DE2523989A1 - Verfahren und vorrichtung zur herstellung von photographischen aufzeichnungsmaterialien durch aufdampfen von silberhalogeniden im vakuum - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur herstellung von photographischen aufzeichnungsmaterialien durch aufdampfen von silberhalogeniden im vakuumInfo
- Publication number
- DE2523989A1 DE2523989A1 DE19752523989 DE2523989A DE2523989A1 DE 2523989 A1 DE2523989 A1 DE 2523989A1 DE 19752523989 DE19752523989 DE 19752523989 DE 2523989 A DE2523989 A DE 2523989A DE 2523989 A1 DE2523989 A1 DE 2523989A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- crucible
- layer
- silver
- silver halide
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 title claims description 65
- 239000004332 silver Substances 0.000 title claims description 65
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 22
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 title description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 title description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 55
- -1 silver halide Chemical class 0.000 claims description 45
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 19
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 12
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 claims description 11
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 claims description 11
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 claims description 11
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 claims description 11
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 claims description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 9
- 239000010445 mica Substances 0.000 claims description 9
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- MOUPNEIJQCETIW-UHFFFAOYSA-N lead chromate Chemical compound [Pb+2].[O-][Cr]([O-])(=O)=O MOUPNEIJQCETIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 5
- ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N chromate(2-) Chemical compound [O-][Cr]([O-])(=O)=O ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 3
- IPAGMSBCYAQWPF-UHFFFAOYSA-N [Ag+2].[O-][Cr]([O-])(=O)=O Chemical compound [Ag+2].[O-][Cr]([O-])(=O)=O IPAGMSBCYAQWPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QFFVPLLCYGOFPU-UHFFFAOYSA-N barium chromate Chemical compound [Ba+2].[O-][Cr]([O-])(=O)=O QFFVPLLCYGOFPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229940083898 barium chromate Drugs 0.000 claims description 2
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 2
- DHMGMTYGCBZFST-UHFFFAOYSA-N dibismuth;dioxido(dioxo)chromium Chemical compound [Bi+3].[Bi+3].[O-][Cr]([O-])(=O)=O.[O-][Cr]([O-])(=O)=O.[O-][Cr]([O-])(=O)=O DHMGMTYGCBZFST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims 1
- ADZWSOLPGZMUMY-UHFFFAOYSA-M silver bromide Chemical compound [Ag]Br ADZWSOLPGZMUMY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 17
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 14
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 14
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 10
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 10
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 7
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 6
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 6
- 206010070834 Sensitisation Diseases 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- 230000008313 sensitization Effects 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UYVZCGGFTICJMW-UHFFFAOYSA-N [Ir].[Au] Chemical class [Ir].[Au] UYVZCGGFTICJMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M potassium bromide Chemical compound [K+].[Br-] IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- ZVNPWFOVUDMGRP-UHFFFAOYSA-N 4-methylaminophenol sulfate Chemical compound OS(O)(=O)=O.CNC1=CC=C(O)C=C1.CNC1=CC=C(O)C=C1 ZVNPWFOVUDMGRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000792 Monel Inorganic materials 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 229940101006 anhydrous sodium sulfite Drugs 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002860 competitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 239000010416 ion conductor Substances 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920001195 polyisoprene Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001235 sensitizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- RHFLPBUBPRJMCO-UHFFFAOYSA-J sodium;dioxido-oxo-sulfanylidene-$l^{6}-sulfane;gold(3+) Chemical compound [Na+].[Au+3].[O-]S([O-])(=O)=S.[O-]S([O-])(=O)=S RHFLPBUBPRJMCO-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 150000003464 sulfur compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/494—Silver salt compositions other than silver halide emulsions; Photothermographic systems ; Thermographic systems using noble metal compounds
- G03C1/496—Binder-free compositions, e.g. evaporated
- G03C1/4965—Binder-free compositions, e.g. evaporated evaporated
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/136—Coating process making radiation sensitive element
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON PHOTOGRAPHISCIIEN AUFZEICHNUNGSMATERIALIEN DURCH
AUFDAMPFEN VON SILBERHALOGENIDEN IM VAKUUM
Priorität vom 14. 6. 1974- Bulgarien Nr. 26984
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren, sov/ie eine Vorrichtung zur Herstellung von photographischen Aufzeichnungsmaterialien
durch Aufdampfen von Silberhalogeniden und Dampfabscheidung auf einen kontinuierlich laufenden Schichtträger
im Vakuum.
Die Möglichkeit, photographische Aufzeichnungsmaterialien
durch Aufdampfen von Silberhalogeniden im Vakuum herzustellen, ist bekannt. Die Vorteile der so erhaltenen photographischen
Materialien gegenüber den konventionellen Emulsionsmaterialien sind beträchtlich: eine einfachere und schnellere
Bearbeitung wegen der Abwesenheit von Bindemittel; eine hohe optische Homogenität, die die Rayleighische Streuung in dem
Aufzeichnungsmedium vermindert und den Erhalt eines Bildes * mit erhöhter Randschärfe erlaubt; eine geringfügige Schichtdicke
des photographischen Aufzeichnungsmaterials - stets kleiner als die Fokustiefe der Objektive mit hoher numerischer
Apertur, die eine Deformation des im Volumen der photographischen Schicht projezierten Bildes ausschließt; eine
hohe Empfindlichkeit gegenüber energiearmen ionisierten Teil-
509881 /0958
chen und kurzwelliger Ultraviolettstrahlung. Diese Vorteile
sind von besonderer Bedeutung bei der Herstellung photographischer Aufzeichnungsmaterialien für spezielle Anwendungsfälle: z.B. Photomasken für die Mikroelektronik oder Systeme
für optische Informationsspeicherung.
