DE2817239A1

DE2817239A1 - Spiegel mit variabler brennweite

Info

Publication number: DE2817239A1
Application number: DE19782817239
Authority: DE
Inventors: Georges Bret; Guy Michelet
Original assignee: Quantel SA
Current assignee: Quantel SA
Priority date: 1977-04-27
Filing date: 1978-04-20
Publication date: 1978-11-02
Also published as: GB1603704A; JPS53135346A; JPH0381132B2; FR2389145A1; FR2389145B1

Description

HÖGER - STELLRECHT - CiRIESSBACH - HAECKER

A 42 836 ra Anmelder: Fa. QUANTEL S.A.

m - 168 17, Avenue de I¹Atiantique

12. April 197 8 Z.I. 91400 ORSAY

Frankreich

Beschreibung Spiegel mit variabler Brennweite

Die Erfindung bezieht sich auf Spiegel mit veränderlicher Brennweite.

In einer französischen Patentanmeldung des Herrn Guy MICHELET mit dem Titel "Verbessertes optisches Element, insbesondere Spiegel mit variabler B lennweite" sind Spiegel beschrieben, die von einer Doppelschicht oder Doppelplatte aus piezoelektrischem Material gebildet sind, wobei eine Außenfläche der Doppelschicht reflektierend gemacht ist und Anschlußklemmen für eine elektrische Spannung jeweils an den beiden Lagen der Doppelschicht befestigt sind.

In dieser Anmeldung werden im wesentlichen Spiegel behandelt, die im Ausgangszustand plan sind.

Es ist Aufgabe der Erfindung, Spiegel mit veränderlicher Brennweite zu schaffen, deren Verformungen noch deutlicher mit Bezug auf diejenigen der Planspiegel hervortreten, derart, daß sich auch Spiegel herstellen lassen, die gegebenenfalls auch eine Symmetrieachse beliebiger Ordnung haben können.

Die Aufgabe wird bei einem Spiegel mit variabler Brennweite, bei dem wenigstens eine Lage einer aus zwei Lagen bestehenden, mit Anschlußelektroden versehenen Doppelschicht aus piezoelektrischem Material besteht und eine freiliegende Fläche

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der Doppelschicht die reflektierende Seite des Spiegels bil-

dadurch .gelöst, daß , ,. ., . , „,.. , , ^ . det_M wenigstens exne der freiliegenden Flachen des Spiegels mindestens eine Zone umfaßt, deren Krümmung im elektrisch neutralen Zustand des Spiegels von Null verschieden ist.

Unter dem Ausdruck "Zons, deren Krümmung von Null verschieden ist¹,¹ versteht man jeden, auch einen sehr kleinen Teil eines Spiegels, der eine bestimmte konkave oder konvexe Form besitzt, wobei sich diese gekrümmte Zone auf der reflektie ienden Fläche des Spiegels oder auch auf der der reflektierenden Fläche gegenüberliegenden Seite des Spiegels befinden kann.

Die nachstehende Beschreibung bevorzugter Ausfuhrungsformen der Erfindung dient im Zusammenhang mit beiliegender Zeichnung der weiteren Erläuterung. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht eines Konkavspiegels mit variabler Brennweite im anfänglichen Ruhezustand;

Fig. 2 eine graphische Darstellung der Veränderung der Brennweite bei Konkavspiegeln entsprechend Fig. in Abhängigkeit vom Krümmungsradius R2 der Rückseite des Spiegels, wobei der Krümmungsradius R1 der reflektierenden Spiegelfläche als Parameter dient;

Fig. 3 eine Schnittansicht einer anderen Ausführungsform eines Konkavspiegels im anfänglichen Ruhezustand;

Fig. 4 eine Schnittansicht des Spiegels aus Fig. 3 nach Anlegen einer elektrischen Spannung einer ersten

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Polarität an die einen Teil des Spiegels bildende, piezoelektrische Doppelschicht;

Fig. 5 eine Schnittansicht des Spiegels aus Fig. 3 nach Anlegen einer elektrischen Spannung der entgegengesetzten Polarität an die piezoelektrische Doppelschicht;

Fig. 6 eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform eines Spiegels mit variabler Brennweite gemäß der Erfindung;

Fig. 7 und 8 schaubildliche Ansichten eines zylindrischen Spiegels mit variabler Brennweite und

Fig. 9 und 10 zwei Spiegelvarianten mit Anisotropiezonen.

