DE2918106C2 - Verfahren zum Verschweißen und Kontaktieren eines Golddrahtes an einer Aluminiumoberfläche - Google Patents
Verfahren zum Verschweißen und Kontaktieren eines Golddrahtes an einer AluminiumoberflächeInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 9
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 7
- 238000003466 welding Methods 0.000 title claims description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 23
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000010956 nickel silver Substances 0.000 claims description 5
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- -1 gold-aluminum Chemical compound 0.000 claims description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 4
- MOFOBJHOKRNACT-UHFFFAOYSA-N nickel silver Chemical compound [Ni].[Ag] MOFOBJHOKRNACT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000005496 tempering Methods 0.000 claims description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- VRAIHTAYLFXSJJ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3].[AlH3] VRAIHTAYLFXSJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N copper zinc Chemical compound [Cu].[Zn] TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- QUCZBHXJAUTYHE-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au].[Au] QUCZBHXJAUTYHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004021 metal welding Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K5/00—Gas flame welding
- B23K5/12—Gas flame welding taking account of the properties of the material to be welded
- B23K5/16—Gas flame welding taking account of the properties of the material to be welded of different metals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49169—Assembling electrical component directly to terminal or elongated conductor
- Y10T29/49171—Assembling electrical component directly to terminal or elongated conductor with encapsulating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verschweißen
und Kontaktieren eines Golddrahtes an einer Aluminiumoberfläche
nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Es wurde bereiis darauf hingewiesen, daß die Bildung
unerwünschter Intermetallischer Gold-Aluminium-Phssen
bei Bauelementen, bei denen ein Golddraht eine AIumlniumoberfläche
kontaktiert, stark verringert werden kann, wenn bei Temperaturbehandlungen des Bauelementes
Tür die Umgebungsatmosphäre Wasserstoff verwendet wird. Das Verschweißen von Metallgehäusen
oder Metall-Keramik-Gehäusen In reiner Wasserstoffatmosphäre
ist bei den üblichen Herstellungsmethoden aber schwierig durchzuführen.
stofföfen bisher lediglich mit offenen Gehäusen durchgeführt.
Mit Wasserstoff gefüllte Gehäuse sind bisher nicht bekannt geworden.
Die Gold-Aluminium-Phasen können daher bisher nur vermieden werden, wenn Aluminium-Aluminium-Verbindungen
oder Gold-Gold-Verblndungen mit den entsprechenden Nachteilen verwendet werden.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum Verschweißen und Kontaktieren eines Golddrahtes
an einer Aluminiumoberfläche anzugeben, bei dem die Bildung einer intermetallischen Gold-Aluminium-Phase
vermieden wird.
Diese Aufgabe wird be! einem Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden
Teil des Patentanspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Bei der Erfindung wird also zunächst ein Bti'rlement,
bei dem ein Golddraht mit einer Aluminiumoberfläche kontaktiert 1st, in ein Gehäuse eingebracht. Anschließend
wird das Gehäuse unter einem Vakuum mit einem Partialdruck kieiner ΐ,33 · 10 : mbar verschweißt. Für das
Gehäuse (Kappe und/oder Deckel) wird dabei vorzugsweise Nickel oder Neusilber (55 ... 60% Cu, 12 ... 26%
Nl, 19 ... 31% Zn) verwendet, wobei aber Nickel eine etwa 50mal größere Wasserstoff-Durchlässigkeit hat.
Durch eine Temperung des verschweißten Gehäuses In einer wasserstoffhalligen Atmosphäre bei 150 bis 350° C
wird Wasserstoff in der notwendigen Menge eindiffundiert, bis beispielsweise ein Wasserstoff-Innendruck von
0,981 bis 0,491 bar im Gehäuse erreicht ist.
Um eine Ausdiffusion des Wasserstoffes aus dem Gehäuse bei einer späteren Erwärmung in einer wasserstofffreien
oder wasserstoffarmen Atmosphäre zu verhindern, wird das Gehäuse vorzugsweise mit einer Wasserstoff-Sperrschicht
versehen. Da Kupfer und Zinn eine nur sehr geringe Wasserstoff-Durchlässigkeit aufweisen,
ist eine beispielsweise galvanisch erzeugte Kupfer-Zlnn-Doppeischicht
als Wasserstoff-Sperrschicht besonders vorteilhaft. Die Schichtdicken betragen dabei für Kupfer
etwa 2 bis 4 pm und für Zinn etwa 6 bis 10 Mm.