Unabhängig von diesen Vorteilen ist bis jetzt noch kein photographisches
Aufzeichnungsmaterial, das durch Aufdampfen von Silberhalogenid im Vakuum erhalten wird, auf dem Weltmarkt
erschienen, obgleich in dieser Richtung umfangreiche Arbeiten durchgeführt v/urden, was aus den zahlreichen Patenten auf
diesem Gebiet offenkundig wird. Das läßt sich dadurch erklären, daß keines der bekannten Verfahren imstande ist, die Herstellung
eines photographischen Materials mit reproduzierbaren Eigenschaften zu sichern. Ursache dafür ist, wie in manchen
neueren Patenten festgestellt wurde, der Einbau von Verunreinigungen
in der Silberhalogenidschicht, die deren Eigenschaften unkontrollierbar beeinflussen. Es sind Patente bekannt,
in denen Bedingungen beschrieben sind, die auf die Beseitigung dieser Nebenerscheinungen abzielen, indem verlangt
wird, daß ein photographisches Aufzeichnungsmaterial mit reproduzierbarer
Empfindlichkeit zu erhalten ist. Gemäß GB-P3 1 150 626 zum Beispiel wird der Träger, auf dem Silberbromid
aufgetragen ist, zuerst bis zu -500C gekühlt, um die Freisetzung
flüchtiger Substanzen von der Trägeroberfläche zu verhindern, da diese Substanzen das aufgetragene Silberbromid
verunreinigen und folglich seine Empfindlichkeit negativ beeinflussen. Gemäß GB-PS 1 166 999 erfolgt die Verdampfung des
Silberbromids aus einem Silbertiegel oder einem Tiegel aus * hochreinem, mechanisch festem Graphit. Die Vakuumkammerwände
sind mit einem Stoff bedeckt, der mit Silberbromid nicht reagiert, wie Silber, Nickel, Monel, Glas oder Kunststoffen,
die frei von flüchtigen Substanzen sind.
Es ist aber auch bekannt, daß die reinen Silberhalogenidkri-
509881/095
stalle völlig lichtunempfindlich sind und bei Belichtung kein entwickelbares latentes Bild erzeugen. Die photographische
Empfindlichkeit der Silberhalogenide ist von der sensibilisierenden Wirkung verschiedener Zusätze (Metallsalze, Schwefelverbindungen
u.a.) bedingt. Die Tatsache, daß die entsprechend GB-PS'en 1 150 626 und 1 166 999 erhaltenen Silberhalogenidschichten
lichtempfindlich sind, ist ein sicherer Beweis, daß während der Schichtherstellung manche Verunreinigungen
unkontrollierbar in die Schicht eingeschlossen v/erden. Offensichtlich sind bis jetzt noch keine effektiven
Mittel gefunden worden, um den unkontrollierbaren Einschluß von Verunreinigungen während der Verdampfung und Abscheidung
von Silberhalogeniden auf einen Träger zu beseitigen.
Offenbar ist die Entwicklung eines Verfahrens zum Aufdampfen von höchstreinen lichtunempfindlichen Silberhalogenidschichten,
die überhaupt keine photographische Empfindlichkeit haben, die einzige Möglichkeit, um Silberhalogenidschichten mit
vollständig kontrollierbaren und reproduzierbaren Eigenschaften zu erhalten. Nur aus solchen Schichten, die zusätzlich
einem gerichteten und kontrollierbaren Sensibilisierungsprozeß unterworfen v/erden, sind photographische Aufzeichnungsmaterialien mit zuverlässigen und reproduzierbaren Eigenschaften
zu erhalten.
Ein allgemeines Merkmal aller bis jetzt bekannten Verfahren ist der direkte Kontakt zwischen dem Heizelement des Tiegels
und der Silberhalogenidschmelze. Im geschmolzenen Zustand ist das Silberhalogenid ein guter Ionenleiter, so daß es
sich unter Einwirkung des Stroms, der im Heizelement durchfließt, elektrolytisch zersetzt. Seinerseits ist die thermische
Zersetzung ein autokatalytischer Vorgang, so daß die
Anhäufung von elektrolytischem Silber zu einer großen Prozeßbeschleunigung,
beziehungsweise zu einer beschleunigten Abscheidung von stark reaktivem, gasartigem Halogen führt,
509881/0958
welches in gewissem Grade für die Verunreinigung der aufgedampften
Silberhalogenidschicht verantwortlich ist.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Vakuumbedampfung und Abscheidung von reinen Silberhalogenidschichten
auf einen kontinuierlich laufenden, mit einer geeigneten Haftschicht belegten Schichtträger zu entwickeln,
indem alle Möglichkeiten für eine unkontrollierbare Sensibilisierung durch die Verunreinigungen in der Vakuumkammer
beseitigt sind, so daß die Herstellung eines photographischen Aufzeichnungsiriaterials mit völlig reproduzierbaren
und kontrollierbaren Eigenschaften gesichert ist.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das photographische Aufzeichnungsmaterial in einer Vakuumkammer durch Verdampfung
von Silberhalogeniden oder deren Kombinationen mit einer Reinheit nicht unter 99,999/j hergestellt. Die Halogenide
werden in einen Tiegel eingebracht, der aus einer inaktiven Substanz wie Quarz, Silber oder hochreinem, mechanisch
festem Graphit gefertigt ist. Der Tiegel wird durch ein Strahlungsheizelement erhitzt, das dem ganzen Tiegelkörper,
wie auch den parallel verlängerten Tiegelwänden eine gleichmäßige Temperatur sichert, was zu einem intensiven, senkrecht
zu dem Träger gerichteten kollidierten Silberhalogenid-Dampfstrahl
führt. Der Träger, zuerst mit einer dünnen Haftschicht belegt, wird unmittelbar vor und während des Bedampfungsprozesses
erhitzt und gleichmäßig über den Tiegel in einem Abstand nicht größer als 10 mm von den heißen Wänden
der Tiegelöffnung vorbeigeführt. Der kollimierte intensive * · Silberhalogenid-Dampfstrahl, der direkt auf den Träger fällt,
sichert eine hohe Aufwachsgeschwindigkeit der Silberhalogenidschicht- nicht unter 200 iÜ/sek. Dies, wie auch die höhere
Schichtträgertemperatur ermöglicht die Beseitigung der konkurrenzfähigen Adsorption der Verunreinigungen während des
Abscheidungsprozesses, wobei eine homogene, hochreine, völlig
509881/0958
lichtunempfindliche Silberhalogenidschicht mit einer Dicke nicht größer als 0,5 Um erhalten wird. So besteht die Möglichkeit,
die Silberhalogenidschicht weiter vollständig kontrollierbar und reproduzierbar zu sensibilisieren, indem
durch Behandlung mit einer Lösung von Gold-Iridiumsalzen ein
negatives photographisches Aufzeichnungsmaterial und durch
Verschleierung mittels zusätzlicher Vakuumabseheidung von
einer monoatomaren Silber- oder Goldschicht ein positives photographisches Aufzeichnungsmaterial hergestellt wird.
