glimmer als Substrat verwendet. Auf dieses wird ein Phenolharz aufgetragen und wärmegehärtet.In Example 22, a 0.2 cm x 10 cm x 10 cm sheet of artificial Mica used as a substrate. on this becomes a phenolic resin applied and thermoset.

Jedes Substrat wird in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht und parallel ausgerichtet direkt über der Herdauskleidung angeordnet. Der Abstand zwischen dem unteren Ende des Substrats und der Herdauskleidung beträgt im Beispiel 21 20 cm, im Beispiel 22 30 cm.Each substrate is placed in the bell jar of a vacuum coater introduced and arranged in parallel aligned directly above the hearth lining. The distance between the lower end of the substrate and the hearth lining is in example 21 20 cm, in example 22 30 cm.

Nach dem Evakuieren des Glockengefäßes auf einen Druck von 0,000027 mbar wird Aluminium mittels Elektronenstrahlen erhitzt. Die Vakuumbeschichtung erfolgt während 30 5 in Luft bei einer angelegten Spannung von -3 KV und einer EB-Ausgangsleistung von 2 KW. Der Beschichtungsdruck beträgt 0,000052 bis 0,000078 mbar bzw. 0,000065 bis 0,000091 mbar (vgl. Tabelle II, 5 und 6). Nach dem Einstellen des Vakuums in dem Glockengefäß auf 0,000013 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0065 mbar Sauerstoff eingeleitet, worauf das System erneut auf ein Vakuum von 0,000013 mbar evakuiert wird. Diese Maßnahme wird nochmals wiederholt. Im Beispiel 21 wird Mullit mittels Elektronenstrahlen verdampft und durch Vakuumbeschichtung auf die Aluminiumoberfläche in Gegenwart von Sauerstoff bei einer EB-Leistung von 1 KW aufgebracht. Im Beispiel 22 wird in entsprechender Weise Siliciumdioxid durch Vakuumbeschichtung aufgetragen, und zwar bei einer EB-Ausgangsleistung von 0,5 KW. Die angelegte Spannung beträgt jeweils -0,7 KV, der Beschichtungsdruck 0,000091 bis 0,000117 mbar (vgl. Tabelle 2, 5 und 6).After evacuating the bell jar to a pressure of 0.000027 mbar, aluminum is heated by means of electron beams. The vacuum coating takes place while 30 5 in air with an applied voltage of -3 KV and an EB output power from 2 KW. The coating pressure is 0.000052 to 0.000078 mbar or 0.000065 up to 0.000091 mbar (see Tables II, 5 and 6). After setting the vacuum in the bell jar to 0.000013 mbar is oxygen up to a pressure of 0.0065 mbar initiated, whereupon the system evacuated again to a vacuum of 0.000013 mbar will. This measure is repeated again. In Example 21, mullite is used Electron beams are vaporized and vacuum coated onto the aluminum surface applied in the presence of oxygen at an EB power of 1 KW. For example 22 silicon dioxide is applied in a corresponding manner by vacuum coating, with an EB output power of 0.5 KW. The applied voltage is -0.7 KV in each case, the coating pressure 0.000091 to 0.000117 mbar (see table 2, 5 and 6).

Die im Beispiel 21 erhaltene durchsichtige Mullitschutzschicht wird mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet, worauf die Harzschicht wärmegehärtet wird. Die gemäß Beispiel 22 erhaltene durchsichtige Siliciumdioxidschutzschicht wird mit einem Melaminharz beschichtet, worauf dieses ebenfalls wärmegehärtet wird.The transparent mullite protective layer obtained in Example 21 is with a high aryl silicone resin of a mole percent Ratio phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6 coated, whereupon the Resin layer is thermoset. The transparent protective silica layer obtained in Example 22 is coated with a melamine resin, whereupon this is also thermoset.

Die erhaltenen fünflagigen Reflektoren zeigen nach 3-tägigem Eintauchen in Stadtwasser keine Änderung. Tröpfchen von 10%iger wäßriger Schwefelsäure-, Salzsäure- und Natriumhydroxidlösung, die auf die Oberfläche aufgebracht werden, bedingen nach 30 min noch keine Änderung. Die Reflektoren werden weder durch Alkohole, Petroläther, Ester und sonstige organische Lösungsmittel noch durch Wasser und sonstige Chemikalien angegriffen. Insbesondere das einen hohen Arylgehalt aufweisende Siliconharz besitzt im Vergleich zu üblichen Harzen eine hervorragende Beständigkeit gegen Chemikalien und Lösungsmittel.The five-layer reflectors obtained show after 3 days of immersion no change in town water. Droplets of 10% aqueous sulfuric acid, hydrochloric acid and sodium hydroxide solution applied to the surface conditionally 30 min no change. The reflectors are not affected by alcohol, petroleum ether, Esters and other organic solvents are replaced by water and other chemicals attacked. In particular that has a high aryl content silicone resin Excellent chemical resistance compared to common resins and solvents.

