DE2431770C3 - Elektrofotografisch es Aufzeichnungsmaterial - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial zur Herstellung von Deformationsbildern.

Aus US-PS 28 96 507 ist ein Aufzeichnungsmaterial bekannt, das eine fotoleitende Schicht und eine elastisch deformierbare Schicht einschließt, welche zwischen ein Paar Elektroden gelegt ist, wovon eine eine dünne Metallschicht ist, die über der deformierbaren Schicht liegt. Beim Betrieb wird eine bildweise aktivierende Strahlung auf das Material gerichtet, und es wird ein elektrisches Feld über die fotoleitende und die deformierbare Schicht ausgebildet wodurch bewirkt wird, daß sich diese Schichten in einer bildweisen Konfiguration deformieren. Hierdurch soll eine Bildintensivierung bewirkt werden, da das Deformationsbild dann mit einer Lichtquelle hoher Intensität und einem <jo optischen Schlierensystem abgelesen werden kann.

Vorrichtungen dieser Art sind wegen der vielen Anwendungszwecke, für die sie verwendet werden können, beispielsweise für eine Bildversiarkung, Bildlagerung etc., von großem Interesse. Naturgemäß sollten _b5 für handelsübliche Zwecke diese Vorrichtungen typischerwci.se für sehr viele Abbildungszyklen, z. B. von mindestens etwa 100 000 und vorzugsweise viel mehr.

geeignet sein. Für ein zufriedenstellendes Verhalten werden viele Anforderungen an die metallische Elektrodenschicht gestellt. Diese dünne metallische Schicht sollte gewünschterweise stark reflektierend sein, um das abgelesene Licht wirksam zu verwerten, eine gute seitliche Leitfähigkeit haben, da sie, wenn sie als eine Elektrode der Vorrichtung verwendet wird, einen Ladungsaustausch mit allen Punkten der Vorrichtung gestatten sollte, hoch flexibel sein, damit die Abbildungsdeformierungen ohne eine Behinderung bei den Betriebsbedingungen auftreten können, eine ausgezeichnete Stabilität haben, d. Iu die Abbildungseigenschaften sollten sich während der Lagerung oder unter einer wiederholten Zyklisierung nicht wesentlich verändern, und sie sollte nur geringe innere Spannungen haben, da z. B. nennenswerte Spannungen in typischer Weise dazu neigen würden, die maximale Deformation zu vermindern, und auch eine Verschiebung zu niedrigeren Raumfrequenzen vornehmen würden. Ein wichtiges Erfordernis besteht darin, daß die Metallschicht an der deformierbaren Schicht haftend sein sollte, so daß die Deformationen der Metallschicht wirksam an diejenigen der deformierbaren Schicht angekuppelt werden.

In der US-PS 28 96 507 wird nichts hinsichtlich der Materialien ausgesagt, die für die Metallschicht verwendet werden sollen. Es ist ersichtlich, daß enorme Probleme damit verbunden sind, metallische Schichten zur Verfugung zu stellen, die dazu imstande sind, den gestellten Forderungen zu genügen. So können z. B. bei solchen dünnen Schichten einige Metalle hochreflektierend, jedoch nicht genügend leitfähig sein.

Aus US-PS 37 16 359 ist ein spannungsempfindliches, lichtmodulierendes Aufzeichnungsmaterial aus einer deformierbaren Elastomerschicht bekannt, bei dem das fotoleitende Material als gesonderte Schicht vorgesehen oder in die Elastomerschicht eingearbeitet ist (siehe auch »IEEE Transactions On Electron Devices«, September 1972). Es werden verschiedene unterschiedliche Ausführungsformen beschrieben, um ein elektrisches Feld über die Elastomerschicht auszubilden.

Bei einei Ausführungsform gemäß US-PS 37 16 359 wird auf der Oberfläche der Elastomerschicht eine dünne flexible Metallschicht vorgesehen, die als eine Elektrode der Vorrichtung wirkt. Dadurch wird ein ausgezeichnetes Verhalten für viele Abbildungszyklen erzielt, da unter anderem die flexible Metallschicht den daran gestellten strengen Erfordernissen genügen kann. Dabei werden Metallschichten gebildet, die eine Vielzahl von unterschiedlichen Metallen enthalten. Die bevorzugte Metallzusammensetzung umfaßt Gold und Indium. Es wird auch beschrieben, daß zu diesen Schichten weitere Materialien gegeben werden können, um besondere Eigenschaften zu verstärken oder zu unterdrücken. Es werden auch verschiedene Techniken beschrieben, um die Metallschicht auf der Elastomerschicht zu bilden, z. B. durch Vakuumeindampfung.

Aus der GB-PS 11 32 738 ist ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial bekannt, aus einer auf einem Träger befindlichen Schicht eines thermoplastischen Materials, dessen Oberfläche wärmeverformbar ist, unter dem Einfluß eines elektrischen Feldes. Die wärmeverformbare Schicht ist überschichtet mit einem anorganischen Material einer Dicke von 10 Ä und 300 A, die durch Dampfabscheidung aufgetragen wurde. Diese Schicht kann beispielsweise aus Zinn, Indium, Silber oder Zinksulfid bestehen.

Obwohl die elektrofotografischen Aufzeichniings-

materialien des Standes der Technik häufig schon ausgezeichnete Ergebnisse liefern, sind sie doch noch verbesserungsfähig. Dies gilt insbesondere hinsichtlich aer wirksamen Lebensdauer der verwendeten Metallschicht, dem Kontrastverhältnis, welches eine wichtige kritische Eigenschaft eines Aufzeichnungsmaterials darstellt, und der Zahl der möglichen Abbildungszyklen, die erreicht werden sollen, ohne daß d^s Kontrastverhältnis mit Zunahme der Abbildungszyklen sich wesentlich verändert oder stark abfällt.

Aufgabe der Erfindung ist es darum, ein elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial zur Herstellung von Deformationsbildern zur Verfugung zu stellen, bei dem die vorerwähnten Kriterien und Eigenschaften in Kombination erfüllt und zum Teil verbessert sind.

Die Erfindung wird in den Patentansprüchen beschrieben. Das wesentliche Merkmal der Erfindung ist es, daß die flexible Metallschicht neben Silber noch Titan enthält

Ziel der Erfindung ist es, neue elektrooptische Aufzeichnungsmaterialien zur Verfügung zu stellen.

Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 eine teilweise schematische Querschnittsansicht eines erfindungsgemäßen elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials,

F i g. 2 eine logarithmische grafische Darstellung, die das Kontrastverhältnis gegen die Anzahl der Abbildungszyklen bei einem erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterial und einem Aufzeichnungsmaterial gemaß dem Stand der Technik zeigt,

F i g. 3 eine logarithmische grafische Darstellung, die das Kontrastverhältnis gegen die Anzahl der Abbildungszyklen für die gleichen Teile wie in F i g. 2 zeigt, wobei jedoch während der Abbildung eine unterschiedliehe Polarität des Feldes angewendet wird,

F i g. 4 eine halblogarithmische grafische Darstellung, die die Beugungsleistung gegen die Anzahl der Abbildungszyklen bei den gleichen Teilen zeigt, die dazu verwendet worden sind, um die in F i g. 2 dargestellten Ergebnisse zu erhalten,

F i g. 5 eine halblogarithmische grafische Darstellung, die die Beugungsleistung gegen die Anzahl der Abbildungszyklen bei den gleichen Aufzeichnungsmaterialien und -bedingungen zeigt, die verwendet worden sind, um die Ergebnisse der F i g. 3 zu erhalten, und

Fig.6 eine teilweise schematische Querschnittsansicht einer Ausführungsform eines elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials gemäß der Erfindung.

Die Fig. 1 zeigt eine teilweise schematische Querschnittsansicht eines elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials, das allgemein als 10 bezeichnet wird, wobei ein im wesentlichen transparentes Trägersubstrat 12 und eine im wesentlichen transparente !eitfähige Schicht 14 eine im wesentlichen transparente Elektrode bilden. Es sollte beachtet werden, daß die Elektrode nicht transparent zu sein braucht. Sie kann auch, je nach der Art und Weise wie das Abbildungsteil 10 verwendet wird, opak sein. Die überliegende leitende Schicht 14 ist eine Schicht aus einem fotoleitenden isolierenden Material 16, die ihrerseits die deformierbare Elastomerschicht 18 trägt. Bei einer weiteren Ausführungsform kann das fotoleitende isolierende Material in die deformierbare Elastomerschicht 18 eingearbeitet werden, wodurch die Notwendigkeit für eine Schicht 16 entfällt. Die übcrliegende Elastomerschicht 18 ist eine dünne, flexible, leitfähige Metallschicht 20, die als zweite Elektrode für das Aufzeichnungsmaterial dient. Die Elektroden sind durch Leitungen 24 an eine Potentialquelle 22 angeschlossen. Die Potentialquelle 22 kann z. B. eine Wechselstromquelle, eine Gleichstromquelle oder eine Kombination daraus sein. Der äußere -, elektrische Stromkreis kann auch geeignete (nicht gezeigte) Schaltereinrichtungen enthalten.

Gerräß einer Ausführungsform der Erfindung sind das Substrat 12 und die leitfähige Schicht 14 nicht erforderlich, wenn das elektrische Feld mittels einer

in Koronaaufladung ausgebildet wird. So kann z.B. das Feld nach der Doppelseiten-Koronaaufladungstechnik aufgebracht werden, bei der eine Koronaaufladungsvorrichtung an jeder Seite des Aufzeichnungsmaterials angeordnet ist, oder es kann alternativ eine Seite des

Ii Aufzeichnungsmaterials koronabeladen werden, während die andere Seite geerdet ist. Naturgemäß ist es auch niöglich, ein Substrat in dem Aufzeichnungsmaterial zu haben, wenn das Feld in dieser Weise ausgebildet wird. In diesem Falle braucht es nicht seitlich leitfähig zu sein.

Beim Betrieb des Aufzeichnungsmaterials 10 wird ein elektrisches Feld über die fotoleitende Schicht 16 und die Elastomerschicht 18 ausgebildet, indem ein Potential von der Quelle 22 zu den Elektroden angelegt wird. Mit dem elektrischen Feld wird ein bildweises Muster einer aktivierenden elektromagnetischen Strahlung auf das Aufzeichnungsmaterial gerichtet. Das elektrische Feld induziert einen Ladungsfluß in den Gegenden der fotoleitenden Schicht 16, die der Strahlung ausgesetzt

ω sind, wodurch das Feld über die Elastomerschicht 18 variiert. Die mechanische Kraft des elektrischen Feldes bewirkt, daß sich die Elastomerschicht in einem Muster deformiert, das der bildweisen aktivierenden Strahlung entspricht. Die leitende Metallschicht 20 ist genügend flexibel, um den Deformationen der Elastomerschicht 18 zu folgen.

Naturgemäß muß die aktivierende elektromagnetische Strahlung die fotoleitfähige isolierende Schicht 16 erreichen. Wenn die flexible leitfähige Metallschicht 20 opak bzw. trüb ist, dann müssen das Trägersubstrat 12 und die leitfähige Schicht 14 transparent sein, damit die Bildinformation die fotoleitfähige Schicht 16 erreicht. In diesem Falle kann die Bildinformation kontinuierlich abgelesen werden, wenn das Ableselicht von dem Aufzeichnungsmaterial 10 einfällt. Wenn die Metallschicht 20 transparent ist, dann kann die Ablesestrahlung von ihrer Oberfläche reflektiert werden, oder das Aufzeichnungsmaterial 10 kann in Transilluminierung abgelesen werden, vorausgesetzt, daß das Substrat 12 und die leitende Schicht 14 transparent sind.

Die Elektrode kann aus einer einzigen Schicht eines leitfähigen Materials bestehen, oder sie kann, wie in F i g. 1 gezeigt wird, eine transparente leitfähige Schicht enthalten, die auf einem geeigneten Trägersubstrat, z. B.

Glas oder Kunststoff, angeordnet ist. Typische geeignete transparente leitfähige Schichten schließen kontinuierlich leitfähige Überzüge von Leitern, wie Zinn, Indiumoxid, Aluminium, Chrom, Zinnoxid oder einem anderen geeigneten Leiter, ein. Diese im wesentlichen

bo transparenten leitfähigen Überzüge werden typischerweise auf das stärker isolierende transparente Substrat aufgedampft. Ein zinnoxidbeschichtetes Glas, ist ein Beispiel für eine typische transparente leitfähige Schicht, die auf ein transparentes Substrat aufgezogen

b5 ist.

Für die Schicht 16 kann jedes beliebige typische geeignete fotoleitende isolierende Material verwendet werden. Typische geeignete fotoleitende isolierende

Materialien sind /.. B. Selen. Poly-n-vin\lcarbazol (PVK). Poly-n-vinvlcarba/ol. dotiert mit Sensibilisatoren, wie Brillantgrün. Phthalocyanin und 2.4.7-Trinitro-9-fluorenon (TNI-). Cadmiumsulfid. Cadmiumselcnid, Zinkoxid. Schwefel, Antracen und Tellur. Darüber hinaus kann die fotoleitende Schicht 16 ein feingemahlenes foioleitendes isolierendes Material enthalten, das in einem Bindemittel mit hohem elektrischem Widerstand, wie es /. B. in der US-PS 31 21 006 beschrieben wird, oder in einem anorganischen fotoleitenden isolierenden Material, wie es z. B. in der US-PS 31 21 007 beschrieben wird, oder in einem organischen Fotoleiter, wie Phthalocyanin, in einem Bindemittel dispergiert ist. Allgemein kann jedes beliebige fotoleitende isolierende Material oder jede entsprechende Zusammensetzung für die Schicht !6 verwendet werden.

