DE2407633B2

DE2407633B2 -

Info

Publication number: DE2407633B2
Application number: DE2407633A
Authority: DE
Inventors: Takeshi Neyagawa Ishihara; Kenji Neyagawa Kanai; Fukashi Hirakata Kobayashi; Hiroshi Suita Sugaya
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1973-02-20
Filing date: 1974-02-18
Publication date: 1979-04-05
Also published as: DE2407633A1; NL7402110A; AU6557674A; US3986210A; FR2218610A1; FR2218610B1; DE2407633C3; CA1005574A; AU475403B2; GB1468368A

Description

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Die Erfindung bezieht sich auf einen auf einem Halbleitersubstrat in Dünnfilmtechnik aufgebauten Magnetkopf mit einer Mehrzahl von durch im wesentlichen parallele elektrisch leitende Streifen gebildeten Spulensegmenten, über denen quer eine « erste Kemteilschicht aus magnetischem Material angeordnet ist, über der elektrische Leitersegmente verlaufen, die die Spulensegmente zu einer Kopfwicklung ergänzen, und mit einer zweiten Kemteilschicht aus magnetischem Material, deren eines Ende mit dem 5p einen Ende der ersten Kemteilschicht verbunden ist und deren anderes Ende das andere Ende der ersten Kemteilschicht unter Zwischenlage einer den Kopfspalt bildenden Schicht aus nichtmagnetischem Material überlappt.

Übliche Magnetköpfe verwenden einen Kopfkern, der als Magnetflußkreis mit einem Kopfspalt ausgebildet ist und mit einer die Kopfwicklung bildenden Spule bewickelt ist, deren Signalstrom den Verlauf des Magnetflusses so bestimmt, daß am Kopfspalt ein ω magnetisches Aufzeichnungsmedium entsprechend dem augenblicklichen Signal magnetisiert wird, bzw. der von dem Aufzeichnungsmedium magnetisiert wird, wodurch ein Signalstrom induziert wird. Die neuere Technik erfordert nun für verschiedene Zwecke der Signalspeicherung immer kleinere Magnetköpfe, die auf überaus schmale Aufzeichnungsspuron schreiben, oft in einer Mehrzahl nebeneinander in genauer Anordnung vorhanden sind und parallele Spuren bedienen. Beispielsweise ist ein in Dünnfilmtechnik auf einem Halbleitersubstrat hergestellter Magnetkopf bekannt (DE-OS 19 52 402), dessen Substrat zugleich als Träger für integrierte Schaltkreise dient, die mit nur verhältnismäßig kurzen Zwischenverbindungen an den Magnetkopf anschließen. Der Magnetkopf selbst sitzt auf einer Isolierschicht auf dem Substrat, wobei auf der Isolierschicht zunächst eine magnetische Schicht und auf dieser — gegebenenfalls wiederum isoliert — eine spiralige Spule oder Leiterbahnen, die eine Spulenhälfte bilden, aufgebracht sind, die wiederum von einer oberen magnetischen Schicht und gegebenenfalls von oberen Leiterbahnen, die die andere Spulenhälfte bilden, überdeckt sind. Die obere magnetische Schicht, die streifenförmig ausgebildet ist, ist mit ihrem dem Kopfspalt abgewandten Ende durch die Ebene der Leiterbahnen hindurch mit der unteren magnetischen Schicht verbunden. Die beiden magnetischen Schichten, die auf ihrer gesamten Länge flächig übereinanderliegen, erzeugen einen erheblichen Streufluß, der das bei derartigen Miniaturköpfen ohnehin nur geringe Nutzsignal noph weiter verringert. Außerdem erweist sich die Aufbringung der Leiterbahnen nach dem Stand der Technik als ungünstig, da sie zu einer gewissen Welligkeit der Anordnung, insbesondere der aufgedampften Magnetschicht führen, die einerseits wiederum eine verschlechterte Raumausnützung ergibt und andererseits die Einhaltung eines Abstandes der magnetischen Schichten, der einem Optimum hinsichtlich Raumbedarf und Streufluß entspricht, erschwert, da die aufgedampfte, aufgrund der Leiterdicke und der Leiterzwischenräume wellige magnetische Schicht durch eine Mehrzahl von Stellen größerer Annäherung der magnetischen Schichten und damit von Schein-Magnetspalten die magnetische Charakteristik verschlechtert.

