DE2916078A1 - Temperaturfuehler mit einer vorrichtung fuer akustische oberflaechenwellen - Google Patents

Temperaturfuehler mit einer vorrichtung fuer akustische oberflaechenwellen

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Description

Henkel, Kern, Feiler & Hänzei h Patentanwälte
Registered Representatives
before the
European Patent Office
Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha, Möhlstraße 37
Kawasaki-shi, Japan 0*000 München 80
Tel.: 089/982085-87
Telex: 05 29 802 hnkl d
Telegramme: ellipsoid
54P149-3
2 0. April 1979
Temperaturfühler mit einer Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen
Beschreibung
Die Erfindung betrifft einen Temperaturfühler mit einer Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen, deren Frequenzgang entsprechend der Temperatur einer Bauteil-Grundplatte derselben variiert. Insbesondere betrifft die Erfindung einen Temperaturfühler, der drahtlos die Temperatur der Grundplatte der Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen an einer von dieser Vorrichtung entfernten Stelle zu messen vermag.
Es sind verschiedene Temperaturmeßvorrichtungen bekannt, beispielsweise eine Vorrichtung zur Messung der von einer Temperaturänderung herrührenden Änderung des Widerstandswerts eines Thermistors, eine Vorrichtung zur Messung der Änderung der elektromotorischen Kraft eines auf die Temperaturänderung ansprechenden Thermoelements, eine Vorrichtung zur Messung der Änderung der thermischen Ausdehnungsgröße eines Stoffs selbst, z.B. in einem Thermometer, usw.
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Derzeit besteht ein Bedarf für eine Vorrichtung zur auf drahtlose Weise erfolgenden Messung der Temperatur eines Stoffs oder Gegenstands oder der Temperatur in einem Raum an einem von der Stelle, an welcher die Temperaturmessung erfolgt, entfernten Ort. Die vorstehend erwähnten Vorrichtungen vermögen diese Aufgabe jedoch nicht zu erfüllen. Eine erste, drahtlos arbeitende Einrichtung mißt beispielsweise die von einem Stoff oder Gegenstand ausgestrahlte Infrarotstrahlung, doch muß diese Einrichtung mit einem Halbleiter-Infrarotdetektor oder einer vergleichsweise aufwendigen pyroelektrischen Vorrichtung versehen sein. Darüber hinaus ist es dabei erforderlich, das Emissionsvermögen der Oberfläche eines Gegenstands, dessen Temperatur gemessen werden soll, zu korrigieren. Diese Einrichtung kann daher (nur) in speziellen Fällen verwendet werden.
Eine zweite, drahtlos arbeitende Einrichtung moduliert eine Trägerwelle in Form einer Amplituden- (AM), Frequenz- (FM) oder Pulskodemodulation (PCM) unter Heranziehung der gemessenen Temperaturdaten, um dann die modulierte Welle auf drahtlosem Wege zu einer Stelle zu übertragen, an welcher die Temperaturmessung erfolgen soll. Aufgrund ihrer hohen Kosten kann diese Einrichtung jedoch nur für eine vergleichsweise große Temperaturmeßanlage verwendet werden.
Als dritte, drahtlos arbeitende Einrichtung ist eine solche unter Verwendung eines Kristallschwingers bekannt. Im Zuge der zunehmenden Verbreitung von Mikrorechnern wurde diese Einrichtung für die Lieferung von Temperaturmeßdaten in digitaler Form entwickelt. Normalerweise ist es dabei erforderlich, daß die temperaturabhängige Änderung der Schwingfrequenz des Kristallschwingers klein bleibt. Ein Kristallschwinger, bei dem die temperaturabhängige Änderung der Resonanzfrequenz groß ist, kann jedoch selektiv
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durch Verwendung einer Y-Schnitt- oder LC-Schnitt-Kristallplatte hierfür erhalten werden. Wenn der so hergestellte Schwinger als Oszillator eingesetzt und seine Schwingfrequenz durch einen Zähler gemessen wird, kann die Temperatur dieses Schwingers in digitaler Form ermittelt werden. Auf diese Weise kann die Temperatur mit hoher Genauigkeit und guter Linearität gemessen werden. Diese dritte Einrichtung ist allerdings mit folgenden Mängeln behaftet: der Schwinger eignet sich nicht für Massenfertigung, weil die einzelnen Schwinger getrennt geformt und abgeglichen (trimmed) werden müssen. Da zudem die mechanische Schwingungserscheinung vom gesamten Schwinger herrührt, ist es schwierig, den Schwinger selbst an der Innenfläche eines Metallgehäuses mit hohem Wärmeübertragungsgrad zu befestigen, so daß es nötig wird, den Schwinger mit Hilfe einer im Inneren des Metallgehäuses angeordneten Stange oder eines Stabs zu haltern, wobei die Ansprechzeit, während welcher sich die Schwingfrequenz des Schwingers in Abhängigkeit von atmosphärischen Temperaturänderungen außerhalb des Metallgehäuses ändert, zu lang wird, weil beispielsweise die Temperatur der außerhalb des Gehäuses befindlichen Luft über das Gas oder die Luft im Inneren des Gehäuses auf den Schwinger übertragen werden muß.
