DE2449959C3 - Kreisförmiger Schwingquarz mit DT-Schnitt - Google Patents
Kreisförmiger Schwingquarz mit DT-SchnittInfo
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- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 title claims description 68
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims description 68
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 68
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 7
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 3
- 230000005712 crystallization Effects 0.000 description 3
- 230000002349 favourable Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 210000000078 Claw Anatomy 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010410 dusting Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen kreisförmigen Schwingquarz mit DT-Schnitt.
Schwingquarze, die einen DT-Schnitt aufweisen, sind bekannt aus der DT-OS 21 16 078. Diese bekannten
Schwingquarze bestehen aus einer rechteckförmigen oder viereckigen Quarzplatte, gegebenenfalls mit abgeschrägten
Kanten, und sind so ausgebildet, daß die Achse des Schwingquarzes einen DT-Schneidwinkel
aufweist. Schwingquarze mit DT-Schnitt können auch aus runden Scheiben hergestellt sein, wie weiter unten
noch erläutert wird; sie verfugen allgemein über eine Frequenzkonstante von 2070 bis 2080 kHz · mm. Diese
Frequenzkonstante entspricht dem Produkt der natürlichen Frequenz und der Länge (in mm) einer der Seiten
des Vierecks der Quarzplatte oder dem Durchmesser der runden Scheibe. Als nutzbares Frequenzband ergibt
sich bei Schwingquarzen mit DT-Schnitt ein Bereich etwa zwischen 100 bis 300 kHz.
Aus der DT-OS 14 16 068 ist ein Schwingquarz bekannt,
der, wie die Querschnittsdarstellung der F i g. 2 dieser DT-OS zeigt, linsenförmig ausgebildet ist. Bei
diesem Schwingquarz handelt es sich um einen sogenannten Dicken Schwinger, d. h. um einen AT- oder
BT-Schnitte aufweisenden Dickenscherschwinger. Der Dickenscherschwinger nach dieser DT OS hat die Aufgabe,
einen möglichst hohen Gütefaktor Q zu erzielen. Allgemein soll ein Dickenschwinger hergestellt werden,
der durch ein zu den Elektroden seniaechtes Feld erregt
wird und eine Induktivität aufweist, die zwischen den Induktivitäten der Kristalle der gleichen Schwingungsart
mit vollen metallisierten Elektroden und den Induktivitäten hegt, die bei Schwingquarzen der gleichen
Schwingungsart auftreten, wenn der Kristall durch ein zu den Elektroden paralleles Feld erregt
wird.
Die bei diesem bekannten Dickenscherschwinger auf den größten Oberflächen des Schwingquarzes aufgebrachten
parallelen Elektroden sind ringförmig ausgebildet und schließen einen zentralen, nicht metallisierten
Abschnitt ein. Dadurch erhöht sich der Gütefaktor mit der Zunahme der nichtmetallisierten Oberfläche.
Gelagert wird ein solcher linsenförmiger Schwingquarz durch an der Oberfläche angreifende Klauen, die an
weiteren, kleinen nichtmetallisierten Flächen des Dikkenscherschwingers
angreifen. Ein solcher Dickenscherschwinger kann auch normal plattenähnlich aus
gebildet sein und braucht nicht die LJnsenform zu besitzen. Andererseits liegt der Grund für die Linsenform
bei diesem bekannten Dickenscherschwinger darin, daß
sich auf Grund der an den Rändern des Diekenscheischwingers
angreifenden Lagerung Verluste im peri- pheren Bereich des Elementes ergeben, die durch den
verdickten Zentralbereich auf ein Minimum reduziert werden können; bei einem Dickenscherschwinger ist
daher eine solche Ausbildung angebracht, die in direkter Beziehung zu der bei einem solchen Schwingquarz
erforderlichen Lagerung steht.
