DE2442408C2 - Verfahren zur Betätigung eines elektronenstrahlgepumpten Gaslasers - Google Patents
Verfahren zur Betätigung eines elektronenstrahlgepumpten GaslasersInfo
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Description
a) fortliufend wird der Druck in jeder Kammer
(10, 20) während ihrer gleichzeitigen Evakuierung gemessen;
b) ein fortlaufendes Druckgefällesignal wird erzeugt und zum Regulieren der Evakuierungsgeschwindigkeit während der anfänglichen Evakuierung der beiden Kammern (10, 20) auf ein
jeweiliges Minimum eingesetzt;
c) das fortlaufend erzeugte Druckgefällesignal wird weiter zum Regulieren der Geschwindigkeit der Wiederfüllung der Hauptkammer (10)
mit dem Lasermedium eingesetzt;
d) während des Laserbetriebs wird das Druckgefällesignal fortlaufend weiter erzeugt und der
Druck in der Hauptkammer (10) reguliert;
e) während der Verfahrensschritte a) bis d) wird ein Druckgefälle bis zu 196 mbar am Diaphragma aufrechterhalten.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei fortlaufender Erzeugung des
Druckgefällesignals die Wiederfüllung der Beschleunigungskammer (20) beim Luftaustritt reguliert
wird, indem die Wiederfüilung beider Kammern (10, 20) beim Entlüften des Lasers erfolgt und ein Druckgefälle bis zu 196 mbar während des Entlüftungsvorgangs aufrechterhalten wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß während der gleichzeitigen Evakuierung der Kammern (10,20) die Regulierung der Geschwindigkeit der fortlaufenden Evakuierung der
Beschleunigungskammer (20) erfolgt, bis der Druck in der Hauptkammer (10) ungefähr 1,33 · 10~3 mbar
und der Druck in der Beschleunigungskammer (20) ungefähr 1,333 · 10-5mbar betragen, und daß die
Regulierung der Geschwindigkeit der fortlaufenden Evakuierung der Hauptkammer (10) während des
Laserbetriebs bei fortlaufender Einführung des Lasermediums einer vorbestimmten Geschwindigkeit
zwecks Aufrechterhaltung des Druckgefälles am Diaphragma bis zu 196 mbar erfolgt.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Betätigung eines elektronenstrahlgepumpten Gaslasers mit einer
Beschleunigungskammer zur Erzeugung des Elektronenstrahls und mit einer an diese angrenzenden Hauptkammer, die von der Beschleunigungskammer durch ein
dünnes, elektronendurchlässiges sowie gasundurchlässiges Diaphragma getrennt ist, wobei das Lasermedium
in und/oder durch die Hauptkammer strömt und der Elektronenstrahl aus der Beschleunigungskammer
durch das Diaphragma hindurch in die Hauptkammer tritt
Bei einem bekannten derartigen Verfahren (US-PS 37 02 973) soll das zwischen der Beschleunigungskammer und der Hauptkammer befindliche Diaphragma des
elektronenstrahlgepumpten Gaslasers eine angemessene gefügemäßige Stabilität aufweisen, um jedem erfor-
derlichen Druckgefälle widerstehen zu können. Hierbei soll die Materialzusammensetzung r,o gewählt werden,
daß ein Maximum an Elektronen ohne Absorption eines übermäßigen Anteils ihrer Energie und damit einer Reduzierung des Wirkungsgrades des Diaphragmas drin-
gen kann. Somit werden hier in bezug auf das Diaphragma zwei gegensätzliche Maßnahmen gefordert, und
zwar einmal ein ausreichender Widerstand gegen alle wesentliche Druckgefälle und zum anderen möglichst
geringe Dicke des Diaphragmas, um einen möglichst
hohen Elektronenstrom aus der Beschleunigungskammer in die Hauptkammer zu ermöglichen.