Aufgabe der Erfindung ist damit die Schaffung eines Temperaturfühlers unter Verwendung einer Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen (surface acoustic wave device), der insbesondere für Massenfertigung geeignet ist und dessen Ansprechzeit auf atmosphärische Temperaturänderungen ausreichend kurz ist, wobei die digitale Anzeige der gemessenen Temperatur einfach sein soll und die Temperaturmeßwerte auf drahtlosem Wege übermittelt werden können.
Diese Aufgabe wird bei einem Temperaturfühler mit einer Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen erfindungs-
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gemäß gelöst durch einen übertragungs- bzw. Sendeteil mit einem Oszillator mit einer Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen, deren Frequenzgang in Abhängigkeit von der Temperatur ihrer Grundplatte variiert, wobei der Oszillator ein Schwingungsausgangssignal mit einer Frequenz entsprechend dem Frequenzgang der Vorrichtung liefert, und mit einer an den Oszillator angeschlossenen ersten Antenne zur übertragung des Schwingungsausgangssignals, und durch einen Empfangsteil mit einer zweiten Antenne zur Abnahme des Ausgangssignals der ersten Antenne, einer Einrichtung zur Bestimmung der Schwingfrequenz des Oszillators anhand des Ausgangssignals der zweiten Antenne sowie einer Signalverarbeitungsschaltung zur Verarbeitung des Ausgangssignals der Detektoreinrichtung zwecks Erzeugung mindestens eines Temperaturanzeige- und/oder Regelsignals für die Grundplatte der Vorrichtung.
Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung eines Beispiels für einen beim erfindungsgemäßen Temperaturfühler verwendeten akustischen Oberflächenwellen-Resonator,
Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie II-II in Fig. 1,
Fig. 3 ein Schaltbild eines Beispiels für den Übertragungsoder Sendeteil des erfindungsgemäßen Temperaturfühlers mit dem Resonator nach Fig. 1,
Fig.4A ein Äquivalentschaltbild für die Schaltung nach Fig. 3,
Fig.4B eine Teildarstellung einer Abwandlung der Schaltung nach Fig. 3,
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Fig. 5 eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen der Temperatur der Grundplatte des Resonators und der Änderungsgeschwindigkeit der Schwingfreguenz des Schwingers nach Fig. 3,
Fig. 6 ein Blockschaltbild eines Beispiels für den Empfangsteil des erfindungsgemäßen Temperaturfühlers und
Fig. 7 ein Blockschaltbild einer anderen Ausführungsform des Sendeteils des erfindungsgemMßen Temperaturfühlers.
Der in Fig. 1 dargestellte Resonator 1 für akustische Oberflächenwellen umfaßt eine Y-Schnitt-, Z-Ausbreitung-Grundplatte (piezoelektrische Grundplatte) 2 aus Lithiumniobat, einen auf der einen Fläche dieser Platte 2 und in ihrer Mitte angeordneten, verschachtelten bzw. Kammelektrodenwandler 3, etwa 200 auf beiden Seiten des Wandlers 3 angeordnete reflektierende Streifen 4 sowie Anschlüsse oder Klemmen 5, die jeweils mit einer von zwei Elektroden des Wandlers 3 verbunden sind. Die Elektroden des Wandlers 3 und die reflektierenden Streifen 4 sind durch Aufdampfen eines dünnen Aluminiumfilms auf die Oberfläche der Grundplatte und anschließendes Photoätzen dieses Films hergestellt. Die Dicke des Aluminiumfilms beträgt 200 &, und die Linienbreite sowie der Abstand zwischen den Elektroden des Wandlers 3 und den reflektierenden Streifen 4 betragen jeweils etwa 12 Jim. Das Element 1 kann in Form von etwa 50 Einheiten auf einer Grundplatte mit einem Durchmesser von etwa 5 cm nach dem üblichen Fertigungsverfahren für integrierte Schaltkreise hergestellt werden. Die etwa 50 Einheiten werden sodann durch Schneiden voneinander getrennt. Die Fläche der Grundplatte einer Elementeinheit beträgt 1,5 χ 10 mm bei einer Dicke von 0,5 mm.
