DE2815894A1 - Verfahren zur erzeugung einer bildmustergemaess aufgebrachten pulverschicht - Google Patents
Verfahren zur erzeugung einer bildmustergemaess aufgebrachten pulverschichtInfo
- Publication number
- DE2815894A1 DE2815894A1 DE19782815894 DE2815894A DE2815894A1 DE 2815894 A1 DE2815894 A1 DE 2815894A1 DE 19782815894 DE19782815894 DE 19782815894 DE 2815894 A DE2815894 A DE 2815894A DE 2815894 A1 DE2815894 A1 DE 2815894A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- diazonium
- zinc chloride
- salt
- double salt
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 72
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims description 70
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 73
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 70
- -1 p-dimethylaminobenzene diazonium tetrafluoroborate Chemical compound 0.000 claims description 56
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 claims description 55
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 50
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 150000001989 diazonium salts Chemical class 0.000 claims description 26
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 22
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 16
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 16
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- WQSHMYVIJWOEJK-UHFFFAOYSA-L [Cl-].[Cl-].[Zn+].CN(C1=CC=C(C=C1)[N+]#N)C Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+].CN(C1=CC=C(C=C1)[N+]#N)C WQSHMYVIJWOEJK-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 12
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 11
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 8
- GNRNMEXEXXKWHR-UHFFFAOYSA-L [Cl-].C(C)N(C1=CC=C(C=C1)[N+]#N)CC.[Cl-].[Zn+] Chemical compound [Cl-].C(C)N(C1=CC=C(C=C1)[N+]#N)CC.[Cl-].[Zn+] GNRNMEXEXXKWHR-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BOSZKLFFCPFJMF-UHFFFAOYSA-L [Cl-].[Zn+].[Cl-].COC1=CC=C(C=C1)[N+]#N Chemical compound [Cl-].[Zn+].[Cl-].COC1=CC=C(C=C1)[N+]#N BOSZKLFFCPFJMF-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 6
- 239000000783 alginic acid Substances 0.000 claims description 6
- 235000010443 alginic acid Nutrition 0.000 claims description 6
- 229920000615 alginic acid Polymers 0.000 claims description 6
- 229960001126 alginic acid Drugs 0.000 claims description 6
- 150000004781 alginic acids Chemical class 0.000 claims description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229920000084 Gum arabic Polymers 0.000 claims description 5
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical class CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- KFVWTHMAVATHSZ-UHFFFAOYSA-L [Cl-].[Zn+].[Cl-].COC1=C(C=CC=C1)[N+]#N Chemical compound [Cl-].[Zn+].[Cl-].COC1=C(C=CC=C1)[N+]#N KFVWTHMAVATHSZ-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- 235000010489 acacia gum Nutrition 0.000 claims description 5
- 239000000205 acacia gum Substances 0.000 claims description 5
- MGBUOOFVRYKDCI-UHFFFAOYSA-M 4-(dimethylamino)benzenediazonium;hydrogen sulfate Chemical compound OS([O-])(=O)=O.CN(C)C1=CC=C([N+]#N)C=C1 MGBUOOFVRYKDCI-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- FMRQRWPEQSPSDG-UHFFFAOYSA-M 4-anilinobenzenediazonium;hydrogen sulfate Chemical compound OS([O-])(=O)=O.C1=CC([N+]#N)=CC=C1NC1=CC=CC=C1 FMRQRWPEQSPSDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- CHBPXVWHGOFBFR-UHFFFAOYSA-L [Cl-].[Zn+].[Cl-].C1(=CC=CC=2C(C3=CC=CC=C3C(C12)=O)=O)[N+]#N Chemical compound [Cl-].[Zn+].[Cl-].C1(=CC=CC=2C(C3=CC=CC=C3C(C12)=O)=O)[N+]#N CHBPXVWHGOFBFR-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 4
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 4
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 claims description 4
- 229920002959 polymer blend Polymers 0.000 claims description 4
- IHHINRGXHHDAEC-UHFFFAOYSA-M CCN(CC)C(C=C1)=CC=C1[N+]#N.[O-]S(O)(=O)=O Chemical compound CCN(CC)C(C=C1)=CC=C1[N+]#N.[O-]S(O)(=O)=O IHHINRGXHHDAEC-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- 241000978776 Senegalia senegal Species 0.000 claims description 3
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 claims description 2
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 claims description 2
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 claims description 2
- GKICKGBYRRWMSM-UHFFFAOYSA-L [Cl-].[Zn+].[Cl-].COC1=C(C=CC(=C1)[N+](=O)[O-])[N+]#N Chemical compound [Cl-].[Zn+].[Cl-].COC1=C(C=CC(=C1)[N+](=O)[O-])[N+]#N GKICKGBYRRWMSM-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-M hydrogensulfate Chemical compound OS([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 235000019422 polyvinyl alcohol Nutrition 0.000 claims 1
- QZEFLBCONQGWJJ-UHFFFAOYSA-N propan-2-one;prop-2-enamide Chemical compound CC(C)=O.CC(C)=O.NC(=O)C=C QZEFLBCONQGWJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 132
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 16
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 6
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 6
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 5
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 5
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O diazynium Chemical compound [NH+]#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000011592 zinc chloride Chemical class 0.000 description 4
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 4
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 3
- 244000171897 Acacia nilotica subsp nilotica Species 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006322 acrylamide copolymer Polymers 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N boron trifluoride Chemical compound FB(F)F WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- UPBDXRPQPOWRKR-UHFFFAOYSA-N furan-2,5-dione;methoxyethene Chemical compound COC=C.O=C1OC(=O)C=C1 UPBDXRPQPOWRKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 2
- 229920000191 poly(N-vinyl pyrrolidone) Polymers 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- MOXBCYIWIODTKI-UHFFFAOYSA-N 4-(dimethylamino)benzenediazonium Chemical compound CN(C)C1=CC=C([N+]#N)C=C1 MOXBCYIWIODTKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BIHDOXAXFMXYDF-UHFFFAOYSA-N 4-anilinobenzenediazonium Chemical compound C1=CC([N+]#N)=CC=C1NC1=CC=CC=C1 BIHDOXAXFMXYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910015900 BF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- KWEXHDOBZQSNGR-UHFFFAOYSA-N CC(C)=O.CC(C)=O.NC(=O)C=C.NC(=O)C=C Chemical compound CC(C)=O.CC(C)=O.NC(=O)C=C.NC(=O)C=C KWEXHDOBZQSNGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010035148 Plague Diseases 0.000 description 1
- 229920002048 Pluronic® L 92 Polymers 0.000 description 1
- RVGRUAULSDPKGF-UHFFFAOYSA-N Poloxamer Chemical compound C1CO1.CC1CO1 RVGRUAULSDPKGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FHNINJWBTRXEBC-UHFFFAOYSA-N Sudan III Chemical compound OC1=CC=C2C=CC=CC2=C1N=NC(C=C1)=CC=C1N=NC1=CC=CC=C1 FHNINJWBTRXEBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 241000607479 Yersinia pestis Species 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMKXLNDPKUKCBC-UHFFFAOYSA-L [Cl-].[Zn+].[Cl-].C1(=CC=CC=C1)[N+]#N Chemical compound [Cl-].[Zn+].[Cl-].C1(=CC=CC=C1)[N+]#N JMKXLNDPKUKCBC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000007859 condensation product Substances 0.000 description 1
- IQFVPQOLBLOTPF-HKXUKFGYSA-L congo red Chemical compound [Na+].[Na+].C1=CC=CC2=C(N)C(/N=N/C3=CC=C(C=C3)C3=CC=C(C=C3)/N=N/C3=C(C4=CC=CC=C4C(=C3)S([O-])(=O)=O)N)=CC(S([O-])(=O)=O)=C21 IQFVPQOLBLOTPF-HKXUKFGYSA-L 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N dodecyl benzenesulfonate;sodium Chemical compound [Na].CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000003517 fume Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N indigo powder Natural products N1C2=CC=CC=C2C(=O)C1=C1C(=O)C2=CC=CC=C2N1 COHYTHOBJLSHDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- OMNKZBIFPJNNIO-UHFFFAOYSA-N n-(2-methyl-4-oxopentan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)NC(=O)C=C OMNKZBIFPJNNIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- QMHLJNFGMZBHIP-UHFFFAOYSA-N oxirane;propane-1,2-diol Chemical compound C1CO1.CC(O)CO QMHLJNFGMZBHIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006316 polyvinylpyrrolidine Polymers 0.000 description 1
- YWMFHIBGPVCDSA-UHFFFAOYSA-N propan-2-one;prop-2-enamide Chemical compound CC(C)=O.NC(=O)C=C.NC(=O)C=C YWMFHIBGPVCDSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000007127 saponification reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- CBXWGGFGZDVPNV-UHFFFAOYSA-N so4-so4 Chemical compound OS(O)(=O)=O.OS(O)(=O)=O CBXWGGFGZDVPNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940080264 sodium dodecylbenzenesulfonate Drugs 0.000 description 1
- HIEHAIZHJZLEPQ-UHFFFAOYSA-M sodium;naphthalene-1-sulfonate Chemical compound [Na+].C1=CC=C2C(S(=O)(=O)[O-])=CC=CC2=C1 HIEHAIZHJZLEPQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 229940099373 sudan iii Drugs 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 1
- UGZADUVQMDAIAO-UHFFFAOYSA-L zinc hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Zn+2] UGZADUVQMDAIAO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940007718 zinc hydroxide Drugs 0.000 description 1
- 229910021511 zinc hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- JBKRJKYJNCJEOT-UHFFFAOYSA-M zinc;chloride Chemical compound [Zn+]Cl JBKRJKYJNCJEOT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
- H01J29/18—Luminescent screens
- H01J29/30—Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines
- H01J29/32—Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines with adjacent dots or lines of different luminescent material, e.g. for colour television
- H01J29/327—Black matrix materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/016—Diazonium salts or compounds
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/28—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor for obtaining powder images
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
- H01J29/18—Luminescent screens
- H01J29/22—Luminescent screens characterised by the binder or adhesive for securing the luminescent material to its support, e.g. vessel
- H01J29/225—Luminescent screens characterised by the binder or adhesive for securing the luminescent material to its support, e.g. vessel photosensitive adhesive
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2278—Application of light absorbing material, e.g. between the luminescent areas
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
Description
2915834
HITACHI, LTD.
5-I3 1-chome, Marunouchi, Chiyoda-ku
Tokyo (JAPAN)
Verfahren zur Erzeugung einer bildmustergemäß aufgebrachten Pulverschicht
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung einer bildmustergemäß aufgebrachten Pulverschicht und insbesondere
ein solches Verfahren, das sich zur Herstellung von Leuchtschirmen für Farbfernseh-Bildröhren eignet.