Schließlich läßt sich der US-PS 33 39 091 ein der
DT-OS 14 16 068 entsprechendes System mit ähnlicher Lagerung für einen Dickenscherschwinger entnehmen,
wobei auch hier die Lagerung für den Schwingquarz nur an den peripheren Randbereichen angreift
Allgemein läßt sich zum Aufbau und zur Technologie von Schwingquarzen verweisen auf die S. 192 bis 2Oi
im »Handbuch für Hochfrequenz- und Elektrotechniker«, 2. Band, herausgegeben von Kurt Ri nt, 1953.
sowie auf die S. 216 bis 219 einer Veröffentlichung von R. A. H e i s i η g, »Quartz Crystal for Electrical Circuit«.
Einer Tabelle auf S. 198 des erwähnten »Handbuchs« lassen sich übliche Schwingungsformen von
Quarzkr-jtallen entnehmen, wobei insbesondere auf
den Flachenscherschwinger der Nr. 3 und den Dickenscherschwinger der Nr. 4 hingewiesen wird. Die Flächenscherschwinger
weisen jeweils CT- oder DT-Schnitte auf, wie eingangs schon erwähnt, während es sich bei den Dickenscherschwingern jeweils um AT-Schnitte
oder BT-Schnitte handelt. Entsprechend dieser Definition weist der Schwingquarz der weiter vorn genannten
DT-OS 14 16 068 als Dickenscherschwinger einen AT- oder BT-Schnitt auf. Beide Schwingungsarten
und im übrigen auch die in der erwähnten Tabelle noch weiterhin angegebenen unterscheiden sich fundamental
voneinander, wie sich der schematischen Darstellung des Bewegungsschemas für diese Schwingungsformen
entnehmen läßt. Die Flächenscherschwinger nach den CT- oder DT-Schnitten, zu denen auch
der vorliegende Schwingquarz gehört, weisen Knotenlinien auf, die den scheibenartigen, in dieser Veröffentlichung
als viereckig ausgebildeten Quarz unterteilen, wobei sich der Knotenpunkt im Scheibenmittelpunkt
befindet. Im Gegensatz hierzu arbeiten die Dickenscherschwinger nach den AT- oder BT-Schnitten mit
durch das Quarzinnere laufenden Knotenlinien.
Der S. 200 des erwähnten Handbuchs läßt sich entnehmen, daß die Konstante in der Temperatur-Frequenz-Beziehung
für den DT-Schnitt 2 χ 10-8 beträgt,
während sie für den CT-Schnitt wesentlich schlechter ist und 5 χ 10~8 beträgt. Andererseits liefert jedoch,
wie ebenfalls der S. 200 entnommen werden kann, der CT-Schnitt einen erwünschten relativ hohen Arbeitsfrequenzbereich zwischen etwa 250 und 500 kHz, während
der DT-Schnitt bei Schwingquarzen nur einen Arbeitsfrequenzbereich zwischen etwa 150 und 300 kHz
zu liefern imstande ist. Lediglich ergänzend sei noch darauf hingewiesen, daß sie mit Bezug auf die DT-OS
14 16 068 schon erwähnten Dickenscherschwinger praktische Frequenzbereiche bis 100 MHz auf Grund
ihrer unterschiedlichen Arbeitsweise erreichen zu kön-1S
nen.
Im vorliegenden Fall sind von Bedeutung lediglich die Flächenscherschwinger, wobei dem schon genannten
Buch von H ei s ing auf S. 217/218, unter Ab-
jchnitt 6.33 »Scherresonanzfrequenzen«, entnommen »erden kann, daß bei Flächenscherschwingern die
Eigenfrequenz des Schwingquarzes ausschließlich durch seine Längs- und Breitenab.nessungen bzw.
durch den Durchmesser bestimmt ist, jedoch nicht durch die Dicke des Schwingquarzes. Eine experimentelle
Formel hierfür ist auf S. 218 als Formel 6.8 angegeben. Ähnliche Ausführungen lassen sich der S. 200
des erwähnten Handbuchs entnehmen.