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Der beschriebene Resonator besitzt dieselbe Resonanzkennlinie wie der Kristallschwinger bzw. -resonator. Gemäß der US-PS 3 886 504 kann dieser Resonator für akustische Oberflächenwellen als Filter oder als Oszillatorbauteil benutzt werden. Es ist jedoch darauf hinzuweisen, daß zwischen dem Kristallschwinger und dem Resonator für akustische Oberflächenwellen die folgenden erheblichen Unterschiede bestehen: beim Kristallschwinger bzw. -resonator schwingt dessen gesamte Platte mechanisch, während beim akustischen Resonator die Erzeugung und Ausbreitung der mechanischen Schwingung zentral auf einem Abschnitt erfolgt, der äußerst dicht an der Oberfläche der Grundplatte liegt. Weiterhin ist der Schwingfrequenzgang in keiner Weise von der Form der Grundplatte abhängig. Schließlich sind es Form und Anordnung der Elektroden des Wandlers 3 sowie der reflektierenden Streifen 4, welche den Frequenzgang bestimmen; insbesondere werden die Resonanzfrequenzen hauptsächlich durch die Breite sowie die gegenseitigen Abstände der Elektroden des Wandlers und der reflektierenden Streifen 4 bestimmt. Aus diesen Gründen kann die Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen mit Resonanzfrequenzen in einem Bereich von über 30 MHz, d.h. im VHF- oder UHF-Bereich, ohne weiteres auf Massenfertigungsbasis hergestellt werden.
Wie erwähnt, kann die Form der Grundplatte ziemlich frei gewählt werden, so daß ihre Dicke sehr klein sein kann. Da außerdem auch die Form der Rückseite der Grundplatte frei gewählt werden kann, eignet sich die Grundplatte für die Herstellung eines Temperaturfühlers, dessen Ansprechzeit auf atmosphärische Temperaturänderung sehr kurz ist, indem die Grundplatte unmittelbar mit einer Metallplatte mit großem Wärmeübertragungsgrad verbunden, beispielsweise verklebt wird.
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Die piezoelektrische Y-Schnitt-, Z-Ausbreitung-Grundplatte aus Lithiumniobat bietet die folgenden Vorteile: die Änderungsgröße des Frequenzgangs entsprechend der Temperatur der Grundplatte ist groß. Bei einer Abweichung des Y-Schnittwinkels im Bereich von +5° und einer Abweichung des Z-Ausbreitungsrichtungswinkels im Bereich von + 0,5° beträgt die Abweichung der akustischen Oberflächenwellengeschwindigkeit nur etwa + 0/3 m/s. Diese Abweichung von + 0,3 m/s entspricht einer Temperaturänderung von + 10C der Grundplatte. Dies bedeutet, daß die erwähnten Abweichungen die Massenfertigung der Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen nicht verhindern, daß die charakteristischen bzw. Kennlinienabweichungen zwischen einzelnen derartigen Vorrichtungen ziemlich klein sind und daß die so gefertigten Vorrichtungen für akustische Oberflächenwellen für Temperaturfühler geeignet sind.
Gemäß Fig. 1 ist das Element 1 mit einer 0,4 mm dicken und 12 χ 15 mm großen Eisenplatte 6 beispielsweise mittels einer flexiblen Klebmittelschieht 7, z.B. aus Epoxyharz (vgl. Fig. 2) verklebt. An dieser Eisenplatte ist eine nicht dargestellte Abdeckung angebracht. Die Klemmen 5 sind mit der Eisenplatte 6 über Isolierelemente verbunden. Durch diese Konstruktion wird eine Änderung der Resonanzfrequenz des Elements 1 aufgrund einer Verwerfung oder Verformung der Grundplatte 2 des Elements 1 verhindert, die durch ein Werfen oder sonstiges Verformen der Eisenplatte 6 aufgrund thermischer Ausdehnung oder anderer Ursachen hervorgerufen wird, weil die Verformung der Eisenplatte 6 von der flexiblen Klebmittelschicht 7 aufgenommen wird.
Im Ubertragungs- bzw. Sendeteil gemäß Fig. 3 ist ein linearer integrierter Schaltkreis (Toshiba IC TA - 7131p)
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vorgesehen, der externe Anschlußklemmen 1a - 7a, einen Vorspannungsstabilisator 9, Widerstände R1 bis R4 und Transistoren Tr.. und Tr- aufweist. Der Minuspol einer Stromquelle 10 (Batterie von 1,5 V) liegt an Masse, während ihr Pluspol über die Klemme 7a und den Widerstand R4 an den Kollektor des Transistors Tr-, unmittelbar an den Kollektor des Transistors Tr^, über den Widerstand R2 an die Eingangsklemme des Stabilisators sowie über die Widerstände R2 und R1 an die Basis des Transistors Tr.. angeschlossen ist. Die Emitter der Transistoren Tr- und Trsind über den Widerstand R3 zusammengeschaltet, und der Ausgang des Stabilisators 9 liegt an der Basis des Transistors Tr-. Die Klemmen 2a bis 6a sind mit der Basis des Transistors Tr.., dem Emitter des Transistors Tr.*, dem Emitter des Transistors Tr-, der Basis des Transistors Tr- bzw. dem Kollektor des Transistors Tr- verbunden. Die eine Klemme 5 der Vorrichtung 1 für akustische Oberflächenwellen liegt an Masse, während ihre andere Klemme mit der Klemme 2a und außerdem über einen Kondensator C. mit der Klemme 3a verbunden ist. Das eine Ende eines Kondensators C- liegt an Masse, und sein anderes Ende ist mit der Klemme 3a sowie über einen Kondensator C3 mit der Klemme 5a verbunden. Die Klemme 4a liegt an Masse. Die Klemme 6a liegt über einen Kondensator C4 an einer Empfangsantenne 12, die ein gewöhnlicher elektrischer Leiter sein kann. Bei der dargestellten Ausführungsform ist das Element bzw. die Vorrichtung 1 für eine Resonanzfrequenz von 74,80 MHz bei 250C ausgelegt.
Fig. 4A ist ein Äquivalentschaltbild für den Oszillatorbzw. Schwingerteil in der Schaltung gemäß Fig. 3. Fig. 4A ist das elektrische Äquivalent für die Vorrichtung 1 durch einen Reihenresonanzkreis aus den Elementen r, Co und Lo sowie einem elektrostatischen Kondensator C-, zwischen den Elektroden des Kammelektrodenwandlers 3 dargestellt.
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Der Reihenresonanzkreis und der Kondensator CL1 sind parallelgeschaltet. Die Impedanz von einem Punkt 13 aus in Richtung des integrierten Schaltkreises 8 gesehen/ ist durch eine Reihenschaltung zwischen einem Kondensator Cx und einem negativen Widerstand -R dargestellt. Die Größe von Cx bestimmt sich hauptsächlich durch die Werte oder Größen der Kondensatoren C1 und C2 sowie die Charakteristik oder Kennlinie des Transistors Tr1 gemäß Fig. 3. Wenn die Bedingung zutrifft/ daß der negative Widerstand /-R/ größer ist als der Widerstandswert r, bleibt die Schwingung erhalten. Bei der dargestellten Ausführungsform ist die Schwingfrequenz des Oszillators auf 75/00 MHz bei 250C festgelegt. Dieser Schwingungsausgang wird durch den Transistor Tr0 verstärkt, und das verstärkte Signal wird zur übertragung an die Antenne 12 angelegt. Die von der Stromquelle 10 im schwingenden Zustand gelieferten Stromstärken liegen im Bereich von etwa 1 bis 1,5 mA. Die Antenne 12 strahlt elektrische Leistung von 75 MHz bei etwa 1 mW ab. Im praktischen Einsatz der Erfindung ist es wünschenswert, den Oszillator mittels Batterie zu speisen und seinen Stromverbrauch möglichst zu reduzieren. Zu diesem Zweck ist es vorteilhaft, den Oszillator intermittierend zu betreiben und somit auch die Temperatur intermittierend zu messen. Hierfür kann der Oszillator gemäß Fig. 4B in der Weise periodisch betrieben werden, daß durch das Ausgangssignal eines Zeitgebers 14b periodisch ein Schalter 14a geschlossen wird, der zwischen der Stromquelle 10 und der Klemme 7a angeordnet ist.