Zur Erzeugung bildmustergemäß aufgebrachter Pulverschichten werden bisher Verfahren allgemein angewandt, bei
denen Dispersionen oder Gemische von Pulvern verwendet werden, in denen die Pulver in einem Dispersionsmedium wie etwa
Wasser dispergiert sind. In diesen Fällen wird zunächst eine
gleichmäßige Dispersion hergestellt, die anschließend in diesem Zustand gelagert und zur Erzeugung bildmustergemäß aufgebrachter
Pulverschiehten in komplizierten Verfahrenssehritten auf die entsprechenden Substrate aufbeschiehtet wird»
1589*
In den Fig. IA bis IF der Zeichnung ist die Erzeugung
von rotes, grünes und blaues Licht emittierenden Leuchtstoffschichten auf der Innenoberfläche der Frontscheibe einer Farbbildröhre
nach einem beispielhaften derartigen herkömmlichen Verfahren dargestellt, das im folgenden näher erläutert wird:
Fig. IA zeigt eine Schicht 2 , die auf der Innenoberfläche
der Frontscheibe 1 durch Auftragen eines gleichmäßigen Gemischs eines Leuchtstoffs der ersten Farbe wie beispielsweise
eines grün-emittierenden Leuchtstoffs und einer lichtempfindlichen
Harzlösung mit einem lichtempfindlichen Harz wie beispielsweise Polyvinylalkohol und Ammoniumdiehromat und anschließendes
Trocknen der resultierenden Beschichtung hergestellt wurde.
Die Schicht 2 wird anschließend durch die öffnungen einer
Schattenmaske hindurch mit ultraviolettem Licht belichtet. Die mit ultraviolettem Licht belichteten Stellen entsprechen dabei
dem Auftreffbereich der Elektronenstrahlen zur Anregung
des Leuchtstoffs, d. h. den Stellen, an denen der Leuchtstoff
gebunden werden soll. Das lichtempfindliche Harz wird hierdurch in den belichteten Bereichen unlöslich, wodurch die gesamte
Schicht in den entsprechenden Bereichen unlöslich wird. Die Schicht 2 wird anschließend mit einem Lösungsmittel, üblicherweise
Waeser, gewaschen. Auf diese Weise verbleibt, wie in
Fig. IB dargestellt ist, lediglich die Schicht 2·, die durch
Belichtung mit UV-Licht unlöslich wurde, auf der Innenoberfläche der Frontscheibe, während die übrigen Schichtbereiche
weggelöst werden.
Danach wird eine Schicht 3 eines Gemische des Leuchtstoffs der zweiten Farbe, beispielsweise eines blau-emittie-
809844/0721
renden Leuchtstoffs und eines lichtempfindlichen Harzes, nach derselben Verfahrensweise wie oben erzeugt, wie in
Fig. IC dargestellt ist. Die Schicht 3 wird anschließend mit UV-Licht belichtet und mit Wasser gewaschen.
Auf diese Weise verbleibt, wie aus Fig. ID hervorgeht,
eine durch Belichtung unlöslich gemachte Schicht 3' auf der Innenoberfläche der Frontscheibe.
In Fig. IE ist ferner dargestellt, daß eine Schicht 1J
eines Gemischs eines Leuchtstoffs der dritten Farbe, d. h. z. B. eines rot-emittierenden Leuchtstoffs, und eines lichtempfindlichen
Harzes nach derselben Verfahrensweise aufgebracht wird. Die Schicht 4 wird danach mit UV-Licht belichtet
und mit Wasser gewaschen.
Auf diese Weise verbleibt, wie aus Fig. IF ersichtlich
ist, eine durch Belichten unlöslich gemachte Schicht 4' auf
der Innenoberfläche der Frontscheibe.
Wie aus der obigen Erläuterung hervorgeht, sind die Schritte der Herstellung der Leuchtstoffschicht einer Farbbildröhre
sehr kompliziert. Hinzu kommt, daß in zahlreichen Fällen eine Wiederholung der nassen Beschichtung, des Waschens
mit Wasser und der Trocknung erforderlich ist. Dabei treten ferner bei jedem Schritt zahlreiche technische Probleme auf,
weshalb diese Verfahrensweise auch aus wirtschaftlicher Sicht sehr nachteilig ist.
Aus der JA-OS 47-7.266 (1972) ist andererseits ein einfaches Verfahren bekannt, bei dem das Pulver selbst auf das
Substrat aufbeschichtet wird. Nach diesem Verfahren wird ein Träger für den Leuchtschirm mit einer lichtempfindlichen Lackschicht
aufgebracht, deren Oberfläche vor der Belichtung klebrig ist, ihre Klebrigkeit jedoch durch die Belichtung verliert,
wobei der Bereich der lichtempfindlichen Lackschicht, wo der
809844/0721
Leuchtschirm erzeugt werden soll, belichtet wird; danach wird ein Pulver aus einem liehtabsorbierenden Material, das an den
niehtbelichteten Bereichen gebunden werden kann, auf die Schicht aufgebracht, worauf der belichtete Bereich zur Entfernung von
überschüssigem, nichtgefoundenem lichtäbsorbierenden Material
gewaschen wird; auf diese "Weise resultieren schließlich Leuchtschirme,
die die entsprechenden verschiedenen Farben emittieren.
Die bei diesem Verfahren verwendete lichtempfindliche Lackschicht verliert allerdings ihre Klebrigkeit in den einmal
belichteten Bereichen. Es ist demgemäß nach dieser Verfahrensweise unmöglich, aufeinanderfolgend drei Leuchtstoffe
auf dieselbe lichtempfindliche Lackschicht aufzubringen. Dieses Verfahren stellt also lediglieh eine Möglichkeit zur Erzeugung
einer Schicht aus einem lichtabsorbierenden Material,
der sogenannten Schwarzmatrix, dar und eignet sieh nicht zur Erzeugung von Leuehtschirmen»
Der bei diesem Verfahren verwendete lichtempfindliche Lack ist bekannt (Kodak Mordant Germitax, Hersteller Eastman
Kodak Go,3. Dieser lichtempfindliche Lack weist Jedoch den
Nachteil einer nur sehr geringen Empfindlichkeit auf, Daher ist zu seiner Belichtung eine entsprechend lange Belichtungszeit
erforderlich, was auch aus wirtschaftlicher Sieht sehr nachteilig ist. Die lichtempfindliche Laeksehicht ist ferner
in Hasser unlöslich und lediglich in organischen Lösungsmitteln löslich. Die Verwendung organischer Lösungsmittel im technischen
Maßstab ist Jedoch außerordentlich nachteilig, da die Dämpfe zahlreicher organischer Lösungsmittel für Menschen
toxisch sind und zugleich Brand- und Explosionsrisiken mit ihrer Verwendung verbunden sind.
-yr-46
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Erzeugung einer bildmustergemäß aufgebrachten Pulverschicht
anzugeben; das Verfahren soll dabei auch zur Herstellung von Leuchtschirmen für Farbbildröhren durch sehr
einfache Verfahrensschritte anwendbar sein; zugleich soll ein Verfahren zur Erzeugung von Leuchtschirmen angegeben werden,
nach dem Leuehtsehirme vom Schwarzstreifentyp mit hoher Randschärfe der schwarzen Streifen erhältlich sind.
Die Erfindung gibt ein Verfahren zur Erzeugung einer bildmustergemäß, d. h. entsprechend einem Bildmuster, auf
einer Substratoberfläche aufgebrachten Pulversehicht an, das durch folgende Schritte gekennzeichnet isti
(1) Aufbringen einer dünnen Schicht einer lichtempfindlichen
Zusammensetzung, die durch Belichten klebrig wird;
(2) bildmustergemäße Belichtung der dünnen Schicht zur Erzeugung von Klebrigkeit in den belichteten Bereichen
(3) Zusammenbringen der dünnen Schicht nach der Belichtung mit Pulverteilchen zu deren Anhaften auf den klebrigen
Bereichen je nach der Aufnahmefähigkeit der dünnen Schicht für das Pulver,
Die Erfindung wird im folgenden unter Bezug auf die ,
Zeichnung näher erläutert; es zeigen:
Fig. 2A tois 2Da 3A bis 3F und Uk bis iffiisehematische
Darstellungen zur Erläuterung der erfindungsgemäßen Verfahrensweise.
Als lichtempfindliche Zusammensetzung, die beim Belichten klebrig wird, können erfindungsgemäß aromatische Diazoniumsalze
allein oder Zusammensetzungen, die ein aromatisches Diazoniumsalz als lichtempfindlichen Bestandteil enthalten, verwendet
werden.
Im folgenden wird die erfindungsgemäße Verfahrensweise anhand der Herstellung eines Leuchtschirms für Farbbildröhren
näher erläutert.
In den Fig. 2A bis 2D sind die erfindungsgemäßen Verfahrensschritte
in Anwendung auf die Herstellung von Leuchtschirmen für Farbbildröhren dargestellt. Wie aus der Querschnittsdarstellung
der Fig. 2A hervorgeht, wird zunächst ein Diazoniumsalz allein oder ein Gemisch eines Diazoniumsalzes
und einer weiteren Substanz auf die Innenoberfläche der Frontscheibe 1 einer Farbbildröhre zur Erzeugung einer dünnen
Schicht 5 aufgebracht. In diesem Fall wird das Material zur Erzeugung der dünnen Schicht in Wasser oder einem organischen
Lösungsmittel wie etwa einem Alkohol gelöst. Die erhaltene Lösung wird danach auf die Frontscheibe aufgebracht und anschließend
zu einer festen, dünnen Schicht getrocknet. Diese dünne Schicht 5 wird danach durch die Öffnungen einer Schattenmaske
hindurch mit UV-Licht belichtet. Hierbei entsprechen die mit UV-Licht belichteten Stellen den Stellen, auf denen der
Leuchtstoff der ersten Farbe, beispielsweise ein grün-emittierender Leuchtstoff, aufgebracht werden soll. Aufgrund der durch
Licht hervorgerufenen Zersetzungsreaktion des Diazoniumsalzes wird die dünne Schicht in den belichteten Bereichen klebrig.
Im Anschluß daran wird die dünne Schicht mit Partikeln des Leuchtstoffs der ersten Farbe zusammengebracht. Entsprechend
der Bindungsfähigkeit der dünnen Schicht gegenüber dem Leuchtstoff werden die Leuchtstoffpartikel an der dünnen Schicht gebunden.
Überfcittssige und nichtgebundene Leuchtstoffteilchen
809844/0721
werden, beispielsweise durch Abblasen mit Luft, von der Oberfläche der dünnen Schicht entfernt.
Wie in Fig. 2B dargestellt ist, entsteht auf diese Weise eine aufgebrachte Leuchtstoffschicht 6 auf der dünnen
Schicht in den belichteten Bereichen.