Die für die Herstellung des erfindungsgemäßen photographischen Aufzeichnungsmaterials benutzten Schichtträger werden
vor der Abscheidung der Silberhalogenidschicht in der Vakuumkammer durch ein Strahlungsheizelement erhitzt. Die Ciasoder Glimmerträger werden bis zu 2000C, die Polyesterfilmoder
Acetatfilmträger oder die mit Kunststoff belegten Papserträger
aber bis zu einer Temperatur nicht höher als 1000C erhitzt. Nach Abschluß des Aufdampfzyklus wird die Vakuumkammer
mit Stickstoff einer Reinheit von 99,999>ί, der den
Forderungen der Halbleiterindustrie entspricht, aufgefüllt. Demzufolge wird die frische Oberfläche der Silberhalogenidschicht
cn durch Adsorption von hochreinen und photographisch
inaktivem Stickstoff effektiv blockiert und so die Möglichkeit beseitigt, daß sich die Oberfläche durch unkontrollierbare
Adsorption von den in der Luft zufällig vorhandenen Verunreinigungen unreproduzierbar sensibilisiert.
Als besonders geeignet für die Haftschicht gemäß der vorliegenden Erfindung erwiesen sich die handelsüblichen Photore- ,
sistlacke auf der Basis von Polyvinylzinnamat (z.B. "KTFR", Hersteller: Eastman Kodak Co., USA) oder Polyisopren (z.B.
"Kopirex RN 40», Hersteller: Agfa-Gevaert A.G., BRD). Diese
Photolacke verursachen eine bessere Adhäsion mit dem Träger als die der üblich benutzten Haftschichten aus Gelatine oder
Siliciummonoxid und ermöglichen eine Sensibilisierung mit
509881/0958
wässerigen Lösungen bei einer höheren Temperatur, wodurch eine Verbesserung des Auflösungsvermögens des so gewonnenen
photographischen Auf Zeichnungsmaterials erreicht wird.
Erfindungsgemäß wird ein direkt positives photographisches
Aufzeichnungsmaterial mit einer höheren Empfindlichkeit unter Verwendung einer Haftschicht aus Metallehrοmat mit einer
Dicke bis zu 300 S erzeugt, indem die Schicht durch Aufdampfen
von Bleichroraat, Bleioxidchromat, Bariumchromat, Silbermonochromat
und V«"ismutchroinat, vorzugsweise Bleichromat im
Vakuum auf einen erhitzten Träger aufgebracht wird.
Die Empfindlichkeit des direkt positiven photographischen AufzeiclinungsLic.terials kann auch wesentlich erhöht v/erden,
wenn erfindungsgemäß die Silberhalogenidschicht vor deren
Verschleierung mit einer monoatomaren Metallschicht aus Silber oder Gold mit Gelatine mit einer Schichtdicke bis zu 0,1 um
überzogen wird. Die Gelatineschicht verursacht eine bedeutende
Erhöhung der photographischen Empfindlichkeit - das Ausbleichen
des so erhaltenen positiven Materials verlangt bei bildgerechter Belichtung eine etwa 30 bis 40 mal kleinere
Lichtenergie.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird in einer Anlage realisiert, die aus einer Öldiffusionsvakuumpumpe und einer Va-
-5 -6 kuumkammer besteht, in der ein Druck von etwa 10 bis 10
Torr zu erreichen ist. In der Vakuumkammer sind eine Vorrichtung zur Verdampfung des Silberhalogenids, eine Führungsschiene
für den Trägertransport mit einer gesteuerten Geschwindigkeit und ein V/iderstandsheizelement für das Erhitzen
der Träger zusätzlich eingebaut. Die Vakuumkammer ist aus rostfreiem, korrosionsbeständigem Chrom-liicke!stahl gefertigt.
Alle isolierenden Elemente in der Vakuumkammer sind aus Quarz und Teflon und die elektrischen Leitungen - aus
Silber oder Platin.
509881/0958
Höchstreine Silberhalogenidaufdampfschichten, die überhaupt
keine photographische Empfindlichkeit haben, können hergestellt werden, indem die erfindungsgemäße Bedampfungsvorrichtung
(Fig. 1 und 2) verwendet wird, die aus einem Tiegelhalter 1, einem Tiegel mit spezieller Form 2, einem Strahlungsheizelement
3 und einem kühlbaren Silberschutzblech besteht.