Der Empfangsteil ist in Fig. 6 veranschaulicht. Die von der Sendeantenne 12 ausgestrahlte Funk- bzw. Hochfrequenzwelle wird von einer Empfangsantenne 15 abgenommen. Das eine Frequenz von 75 MHz besitzende Ausgangssignal der Antenne 15 wird von einem Bandpaßfilter 16 mit einer Mittenfrequenz von 75 MHz und einer Bandbreite von + 2 MHz
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abgenommen und dann durch einen Hochfrequenzverstärker 17 (z.B. Toshiba IC TA 7124p) verstärkt. Die Ausgangssignale von einem Kristallschwinger 19 mit einer Frequenz von 75,167 MHz und vom Verstärker 17 werden als Eingangssignale einer Mischstufe 18 eingegeben, und das Ausgangssignal als Frequenzunterschied zwischen beiden Eingangssignalen wird von einem Tiefpaßfilter 20 abgenommen und dann durch einen Verstärker 21 verstärkt. Die Ausgangsfrequenz des Verstärkers 21 wird durch einen Zähler 22 (z.B. Toshiba Digital-IC TC 4029p) gezählt. Das Ausgangssignal des Zählers 22 wird einer vorbestimmten Datenverarbeitung in einem Datenprozessor unterworfen, von welchem ein Temperaturanzeige- oder Steuersignal abgenommen wird. Fig. 6 veranschaulicht den Fall, in welchem der erfindungsgemäße Temperaturfühler in einer Klimaanlage angeordnet ist, die durch einen Mikrorechner bzw. Mikroprozessor 23 gesteuert wird, wobei sich der Temperaturfühler in der Ecke eines Raums befindet. Fig. 6 veranschaulicht insbesondere den Fall, in welchem ein Signal aus 4 Bits vom Zähler 22 dem Mikrorechner 23 eingegeben wird, der als Ausgangssignale ein Temperaturanzeigesignal 24 (welches die Temperatur der Grundplatte der in der Mitte des Raums befindlichen Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen wiedergibt) und ein Temperaturregelsignal 25 liefert (durch welches die Temperatur der Grundplatte 2 indirekt derart geregelt wird, daß die Temperatur in der Mitte des Raums auf einer vorbestimmten Größe gehalten wird). Für den Mikrorechner kann beispielsweise ein Toshiba 4-Bit-XC TMP - 4315 verwendet werden.
Fig„ 5 veranschaulicht eine Kennlinie 27, die durch Auftragung der Temperatur des Temperaturfühlers (d,h„ der Temperatur der Grundplatte der Vorrichtung 1 gemäß Fig. 1) auf der Abszisse und der Frequenzänderungsgrößen (ppm)
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auf der Ordinate erhalten wird. Die Frequenzänderungsgrößen werden durch Normalisierung der durch den Empfangsteil (Fig. 6) gegenüber 75 MHz ermittelten Frequenzunterschiede erhalten. Bei der Messung zur Ermittlung dieser Kennlinie wurde der Oszillator in einem Thermostatgehäuse angeordnet, während der Empfangsteil 2 m von diesem Gehäuse entfernt angeordnet wurde. Die Temperatur des Temperaturfühlers wurde vom Empfangsteil etwa 2 min nach dem Umsetzen des Temperaturfühlers aus dem Thermostatgehäuse von 350C zu einer Stelle mit einer Raumtemperatur von 25 0C mit 260C wiedergegeben. Dies bedeutet, daß nach 2 min eine Meßgenauigkeit von etwa 90 % erreicht wurde. Es hat sich gezeigt, daß die Ansprechzeit auf Temperaturänderungen praktischen Anforderungen genügt.