Die Dicke der fotoleitenden Schicht 16 liegt typischerweise im Bereich von etwa 0.1 bis 200 μητ oder mehr, wobei die Dicke der Schicht im Einzelfall unter anderem stark von der Raumfrequenz der aufzuzeichnenden Information abhängt. Die fotoleitende Schicht kann auf dem Substrat 14 durch jede beliebige der bekannten Methoden gebildet werden, die dem Fachmann bekannt sind. z. B. durch Vakuumaufdampfen. Tauchbeschichten aus einer Lösung etc.

Die deformierbare Schicht 18 kann aus jedem beliebigem geeignetem Elastomermaterial bestehen. Typische geeignete elastomere weiche feste Materialien für die erfindungsgemäßen Aufzeichnungsvorrichtungen schließen sowohl natürliche (z. B. Naturkautschuk) als auch synthetische Polymere mit kautschukartigen Eigenschaften, d. h. solche, die elastisch sind. ein. Beispiele hierfür sind Styrol/Butadien-. Polybutadien-. Neopren·. Butyl-, Polyisopren. Nitri!-. Urethan- und Äthylenkautschuke. Eine bevorzugte Klasse von Elastomermaterialien schließt Gelatinegele auf Wasserbasis und Dimethylpolysiloxangele ein. Die Elastomere sollten im allgemeinen einigermaßen gute Isolatoren sein und typischerweise Volumenwiderstände von oberhalb etwa 10⁴ Ohm-cm und Schermoduls von etwa 10 bis 10* d\n/cm² sowie dielektrische Festigkeiten von oberhalb etwa 10 V/mii haben. Vorzugsweise haben die Elastomeren Volumen«, iderstände von mehr als etwa 10'^J Ohm-cm. Schermoduls von etwa 10^: bis etwa 10⁵ dyn/cm-" und dielektrische Festigkeiten vor. mehr als etwa SOOVmil. Es werden Elastomere mit höherem Volumenwiderstand bevorzugt, da diese typischer« eise eine ausgedehnte Bildlagerungsfähigkeit ergeben. Elastomere mit relativ hoher dielektrischer Festigkeit werder, bevorzugt, da diese es typischerweise gestatten, daß die Vorrichtungen bei relativ hohen Spannungsw erten betrieben werden, was wünschenswert ist.

Ein besonders bevorzugtes Elastomer ist eine transparente, sehr nachgiebige Zusammensetzung, die ein elastomere* Dimethyipolysiloxangel enthält das durch Stufen hergestellt wird die die Kombinierung von etwa 1 Gewichtsteil Silikonharz-Komponente, etw a 0.1 Gewichtsteil Härter und etwa 0 bis 30 Gewichtsteilen Dimethylpolysiloxansilikonö! einschließen. Andere geeignete Harze schließen transparente flexible Organosiloxanharze des in der US-PS 32 84 406 beschriebenen Typs ein, bei denen ein Hauptteil der organischen Gruppen, die an das Silizium angefügt sind, Methylradikale sind.

Die Dicke der Elastomerschicht 18 liegt typischerweise im Bereich von etwa 0.1 bis etwa 2OO0 _um, was unter anderem von der Raumfrequenz der aufzeichnenden Information abhängt. Verschiedene optische Eigen

schaften des Auf/eichnungsmatcrials können durch geeignete Auswahl des F.lasti/ilätsmoduls des jeweiligen F.histomermaterials gesteigert werden. So erholt sich /. B. ein relativ steiferes Elastomeres typischerweise ratcher von einem Bild, wenn das elektrische Feld entfernt wird, so daß es rascher gelöscht werden kann. Andererseits ist in typischer Weise ein Elasiomermaterial, das einen relativ niedrigen Elastizitätsmodul besitzt. für größere Deformationen geeignet, so daß für einen gegebenen Wert des elektrischen Feldes eine größere optische Modulation erzielt wird. Das Elastomermaterial kann auf die fotoleitendc Schicht 16 als Monomercs aufgeschichtet werden und in situ polymerisiert werden, oder es kann auf die Oberfläche des Fotoleiters aus Lösungen in flüchtigen Lösungsmitteln aufgeschichtet werden, die abdampfen und eine dünne gleichförmige Schicht zurücklassen. Die Elastomerschicht kann auch durch Spinnbeschichtungstechniken gebildet werden.

Eine dünne Elastomerschicht hat nur bei einer begrenzten Bandbreite von Raumfrequenzen eine annehmbare elastische Deformation. Die Ansprechbarkeit außerhalb dieser Bandbreite ist geringer als optimal. Nach einer bevorzugten Ausführungsform kann die Raumfrequenzansprechbarkeit des Elastomeren erweitert werden oder mit vielen Maxima versehen werden, indem die einzige Elastomerschicht durch eine vielschichtige Vorrichtung gemäß F i g. 6 ersetzt wird. ]ede dieser Schichten 30, 32 und 34 hat eine unterschiedliche begrenzte Raumfrequenzansprechbarkeit. doch hat die Kombination der Schichten eine breite oder mit vielen Maxima versehene Raumfrequenzansprechbarkeit. Allgemein wird die dickste Schicht 30 am engsten an den Fotoleiter gebracht, und die dünnste Schicht 34 weist die deformierbare Oberfläche auf. Zwei oder mehrere von solchen Schichten können gewünschtenfalls verwendet werden. Wie bereits beschrieben, kann auch jede dieser Schichten fotoleitfähig sein, wodurch die Notwendigkeit für einen getrennten Fotoleiter eliminiert wird und wobei in manchen Fällen die Auflösung der Vorrichtung gesteigert wird.

Zusätzlich zur Kontrolle der Dicke der Elastomersehicht. um die Raumfrequenzansprechbarkeit bzw. -beantwortung für eine gegebene Raumfrequenzbandbreite auf ein Maximum zu bringen, sollte auch der Elastizitätsmodul kontrolliert werden, um Deformationen zu erhalten, die mit der Raumfrequenzbandbreite im Einklang stehen. Materialien mit niedrigerem Elastizitätsmodul sind dazu imstande, größere elastische Deformationen zu haben. Andererseits können Materialien mit höherem Elastizitätsmodul rascher gelöscht werden.

Die flexible leitfähige Schicht 20 muß genügend flexibel sein, daß sie den Deformationen der Elastomerschicht 18 folgt. Dazu sollte, wie bereits zum Ausdruck gebracht wurde, die leitfähige Schicht 20 zur Erzielung eines zufriedenstellenden Verhaltens gewünschterweise hochreflektierend sein, eine gute Seitenleitfähigkeit besitzen, eine ausgezeichnete Stabilität haben, geringe innere Spannungen aufweisen und an der Elastomerschicht 18 stark haften.