Der Tiegelhalter 1 und der Tiegel 2 sind aus Quarz, Silber oder hochreinem, mechanisch festem Graphit als eine untrennbare
Einheit gefertigt. Der Normalbetrieb des Tiegels ist durch seine spezielle Form gesichert, die in Fig. 1 und 2 gezeigt
ist. Der Tiegel stellt einen ziemlich großen zylindrischen Körper 4 mit einer viereckigen Öffnung 5 dar, die von
parallel verlängerten Wänden 6 begrenzt ist. Die Querschnittfläche des Tiegelkörpers, der mit Silberhalogenid aufgefüllt
wird, ist wenigstens 5 mal größer als die Querschnittfläche der Öffnung 5. Rings um den Tiegel, aber außerhalb der Vakuumkammer
7, ist ein Strahlungsheizelement 3 eingebaut, das dem Körper und den Wänden des Tiegels 2 eine gleichmäßige und
kontrollierbare Temperatur verleiht. Diese Tiegelform erzielt eine relativ große Abdampfoberfläche des geschmolzenen SiI-berhalogenids,
welches sich im Körper 4 des Tiegels 2 befindet. Durch die heißen, verlängerten Wände 6 der Öffnung 5
kollimieren die Silbernalogeniddärapfe in einem intensiven
Dampfstrahl, der senkrecht zu dem Träger 8 gerichtet ist, indem der Träger mittels der Führungsschiene 9 in einem Abstand
nicht größer als 10 mm an der Tiegelöffnung 5 vorbeigeführt wird. Dadurch wird eine hohe Geschwindigkeit der Dampfabscheidung
erreicht, so daß auch bei einer Temperatur von viel niedriger als die Zersetzungstemperatur des Silberhalogenids,
die Abscheidungsrate nicht kleiner als 200 A* pro Sekunde ist.
Der ganze Tiegelhalter ist mit einem Silberschutzblech umrahmt, das v/a s serge kühlt und mit einer Öffnung versehen ist, die
ganz genau rings um die erhitzten Wände der Öffnung 5 des Tiegels 2 zentriert ist. Demzufolge kommen die Silberhalogenid-
609881/0958
dämpfe nur mit dem Tiegel und dem erhitzten Träger in Berührung, so daß die Möglichkeit, die aufwachsende Schicht zu
verunreinigen, beseitigt ist.
Die folgenden Beispiele sollen die Erfindung näher veranschaulichen:
Glasträger v/erden zunächst während einiger Stunden in erhitzte Biehromatschwefeisäure getaucht und alsdann mit deionisiertem
V/asser reichlich abgespült. Nach Trocknung werden die Glasträger nach der üblichen Technik für Vakuumbedampfung
mit einer dünnen Siliciummonoxidschicht mit einer Dicke von etwa 0,1 Mikron überzogen. Die so gereinigten und beschichteten
Glasträger sind für die Silberhalogenidauftragung durch Aufdampfen im Vakuum bereit und zeigen eine befriedigende
Adhäsion gegenüber einer SilberhalogenidscMcht, so daß eine Bearbeitung bei Zimmertemperatur möglich ist.
1.1.In der Vakuumbedampfungsanlage wird ein Quarztiegel mit
einer Form nach Abb . 1 und 2 eingebaut, so daß sich die Tiegelöffnung 10 mm unter den Glasträgerführungsschienen befindet.
Der Quarztiegel wird zuerst sorgfältig gewaschen und alsdann mit Silberbromid mit einer Reinheit von 99,999^ aufgefüllt.
Die Vakuumkammer wird bis zu einem Druck von 10 Torr evakuiert. Das Silberbromid wird durch die indirekte Bestrahlung
von dem außerhalb der Vakuumkammer eingebeulten Heizelement bis
zu 6000C erhitzt. Es wird ein Silberbromid-Dampfstrahl mit
großer Intensität erhalten, der für eine Abscheidungsgeschv/indigkeit
in der Größenordnung von etwa 400 R je Minute gut ist. Die Vorschubgeschwindigkeit der Glasträger wird so
ausgewählt, daß eine Silberbromidschicht mit einer Dicke von etwa 0,5 U zu erhalten ist, wobei die über den Tiegel laufenden
Glasträger aufeinanderfolgend beschichtet werden.
509881/0958
Nach Abkühlung des Tiegels wird die Vakuumkammer mit reinem Stickstoff aufgefüllt und nach einigen Minuten werden die
Muster herausgenommen.
1.2. Das Aufdampfen von Silberbromid erfolgt nach der Beschreibung
in 1.1. mit dem Unterschied, daß in dem Tiegel ein Wolframheize
le ment in unmittelbarem Kontakt mit dem Silberbromid
eingebaut ist.
1.3. Für diesen Versuch wird in eine Standardanlage zur Vakuumbedampf
ung ein WoIfram-Verdampfungsschiffchen in einem
Abstand von etwa 100 mm unter die Glasträgerführungsschienen eingebaut. Nach Auffüllung mit Silberbromid und Evakuierung
-5
der Kammer bis zu einem Druck unter 10 Torr wird das Verdampfungsschiffchen
durch Anschluß der Leitungen an eine Niederspannungsquelle auf 600°C erhitzt und bei dieser Temperatur
gehalten. Bei diesen Bedingungen sind etwa 10 Minuten notwendig, um eine Schicht mit einer Dicke von etwa 0,5 Mikron
zu erhalten. Nach Abkühlung des VerdampfungsSchiffchens und
Lufteinlaß in die Vakuumkammer werden die Muster herausgenommen.
Muster von den drei Versuchen werden durch einen sensitometrischen
Stufenkeil blitzbelichtet und nachher 40 sek lang gleichzeitig in einem Mittchel's Entwickler mit folgender
Zusammensetzung behandelt:
Metol 0,67 g
Natriumsulfit, wasserfrei 26 g * ·
Hydrochinon 2,5 g
Natriumcarbonat, wasserfrei 26 g
Kaliumbromid 0,67 g
Gelatine 1,67 g
Wasser bis 1 1
509881 /0958
Nach Eintauchen für ein paar Minuten in einem Essigsäure-Stopbad,
reichlichem Abspülen mit Y/asser und Trocknung werden
die erhaltenen optischen Dichten mit einem Standarddensitometer
gemessen.