Obgleich vorstehend die Anwendung des erfindungsgemäßen Temperaturfühlers auf eine Klimaanlage beschrieben ist, kann mit Hilfe des erfindungsgemäßen Temperaturfühlers die Temperatur an einem vorbestimmten Teil eines sich bewegenden oder rotierenden Körpers auf drahtlosem Wege an einer von diesem Körper entfernten Stelle gemessen werden« Der Sendeteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann durch einen an sich bekannten Oszillator gebildet werden, in welchem eine Regelschleife (loop) durch eine mit akustischen Oberflächenwellen arbeitende Verzögerungsleitung und einen Verstärker hergestellt ist, sowie mittels des Resonators 1 gemäß Fig. 1. Wie beispielsweise im grundsätzlichen Blockschaltbild gemäß Fig. 7 veranschaulicht, kann die Anordnung so getroffen sein, daß das Ausgangssignal eines ersten Kammelektrodenwandlers 3a der mit akustischer Oberflächenwelle arbeitenden Verzögerungsleitung an einen Verstärker 38 angelegt wird, dessen Ausgangssignal sodann der Antenne 12 eingespeist wird, wobei eine Rückkopplung über einen zweiten Kammelektrodenwandler 3b und den ersten Kammelektrodenwandler 3a zum Verstärker 38 vor-
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gesehen ist. Die genannte Verzögerungsleitung kann dadurch gebildet werden, daß die beiden Kammelektrodenwandler 3a und 3b an den gegenüberliegenden Enden einer Grundplatte 1a angeordnet werden.
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Claims (8)

Henkel, Kern, Feiler £rHäni«*J Patentanwälte Registered Representatives before the European Patent Office Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha, MöhlstraBe 37 Kawasaki-shi, Japan 0-6000München 80 Tel.: 089/982085-87 Telex: 0529802 hnkl d Telegramme: ellipsoid 20. April 1979 54P149-3 Temperaturfühler mit einer Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen Patentansprüche
1.!Temperaturfühler mit einer Vorrichtung für akustische ^S Oberflächenwellen, gekennzeichnet durch einen übertragungs- bzw. Sendeteil mit einem Ossiilator (8) mit einer Vorrichtung CD für akustische Oberflächenwelle]*,, deren Frequenzgang in Abhängigkeit von der Temperatur ihrer Grundplatte (2) variiert? wobei der Oszillator ein Schwingungsausgangssignal mit einer Frequenz entsprechend dem Frequenzgang der Vorrichtung (1) liefert, und mit einer an den Oszillator angeschlossenen ersten Antenne (12) zur übertragung des Schwxngungsausgangssignals, und durch einen Empfangsteil mit einer zweiten Antenne (15) zur Abnahme des Ausgangssignals der ersten Antenne, einer Einrichtung (16 - 22) zur Bestimmung der Schwingfrequenz des Oszillators anhand des Ausgangs'signals der zweiten Antenne sowie einer Signalverarbeitungsschaltung (23)
SÖ9S4
zur Verarbeitung des Ausgangssignals (26) der Detektoreinrichtung zwecks Erzeugung mindestens eines Temperaturanzeige- und/oder Regelsignals (24 bzw. 25) für die Grundplatte der Vorrichtung (1).
2. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (1) ein Resonator für akustische Oberflächenwellen ist.
3. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet/ daß die Vorrichtung (1) eine Verzögerungsleitung (1a, 3a, 3b) für akustische Oberflächenwellen ist.
4. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte der Vorrichtung (1) eine Y-Schnitt-, Z-Ausbreitung-Grundplatte aus Lithiumniobat ist.
5. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (1) eine Y-Schnitt-, Z-Ausbreitung-Grundplatte aus Lithiumniobat, eine Platte (6) mit gutem Wärmeleitvermögen und eine flexible Klebmittelschicht
(7) zur Verbindung der Grundplatte mit der Platte (6) aufweist.
6. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Oszillator eine Einrichtung (14a, 14b) aufweist, welche ihn intermittierend schwingen läßt.
7. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Bestimmung oder Feststellung der Schwingfrequenz des Oszillators einen Bezugsfrequenzoszillator (19), eine Mischstufe (1-8) zur Abnahme des Ausgangssignals des Frequenzunterschieds zwischen der Ausgangsfrequenz der zweiten Antenne (15) und der Bezugsfrequenz und einen Zähler (22) zum Zählen bzw. Bestimmen der Ausgangsfrequenz der Mischstufe aufweist
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und daß die Signalverarbeitungsschaltung ein Mikrorechner (23) ist, der als Eingangssignal das Ausgangssignal (26) des Zählers abnimmt und als Ausgangssignal mindestens ein Temperaturanzeige- und/oder Regelsignal (24 bzw. 25) für die Grundplatte liefert.
8. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Temperaturregelsignal (25) dem Temperaturregelabschnitt einer Klimaanlage zuführbar ist, die sich in einem Raum, in welchem der Sendeteil angeordnet ist, befindet, und daß das TemperaturregeIsignal zur indirekten Regelung der Temperatur der Grundplatte der Vorrichtung für akustische Oberflächenwellen auf eine vorbestimmte Größe dient.
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