Da die Schicht 20 typischerweise trüb ist, werden nach einer Ausführungsform der Erfindung, das Substrat 12 und die leitfähige Schicht 14 transparent ausgestaltet, damit die Bildinformation die fotoleitfähige Schicht 16 erreichen kann. Naturgemäß können weitere Materialien zu der Schicht gegeben werden, um bestimmte Eigenschaften zu verstärken oder zu unterdrücken. Materialien, wie Gold und/oder Indium und dergleichen.

können in die flexible leitfähige Schicht eingearbeitet werden, um Kigenschaften, wie die Spektralreflexion, /u steigern oder Ligenschaftcn. wie die Streuung, zu vermindern und um innere Spannungen zu vermindern. Die Dicke der flexiblen leilfähigcn Schicht 20 liegt typischerweise im Bereich von etwa 100Ä bis etwa mehreren tausend Ä-Einheitcn was unter anderem von der gewünschten Flexibilität und der erforderlichen Leitfähigkeit abhängt. Im Falle, daß eine optische Isolierung zwischen der Einlese- und Auslesebeleuchtung gewünscht wird (die Bildinformation wird durch das Substrat eingelesen und das Abbildungsteil wird durch Reflexion herausgelesen), wird eine optische Dichte von etwa 6 in typischer Weise für die Titan-Silber-Schicht bevorzugt. Wenn eine Isolierung zwischen der Einlese- und Auslesebeleuchtung nicht erforderlich ist, dann wurden in typischer Weise Schichten mit einer optischen Dichte von etwa 2 zufriedenstellend sein.

Die flexible leitfähige Schicht 20 kann durch verschiedene Techniken gebildet werden, wie chemische Umsetzungen, Ausfällungen aus einer Lösung, Elektrophoresen, Elektrolysen, stromloses Galvanisieren, Dampfabscheiden und andere Methoden. Es wird bevorzugt, die erfindungsgemäßen flexiblen leitfähigen Titan-Silber-Schichten durch Dampfabscheidung zu bilden. Naturgemäß ist es bekannt, daß dampfabgeschiedene Metallschichten beim Abkühlen zum Schrumpfen, d. h. zum Zusammenziehen, neigen und daß bei einem gewissen thermoenergetischen Zustand die Metallschicht dazu neigen kann, aufzubrechen oder Risse zu bilden, wodurch die Schicht diskontinuierlich wird. Dieses Aufbrechen der Metallschicht wird üblicherweise als »Schlammrißbildung« bezeichnet, da Schlammrisse das Aussehen von solchen Schichten nach dem Schrumpfen beschreiben. Dieses Problem kann bei der Bildung der flexiblen leitfähigen Schicht 20 vermieden werden, indem das zweite Metall über dem ersten dampfabgeschiedenen Metall dampfabgeschieden wird, bevor bei dem ersten Metall eine Schlammrißbildung erfolgt ist. Alternativ können die zwei Metalle auch gleichzeitig dampfabgeschieden werden. Obgleich das Titan und das Silber in jeder beliebigen Reihenfolge abgeschieden werden können, wird es doch bevorzugt, das Titan zuerst abzuscheiden. Die hierdurch gebildete flexible leitfähige Titan-Silber-Schicht ist eine hochreflektierende kontinuierliche Schicht, die die erforderlichen Eigenschaften zeigt und die doch über einen weiten Temperaturbereich, z. B. bis zu etwa 100° C oder mehr, keine Schlammrißbildung zeigt. Die Schicht kann Teile enthalten, bei denen die zwei Metalle (oder andere geeignete Materialien) aufeinandergeschichtet sind. Teile, bei denen die zwei Metalle makroskopisch sowie mikroskopisch (z. B. unter Bildung einer Legierung) vermengt sind, und schließlich Teile, wo die zwei Metalle Seite an Seite vorliegen.

Man kann die Metalle auf das Elastomere in aufeinanderfolgender Reihenschichtweise aufdampfen, z. B. zuerst Titan, dann Silber, dann Titan, dann Silber etc., wobei die Anzahl der Schichten in erster Linie durch die gewünschte Trübung bestimmt wird.

Zur größeren Genauigkeit und Einfachheit wird hierin die Dicke der Metallschichten anhand der Frequen/.veränderung bezeichnet. Die Messungen erfolgen mit einem 5-MHz-Sloan-Stärkemonitor, der die Abscheidungsdicke mit der Frequenzveränderung in einem resoniercnden Quarzsystem in Beziehung bringt. Im Prinzip kann die Frequenzveränderung Af durch

ι« folgende Gleichungen in Dickeeinheiten umgewandelt werden:

und

15

fr« = 0.278 4A
/«, = 0,190 4Λ

Wenn Af in Hz ausgedrückt wird, dann gibt t Ä ein. Bei diesen Gleichungen wird angenommen, daß das abgeschiedene Material eine Dichte aufweist, die dem Massenmaterial gleich ist. Diese Annahme ist selten richtig, wenn das Substrat (in diesem Falle das Elastomere) ein relativ weiches Material ist. In diesen Fällen kann die wirkliche Dichte zwei- oder dreimal kleiner als die Massendichte sein, so daß die durch die obigen Gleichungen ermittelten Dickewerte um ungefähr den gleichen Faktor zu niedrig sind. Somit wird es aufgrund der Unsicherheit der Beschichtungsdichte bevorzugt, die Metallschichtdicke anhand der Frequenzveränderung anzugeben.

Es wurde gefunden, daß sowohl die Titan- als auch die Silberabscheidungen genügend dick sein sollten, daß eine angemessene elektrische Leitfähigkeit gewährleistet wird. Typischerweise sind mindestens ungefähr 50 Hz Titan und etwa 2 bis 3 kHz Silber erforderlich, um die gewünschte Schicht zu bilden. Es wird erneut festgestellt, daß es für eine gesteigerte Reflexion in der flexiblen leitfähigen Metallschicht von Vorteil ist, die Schicht in mindestens zwei Stufen mit einem Zeitraum von wenigen min zwischen den Stufen zu bilden. Eine typische Metallschicht aus Titan und Silber würde nach folgendem Muster gebildet: 50 HzTi, 1 kHz Ag, 1,7 kHz Ag, wobei diese Sequenz dreimal wiederholt wird.'

Es muß ein angemessenes Vakuum verwendet werden, um die Metalle zur Bildung der flexiblen leitfähigen Schicht zu verdampfen. Vakuumwerte von etwa 10-⁵ Torr und darunter sind in typischer Weise annehmbar. Die Metalle sollten vorzugsweise mit einer solch hohen Geschwindigkeit wie möglich abgeschieden werden. Weiterhin wurde gefunden, daß die Aufrechterhaltung des Substrats bei Raumtemperatur oder

geringfügig darüber während der Abscheidung der

Metalle typischerweise eine längerhaltende, qualitativ

hochwertigere Metallschicht ergibt

Das erfindungsgemäße Aufzeichnungsmaterial, das die flexiblen Titan-Silber-MetaMschicfaten enthält, ermöglicht eine große Anzahl von Abbildungszyklen, wie aus F i g. 2 hervorgeht.

Das Kontrastverhältnis der Abbildungsteile wird durch folgenden Ausdruck gegeben:

Kontrastverhältnis = Beugungswirksamkeit bei einer angegebenen

Spannung and Belichtung Beugungswirksamkeit bei der Spannung Null

Die Aufzeichnungsmaterialien, mit denen die angege- 65 Glaselektrode mit einer aktiven Fläche von etwa

benen Ergebnisse der Fig.2 erhalten worden waren, 5,08 cm χ5,08 cm abgeschieden. Eine fotolehfähige

wurden wie folgt hergestellt: Ein 40-Linienpaar/mnn- Zusammensetzung wurde hergestellt indem 78 g

Chromsieb wurde auf der leitfähigen Oberfläche einer Poly-n-vinylcarbazol in etwa 1200 cm³ Tetrahydrofuran

aufgelöst wurden und indem danach 52 g 2,4,7-Trinitro-9-fluorenon zugesetzt wurden und über Nacht gerührt wurde.

Die Lösung hatte eine Viskosität von etwa 100 cps. Eine ungefähr 4,1 μιη dicke Schicht der fotoleitfähigen Zusammensetzung wurde über dem Raster durch Tauchbeschichlen gebildet, und das Teil wurde etwa 20 h bei einer Temperatur von etwa 110⁰C gebacken. Eine Elaslomerzusammensetzung wurde gebildet, die etwa 2 Gewichtsteile Elastomcrhar/, etwa 0,2 Gewichtsteile Härtungsmittel und etwa 2,2 Gewichtsteile Diniethylpolysiloxansilikonöl enthielt. Die Elastomerzusammensetzung wurde in Isooctan im Gewichtsverhältnis von etwa 3 : 2 aufgelöst, und auf der fotoleitfähigen Schicht wurde durch Tauchbeschichten eine ungefähr 6,7 μ dicke Schicht des Elastomeren gebildet. Das Teil wurde sodann etwa 20 Ii bei etwa 110°C gebacken, urn das Elastomere zu härten. Das Aufzeichnungsmaterial wurde sodann mit der Bildung einer Titan-Silber-Schicht mit einem Durchmesser von 1,27 cm und einer Gold-Indium-Chrom-Schicht mit einem Durchmesser von 1,27 cm auf der Oberfläche der Elastomerschicht vervollständigt, indem die Metalle in einer Vakuumaufdampfkammer unter einem Vakuum von etwa 10-^bTorr vakuumaufgedampft wurden (das Titan wurde mit einer Geschwindigkeit von mehr als 1 Hz/sec und das Silber, Gold und Indium mit einer Geschwindigkeit von mehr als IO Hz/sec aufgedampft). Die Titan-Silber-Schicht wurde nach dem folgenden Muster abgeschieden: 50 Hz Ti, 1 kHz Ag, 1,7 kHz Ag, wobei diese Sequenz dreimal wiederholt wurde. Die Gold-Indium-Chrom-Schicht wurde wie folgt abgeschieden: 1,5 kHz Au, 0,5 kHz In, 3 kHz Au, 1 kHz In, 150 Hz Cr. 3 kHz Au, 1 kHz In. 150 Hz Cr, 1,5 kHz Au, 0,5 kHz In, 1.5kHzAu,0,5kHzIn.

An die Elektroden der Aufzeichnungsmaterialien und an eine Gleichstromquelle für eine Abgabe von etwa 400 V wurden Kontaktdrähte angebracht, wobei das leitfähige Glas das negative Ende war. Die Aufzeichnungsmaterialien wurden sodann in einem zyklischen Betriebsmodus in Betrieb genommen, wobei jeder Zyklus etwa 5 see in Anspruch nahm. Jeder Abbildungszyklus umfaßte die folgenden Stufen: Anlegung einer Spannung an das Aufzeichnungsmaterial im Dunkeln, Aussetzen nach etwa 1 see des Aufzeichnungsmaterials an eine gleichförmige Strahlung, die durch ein 6-V-Batterielicht erzeugt wurde und durch ein diffuses Sieb projiziert wurde (wobei das Ableselicht während dieser Zeit nicht an war). Aussetzen des Aufzeichnungsmaterials nach etwa 1 see und immer noch unter Einschaltung des Eingabelichtes einer gleichförmigen Ablesebeleuchtung eines 6-V-BatterieIichtes, Sammlung der Ablesebeieuchtung mittels eines Schlieren-Ablesesystems und Projektion auf ein Sieb, Kurzschließung nach etwa 3 see vom Beginn des Zyklus des Aufzeichnungsmaterials durch Verbindung der Drähte miteinander, während die Eingabe- und die Ablesebeleuchtung immer noch auf das Teil gerichtet waren und etwa 5 see nach Beginn des Zyklus Abschalten der Eingabe- und Ableselichter und Wiederholung der Sequenz.

Die in Fig.2 dargestellten Kurven zeigen die Messungen, bei denen das Glas an die positive Klemme angeschlossen war. Die Fi g. 3 zeigt die Messungen, wo das Glas an die negative Klemme angeschlossen war. Die Messungen wurden mit dem licht von 6328 Ä von He-Ne-Lasern durchgeführt Zum Einlesen bzw. Eingeben wurde ein Spectra Physics-Stabflite TM-Modell 120 verwendet Zum Auslesen bzw. Ablesen wurde ein Spectra Physics Modell 132 eingesetzt. Die Reihenfolge der Stufen, die zur Durchführung der Messungen angewendet wurde, war ähnlich der oben beschriebenen, mit der Ausnahme, daß die Auslese- bzw. Ablesebeieuchtung auf das Aufzeichnungsmaterial durch die gesamte Sequenz hindurchgerichtet wurde. Die Eingabe- bzw. Einlesestrahlung wurde so eingestellt, daß eine maximale Beugungswirksamkeit durch Betätigen eines Verschlusses erzielt wurde. Die Beugungswirksamkeit wurde gemessen, indem der gebeugte Strahl der Nullordnung herausgehalten wurde und indem alle anderen gebeugten Ordnungen auf einem Solar-Zellendetektor fokusiert wurden. Der Nullspannungswert wurde durch die gleiche Reihenfol ge von Stufen gemessen mit der Ausnahme, daß auf das Abbildungsteil keine Spannung angelegt wurde und daß auf das Teil keine Eingabebeleuchtung gerichtet wurde. Es sollte beachtet werden, daß die in den Figuren gezeigten Messungen, die das Kontrastverhältnis und die Beugungswirksamkeit zeigen, Spitzenwerte für die gegebenen Testbedingungen darstellen.

Die in Fig.2 wiedergegebenen Ergebnisse zeigen überraschende und unerwartete signifikant verbesserte Charakteristika der Titan-Silber-Metallschicht. Es wird ersichtlich, daß das Kontrastverhältnis für das Aufzeichnungsmaterial mit der Titan-Silber-Schicht am Anfang signifikant höher ist als für das Teil mit der Gold-Indium-Chrom-Schicht. Weiterhin wird ersichtlich, daß das Kontrastverhältnis für das Titan-Silber Teil über einen Bereich von mehr als 1 000 000 Abbildungszyklen sich nur geringfügig vermindert. Es wird auch ersichtlich, daß das Kontrastverhältnis des GoId-Indium-Chrom-Teils am Anfang bis zu etwa 200 000 Abbildungszyklen mit niedriger Geschwindigkeit ab-

ji nimmt und sodann rasch abfällt. Dies weist darauf hin, daß die Gold-Indium-Chrom-Metallschicht einer »Kaltarbeit« unterworfen wird, d. h, daß sich eine permanente Deformation in der Schicht während des Gebrauchs ausbildet, welche eine signifikante große Veränderung der Ausleseoptik erfordert, um den Bildkontrast aufrechtzuerhalten. Das Titan-Silber-Aufzeichnungsmaterial zeigt nur eine sehr geringe Abnahme im Kontrastverhältnis über einen Bereich von mehr als 1 000 000 Zyklen, was beweist daß dieses Metallschicht system keine signifikante Kaltarbeit zeigt. Naturgemäß ist auch das Gold-lndium-Chrom-Aufzeichnungsmaterial eine hoch zufriedenstellende Vorrichtung, was sich aus der Tatsache ergibt, daß sie über 200 000 Abbildungszyklen ausgezeichnete Ergebnisse liefert Nichtsdestoweniger zeigen die Vergleichsergebnisse das signifikant überlegene Kontrastverhältnis für das Titan-Silber-Aufzeichnungsmaterial. Die Fig.3 zeigt das Kontrastverhältnis gegen die Anzahl der Abbildungszyklenkurven für die gleichen zwei Aufzeich- nungsmaterialien, die bei den Ergebnissen der F i g. 2 verwendet wurden, mit der Ausnahme, daß bei diesen Versuchen die Glaselektrode die negative Elektrode war. Ähnliche Ergebnisse wurden erhalten, was darauf hinweist, daß die Kontrastverhältniseigenschaften die ser Aufzeichnungsmaterialien im wesentlichen von der Polarität des elektrischen Feldes unabhängig sind.

Die Fig.4 ist eine halblogarithmische grafische Darstellung der Beugungswirksamkeit gegen die Anzahl der Abbildungszyklen für die gleichen Aufzeich- nungsmaterialien und bei den gleichen Betriebsbedingungen wie bei den Ergebnissen der Fig.2. Es wird ersichtlich, daß am Anfang die Beugungswirksamkeit für das Gold-Indium-Chrom-Aufzeichmingsmaterial germ-

ger ist als diejenige für das Titan-Silber-Aufzeichnungsmaterial, daß aber nach etwa 500 000 Abbildungszyklen die Werte für beide etwa die gleichen waren und daß sodann die Beugungswirksamkeit für das erstere höher war als für das letztere. Es wird natürlich ohne weiteres ersichtlich, daß die Beugungswirksamkeit für das Titan-Silber-Aufzeichnungsmaterial tatsächlich hoch zufriedenstellend ist und daß sie geringfügig mit zunehmender Anzahl der Abbildungszyklen zunimmt. Die Fig.5 zeigt die Beugungswirksamkeit gegen die Anzahl der Abbildungszyklen für die gleichen Aufzcichnungsmatcrialicn und für die gleichen Betriebsbedingungen wie bei den Ergebnissen der F i g. 3. Ähnliche Ergebnisse wurden erhalten, was darauf hinweist, daß die Beugungswirksamkeitseigenschaften dieser Auf-Zeichnungsmaterialien im wesentlichen von der Polarität des elektrischen Feldes unabhängig sind.

Es sollte beachtet werden, daß ähnliche Ergebnisse. wie in den F i g. 2 bis 5 dargestellt, erhalten worden sind, als Tests mit Aufzeichnungsmaterialien durchgeführt wurden, die nicht bebildert wurden, sondern die nur lediglich eine Anzahl von Tagen, z. B. bis zu etwa 50 Tagen lang, stehengelassen wurden.

Es sollte beachtet werden, daß das Kontrastverhältnis, das ein Aufzeichnungsmaterial ergeben kann, eine extrem wichtige und kritische Eigenschaft eines Aufzeichnungsmaterials darstellt. Das Kontrastverhältnis ist ein Vergleich des Aussehens der Bild- und Hintergrundflächen, und es zeigt die visuelle Ausgeprägtheit der Bildgegenden gegenüber den Hintergrundgegenden an. Wenn das Kontrastverhältnis 1 ist, dann kann kein Bild aufgenommen werden, da die BiId- und Hintergrundgegenden gleich hell sein würden. Für eine annehmbare Abbildung ist ein Kontrastverhältnis von 5 oder mehr in typischer Weise erforderlich. Vergleiche z. B. »Fundamentals of Display System Design«, S. Sherr, Wiley-lnterscience-1970, Wiley and Sons, Ina Die Beugungswirksamkeit ist ein Maß für die Wirksamkeit des Aufzeichnungsmaterials zur Erzeugung von Bildgegenden, d. h. wie wirksam die Auslesebeleuchtung durch das Teil verwertet wird. Ein Teil kann jedoch eine gute Beugungswirksamkeit besitzen, jedoch keine sehr guten Bilder liefern. Wenn z. B. eine permanente Deformation in dem Aufzeichnungsmaterial über eine Anzahl von Abbildungszyklen ausgebildet wird, mit dem Ergebnis, daß die Hintergrund- oder Nullspannungswirksamkeit signifikant hoch wird, dann sind selbst sehr hohe Beugungswirksamkeiten nicht dazu imstande, den Mangel an Kontrastverhältnis zu überwinden. Anders ausgedrückt bedeutet dies, daß, wenn die Wirksamkeit in den Hintergrundgegenden sich an die maximale Wirksamkeit anzunähern beginnt, die in den Bildgegenden möglich ist, dann kein scharfes beobachtbares Bild durch das Aufzeichnungsmaterial gegeben werden kann. Daher stellen die signifikant überlegenen Kontrastverhältniseigenschaften, die die neuen erfmdungsgemäßen Aufzeichnungsmaterialien haben, einen erheblichen technischen Fortschritt dar.