Beleuchtungsanlagen, wie sie üblicherweise in chemischen Betrieben zum Einsatz gelangen, weisen zur weitestgehenden Verringerung einer Korrosion durch Chemikalien eine in einen Körper aus rostfreiem Stahl eingebettete elektrolytisch polierte Aluminiumfolie auf. Diese Beleuchtungsanlagen kranken jedoch immer noch an einer Korrosion an der lichtreflektierenden Aluminiumoberfläche.Lighting systems such as those commonly found in chemical plants are used, show the greatest possible reduction in corrosion Chemicals an electrolytic embedded in a stainless steel body polished aluminum foil on. However, these lighting systems are still sick corrosion on the light-reflecting aluminum surface.

Reflektoren mit Eigenschaften entsprechend den Eigenschaften des Reflektors von Beispiel 21 eignen sich bestens zu diesem Zweck, da sie eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit aufweisen. Darüber hinaus lassen sich die Reflektoren gemäß der Erfindung auch noch durch direktes Vakuumbeschichten der lichtreflektierenden Metallschicht herstellen. Auf diese Weise vermeidet man die Notwendigkeit,einen Spiegel in den Reflektorkörper einbetten zu müssen (was ein höheres Gewicht und höhere Kosten bedingt). Der Reflektor des Beispiels 22 mit einem künstlichen Glimmersubstrat und einer flammhemmenden Melaminschutzschicht besitzt zwar ein höheres Gewicht, er bricht jedoch nur schwer und zerplatzt beim Brechen nicht in kleine Bruchstücke. Dies ermöglicht seine Verwendung als flammhemmender Innenspiegel, Deckenspiegel und dekoratives Innenbauteil.Reflectors with properties corresponding to the properties of the reflector of Example 21 are best suited for this purpose as they have excellent corrosion resistance exhibit. In addition, the reflectors according to the invention can also by direct vacuum coating of the light-reflecting metal layer. That way you avoid the need to have a Mirror in having to embed the reflector body (resulting in a higher weight and higher cost conditional). The reflector of Example 22 with an artificial mica substrate and a flame-retardant melamine protective layer has a higher weight, it breaks but only with difficulty and does not burst into small fragments when broken. this makes possible its use as a flame retardant interior mirror, ceiling mirror and decorative Interior component.

BeisPiel 23 Eine 0,16 cm dicke Aluminiumfolie wird in eine parabolische Form einer Höhe von 20 cm und eines maximalen Durchmessers von 40 cm gebracht. Der Formling wird dann geschwabbelt, entfettet, gesäubert, getrocknet und mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet. Die gebildete Schicht wird wärmegehärtet.EXAMPLE 23 A 0.16 cm thick aluminum foil is turned into a parabolic Formed a height of 20 cm and a maximum diameter of 40 cm. Of the The molding is then buffed, degreased, cleaned, dried and treated with a high aryl silicone resin on a mole percent ratio Phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6 coated. The formed layer is thermoset.

Danach wird der Formling in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorri chtung eingebracht und parallel aus ge -richtet in 20 cm Höhe direkt über der Herdauskleidung angeordnet. Nach dem Evakuieren des Glockengefäßes auf einen Druck von 0,000039 mbar wird Aluminium mittels Elektronenstrahlen erhitzt. Das Vakuumbeschichten erfolgt während 30 5 in Gegenwart von Luft bei einer angelegten Spannung von 3 KV, einer EB-Ausgangsleistung von 1,5 bis 2 EW und einem Beschichtungsdruck von 0,000065 bis 0,000091 mbar.The molding is then placed in the bell jar of a vacuum coating apparatus Attention introduced and aligned in parallel at a height of 20 cm directly above the stove lining arranged. After evacuating the bell jar to a pressure of 0.000039 mbar, aluminum is heated by means of electron beams. The vacuum coating takes place during 30 5 in the presence of air at an applied voltage of 3 KV, one EB output power from 1.5 to 2 EW and a coating pressure from 0.000065 to 0.000091 mbar.

Das Substrat wird bei Raumtemperatur gehalten.The substrate is kept at room temperature.