Eine andere Musterserie aus den obengenannten drei Versuchen wird einer Gold-Iridiumsensibilisierung unterworfen, so wie
es von Saunders beschrieben ist (J. Chem.Phys., 37, 1126 (1962)), indem die Muster 10 Minuten lang in eine Lösung mit
der Zusammensetzung: Natrium-Goldthiosulfat - 20 mg/1, Aminoniumhexachloroiridat(lV)
- 20 mg/1 und Gelatine - 0,5 g/l eingetaucht werden. Nach Abspülen und Trocknen werden die
Muster, wie bei der ersten Serie belichtet, entwickelt und gemessen.
Die erhaltenen Ergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengefaßt.
Aus der Tabelle ist zu ersehen, daß die unsensibilisierten
Muster des ersten Versuchs (1.1.) im Gegensatz zu den Mustern der Versuche 1.2. und 1.3. überhaupt keine Empfindlichkeit besitzen.
Sie lassen sich aber sehr effektiv sensibilisieren, wobei viel bessere und reproduzierbare Parameter zu erreichen
sind als bei den Mustern, die entsprechend der in 1.2. und besonders in 1.3. geschilderten Herstellungstechnik erhalten
wurden. Die Muster von Versuch 1.3· zeigen die schlechtesten und höchst unreproduzierbaren Parameter, die
sich durch Sensibilisierung nicht verbessern lassen. Der zweite Versuch 1.2. führt zu stabileren Ergebnissen, doch
die Empfindlichkeit ist relativ niedrig und läßt sich prak- " tisch durch v/eitere Sensibilisierung nicht verbessern.
Glasträger, die entsprechend Beispiel 1 gereinigt sind, v/erden nach drei verschiedenen Verfahren beschichtet.
509881/0958
2.1. Bei dem ersten Versuch werden die Glasträger mit SiIiciummonoxid
belegt, wie es im Beispiel 1 beschrieben ist.
.2.2. Bei dem zweiten Versuch werden die Glasträger auch durch Vakuumbedampfung mit einer BIe ichromat schicht mit einer Dicke
von 100 S. überzogen.
2.3. Bei dem dritten Versuch werden die Glasträger in einer Zentrifuge mit Ehotoresistlack KTFR, einem "Eastman Kodak" Erzeugnis,
beschichtet, indem die Herstelleranweisungen streng befolgt werden.
Die Muster der obengenannten drei Versuche werden mit einer Silberbromidschicht mit einer Dicke von etwa 0,35 Mikron entsprechend
der im Versuch 1.1. des Beispiels 1 geschilderten Technik belegt. V/ie dort gezeigt, besitzen alle Muster, die
nicht zusätzlich sensibilisiert sind, überhaupt keine photographische Empfindlichkeit, so daß das gev/onnene Aufzeichnungsmaterial,
wie unten gezeigt, für die Herstellung von photographischen Aufzeichnungsmaterialien, die bei Belichtung
ein direkt positives Bild erzeugen, besonders geeignet ist.
Zu diesem Zweck v/erden alle Muster, die entsprechend 2.1.,
2.2. und 2.3· beschichtet sind, einer absichtlichen Verschleierung
durch ein weiteres Auftragen von einer monoatomaren Silberschicht unterworfen, indem die von Malinowski
beschriebene Technik (Berichte Inst. phys. Chen., BuIg. Akad.
Wissenschaft., 3, 119 (1963)) verwendet wird, so daß die bei1
Entwicklung erhaltene maximale Schwärzungsdichte (D_ ) ungefähr 3 beträgt.
Nach der Verschleierung werden die Schichten durch einen Stufenkeil bildgerecht belichtet und entsprechend Beispiel 1
entwickelt. Alle Muster weisen eine ausgeprägte Ausbleichung
50988 1 /0958
der ursprünglichen Schv/ärzungsdichte auf, die durch die absichtliche
Verschleierung mit Silber verursacht ist.
Die so erhaltenen Ergebnisse sind in Tabelle 2 zusammengefaßt.
V/ie zu ersehen ist, werden alle Muster bei ausreichender
Belichtung völlig ausgeblichen, wobei die minimale Schv/ärzungsdichte (praktisch dem Schleier äquivalent) bei den mit
Siliciummonoxid beschichteten Glasträgern ein wenig höher ist. Die bei der "Verschleierung mit Silber erhaltene maximale
Schwärzungsdichte und die effektive Ausgleichungsempfindlichkeit sind bestimmt höher bei den Glasträgern, die
mit Bleichromat - Versuch 2.2. oder mit KTFR - Versuch 2.3. beschichtet sind. Tabelle 2 veranschaulicht die Vorteile
der Beschichtung mit KTFR und Bleichromat.
Anstatt Glasträger wird in diesem Falle natürlicher Glimmer benutzt, wobei seine Oberfläche unmittelbar vor jedem Gebrauch
durch Abspaltung einer dünnen Schicht aufgefrischt wird.
3.1. Bei dem ersten Versuch wird die Silberbromidschicht,
entsprechend der im Versuch 1.1. des Beispiels 1 geschilderten Technik, auf die Glimmerträger aufgebracht. Während
der Versuchsdauer werden die Glimrnerträger bei Zimmertempe-, ratur gehalten.
3.2. Bei dem zweiten Versuch, unmittelbar vor dem Auftragen des Silberbromids werden die Glimmerträger auf 2000C erhitzt,
Die Hälfte der Muster aus jedem Versuch wird gold-iridiumsensibilisiert,
um ein negatives photοgraphisches Aufzeich-
509881/0 9 58
nungsmaterial, entsprechend der Beschreibung im Beispiel 1
herzustellen. Die andere Hälfte wird mit Silber verschleiert, um ein positives photographisches Aufzeichnungsmaterial
entsprechend der Beschreibung im Beispiel 2 zu erhalten. Alle Muster v/erden alsdann belichtet und bearbeitet, so wie
es im Beispiel 1 geschildert ist. Die photographischen Parameter der so gewonnenen Schichten werden in Tabelle 3 verglichen.