Die Wasserstoff-Sperrschicht kann entfallen, wenn das
Gehäusematerial bei der maximal zulässigen Bauelement-Temperatur eine geringe Wasserstoff-Durchlässigkeit
hat, was beispielsweise für Neusilber, Kupfer und Aluminium gilt, so daß während der gesamten zu erwartenden
Lebensdauer des Bauelementes der maximal notwendige Wasserstoff-Innendruck Im Gehäuse erhalten
bleibt. Die Eindiffusion von Wasserstoff muß In diesem Fall bei einer entsprechend höheren Temperatur oder
während einer längeren Zeit als bei Gehäusen aus beispielsweise Nickel erfolgen.
Wenn das Gehäuse bereits beim Verschließen mit Wasserstoff gefüllt werden kann, was beispielsweise beim
Friktionsschweißen oder Löten der Fall Ist, Ist ebenfalls
die Wasserstoff-Sperrschicht erforderlich, sofern nicht
Gehäuse mit ausreichender Wasserstoff-Sperrfählgkeltverwendet
werden müssen.
Claims (9)
1. Verfahren zum Verschweißen und Kontaktleren eines Golddrahtes an einer Aluminiumoberflache
ohne die unerwünschte Bildung einer Intermetallischen Gold-Aluminium-Phase, dadurch gekennzeichnet,
daß nach der Verbindung des Golddrahtes mit der Aluminiumoberfläche die Kontaktstelle In ein
mit einer Wasserstoff-Sperrschicht versehenes Gehäuse für Bauelemente eingebracht wird, das unter
Vakuum verschweißt und anschließend in einer wasserstoffhaltigen Atmosphäre getempert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäusematerial bei der maximal
zulässigen Bauelement-Temperatur eine geringe Wasserstoff-Durchlässigkeit hat.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wasserstoff-Sperrschicht.aus
Kupfer und/oder Zinn besteht.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Schichtdicke der Sperrschicht Tür Kupfer 2 bis 4 μπι und für Zinn 6 bis 10 \im beträgt.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse aus Neusilber, Kupier oder
Aluminium besteht.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Vakuum kieiner als
l,33 102mbarist.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (Kappe
und/oder Deckel) aus Nickel oder Neusilber besteht.
a. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die Temperung bei 150 bis 350° C durchgeführt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperung durchgeführt wird, bis
ein Wasserstoff-Innendruck im Gehäuse von 0,098 bis 0.491 bar erreicht Ist.
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Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2918106A DE2918106C2 (de) | 1979-05-04 | 1979-05-04 | Verfahren zum Verschweißen und Kontaktieren eines Golddrahtes an einer Aluminiumoberfläche |
US06/144,024 US4375008A (en) | 1979-05-04 | 1980-04-28 | Method for encapsulating components with cases and an encapsulation provided by the method |
JP5935180A JPS55150256A (en) | 1979-05-04 | 1980-05-02 | Method of sealing element with container |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2918106A DE2918106C2 (de) | 1979-05-04 | 1979-05-04 | Verfahren zum Verschweißen und Kontaktieren eines Golddrahtes an einer Aluminiumoberfläche |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2918106A1 DE2918106A1 (de) | 1980-11-06 |
DE2918106C2 true DE2918106C2 (de) | 1983-02-24 |
Family
ID=6069988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2918106A Expired DE2918106C2 (de) | 1979-05-04 | 1979-05-04 | Verfahren zum Verschweißen und Kontaktieren eines Golddrahtes an einer Aluminiumoberfläche |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4375008A (de) |
JP (1) | JPS55150256A (de) |
DE (1) | DE2918106C2 (de) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0159341B1 (de) * | 1983-10-13 | 1988-06-01 | MOE, Per H. | Verbindungsverfahren für metallrohrstücke durch schmieddiffusionsschweissen |
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-
1979
- 1979-05-04 DE DE2918106A patent/DE2918106C2/de not_active Expired
-
1980
- 1980-04-28 US US06/144,024 patent/US4375008A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-05-02 JP JP5935180A patent/JPS55150256A/ja active Pending
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
NICHTS-ERMITTELT |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4375008A (en) | 1983-02-22 |
JPS55150256A (en) | 1980-11-22 |
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Legal Events
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