In Fig. 1 ist ein Konkavspiegel dargestellt, der eine aus zwei Scheiben 1, 2 aus piezoelektrischem Material gebildete Doppelschicht oder Doppelplatte umfaßt. Die beiden Lagen oder Scheiben 1, 2 sind durch eine Zwischenschicht 3 sehr geringer Dicke zusammengefügt. Auf der Scheibe 2 ist eine aus Kunststoff gegossene Schicht 4 befestigt, deren freiliegende Oberfläche 5 im Ruhe- oder Ausgangszustand des Spiegels konkav ist, wobei man unter Ruhe- oder Ausgangszustand denjenigen Zustand versteht, bei dem die an Klemmen oder Anschlußelektroden 6, 7 und 8 der Doppelschicht angelegte Spannung Null ist.

Die Fläche 5 ist mit einer Schicht 9 aus reflektierendem Material bedeckt.

Die bei der dargestellten Ausführungsform aus gegossenem

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Kunststoff gefertigte Schicht 4 kann bei anderen Ausführungsformen der Erfindung auch aus einer Glaslamelle ode ι aus irgendeinem anderen Material gefertigt sein, in welches die konkave Oberfläche 5 eingearbeitet ist.

Das Maß für die Regelmäßigkeit der Oberfläche 5 nach dem Ausformen lag bei einem Wert in der Nähe von 3/4JI, wobei Λ die Wellenlänge des von der Lichtquelle des Interferrometers imitierten Lichtes ist, welches für die Ausführung der Messungen benutzt wurde.

Der Spiegel gemäß Fig. 1 besitzt, solange seine Rückseite noch plan oder eben ist, einen anfänglichen Krümmungsradius R1. Der Krümmungsradius R2 der Rückseite ist im Ausgangszustand des Spiegels unendlich.

Die nachstehende Tabelle gibt in Form von Beispielen diejenigen Spannungen an, die an drei Spiegel aus piezoelektrischer Keramik angelegt werden müssen, um bestimmte Krümmungsradien R2 der Rückseiten dieser Spiegel zu erhalten. Die Tabelle kann zusammen mit der graphischen Darstellung der Fig. 2 benutzt werden.

Eine interferrometrische Messung des Zustandes der Spiegel-' Oberfläche unter Spannung gestattete es festzustellen, daß auch der Spiegel gemäß Fig. 1 im Verlauf seiner Verformung eine gute Regelmäßigkeit in der Größenordnung von 3/4/.behält.

Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform handelt es sich um einen Hohlspiegel, dessen Rückseite im Ausgangszustand plan ist.

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TABELLE

809	Soiegeldurchmesser d= 5ο mm Dicke der Doppelschicht e = o,5 mm	Spannung in Volt bei Pa rallel schaltung	R 2 mm	Spiegeldurchmesser d = 5o mm Dicke der Doppelschicht e = 0,5 mm	Spannung in Volt bei Pa rallel schaltung	R 2 mm	Spiegeldurchmesser d = 5o mm Dicke der Doppelschicht , e = 0,5 mm	Spannung in Volt bei Pa rallel schaltung	R 2 mm
co O co ο» m ι ο ι	Spannung in Volt bei Serien schaltung	20,8 21,75 24,5 27,5 32 38 46 59,5 83,5 138,5	10⁴ 9 500 8 500 7 500 ' 6 500 5 500 4 500 3 500 2 500 1 500	Spannung in Volt bei Serienschal tung	36,25 38 42,5 48 56 66 80,5 103,5 142,5 241,5	10⁴ 9 500 8 500 7 500 6 500 5 500 4 500 3 500 2 500 1 500	Spannung ii Volt bei Serien schaltung	128 135 150,5 171 197 233 284,5 366 512,5 850	10⁴ • 9 500 8 500 7 500 6 500 5 500 4 500 3 500 2 500 1 500
41,6 43,5 49 55 64 76 92 119 167 277	72,5 76 85 96 112 132 .161 207 285 483	256 270 301 342 394 • 466 569 732 1 025.· 1 700