Es ist offensichtlich, daß die Muster, die bei der Abscheidung des Silberbroraids auf die erhitzten Glimmerträger erhalten
v/orden sind, bestimmt besere photographische Eigenschaften besitzen.
Die Glasträger werden gereinigt und mit Siliciumnonoxid beschichtet,
so wie es im Beispiel 1 beschrieben ist. Darüber wird eine Silberbromidschicht mit einer Dicke von etwa 0,5
Mikron aufgetragen, indem die in Versuch 1.1. von Beispiel 1 geschilderte Technik verwendet wird.
Die Küster v/erden aus der Vakuumkammer herausgenommen und
die Hälfte davon mit einer Gelatineschicht mit einer Dicke
kleiner als 0,1 Mikron belegt, indem ein paar Tropfen von einer 0,1Ja-igen Lösung von Gelatine auf die in einer Zentrifuge
angeordneten Glasplatten angebracht werden. Die Zentrifuge wird eine Minute lang mit einer Geschwindigkeit von
etwa 5000 U/min betrieben.
Alle unbelegten oder mit Gelatine belegten Platten v/erden
wieder in die Vakuumkammer eingebracht. Durch Aufdampfen nach der im Beispiel 2 beschriebenen Technik wird Silber
aufgebracht, dessen Menge so ausgewählt ist, daß der bei Entwicklung ohne Belichtung erhaltene D„ -Wert etwa 3 be-
max
trägt. Alsdann v/erden Muster der beiden Plattenarten belich-
509881 /0958
tet und entwickelt, wie es im Beispiel 1 beschrieben ist. Die erhaltenen Ergebnisse sind in Tabelle 4 zusammengestellt.
Offensichtlich führt die Beschichtung mit Gelatine vor der Verschleierung zu einer wesentlichen Empfindlichkeits- und ■
Gradationszunähme, ohne daß sich dabei die minimale Schwärzungsdichte,
die bei Belichtung erhalten worden ist (der effektive Schleier), erhöht.
Die folgenden Vorteile der vorliegenden Erfindung erlauben lichtunempfindliche Silberhalogenidschichten zu erhalten, die
sich zwecks Herstellung von negativen und positiven photographischen Aufzeichnungsmaterialien absichtlich und reproduzierbar
zusätzlich sensibilisieren lassen.
1 . Der unmittelbare Kontakt zwischen dem Heizelement der Bedampf ungs vor richtung (dem Tiegel) und der Silberhalogenidschmelze
- eine der Hauptursachen für die Verunreinigung des Silberhalogenids - ist beseitigt.
2. Es v/erden Bedingungen geschaffen, bei denen ein Silberhalogenid-Dampfstrahl
mit hoher Intensität erhalten wird und dementsprechend die aufgetragene Schicht mit einer relativ
hohen Geschwindigkeit aufwächst, so daß die konkurrenzfähige Adsorption der Verunreinigungen von der Vakuumkammer
vermindert wird. Die auf dem Träger ablaufende Adsorption von Verunreinigungen ist auch wegen der vorherigen Trägererhitzung
unmittelbar vor der Silberhalogenidabscheidung geringer.
3. Verbesserte Adhäsion zwischen der im Vakuum aufgetragenen Silberhalogenidschicht und dem Träger ist durch dessen Beschichtung
mit einer Haftschicht aus metallischem Chromat oder Photoresistlack erreicht. Außerdem führt die verwendete
Haftschicht zu einer Verbesserung der photograph!sehen Eigen-
509881/0958
schäften des erhaltenen positiven photographischen Aufzeichnungsmaterials
.
4. Verbesserte photographische Eigenschaften des direkt positiven Aufzeichnungsmaterials v/erden durch die Abscheidung
einer dünnen Schicht aus Gelatine über die Silberhalogenidschicht unmittelbar vor dem Auftragen der monoatomaren Schicht
aus Silber oder Gold erreicht.
5. Beseitigung der Möglichkeit für eine selektive und unreversible
Adsorption der in Luft enthaltenen Verunreinigungen wird erreicht, indem die Vakuumkammer mit hochreinem Stickstoff
(anstatt Luft) nach Abschluß des Aufdampfzyklus aufgefüllt
v/ird.
5098 8 1/09 5
cn ο co co
.1. | Bearbeitung | Schleier (D ) |
maximale Schwär zungsdichte ^ max' |
• | relative Empfindlich- |
CTi | |
unsensibilisiert | O | 0 | Gradation P |
0 | I | ||
Versuch | .2. | sensibilisiert | 0,05-0,10 | 2,50-2,70 | 0 | 500-500 | |
1, | unsensibilisiert | 0,05-0,10 | 1,10-1,20 | 1,20-1,50 | 80-100 | ||
.3. | sensibilisiert | 0,15-0,20 | 1,30-1,50 | 0,80-1,00 | 100-150 | ||
1 | unsensibilisiert | 0,10-0,20 | 0,80-1,20 | 0,80-1,20 | 20-100 | ||
sensibilisiert | 0,20-0,30 | 1,00-1,50 | 0,70-1,00 | 50-110 | |||
1 | 0,80-1,00 | ||||||
*Manche Muster von allen Versuchen zeigen eine unbefriedigende Adhäsion. Bei einer geringen
Verlängerung der Bearbeitungsdauer ist eine klare Tendenz zum Abstreifen der Silberbromidschicht
von dem Glasträger zu beobachten.