Zur Bestimmung der Frequenz eines als Flächentcherschwinger
ausgebildeten Schwingquarzes geht man allgemein aus von der Orientierung des Schnittwinkels
mit Bezug auf die Kristallisationsachse und die Abmessungen des Schwingquarzes; zunächst wird der
Schnittwinkel in der Weise orientiert, daß festgelegt wird, ob es sich um einen CT- oder einen DT-Schnitt
handelt; hierdurch bestimmt man auch die Frequenzkonstante. Anschließend werden die /■,bmessungen des
Umrisses des Schwingquarzes festgelegt, wodurch man dann unter Verwendung der Frequenzkonstante zur
gewünbchten effektiven Arbeitsfrequenz kommt.
Entsprechend den weiter vorn gemachten Ausführungen weist ein Schwingquarz mit einem CT-Schnitt
gegenüber einem Schwingquarz mit DT Schnitt überlegene Frequenzeigenschaften auf, andererseits verfügt
der Schwingquarz mit DT-Schnitt über das bessere Frequenz-Temperatur-Verhalten.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Schwingquarz mit DT-Schnitt zu schaffen, der bei
Beibehaltung des bisherigen günstigen Temperatur Frequenz-Verhaltens bei einem solchen Schnitt eine
wesentlich höhere Frequenzkonstante aufweisen soll.
Zur Lösung dieser Aufgabe geht die Erfindung aus von dem eingangs genannten kreisförmigen Schwingkreis
mit DT-Schnitt und besieht erfindungsgemäß darin, daß der Quarzkristall so ausgebildet ist, daß seine
Dicke vom Mittelpunkt zum Randbereich allmählich abnimmt, daß über nahezu die gesamte Oberfläche sich
gegenüberliegende Elektroden angebracht sind und daß den Quarzkristall lagernde und die elektrische Verbindung
herstellende Zuleitungen mit den Elektrodenmittelpunkten verbunden sind.
Der Erfindung gelingt es, einen scheibenförmigen Schwingquarz mit einem DT-Schnitt mit einem weiteren,
in die Frequenzkonstante eingehenden Dimensionsbereich auszustatten, und zwar dahingehend, daß
auch die Dicke des Schwingkristalls, die nach gefestigter Lehrmeinung bei solchen Schwingkrislallen mit DT-Schnitt
oder CT-Schnitt nicht in die Frequenzkonstante eingeht, vom Scheibenmittelpunkt zu den Randbereichen
zunehmend verringert wird, wobei in der Weise eine Abhängigkeit der Frequenzkonsta.ue zum Radius
der Wölbung erzielt wird, daß beispielsweise bei einem Radius von 30 mm eine Frequenzkonstante von
3 200 kHz ■ mm erreicht wird. Eine solche Frequenzkonstante liegt weit über der für Schwingquarze dieser
Schwingungsform erreichbaren Frequenzkonstante von etwa 2 47OkHz ■ mm und erzielt nahezu die Frequenzkonstante
von kreisscheibenartigen Schwingquarzen mit CT-Schnitt. Andererseits ergibt sich aber
der Vorteil, daß trotz dieser hohen Frequenzkonstante nicht die bekannten Nachteile des CT-Schnitts in Kauf
genommen werden müssen, denn der erfindungsgemäße Schwingquarz behält die günstige Temperatur-Frequenzbeziehung
für den DT-Schnitt bei, der kann daher stabil in dem gewünschten Frequenzbereich betrieben
werden und weist eine überlegene Frequenztemperaturbeziehung auf.
Vorteilhaft ist weiterhin, daß sich der erfindungsgemäße Schwingquarz leicht bearbeiten läßt und der
Orientierungswinkel beim Schneiden leicht zu bemessen ist. Da ein solcher Schwingquarz nur geringe Abmessungen
aufweist, wird auch nur eine geringe Menge des relativ kostspieligen Ausgangsmaterials benötigt.
In einer Ausgestaltung der Erfindung sind beide gegenüberliegenden
Oberflächen konvex ausgebildet, so daß der Schwingquarz eine Linsenform aufweist, andererseits
kann auch nur eine der beiden Oberflächen konvex und die andere geradflächig ausgebildet sein.
Die flache Seite läßt sich dann leicht bearbeiten und
kann zur einfachen Bestimmung der Orientierung des. Schneidwinkels mit Bezug auf die Krisiallisationsachse
des Kristalls verwendet werden.
Im folgenden werden Aufbau und Wirkungsweise von Ausführungsbeispielen der Erfindung an Hand der
Figuren im einzelnen näher erläutert. Dabei zeigt
F i g. ί eine Seitenansicht eines auf beiden Seiten konvexe Oberflächen aulweisenden Schwingquarzes,
die
F i g. 2 und 3 grafische Kurvenverläufe der Frequenz- und Temperatureigenschaften des in Fig.! gezeigten
Schwingquarzes,
F i g. 4 eine Seitenansicht eines anderen Ausführungsbeispiels
eines Schwingquarzes.
In F ι g. 1 ist der verbesserte .Schwingquarz dargestellt.
Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die oberen und unteren Flächen des Schwingquurz.es 1 konvex ausgebildet,
wobei auf die konvexen Oberflächen entweder durch eine Aufdampftechnik, durch Niederschlagen,
Aufspritzen oder Aufstauben Elektroden 2 und 3 aufgebracht sind. Mit den Mittelpunkten der beiden
Elektroden 2 und 3 sind eine Spannung oder Leistung zufuhrende Leuer 4 und 5 durch Schweißen oder Löten
verbunden. Durch Veränderung des Krümmungsradius eines solchen in der beschriebenen Weise aufgebauten
Schwingquarzes wurden jeweils Reihenresonanzfrequenz und Reihenresonanzwiderstand gemessen, dabei
hatte ein solcher Schwingquarz einen Durchmesser D von 9.43 mm und eine maximale Dicke t von 0,8 mm. Hs
ergab sich die in F ι g. 2 dargestellte Kurvencharaktenstik,
wobei die Ordinate die Frequenzkonstante dar stellt, die gleich ist dem Produkt des Durchmessers D in
mm und der natürlichen Frequenz f in kHz; die Abszisse stellt den Krümmungsradius in mm dar.
Wie dem Kurvenverlauf der F i g. 2 entnommen werden kann, steigt die Frequenzkonstante an bei abnehmendem
Krümmungsradius und man erzieh für einen Krümmungsradius von 30 mm eine Frequenzkonstanie
von etwa 3 200 kHz ■ mm. Diese Frequenzkonstante ist größer als die Frequenz.konstame von 2 080 kHz · mm
eines rechteckförniigen oder quadratischen, plattenförmigen
Schwingquarzes; diese Frequenzkonstante ist auch größer als die Frequenzkonstante von
3 090 kHz · mm eines CT-gischnittenen Schwingquarzes
derselben Form. Andererseits nimmt der Reihenresonanzwiderstand mit abnehmendem Krümmungsradius
ebenfalls ab. Die gemessene Frequenz-Temperaturcharakteristik eines DT-geschnittenen Schwingquarzes
mit dem in F i g. 1 gzeigten Aufbau ist durch die dick durchgezogene Linie A in F i g. 3 dargestellt. Diese
Temperaturabhängigkeit ist der Frequenz-Temperaiurcharakteristik eines CT-geschnittenen Schwingquarzes,
wie sie durch die gestrichelte Linie B in F i g. 3 dargestellt ist, überlegen. Mit anderer. Worten verfügt ein
DT-geschnittener Schwingquarz nach F i g. 1 über eine Frequenz-Temperalurcharakteristik, die einem bekann-
ten DT-geschnittenen Schwingquarz in rechteckförmiger oder viereckiger Plattenform inne wohnt. Auf diese
Weise ist es möglich — wenn die gegenüberliegenden Oberflächen eines Schwingquarzes mit einem vorgegebenen
Krümmungsradius konvex angeordnet sind —, einen DT-geschnittenen Schwingquarz im Frequenzbereich
eines CT-geschnittenen Schwingquarzes stabil zu betreiben, ohne daß es zu einer Verschlechterung des
Frequenz-Temperaturverhaltens des ersteren kommt.
F i g. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Entsprechend diesem Ausführungsbeispiel läßt
sich eine vereinfachte Bearbeitung eines Schwingquarzes erzielen, da die komplizierte Bearbeitung auf
Grund der dual konvexen Oberflächen und deren genauen Herstellung vermieden werden kann, desgleichen
auch die Schwierigkeiten hinsichtlich der Bestimmung des Schneidwinkels, die bei einem dual konvexen
Oberflächenaufbau auftreten.
Wie F i g. 4 entnommen werden kann, weist der dort gezeigte Schwingquarz 6 auf einer Seite eine flache
Oberfläche und auf der anderen Seite eine konvexe Oberfläche vorgegebenen Krümmungsradius auf und
ist vom DT-geschnittenen Typ. Auf diesen Oberflächen sind durch Vakuum-Dampfbeschichtung oder sonstige
geeignete Techniken Elektroden 7 und 8 aufgebracht, mit denen den Schwingquarz halternde und Spannung
zuführende Leiter 9 und 10 jeweils mit den Mittelpunkten verbunden sind. Die Frequenzkonstante dieses
Schwingquarzes 6 wurde mit annähernd 3 14OkHz · mm gemessen. Obwohl der Schwingquarz
6 vom DT-geschnittenen Typ ist, ist es möglich, ihn im
ίο Frequenzbereich eines CT-geschnittenen Schwingquarzes
zu verwenden, wodurch ein solcher Schwingquarz eine hervorragende Frequenz-Temperaturcharakteristik
aufweist, die ein Merkmal eines bekannten DT-geschnittenen Schwingquarzes in rechteckiger oder viereckiger
Plattenform ist. Da eine Seite oder Fläche dieses Schwingquarzes flach und eben ist, kann es extretr
einfach bearbeitet werden. Darüber hinaus ist es, nachdem diese flache Seite bearbeitet worden ist, möglich
in einfacher Weise die Orientierung des Schneidwinkel:
des Schwingquarzes mit Bezug auf die Kristallisations
achse zu messen, indem die flache Fläche als Bezugs ebene ausgenutzt wird.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. .Kreisförmiger Schwingquarz mit DT-Schnitt, dadurch gekennzeichnet, daß der Quarz-
kristall (1,6) so ausgebildet ist, daß seine Dicke vom Mittelpunkt zum Randbereich allmählich abnimmt,
daß über nahezu die gev»mte Oberfläche sich gegenüber liegende Elektroden (2. 3: 7, 8) angebracht
sind und daß den Quarzkristall (1. 6) lagernde und ι ο
die elektrische Verbindung herstellende Zuleitungen (4, 5; 9, 10) mit den Elektrodenmittelpunkten
verbunden sind.
2. Schwingquarz nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß seine beiden gegenüberliegenden
>5 Oberflächen konvex ausgebildet sind (Unsenform).
3. Schwingquarz nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß lediglich eine seiner beiden Ober
flächen konvex und die andere geradflächig ausgebildet ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11958273 | 1973-10-24 | ||
JP48119582A JPS5069981A (de) | 1973-10-24 | 1973-10-24 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2449959A1 DE2449959A1 (de) | 1975-05-07 |
DE2449959B2 DE2449959B2 (de) | 1976-03-18 |
DE2449959C3 true DE2449959C3 (de) | 1976-11-11 |
Family
ID=
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