Ό (Ti CO U CO U) H- CTi

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Es ist erfindungsgemäß jedoch in gleicher Weise möglich, die Rückseite des Spiegels im Anfangszustand konkav oder konvex auszubilden.

Es ist in gleicher Weise auch möglich, der reflektierenden Seite des Spiegels eine anfänglich konvexe Form zu geben, deren Krümmung durch die Anlegung einer elektrischen Spannung an die Anschlußelektroden der aus piezoelektrischer Keramik bestehenden Doppelschicht verändert wird.

In Fig. 1 ist ein Spiegel mit veränderbarer Brennweite dargestellt, der aus einer Doppelschicht 10 besteht. Die Bestandteile oder Lagen 11 und 12 der Doppelschicht 10 sind aus piezoelektrischem Keramikmaterial hergestellt.

Die Anschlußklemmen oder Anschlußelektroden 13, 14 für die anzulegende elektrische Spannung sind an den Elementen 11 und 12 befestigt. Eine v/eitere, gemeinsame Anschlußelektrode 15 ist an der Zwischenfläche zwischen den beiden Elementen 11 und 12 befestigt.

Die Doppelschicht 10 ist ihrerseits an einem Substrat 16 befestigt, das aus einer Glasplatte oder einer Kunststoffschicht gebildet ist.

Eine sphärische Kalotte 17, deren Symmetrieachse 18 nicht mit der Symmetrieachse 19 der Doppelschicht 10 zusammenfällt, ist an der freien Oberfläche des Substrats 16 ausgebildet. Die Oberfläche der Kalotte 17 ist mit einer Schicht aus reflektierendem Material 20 bedeckt.

Das in Fig. 3 dargestellte Element bildet also einen sphäri-

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sehen Konkavspiegel, solange die Doppelschicht 10 nicht unter elektrischer Spannung steht.

Wenn eine Spannung einer ersten Polarität an die Anschlußklemmen 13, 14, 15 des Spiegels angelegt wird, nimmt dieser die in Fig. 4 dargestellte Form an.

Man sieht auf dieser Figur, daß die reflektierende Fläche 20, welche ursprünglich die Form einer Kugelkalotte hatte, sich in eine Fläche in Form eines Paraboloids 20a transformiert hat, die keine Symmetrieachse irgendeiner Ordnung mehr zuläßt.

Diese Transformation geht auf die Dickenveränderungen des Substrats 16 zurück, die wiederum auf der Tatsache beruhen, daß der Winkel, den die Symmetrieachse 19 der Doppelschicht 10 mit der Symmetrieachse der Kalotte 17 bildet, nicht Null ist, wenn der Spiegel nicht unter Spannung steht.

Wenn an die Klemmen 13, 14, 15 des Spiegels eine Spannung entgegengesetzter Polarität angelegt wird, nimmt der Spiegel die in Fig. 5 gezeigte Gestalt an.

Wegen der Krümmung der aus den Lagen 11, 12 bestehenden Doppelschicht 10 in umgekehrter Richtung nimmt die reflektierende Fläche des Spiegels eine offenere Form 20b als in demjenigen Zustand ein, in dem der Spiegel nicht unter Spannung steht.

Ebenso wenig wie in Fig. 4 ermöglicht auch die reflektierende Oberfläche der Fig. 5 eine Syramctrieachse irgendwelcher Ordnung.

Spiegel, wie in den Figuren 3 bis 5 dargestellt, sind insbe-

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sondere dann interessant, wenn man starke JComa-Aberrationen korrigieren will.