Danach wird, wie aus Fig. 2C ersichtlich ist, in analoger
Verfahrensweise eine Beschichtungsschicht 7 des zweiten Leuchtstoffs, beispielsweise eines blau-emittierenden
Leuchtstoffs, aufgebracht.
Danach wird, wie aus Fig. 2D ersichtlich ist, in ebenfalls analoger Weise eine Schicht 8 eines Leuchtstoffs einer
dritten Farbe wie beispielsweise eines rot-emittierenden Leuchtstoffs aufgebracht. Auf diese Weise wird eine Frontscheibe
erhalten, bei der drei lichtemittierende Leuchtstoffe in den jeweiligen Auftreffbereichen der zur Anregung der Leuchtstoffe
dienenden Elektronenstrahlen aufgebracht sind.
Die Leuchtstoffbeschichtung von Farbbildröhren kann erfindungsgemäß
entsprechend in bemerkenswert einfacherer Weise als bei herkömmlichen Verfahren durchgeführt werden, wobei
zugleich erheblich geringere Wassermengen erforderlich sind.
Zur Herstellung einer Schwarzmatrix-Farbbildröhre vom Streifentyp kann erfindungsgemäß ein Schwarzmatrixmuster durch
Belichten einer Schattenmaske für eine Farbbildröhre in der Weise erzeugt werden, daß das Licht an den Stellen auffällt,
an denen die lichtabsorbierende Schwarzmatrixschicht erzeugt werden soll.
8098U/0721
Erfindungsgemäß wurde ferner festgestellt, daß die Bindungsfähigkeit
der dünnen Schicht gegenüber den Pulverpartikeln, d. h. ihre Klebrigkeit, gesteigert wird, wenn ein aromatisches
Diazoniumsalz allein oder im Gemisch mit einer weiteren Substanz wie etwa Gummiarabikum auf der Oberfläche eines
Substrats wie etwa einer Glasplatte zur Erzeugung einer dünnen Schicht aufgebracht wird, die anschließend belichtet
wird. Die Erfindung macht auch von dieser Peststellung Gebrauch.
Die Gründe für eine derartige Erhöhung der Klebrigkeit sind im einzelnen noch nicht völlig geklärt, jedoch wird zur Erklärung
folgendes angenommen:
Das Diazoniumsalz wird durch die Belichtung zersetzt, wobei die resultierende Substanz hygroskopisch ist. Diese
Substanz absorbiert Luftfeuchtigkeit und wird hierdurch klebrig, So werden beispielsweise Doppelsalze von Diazoniumsalzen
und Zinkchlorid unter Freisetzung von Zinkchlorid zersetzt, das bemerkenswerte Hygroskopizität zeigt. Durch Zersetzung
eines Diazoniumtetrafluoborats entsteht ferner hygroskopisches
Bortrifluorid. Bei der Zersetzung eines Diazoniumhydrogensulfats
wird ferner Schwefelsäure gebildet. Die entsprechenden Zersetzungsprodukte weisen also bemerkenswerte Hygroskopizität
auf.
Aus der obigen Erklärung geht hervor, daß die umgebende Atmosphäre zum Klebrigwerden der dünnen Schicht'Feuchtigkeit
enthalten muß. Dabei ist eine relative Feuchte von 10 bis 70 % bevorzugt, noch bevorzugter eine relative Feuchte von
30 bis 70 JS. Da die Luft üblicherweise diesen Bedingungen entspricht
oder nahekommt, kann das erfindungsgemäße ¥erfaJhreia auch
üblicherweise an Luft durchgeführt werden.
S03SU/0721
Patt nt^rsv Ire
BLt. FZ U--.' ■ -·■ :=·· BPETZ
BLt. FZ U--.' ■ -·■ :=·· BPETZ
Neue, Seiten £815894
P 28 15 894.3 " %" 20.'7. 1978
Zur bildmustergemäßen Belichtung der ein Diazoniumsalz
enthaltenden Schicht und damit zu einem bemerkenswerten Klebrigwerden der belichteten Bereichegegenüber unbelichteten Bereichen
muß die Schicht nicht bereits von Anfang an klebrig sein. Als Ergebnis zahlreicher experimenteller Untersuchungen
wurde festgestellt, daß die Oberfläche, wenn sich das Diazoniumsalz auf der Oberfläche der das Diazoniumsalz enthaltenden
Schicht in einem kristallinen Zustand befindet, vor der Belichtung nicht klebrig wird, sondern erst nach der Belichtung
Klebrigkeit erhält. Dabei kann durch Untersuchung der Oberfläche der Schicht mit einem Vergrößerungsglas festgestellt werden,
ob auf der Schichtoberfläche Kristalle vorliegen oder
nicht. Insbesondere bei Beobachtung mit polarisiertem Licht
die Λ nwß s g ηΐι fi i t
kann fton Kristallen auf der Schicht leicht festgestellt werden,
da die Oberfläche mosaikartig aussieht, wenn auf ihr Kristalle vorliegen.
Wie im folgenden im einzelnen erläutert ist, kann ein Gemisch eines Diazoniumsalzes und eines Polymeren oder PoIymergemischs
als lichtempfindliche Zusammensetzung verwendet werden. In diesem Fall ist, wenn die Menge des im Gemisch
enthaltenen Diazoniumsalzes klein ist, die Bildung von Diazoniumsalzkristallen verzögert, oder es kommt überhaupt nicht zu einer
Kristallbildung. Gewöhnlich ist die Oberfläche der Schicht bereits vor der Belichtung klebrig, verliert jedoch diese Eigenschaft
durch die Belichtung, wenn keine Diazoniumsalzkristalle auf der Oberfläche der Schicht vorhanden sind.
Als Diazoniumsalze können erfindungsgemäß beliebige aromatische Diazoniumsalze, die bei Belichtung zersetzlich sind,
herangezogen werden. Erfindungsgemäß besonders geeignete Diazoniumsalze sind stabilisierte aromatische Diazoniumsalze
wie etwa aromatische Diazoniumtetrafluorborate, aromatische
809844/0721
g815894
Diazoniumhydrogensulfate, aromatische Diazoniumsulfonate sowie
Doppelsalze einee aromatischen Diazoniumchlorids mit Zinkchlorid.
Diese Verbindungen werden im folgenden im einzelnen erläutert .
Doppelsalze einee aromatischen Diazoniumchlorids mit Zink;
chlorid besitzen die allgemeine Formel
0N2Cl · n ZnCl2 ,
in der ö eine Arylgruppe und η die Zahl 1 oder ■* bedeutet.
Einzelbeispiele für derartige Verbindungen sind etwa:
p-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
E(CH3 )2NC6H2jN2Cl · ZnOlJ ;
p-Diäthylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
C(C2H5)2NC6H11N2Cl · ZnCl2];
p-(N-Xthyl-N-hydroxyäthylaminq)-benzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
QiOC2H1J(C2H5)NC6H21N2Cl · -|znCl2];
Anthrachinon-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
2-Methoxy-4-nitΓobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsala
[C)2NC6H3(OCH3)N2Cl · |znCl2]j
iJ-Nitronaphthalin-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppel
salz (O2NC10H6N2Cl · -|znCl2);
8098U/.0721
p-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
OC6H1JN2Cl . -|znCl2) und etwa
o-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
OC6H11N2Cl · |znCl2).
Die aromatischen Diazoniumtetrafluorborate besitzen die allgemeine Formel
in der 0 wie oben definiert ist.
Einzelbeispiele für derartige Verbindungen sind etwa:
p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat;
p-Diäthylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat;
p-(N-Äthyl-N-hydroxyäthylamino)-benzoldiaziniumtetrafluorborat;
p-Methoxybenzoldiazonium-tetrafluorborat und
o-Methoxybenzoldiazonium-tetrafluorborat.
Die aromatischen Diazonium-hydrogensulfate besitzen
die allgemeine Formel
in der 0 wie oben definiert ist.
Einzelbeispiele für derartige Verbindungen sind etwa:
p-Dimethylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat;
p-Diäthylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat sowie
etwa
809844/0731
p-Phenylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat.
Unter diesen Verbindungen sind folgende bevorzugt:
p-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkehlorid-Doppelsalz,
p-Diäthylaminobenzoldiazoniumehlorid-Zinkehlorid-Doppelsalz,
p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat,
p-Diäthylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat sowie etwa
p-Phenylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat.
Noch bevorzugter sind folgende zwei Verbindungen:
p-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
und
p-Diäthylaminobenzoldiazoniumehlorid-Zinkehlorid-Doppelsalz.
Diese Verbindungen können jeweils allein oder in Gemischen von zwei oder mehreren verwendet werden.
Als Substanz, die erfindungsgemäß im Gemisch mit einem
Diazoniumsalz verwendet wird, sind etwa organische Polymere wie z.B. Gummiarabikum, Polyvinylalkohole, Polyacrylamid,
Poly-N-vinylpyrrolidon, Acrylamid-Qiacetonacrylamid-Copolymere,
Methylvinyläther-Maleinsäureanhydrid-Copolymere, Alginsäure,
Propylenglycolester von Alginsäure, Polyvinylacetat und Novolak-Harze verwendbar.
Hierunter sind die ersten acht organinchen Polymerverbindungen
wasserlöslich und werden erfindungsgemäß bevorzugt
verwendet.
Die genannten Verbindungen können ferner auch im Gemisch
8098U/0721
von zwei oder mehreren eingesetzt werden.
Die Verwendung dieser Substanzen dient zur Verbesserung der Beschichtungseigenschaften bei der Erzeugung der dünnen
Schicht einer ein Diazoniumsalz als lichtempfindlichen Bestandteil enthaltenden lichtempfindlichen Zusammensetzung s zur
Verbesserung der Gleichmäßigkeit der dünnen Schicht sowie zur Kontrolle bzw. Einstellung der Bindungsfähigkeit der dünnen
Schicht gegenüber den Pulverteilchen.
Es ist erfindungsgemäß bevorzugt, die Polymerverbindungen
mit einem Diazoniumsalz in einer Menge von 1 bis 1000 Gew.-%, vorzugsweise 1 bis 500 Gew.-% und noch bevorzugter
2 bis 300 Gew.-^, bezogen auf das Gewicht des Diazoniumsalzes,
einzusetzen. Je höher der Gehalt an Polymerverbindungen liegt j desto mehr sind die Beschichtungseigenschaften verbessert.
Wenn die Menge der im Gemisch enthaltenen Polymerverbindungen zu hoch ist, wird allerdings die Bildung von Diazoniumsalzkristallen
wie oben beschrieben verzögert.