Das im Vakuum beschichtete Stück wird aus dem Glockengefäß entnommen und erneut mit demselben einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz beschichtet. Nach erneutem Wärmehärten der Harzschicht wird der Formling in das Glokkengefäß zurückgebracht und in dieselbe Lage, wie beschrieben, gebracht. Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,000039 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0065 mbar Sauerstoff eingeblasen, worauf erneut auf einen Druck von 0,000039 mbar evakuiert wird. Diese MaBnahme wird nochmals wiederholt. Unter Erhitzen von Aluminiumoxid mittels Elektronenstrahlen in Gegenwart von Sauerstoff wird 5 min lang vakuumbeschichtet, und zwar bei einer angelegten Spannung von -0,5 KV, einer EB-Ausgangsleistung von 0,5 KW und einem Beschichtungsdruck von 0,000104 bis 0,000156 mbar (vgl. Tabelle II, 7).The vacuum-coated piece is removed from the bell jar and coated again with the same high aryl content silicone resin. After again Heat curing the resin layer will turn the molding into brought the bell jar back and placed it in the same position as described. After evacuation to a vacuum of 0.000039 mbar, up to a pressure of 0.0065 mbar oxygen blown in, whereupon again to a pressure of 0.000039 mbar is evacuated. This measure is repeated again. With heating of aluminum oxide by means of electron beams in the presence of oxygen, vacuum coating is carried out for 5 minutes, at an applied voltage of -0.5 KV, an EB output power of 0.5 KW and a coating pressure of 0.000104 to 0.000156 mbar (see table II, 7).

Der erhaltene Reflektor besitzt im Vergleich zu üblichen aus Reflektoren, z.B. anodisiertem Aluminium oder chemisch poliertem Aluminium, das nach dem Naßverfahren mit wasserfreier Kieselsäure beschichtet ist, eine etwas bessere Gosamtreflexion. Die Spiegelreflexion ist jedoch erheblich höher. Bei Verwendung dieser Art von Reflektor ist eine einfachere Lichtsammelbauweise möglich, wobei man genaue vorgegebene Lichtmuster erreicht. Die Haftung der verschiedenen Schichten aneinander ist ebenfalls hervorragend, was ein Ergebnis des Klebebandtests von 100/100 zeigt. Nach 5-tägigem Eintauchen in Stadtwasser erfährt der erhaltene Reflektor keine Änderung. Tröpfchen von 10%1gen wäßriger Schwefelsäure auf der lichtreflektierenden Oberfläche bedingen innerhalb von 30 min keine Änderung auf der Oberfläche. Diese Eigenschaften befähigen die Reflektoren zur Installation in chemischen Betrieben und zur Verwendung unter sonstigen korrodierenden Bedingungen.The reflector obtained has, compared to conventional reflectors, e.g. anodized aluminum or chemically polished aluminum, which is produced by the wet process is coated with anhydrous silica, a slightly better total reflection. However, the mirror reflection is significantly higher. When using this type of reflector a simpler light-gathering construction is possible, using precise predetermined light patterns achieved. The adhesion of the different layers to one another is also excellent, which shows a result of the tape test of 100/100. After 5 days of immersion in town water, the reflector obtained does not experience any change. Droplets of 10% 1gen aqueous sulfuric acid on the light-reflecting surface condition within no change on the surface after 30 min. These properties enable the Reflectors for installation in chemical plants and for use among others corrosive conditions.

Beispiel 24 Ein keramischer Werkstoff aus hochdichtem Aluminiumoxid wird zu einer Folie oder Lage einer Größe von 0,3 cm x 15 cm x 15 cm ausgeformt und gesintert. Die Folie wird dann mit einem einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz eines molprozentualen Verhältnisses Phenylreste/(Phenylreste + Methylreste) von 83,6 beschichtet, worauf die Harzschicht gehärtet wird. Das beschichtete Substrat wird nun in das Glockengefäß einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung eingebracht und parallel ausgerichtet 25 cm direkt über der Herdauskleidung angeordnet. Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,000027 mbar wird bis zu einem Druck von 0,0039 mbar gasförmiger Stickstoff eingeblasen. Danach wird wieder auf ein Vakuum von 0,000027 mbar evakuiert. Diese Maßnahmen werden nochmals wiederholt. Die Glühentladung wird bei einer angelegten Spannung von -1 KV, einer EB-Ausgangsleistung von 1,5 KW und einem Beschichtungsdruck von 0,0039 bis 0,0052 mbar eingeleitet (vgl. Tabelle II, 8).Example 24 A ceramic material made from high density alumina is formed into a film or sheet with a size of 0.3 cm x 15 cm x 15 cm and sintered. The film is then made with a high aryl content Silicone resin with a mol% ratio of phenyl residues / (phenyl residues + methyl residues) of 83.6, whereupon the resin layer is hardened. The coated substrate is now placed in the bell jar of a vacuum coating device and aligned parallel 25 cm directly above the stove lining. After this Evacuation to a vacuum of 0.000027 mbar is up to a pressure of 0.0039 mbar gaseous nitrogen blown in. Then it is again to a vacuum of 0.000027 mbar evacuated. These measures are repeated again. The glow discharge will with an applied voltage of -1 KV, an EB output power of 1.5 KW and a coating pressure of 0.0039 to 0.0052 mbar (see Table II, 8th).