Der in Fig. 6 dargestellte Spiegel ist ein im Ruhezustand konkaver Spiegel.

Er umfaßt eine Doppelschicht, die von zwei Scheiben 22 und 23 aus piezoelektrischem Material gebildet ist . Mit den Scheiben 22 und 23 und ihrer Verbindungsfläche sind elektrische Anschluß elektroden 24, 25 und 26 verbunden.

Die auf diese Weise gebildete Doppelschicht ist auf einem Substrat 27 befestigt, das mit einer Schicht 28 aus reflektierendem Material bedeckt ist.

Wie aus Fig. 6 hervorgeht, weist der Spiegel bei 29 eine Zone mit einer kleinen Oberflächenunvollkommenheit auf, die eine Unregelmäßigkeit der reflektierenden Fläche bildet.

Um diese Unvollkommenheit zu korrigieren, verringert man lokal die Dicke der Doppelschicht, indem man die Rückseite 31 der Scheibe 22 gegenüber der Zone 29 derart aushöhlt, daß bei der elektrischen Erregung der Doppelschicht die Unvollkommenheit verschwindet.

Eine derartige lokale und manchmal sogar nur punktuelle Querschnittsverringerung 30 des piezoelektrischen Materials erzeugt eine lokalisierte Reduktion des mechanischen Widerstandes des Spiegels. Diese Querschnittsverringerung kann durch oberflächliches Abschaben auf der der reflektierenden Fläche gegenüberliegenden Seite des Spiegels erfolgen. Die Korrekturmaßnahmen durch Abschaben oder Abtragen des an der Rückseite 31 gelegenen

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Materials können vorteilhafterweise ausgeführt werden, solang sich der Spiegel unter Spannung befindet und mit einer Lichtquelle beleuchtet wird. Auf diese Weise kann das Verschwinden des auf die unregelmäßige Zone 29 zurückgehenden Reflexionsfehlers im Verlauf der Korrekturmaßnahmen beobachtet werden.

Im Gegensatz zu dem, was soeben mit Bezug auf Fig. 6 ausgeführt wurde, ist es manchmal erforderlich, über einen Spiegel zu verfügen, welcher eine Anisotropiezone besitzt, um hiermit den Verlauf bestimmter Strahlen eines auf den Spiegel auftreffenden Lichtbündels zu modifizieren.

Die Erfindung ermöglicht es, dieses Resultat dadurch zu erhalten, daß man absichtlich das Erscheinen einer unvollkommenen Zone nach Art der Zone 29 in Fig. 6 auf der Spiegeloberfläche hervorruft. Hierzu wird die zunächst fehlerfreie Spiegeloberfläche durch eine lokale Dickenänderung der Doppelschicht, wie in Fig. 6 bei 30 dargestellt, modifiziert.

Hierdurch erhält man bei elektrischer Erregung der Doppelschicht einen singulären Punkt, wie in Fig. 6 bei 29 dargestellt. Jedoch ist in diesem Fall der singuläre Punkt unsichtbar, solange sich die Doppelschicht in dem elektrisch neutralen oder nicht erregten Ruhezustand befindet. Der singuläre Punkt erscheint erst nach Anlegen einer Spannung an die Doppelschicht.

Wenn es erwünscht ist, mehrere singuläre Punkte oder Bereiche auf der reflektierenden Fläche des Spiegels zu erhalten, genügt es, mehrere lokale Dickenänderungen der Doppelschicht gegenüber denjenigen Stellen vorzunehmen, an denen die singulären Punkte oder Stellen in der reflektierenden Schicht auftreten sollen.

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Die Anwesenheit dieser singulären Punkte wirkt sich direkt auf die Wellenfläche des vom Spiegel reflektierten Strahlenbündels aus.

Es werde beispielsweise angenommen, daß ein sphärischer Spiegel entsprechend demjenigen der Fig. 1 bei einer von Null verschiedenen Inzidenz arbeitet und von einem im Unendlichen gelegenen Objekt ein Bild liefert, welches J(oma-Aberration en niedriger und höherer Ordnungen aufweist.

Um sich von den K.oma-Aberrationen niedriger Ordnung zu befreien, ersetzt man den Spiegel der Fig. 1 durch einen Spiegel der in Fig. 3 dargestellten Art.

Um sich von den ]£oma-Aberrationen höherer Ordnung zu befreien, genügt es, auf der reflektierenden Oberfläche des Spiegels der Fig. 3 singuläre Punkte durch Abschaben der Rückseite an den diesen singulären Punkten entsprechenden Punkten zu schaffen. Diese singulären Punkte drücken der Wellenfläche des vom Spiegel reflektierten Strahlenbündels die gewünschten, korrigierenden Deformationen auf.

Der in Fig. 7 dargestellte Spiegel besteht aus einer Doppelschicht aus piezoelektrischem Material, deren Lagen oder Bestandteile 32, 33 die Form rechteckiger Platten aus piezoelektrischem Material haben.

Die Höhe der Platten ist kleiner als ihre Breite und zwar in einem Verhältnis, das höchstens 2:3 beträgt.

Auf dem Teil 33 der Doppelschicht ist eine Schicht 34 aus reflektierendem Material angebracht.

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Anschlußelektroden 35, 36 und 37 sind jeweils mit den freiliegenden Flächen der Platten 32, 33 bzw. mit ihrer Verbindungsfläche verbunden. Diese Flächen sind in herkömmlicher Weise, wie im übrigen auch die Flächen der Bestandteile der zuvor beschriebenen, piezoelektrischen Doppelschichten, mit einer (nicht dargestellten) Schicht aus elektrisch leitendem Material bedeckt.

Der Spiegel gemäß Fig. 7 ist im Ruhezustand dargestellt. In Fig. 8 befindet sich dieser Spiegel im erregten Zustand.

Aufgrund des Unterschiedes zwischen der Breite und der Höhe des Spiegels nimmt dieser im erregten Zustand eine praktisch zylindrische Gestalt an.

Bei dem in Fig. 8 dargestellten Beispiel erhält der Spiegel eine konkave Form. Der Spiegel kann jedoch durch Umkehren der Polarität der an seine Anschlußelektroden angelegten Spannung auch eine konvexe, jedoch immer noch zylindrische Form erhalten. Dieses Resultat geht auf die bevorzugte Deformation des Spiegels entlang seiner größeren Ausdehnung unter dem Einfluß der in der Doppelschicht erzeugten, piezoelektrischen Kräfte zurück.

In Fig. 6 ist ein Spiegel dargestellt, dessen reflektierende Fläche eine Anisotropiezone 29 aufweist, die durch Abschaben der Rückseite 31 des Spiegels erzeugt ist.

Die Fig. 9 zeigt einen Spiegel mit einer Anisotropiezone, die in anderer Weise erhalten ist.

Dieser Spiegel besteht aus einer Doppelschicht aus piezoelektri-

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schem Material, die aus zwei Scheiben 38, 39 gebildet ist, wobei deren Flächen mit einer Schicht aus elektrisch leitfähigem Material bedeckt sind. In Fig. 9 ist allein die die Scheibe 3 8 bedeckende, elektrisch leitende Schicht 40 sichtbar.

Der Spiegel umfaßt weiterhin Anschlußelektroden 41, 42, 43, die jeweils mit den freiliegenden Flächen der Scheiben 3 8 und 39 sowie mit ihrer Verbindungsfläche verbunden sind. Man sieht in Fig. 9, daß die leitfähige Schicht 40 gleichförmig auf die freie Oberfläche der Scheibe 3 8 mit Ausnahme einer frei gelassenen .Zone 44 aufgebracht ist.