Zur Verbesserung der Beschichtungseigenschaften können ferner verschiedene grenzflächenaktive Mittel zugesetzt werden,
wobei es an sich bekannt ist, Zusammensetzungen zur Verbesserung ihrer Beschichtungseigenschaften ein grenzflächenaktives
Mittel zuzusetzen. Erfindungsgemäß können alle bekannten und herkömmlicherweise eingesetzten grenzflächenaktiven
Mittel verwendet werden. Die Menge der zugesetzten grenzflächenaktiven Mittel liegt vorzugsweise bei etwa 0,01 bis.
etwa 1 Gew.-%, bezogen auf das Gewicht des Diazoniumsalzes.
Zur Erhöhung der an der lichtempfindlichen dünnen Schicht gebundenen Pulvermenge kann erfindungsgemäß folgende
Verfahrensweise angewandt werden:
8098U/0721
Nach der Bindung des Pulvers an der dünnen Schicht nach dem oben erläuterten Verfahren wird die aufgebrachte Pulverschicht
mit dem Dampf eines Alkohols und/oder eines Ketons zusammengebracht, wonach die aufgebrachte Pulverschicht getrocknet
wird; anschließend wird dasselbe Pulver nochmals mit der aufgebrachten Pulverschicht zusammengebracht. Auf diese
Weise kann eine noch größere Menge desselben Pulvers an der dünnen Schicht gebunden werden.
Bei diesem Verfahren können als Alkohol Methanol, Äthanol, Isopropanol und Butanol verwendet werden. Als Keton eignen
sich erfindungsgemäß Aceton, Methyläthylketon sowie etwa
Methylisobutylketon.
Das erfindungsgemäß verwendete Pulver kann beliebige Teilchengröße
besitzen, solange es als übliches Pulver anzusprechen ist. Im allgemeinen besitzt das eingesetzte Pulver eine Teilchengröße
von etwa 0,01 bis etwa 100 ,um und vorzugsweise etwa 4 bis etwa 10 .um.
Die Erfindung umfaßt ferner ein Verfahren, bei dem ein Pulver mechanisch auf einer dünnen Schicht festgebunden wird.
So wird beispielsweise beim Verfahrensschritt der Herstellung einer Farbbildröhre ein Leuchtschirm nach der Erzeugung einer
aufgebrachten Pulverschicht mit einem organischen Polymerfilm überzogen. Der Grund für das Aufbringen eines derartigen
Films liegt darin, einem Aluminiumfilm hierdurch metallischen Glanz zu verleihen, der als lxchtreflektierender Film auf der
Oberfläche des Leuchtschirms durch Vakuumbedampfung aufgebracht
wird. Dabei ist es wünschenswert, daß der Leuchtschirm beim Aufbringen dieser Beschichtung mechanische Festigkeit besitzt
.
Das erste Verfahren, um die aufgebrachte Pulverschicht
8098U/0721
mechanisch fest zu machen, besteht darin, den Dampf einer basischen Substanz wie etwa Ammoniak, Hydrazin oder eines
alifatischen Amins mit der aufgebrachten Pulverschicht in Kontakt zu bringen. Hierdurch unterliegt die durch die Belichtung
gebildete Substanz einer Veränderung, wodurch das Pulver noch fester an der dünnen Schicht gebunden wird. So
wird beispielsweise das in einer lichtempfindlichen Schicht oder einer Leuchtstoffschicht enthaltene und durch Belichtung
gebildete Zinkchlorid in Zinkhydroxid umgewandelt, das die Leuchtstoffteilchen fest an das Substrat bindet und auch zu
einer festen Bindung der Leuchtstoffteilchen untereinander führt, wodurch die Leuchtstoffschicht mechanische Festigkeit
erhält.
Ein noch günstigeres Verfahren zur Durchführung dieser Verfahrensweise besteht darin, die aufgebrachte Pulverschicht
bei einer Temperatur von etwa 20 0C oder darüber für etwa
bis 20 s mit Luft in Kontakt zu bringen, die durch konzentriertes Ammoniakwasser (Konzentration 29 Gew.-%) hindurchgeleitet
wurde.
Das zweite Verfahren zur Erhöhung der mechanischen Festigkeit einer aufgebrachten Pulverschicht beruht darauf, die aufgebrachte
Pulverschicht in einer Atmosphäre höherer Feuchtigkeit zu halten und die Schicht anschließend zu trocknen. Diese
Verfahrensweise ist wirkungsvoll, wenn ein Gemisch eines Diazoniumsalzes und einer wasserlöslichen Polymerverbindung
als lichtempfindliche Zusammensetzung verwendet wird. Es wird jedoch auch bei Verwendung eines Diazoniumsalzes allein als
lichtempfindliche Zusammensetzung eine Wirkung festgestellt.
Das praktisch günstigste Verfahren zur Realisierung dieser Verfahrensweise besteht darin, feuchtigkeitsgesättigte Luft
mit der aufgebrachten Pulverschicht einige s lang in Kontakt zu bringen und die Schicht anschließend zu trocknen.
809844/0721
In der erfindungsgemäß erhaltenen aufgebrachten Pulverschicht wird das Diazoniumsalz beim Brennschritt zerstört
und übt daher keinerlei schädlichen Einfluß aus.
Die Erfindung gibt ferner ein Verfahren zur Erzeugung einer bildmustergemäß aufgebrachten Pulverschicht an, bei
dem ein Photoresist bzw. eine lichtempfindliche Abdeckschieht,
die nach Belichtung und Entwicklung klebrig zu werden vermag, auf die Innenoberfläche einer Frontscheibe aufgebracht wird,
wobei der Photoresist außerhalb der belichteten Bereiche durch bildmustergemäße Belichtung der aufgebrachten Schicht und anschließende
Entwicklung entfernt wird, wonach Pulver an der Photoresistschicht in feuchtem Zustand gebunden wird. Der
feuchte Zustand wird dabei aufrechterhalten, wenn die aufgebrachte Pulverschicht nicht nach der Entwicklung vollständig
getrocknet wird.
Als Photoresist können alle bekannten Photoresistmaterialien herangezogen werden.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann auf zahlreichen Anwendungsgebieten
neben den oben erwähnten Anwendungsbeispielen in wirkungsvoller Weise Verwendung finden. So kann beispielsweise
Trockenphotographie wie etwa Elektrophotographie erfindungsgemäß durchgeführt werden, bei der kein elektrischer
Ladungsschritt, sondern zumindest ein Belichtungs- und ein Pulver-Entwicklungsschritt angewandt werden.
Als erfindungsgemäß an der lichtempfindlichen dünnen
Schicht zu bindendes Pulver eignen sich zahlreiche pulverförmige
Materialien wie etwa Leuchtstoffpulver, anorganische
und organische Pigmente sowie etwa Farbstoffe.
8098U/0
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen erläutert; falls nichts anderes angegeben, sind
alle Teile und Prozentangaben gewichtsbezogen.
Eine x-zäßrige Lösung der unten angegebenen Zusammenset zur
(1) wird auf die Oberfläche einer Glasplatte durch Schleuderbeschichten aufgebracht. Die resultierende Beschichtung wird
danach durch Infrarotbeheizung zu einer lichtempfindlichen dünnen Schicht von etwa 1 ,um Dicke getrocknet.
Zusammensetzung (1): Teile
p-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
.
grenzflächenaktives Mittel (Kondensationsprodukt von Natriumnaphthalinsulfonat mit Formaldehyd,
Hersteller Kao-Atlas Co.; Demor MS)
0,01
Wasser . 20.
Die lichtempfindliche dünne Schicht wird mit Licht einer Superhochdruck-Quecksilberlampe durch die Öffnungen einer
Schattenmaske für Farbbildröhren 1 min mit einer Intensität von 50 mW/cm belichtet. Anschließend wird ein grünes Licht
emittierender Leuchtstoff auf der Oberfläche der lichtempfindlichen dünnen Schicht durch Aufstäuben in Luft mit
einer relativen Feuchte von ^O % aufgebracht. Auf diese Weise
\tfird das Leuchtstoffpulver auf der Oberfläche der dünnen
Schicht verteilt und an den belichteten Bereichen der dünnen Schicht gebunden; überschüssige Leuchtstoffteilchen werden
8098U/0721
BAD ORIGINAL
281589* 29
danach durch Abblasen mit Luft entfernt.
Danach werden die nicht wie oben belichteten Bereiche der lichtempfindlichen Schicht mit Licht einer Superhochdruck-Quecksilberlampe
durch die öffnungen der Schattenmaske hindurch belichtet, wonach ein blaues Licht emittierender
Leuchtstoff durch Aufstäuben aufgebracht wird.
Im Anschluß daran werden die nicht bereits belichteten Bereiche der lichtempfindlichen dünnen Schicht in ähnlicher
Weise wie oben belichtet, worauf ein rotes Licht emittierender Leuchtstoff aufgebracht wird.
Auf diese Weise wird ein mosaikartiger Leuchtschirm erzielt, der als Leuchtschirm für Farbbildröhren verwendbar
ist. Das Gewicht des Leuchtschirms beträgt 2,0 bis 2,5 mg/cm Der so hergestellte Leuchtschirm wird ferner durch einige Sekunden
langes Zusammenbringen mit einem Gasgemisch von Ammoniak und Wasserdampf wasserunlöslich.
Ein mosaikartiger Leuchtschirm kann auf einer lichtempfindlichen dünnen Schicht von etwa 2 ,um Dicke durch
dieselbe Verfahrensweise wie in Beispiel 1 mit dem Unterschied hergestellt werden, daß die wäßrige Lösung der Zusammensetzung
(1) von Beispiel 1 durch eine wäßrige Lösung der nachstehenden Zusammensetzung (2) ersetzt wird.
809844/0721
Zusammensetzung (2): Teile
p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetra- 3
fluorborat
Polyvinylalkohol (Hersteller Kuraray Co., Ltd., Kurare Poval 222I, mittlerer
Polymerisationsgrad 2Jl00, Hydrolysegrad 88 %) 10
Wasser JOO.
Ein mosaikartiger Leuchtschirm kann auf einer lichtempfindlichen dünnen Schicht von etwa 0,5 ,um Dicke nach
dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 1 mit dem Unterschied hergestellt werden, daß die wäßrige Lösung der Zusammensetzung
(1) von Beispiel 1 durch eine wäßrige Lösung folgender Zusammensetzung (3) ersetzt wird.
4-Nitronaphthalin-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
1
Polyvinylalkohol (Hersteller Kuraray Co., Ltd., Kurare Poval 22*0 2
Wasser 60.
Eine wäßrige Lösung der Zusammensetzung (1O wie oben
wird auf die Oberfläche einer Glasplatte durch Schleuderbeschichtung aufgebracht. Die resultierende Beschichtung
wird danach durch Infrarotbeheizung zu einer lichtempfind-
809SU/0721
lichen dünnen Schicht von 1 bis 2 ,\im Dicke getrocknet
Zusammensetzung (1I)". Teile
p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat
1
Wasser 20.