Unter diesen Bedingungen wird metallisches Titan mittels Elektronenstrahlen erhitzt und 5 min lang im Vakuum aufgetragen.Under these conditions, metallic titanium becomes by means of electron beams heated and applied in vacuo for 5 minutes.

Der erhaltene goldene Titannitridreflektor wird aus dem Glockengefäß entnommen und mit demselben, einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharz beschichtet, worauf die Harzschicht wärmegehärtet wird. Danach wird der beschichtote Reflektor erneut in das Glockengefäß eingebracht und in derselben Stellung angeordnet. Nach dem Evakuieren auf ein Vakuum von 0,000013 abar wird Pyrexglas mit Elektronenstrahlen verdampft. Die Vakuumbeschichtung dauert 5 min bei einer angelegten Spannung von -0,7 KV, einer EE-Ausgangsleistung von 0,5 KW und einem Beschichtungsdruck von 0,000052 bis 0,000078mbar (vgl. Tabelle II). Das Substrat wird bei Raumtemperatur gehalten.The golden titanium nitride reflector obtained is made from the bell jar removed and coated with the same silicone resin with a high aryl content, whereupon the resin layer is thermoset. Then the coated reflector reintroduced into the bell jar and placed in the same position. To the evacuation to a vacuum of 0.000013 abar becomes Pyrex glass with electron beams evaporates. The vacuum deposition lasts 5 minutes with an applied voltage of -0.7 KV, an EE output power of 0.5 KW and a coating pressure from 0.000052 to 0.000078 mbar (see Table II). The substrate is at room temperature held.

Der erhaltene fünflagige Reflektor zeigt nach dem Erhitzen in einem 1800C heißen Ofen keine Anderung. Beim Reiben mit einem Stück Gaze ist keine Kratzerbildung feststellbar.The obtained five-layer reflector shows after heating in one 1800C hot oven no change. There is no scratching when rubbing with a piece of gauze detectable.

Durch übliche organische Lösungsmittel, wie Alkohole, Aceton und Petroläther, wird er nicht angegriffen. Die Hitze-, Abrieb- und Chemikalienbeständigkeit sind somit hervorragend. Er besitzt ein schönes goldartiges Aussehen und ist nur schwer zu beschmutzen. Diese Merkmale befähigen diese Art von Reflektor zur Herstellung von Dekorationen, Rauchersets und Innenbauteilen.Common organic solvents such as alcohols, acetone and petroleum ether he is not attacked. The heat, abrasion and chemical resistance are thus excellent. It has a beautiful gold-like appearance and is only heavy to pollute. These features enable this type of reflector to be manufactured of decorations, smoking sets and interior components.

Die Tabellen I und III veranschaulichen beschichtete Gegenstände gemäß der Erfindung. Die Tabellen II und IV veranschaulichen die Herstellungsbedingungen bei der Herstellung der betreffenden erfindungsgemäßen beschichteten e-Gegenstände.Tables I and III illustrate coated articles according to the invention. Tables II and IV illustrate the manufacturing conditions in the production of the respective coated e-objects according to the invention.

Tabelle I Mehrlagige Schutzüberzuge von beschichteten Gegenständen gemäß der Erfindung Schicht Materialien dreilagig Nr. 1 2 3 4 5 6 7 8 3 zweite Schutz- Harz o x o x schicht anorganisches Material (im Vakuum aufgetragen) o + o + 2 erste Schutz- Harz o o x x schicht anorganisches Material o o + + 1 Substrat Nicht-Metall bzw. Metall o o o o o o o o Fußnoten; o = bekannte Materialien x = einen hohen Arylgehalt aufweisende Silikonharze + = kermische Materialien Tabelle II Schicht Materialien dreilagig Nr. 1 2 3 zweite Harz Melamin- Polyesterharz Schutz- harz schicht anorganisches Material Atmosphäre angelegte Spannung EB-Ausgangsleistung Beschichtungs -druck, Dauer 2 erste Harz Schutz anorganisches Aluminium- Silicium schicht Material oxid Atmosphäre Sauerstoff Argon angelegte Spannung -0,5 KV -0,7 KV EB-Ausgangsleistung 1-1,5 KW 1 KW Beschichtungs- 0,000065- 0,00027-druck in mbar) 0,000078 0,00039 Dauer (min) 7 7 3 Sub- Nicht-Metall Glas strat Metall Al angel. £te Ho chfrequonz Spannung Fortsetzt Tabelle II dreilagig 3 4 5 6 7 einen hohen einen hohen Melaminharz Polyester- einen hohen Arylgehalt Arylgehalt harz Arylgehalt aufweisendes aufweisendes aufweisendes Siliconharz Siliconharz Siliconharz Silicium- Silicium Pyroceram Aluminium- Mullit oxid oxid Luft Sauerstoff Luft Sauerstoff Sauerstoff -0,4 KV -0,7 KV -0,7 KV -0,5 KV -0,7 KV 0,5 KW 1 KW 1 KW 1,5 KW 1,5 KW 0,000078 0,00027- 0,000078- 0,00027- 0,00052-7 0,00039 0,000091 0,00039 0,00065 7 7 7 7 APP Glas Al Cu Al angelegte Hochfrequenz- angelegte angelegte angelegte Spannung reaktion Spannung Spannung Spannung Fortsetzung Tabelle II dreilagig 8 9 10 11 12 einen hohen Arylgehalt aufweisen des Siliconharz Silicium- Indiumoxid Aluminium- Mullit oxid oxid Luft Argon/Sau.r-Sauerstoff Sauerstoff stoffgemisch -0,5 KV -0,5 KV -0,5 XV 0,5 KW 1,5 KW 1-1,5 KW 0,0117 0,00065- 0,00065-100 0,00078 0,00078 5 5 Polyester Aluminiumoxid harz Sauerstoff -0,7 KV 1-1,5 KW 0,00052-0,00065 7 Glas Schiefer Kupfer Ag Messing Hochfrequenz angelegte Zerstäu- angelegte angelegte Spannung bungaver- Spannung Spannung fahren Fortsetzung Tabelle II dreilagig 13 14 15 16 Borsilicatglas Siliciumoxid Zirkonium Aluminiumoxid Luft Argon Sauerstoff Sauerstoff -0,2 KV -0,7 KV -0,5 KV 0,5 KW 1,5 KW 1-1,5 KW 0,000039- 0,0013 0,00065- 0,00065-0,000065 50 0,00078 0,00078 20 7 5 Polyester Epoxyharz hellpolierte Kupfer-Aluminiumplatte medaille angelegte Zerstäubungs- angelegte Hochfrequenz Spannung verfahren Spannung Tabelle III Schicht Material 4 Schich- 5 Schich-Nr. ten ten 1 2 3 4 5 zweite Harz 0 0 Schutz- anorganische Subschicht stanz (durch Vakuumbeschichtung aufgetragen) 0 0 4 erste Harz o o Schutzanorganische Subschicht stanz o 3 Metall- Metall (durch Vakuumschicht beschichtung aufgetragen) o o o o 2 Harzschicht Harz o o 1 Substrat nicht-metallisches Substrat/Metall o o o o Tabelle IV Schicht Materialien vier Schichten Nr. 1 2 3 5 zweite Harz einen ho- Polyester Schutz- hen Arylschicht gehalt aufweisendes Siliconharz anorganisches Mate- Siliciumrial oxid Atmosphäre Luft angelegte Spannung -0,6 KV EB-Ausgangs -leistung 0,5 KW Beschichtungsdruck 0,000065-(in mbar) 0,000091 Dauer (in 5 min) 4 erste Harz Schutz- an schicht anorganisches Mate- Pyro- Siliciumrial ceram oxid Atmosphäre Luft Argon angelegte Spannung -0,7 KV -0,15 KV EB-Ausgangsleistung 0,6 EW 0,5 KW Beschichtungsdruck (in mbar) 0,000078- 0,00052-Dauer (in 0,000104 0,00065 min) 5 6 Fortsetzung Tabelle IV vier Schichten fünf Schichten 4 5 6 7 8 einen hohen Melamin Aryl gehalt aufweisendes Siliconharz Siliciumoxid Aluminiumoxid Pyrex Argon Sauerstoff Luft -0,5 KV -0,7 KV 0,5 KW 0,5 KW 0,0013 0,000104- 0,000052-60 0,000156 0,000078 5 5 einen hohen einen hohen Arylgehalt Arylgehalt aufweisendes aufweisen-Siliconharz des Siliconharz Mullit Siliciumoxid Sauerstoff Sauerstoff -0,7 KV -0,7 KV 1,0 KW 0,5 KW 0,000091- 0,000091-0,000117 0,000117 5 5 Fortsetzung Tabelle IV Schicht Materialien vier Schichten Nr. 1 2 3 3 Metall lichtreflektierendes Metall Al Al Al Atmosphäre Luft Argon Luft angelegte Spannung -3,0 KV -1 KV -3,0 KV EB-Ausgangsleistung 2 KW 1,5-2 KW 2 KW Beschichtungsdruck (in mbar)0,000052- 0,00013- 0,000078-Dauer 0,000078 0,00027 0,000091 30 5 30 s 30 5 2 Harz- Harz schicht 1Sub- Nicht-Metall Al Glasplatte Polycarbostrat natharz Metall angelegte Hochfre- angelegte Spannung quenz Spannung Fortsetzung Tabelle IV vier Schichten fünf Schichten 4 5 6 7 8 Al Al Al Al Al Argon Luft Luft Luft N -3 KV -3 KV -3 KV -1 KV 2 KW 2 KW 1,5-2 KW 0,0013 0,000052- 0,000065- 0,000065- 0,0039-5 min 0,000078 0,000091 0,000091 0,0052 30 5 30 5 30 5 5 min einen hohen Phenolharz einen hohen einen hohen Arylgehalt Arylgehalt Arylgehalt aufweisendes aufweisendes aufweisendes Siliconharz Siliconharz Siliconharz syntheti- Al Aluminiumoxidscher Glim- keramik rostfrei mer Zerstäu angelegte angelegte angelegte Ti-Reaktionsbungsver- Spannung Spannung Spannung beschichtung fahren Pyrex, angelegte spannungTable I Multi-layer protective coatings of coated articles according to the invention layer materials three-ply No. 1 2 3 4 5 6 7 8 3 second protective Resin o x o x layer of inorganic material (applied in a vacuum) o + o + 2 first Protective resin o o x x layer inorganic material o o + + 1 substrate non-metal or metal o o o o o o o o footnotes; o = known materials x = a high aryl content comprising silicone resins + = ceramic materials Table II layer Materials three-layer No. 1 2 3 second resin melamine polyester resin protective resin layer inorganic material atmosphere applied voltage EB output power Coating pressure, duration 2 first resin protection inorganic aluminum-silicon layer material oxide atmosphere oxygen argon applied voltage -0.5 KV -0.7 KV EB output power 1-1.5 KW 1 KW coating 0.000065- 0.00027 pressure in mbar) 0.000078 0.00039 Duration (min) 7 7 3 Sub- non-metal glass strat metal Al angel. £ te high frequency voltage Continued Table II three-ply 3 4 5 6 7 a high a high melamine resin polyester a high aryl content aryl content resin silicone resin containing aryl content silicone resin silicone resin Silicon silicon pyroceram aluminum mullite oxide air oxygen air oxygen Oxygen -0.4 KV -0.7 KV -0.7 KV -0.5 KV -0.7 KV 0.5 KW 1 KW 1 KW 1.5 KW 1.5 KW 0.000078 0.00027- 0.000078- 0.00027- 0.00052-7 0.00039 0.000091 0.00039 0.00065 7 7 7 7 APP Glas Al Cu Al applied high frequency applied applied applied Tension reaction tension tension tension Continuation table II three-layer 8 9 10 11 12 have a high aryl content of the silicone resin silicon Indium oxide aluminum mullite oxide air argon / oxygen / oxygen oxygen mixture -0.5 KV -0.5 KV -0.5 XV 0.5 KW 1.5 KW 1-1.5 KW 0.0117 0.00065- 0.00065-100 0.00078 0.00078 5 5 polyester alumina resin oxygen -0.7 KV 1-1.5 KW 0.00052-0.00065 7 glass slate copper Ag brass high-frequency applied atomized applied Tension bungaver tension drive tension Continuation table II three-ply 13 14 15 16 borosilicate glass silicon oxide zirconium aluminum oxide air Argon Oxygen Oxygen -0.2 KV -0.7 KV -0.5 KV 0.5 KW 1.5 KW 1-1.5 KW 0.000039- 0.0013 0.00065- 0.00065-0.000065 50 0.00078 0.00078 20 7 5 polyester epoxy resin light polished Copper-aluminum plate medal-applied sputtering-applied high frequency voltage proceed voltage Table III Layer Material 4 Layer 5 Layer No. ten th 1 2 3 4 5 second resin 0 0 protective inorganic sublayer punched (by vacuum coating applied) 0 0 4 first resin o o protective inorganic sub-layer punch o 3 metal Metal (applied by vacuum layer coating) o o o o 2 resin layer resin o o 1 substrate non-metallic substrate / metal o o o o Tabel IV layer materials four layers No. 1 2 3 5 second resin a ho- polyester A protective silicone resin containing an aryl layer, inorganic material, silicon rial oxide atmosphere air applied voltage -0.6 KV EB output power 0.5 KW coating pressure 0.000065- (in mbar) 0.000091 Duration (in 5 min) 4 first resin protective layer on inorganic Mate- Pyro- Siliciumrial ceram oxide atmosphere air argon applied voltage -0.7 KV -0.15 KV EB output power 0.6 EW 0.5 KW Coating pressure (in mbar) 0.000078- 0.00052 duration (in 0.000104 0.00065 min) 5 6 Continuation table IV four layers five layers 4 5 6 7 8 having a high melamine aryl content Silicone Resin Silica Alumina Pyrex Argon Oxygen Air -0.5 KV -0.7 KV 0.5 KW 0.5 KW 0.0013 0.000104- 0.000052-60 0.000156 0.000078 5 5 a high high aryl content-aryl content-silicone resin of the silicone resin Mullite silicon oxide oxygen oxygen -0.7 KV -0.7 KV 1.0 KW 0.5 KW 0.000091- 0.000091-0.000117 0.000117 5 5 Continued Table IV Layer Materials four layers No. 1 2 3 3 metal light reflecting metal Al Al Al atmosphere Air argon air applied voltage -3.0 KV -1 KV -3.0 KV EB output power 2 KW 1.5-2 KW 2 KW coating pressure (in mbar) 0.000052- 0.00013- 0.000078-duration 0.000078 0.00027 0.000091 30 5 30 s 30 5 2 resin-resin layer 1 sub-non-metal Al glass plate Polycarbostrate resin metal applied high frequency applied voltage frequency voltage continuation TABLE IV four layers five layers 4 5 6 7 8 Al Al Al Al Al Argon Air Air Air N -3 KV -3 KV -3 KV -1 KV 2 KW 2 KW 1.5-2 KW 0.0013 0.000052- 0.000065- 0.000065- 0.0039-5 min 0.000078 0.000091 0.000091 0.0052 30 5 30 5 30 5 5 min a high Phenolic resin having a high aryl content aryl content containing silicone resin silicone resin silicone resin synthetic Al aluminum oxide shear Glim ceramic rustproof mer atomization applied applied applied Ti reaction compound Voltage voltage voltage coating drive Pyrex, applied voltage

Claims (14)

P a t e n t a n s D r u c h e 1. riit einem mehrschichtigen Schutzüberzug versehener Gegenstand aus einen Substrat und zwei (daraul aufgetragenen schatzendell) Schichten, dadurch gekennzeichnet, daß die (schützenden) Schichten in beliebiger Reihenfolge aus einer in Vakuum aufgetragenen Schicht aus einer anorganischen Substanz und einer aus einem aufgetragenen Harz bestehenden Schicht gebildet sind. P a t e n t a n s D r u c h e 1. ri with a multi-layer protective coating provided object made of a substrate and two (treasure dell applied to it) Layers, characterized in that the (protective) layers in any Sequence of a layer of an inorganic substance applied in a vacuum and a layer made of an applied resin. 2. Gegenstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das substrat mit einer anorganischen Substanz vakuumbeschichtet und auf die Schicht aus der im Vakuum aufgetragenen anorganischen Substanz eine Harzschicht aufgetragen ist.2. Article according to claim 1, characterized in that the substrate vacuum-coated with an inorganic substance and applied to the layer of the im Vacuum applied inorganic substance is applied a resin layer. 3'. Gegenstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat mit einer Harzschicht überzogen und auf die Harzschicht im Vakuum eine anorganische Substanz aufgetragen ist.3 '. Article according to claim 1, characterized in that the substrate coated with a resin layer and an inorganic one on the resin layer in a vacuum Substance is applied. 4. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat mit einer anorganischen Substanz vakuumbeschichtet und auf die Schicht aus der im Vakuum applizierten anorganischen Substanz ein einen hohen Arylgehalt aufweisendes Siliconharz aufgetragen ist.4. Object according to one of claims 1 or 2, characterized in that that the substrate is vacuum coated with an inorganic substance and applied to the Layer of the inorganic substance applied in a vacuum has a high aryl content having silicone resin is applied. 5. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat im Vakuum mit einem keramischen Material beschichtet und auf die keramische Schicht ein einen hohen Arylgehalt aufweisendes Siliconharz aufgetragen ist.5. Object according to one of claims 1 to 4, characterized in that that the substrate coated in a vacuum with a ceramic material and on the Ceramic layer a silicone resin with a high aryl content is applied is. 6. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat mit einer Harzschicht beschichtet und auf die Harzschicht durch Vakuumbeschichtung ein keramisches Material aufgetragen ist. 6. Object according to one of claims 1 or 3, characterized in that that the substrate is coated with a resin layer and applied to the resin layer Vacuum coating a ceramic material is applied. 7. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat mit einer einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharzschicht beschichtet und auf die einen hohen Arylgehalt aufweisende Siliconharzschicht durch Vakuumbeschichtung eine anorganische Substanz aufgetragen ist.7. Object according to one of claims 1 or 3, characterized in that that the substrate having a high aryl content silicone resin layer coated and onto the silicone resin layer, which has a high aryl content Vacuum coating an inorganic substance is applied. 8. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1, 3, 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat mit einer einen hohen Arylgehalt aufweisenden Siliconharzschicht beschichtet und auf die einen hohen Arylgehalt aufweisen de Siliconharzschicht durch Vakuumbeschichtung ein keramisches iaterial aufgetragen ist.8. Object according to one of claims 1, 3, 6 and 7, characterized in that that the substrate having a high aryl content silicone resin layer coated and on which have a high aryl content de silicone resin layer Vacuum coating a ceramic material is applied. 9. Gegenstand nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß man als keramisches Material Aluminiumoxid, IIagnesiumoxid, Zirkonoxid und Spinell, Aluminiumoxid mit hohem Aluminiumgehalt, ein keramisches IxIaterial vom lIullittyp, ein keramisches i-laterial vom Zirkoniumtyp oder ein keramisches Material vom Lithiumoxidtyp, z.. Pyroceram, vefljendet. 9. Object according to one of claims 5 to 8, characterized in that that the ceramic material used is aluminum oxide, magnesium oxide, zirconium oxide and spinel, High-aluminum alumina, a lullite-type ceramic material, a zirconium type ceramic material or a lithium oxide type ceramic material, z .. Pyroceram, vefljendet. 10. Gegenstand nach einem der Ansprüche 4, 5, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß das molprozentuale Verhältnis Arylreste zu Arylresten + Alkylresten in der einen hohen Arylgehalt aufweisenden Silikonharzschicht 65 bis 100 beträgt.10. Object according to one of claims 4, 5, 7 or 8, characterized in that that the molar percentage ratio of aryl radicals to aryl radicals + alkyl radicals in one silicone resin layer having a high aryl content is 65 to 100. 11. Gegenstand nach einem der Ansprüche 4, 5, 7, 8 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Harzschicht aus einem Polyarylalkylsilo>:an eines molprozentualen Verlmltnisses Arylreste zu Arylresten + Alkylresten von 65 bis 100 mit zwei oder drei polymerisierbaren funktionellen Gruppen und einem Verhältnis Anzahl Kohlenstoffatome zu Anzahl Siliciumatome von 4,25 bis 16 besteht.11. Object according to one of claims 4, 5, 7, 8 or 10, characterized characterized in that the resin layer consists of a polyarylalkyl silo>: on a mol percent Relation of aryl radicals to aryl radicals + alkyl radicals from 65 to 100 with two or three polymerizable functional groups and a ratio of number of carbon atoms to the number of silicon atoms from 4.25 to 16. 12. Gegenstand nach einem der Ansprüche 5, 6, 8, 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß das keramische lviaterial bei einem eingestellten Vakuum von 0,13 bis 0,000013 mbar zum Schmelzen gebracht wird uld die Vakuumbeschichtung bei einem Vakuum, das nicht weniger als das 100-fache des voreingestellten Werts beträgt, erfolgt.12. Object according to one of claims 5, 6, 8, 9 or 10, characterized characterized in that the ceramic lvimaterial at a set vacuum of 0.13 to 0.000013 mbar is brought to melt uld the vacuum coating a vacuum no less than 100 times the preset value, he follows. 13. Gegenstand nach eine der Ansprüche 5, 6, 8, 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Vakuumbeschichtung ein kristallines keramisches Material verwendet wird.13. Object according to one of claims 5, 6, 8, 9 or 10, characterized characterized in that a crystalline ceramic material is used for vacuum coating is used. 14. Gegenstand nach einem der Ansprüche 5, 6, 8, 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die durch Vakuumbeschichtung gebildete keramische Schicht kristallin ist.14. Object according to one of claims 5, 6, 8, 9 or 10, characterized characterized in that the ceramic layer formed by vacuum deposition is crystalline is.