Das die Beschleunigungskammer und die Hauptkammer trennende, elektronendurchlässige, gasundurchlässige Diaphragma wird gewöhnlich von einer nadelloch-
freien Aluminiumfolie einer Dicke von 2,54 μιη bis
12,7 μιη gebildet Die Beschleunigungskammer muß
auch bis zu einem von ungefähr 1333 mbar evakuiert und auf diesem Druck gehalten werden. Auf der anderen Seite wird die Hauptkammer bis auf den Arbeits-
jo druck des Lasergases von 66,65 mbar bis 133,3 mbar
evakuiert Im Dauerzustandsbetrieb ergibt sich daher ein erwartetes Druckgefälle von 5332 mbar bis
119,97 mbar an dem Diaphragma. Letztet es ist so ausgelegt, daß es diesem erwarteten Druckgefälle widersteht
jedoch nicht einem wesentlich größeren Druckgefälle. Die Bemessungsbegrenzung wird vorgenommen, um
größeren Dicken als notwendig zu vermeiden, da bei gegebener Beschleunigungsspannung weniger Elektronen durch eine dickere Folie oder ein anderes Diaphrag-
ma in die Kammer eindringen würden, was ein Senken der oberen Leistungsgrenze des Laserstrahls zur Folge
haben würde.
Um andererseits zu bewirken, daß die gleiche Zahl an Elektronen durch eine dickere Diaphragmafolie tritt,
müßte eine höhere Beschleunigungsspannung angelegt werden. Dies würde wiederum die Erzeugung energiereicherer Röntgenstrahlen erfordern. Wenn die Folie
zerbricht, muß sie ausgewechselt werden, was ein Entlüften und einen Zeitverlust von mehreren Stunden mit
so sich bringt, die zum Auswechseln eines Diaphragmas notwendig sind. Im allgemeinen ist eine kontinuierliche
Instandhaltung des Gaslasers unter Vakuumbedingungen erwünscht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ver
fahren gemäß der eingangs erwähnten Art so zu gestal
ten, daß ein geringeres Druckgefälle an dem Diaphragma zwecks möglicher Verwendung sehr dünner Diaphragmafolien aufrechterhalten wird, so daß geringere
Beschleunigungsspannungen erforderlich sind und we
niger Röntgenstrahlen erzeugt werden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Verfahrensschritte:
a) fortlaufend wird der Druck in jeder Kammer während ihrer gleichzeitigen Evakuierung gemessen;
b) ein fortlaufendes Druckgefällesignal wird erzeugt und zur Regulierung der Evakuierungsgeschwindigkeit während der anfänglichen Evakuierung der
beiden Kammern auf ein jeweiliges Minimum eingesetzt;
c) das fortlaufend erzeugte Druckgefällesignal wird weiter zur Regulierung der Geschwindigkeit der
Wiederfüllung der Hauptkammer mit dem Lasermedium eingesetzt;
d) während des Laserbetriebs wird dgs Druckgefällesignal fortlaufend weiter erzeugt und der Druck in
der Hauptkammer reguliert;
e) während der Verfahrensschritte a) bis d) wird ein Druckgefälle bis zu 196 mbar am Diaphragma aufrechterhalten.
Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Die Beschleunigungskammer und die Hauptkammer werden vorzugsweise durch getrennte Pumpen oder
Pumpensysteme evakuiert. Der Unterschied hinsichtlich der Größe der beiden Kammern und der Temperaturen
darin sowie der Unterschied hinsichtlich der Geschwindigkeiten, mit denen die Pumpen jeweils arbeiten, bewirken,
daß die beiden Kammern mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten evakuiert werden. Während des Betriebs
des Gaslasers kann der Druck in der Hauptkammer in einem dynamischen Gleichgewicht gehalten werden,
indem gleichzeitig Lasergas in die Hauptkammer zugeführt und aus letzterer abgezogen wird. Nach Betrieb
des Lasers können beide Kammern wieder belüftet, d. h. mit Luft oder einem Inertgas wiedergefüllt werden.
Bei allen diesen Arbeitsvorgängen besteht die Gefaiir
der Bildung vorübergehender Druckgefälle an dem Diaphragma, die über dem Nennberstdruck liegen können,
falls das Diaphragma derart ausgebildet ist, daß es nicht mit einem Sicherheitsfaktor für Nenndruckgefälle insgesamt
oder teilweise ausgelegt ist, um obgengenannte Probleme einer Überspannung und einer zugeordneten
Röntgenstrahlerzeugung bei dickeren Diaphragmen zu vermeiden.
Eine Differenzdruckzeile findet vorzugsweise Anwendung, um für ein kontinuierliches Signal proportional
zur Differenz der Drucke in den beiden Kammern zu sorgen. Hierbei kann es sich entweder um ein elektrisches
oder pneumatisches Signal handeln, je nachdem wie es anfänglich in einem auf ein Druckgefälle ansprechenden
Meßgrößenwandler erzeugt wird.