Die lichtempfindliche dünne Schicht wird mit Licht einer Superhochdruck-Quecksilberlampe durch die öffnungen einer
Schattenmaske für Farbbildröhren 1 min mit einer Intensität von 50 mW/cm belichtet. Danach wird ein grünes Licht emittierender
Leuchtstoff für Farbbildröhren auf der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht verteilt, wobei die Leuchtstoffteilchen
an den Bereichen der lichtempfindlichen Schicht, die eine Bindungsfähigkeit für die Pulverteilchen aufweisen, gebunden
werden, wonach überschüssige und nichtgebundene Leuchtstoffteilchen durch Abblasen mit Luft entfernt werden.
Auf diese Weise wird ein Leuchtschirm erhalten, bei dem lediglich die belichteten Bereiche der lichtempfindlichen
dünnen Schicht mit dem Leuchtstoff beschichtet sind.
Es wird wie in Beispiel 4 verfahren mit dem Unterschied,
daß die wäßrige Lösung der Zusammensetzung (1O von Beispiel
1J durch eine der unten erläuterten wäßrigen Lösungen der
Zusammensetzungen (5) bis (13) ersetzt wird. Als Ergebnis werden Leuchtschirme erhalten, bei denen lediglich die belichteten
Bereiche der lichtempfindlichen dünnen Schicht mit dem Leuchtstoff beschichtet sind, wenn eine der genannten wäßrigen
Lösungen verwendet wird.
809844/0721
BAD ORIGINAL
BAD ORIGINAL
Zusammensetzung (5): Teile
p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat
Gummiarabikum i\
Wasser
Zusammensetzung (6): Teile
p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat
1
Poly-N-vinylpyrrolidon (Hersteller GAF Corp., Polyvinylpyrrolidon K-90) 3
Wasser
Zusammensetzung (7): Teile
p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat
*
Acrylamid-Diacetonac-rylamid-Copolymer (Molverhältnis von Acrylamid zu
Diacetonacrylamid 5 : 3, Staudingerinflex
in Wasser bei 25 0C: PlI= 3,0) 3
Wasser 60.
Zusammensetzung (8): Teile
p-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
*
Wasser 20.
809844/0721
2815394
Zusammensetzung (9): Teile
p-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
1
Polyvinylalkohol (Hersteller Kuraray Co., Ltd., Kurare Poval 22Ό 3
Wasser 60.
p-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
*
Wasser 20.
o-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz 1
Wasser -20.
p-Phenylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat I
Wasser 20.
Zusammensetzung (13): Teile
p-Phenylaminobenzoldiazonium-hydrogen-
sulfat ζ 1
Gummiarabikum 3
Wasser 60.
8098U/O721
3H-
Ein Leuchtschirm, bei dem lediglich die belichteten Bereiche der lichtempfindlichen dünnen Schicht selektiv
mit dem Leuchtstoff beschichtet sind, wird durch Ausführen derselben Verfahrensschritte wie in Beispiel 4 mit dem Unterschied
erhalten, daß die wäßrige Lösung der Zusammensetzung (4) von Beispiel 4 durch eine wäßrige Lösung der
Zusammensetzung (2) von Beispiel 2 ersetzt wird. Zur Befeuchtung der Leuchtstoffschicht und der lichtempfindlichen
dünnen Schicht wird bei 36 0C wasserdampfgesättigte Luft
bei 20 bis 22 0C einige s lang auf den Leuchtschirm geblasen,
worauf die Schichten getrocknet werden. Auf diese Weise kann der Leuchtstoff auf der lichtempfindlichen dünnen
Schicht fest gebunden werden.
Ein Leuchtschirm, bei dem lediglich die belichteten Bereiche der lichtempfindlichen dünnen Schicht selektiv mit
dem Leuchtstoff beschichtet sind, wird durch Ausführung derselben Verfahrenssehritte wie in Beispiel 4 mit dem Unterschied
erhalten, daß die wäßrige Lösung der Zusammensetzung (4) von Beispiel 4 durch die wäßrige Lösung der Zusammensetzung
(2) von Beispiel 2 ersetzt wird. Zur Befeuchtung der Leuchtstoffschicht und der lichtempfindlichen Schicht mit
Isopropanol wird bei 40 0C mit Isopropanol gesättigte Luft
bei 20 bis 22 0C einige s lang auf die lichtempfindliche
Schicht aufgeblasen, wonach die Schichten getrocknet werden. Anschließend wird Pulver desselben, bereits aufgebrachten
Leuchtstoffs mit der Schicht zusammengebracht, wobei die Leuchtstoffteilchen an der Schicht gebunden werden, worauf
überschüssige und nichtgebundene Leuchtstoffteilchen durch
809844/072 1
ZS
Abblasen mit Luft von der Schicht entfernt werden. Durch den zweiten Aufstäubungsschritt steigt das Leuchtschirmgewicht
des an den belichteten Bereichen der lichtempfindlichen dünnen Schicht gebundenen Leuchtstoffs von 2,0 mg/cm auf 3,6 mg/cm
Es wird wie in Beispiel 4 verfahren mit dem Unterschied,
daß die wäßrige Lösung der Zusammensetzung (k) von Beispiel
4 durch die wäßrige Lösung der Zusammensetzung (2) von Beispiel 2 und die Leuchtstoffteilchen durch Kohlenstoffpulver
bzw. Ruß, Eisenoxidpulver, Kobaltblaupulver, ein Pulver von Sudan III (organisches Pigment), Indigopulver bzw. Kongorotpulver
ersetzt werden. Bei Verwendung eines dieser Pulver wird eine aufgebrachte Schicht erzielt, bei der lediglich die
belichteten Bereiche der lichtempfindlichen Schicht mit dem entsprechenden Pulver beschichtet sind.
Auf die Oberfläche einer Frontscheibe werden durch Schleuderbeschichtung wäßrige Lösungen der folgenden Zusammensetzungen
(14) bzw. (15) aufgebracht, worauf die resultierende
Beschichtung durch Infrarotbeheizung zu einer lichtempfindlichen dünnen Schicht von etwa 1 /Um Dicke getrocknet
wird.
Zusammensetzung (14): Teile
p-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
5
B09ÖU/O7Ä1
- yr-
Methylvinyläther-Maleinsäureanhydrid-
Copolymer (Hersteller G.A.F. Corp.,
Gantrez AN-179) 0,50
Propylenglycol-Äthylenoxid-Blockcopolymer (Hersteller Asahi Electro-Chemical
Co., Ltd., nichtionisches
grenzflächenaktives Mittel, Pluronic
L-92) 0,01
grenzflächenaktives Mittel, Pluronic
L-92) 0,01
Wasser 91I,1^.
Zusammensetzung (15): Teile
p-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
5,00
Propylenglycolester von Alginsäure
(Hersteller Kimitsu Kagaku Kogyo
K.K., Kimiloid) 0,50
Wasser ' 92I,^.
Durch Vornahme derselben aufeinanderfolgenden Verfahrensschritte wie in Beispiel 1 ist ein mosaikartiger Leuchtschirm
auf der lichtempfindlichen dünnen Schicht erhältlich.
Das Beispiel wird im folgenden unter Bezug auf die
Fig. 3A bis 3F erläutert,
Fig. 3A bis 3F erläutert,
Wie aus Fig. 3A hervorgeht, wird ein lichtempfindliches Mittel 5 folgender Zusammensetzung
8098U/0721
p-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz
Propylenglycolester von Alginsäure 0,1J
Natrium-dodecylbenzolsulfonat Ο,ΟΟ'Ι
Äthanol 3
entionisiertes Wasser . 92,596
gleichmäßig auf die Innenoberfläche der Frontscheibe 1 ei ner 20-inch- (51,2-cm)Farbbildröhre in einer Filmdicke von
0,5 bis 1,2 ium aufgebracht. Die resultierende Beschichtung
wird danach durch eine (nicht dargestellte) Schattenmaske belichtet. Der Abstand P von der (nicht gezeichneten) Lichtquelle zur Schattenmaske beträgt 230 mm, der Abstand Q zwischen der Schattenmaske und der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht 5* d· h.· der Innenoberfläche der Frontscheibe
1, 12,10 nun, wobei der seitliche Abstand B der Schattenmaske vom Streifentyp 0,77 mm beträgt. Die Belichtungsstellen werden gegenüberden Belichtungsstellen des Leuchtschirms vom üblichen
Streifen- bzw. Schlitztyp verschoben.
Diese Verschiebung kann durch Verschieben der zur Belichtung dienenden Lichtquelle von der Stellung, die zur
Belichtung der Bereiche dient, auf denen die Leuchtstoffstreifen erzeugt werden sollen, in seitlicher Richtung, d. h.
parallel zur Frontscheibe und senkrecht zu den Leuchtstoffstreifen, um
6Q
erfolgen.
(i + Η)
809SU/0721
Die Belichtung wird aufeinanderfolgend dreimal hintereinander entsprechend den drei Farbarten der Leuchtstoffstreifen
vorgenommen. Auf diese Weise wird die lichtempfindliche Schicht streifenweise belichtet, was in Fig. 3B mit
5a veranschaulicht ist. In diesem Fall ist es erforderlich, daß die belichteten Bereiche im Mittelteil des Bildfelds auf
der Frontscheibe 1 schmaler und im Außenbereich breiter sind. Die Belichtung wird daher nach einer Verfahrensweise durchgeführt,
bei der die Größe einer Lichtquelle und die Lichtintensität über Korrekturfilter kontrolliert werden. Im
einzelnen betragen die effektive Größe der Lichtquelle 2,2 nun «5
und die Lichtintensität 0,3 mW/cm im Mittelbereich, während im außenliegenden Bereich die Größe der Lichtquelle 1,2 mm 6
und die Lichtintensität 0,24 mW/cm betragen. Jede Belichtung wird etwa 120 s lang vorgenommen. Aufgrund des Zersetzungsprodukts
der Diazoniumverbindung erhält die lichtempfindliche
Schicht in den belichteten Bereichen 5a adhäsive Eigenschaften. Nach der Belichtung wird die Schattenmaske von der Frontscheibe
1 entfernt und Graphitpulver 9 mit einer Teilchengröße von etwa 0,5 bis etwa 0,9 /um als lichtabsorbierende Substanz
auf die Innenoberfläche der Frontscheibe 1 aufgestäubt. Auf diese Weise wird das Graphitpulver auf der belichteten lichtempfindlichen
Schicht gebunden, wie aus Fig. 3C hervorgeht. Wenn anschließend ein leichter Luftstrom auf die Innenoberfläche
der Frontscheibe 1 geblasen wird, wird das Graphitpulver von den nichtbelichteten Bereichen entfernt und als Ergebnis
ein Schwarzstreifenmuster (9f) wie in Fig. 3D erhalten.