Diese Zone 44 führt zu einer ungleichförmigen Verteilung des elektrischen Feldes in der Schicht 40, wenn an die Anschlußelektroden des Spiegels eine elektrische Spannung angelegt wird. Hierdurch wird auf der reflektierenden Fläche 53 des Spiegels, die an der Scheibe 39 vorgesehen ist, ein Anisotropiebereich hervorgerufen.

Bei der soeben beschriebenen Ausführungsform der Erfindung befindet sich die nicht mit der leitfähigen Schicht überzogene Zone 44 auf der äußeren freien Fläche der Scheibe 38. Es ist jedoch auch möglich, eine solche Zone in der leitfähigen· Schicht zwischen den beiden Scheiben 38, 39 vorzusehen.

Die Fig. 10 zeigt einen Spiegel mit veränderlicher Brennweite, der aus einer von zwei piezoelektrischen Scheiben 45, 46 gebildeten Doppelschicht besteht.

Auf diesem Spiegel ist die Anisotropiezone durch einen ringförmigen Bereich 47 bestimmt, der keine elektrisch leitende

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Schicht trägt, während der Rest der Oberfläche der Scheibe 46 mit einer solchen Schicht versehen ist.

Der Spiegel umfaßt Anschlußelektroden 48, 49 und 50, die den Anschlußelektroden in Fig. 9 entsprechen.

In Fig. 10 ist jedoch die Anschlußelektrode 49 der Scheibe 46 mit den beiden leitfähigen Bereichen 51 und 52 verbunden, die durch den nicht leitenden, ringförmigen Bereich 47 voneinander getrennt sind.

Im nicht erregten Zustand der Spiegel gemäß Fig. 9 und 10 können die reflektierenden Flächen 53 und 54 der Spiegel entweder plan oder gekrümmt sein.

Die Schichten aus elektrisch leitfähigem Material werden gewöhnlich durch Vergoldung oder Versilberung gebildet. Sie können in gleicher Weise auch mit Hilfe elektrisch leitender Kunststoffe hergestellt werden.

Die Anisotropiezonen können erfindungsgemäß weiterhin auch dadurch erhalten v/erden, daß man auf einer der Seiten eines piezoelektrischen Bestandteils einer Doppelschicht eine Schicht aus elektrisch leitfähigem Material abscheidet, wobei diese Schicht eine variierende Leitfähigkeit besitzt.

Bei den Ausführungsformen der Erfindung gemäß Fig. 1 und 3 weisen die Spiegel reflektierende Flächen mit einer Krümmung auf. Es wird auch in Betracht gezogen, Spiegel herzustellen, deren den reflektierenden Flächen gegenüberliegende Flächen nicht plan, sondern konkav oder konvex sind.

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Diese konkaven oder konvexen Flächen können Symmetrieachsen haben, die mit der Symmetrieachse der Doppelschicht aus piezoelektrischem Material zusammenfallen oder nicht.

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Claims

Patentansprüche :

1. Spiegel mit variabler Brennweite, bei dem wenigstens eine Lage einer aus zwei Lagen bestehenden, mit Anschlußelektroden versehenen Doppelschicht aus piezoelektrischem Material besteht und eine freiliegende Fläche der Doppelschicht die reflektierende Seite des Spiegels bildet, dadurch gekennzeichnet , daß wenigstens eine der freiliegenden Flächen des Spiegels mindestens eine Zone (9, 20, 30) umfaßt, deren Krümmung im elektrisch neutralen Zustand des Spiegels von Null verschieden ist.

2. Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gekrümmte Zone (9, 20) die Gesamtheit der reflektierenden Oberfläche des Spiegels bildet und der Spiegel konkav oder konvex ist.

3. Spiegel nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche (9, 20, 28) des Spiegels aus einer Schicht reflektierenden Materials besteht, das auf die freie, die gekrümmte Zone enthaltende Oberfläche eines Substrats (4, 16, 27) aufgebracht ist, und daß die Doppelschicht (1, 2; 11, 12; 22, 23) am Substrat befestigt ist.