Das Ausgangssignal der Differenzdruckzelle kann einer Programmreglereinrichtung eingegeben werden,
die einen Sollwert zur Verhinderung eines Diuckgefälles
zwischen den Kammern oder einer Überschreitung eines vorgegebenen Wertes aufweist. Bei Bildung eines
größer als gewünschten oder vorgegebenen Druckgefälles bewirkt der Programmregler eine Betätigung der
Ventile in den Pumpensystemen sowie der Gasrückfüllsteuerung für jede Kammer, um diese Pumpen^ysteme
zu steuern. Eine solche Steuerung kann eine Aussteuerung von Strömungsventilen oder eine Aussteuerung
von Pumpengeschwindigkeiten einschließen, indem durch Aus- oder Einschalten der Pumpen ihre Geschwindigkeit
oder die von ihrer Betätigung bewirkte Gasströmung eingestellt wird.
Beim Anfahren ist der Druck anfänglich in der Hauptkammer und in der Beschleunigungskammer gleich. Das
heißt das Druckgefälle an dem Diaphragma ist Null. Beide Pumpensätze der Pumpenstationen werden in Betrieb
gesetzt und arbeiten jeweils mit weit geöffneten Ventilen. Wegen der Art und der Dimensionierung der
Pumpen sowie der Dimensionierung der Hauptkammer und der Beschleunigungskammer wird die Beschleunigungskammer
schneller evakuiert als die Hauptkammer. Der Druck fällt in der Beschleunigungskammer
schneller als in der Hauptkammer, bis das Druckgefälle zwischen ihnen einen Sollwert erreicht bei dem der
Programmregler ein Steuersignal erzeugt das eine Verringerung der Pumpengeschwindigkeit und eine Regelung
in der Weise bewirkt, daß das Druckgefälle am Diaphragma im wesentlichen konstant gehalten wird.
Bei Fortfahren der Evakuierung verändern sich die Pumpmengen bei niedrigeren Drucken, die in den angeführten
Druckbereichen einbezogen sind.
Wenn der absolute Druck in der Hauptkammer unter den Sollwert z. B. des Betriebsdrucks der Hauptkammer
von annähernd 93,31 mbar fällt, kann das ausgesteuerte Ventil in den vollgeöffneten Zustand eingestellt
und beide Kammern mit der maximal möglichen Geschwindigkeit evakuiert werden, der nur von der Pumpenleistung
und den Leistungsimpedanzen bestimmt wird. Hierbei handelt es sich um eine Anfangsreinigungsphase,
die dazu bestimmt ist, jegiiche Luft, Wasserdampf oder andere fremde Dämpfe aus den beiden
Kammern zu entfernen.
Im Zeitpunkt, in dem die Hauptkammer einen geeigneten Reinigungsdruck von 1,33 · 10~3mbar erreicht, wird die Beschleunigungskammer einen Druck in der Größenordnung von 1,33· 10~5mbar eingenommen haben. Diese Druckdifferenz tritt auf, weil Pumpen, die zum Evakuieren der Beschleunigungskammer am besten geeignet sind, für ein schnelleres Pumpen bei niedrigen Drucken ausgelegt sind, als Pumpen, die am besten für ein Evakuieren der Hauptkammer geeignet sind. Da ein Druck von 1,33 · 10~5 mbar im Vergleich zu einem Druck von 93,31 mbar (Betriebsdruck) sehr viel geringer ist, wird die Beschleunigungskammer als Bezugskammer zur Festlegung des absoluten Druckes in der Hauptkammer verwendet. Daher entspricht das Druckgefälle am Diaphragma in der Tat dem absoluten Druck in der Trägerkammer.
Im Zeitpunkt, in dem die Hauptkammer einen geeigneten Reinigungsdruck von 1,33 · 10~3mbar erreicht, wird die Beschleunigungskammer einen Druck in der Größenordnung von 1,33· 10~5mbar eingenommen haben. Diese Druckdifferenz tritt auf, weil Pumpen, die zum Evakuieren der Beschleunigungskammer am besten geeignet sind, für ein schnelleres Pumpen bei niedrigen Drucken ausgelegt sind, als Pumpen, die am besten für ein Evakuieren der Hauptkammer geeignet sind. Da ein Druck von 1,33 · 10~5 mbar im Vergleich zu einem Druck von 93,31 mbar (Betriebsdruck) sehr viel geringer ist, wird die Beschleunigungskammer als Bezugskammer zur Festlegung des absoluten Druckes in der Hauptkammer verwendet. Daher entspricht das Druckgefälle am Diaphragma in der Tat dem absoluten Druck in der Trägerkammer.