Die (nicht dargestellte) Lichtquelle wird danach in die Stellung verschoben, die der Lage der Elektronenstrahlerzeuger entspricht,
wobei auf der Frontscheibe 1 eine Schattenmaske vorgesehen wird.
Die Belichtung wird sowohl im Mittelteil als auch in den außenliegenden Bereichen etwa 120 s lang bei einer
809844/0721
effektiven Lichtquellengröße von 1,5 mm Durchmesser und einer
2 2
Lichtintensität von 0,3 mW/cm im Mittelteil und 0,21 mW/cm
in .den Außenbereichen vorgenommen. In diesem Fall erhält die lichtempfindliche Schicht 5S wie aus Fig. 3E hervorgeht, an
den nichtbelichteten Bereichen adhäsive Eigenschaften und Bindungsvermögen für Substanzen. Nach der Belichtung wird
die Schattenmaske von der Frontscheibe 1 entfernt. Danach wird grüner Leuchtstoff 6 auf die Innenoberfläche der Frontscheibe
1 aufgeblasen, wonach sich das Aufblasen eines leichten Luftstromes anschließt. Auf diese Weise wird der grüne
Leuchtstoff auf den nichtbelichteten Bereichen entfernt und ein grünes Leuchtstoffmuster wie in Fig. 3F erhalten.
Ein Leuchtschirm vom Schwarzstreifentyp wird durch Wiederholung derselben Verfahrensweise mit blau (B) und rot (R)
erhalten. Der Leuchtschirm vom Schwarzstreifentyp wird im Anschluß daran 10 bis 20 s lang Ammoniakdampf ausgesetzt, um
ihn so wasserunlöslich zu machen. Schließlich wird die Frontscheibe 1 mit einer organischen Beschichtung überzogen und
zum Abschluß der Leuchtschirmherstellung im Vakuum mit Aluminium bedampft.
Nach dieser Verfahrensweise ist ein schwarzes Streifenmuster und ein Leuchtstoffmuster in einem vollständig trockenen
Verfahren zugänglich. Die einzelnen Herstellungsschritte sind demgemäß in bemerkenswerter Weise vereinfacht.
Das Beispiel wird im folgenden unter Bezug auf die Fig. 4a bis HE erläutert.
Auf der Innenoberfläche einer Frontscheibe 1 wird ein lichtempfindliches Mittel folgender Zusammensetzung
Ö098U/0721
Polyvinylalkohol (Polymerisationsgrad 2^00, Verseifungsgrad 88 %) 3
Ammoniumcdehromat 0,15
Äthylenglycol 0,85
entionisiertes Wasser 96
in einer Filmdicke von 0,5 bis 1,2 .um aufgebracht. Danach
wird eine (nicht dargestellte) Schattenmaske auf der resultierenden Beschichtung vorgesehen und die Belichtung vorgenommen,
wobei die Position der Lichtquelle von den Positionen G, B und R der Elektronenstrahlerzeuger um
B-P Q B(1 + -) mm
6Q P
mit P, Q und B wie oben in Beispiel 10 verschoben wurde. In diesem Fall gilt für die effektive Größe der Lichtquelle
und die Lichtintensität dasselbe wie in Beispiel 10.
Wie aus Fig. 4B ersichtlich ist, entsteht die lichtempfindliche
Schicht nach der Belichtung (10a). Nach der Belichtung wird die Schattenmaske entfernt und die Entwicklung
mit warmem, entionisiertem Wasser 120 s lang bei 35 bis 1IO 0C vorgenommen. Nach der Entwicklung verbleibt
lediglich die oben erwähnte lichtempfindliche Schicht 10a, wobei die lichtempfindliche Schicht 10a wie in Fig. kC entsteht.
Wenn die Innenoberfläche der Frontscheibe sich in * nassem Zustand befindet, wird Graphitpulver 9 einer Teilchengröße
von 0,5 bis 0,9 ,um als lichtabsorbierende Substanz aufgestäubt und anschließend getrocknet. Nach dem
Trocknen wird nochmals 60 s mit warmem Wasser von 35 bis 40 0C entwickelt.
809844/0721
2B15894
Wie aus Pig. 4E hervorgeht, wird Graphitpulver lediglich
an den belichteten Bereichen, d. h. der oben erwähnten lichtempfindlichen Schicht 10a?gebunden, wobei ein Muster
aus schwarzen Streifen 9' derselben Größe wie in Beispiel erhalten wird. Auf der Oberfläche der so erhaltenen, schwarzgestreiften
Frontscheibe 1 wird zur Fertigstellung eines Leuchtschirms vom Schwarzstreifentyp durch
Aufstäuben oder unter Verwendung einer Leuchtstoffsuspension ein Leuchtstoff aufgebracht.
Wie oben erläutert, kann nach dem Verfahren zur Herstellung von Leuchtschirmen gemäß den Beispielen 10 und 11
eine schwarzgestreifte Schicht einer lichtabsorbierenden Substanz leicht und durch einfache Verfahrensschritte erhalten
werden. Da also -vor der Herstellung des Leuchtschirms ein schwarzes Streifenmuster erzeugt wird, wird die außerordentlich
vorteilhafte Wirkung einer sehr hohen· Randschärfe des Leuchtschirmmusters erzielt.
Die Erfindung betrifft zusammengefaßt ein Verfahren zur bildmustergemäßen Erzeugung einer aufgebrachten Pulverschicht,
das folgende Schritte aufweist:
Aufbringen einer lichtempfindlichen Zusammensetzung, die als lichtempfindlichen Bestandteil ein aromatisches
Diazoniumsalz enthält und durch Belichtung klebrig wird, auf der Oberfläche eines Substrats in einer dünnen Schicht,
bildmustergemäße Belichtung der dünnen Schicht mit
einer wirksamen Strahlung zur Erzeugung von Klebrigkeit in den belichteten Bereichen
und anschließendes Zusammenbringen der dünnen Schicht nach der Belichtung mit Pulverteilchen, um eine Bindung der
809844/0721
Pulverteilchen entsprechend der Bindungsfähigkeit der dünnen
Schicht diesen gegenüber zu erzielen.
Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren lassen sich beispielsweise
Leuchtschirme für Farbbildröhren in sehr einfacher und wirtschaftlicher Weise herstellen.
809844/0721
Leerseite
Claims (1)
- BEETZ-LAMPHECHT-BEETZ PATENTANWÄLTESteinidorfstr. 10 · D-8000 München 22 DipHng. R. BEETZ senTtltfon (OM) 227201 - 227244 - 295910 Dipt Ing. K. LAMPRECHΓΤ·Ι·χ S 22 048 - Ttl«gr«mm AHpitent München Dr.-Ing. R. BEETZ jr.Rechtsanwall Dipl.-Phys. Dr. jur U. HEIDRICH Dr. Ing. W TIMPE 81-28 HRP Dipl.-Ing. J. SIEGFRIED-J-J-Or Priv.-Doz. Dipl.-Chem. Dr. rer na,t W. SCHMITT FUMIAN12. April 1978 Ansprüche1. Verfahren zur Erzeugung einer bildmustergemäß aufgebrachten Pulverschicht auf einer Substratoberfläche,gekennzeichnet durch(1) Aufbringen einer dünnen Schicht einer lichtempfindlichen Zusammensetzung, die durch Belichten klebrig wird;(2) bildmustergemäße Belichtung der dünnen Schicht zur Erzeugung von Klebrigkeit in den belichteten Bereichenund(3) Zusammenbringen der dünnen Schicht nach der Belichtung «it Pulverteilchen zu dejen Anhaften auf den klebrigen Bereichen je nach der Aufnahmefähigkeit der dünnen Schicht für das Pulver,2, Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,da» die verwendete lichtempfindliche Zusammensetzung ein enthält. 809844/0721BFi ETZ-L.M\«,jnilC. !"ι -BEETZ
München 22 - Gt-.-.sclcrfbtr. 1081-28.118P-SP-Bk281599*20. 7. 1978Neue Ansprüche 3, k3 10, 12 und 213· Verfahren nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,daß das Diazoniurasalz der verwendeten lichtempfindlichen Zusammensetzung mindestens ein unterp-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-Diäthylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-CN-Äthyl-N-hydroxyäthylaminoJ-benzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,Anthrachinon-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,2-Methoxy-4-nitrobenzol-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,Jj-Nitronaphthalin-l-diazoniumchlorid-Zinkchlor id -Doppelsalz,p-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz, o-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz, p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat, p-Diäthylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat,p-CN-Äthyl-N-hydroxyäthylaminoJ-benzoldiazonium-tetrafluorborat,p-Methoxybenzoldiazonium-tetrafluorborat, o-Methoxybenzoldiazonium-tetrafluorborat, p-Dimethylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat, p-Diäthylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfatundp-Phenylaminobenzoldiazoniura-hydrogensulfatausgewähltes aromatisches Diazoniumsalz ist. A.8098U/072128 ι 58944. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,daß das Diazoniumsalz der verwendeten lichtempfindlichen Zusammensetzung mindestens ein unterp-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-Diäthylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat,p-Diäthylaminobenzoldiazonium-tetrafluorboratp-Phenylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat ausgewähltes aromatisches Diazoniumsalz ist.R09844/07215. Verfahren nach Anspruch 1, 2815894 dadurch gekennzeichnet,daß die verwendete lichtempfindliche Zusammensetzung oin aromatisches Diazoniumsalz und ein organisches Polymer oder ein Gemisch organischer Polymeren enthält.6. Verfahren nach Anspruch 5>
dadurch gekennzeichnet,daß die verwendete lichtempfindliche Zusammensetzung im wesentlichen aus einem aromatischen Diazoniumsalz und 1 bis 1000 Gew.- % eines organischen Polymeren oder Polymergemischs, bezogen auf das Gewicht des aromatischen Diazoniumsalzes, besteht.7. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,daß die Menge des organischen Polymeren oder Polymergemischs der verwendeten ιLchtempfindlichen Zusammensetzung 1 bis 500 Gew.-i, bezogen auf das Gewicht des aromatischen Diazoniumsalzes, beträgt.8. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,daß das organische Polymer bzw. Polymergemisch der verwendeten lichtempfindlichen Zusammensetzung mindestens ein unter Gummi arabikum, Polyvinylalkohole^ Polyacrylamiden, Toly-M-vinylpyrrolidonen, Acrylamid-Diacetonacrylanid-Copolyineren, Methylvinyliither-Malein-809844/0721säureanhydrid-Copolymeren, Alginsäure, Propylenglycolestern von Alginsäure, Polyvinylacetat und Novolak-Harzen ausgewähltes Polymer ist.9. Verfahren nach Anspruch 6,dadurch gekennzeichnet,Lbzv;. Polymergemisch_/daß das organische PolymerfcTer verwendeten lichtempfindlichen Zusammensetzung wasserlöslich ist.10. Verfahren nacl Anspruch 5j