Haftschicht | Tabelle 2* | maximale Schwärzungs- dichte (D ) max |
Gradation Ψ |
relative Empfindlich- Ke^ ^rel; |
cn | |
NJ CO |
||||||
Versuch | Siliciummonoxid | minimale Schwärzungs- dichte (D . \ |
2,80-3,00 | 1,50-2,00 | . 40-60 | CO OO |
Bleichromat | 2,80-3,20 | 1,70-2,10 | 150-180 | CO | ||
2.1. | KTFxR | 0,10-0,15 | 2,90-3,30 | 1,70-2,00 | 80-90 | |
2.2. | 0,01-0,05 | |||||
2.3. | 0,05-0,10 | |||||
Zu Tabelle 2:
* Wiederum wird eine mangelhafte Adhäsion der Silberbroaidschicht beobachtet, aber nur
bei den Schichten, die auf den mit Siliciummonoxid beschichteten Träger aufgebracht
sind. Bei Schichten aber, die auf die beiden anderen Träger aufgebracht sind, ist keine
Tendenz zum Abstreifen dieser Schichten zu bemerken.
bei den Schichten, die auf den mit Siliciummonoxid beschichteten Träger aufgebracht
sind. Bei Schichten aber, die auf die beiden anderen Träger aufgebracht sind, ist keine
Tendenz zum Abstreifen dieser Schichten zu bemerken.
Versuch | Bearbeitung | Tabelle | 3* | Gradation | relative Empfindlich- keit (Srel) |
|
3.1. | negativ sensibilisiert |
1,10-1,20 | 400-500 | |||
cn | positiv sensibilisiert |
minimale Schwärsungs dichte (Dmin) |
maximale Schwärzungs- dichte (Dmax) |
1,50-1,70 | 40-50 | |
3 9881 | 0,05 | 2,60-2,70 | ||||
■*■*. ο to |
3.2. | negativ sensibilisiert |
0,10 | 2,80-3,00 | 2,00 | 1000 |
cn | positiv sensibilisiert |
2,50 | 300 | |||
CD | 0,05 | 3,00 | ||||
0,10 | 2,80 | |||||
* Die Adhäsion aller Glimmerträger ist sehr gut, unabhängig von der Temperatur, bei der
das Silberbromid abgeschieden wird.
das Silberbromid abgeschieden wird.
cn K^ co
Bearbeitung vor Verschleierung |
minimale Schwärzungs- dichte (D . ) |
Tabelle 4 | Gradation Ψ |
relative Empfindlich- keit (Srel) |
00 1 |
|
Beschichtet mit Gelatine |
0,01-0,05 0,01-0,05 |
2,50 4,00 |
40 1000 |
|||
maximale Schwär zungs- dichte (Dmax) |
||||||
509881 | 3,0 3,0 |
|||||
/0958 | ||||||
CO CD OO
Claims (1)
- Patentansprüche1. Verfahren zur Herstellung eines photographischen Aufzeichnungsmaterials durch Aufdampfen in einer Vakuumapparatur von Silberhalogenid mit einer Reinheit nicht unter 99»999/5 aus einem Tiegel, der aus inaktiver Substanz gefertigt ist, auf einen kontinuierlich laufenden Träger, dadurch gekennzeichnet, daß die Erhitzung des Tiegels durch ein außerhalb der Vakuumkammer angebrachtes Strahlungsheizelement erfolgt, das so angeordnet ist, daß es dem ganzen Tiegekörper, wie auch den parallel verlängerten Tiegelv/änden eine gleichmäßige Temperatur sichert, wobei mittels der Tiegelform die Silberhalogeniddämpfe in einen intensiven Dampfstrahl kollimiert und senkrecht zu dem Schichtträger gerichtet werden, der mit einer Haftschicht vorher überzogen worden ist und unmittelbar über den heißen Wänden der Tiegelöffnung in einem Abstand von nicht größer als 10 nnn kontinuierlich vorbeigeführt v,7ird, wobei eine gleichmäßige lichtunempfind-liehe Schicht aus Silberhalogenid mit einer Dicke von 0,1 bis 1,5.Mikron mit einer Geschwindigkeit von 200 bis 2000 2. abgeschieden wird.2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man auf den Schichtträger eine dünne Haftschicht aus handelsüblichem Photoresistlack auf der Basis509881/0958von Polyvinylzinnamat aufträgt.'3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß man als Schichtträger natürlichen Glimmer mit frisch abgespalteter Oberfläche verwendet.4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet , daß man auf den Schichtträger eine dünne Haftschicht aus Metallchromat, wie Bleichroniat,
Bleioxidchromat, Bariumchromat, Silbermonochromat oder Wismutchromat, vorzugsweise Bleichromat, mit einer Schichtdicke bis zu 500 A5 durch Aufdampfen im Vakuum aufbringt.5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß man unmittelbar vor der
Abscheidung der Silberhalogenidschicht die mit Haftschicht versehenen Träger in der Vakuumkammer bis zu 2000C für die Glas- und Glimmerträger und bis zu 1000C für die Polyester- und Papierträger erhitzt.6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß man zwecks der Herstellung von photographischen direkt positiven Aufzeichnungsmaterialien auf die Silberhalogenidschicht, die auf den mit Haftschicht
versehenen Träger aufgebracht ist, eine dünne Schicht aus Gelatine mit einer Schichtdicke bis zu 0,1 Mikron aufträgt und509881/0958unmittelbar obenauf eine monoatomare Schicht aus Silber oder Gold durch Aufdampfen im Vakuum aufbringt.7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bestehend aus einem Tiegelhalter mit einem Tiegel, die beide aus inaktiver Substanz gefertigt sind, einem Strahlungsheizelement und einem kühlbaren Silberschutzblech, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Tiegelhalter (1), rings um den Tiegel (2), aber außerhalb der Vakuumkammer (7) ein Strahlungsheizelement (3) eingebaut ist, das dem zylindrischen Körper (4) und den parallel verlängerten Wänden (6) des Tiegels (2) eine gleichmäßige Temperatur sichert, v/obei die Querschnittfläche des Körpers (4) des Tiegels (2) v/enigstens 5 mal größer als die Querschnittfläche seiner rechteckigen Öffnung (5) und der Abstand zwischen der Öffnung (5) und dem laufenden Träger (3) nicht größer als 10 mm ist, so daß die SÜberhalogeniddämpfe nur mit den heißen V/änden (6) des Tiegels (2) und mit dem Träger (8) in Berührung kommen.50988 1/0958Leerseite
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