Nach Vollendung dieser Reinigungsphase ist die Beschleunigungskammer
im wesentlichen betriebsbereit, und die Hauptkammer ist nur für die zweite Phase, d. h.
für ein Füllen mit einer geeigneten Lasergasmischung, bereit. Um dies auszuführen, wird nun die Ventilsteuerung
von dem Druckventil der Beschleunigungskammcr auf das Gasfüllventil umgeschaltet. Dies geschieht in der
Weise, daß, falls das jetzt am Diaphragma vorliegende Druckgefälle unter 93,31 mbar liegt, das Füllventil, das
den in die Hauptkammer abgegebenen Lasergasstrom
so steuert, weit geöffnet ist. Wenn sich der Druck des Lasergases
dem gewünschten Wert von 93.31 mbar nähen, wird das Füllventil veranlaßt, sich zu schließen und bei
Erreichen des Druckes von 93,31 mbar ist es schließlich vollkommen geschlossen. Das Signal, das von dem Programmregier
zu dem gesteuerten Ventil, d. h. in diesem Fall dem Füllventil, geleitet wird, wird vorzugsweise
auch auf einen Druckschalter eingegeben, der eingestellt wird, um das Lasergehäuse in der Hauptkammer
mit einem Druck gerade unterhalb des Sollwertes einzuschalten. Hierdurch wird eine wesentliche Kosteneinsparung
bei der Herstellung des Lasers erzielt, da auf diese Weise die Notwendigkeit eines anderen kostenintensiven
Druckschalters zur Erzielung der genannten Funktion eingespart wird.
b5 Die dritte Phase, d. h. der wirksame Betrieb des Gaslasers
kann nun eingeleitet werden Wenn der Gaslaser effektiv in Betrieb ist. ist eine konstante elektrische Entladung
in dem Lasersirahlbereich des Gaslasers vorhan-
den. Dies bewirkt, daß sich bestimmte chemische Veränderungen in dem Lasergasgemisch vollziehen. Diese
fremden Gassorten bauen im allgemeinen den Betrieb des Gaslasers ab und aus diesem Grund wird das Gas
vorzugsweise konstant wieder aufgefüllt. Die dritte Phase der Steuerungsfolge wird in folgender Weise
durchgeführt. Stromab vom Füllventil ist eine Mischsammelleitung vorgesehen, die alle geeigneten Gase bei
konstanter Geschwindigkeit zuführt und mischt. In der dritten Phase ist das Füllventil weit geöffnet und der
Programmregler wird vom Füllventil auf das zwischen der Hauptkammer und der entsprechenden Pumpe angeordnete
Hauptkammerventil umgeschaltet, so daß das zugemessene Lasergas mit konstanter und geeigneter
Geschwindigkeit eingeführt wird, während die Auspumpgeschwindigkeit
reguliert wird, urn einen geeigneten Druck in der Hauptkammer mittels Regulierung des
Evakuierung jventils aufrechtzuerhalten.
Die vierte und letzte Phase ist die der Entlüftung, bei der die Beschleunigungs- und die Hauptkammer auf atmosphärischen
Druck geflutet werden. Um dies auszuführen, wird der Programmregler auf ein Beschleunigungsventil
umgeschaltet, das Helium oder ein anderes Inertgas in die Beschleunigungskammer einströmen
läßt. Wenn die Entlüftungsphase eingeleitet wird, wird ein Ventil geöffnet, das Luft in die Hauptkammer einströmen
läßt. Da der Druck in der Hauptkammer ansteigt, steuert der Programmregler das Füllventil der
Beschleunigungskammer in einer Weise, um ein konstantes Druckgefälle von annähernd 98,1 mbar am Diaphragma
bei Füllung beider Kammern aufrechtzuerhalten. Dies entspricht der anfänglichen Evakuierungsphase
in umgekehrter Weise.