Es ist gefunden, daB die wirksame Lebensdauer der Titan-Silber-Metallschichten unabhängig von dem jeweils verwendeten Fotoleiter ist Jedoch kann die Lagerungszeit dieser Aufzeichnungsmaterialien vermindert werden, wenn als Fotoleiter Selen oder eine Selenlegierung verwendet wird. Es ist beobachtet worden, daß die Metallschicht in diesem Fall die Neigung aufweist, fortschreitend trüber zu werden, was offenbar auf eine chemische Umsetzung des Selens mit dem Silber zurückzuführen ist. In diesem Falle können Schrankenschichten, z. B. Gold-Indium-Unterlageschichten, dazu verwendet werden, um das Silber von dem Selen zu isolieren, wodurch die Gebrauchsdauer der Titan-Silber-Metallschicht stark verbessert wird.

Auf der flexiblen leitfähigen Schicht 20 kann eine optisch transparente Schicht 26 aus einer isolierenden Flüssigkeit, z. B. Öl, angeordnet werden. Mit der Verwendung der Schicht 2G ist eine Anzahl von Vorteilen verbunden. Die isolierende Flüssigkeitsschicht übt eine wichtige Funktion aus, wenn sie einen Brechungsindex hat, der sich von demjenigen der Luft unterscheidet. Die Gegenwart der Schicht 26 über der flexiblen leitfähigen Schicht 20 bedeutet, daß das Licht, das von oberhalb des Teils fortschreitet, stärker moduliert wird, als es der Fall wäre, wenn nur Luft vorhanden wäre. Der Grund hierfür ist darin zu sehen, daß für das gleiche Ausmaß der Oberflächendeformation die optischen Wegveränderungen proportional zu dem Brechungsindex des Mediums sind, das an die Oberfläche angrenzt. Als Ergebnis wäre es, wenn es gewünscht würde, die gleiche Modulation aufrechtzuerhalten, wie sie durch eine Vorrichtung ohne Schicht 26 zur Verfügung gestellt wird, möglich, dieses bei niedrigeren Spannungen zu tun, wodurch die Möglichkeit des Spannungsabbruches verbessert würde. Ein zweiter Vorteil liegt darin, daß die Schicht 26 als Schutz für die leitfähige Schicht 20 dient, indem sie diese von einer Verunreinigung durch Staub oder dergleichen isoliert, wodurch eine konstantere Umgebung aufrechterhalten wird. Weiterhin erniedrigt die Schicht 26 die Herstellungserfordernisse für das Aufzeichnungsmaterial. Die Anwesenheit von Nadellöchern in der Elastomerschicht 18 kann eine Kurzschließung des Aufzeichnungsmaterials bewirken, wodurch möglicherweise sein Verhallen zerstört wird. Die Zugabe der Schicht 26 kann solche Kurzschlüsse und ein solches Abbrechen des Verhaltens des Teils verhindern, indem eine isolierende Flüssigkeit in solche Nadellöcher einfließen gelassen wird.

Die Potentialquelle 22 liefert eine Gleichstromspannung von einer Polarität, um ein Deformationsbild auf der Oberfläche des Elastomeren zu bilden. Die erforderliche Polarität hängt von der Natur des Fotoleiters ab. Der Spannungsabfall über die Fotoleiter-Elastomer-Schichtung liegt im Bereich von etwa 1 bis etwa 25 000 V je nach dem Elastizitätsmodul des Elastomeren und seiner Dicke sowie bestimmten Eigenschaften des Fotoleiters. Die Potentialquelle 22 muß dazu imstande sein, abgeschaltet werden zu können, um das Bild zu löschen, oder sie muß hinsichtlich der Spannung verschiebbar sein, damit das Bild rascher gelöscht werden kann. Für einen Televisionstyp des Bildes, bei dem ungefähr 30 vollständige Bilder je see gebildet, gelagert und gelöscht werden, muß die Energiezuführung dazu imstande sein, solche Zyklen mit der richtigen Geschwindigkeit durchzuführen. Das Ausmaß der Deformation und die Geschwindigkeit mit der die Information gelöscht werden kann, hängt von den Spannungen ab, die durch die Energiequelle zugeführt werden. Die Stabilität der Spannungsabgabe der Energiequelle muß groß genug sein, da8 ein unerwünschtes Löschen des Bildes verhindert wird. Ein alternierendes Schema zum Löschen des Oberflächendeformationsbildes ist vorgesehen, mn ein Schwellenlicht unterhalb des Aufzeichnungsmaterials 10 anzuordnen, um die fotoleitfähige Schicht 16 mit licht zu fluten, wodurch das modulierte

Feldmuster über die Struktur gelöscht wird, welche durch das bildweise Licht ausgebildet worden ist. Diese Betriebsweise ist angemessen, solange die Felder quer über die Elastotnerschirht 18 unterhalb eines Wertes liegen, der bewirkt, daß die Oberflächendeformationen befestigt werden. Um das Deformationsbild zu bilden und zu befestigen, würden die Werte für die Spannung zwischen der leitfähigen Schicht 14 und der flexiblen leitfähigen Schicht 20 ungefähr zwischen 1 und 25 000 V je nach der Dicke und anderen Charakteristiken des Elastomeren 18 liegen.

Die Bilder, die in dem Aufzeichnungsmaterial gebildet werden, löschen in typischer Weise aufgrund einer Vielzahl von Gründen. So können z. B. Ladungsträger, die in dem Fotoleiter erzeugt worden sind, die Fotoleiter-Elastomer-Grenzfläche erreichen oder Ladungsträger, die an der Fotoleiter-Elastomer-Oberfläche vorhanden sind, können in Seitenrichtung fließen oder Ladungsträger können in die Elastomerschicht von der Fotoleiter-Elastomer-Grenzfläche eingespritzt werden und die Metallschicht erreichen. Alle diese Wirkungen bewirken, daß das Kontrastpotential über das Elastomere sich vermindert oder verschwindet.

Die Bilder können rascher gelöscht werden, indem das Feld über der Elastomerschicht entfernt wird oder indem die Polarität des Feldes umgekehrt wird. Für ein noch rascheres Löschen kann der Fotoleiter mit einer aktivierenden elektromagnetischen Strahlung zum gleichen Zeitpunkt, wie das Feld entfernt wird, geflutet werden oder die Polarität kann umgekehrt werden.