BG26984A BG20711A1 (de) | 1974-06-14 | 1974-06-14 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2523989A1 true DE2523989A1 (de) | 1976-01-02 |
DE2523989B2 DE2523989B2 (de) | 1977-08-25 |
DE2523989C3 DE2523989C3 (de) | 1978-04-20 |
Family
ID=3900409
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2523989A Expired DE2523989C3 (de) | 1974-06-14 | 1975-05-30 | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von photographischen Aufzeichnungsmaterialien durch Aufdampfen von Silberhalogeniden im Vakuum |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4123280A (de) |
JP (1) | JPS5133621A (de) |
BE (1) | BE829805A (de) |
BG (1) | BG20711A1 (de) |
DD (1) | DD119661A5 (de) |
DE (1) | DE2523989C3 (de) |
FR (1) | FR2274955A1 (de) |
GB (1) | GB1491615A (de) |
NL (1) | NL7507110A (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5506059A (en) * | 1993-05-14 | 1996-04-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Metallic films and articles using same |
US20130269613A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-17 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for generating and delivering a process gas for processing a substrate |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE938644C (de) * | 1953-07-03 | 1956-02-02 | Hubert Mansfeld | Verfahren zur Aufbringung lichtempfindlicher Stoffe auf Schichttraeger |
US3219451A (en) * | 1962-12-11 | 1965-11-23 | Technical Operations Inc | Sensitizing photographic media |
CH452313A (de) * | 1965-12-18 | 1968-05-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | Vorrichtung zur Verdampfung von Stoffen im Vakuum |
US3775157A (en) * | 1971-09-24 | 1973-11-27 | Fromson H A | Metal coated structure |
-
1974
- 1974-06-14 BG BG26984A patent/BG20711A1/xx unknown
-
1975
- 1975-05-29 DD DD186344A patent/DD119661A5/xx unknown
- 1975-05-30 DE DE2523989A patent/DE2523989C3/de not_active Expired
- 1975-06-03 BE BE2054379A patent/BE829805A/xx not_active IP Right Cessation
- 1975-06-10 FR FR7518093A patent/FR2274955A1/fr active Granted
- 1975-06-12 US US05/586,429 patent/US4123280A/en not_active Expired - Lifetime
- 1975-06-13 GB GB25457/75A patent/GB1491615A/en not_active Expired
- 1975-06-13 NL NL7507110A patent/NL7507110A/xx not_active Application Discontinuation
- 1975-06-14 JP JP50072612A patent/JPS5133621A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1491615A (en) | 1977-11-09 |
JPS5133621A (en) | 1976-03-22 |
FR2274955A1 (fr) | 1976-01-09 |
NL7507110A (nl) | 1975-12-16 |
BE829805A (fr) | 1975-10-01 |
DE2523989C3 (de) | 1978-04-20 |
DE2523989B2 (de) | 1977-08-25 |
BG20711A1 (de) | 1975-12-20 |
FR2274955B1 (de) | 1981-07-24 |
DD119661A5 (de) | 1976-05-05 |
US4123280A (en) | 1978-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0000702B1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer fliessbeständigen Resistmaske aus strahlungsempfindlichem Resistmaterial | |
DE2236298C2 (de) | Fotografisches Aufzeichnungsmaterial und dessen Verwendung | |
DE2140092A1 (de) | Verfahren zum Aufbringen dunner Schichten auf Substrate sowie Vorrichtung zur Durchfuhrung des Verfahrens | |
EP0195106A1 (de) | Herstellung einer Abhebemaske und ihre Anwendung | |
DE3248914C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines reflektierenden Laseraufzeichnungs- und -datenspeichermaterials | |
DE1489162C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung | |
DE3036555A1 (de) | Verfahren zum herstellen gefaerbter fotomasken aus glas mittels fotografischer emulsionen | |
DE2523989A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von photographischen aufzeichnungsmaterialien durch aufdampfen von silberhalogeniden im vakuum | |
DE2740180C2 (de) | Maske für Elektronenbildprojektion und Verfahren zum Herstellen einer solchen Maske | |
DE2335072C3 (de) | ||
DE1297987B (de) | Verfahren zur Herstellung einer Dispersion eines Silberfaellungsmittels | |
CH621890A5 (de) | ||
DE2300970A1 (de) | Photomasken-grundbauteil und verfahren zu dessen herstellung | |
DE1244262B (de) | Verfahren zur Herstellung elektrischer Schaltungen in Duennfilmtechnik | |
DE2545570A1 (de) | Bildaufzeichnungsverfahren | |
DE2855723C2 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Negativmusters einer Vorlage aus einem Positivlack | |
DE1154575B (de) | Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen mit klein dimensionierten Kontaktelektroden | |
DE2001535A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung metallischer Muster | |
DE2235983A1 (de) | Photographisches aufzeichnungsmaterial und verfahren zu dessen herstellung | |
DE2326334A1 (de) | Photographisches material mit einer antistatisch wirksamen, elektrisch leitfaehigen schicht | |
DE2718988A1 (de) | Verfahren zur intensivierung photographischer silberbilder durch physikalische entwicklung sowie verbesserte physikalische entwicklerloesung zur anwendung hierbei | |
DE2312675A1 (de) | Aufzeichnungsverfahren und aufzeichnungselement | |
DE2341568C3 (de) | Positiv-Positiv-Verfahren zur Herstellung von Metallbildern | |
US3918977A (en) | Method for coating metallic strips | |
DE850549C (de) | Verfahren zur Herstellung aus Metall bestehender Kontraste durch physikalische Entwicklung latenter Bilder in photographischen Schichten |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: VON FUENER, A., DIPL.-CHEM. DR.RER.NAT. EBBINGHAUS, D., DIPL.-ING., PAT.-ANW., 8000 MUENCHEN |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |