DE2909956A1 - Halbleiter-glas-verbundwerkstoff - Google Patents
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Description
290-8956
Licentia Patent-Verwaltungs-GmbH
6000 Frankfurt (Main) 70
6000 Frankfurt (Main) 70
7900 Ulm,15-03.1979
SE2-UL/Bs/rß ".Ol 78/130
"Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoff"
Die Erfindung betrifft einen Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoff
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1«
Der vorliegenden Patentanmeldung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoff anzugeben, bei
dem im Grenzbereich zwischen der Glas- und der Halbleiterkomponente
die Rekombination von Minoritätsladungsträgern ■
vermindert ist.
Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 angegebene
Erfindung gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus den
Unteransprüchen hervor.
030038/0415
ORIGINAL INSPECTED
- 4 - UL 78/130
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnung näher erläutert. Dabei zeigt
Figur 1: in einer schematischen Seitenansicht ale Bestandteile
eines Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoffs eine
Halbleiterschicht und ein Glassubstrat;
Figur 2: ein Energiebandschema der Halbleiterschicht;
Fi-gur 3: in Form eines Diagramms die Dotierstoffverteilung
in der Halbleiterschidit in Abhängigkeit vom Abstand
zwischen der Halbleiterschicht und dem Glassubstrat.
Figur 1 zeigt mit dem Glassubstrat 21 und einer Halbleiterschicht 25 die Komponenten eines Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoffs.
Halbleiterschicht 25 und Glassubstrat 21 werden
mit ihren Grenzflächen 23 bzw. 22 aufeinander gelegt
^5 und, wie beispielsweise in der älteren Anmeldung P 2842492.2 beschrieben,
durch Druck- und Wärmeanwendung dauerhaft miteinander verbunden. Ein derartiger Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoff
wird beispielsweise als Fotokathode in einer Bildwandler- oder Bildverstärkerröhre verwendet. Um eine Verbesserung
der opto-elektronischen Eigenschaften solcher Kathoden zu erreichen, muß eine Verminderung der Rekombination
von Minoritätsladungsträgern an der Grenzschicht . zwischen Halbleiterschicht und Glassubstrat angestrebt werden.
Dies erreicht man erfindungsgemäß dadurch, daß die Halbleiterschicht
25 Schichtbereiche 24, 26 aufweist, die sich durch abweichende Dotierungsmittelanteile auszeichnen. In
• dem der Grenzfläche zwischen Halbleiterschicht und Glassubstrat
abgewandten Schichtbereich 26 der Halbleiterschicht
— 5 —
030038/CU 15
290S35S
- 5 - . UL 78/130
25 ist die Konzentration des Dotiermittels konstant und
hat den Vert N = N. Ausgehend von diesem Wert steigt der
Anteil des Dotierungsmittels in Richtung der Flächennormalen
der Halbleiterschicht 25 mit abnehmendem Abstand
vbn der Halbleiter-Glas-Grenzfläche 22, 23 in einer Teilen schicht 2Ά- der Halbleiterschicht 25 kontinuierlich bis
auf einen Wert N=N an der dem Glassubstrat 21 benachbarten Oberfläche 23 der Halbleiterschicht 25 an. Dieser
Verlauf des Dotierungsmittelsanteils N in Abhängigkeit vom Abstand ζ von der Grenzfläche zwischen Halbleiterschicht
25 und Glassubstrat 21 ist in Figur 3 dargestellt.
Besonders gute Eigenschaften des Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoffs
werden erreicht, wenn die Dotierungsmittelkonzentration an der dem Glassubstrat benachbarten äußeren
Oberfläche 23 der H?lbleiterschicht 25 N mehr als etwa das
30-fache der Dotierungsinittelkonzentration N im Bereich
26 der Halbleiterschicht 25 beträgt.
Mit der in Figur 3 dargestellten Verteilung des Dctierungsmittels wird erreicht, daß die Minoritätsladungsträger
(Elektronen) von der Schicht 24 der Halbleiterschicht 25 reflektiert werden. Dies wird durch das in Figur 2 dargestellte
Energiebandschema der Halbleiterschicht verdeutlicht. In dieser Figur ist mit 30 das Ferminiveau bezeichnet.
Die Bezugsziffern 31 und 32 kennzeichnen die Kante
des Valenzbandes bzw. die Kante des Leitungsbandes. Eine derartige Anordnung der Energieniveaus führt demnach in
einem p-dotierten Halbleiter dazu, daß die Minoritatsladungsträger (Elektronen) an der Schicht 24 reflektiert werden,
mit der Folge, daß im Grenzbereich zwischen der Halbleiterschicht 25 und dem Glassubstrat 21 eine Verminderung
der Rekombination von Minoritätsladungsträgern erreicht wird.
030038/0415 ORIGINAL INSPECTED
- 6 - UL 78/130
Auf besonders günstige Weise lassen sich die Anteile des Dotierungsmittels in die Schicht 24 durch Ionenimplantation
einbringen.
Jedoch kann der Verlauf des Dotierungsmittelanteils in der Halbleiterschicht 25 auch durch Diffusionsprozesse beeinflußt
werden. Zweckmäßig wird dabei die Diffusion so ausgeführt, daß zumindest während des Diffusionsvorgangs die
die Schicht 24 begrenzende Außenfläche der Halbleiterschicht 25 mit einer mit Dotierstoff angereicherten SiIiziumdioxidschicht
bedeckt wird. Diese Siliziumdioxidschicht
wird nach Abschluß des Diffusionsvorgangs auf an sich bekannte
Weise entfernt.
030038/0415
Claims (1)
- Licentia Patent-Verwaltungs-GmbH
6000 Prankfurt (Main) 707900 Ulm, 13.03.1979 SE2-UL/Bs/rß UL 78/130Patentansprüchefi.yHalbleiter-Glas-Verbundwerkstoff, bei dem mindestens eine Halbleiterschicht dauerhaft mit einem plattenförmigen Glassubstrat verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterschicht (25) in einem dem Glassubstrat (21) abgewandten Schichtbereich (26) eine homogene Dotierung K = U aufweist, daß die Dotierung in Richtung der Flächennormalen der Halbleiterschicht (25) ausgehend von dem Wert M = E mit abnehmendem Abstand von der Halbleiter-Glas-Grenzfläche (225 23) in einer Teilschicht (24) der Halbleiterachicht (25) kontinuierlich bis auf einen Wert E « N_ an der dem Glassubstrat (21) benachbarten Oberfläche (23) der Halbleiterschicht (25) zunimmt, und daß gilt Hg > 30 If0.030038/04152909856- 2 - UL 78/1302o Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoff nach. Anspruch. 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Schicht (24) zwischen etwa 10 Nanometer und 100 Nanometer liegt.3. Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoff nach einem der Ansprüche'1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (24) durch Ionenimplantation erzeugt ist.4. Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoff nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (24) clurch Diffusion erzeugt ist.5· Halbleiter-Glas-Verbundwerkstoff nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß während des Diffusionsvorgangs· die an die Schicht (24) der Halbleiterschicht (25) angrenzende äußertj Oberfläche (23) der Halbleiterschicht (25) aus einer mit Dotierstoff angereicherten Siliziumdioxid-Auflage bedeckt ist.0300 38/0416
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
8120 | Willingness to grant licences paragraph 23 | ||
8131 | Rejection |