Es ist auch ein Magnetkopf der eingangs genannten Art bekannt (US-PS 36 62 119), bei dem ebenfalls auf einem Halbleitersubstrat, an dessen Stelle auch ein Substrat aus Saphir, Glas, Aluminiumoxid oder anderm Isoliermaterial treten kann, und hiervon getrennt durch eine Isolierschicht Leiterbahnen angeordnet sind, auf denen die magnetische Schicht in Form eines U aufgebracht ist, dessen eines Ende den einen Rand des Kopfspalts bilden soll, während das andere Ende eine zweite magnetische Schicht kontaktiert, die den anderen Rand des Kopfspalts bildet. Über der U-förmigen erster, magnetischen Schicht sind die spangenförmigen Leiterteile angeordnet, die die auf der unteren Isolierschicht sitzenden Leiterteile auf jedem der Schenkel der magnetischen Schicht zu einer Spule ergänzen. Auch hierbei bereitet die Dicke der unteren Leiterteile insofern Schwierigkeiten, als sie erstens den Platzbedarf erhöht und zweitens beim Aufdampfen der magnetischen Schicht eine wellige Schicht ergeben, die in den Zwischenräumen zwischen den Leiterteilen tiefer liegt.

Außerdem besteht beim genannten Stand der Technik die Gefahr, daß die aufgedampfte wellige magnetische Schicht an den Kanten der die Spulensegmente bildenden unteren Leiterbahnen eine ungleichmäßige Dicke aufweist oder gar abreißt. Zwar kann dieser Nachteil durch eine trapezförmige Ausbildung der unteren Leiterbahnen behoben werden, da die Gefahr eines Abreißens der magnetischen Schicht bei einem schrägen ausgeglichenen Übergang zwischen den unteren Leiterbahnen und dem Substrat verringert ist.

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jedoch steigt bei einer derartigen Ausbildung der unteren Leiterbahnen infolge ihrer größeren Breite der Platzbedarf der Kernwicklung erheblich an, was der angestrebten Miniaturisierung im Wege steht

Es ist zwar bekannt (IBM Techn. Disdos. Bulletin, VoL 14; No. 11, April 1972, Seite 3420) Leiterbahnen in der Oberfläche eines Halbleitersubstrats anzubringen, so daß die Leiterbahnen nicht über die Oberfläche des Halbleitersubstrats hinausragen. Im Zusammenhang mit der Herstellung der Kopfwick'ung eines Magnetkopfes ist jedoch eine derartige Ausbildung von Leiterbahnen nicht betrachtet worden.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Magnetkopf unter Vermeidung der genannten Nachteile so weiterzubilden, daß der durch die Längenausdehnung der Kopfwicklung bedingte Raumbedarf auf ein Minimum reduziert und gleichzeitig ein glatter und ungestörter Verlauf der den Magnetkreis bildenden magnetischen Kernschicht sichergestellt ist

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die elektrisch leitenden Streifen der Spulensegmente bündig in der Oberfläche des Halbleitersubstrats untergebracht und durch an sich bekannte Diffusion oder Implantation hergestellt sind.

Dadurch wird der Vorteil erreicht, daß die obere Fläche der die Spulensegmente bildenden leitenden Streifen in derselben Ebene liegt wie die Oberfläche des Halbleitersubstrats, so daß also die untere Spulenhälfte eine völlig flache Oberseite aufweist und die streifenförmige magnetische Schicht ohne tote Räume glatt und eben aufgebracht werden kann. Damit sind einerseits die magnetischen Eigenschaften des Magnetkreises erheblich verbessert. Andererseits ist ein besonders kleiner Magnetkopf erreicht, da keine platzbeanspruchenden geneigten Kantenflächen ausgebildet werden müssen um zu vermeiden, daß die magnetische Kernschicht abreißt. Zusätzlich bietet die angegebene Ausbildung noch den Vorteil, daß an sich bekannte (DE-OS 19 25 402) im Halbleitersubstrat des Magnetkopfes befindliche integrierte Schaltkreise, wie Verstärkerschaltungen oder Ansteuerschaltungen, ohne Schwierigkeit über dotierte Leitungsteile mit den elektrisch leitenden Streifen der Spule verbunden werden können, so daß es auch hierfür nicht der Aufbringung äußerer metallischer Leiterbahnen bedarf. Die unteren leitenden Streifen der Spule stellen gewissermaßen einen Teil der integrierten Schaltung dar.

Da die erfindungsgemäße Ausbildung einen glatten nicht welligen schichtförmigen Kopfkern ermöglicht, weist sie außerdem den Vorteil auf, daß magnetische Richtungscharakteristiken des Materials der magnetischen Schicht gemäß Anspruch 3 leicht anwendbar sind.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Beispiels erläutert.

Es zeigen

F i g. 1 bis 3 Draufsichten auf verschiedene Fertigungsstufen eines erfindungsgemäßen Magnetkopfes,

Fig.4 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetkopfes,

Fig.5 eine vergrößerte Schnittansicht des erfindungsgemäßen Magnetkopfes,

F i g. 6a eine Ansicht zur Veranschaulichung der Wirkungsweise des erfindungsgemäßen Magnetkopfes,

Fig.6b und 6c Magnetisierungskennlinien eines e>^r> magnetischen Materials,

Fig. 7 eine schematische Darstellung eines einen Mehrspurkopf bildenden erfindungsgemäßen Magnet-

t,o kopfsystems,

F i g. 8 eine schematische Vorderansicht eines Mehrspurkopfes.

Es sei zunächst auf F i g. 1 bis 5 Bezug genommen, wobei zu bemerken ist, daß die in F i g. 1 gezeigten, im wesentlichen parallelen unteren Spulensegmente 6, die einen Teil der Kopfwicklung des Magnetkopfes darstellen, in der Oberfläche eines Halbleitersubstrats 5, wie beispielsweise einem Siliciumsubstrat, ausgebildet sind. Sie können durch Diffusion oder Implantation eines Leitermaterials gebildet sein. Hierauf wird auf dem das Halbleitersubstrat bildenden Plättchen nach dem Verfahren der thermischen Oxidation oder nach dem Epitaxialverfahren eine Isolierschicht 32 in Form einer Siliciumdioxidschicht gebildet, oder erwünschten-FaIIs kann die Isolierschicht 32 auch durch Aufdampfen von Siliciumdioxid gebildet werden (siehe F i g. 5). Dann wird eine Schicht 9 eines magnetischen Materials gebildet, die eine erste Kernteilschicht des Magnetkopfes darstellt, und die durch die Mitte der unteren Spulensegmente 6 verläuft, wie dies in F i g. 2 gezeigt ist. Diese Schicht 9 kann durch Vakuumverdampfung oder Aufstäuben eines magnetischen Materials wie beispielsweise Permalloy oder eines ähnlichen handelsüblichen Materials erzeugt werden. Die aus dem magnetischen Material bestehende Schicht 9 ist an den beiden Enden hakenförmig ausgebildet, wie dies bei 7 und 8 gezeigt ist. Der hakenförmige Teil 7 entspricht in seiner Breite der erforderlichen Tiefe t/des Spalts und in seiner Länge der erforderlichen Spurbreite W. Der andere hakenförmige Teil 8 ist als hinterer Magnetspalt anzusehen. Die aus dem magnetischen Material bestehende Schicht 9 wird dann mit einer Isolierschicht 33 abgedeckt, beispielsweise mit einer Siliciumdioxidschicht, wie dies in F i g. 5 gezeigt ist.

Die erwähnte Isolierschicht 32 wird zum Freilegen entgegengesetzter Endteile eines jeden unteren Spulensegments 6 durch selektive Photoätzung stellenweise wieder entfernt. Dann werden die hintereinanderliegenden unteren Spulensegmente 6 mit Leitersegmenten 12 elektrisch hintereinandergeschaltet, die durch Aufbringen oder Aufdampfen eines Leitermaterials wie etwa Kupfer oder Aluminium gebildet werden können, wobei jedes Leitersegment 12 mit den freigelegten Teilen benachbarter unterer Spulensegmente 6 auf entgegengesetzten Seiten der aus einem magnetischen Material bestehenden Schicht 9 verbunden wird, wie dies in Fig.3 gezeigt ist. In dieser Weise wird also eine zickzackförmige, die Kopfwicklung bildende Spule gebildet.

Die beiden Enden dieser zickzackförmigen Spule stellen Spulenanschlüsse 13 und 14 dar und das eine Ende eines in der Mitte gelegenen unteren Spulensegments 6 ist als Zapfanschluß 15 ausgebildet.

In F i g. 3 und 4 ist die Breite der unteren Spulensegmente 6 mit w\ bezeichnet, der Abstand zwischen benachbarten unteren Spulensegmenten mit W₂, die Breite des Kerns mit w, die Breite des Spalts mit g, die Tiefe des Spalts mit d, die Spurbreite mit Wund die Breitenabmessung der Kopfeinheit in der Richtung der Spurbreite, d. h. der Teilschritt, mil P.

Hierauf wird auf dem hakenförmigen Endteil 7 eine auc einem nichtmagnetischen Material bestehende Schicht 10 vorgesehen, deren Stärke # gleich der Breite des Spalts ist. Danach wird eine zweite, aus einem magnetischen Material bestehende Kernteilschicht 11 in der gleichen Weise gebildet, wie dies obenstehend beschrieben wurde, und zwar in der Weise, daß sich

diese zweite Kernteilschicht nur oberhalb der hakenförmigen Endteile 7 und 8 der erstgenannten Kernteilschicht 9 erstreckt, womit der Magnetkopf dann fertiggestellt ist (wie in F i g. 4 gezeigt).

Es soll nun beispielhaft auf die Einzelheiten bei der Herstellung einer Magnetkopfeinheit eingegangen werden. Wenn die unteren Spulensegmente 6 durch Diffusion oder Implantation eines Leitermaterials wie beispielsweise Kupfer oder Aluminium in das aus einem nichtmagnetischen Material wie etwa Silicium bestehende Halbleitersubstrat 5 gebildet werden, hängt die Untergrenze der Breite w\ der unteren Spulensegmente wie auch der Abstand W2 zwischen benachbarten unterer, Spulep.segmenten von dem angewandten Photoätzverfahren ab. Dies bedeutet, daß eine Minimalgröße des Spulenabschnitts erzielt werden kann, wenn Wi gleich W2 ist. Anschließend wird auf die unteren Spulensegmente 6 mit Ausnahme der Endteile 6' eine Isolierschicht aus einem Material wie etwa Siliciumdioxid aufgebracht. Dann wird auf den unteren Spulensegmenten 6 durch Aufbringen eines magnetischen Materials wie etwa Permalloy oder einer ähnlichen handelsüblichen Masse und durch selektive Photoätzung der aufgebrachten Schicht die untere Kernteilschicht 9 gebildet. Hierbei ist die Breite wdes Kerns die Mindestbreite. Danach wird die untere Kernteilschicht 9 mit Ausnahme des hakenförmigen Teils 8, der als hinterer Anlageteil fungiert, mit einer Isolierschicht aus einem Material wie etwa Siliciumdioxid überzogen. Darauf wird die obere Kernteilschicht 11 gebildet, beispielsweise durch Aufbringung des gleichen magnetischen Materials, das auch für die untere Kernteilschicht verwendet wurde, und durch eine selektive Photoätzung der aufgebrachten Schicht, die so vorgenommen wird, daß diese nur die hakenförmigen Teile 7 und 8 der unteren Kernteilschicht bedeckt, wobei auf dem hakenförmigen Teil 7 die Distanzschicht 10 vorgesehen ist. Die Breite der oberen Kernteilschicht ist ebenfalls w. Die Spurbreite W, die der Breite der Magnetkopfeinheit entspricht, kann auf ein Mindestmaß herabgesetzt werden, indem man die Breite w möglichst klein hält. Die Untergrenze für die letztgenannte Breitenabmessung hängt wiederum wie im Fall von w\ und w₂ von dem Photoätzverfahren ab, was also bedeutet, daß sie zur Erzielung einer möglichst geringen Spurbreite im wesentlichen gleich w\ und wi sein kann. Für die Minimalgröße der Magnetkopfeinheit kann man also einsetzen

Magnetkopf in einem Bereich gearbeitet werden, in dem der Kern nicht gesättigt ist. Dies bedeutet, daß die Bedingung

W ρ

W2 — W,

7 wund

W+ w = 9,w.

Liegt die Untergrenze für die Photoätzbreite bei w= 10 μητ, so beläuft sich die Breite der Magnetkopfeinheit auf 70 μπτ. Zur möglichst weitgehenden Geringhaltung der Abmessungen der Magnetkopfeinheit wird auch der Abstand zwischen jedem der Verbmdungsgtei-Ie 6' und der aus magnetischem Material bestehenden Schicht 9 bzw. ti auf den Wert w₂ festgelegt Dem gleichen Zweck dient auch eine Ausbildung der unteren Kernteilschicht 9 in der Weise, daß ihr Endteil, welches sich mit dem Aufzeichnungsmedium berührt, und der durch die Spulensegmente 6 hindurchgeführte Teil miteinander die Form eines T bilden,' wobei die Oberdeckungsbereiche der oberen und der unteren Kernteilschicht so klein wie möglich gehalten werden.

Zur Sicherstellung einer vollständigen Signalaufzeichnung auf dem Aufzeichnungsmedium muß mit dem Wd

w ■ t

Bs

Hc

eingehalten werden muß, worin Hc die Koerzitivkraft des Aufzeichnungsmediums bezeichnet, Bs die Sättigungsflußdichte des Kerns, t die Stärke des Kerns und μο die magnetische Durchlässigkeit des Vakuums. Sofern nicht zumindest diese Bedingung eingehalten wird, wird der Kern gesättigt, bevor das Feld in dem Kopfspalt den Wert Hc erreicht, und in diesem Fall kann das Aufzeichnungsmedium nicht mehr hinlänglich magnetisiert werden.

Fig.6a zeigt die Anordnung der unteren ersten Kernteilschicht 9 und der oberen zweiten Kernteilschicht 11. Wird der Kopfwicklung 12 des Magnetkopfes ein Signalstrom aufgedrückt, so setzt ein Signalfluß in Richtung der Pfeile ein. In den F i g. 6b und 6c sind die Magnetisierungskennlinien in der leicht magnetisierbaren Richtung und in der schwer magnetisierbaren Richtung des magnetischen Materials dargestellt, bei dem es sich insbesondere um ein Permalloy handeln kann, das durch Aufdampfen im Magnetfeld aufgebracht ist. Das im Magnetfeld aufgebrachte magnetische Material zeichnet sich dadurch aus, daß der Restmagnetismus in der schwer magnetisierbaren Richtung gering ist und daß sich dieses Material für den Hochfrequenzbetrieb eignet, da die Schaltgeschwindigkeit der Magnetisierungsumkehrung in dieser Richtung hoch ist Die Richtung 17 des Flusses im erfindungsgemäßen Magnetkopf deckt sich somit erwünschtermaßen mit der schwer magnetisierbaren Richtung des magnetischen Materials.

Bei dem oben beschriebenen erfindungsgemäßen Aufbau kann die Abmessung der Magnetkopfeinheit in der Richtung der Spurbreite gering gehalten werden,

•io indem man sich die durch das Präzisions-Photoätzverfahren gebotenen Vorteile erschöpfend zunutze macht und darüber hinaus ist es auch möglich, eine Anzahl von Magnetkopfeinheiten mühelos und genau in der Richtung der Spurbreite anzuordnen, wenn man sich hierzu ebenfalls photographischer Verfahrensweisen bedient Insbesondere kann so mit hoher Gleichmäßigkeit eine aus einer Anzahl von Magnetkopfeinheiten bestehende Anordnung aufgebaut werden. Somit kann im Rahmen der Erfindung mühelos eine Spule mit hoher Windungszahl erzeugt werden.

Der erfindungsgemäße Magnetkopfkern ist nur im Bereich des Spalts sich selbst zugekehrt, auch wenn der geschlossene Kreis in ebener Form aufgebaut ist so daß der Streufluß gering ist Man erhält daher in dieser Weise einen sehr leistungsfähigen Magnetkopf. Besteht der Kern aus einem dünnen Blech, so wird seine Leistungsfähigkeit durch den Streufluß stark herabgesetzt, so daß einem Aufbau des Kerns im Sinne einer Verringerung des Streuflusses eine hohe Bedeutung zukommt Auch unter diesem Gesichtspunkt liegen also die durch die Erfindung vermittelten Vorteile klar zutage.

Da vorgesehen ist, daß sich die Richtung des Signalflusses in dem Kern mit der Richtung der schweren Magnetisierbarkeit einer durch Aufdampfen im Magnetfeld oder durch elektrolytische Abscheidung gebildeten dünnen magnetischen Schicht deckt, kann der Restmagnetismus des Kerns abgeschwächt werden

und das Leistungsverhalten des Magnetkopfes bei der Wiedergabe kann verbessert werden. Auch ist die Dauer der Magnetisierungsumkehrung in der Richtung der schweren Magnetisierbarkeit sehr kurz, was im Hinblick auf die Verbesserung der Hochfrequenzleistung des Magnetkopfes sehr erwünscht ist.

Durch eine Ausbildung des Magnetkopfes mit U-förmigen Kernschichten und durch Festlegung der Spalttiefe, der Kernbreite und der Kernstärke wie bei der obigen Ausführungsform erhält man eine Anordnung, die zur hinreichenden Magnetisierung des Aufzeichnungsmediums geeignet und für den Aufbau eines Mehrspurkopfes sehr zweckdienlich ist.

Bei der obigen Ausführungsform handelt es sich um einen Einspurkopf, doch kann in ähnlicher Weise auch ein Mehrspurkopf aufgebaut werden, indem man gleichzeitig eine Anzahl von Magnetkopfeinheiten auf dem gleichen Halbleitersubstrat bildet, wobei hinsichtlich der Anordnung und der Abmessungen der einzelnen Magnetkopfeinheiten eine hohe Fertigungsgenauigkeit eingehalten wird.

In F i g. 7 ist beispielartig ein solcher Mehrspurkopf gezeigt. Bei dieser Ausführungsform können in dem Halbleitersubstrat 5 gleichzeitig mit der Bildung der unteren Spulensegmente 6 durch Diffusion oder Implantation Leitungsteile 37 für die einzelnen Magnetkopfeinheiten erzeugt werden. Dies ist unter dem Gesichtspunkt der anschließenden Bearbeitung sehr vorteilhaft.

Ferner können in Anwendung der Technik der integrierten Schaltungen auf dem Halbleitersubstrat 5 elektrische Schaltungen 38 wie beispielsweise Schaltkreise und Verstärker gebildet werden. Die Länge der Leitungsteile von dem Magnetkopf zu der dazugehörigen elektrischen Schaltung kann mithin gering gehalten werden, so daß es im Sinne der Erzielung eines besseren Signal-Rauschverhältnisses möglich ist, die zwischen den Leitungsteilen auftretenden Störungen zu verringern.

F i g. 8 zeigt einen typischen, die Erfindung verkörpernden Mehrspurkopf. Er weist eine Anzahl von Magnetkopfeinheiten auf, die in der Breitenrichtung des Magnetbandes 51 in einer Reihe angeordnet sind. Diese Magnetköpfe werden nacheinander zum Aufzeichnen von Signalen in vorbestimmten Spuren 53 des Magnetbandes 51 in einer von der Fortbewegungsrichtung des Bandes unterschiedlichen Richtung betätigt

Bei diesem System müssen die Magnetkopfeinheiten 52 nahe beieinander angeordnet sein. Probleme tauchen auch im Zusammenhang der Anordnung der Leitungsteile auf, die zu den Magnetkopfeinheiten hin- und von diesen fortführen.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Auf einem Halbleitersubstrat in Dünnfilmtechnik aufgebauter Magnetkopf mit einer Mehrzahl von durch im wesentlichen parallele elektrisch leitende Streifen gebildeten Spulensegmenten, über denen quer eine erste Kernteilschicht aus magnetischem Material angeordnet ist, über der elektrische Leitersegmente verlaufen, die die Spulensegmente ι ο zu einer Kopfwicklung ergänzen, und mit einer zweiten Kernteilschicht aus magnetischem Material, deren eines Ende mit dem einen Ende der ersten Kemteilschicht verbunden ist und deren anderes Ende das andere Ende der ersten Kernteilschicht unter Zwischenlage einer den Kopfspalt bildenden Schicht aus nichtmagnetischem Material überlappt, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitenden Streifen der Spulensegmente (6) bündig in der Oberfläche des Halbleitersubstrats (5) untergebracht und durch an sich bekannte Diffusion oder Implantation hergestellt sind.

2. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die aus den Spulensegmenten (6) und den Leitersegmenten (12) gebildete Kopfwicklung (16) über durch Diffusion oder Implantation hergestellte Leitungsteile (37) im Halbleitersubstrat

/ (5) mit einem im Halbleitersubstrat gebildeten integrierten Schaltkreis (38) verbunden ist.

3. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch jo gekennzeichnet, daß die aus magnetischem Material bestehende erste und zweite Kemteilschicht (9, 11) aus einem anisotrop-magnetischen Material bestehen, wobei die Richtung der schweren Magnetisierbarkeit dieses Materials mit der Richtung des η magnetischen Signaiflusses zusammenfällt.