DE2902241C3 - Verfahren zum Aufstäuben einer metallischen Dünn-Schicht auf einem Substrat aus Kunststoff - Google Patents

Verfahren zum Aufstäuben einer metallischen Dünn-Schicht auf einem Substrat aus Kunststoff

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DE2902241C3
DE2902241C3 DE19792902241 DE2902241A DE2902241C3 DE 2902241 C3 DE2902241 C3 DE 2902241C3 DE 19792902241 DE19792902241 DE 19792902241 DE 2902241 A DE2902241 A DE 2902241A DE 2902241 C3 DE2902241 C3 DE 2902241C3
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Norbert Dipl.-Phys. Dr. 8757 Karlstein Rücker
Gudrun 6450 Hanau Ullrich
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/20—Metallic material, boron or silicon on organic substrates
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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufstäuben einer metallischen Dünnschicht auf einem Substrat aus Kunststoff mit gegenüber der Dünnschicht stark abweichendem thermischen Ausdehnungskoeffizienten, insbesondere einer Kunststoffolie.
Werden solche Dünnschichten durch Aufstäuben, wie Hochfrequenzzerstäuben, auf Kunststoffolien aufgebracht, so führt dies wegen der Erwärmung des Substrats zum Aufrollen (Bimetall-Effekt).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde bei einem Verfahren der eingangs genannten Art ein Aufrollen des Substrats zu vermeiden. Diese Aufgab-, wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 beschriebenen Maßnahmen gelöst.
Dadurch lassen sich vorteilhafte mit metallischen Dünnschichten versehene Kunststoffolien schaffen, die sich durch eine hohe Haftfestigkeit auszeichnen und unter anderem für Meßfühler, insbesondere für Dehnungsmeßstreifen, geeignet sind.
Im folgenden ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert Dari-i ist
ίο die dünne metallische Schicht (auch Legierungsschicht) mit 1 bezeichnet, die Kunststoffolie als Substrat mit 2, die Klebeschicht mit 3 und die Unterlage mit 4. Bewährt hat sich eine photolithographische Mäandrierung der Metallschicht
Für die metallischen Dünnschichten haben sich besonders Edelmetall-Legierungsschichten (auch Legierung mit Unedelmetallen) im Bereich von 0,1 bis wenige μπι Dicke bewährt Die Hochfrequenzzerstäubung erfolgt in einem Argon-Sauerstoff-Gemisch mit einem Sauerstoff-Partialdruck bis etwa 20 Pa. Das Ausgangsvakuum in der Abscheidungskammer soll wenigstens 1O-2Pa betragen, die Abscheidungsgeschwindigkeit einige 1000 Ä/min.
Für die Kunststoffolie wird als Material eine bis mindestens 1500C temperaturbeständige Folie, wie eine Polyimid-Folie, gewählt, deren Dicke zwischen 5 μπι und 500 μπι beträgt Dpr Kleber, mit dessen Hilfe die Kunststoffolie auf einer Unterlage blasenfrei appliziert wird, ist ein synthetischer Polyester-Kleber vom Typ
»Lens-Bond« (MiI-A 0 03 920 B) wie er für optische Zwecke verwendet wird. Nach Abschluß der Verfahrensschritte kann die Folie wieder ohne Beschädigung abgelöst werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

  1. Patentansprüche:
    1, Verfahren zum Aufstäuben einer metallischen Dünnschicht auf einem Substrat aus Kunststoff mit gegenüber der Dünnschicht stark abweichendem Ausdehnungskoeffizienten, insbesondere einer Kunststoffolie, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat vor dem Beschichten auf einer Unterlage aufgeklebt wird, deren Ausdehnungskoeffizient demjenigen der Dünnschicht angenähert ist, und daß das Substrat nach dem Beschichten bzw. nach einem evtl Weiterverarbeiten von der Unterlage wieder abgelöst wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat mit einem synthetischen Polyester-Kleber blasenfrei aufgebracht wird.
DE19792902241 1979-01-20 1979-01-20 Verfahren zum Aufstäuben einer metallischen Dünn-Schicht auf einem Substrat aus Kunststoff Expired DE2902241C3 (de)

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DE3043890C2 (de) * 1980-11-21 1983-02-17 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Dehnungsmeßstreifen

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