Es können andere Elemente neben den hierin beschriebenen, die in Fig. 1 gezeigt sind, in die erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterialien eingearbeitet werden. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung können Bilder mit Raumfrequenzen. die erheblich unterhalb der Resonanz-Deformationsfrequenz des Elastomeren liegen, aufgezeichnet werden, indem ein Liniengitter des Absorptionstyps zwischen das projizierte Lichtbild und den Fotoleiter, auf dem die Belichtung erfolgt, gelegt wird. Das Elastomere deformiert sich entlang des Musters des Hochraumfrequenz-Rasters in denjenigen Gegenden, wo es belichtet wird. Das gerasterte Deformationsbild ist sodann aus Segmenten des Schattens des Rasters gemacht. Das Bild, das durch Beleuchtung der deformierten EIastomerschicht erhalten wird, hat somit eine feine Struktur von Linien, die auf das ursprüngliche Bild, das aufgezeichnet wurde, aufgelegt sind. Wenn diese Linienstruktur störend ist. dann kann sie durch geeignete optische Filterungstechniken, die bekannt sind, entfernt werden. Für die erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterialien ist der bevorzugte Ort des Rasters, z. B. eines Liniengitters, unmittelbar angrenzend an die fotoleitfähige Schicht in dem Teil. Andere Raster, die in ähnlicher Weise angeordnet werden können, sind z. B. in den US-Patentschriften 36 98 893 und 37 19 483 beschrieben.

Es wurde oben angegeben, daß die hierin beschriebenen Elastomeroberflächen für die Aufzeichnung, die Lagerung und das Löschen von Bildinformationen über t>o sehr viele Zyklen verwendet werden können, vorausgesetzt, daß die elektrischen Felder über das Elastomer nicht zu stark werden. Wenn diese Felder stark genug werden, daß die Deformationen der F.lastomeroberfläche über die Elastizitätsgrenze des Klastomeren tn hinausgehen, dann wurde festgestellt, daß das Bild permanent auf dem Elastomeren aufgezeichnet wird. Die obere Grenze des elektrischen leides, das an das obengenannt Dimethylpolysiloxansilikongel angelegt wird, wurde zu etwa 10CV pro Mikron beobachtet. Obgleich dies für viele Systeme als unerwünschi angesehen wird, gibt es doch Fälle, wo es gewünscht wird, ein permanentes Bild aufzuzeichnen. Somit können die zyklischen Eigenschaften des Elastomeren dazu verwendet werden, um ein zufriedenstellendes Bild zu erhalten, das sodann durch eine Anwendung einer Überspannung permanent aufgezeichnet wird.

Für den Fachmann wird ersichtlich, daß die erfindungsgemäßen Abbildungsteile für zahlreiche Anwendungszwecke, beispielsweise für die Bildlagerung, für optische Puffer, für die Bildverstärkung und dergleichen, verwendet werden können. Spezielle Anwendungszwecke für solche Aufzeichnungsmaterialien werden z. B. in der US-PS 37 16 359 beschrieben.

Die Erfindung wird in den Beispielen näher erläutert. Darin sind sämtliche Teile und Prozentmengen auf das Gewicht bezogen.

Bei den folgenden Beispielen wurde das Titan aus einem gespulten Wolframkorb aufgedampft und das Silber aus einem Molybdänschiffchen. Die Vakuumaufdampfung erfolgte in einer Vakuumkammer mit etwa 10-*Torr und mit Geschwindigkeiten von mehr als 10 Hz/sec für das Silber und mehr als 1 Hz/sec für das Titan. Das Glas: ibstrat war durch Aufsprühen von einem Zinnsalz in der Hitze leitfähig gemacht worden.

Beispiel 1

45 Hz Ti werden auf einem Teil abgeschieden, das eine ungefähr 12 μπι dicke Elaslomerschicht umfaßt, die auf einem Glassubstrat liegt. Sodann werden 1 kHz Ag, 2 kHz Ag. 75 Hz Ti, 1 kHz Ag und 2 kHz Ag abgeschieden.

Beispiel 2

60 Hz Ti werden auf einem Teil abgeschieden, das ein Glassubstrat, das ein Liniensieb trägt, eine ungefähr 5 μίτι dicke fotoleitfähige Schicht und eine ungefähr 5 um dicke Elastomerschicht umfaßt Dann werden

1.4 kHz Ag und 1,8 kHz Ag abgeschieden. Diese Sequenz wird zwei weitere Male wiederholt

Beispiel 3

60 Hz Ti werden auf einem Teil abgeschieden, das eir Glassubstrat, eine ungefähr 3 μπι dicke fotoleitfähige Schicht und eine ungefähr 6 μιη dicke Elistomerschichi umfaßt. Dann werden 1 kHz Ag abgeschieden. Dies« Reihenfolge wird drei weitere Male wiederholt, gefolgt von 100 Hz Ti, 1,3 kHz Ag und 1 kHz Ag.

Beispiel 4

20 Hz Ti werden auf einem Teil abgeschieden, das eil Glassubstrat, das ein Liniensieb trägt, eine ungefäh

6.5 μίτι dicke fotoleitfähige Schicht und eine ungefähi 6μηι dicke Elastomerschicht umfaßt, gefolgt voi 600 Hz Ag und 2,3 kHz Ag. Eine zweite Sequenz voi Schichten aus 50 Hz Ti, 600 Hz Ag und 13 kHz Ag win abgeschieden. Diese zweite Sequenz wird zwei weiten Male wiederholt.

Beispiel 5

50 Hz Ti werden auf einem Teil abgeschieden, das ei¹ Glassubstrat, das ein Liniensieb trägt, eine ungefäh 4.1 μίτι dicke fotoleitfähige Schicht und eine ungefäh 6.7 μπι dicke Elastomerschicht umfaßt, gefolgt vo 1 kHz Ag und 1,7 kHz Ag. Diese Reihenfolge wird dr< weitere Male wiederholt.

Hier/u r> Blatt Zeichnungen

Claims (5)

Patentansprüche:

1. Elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial zur Herstellung von Deformationsbildern mit einer flexiblen silberhaltigen Metallschicht, einer deformierbaren Schicht mit einem Volumenwiderstand von mehr als 10⁴OhITi · cm, gegebenenfalls einer gerasterten Schicht, einer fotoleitfähigen Schicht und gegebenenfalls einem Schichtträger, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht Titan enthält und daß das Aufzeichnungsmaterial auf der Metallschicht eine Schicht aus einer isolierenden Flüssigkeit enthalten kann.

2. Elektrofotografisches Aufzeichnungsmaterial zur Herstellung von Deformationsbildern mit einer flexiblen silberhaltigen Metallschicht, einer ersten deformierbaren Schicht mit einem Volumenwiderstand von mehr als 1O⁴ Ohm · cm, einer fotoleiti'ähigen Schicht, einer zweiten deformierbaren Schicht mit einem Volumenwiderstand von mehr als ICH Ohm-cm, gegebenenfalls einer gerasterten Schicht und gegebenenfalls einem Schichtträger in der angegebenen Reihenfolge, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht Titan enthält und daß das Aufzeichnungsmaterial auf der Metallschicht eine Schicht aus einer isolierenden Flüssigkeit enthalten kann.

3. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß es mehrere deformierbare Schichten unterschiedlicher Dicke und mit unterschiedlichem Elastizitätsmodul enthält.

4. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß es einen transparenten elektrisch leitenden Schichtträger enthält.

5. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß es als gerasterte Schicht ein Liniengitter enthält.