4. Spiegel nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des Spiegels aus einer Schicht (34, 53, 54) aus reflektierendem Material besteht, welches auf eine der freien Oberflächen der die gekrümmte

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Zone enthaltenden Doppelschicht (32, 33; 38, 39; 45, 46) aufgebracht ist.

5. Spiegel nach einem der Ansprüche 2 bis A₁ dadurch gekennzeichnet, daß seine reflektierende Fläche (9) eine Symmetrieachse besitzt, die mit der Symmetrieachse der Doppelschicht (1 , 2) zusammenfällt.

6. Spiegel nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß seine reflektierende Fläche (20) eine Symmetrieachse (18) besitzt, welche die Symmetrieachse (19) der Doppelschicht (11, 12) schneidet.

7. Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gekrümmte Zone (30) auf der der reflektierenden Seite (28) gegenüberliegenden Fläche (31) ausgebildet ist.

8. Spiegel nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die gekrümmte Zone die Gesamtheit derjenigen Spiegelfläche bildet, welche der reflektierenden Fläche gegenüberliegt.

9. Spiegel nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die gekrümmte Zone konkav oder konvex ist und eine Symmetrieachse besitzt, die mit derjenigen der Doppelschicht zusammenfällt oder nicht.

10. Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gekrümmte Zone durch eine lokale Querschnittsverringerung einer der die Doppelschicht (22, 23) konstituierenden Lagen (22) gebildet und die Querschnittsverringerung an der der reflektierenden Spiegelseite gegenüberliegenden Fläche des

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Spiegels vorgenommen ist, und zwar gegen-über einer zu korrigierenden oder zu erzeugenden Unregelmäßigkeit (29} der reflektierenden Spiegelseite.

11. Spiegel nach Anspruch 2 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß in wenigstens einer Zone der Spiegelseite, die der reflektie ienden Fläche gegenüberliegt, eine lokale Querschnittsverringerung (30) im Material der betreffenden Lage (22) der Doppelschicht (22, 23) ausgespart ist, und zwar gegenüber einer zu korrigierenden oder zu erzeugenden Unregelmäßigkeit (29) der reflektierenden Spiegelfläche.

12. Spiegel nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die lokale Querschnittsverringerung (30) durch Materialabtragung erzeugt ist, solange die Doppelschicht (22, 23) unter Spannung steht, und daß dabei die reflektierende Spiegelseite das Licht einer Lichtquelle zurückwirft, um auf diese Weise die Entwicklung einer durch die Unregelmäßigkeit (29) erzeugten Reflexionsanomalie beobachten zu können.

13. Spiegel nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Doppelschicht im Ruhezustand aus Platten (32, 33) von rechteckiger Form gebildet ist, deren Verhältnis von Höhe zu Breite höchstens 2:3 beträgt, und daß der Spiegel bei Anlegen einer elektrischen Spannung an die Doppelschicht zylindrisch verformbar ist.

14. Spiegel nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß seine reflektierende Fläche wenigstens eine Anisotropiezone aufweist, die durch wenigstens eine Zone (44, 47) wenigstens einer Oberfläche eines der piezo-

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elektrischen Bestandteile der Doppelschicht (33, 39; 45, 46) dadurch bestimmt ist, daß in dieser Zone (44) die diese Oberfläche bedeckende, elektrisch leitende Schicht (40) entfernt ist.

15. Spiegel nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die nicht leitende Zone (44, 47) auf der der reflektierenden Spiegelfläche gegenüberliegenden Seite der Doppelschicht vorgesehen ist.

16. Spiegel nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Zone (47) von wenigstens einem ringförmigen Bereich gebildet ist, welcher Bereiche (51, 52) trennt, die ihrerseits mit der elektrisch leitenden Schicht bedeckt sind, und daß eine Anschlußelektrode (49) mit beiden Bereichen (51, 52) verbunden ist.

17. Spiegel nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitende Schicht aus wenigstens einer der Flächen der piezoelektrischen Doppelschicht eine variierende, elektrische Leitfähigkeit besitzt.

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