dadurch gekennzeichnet,daß das aromatische Diazoniumsalz der verwendeten lichtempfindlichen Zusammensetzung mindestens ein unterp-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-Diäthylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-iN-Äthyl-N-hydroxyäthylaminoJ-benzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,Anthrachinon-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,2-Methoxy-l-nitrobenzol-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,H-Nitronaphthalin-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz, o-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz, p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat, p-Diäthylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat,p-(N-Äthyl-N-hydroxyäthylamino)-benzoldiazonium-tetrafluorborat,p-Methoxybenzoldiazonium-tetrafluorborat,809« LL /0721o-Methoxybenzoldiazonium-tetrafluorborat, p-Dimethylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat, p-Diäthylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfatundp-Phenylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat ausgewähltes aromatisches Diazoniumsalz ist.11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Schritt (2) in eine:? Atmosphäre mit einer relativen Feuchte von 10 bis 70 % durchgeführt wird.12. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Erzeugung einer bildmustergemäß aufgebrachten Pulverschicht mit drei Pulverarten durch:(2') zweite bildmustergemäße Belichtung der unbeschichteten Bereiche in der bildmustergemäß aufgebrachten Pulverschicht zur Erzeugung von Klebrigkeit in den Bereichen der zweiten Belichtung,(3') Zusammenbringen der dünnen Schicht nach der Belichtung mit einem zweiten, vom bereits am Substrat gebundenen verschiedenen Pulver zu dessen Anhaften auf den Bereichen der zweiten Belichtung,und(1O mindestens einmalige Wiederholung dieser Schritte.13· Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bildmustergemäß aufgebrachte Pulverschicht ferner mit dem Dampf eines Alkohols oder eines Ketons zusammengebracht und dasselbe Pulver nochmals mit der aufgebrachten Pulverschicht in Kontakt gebracht wird.809844/072114. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß als Alkohol bzw. Keton mindestens eine unter Methanol, Äthanol, Isopropanol, Butanol bzw. Aceton, Methyläthylketon und Methylisobuty!keton ausgewählte Verbindung verwendet wird,15. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bildmustergemäß aufgebrachte Pulverschicht ferner mit dem Dampf einer basischen Substanz zusammengebracht wird.16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß als basische Substanz mindestens eine unter Ammoniak, Hydrazin und alifatischen Aminen ausgewählte Verbindung verwendet wird.17. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bildmustergemäß aufgebrachte Pulverschicht ferner in einer feuchten Atmosphäre gehalten und danach getrocknet wird,18. Verfahren nach Anspruch 1 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß als in Schritt (1) mit der lichtempfindlichen Zusammensetzung beschichtete Substratoberfläche die Innenoberfläche einer Farbbildröhre verwendet wird, auf der eine Schwarzmatrix vom Streifentyp erzeugt werden soll,daß die Belichtung in Schritt (2) bzw. (2!) durch eine Schattenmaske hindurch in der Weise vorgenommen wird, daß Licht auf die Stellen eingestrahlt wird, an denen eine lichtabsorbierende Schwarzmatrixschicht erzeugt werden soll,8098 k4/0771daß als in Schritt (3) bzw. (3f) an der dünnen Schicht gebundenes Pulver ein lichtabsorbierendes Material verwendet wirdund daß die Pulverschicht bildmustergemäß entsprechend einem Schwarzmatrixmuster vom Streifentyp aufgebracht wird.19. Verfahren zur Erzeugung von Bildschirmen für Farbbildröhren,gekennzeichnet durch(1) Aufbringen einer ein aromatisches Diazoniumsalz als lichtempfindlichen Bestandteil enthaltenen lichtempfindlichen Zusammensetzung, die beim Belichten klebrig wird, auf die Innenoberfläche der Frontscheibe einer Farbbildröhre,(2) Belichtung der mit dem Leuchtstoff der ersten Farbe zu beschichtenden Bereiche der dünnen Schicht durch eine Schattenmaske hindurch zur Erzeugung von Klebrigkeit in den belichteten Bereichen,(3) Zusammenbringen der dünnen Schicht mit dem Leuchtstoff der ersten Farbe zur Bindung des Leuchtstoffs an den belichteten Bereichen und anschließende Entfernung des überschüssigen und nichtgebundenen Leuchtstoffs von der Oberfläche der dünnen Schicht,(1O zweite Belichtung der mit dem Leuchtstoff der zweiten Farbe zu beschichtenden Stellen der dünnen Schicht durch eine Schattenmaske hindurch zur Erzeugung von Klebrigkeit= in den zweiten belichteten Bereichen,(5) Zusammenbringen der dünnen Schicht mit dem Leuchtstoff der zweiten Farbe zur Bindung des Leuchtstoffs an den zweiten belichteten Bereichen und anschließende Entfernung des überschüssigen und nichtgebundenen Leuchtstoffs von der Oberfläche der dünnen Schicht,8038U/0721(6) dritte Belichtung der mit dem Leuchtstoff der dritten Farbe zu beschichtenden Stellen der dünnen Schicht uurch eine Schattenmaske hindurch zur Erzeugung von Klebrigkeit in den dritten belichteten Bereichen(7) Zusammenbringen der dünnen Schicht mit dem Leuchtstoff der dritten Farbe zur Bindung des Leuchtstoffs an den dritten belichteten Bereichen und anschließende Entfernung des überschüssigen und nichtgebundenen Leuchtstoffs von der Oberfläche der dünnen Schicht.20. Verfahren nach Anspruch 19,
dadurch gekennzeichnet,daß die verwendete lichtempfindliche Zusammensetzung im wesentlichen aus einem aromatischen Diazoniumsalz und 1 bis 1000 Gew.-!&, bezogen auf das Gewicht des aromatischen Diazonium-salzes, eines organischen Polymeren oder eines Gemischs organischer Polymerer besteht.21. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet,daß als aromatisches Diazoniumsalz mindestens eine unter folgenden Verbindungen ausgewählte Substanz verwendet wird:p-Dimethylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-Diäthylaminobenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-(N-Äthyl-N-hydroxyäthylamino)-benzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,«098*4/072140 /Anthrachinon-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,2-Methoxy-4-nitrobenzol-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,^-Nitronaphthalin-l-diazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz,p-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz, o-Methoxybenzoldiazoniumchlorid-Zinkchlorid-Doppelsalz, p-Dimethylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat, p-Diäthylaminobenzoldiazonium-tetrafluorborat,p-(N-Äthyl-N-hydroxyäthylamino)-benzoldiazonium-tetrafluorborat,p-Methoxybenzoldiazonium-tetrafluorborat, o-Methoxybenzoldiazonium-tetrafluorborat, p-Dimethylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat, p-Diäthylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfatp-Phenylaminobenzoldiazonium-hydrogensulfat.809Ö44/022. Verfahren zur Erzeugung einer bildmustergemäß aufgebrachten Pulverschicht,gekennzeichnet durchAufbringen eines klebrigen Photoresists auf die Innenoberfläche der Frontscheibe einer Farbbildröhre durch Belichtung und anschließende Entwicklung,bildmustergemäße Belichtung der aufgebrachten Schicht,Entfernung des Photoresists in den nichtbelichteten Bereichen durch Entwicklungund darauffolgende Bindung des Pulvers an der Photoresistschicht im feuchten Zustand.2^. Verfahren nach Anspruch 22,dadurch gekennzeichnet,daß die Belichtung an den Stellen vorgenommen wird, an denen eine Schwarzmatrix der Farbbildröhre vom Streifentyp erzeugt werden soll, wobei eine lichtabsorbierende Substanz alsPulver verwendet wird und die Pulverschicht bildmustergeniäß ent sprechend dem Muster der Schwarzmatrix vom Streifentyp aufgebracht wird.8098UV0771
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4146577A JPS53126861A (en) | 1977-04-13 | 1977-04-13 | Formation method of pattern-type powder substance coating layer |
JP12239077A JPS5456355A (en) | 1977-10-14 | 1977-10-14 | Forming method for fluorescent screen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2815894A1 true DE2815894A1 (de) | 1978-11-02 |
DE2815894C2 DE2815894C2 (de) | 1985-03-28 |
Family
ID=26381085
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2815894A Expired DE2815894C2 (de) | 1977-04-13 | 1978-04-12 | Verfahren zur Herstellung von Leuchtschirmen von Farbbildröhren |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4273842A (de) |
DE (1) | DE2815894C2 (de) |
FI (1) | FI71851C (de) |
FR (1) | FR2401507A1 (de) |
GB (1) | GB1600582A (de) |
NL (1) | NL7803907A (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2934929A1 (de) * | 1978-08-30 | 1980-03-13 | Hitachi Ltd | Verfahren zur bildung einer musterweisen pulverueberzugsschicht |
DE2945564A1 (de) * | 1978-11-13 | 1980-05-22 | Du Pont | Verfahren zur herstellung von mehrfarbenbildern |
DE3036602A1 (de) * | 1979-09-28 | 1981-04-16 | Hitachi, Ltd., Tokyo | Verfahren zur herstellung eines leuchtschirms fuer eine farbbildroehre |
EP0042704A2 (de) * | 1980-06-20 | 1981-12-30 | Hitachi, Ltd. | Verfahren zur Herstellung eines Musters unter Verwendung einer lichtempfindlichen Zusammensetzung |
DE3214571A1 (de) * | 1981-04-20 | 1982-11-04 | Hitachi Ltd | Herstellungsverfahren fuer leuchtschirme von farbbildroehren |
EP0100920B1 (de) * | 1982-08-11 | 1986-07-16 | Hitachi, Ltd. | Lichtempfindliche Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Bildstrukturen damit |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6055943B2 (ja) * | 1978-10-25 | 1985-12-07 | 株式会社日立製作所 | けい光面形成方法 |
JPS5638733A (en) * | 1979-09-07 | 1981-04-14 | Hitachi Ltd | Preparation of fluorescent screen for color picture tube |
JPS56141142A (en) * | 1980-04-04 | 1981-11-04 | Hitachi Ltd | Method of forming phosphor screen for color picture tube |
KR850001415B1 (ko) * | 1980-07-04 | 1985-09-30 | 가부시기가이샤 히다찌 세이사꾸쇼 | 감광성 조성물(感光性組成物) |
JPS5772140A (en) * | 1980-10-22 | 1982-05-06 | Hitachi Ltd | Photosensitive composition and formation of pattern |
US4407916A (en) * | 1981-03-19 | 1983-10-04 | Hitachi, Ltd. | Process for forming fluorescent screen |