Das erfindungsgemäße Verfahren erfordert nur einen minimalen Zeitaufwand, um die Komponenten des Gasiasers
auf atmosphärischen Druck zu bringen, falls eine Wartung des Gaslasers erforderlich ist. Ebenso kann der
Gaslaser in äußerst geringer Zeit ohne das Risiko des Zerbrechens des Diaphragmas auf den Betriebsdruck
heruntergepumpt werden. Die Gefahr einer Verschmutzung der Beschleunigungskammer sowie große Zeitverluste
bei einer notwendigen Auswechselung des Diaphragmas werden vermieden.
Ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nun anhand der einzigen Figur der Zeichnung
erläutert, die ein schematisches Schaubild eines eine Beschleunigungs- und eine Hauptkammer aufweisenden
Gaslasers mit einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens darstellt.
Die Hauptkammer 10 wird über ein einen Ventilantrieb 13 aufweisendes Ventil 12 sowie ein Pumpensystem
i4 mit einem atmosphärischen EndäusläS 15 evakuiert
Die Hauptkammer 10 kann ein abdichtbares Gehäuse mit entfernbaren Endteilen oder dergleichen aufweisen,
das die notwendigen Komponenten für einen elektronenstrahlgepumpten
Gaslaser mit Elektronenstrahlstabilisierung enthält
Das gesamte Innere des Gehäuses weist den gleichen Druck, der in dem Laserstrahlbereich erforderlich ist
sowie einen Wärmeaustauscher, ein Gebläse oder Pumpen zur Zirkulation des Lasergases, Elektroden, die einen
Teil des elektrischen Pumpenkreises bilden, einen optischen Hohlraum und Kanäle auf, die ein Gasströmungssystem
oder einen Windkanal innerhalb der Hauptkammer zur Schaffung einer Gasströmung durch
den Laserstrahlbereich an dem optischen Hohlraum bilden.
Die Hauptkammer 10 kann mit einem Lasergas über ein einen Antrieb 17 aufweisendes Ventil 16 gefüllt werden.
Ein derartiges Lasergas kann in einem Verhältnis von 3:2:) von Helium : Stickstoff: Kohlendioxid oder
irgendeinem Kohlenmonoxid, Wasserdampf, Schwefeldioxid, Zyanid, Distickstoffoxid, Wasserstoff, Argon
oder eine Argonverbindung aufweisen. Am Ende eines vollständigen Verwendungszyklus kann die Hauptkammer
10 insgesamt oder teilweise durch ein geeignetes
ίο Wiederfüllinertgas über ein Ventil 18 oder alternativ in
der Weise gelüftet werden, daß se einfach über ein Ventil 18a mit der Außenluft in Verbindung gesetzt
wird, wobei jedoch der erstere Weg bevorzugt wird, da eine Entlüftung mit Inertgas eine schnellere Wiederaufnähme
des nächsten Zyklus ermöglicht und die Reinheit der i-iaupikarnrner nach anfänglicher Durchführung eines
ersten Pumpenzyklus aufrechterhält.
Eine Beschleunigungskammer 20, die eine Elektronenquelle 21 mit Elektronenbeschleunigungselementen
enthält, wird über ein einen Antrieb 23 aufweisendes Ventil 22 und ein Pumpensystem 24 mit einem Endauslaß
25 evakuiert. Am Ende des vollständigen Arbeitszyklus kann die Beschleunigungskammer 20 vollständig
oder teilweise mit einem Gas von einer geeigneten Inertgasquelle über ein einen Antrieb 27 aufweisendes
Ventil 26 gefüllt werden.
Die Hauptkammer 10 und die Beschleunigungskammer 20 sind durch ein geeignet gelagertes, dünnes Diaphragma
30, vorzugsweise durch eine Aluminiumfolie von einer Dicke zwischen 2,54 und 12,7 μσι bei nadellochfreier
Qualität, druckgasisoliert Die Aluminiumfolie 30 ermöglicht den von der Elektronenquelle 21 erzeugten
Elektronen, in die Hauptkammer 10 einzudringen.
Eine auf ein Druckgefälle ansprechende Differenzdruckzelle
32 kann einen Balg oder ein Diaphragma mit einer Kammer auf jeder Seite des letzteren aufweisen,
wobei diese Kammern mit der Hauptkammer 10 und der Beschleunigungskammer 20 verbunden sind und eine
herkömmliche balg- oder diaphragmabetätigte Stange oder eine elektrische oder pneumatische Abtasteinrichtung
(nicht dargestellt) aufweisen, um ein Ausgangssignal zu erzeugen. Als Differenzdruckzelle 32 wird eine
an sich bekannte Vorrichtung mit einer Gasquelle ge-
wählt die in Übereinstimmung mit der Druckdifferenz zwischen den beiden Eingängen der Vorrichtung regulierbar
ist Wie dargelegt wurde, werden die Eingangsdrucke über Druckleitungen zu der Hauptkammer 10
und der Beschleunigungskammer 20 angeliefert
Der Ausgang der Differenzdruckzelle 32 wird einem Programmregler 34 eingegeben, der z. B. eine herkömmliche
logische Schaltung aufweiser, kann, die durch verschiedene, für den Betrieb des Gaslasers vorgesehene
Steuerschalter betätigbar ist
Der Programmregler wird wahlweise zur Betätigung irgendeines der Ventilantriebe 13, 17, 23 und 27 auf
letzteren im Sinne einer Ventilschließung oder -öffnung geschaltet
Der Programmregler 34 schaltet die Steuerung zwisehen
vier Stellungen I, H, IH und IV. In Stellung I ist die Steuerung zu dem Antrieb 23 parallelgeschaltet, um das
Ventil 22 abzuschalten, wenn der Sollwert des Programmreglers ca. 98,1 mbar erreicht, wodurch die Evakuierungsgeschwindigkeit
der Beschleunigungskammer 20 im Verhältnis zu der der Hauptkammer 10 verlangsamt
wird In Stellung II wird das Signal zu dem Antrieb 17 abgeleitet, um das Ventil 16 zwecks Füllung der
Hauptkammer 10 auf für einen Betrieb des Gaslasers
geeigneten Druck zu öffnen oder zu schließen. Das von der Differenzdruckzelle 32 zum Programmregler 34 geleitete
Signal wird auch einem Druckschalter 100 eingegeben. Wenn der Druck einen vorbestimmten Wert erreicht,
der an den Betriebswert herankommt, wird der Druckschalter 100 betätigt, wodurch wiederum ein Relais
(nicht dargestellt) betätigt wird, das ein Gebläse 101, das einen Teil des in der Hauptkammer 10 angeordneten
Windkanals 102 aufweist, einschaltet. In Stellung III
wird die Programmsteuerung zu dem Ventil 12 über den Antrieb 13 geschaltet. Gleichzeitig wird das Ventil 16
durch ein getrenntes, nichtmodulierendes Signal geöffnet, so daß Lasergas mit konstant bemessener Geschwindigkeit
in die Hauptkammer 10 eintritt. Nun wird in letzterer der Druck durch Regulierung des Ventils 12
konstant gehalten, !n Stellung IV wird die Programmsteuerung auf das Ventil 26 über den Antrieb 27 umgeschaltet
und das Ventil 18 oder 18a ist geöffnet, wodurch Luft oder Wiederfüllgas in die Hauptkammer 10 führbar
ist.
Das Ventil 26 steuert dann die Strömung des Rückfüllgases in die Beschleunigungskammer 20 in einer
Weise, daß das Druckgefälle am Diaphragma 30 bei annähernd 98,1 mbar Druck gehalten wird, während die
Hauptkammer 10 und die Beschleunigungskammer 20 auf atmosphärischen Druck gefüllt werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
40
45
55
60
65
Claims (1)
1. Verfahren zur Betätigung eines elektronenstrahlgepumpten Gaslasers mit einer Beschleunigungskammer zur Erzeugung des Elektronenstrahls
und mit einer an diese angrenzenden Hauptkammer, die von der Beschleunigungskammer durch ein dünnes, elektronendurchlässiges sowie gasundurchlässiges Diaphragma getrennt ist. wobei das Lasermedium in und/oder durch die Hauptkammer strömt
und der Elektronenstrahl aus der Beschleunigungskammer durch das Diaphragma hindurch in die
Hauptkammer tritt, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte:
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US05/394,350 US3982200A (en) | 1973-09-04 | 1973-09-04 | Electron beam gas discharge laser pressure control |
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ID=23558579
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GB (1) | GB1448536A (de) |
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