DE2936607A1

DE2936607A1 - Elektronisches bauelement

Info

Publication number: DE2936607A1
Application number: DE19792936607
Authority: DE
Inventors: Dipl.-Phys. Claus-Peter 3200 Hildesheim Czaya; Dipl.-Phys. Dr. Werner Kürzinger
Original assignee: Blaupunkt Werke GmbH
Current assignee: Blaupunkt Werke GmbH
Priority date: 1979-09-11
Filing date: 1979-09-11
Publication date: 1981-04-02

Description

Stand der Technik
Die vorliegende Erfindung betrifft ein elektronisches Bauelement mit einer flächenhaft ausgebildeten Schicht aus elektrisch leitfähigem Material, die in untereinander elektrisch leitend verbundene Teilflächen aufgeteilt ist.
Derartige, beispielsweise bei Dickschichtschaltungen und integrierten Schaltungen übliche, elektronische Bauelemente weisen einige Nachteile auf.
So lassen sie sich nur innerhalb enger Grenzen in ihren elektrischen Werten durch Abtrennen einzelner Teilflächen abgleichen und benötigen dabei einen großen flächenmäßigen Platzbedarf.
Die Erfindung und ihre Vorteile Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Aufgabe, ein elektronisches Bauelement nach dem Oberbegriff von Patentanspruch 1 zu entwickeln, welches bei geringem Platzbedarf einen großen Abgleichbereich seiner elektrischen Werte aufweist, dadurch gelöst, daß die Teilflächen unterschiedliche Flächeninhalte aufweisen.
Ein großer Abgleichbereich bei zugleich hoher Abgleichgenauigkeit ist bei elektronischen Bauelementen gegeben, die gemäß vorteilhafter Weiterbildungen der Erfindung derart ausgebildet sind, daß die Flächeninhalte der Teilflächen im wesentlichen im Verhältnis ganzer Zahlen, insbesondere im Verhältnis ganzzahliger Potenzen von Zwei zueinander stehen.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung bestehen darin, derartige Bauelemente als Kondensatoren auszubilden, indem die Teilflächen eine Kondensatorelektrode bilden, wobei die Teilflächen parallel nebeneinanderliegend angeordnet und über einen Steg aus elektrisch leitfähigem Material verbunden sind und eine kammartige Kondensatorelektrode bilden, wobei die Teilflächen in der Nähe des Stegs zur Erleichterung der Abgleicheinschnitte zu schmalen Verbindungsbrücken zwischen den Teilflächen und dem Steg verjüngt sein können.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung bestehen darin, die Teilflächen als eine Parallelschaltung von Widerständen oder als Elektrode eines Halbleiterbauelements auszubilden, so daß sich gemäß der vorliegenden Erfindung auch elektrische Widerstände und Halbleiterbauelemente zur Erzielung einer guten Abgleichbarkeit bei geringem flächenmäßigen Platzbedarf ausbilden lassen.
Die Vorteile der vorliegenden Erfindung liegen insbesondere darin, daß erfindungsgemäße elektronische Bauelemente ohne Mehraufwand mit den bei der Herstellung derartiger Bauelemente üblichen Verfahren gefertigt werden können, wobei mit hoher Genauigkeit reproduzierbare elektronische Bauelemente entstehen, die bei geringem Platzbedarf in einem weitem Bereich mit hoher Genauigkeit abgleichbar sind.
Zeichnung Die Erfindung wird nachfolgend an einer Figur näher erläutert.
In dieser Figur ist ein erfindungsgemäß ausgebildeter Kondensator in einer Draufsicht in seinem schematischen Aufbau dargestellt.
In der Figur zeigt 1 den Träger des flächenhaft aufgebauten Kondensators, auf dem das Dielektrikum 2 als eine Schicht festgelegt ist. Zwischen dem Träger 1 und dem Dielektrikum 2 ist die erste Elektrode des Kondensators angeordnet. Diese Elektrode ist in der Figur nicht näher dargestellt; lediglich die zu dieser Elektrode führende Anschlußbahn 3 ist in der Figur zu erkennen.
Auf das Dielektrikum 2 ist die kammartig ausgebildete zweite Kondensatorelektrode aufgebracht. Diese Kondensatorelektrode besteht-erfindungsgemäß aus den Teilflächen 4, 5, 6 und 7 unterschiedlichen Flächeninhalts, die über den Steg 11 miteinander elektrisch leitend verbunden sind. Die Teilflächen 4, 5 , 6 und 7 sind parallel nebeneinanderliegend angeordnet, wobei die Teilflächen 5, 6, und 7 in der Nähe des Stegs 11 zu schmalen Verbindungsbrücken 8, 9 und 10 zwischen den Teilflächen 5, 6 sowie 7 und dem Steg 11 verjüngt sind. Der Steg 11 weist eine Anschlußbahn 12 auf.
Die Flächeninhalte der Teilflächen 4, 5, 6 und 7 der kammartig ausgebildeten Kondensatorelektrode stehen im wesentlichen im Verhältnis ganzzahliger Potenzen von Zwei zueinander; die Flächeninhalte verhalten sich in dem in der Figur dargestellten Beispiel zueinander wie 1:2:4:8.
Der in der Figur dargestellte Kondensator läßt sich durch Auftrennen der Verbindung der Teilfläche 4 mit dem Steg 11 oder durch Auftrennen der Verbindungsbrücken 8, 9 oder 10 zwischen den Teilflächen 5, 6, oder 7 und dem Steg 11 abgleichen. Ferner ist es zum Abgleich des Kondensators möglich, den Steg 11 an geeigneter Stelle aufzutrennen, so daß mehrere Teilflächen der Teilfläche 4, 5, 6 und 7 mit einem einzigen Abgleicheinschnitt von der kammartigen Kondensatorelektrode abgetrennt werden.
Der in der Figur dargestellte Kondensator läßt sich mit großer Genauigkeit abgleichen, wobei die Feinheit des Rasters, in dem die durch Abgleichen erzielbaren Kapazitätswerte liegen, durch die Größe der durch die kleinste Teilfläche, die Teilfläche 4, gegebenen Kapazität bestimmt werden.
Erfindungsgemäß aufgebaute elektronische Bauelemente zeichnen sich durch einen einfachen Aufbau aus. Sie sind aufgrund der erfindungsgemäßen Aufteilung der flächenhaft ausgebildeten Schicht aus elektrisch leitendem Material in Teilflächen unterschiedlicher Flächeninhalte in ihren elektrischen Werten mit nahezu beliebiger Genauigkeit abgleichbar.
In erfindungsgemäßer Weise lassen sich insbesondere elektronische Bauelemente ausbilden, die in der bei der Fertigung integrierter Schaltkreise üblichen Technik oder in Schichttechnik, beispielsweise Dickschichttechnik oder Dünnschichttechnik, hergestellt werden.

Claims

Elektronisches Bauelement Ansprüche Flächenhaft aufgebautes elektronisches Bauelement mit einer flächenhaft ausgebildeten Schicht aus elektrisch leitfähigem Material, die in untereinander elektrisch leitend verbundenen Teilflächen aufgeteilt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilflächen (4, 5, 6, 7) unterschiedliche Flächeninhalte aufweisen.
2. Elektronisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächeninhalte der Teilflächen (4, 5, 6, 7) in im wesentlichen ganzzahligen Verhältnissen zueinander - stehen.
3. Elektronisches Bauelement nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächeninhalte der Teilflächen (4, 5, 6, 7) im wesentlichen im Verhältnis ganzzahliger Potenzen von Zwei zueinander stehen.
4. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilflächen (4, 5, 6, 7) eine Kondensatorelektrode bilden.
5. Elektronisches Bauelement nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilflächen (4, 5, 6, 7) parallel nebeneinanderliegend angeordnet und über einen Steg (11) aus elektrisch leitfähigem Material verbunden sind und eine kammartige Kondensatorelektrode bilden.
6. Elektronisches Bauelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilflächen (5, 6, 7) in der Nähe des Stegs (11) zu schmalen Verbindungsbrücken (8, 9, 10) zwischen den Teilflächen (5, 6, 7) und dem Steg (11) verjüngt sind.
7. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilflächen als eine Parallelschaltung elektrischer Widerstände ausgebildet sind.
8. Elektronisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilflächen eine Elektrode eines Halbleiterbauelements bilden.