JPS57158923A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Hitachi Ltd | Method for forming fluorescent screen of cathode-ray tube |
JPS57158922A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Hitachi Ltd | Method for forming fluorescent screen of color picture tube |
JPS5868742A (ja) * | 1981-10-21 | 1983-04-23 | Hitachi Ltd | 感光性組成物及びそれを用いたパタ−ン形成方法 |
JPS5889751A (ja) * | 1981-11-25 | 1983-05-28 | Hitachi Ltd | 陰極線管けい光面の形成方法 |
JPH06101301B2 (ja) * | 1983-11-07 | 1994-12-12 | 株式会社日立製作所 | 粉体層の形成方法 |
US4556820A (en) * | 1983-12-27 | 1985-12-03 | Rca Corporation | Image display including a light-absorbing matrix of zinc-iron sulfide |
US4556620A (en) * | 1983-12-27 | 1985-12-03 | Rca Corporation | Image display including a light-absorbing matrix of zinc-iron sulfide and method of preparation |
JPS60156785A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-16 | Hitachi Ltd | パタ−ン形成方法 |
DE3429615C1 (de) * | 1984-08-11 | 1985-12-12 | Du Pont de Nemours (Deutschland) GmbH, 4000 Düsseldorf | Verfahren zur Erzeugung von aus Pulvern bestehenden Mustern |
JPS61258242A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-11-15 | Hitachi Ltd | 感光性組成物及びそれを用いたパタ−ン形成方法 |
DE3540804C1 (de) * | 1985-11-16 | 1987-04-16 | Du Pont Deutschland | Verfahren zur Herstellung von zur Vorlage negativen,aus mehreren verschiedenen Pulvern bestehenden Mustern |
US5462834A (en) * | 1986-05-29 | 1995-10-31 | Weller, Jr.; Edward L. | Water based varnish for production of colored images |
US4869996A (en) * | 1987-12-18 | 1989-09-26 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for preparing negative images on a positive-type tonable photosensitive element |
JPH02199455A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-07 | Hitachi Ltd | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
DE3913117A1 (de) * | 1989-04-21 | 1990-10-25 | Du Pont Deutschland | Verfahren zur herstellung von elektrisch leitfaehigen mustern |
US5051249A (en) * | 1990-01-11 | 1991-09-24 | Jack Metcoff | Method of nutritional therapy |
KR930009523B1 (ko) * | 1990-12-21 | 1993-10-06 | 삼성전관 주식회사 | 폴리비닐피로리돈계 감광재의 개질방법 |
GB2304201B (en) * | 1995-08-04 | 1999-04-07 | Sony Corp | Methods of forming a fluorescent screen on the front panel of a cathode ray tube |
US5576074A (en) * | 1995-08-23 | 1996-11-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Laser write process for making a conductive metal circuit |
BR9704642A (pt) * | 1996-01-24 | 1998-06-09 | Samsung Display Devices Co Ltd | Matriz negra em tubos de imagens a cores composição foto-sensível e um processo para a produção da matriz negra |
US6977390B2 (en) * | 2002-08-23 | 2005-12-20 | Agfa Gevaert | Layer configuration comprising an electron-blocking element |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1103864A (en) * | 1964-12-30 | 1968-02-21 | Keuffel & Esser Co | Reprographic process |
DE1770040B1 (de) * | 1967-04-03 | 1972-02-03 | Gaf Corp | Strahlungsempfindliches fotopolymerisierbares Gemisch |
US3753710A (en) * | 1971-06-28 | 1973-08-21 | Staley Mfg Co A E | Preparation of ceramics |
DE2504963A1 (de) * | 1974-02-11 | 1975-11-20 | Seiscom Delta Inc | Verfahren und vorrichtung zum bilden von farbbildern von geophysikalischen, technologischen oder anderen daten |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1472889A1 (de) * | 1964-03-05 | 1969-01-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | Kopierverfahren |
US3481733A (en) * | 1966-04-18 | 1969-12-02 | Sylvania Electric Prod | Method of forming a cathodo-luminescent screen |
US3704124A (en) * | 1970-06-30 | 1972-11-28 | Dale H Conant | Diazo-containing material exhibits an imagewise change in triboelectric charging properties |
US3681066A (en) * | 1970-06-30 | 1972-08-01 | Eastman Kodak Co | Process whereby a diazo-containing material exhibits an imagewise change in triboelectric charging properties |
US3881928A (en) * | 1970-10-02 | 1975-05-06 | Philips Corp | Method of manufacturing a luminescent screen for a colour television tube |
NL7014480A (de) * | 1970-10-02 | 1972-04-05 | ||
SE388969B (sv) * | 1972-11-25 | 1976-10-18 | Hoechst Ag | Forfarande for framstellning av en fluorescerande skerm for ett katodstraleror |
NL7216227A (de) * | 1972-11-30 | 1974-06-04 | ||
US3981729A (en) * | 1973-05-14 | 1976-09-21 | Rca Corporation | Photographic method employing organic light-scattering particles for producing a viewing-screen structure |
JPS5847811B2 (ja) * | 1974-06-17 | 1983-10-25 | 株式会社日立製作所 | ケイコウメンノ セイゾウホウホウ |
US3997344A (en) * | 1974-07-05 | 1976-12-14 | American Can Company | Dry positive photopolymer imaging process involving heating and application of toner |
US4049452A (en) * | 1975-04-23 | 1977-09-20 | Rca Corporation | Reverse-printing method for producing cathode-ray-tube-screen structure |
US4137340A (en) * | 1975-09-16 | 1979-01-30 | Agfa-Gevaert N.V. | Method for fixing electrophoretically formed toner images |
-
1978
- 1978-04-11 FI FI781107A patent/FI71851C/fi not_active IP Right Cessation
- 1978-04-11 US US05/895,372 patent/US4273842A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-04-12 NL NL7803907A patent/NL7803907A/xx not_active Application Discontinuation
- 1978-04-12 GB GB14406/78A patent/GB1600582A/en not_active Expired
- 1978-04-12 DE DE2815894A patent/DE2815894C2/de not_active Expired
- 1978-04-12 FR FR7810821A patent/FR2401507A1/fr active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1103864A (en) * | 1964-12-30 | 1968-02-21 | Keuffel & Esser Co | Reprographic process |
DE1770040B1 (de) * | 1967-04-03 | 1972-02-03 | Gaf Corp | Strahlungsempfindliches fotopolymerisierbares Gemisch |
US3753710A (en) * | 1971-06-28 | 1973-08-21 | Staley Mfg Co A E | Preparation of ceramics |
DE2504963A1 (de) * | 1974-02-11 | 1975-11-20 | Seiscom Delta Inc | Verfahren und vorrichtung zum bilden von farbbildern von geophysikalischen, technologischen oder anderen daten |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2934929A1 (de) * | 1978-08-30 | 1980-03-13 | Hitachi Ltd | Verfahren zur bildung einer musterweisen pulverueberzugsschicht |
DE2945564A1 (de) * | 1978-11-13 | 1980-05-22 | Du Pont | Verfahren zur herstellung von mehrfarbenbildern |
DE3036602A1 (de) * | 1979-09-28 | 1981-04-16 | Hitachi, Ltd., Tokyo | Verfahren zur herstellung eines leuchtschirms fuer eine farbbildroehre |
EP0042704A2 (de) * | 1980-06-20 | 1981-12-30 | Hitachi, Ltd. | Verfahren zur Herstellung eines Musters unter Verwendung einer lichtempfindlichen Zusammensetzung |
EP0042704A3 (en) * | 1980-06-20 | 1982-08-25 | Hitachi, Ltd. | Photosensitive composition and method of forming a pattern employing the composition |
DE3214571A1 (de) * | 1981-04-20 | 1982-11-04 | Hitachi Ltd | Herstellungsverfahren fuer leuchtschirme von farbbildroehren |
EP0100920B1 (de) * | 1982-08-11 | 1986-07-16 | Hitachi, Ltd. | Lichtempfindliche Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Bildstrukturen damit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2401507A1 (fr) | 1979-03-23 |
GB1600582A (en) | 1981-10-21 |
US4273842A (en) | 1981-06-16 |
NL7803907A (nl) | 1978-10-17 |
FI781107A (fi) | 1978-10-14 |
FI71851C (fi) | 1987-02-09 |
FI71851B (fi) | 1986-10-31 |
FR2401507B1 (de) | 1984-03-02 |
DE2815894C2 (de) | 1985-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2815894A1 (de) | Verfahren zur erzeugung einer bildmustergemaess aufgebrachten pulverschicht | |
DE1771076C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Mosaikschirmes für eine Farbfernsehröhre | |
DE4242802A1 (de) | ||
DE69729570T2 (de) | Fotoempfindliche Zusammensetzung und deren Verwendung | |
DE69422571T2 (de) | Pigmentdispersion, Anzeigevorrichtung und Verfahren zur Herstellung dieser Vorrichtung | |
DE3433247A1 (de) | Strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial und verfahren zu seiner herstellung | |
DE2661041C2 (de) | ||
DE2934929C2 (de) | Verfahren zur Erzeugung einer musterartig angeordneten Pulverüberzugsschicht auf einer Oberfläche und dessen Anwendung zur Herstellung eines Leuchtschirms einer Farbbildröhre | |
DE2049064B2 (de) | Photographisches Verfahren zum Herstellen einer Schirmanordnung für eine Kathodenstrahlröhre | |
DE2942999A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines leuchtschirms | |
DE2423280B2 (de) | Verfahren zur herstellung eines lumineszenzschirms durch photographisches drucken | |
CH633893A5 (en) | Photosensitive single-layer film, process for its production and use of the film | |
DE69518731T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Bildwiedergabeschirmes | |
DE1572224B2 (de) | Lichtempfindlicher lack | |
DE3528582A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines leuchtschirms fuer farbbildroehren | |
DE3884130T2 (de) | Verfahren zur Metallisierung eines lumineszenten Schirmes. | |
DE1770629A1 (de) | Fotoelektrisches Polymerisationsverfahren | |
DE2540132B2 (de) | ||
DE2447958C3 (de) | Lichtempfindliche Beschichtungsmasse | |
DE2924714C2 (de) | Verfahren zur Wiederaufbereitung eines Leuchtschirms einer Kathodenstrahlröhre unter Erhaltung einer lichtabsorbierenden Matrix | |
DE2145798C3 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Leuchtschirms einer Farbfernsehröhre | |
DD217079A5 (de) | Zusammensetzung fuer einen fluoreszenzbildschirm fuer eine bildroehre und verfahren zur herstellung derselben | |
DE69810177T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Phosphorschirm für Farbbildröhren | |
DE69606215T2 (de) | Herstellungsverfahren einer Plasmaanzeigetafel | |
DE1770040B1 (de) | Strahlungsempfindliches fotopolymerisierbares Gemisch |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G03F 7/08 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |